KR930017109A - 화합물 반도체 소자의 식각방법 - Google Patents
화합물 반도체 소자의 식각방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 종래의(011)방향 또는 (011)방향으로 식각함에 있어 발생하는 문제점을 개선하기 위한 화합물 반도체 소자의 식각방법에 관한 것으로 (010)방향과 (001)방향을 따라 식각하는 방법이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 화합물 반도체 식각공정도.
Claims (1)
- (100)기판에(010)방향이나 (001)방향을 따라 식각함을 특징으로 하는 화합물 반도체 소자의 식각방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920000871A KR930017109A (ko) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | 화합물 반도체 소자의 식각방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920000871A KR930017109A (ko) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | 화합물 반도체 소자의 식각방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR930017109A true KR930017109A (ko) | 1993-08-30 |
Family
ID=65515390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920000871A KR930017109A (ko) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | 화합물 반도체 소자의 식각방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR930017109A (ko) |
-
1992
- 1992-01-22 KR KR1019920000871A patent/KR930017109A/ko not_active Application Discontinuation
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