KR920005797B1 - 전자광학장치 - Google Patents

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KR920005797B1
KR920005797B1 KR1019840007536A KR840007536A KR920005797B1 KR 920005797 B1 KR920005797 B1 KR 920005797B1 KR 1019840007536 A KR1019840007536 A KR 1019840007536A KR 840007536 A KR840007536 A KR 840007536A KR 920005797 B1 KR920005797 B1 KR 920005797B1
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아드리아누스 마리우스 반 알렘 안토니우스
에두아르드 반 로스마렌 게라르트
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엔.브이.필립스 글로아이람펜파브리켄
아이.엠.레르너
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Description

전자광학장치
제1도는 전자광학장치의 제1실시예의 분해 투시도.
제2도는 제1도에 도시된 전자광학장치를 렌즈설치대의 길이방향으로 절취한 부분 단면도.
제3도는 커브링 부분을 명확하게 나타내기 위해 절취한 본 발명의 제2실시예의 부분 투시도.
제4도는 제3실시예의 렌즈설치대 및 조정자수단의 분해도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 방사스폿 2 : 정보구조물
5 : 렌즈시스템 6 : 광학축
9 : 렌즈설치대 10 : 추축
13A : 원통형 코일 14B1, 14B2 : 영구자석
24 : 코일권형 30B : 조정자 수단
37B : 영구자석
본 발명은 이동정보캐리어의 정보구조물에 대한 방사스풋의 위치를 두방향으로 전기역학적으로 제어하기 위한 전자광학장치에 관한 것이다. 즉, 상기 두방향은 정보구조물상에 방사스폿을 집속하는 제1방향 및 정보구조물의 트랙을 따르기 위해 제1방향에 수직인 평면에 집속하기 위한 제2방향이며, 상기 장치는, 프레임과, 광학축을 가진 최소한 한 렌즈를 구비하는 렌즈시스템과, 렌즈시스템을 고정시키며 상기 광학축에 평행하며 간격을 기지는 추축주위의 프레임에 대해 제한된 범위만큼 선회할 수 있으며 추축을 따라 제한된 정도로 이동할 수 있는 렌즈설치대와, 상기 렌즈의 이동을 고정시키며 축이 추축으로되는 베어링 핀을 구비하며 베어링핀이 접합되는 최소한 한 베어링을 구비하는 지지수단과, 렌즈고정장치를 이동시키며 추축주위로 회전시키는 전기역학적 제1조정자 수단 및 제2조정자 수단을 구비한다.
광레코드 플레이어에 사용되기 위한 상기 광학장치는 유럽특허출원 제0068757호에 기술되어 있다. 상기 렌즈시스템은, 종단벽 및 상기 종단벽에 인접하는 원통형 슬리이브를 구비하는 렌즈설치대의 종단벽에서 편심되어 배치되어 있다. 슬리이브 베어링은 종단벽으로 부터 축방향으로 뻗어있으며 베어링핀 상에서 미끄러질 수 있다. 원통형 슬리이브는 축방향으로 이동될 수 있으며, 조정자수단의 부분을 형성하는 고정자 요크부분 사이의 틈새내에서 추축주위로 선회할 수 있다. 상기 고정자 요크에는 환형 영구자석이 제공되며 고정자는 렌즈설치대상에서 이동조정자수단과 함께 설치되어 있다. 상기 수단은 축방향으로 이동하기 위해 원통형 슬리이브 주위에 감겨진 코일을 구비하며 접착제에 의해 원통형 슬리이브에 고정되는 4개의 장방형코일을 구비하며 렌즈설치대를 추축으로 이동시키기 위해 원통형 슬리이브의 형태와 일치되게 구부러져 있다.
