KR920010719A - 섀도우마스크, 이에 사용되는 프린트용의 원판 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

섀도우마스크, 이에 사용되는 프린트용의 원판 및 그 제조방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 한 실시예에 관련되는 섀도우마스크를 갖는 칼라수상관의 단면도,

제2도 본 발명의 한 실시예에 관련되는 섀도우마스크의 평면도,

제3(a)도 본 발명의 한 실시예에 관련되는 섀도우마스크의 수직축상의 개공 및 큰 구멍형상을 나타내는 평면도,

제3(b)도 본 발명의 한 실시예에 관련되는 섀도우마스크의 수직축상의 개공 및 작은 구멍형상을 나타내는 평면도,

제3(c)도 본 발명의 한 실시예에 관련되는 섀도우마스크에 있어서, 제3(a)도의 선 A-A에 따른 단면도,

제3(d)도 본 발명의 한 실시예에 관련되는 섀도우마스크에 있어서, 제3도 (b)도의 선 B-B에 따른 단면도.

Claims (20)

1. 대략 직사각형상으로 형성되어 중심을 통과하는 수직축 및 중심을 통과하는 수평축을 갖고 있는 동시에 소정의 패턴으로 배열된 다수의 대략 직사각형상의 개공을 갖는 칼라수상관의 섀도우마스크에 있어서, 상기 개공의 각각은 수직축과 대략 평행한 긴쪽축을 갖고, 이들 개공은 복수의 개공을 수직축과 평행하게 나열하여 이루어지는 수직열이 상기 수평축 방향에 소정의 피치로 복수 나열하여 형성되도록 배치되고 각 수직렬내의 서로 이웃하는 개공은 브릿지부에 수직방향으로 이간되며, 상기 수직축상으로 형성된 개공이외의 각 개공은 상기 수직축에서 이간한 한쌍의 외측 구석부와 상기 수직축측에 위치한 한쌍의 내측구석부와 상기 외측구석부에서 수평방향 바깥쪽에 각각 팽출한 한쌍의 팽출부를 갖고, 상기 개공의 팽출부는 상기 수직축에서 이간한 개공일수록 서서히 팽출량이 커지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 칼라수상관의 섀도우마스크.
2. 제1항에 있어서, 상기 각 개공의 한상의 팽창부는 서로 동등한 팽출량으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 섀도우마스크.
3. 제1항에 있어서, 상기 수평축상에 형성된 개공 이외의 각 개공의 팽창부내, 상기 수평축에서 이간한 축의 팽창부는 상기 수평축에 인접한 측의 팽창부보다도 크게 팽출하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 섀도우마스크.
4. 제3항에 있어서, 상기 개공의 상기 수평축에서 이간한 측의 팽창부는 상기 수평축에서 이간한 개공일수록 서서히 팽출량이 커지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 섀도우마스크.
5. 제1항에 있어서, 상기 수직축상에 형성된 개공의 각각은 팽창부를 갖지 않는 대략 직사각형 상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 섀도우마스크.
6. 제1항에 있어서, 상기 수직축상에 형성된 개공의 각각은 4구석부에서 각각 수평방향 바깥쪽으로 팽출한 4가지의 팽창부를 갖고 각 팽창부의 팽출량은 수직축상 이외에 형성된 다른 개공의 팽창부의 팽출량에 비교하여 가장 작게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 섀도우마스크.
7. 제1항에 있어서, 상기 개공은 섀도우마스크의 한쪽면에 개구한 대략 직사각형상의 큰 구멍과 섀도우마스크의 다른쪽면에 있는 동시에 큰 구멍에 연통한 대략 직사각형상의 작은 구멍을 갖고, 이들 큰구멍과 작은 구멍의 경계에 의하여 규정되며 상기 큰 구멍 및 작은 구멍은 상기 개공의 팽창부에 대응한 팽창부를 갖고 개공과 대략 닮은 형상되어 있는 것을 특징으로 하는 섀도우마스크.
8. 제7항에 있어서, 상기 1가지의 수직열을 구성하는 개공내, 상기 수평축상에 위치한 개공이외의 개공의 큰 구멍과 작은 구멍과 수직방향으로 오프세트하여 형성되고, 상기 수평축에서 이간한 개공일수록 상기 큰 구멍의 중심축과 작은 구멍의 중심축의 오프세트량이 커지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 섀도우마스크.
9. 제1항에 있어서, 상기 각 개공은 상기 브릿지부에 의하여 규정된 한쌍의 끝가장자리를 갖고 각 끝가장자리를 수평방향으로 연장되어 있는 동시에 개공의 중심부에 있어서의 수평방향의 폭보다도 긴 직선부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 섀도우마스크.