통상 상기 전자광학 장치는 방사스폿의 위치를 인정하게 제어하기 위해 큰 동적 대역폭을 가져야 한다. 큰동적 대역폭은 다른 이유에 있어서도 매우 중요하다. 즉, 동작제어시스템이 충격으로 야기되는 방사스폿의 위치 에러를 더욱 빨리 제거할 수 있으므로, 장치에 가해지는 충격에 대한 장치의 민감성은 감소된다. 특히, 전자 광학장치가 이동장치내에서 광오디오 레코드 플레이어와 함께 설치되어 있으며 제2원인의 중요성은 더욱 명백하게 나타난다.
상술된 전자광학장치는 외부충격에 민감하며 렌즈시스템의 편심위치 및 원통형 슬리이브내의 렌즈용적의 실체부분의 집중에 의해 충격에 천천히 대응한다. 따라서, 외부충격의 효과를 감소시키기 위해서는 소요되는 힘보다 더 많은 힘이 요구된다. 코일내에서 분산되는 열 및 요구되는 제어회로의 칫수를 고려하여서는 적은힘이 바람직하다. 또, 공지된 장치는 복잡한 구조로 되어있다.
본 발명의 목적은 외부충격에 민감하지 않으며, 큰 동적 대역폭을 가지며, 간단한 구조와 작은 칫수를 가진 전자광학장치를 제공하는 것이다.
본 발명은 렌즈고정장치가 렌즈시스템의 광학축 및 추축과 교차되는 선을 따라 최대길이방향으로 뻗어서 신장된 형태로 되어있으며 측면방향 칫수는 렌즈시스템의 직경의 2배 이상이 되지 않는 것을 특징으로 한다. 추축의 대향편에 위치하는 렌즈고정장치의 두 부분은 동일하거나 또는 거의 동일한 용적 및 용적분포를 가진다. 신장된 형태로 되어있기 때문에 렌즈 고정장치의 용적은 최소로 된다. 축방향 칫수는 렌즈시스템의 직경에 적합하게 될 수 있다. 렌즈 고정장치를 통해 우측으로 뻗어있는 개구내에 렌즈시스템이 배치되는 것이 요구될때, 렌즈시스템의 주위는 렌즈설치대 부분으로 둘러싸여지며, 렌즈설치대의 측방향 칫수가 렌즈시스템의 직경의 두배이상이 될 필요는 없다. 선회축의 대향편에 위치하는 렌즈 설치대의 두 부분이 동일한 용적 또는 동일한 용적분포를 가지므로, 렌즈고정장치는 정적 및 동적으로 안정된다. 이런결과로, 렌즈고정장치는 충격을 받지않으며 렌즈고정장치의 지지수단은 정보캐리어의 트랙을 따를때 렌즈고정장치의 지지수단은 힘을 변화시키지 않는다.
유럽 특허출원 제0074131호에는 방사스폿에 의해 광학디스크내 트랙을 수록 및 판독하기 위한 장치가 기술되어 있다.
상기 장치는 추축암 및 광학 디스크 정보 표면상에 방사빔을 집속시키기 위해 추축암에 대해 움직일 수 있는 렌즈시스템을 구비한다. 상기 목적으로 렌즈시스템은 판스프링에 의해 추축암으로부터 걸려있다. 추축암은 광학디스크의 전정보표면위에 방사스폿을 방사상으로 움직이게 하며 트래킹 에러를 수집하기 위해 추축주위로 선회할 수 있다.
상기 구조의 결점은 추축암의 큰 칫수는 및 큰 용적이 필요한 것이다. 따라서, 상기 장치는 비교적 높은 관성을 가진다. 상기 공지된 장치는 단지 작은 외부진동을 가질때 안전하게 된다. 그러나, 상기 장치가 큰 충격 및 진동을 가끔 받을때, 즉, 상기 장치가 이동용기 또는 기구내에서 사용될때, 동적대역폭이 너무 낮아서 방사스폿의 위치에서 결과로 나타나는 편차를 완전하게 제거하지 못한다. 외부효과를 제거하기 위해서는 큰 칫수 및 추축암의 큰 용적에 의한 힘이 요구된다. 용기내에 상기 장치가 있을 경우에 요구되는 힘이 배터리에 의해 제공되면 상기 요구사항은 문제점으로 될수 있다. 또, 공지된 장치내의 판 스프링이 계속 변형되어야 하므로 포커싱하기 위해서는 상당량의 전원이 요구된다.
본 발명의 장치는 상기 결점을 가지지 않는다. 왜냐하면 완전하게 다른 구조는 상기 장치의 칫수 및 중량을 실제로 감소시키기 때문이다. 유럽 특허출원 제0068757호의 전자광학장치와 부합되어, 베어링핀의 제1종단부는 프레임에 접속되며, 본 발명의 실시예는 베어링핀이 렌즈 고정장치를 통해 뻗어서 베어링핀의 제2종단부가 상기 고정장치로부터 돌출되어 있으며, 베어링핀은 얇은 가요성 금속와이어를 구비하며 베어링핀의 제2종단부는 프레임에 고정되는 지지대에 접속되어, 베어링핀의 최소한 한 종단부의 위치는 추축에 대해 횡단하는 방향에서 조정될 수 있다. 얇은 베어링핀을 사용함으로 베어링 및 렌즈설치대에 가해지는 마찰 토오크는 작아진다. 왜냐하면 마찰력이 작은 직경에 작용되기 때문이다. 베어링핀 한 종단부의 위치를 조정함으로 프레임에 접속되는 전자광학장치의 다른 부분에 대한 렌즈시스템의 광학축 방향에 있어서 적은 편차가 집중되는 것을 허용한다. 상기 실시예는 가격이 저렴한 베어링핀이 사용될 수 있는 전자광학 장치에서 나타나며, 간단하며 신속한 방법으로 설치될 수 있으며, 렌즈설치대는 주축이 이동하는 동안에 최소마찰을 받는다. 이런점에서 본 발명의 다른 실시예는 매우 중요하다. 상기 실시예에서 렌즈설치대는 베어링핀을 위해 두 각형 루비 베어링을 구비하며, 상기 베어링은 서로 간격을 가진다. 상기 베어링은 시판되고 있으며, 수명이 길고, 최소마찰을 발생시킨다.
전기역학 제어시스템의 최소 전력소비 관점에서, 본 발명의 실시예는 중요하며, 제1조정자 수단은 추축근처에서 렌즈설치대 종단부사이에 위치하며 제2조정자 수단은 렌즈 고정장치의 종단부 근처에 위치한다. 제2조정자 수단은 렌즈고정장치의 종단부상에 힘을 가하므로 주어진 크기만큼의 최대토오크가 가해질 수 있다. 렌즈고정장치상에서 축방향 힘으로 사용되는 제1조정자 수단은 렌즈고정장치의 종단부 사이에 배치되어 간편한 구조로 될수 있다.
본 발명의 또다른 실시예에서는 단순한 코일형태가 사용될 수 있으며 제1 및 제2조정자 수단은 렌즈고정장치상에 제1 및 제2영구자석 조정자 수단을 구비하며 프레임상에 제1 및 제2조정자 코일수단을 구비하며 제1 및 제2영구자석 조정자 수단은 최소한 부분적으로도 렌즈고정장치의 주위를 따라 위치하며 서로 축방향으로 간격을 가지며 조정자 코일수단이 렌즈고정장치의 주위에 위치하는 다수의 동축코일을 구비하며 틈새를 형성하며, 축방형으로 서로 간격을 가져서 공동 코일권형상에 배치되는 것을 특징으로 한다. 상기 코일은 간단히 공동코일권형 외부주위에 간단히 감겨진다. 이것은 간단한 공정이다. 첨부된 도면으로 후술하는 바와같이 코일권형은 렌즈설치대의 커버로 사용될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 있어서, 렌즈설치대 종단부에서 적은 공간을 차지하며 단지 두 조정자 코일로 작동될 수 있는 상기 장치는, 제1 및 제2영구자석 조정자 수단을 구비하여 상기 영구자석 조정자수단 각각은 주축 및 광학축을 포함하는 평면에 평행한 렌즈 설치대의 대향하는 긴 양편중의 한편에 배열된다. 렌즈설치대가 중앙에 위치할때, 렌즈설치대의 각 사이드에 위치하는 제1영구자석 조정자 수단은 광학축 및 추축을 포함하는 상기 평면에 수직으로 뻗어있으며 추축을 포함하는 평면내에 중심이 위치하는 축방향으로 자화된 제1영구자석을 구비하며, 렌즈설치대의 각편에 위치하는 제2영구자석 조정자 수단은 제1영구자석으로부터 동일한 거리에 제1영구자석 각각에 대향되는 양편상에 위치하는 두 영구자석을 구비하며, 제2영구자석 조정자수단의 자석은 광학축 및 추축을 포함하는 상기 평면에 평행한 동일한 방향으로 자화되며, 제1 및 제2조정자 수단은 프레임에 고정되는 결합된 두평면코일을 구비하며, 상기 평면에 평행한 렌즈설치대의 각편중의 한편은 광학축 및 추축을 포함하며, 각각의 제1영구자석은 코일의 턴 내부주위에 위치하며 각각의 제2영구자석은 최소한 추축에 평행하게 뻗어있는 코일턴을 향하고 있다.