10. 대략 직사각형상으로 형성되어 중심을 통과하는 수직축 및 중심을 통과하는 수평축을 갖고 있는 동시에 소정의 패턴으로 배열된 다수의 대략 직사각형상의 개공을 갖는 칼라수상관의 섀도우마스크에 있어서, 상기 개공의 각각은 수직축과 대략 평행한 긴쪽축을 갖고, 이들 개공은 복수의 개공을 상기 수직축과 평행하게 나열하여 이루어지는 수직열이 상기 수평축 방향에 소정의 피치로 복수 나란히 형성되도록 배열되고 각 수직열내의 서로 이웃하는 개공은 브릿지부에 수직방향으로 이간되고, 상기 수직축상으로 형성된 개공의 각각은 4구석부에서 수평방향 바깥쪽으로 팽출한 팽출부를 갖고 상하 좌우대칭인 형성으로 형성되고, 상기 수직축상에 형성된 개공이외의 각 개공은 상기 수직축에서 이간한 한쌍의 외측 구석부와 상기 수직축측에 위치한 한쌍의 내측구석부와 상기 외측구석부에서 수평방향 바깥쪽에 각각 팽출한 한쌍의 제2구석부를 갖고, 상기 개공의 제2팽출부는 상기 수직축에서 이간한 개공일수록 팽출량이 서서히 작아지도록 하는 동시에 섀도우마스크의 외부둘레부에서 팽출량이 0으로 되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 섀도우마스크.
11. 제10항에 있어서, 상기 수평축상에 형성된 개공이외의 각 개공의 1팽출부내, 상기 수평축에서 이간한 측의 제1팽출부는 상기 수평축에 인접한 측의 제1팽출부보다도 크게 팽출하여 형성되는 동시에 상기 수평축에서 이간한 개공일수록 그 팽출량이 커지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 섀도우마스크.
12. 복수의 대략 직사각형상의 개공을 브릿지부를 사이에 두고 서로 이간하여 수직방향으로 나열하여 이루어지는 수직열이 수평방향에 소정 피치로 복수열 형성되어 있는 섀도우마스크이고 각 개공은 섀도우마스크의 한쪽면에 개구한 큰 구멍과 섀도우마스크의 다른쪽면에 개구한 작은 구멍을 갖고 있는 섀도우마스크의 제조에 이용되는 마스크소재판의 표면에 상기 큰 구멍 및 작은 구멍에 대응하는 개공 패턴을 프린트하기 위한 프린트원판에 있어서, 상기 큰 구멍에 대응하는 다수의 큰 구멍 패턴을 갖고 상기 마스크 소재판의 한쪽면에 붙여지는 큰 구멍원판과, 상기 작은 구멍에 대응하는 다수의 작은 구멍 패턴을 갖고 상기 마스크 소재판의 다른쪽면에 붙여지는 작은 구멍원판과, 상기 큰 구멍패턴의 각각 및 작은 구멍 패턴의 각각은 직사각형상의 주패턴과 주패턴의 4구석부에서 바깥쪽으로 돌출한 직사각형상의 돌출패턴을 갖고 것을 특징으로 하는 원판.
13. 제12항에 있어서, 상기 큰 구멍원판 및 작은 구멍원판의 각각의 상기 주패턴은 원판의 좌표위치에 따라서 크기가 다른 동시에 상기 각 돌출패턴은 원판의 좌표위치에 따라서 주패턴에서의 돌출량 및 폭이 다른 것을 특징으로 하는 원판.
14. 제12항에 있어서, 상기 돌출패턴의 폭(W)은 10μm≤^W204;≤100μm의 범위로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 원판.
15. 제12항에 있어서, 상기 주패턴에서 주패턴의 긴쪽축 방향에 대한 상기 돌출패턴의 돌출길이(Ly)는 마스크 소재판의 판두께를 "T"로 한 경우 0≤^Ly≤0.5T의 범위로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 원판.
16. 제12항에 있어서, 상기 주패턴의 측면의 에지에 대한 상기 돌출패턴의 각도 "θ", 0≤θ≤90도의 범위로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 원판.
17. 제12항에 있어서, 상기 주패턴의 폭을 "H", 상기 돌출패턴의 상기 주패턴측의 짧은 변의 중심에서 주패턴의 긴변까지의 거리를 "P"로 한 경우 상기 거리(P)는 0≤^P≤(1/2)H의 범위로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 원판.
18. 좌표위치에 따라서 평면형상이 다른 대략 직사각형상의 개공을 다수 갖고 각 개공이 섀도우마스크의 한쪽면에 개구한 큰 구멍과 섀도우마스크의 다른쪽 면에 개구한 작은 구멍을 갖고 있는 섀도우마스크의 제조에 이용되는 마스크 소재판의 표면에 상기 큰 구멍 및 작은 구멍에 대응하는 다수의 개공 패턴을 프린트하기 위한 프린트원판이고 직사각형상의 주패턴과 주패턴의 구석부에서 바깥쪽으로 돌출한 직사각형상의 돌출패턴으로 구성되는 다수의 개공패턴을 갖는 프린트 원판을 제조하는 방법에 있어서, 네가원판에 직사각형상의 주패턴을 노광하는 공정과, 상기 주패턴의 4구석부에 직사각형상의 돌출패턴을 다중 노광하여 주패턴에 돌출패턴을 합성하는 공정을 구비하고, 상기 합성공정은 네가원판의 좌표위치에 따라서 상기 돌출패턴의 폭, 돌출길이, 돌출각도 및 주패턴에 대한 돌출위치를 변화시키는 공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 원판.
19. 제18항에 있어서, 상기 노광공정은 1가지의 개공패턴의 주패턴을 노광하고 상기 합성공정은 상기 1가지의 주패턴의 구석부에 차례로 돌출패턴을 다중 노광하는 것을 특징으로 하는 원판.
20. 제18항에 있어서, 상기 노광공정은 상기 모든 개공패턴의 주패턴을 차례로 노광하고 상기 합성공정은 모든 주패턴의 제1구석부에 제1돌출패턴을 차례로 다중 노공하며, 다음으로 모든 주패턴의 제2구석부에 제2돌출패턴을 차례로 다중노광하고, 다음으로 모든 주패턴의 제3구석부에 제3돌출 패턴을 차례로 다중노광하고, 다음으로 모든 주패턴의 제4구석에 제4돌출패턴을 차례로 다중 노광하는 것을 특징으로 하는 원판.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.