이하 본 발명의 두 실시예는 첨부된 도면으로 더욱 상세하게 설명하기로 한다.
제1도 및 2도에 도시된 전자광학장치는 정보캐리어(3)의 정보조직(2)에 대한 방사스폿(1)의 위치를 역학적으로 제어하기 위한 것이며, 여기서는 단지 부분만이 도시되어 있다. 예로서, 정보캐리어는 광학오디오 디스크 또는 광학 비디오 디스크이다. 상기 장치는 프레임(4) 및 광학축(6)을 가진 렌즈시스템(5)을 구비한다. 렌지시스템은 프레임(4)에 배치되는 고정렌즈(7)을 구비하는 대물렌즈의 이동부를 형성한다. 프레임(4)의 내부에 위치하는 전자광학장치의 부분은 유럽 특허출원 제0077581호에 기술되어 있는 전자광학장치의 고정부와 동일할 수 있다. 상기 장치의 부분은 본 발명에 적합하지 않으므로 더 상세하게 설명하지 않는다. 상기 부분내에 배치되는 반도체 레이저는 렌즈시스템(5)에 의해 광스폿(1)에 집중되는 광빔(8)를 발생시킨다.
렌즈시스템(5)은 렌즈설치부(9)내에 설치되며 렌즈시스템의 광학축으로부터 평행하게 뻗어서 간격을 가지는 추축(10)주위의 프레임(4)에 대해 제한된 정도로 선회할 수 있다. 렌즈설치부도 광학축(10)을 따라 제한된 정도로 이동될 수 있다. 상기 두 이동은 방사스폿이 정보캐리어상의 정보조직(2)에 광학축(6)을 따르는 두 방향으로 추적하게 하며, 방사스폿이 정보조직상에 집속되며, 추축(10)주위의 원호형 방향 및 광학축에 수직인 평면에 집속되어, 방사스폿이 있는 정보조직의 트랙을 따르게 한다. 렌즈설치대의 상기 이동을 가능하게 하는 지지수단은 축이 주축(10)을 형성하는 베어링핀(11) 및 베어링핀 주위에 설치되며 축방향으로 서로 간격을 가지는 두 환형 베어링을 구비한다. 추축(10)을 따라 렌즈설치대(9)를 이동시키기 위해 프레임(4)상에 배치되는 코일(13A)의 형태로 전자기적으로 결합되어 있는 조정자 수단(13) 및 렌즈설치대 상에 배치되며 코일(13A)이 집중되어 있는 환형 영구자석이 제공된다. 추축주위에서 렌즈설치대의 선회이동을 위해 프레임(4)에 배치되는 두 코일(14A) 및 렌즈설치대(9)에 배치되는 영구자석(14B1) 및 (14B2)을 구비한다.
렌즈설치대(9)는 렌즈시스템(5)의 광학축 및 추축과 교차되는 라인을 따라 뻗어있는 최대 길이방향칫수를 가지며 본 실시예에서는 실제로 바형이다. 측방향 칫수는 렌즈시스템(5) 직경의 두배이하이다. 렌즈시스템(5)에 대한 추축(10)의 대향편의 위치에서 카운트 용적(15)은 렌즈설치대(9)내의 개구(16)내에 배치된다. 추축(10)의 대향편에 위치하는 렌즈설치대(9)의 두부분은 실제로 동일한 용적 및 용적분포를 가진다. 카운터 용적(15)의 재질, 칫수 및 위치를 선택함으로, 렌즈시스템(5)에 대한 축(10)의 대향편에 놓여지는 렌즈설치부의 용적 및 용적분포는 영향을 받을 수 있다. 제1도 및 2도에 도시된 렌즈설치부는 장방형 단면을 가진다. 본 발명의 범위내에서 렌즈설치부는 다른형태를 선택할 수 있다. 예로서, 추축의 한편에 위치하는 렌즈설치대의 형태는 다른편의 형태와 다를 수 있다. 렌즈설치대에 고정되는 분리형의 카운트 용적을 사용하는 것이 항상 필요한 것은 이니다. 카운트 용적 대신에 렌즈설치대의 집합부가 될수 있다.
베어링핀(11)의 제1종단부(11A)는 프레임(4)에 접속된다. 렌즈설치대를 통해 베어링핀이 뻗어 있으므로, 핀의 제2종단부(11B)가 렌즈설치대로 부터 뻗어있다. 베어링핀은 예로서 온스틸와이어인 얇은 가요성 금속와이어로 구성되어 있다. 렌즈설치대(9)는 프레임(4)에서 고정되는 커버(17)에 의해 덮혀 있으며 개구(18)로 형성되어 있으며, 베어링핀(11)의 제2종단부(11B)가 접촉하므로 커버(17)는 베어링핀(11)을 지지하기 위해 작용하다. 커버는 광빔(8)의 통로용으로 개구(19)를 역시 가진다. 커버(17)를 프레임(4)에 고착시키기 위해 3개의 볼트(20)가 커버의 플랜지(22)내의 직경이 볼트보다 약간 큰 구경(21)을 통과하며 프레임(4)의 나사형 구경(23)내에서 나사로 죄어진다. 베어링핀(11)의 종단부(11B)의 위치는 커버(17)를 이동시킴으로 추축(10)에 횡단하는 방향에서 조정될 수 있다. 이것은 렌즈시스템(5)의 광학축(6)의 위치는 프레임(4)내에 수용되는 광학장치의 부분에 대해 장치조립체가 일렬로 배치되는 동안에 어느정도 영향을 받는다.
두 베어링(12)은 환형 루비베어링이며, 클럭 및 정밀기구로 가끔 사용된다.
제2조정자 수단(14A) 및 (14B)는 렌즈 설치대(9)의 종단부에 인접하게 위치한다. 제1도에 도시된 바와같이, 코일(14A)은 장방형이다. 관련된 두 영구자석(14B)은 장방형 코일(14)의 양편에 설치되어 있다. 상기 자석 각각은 각 코일의 평면에 수직방향으로 자화되며, 자석의 한면에 인접한 자석 벡터는 다른면의 벡터와 반대로 된다. 왜냐하면 코일(14A)중의 한 턴에서의 전류방향은 다른 코일의 턴에서의 전류방향과 반대로 되기 때문이다. 따라서, 두 코일은 렌즈설치대(9)의 종단부상에 동일한 선회력을 가한다. 제1조정자 수단(13A) 및 (13B)은 추축(10)에 인접하는 렌즈 설치대 종단부 사이에 배치된다. 원통형 코일(13A)는 코일권형(24)상에 감겨져 있으며, 상기 코일권형은 접착제와 같은 적절한 수단에 의해 프레임(4)에 접속된다. 영구자석(13B)은 축방향으로 자화되며 철홀더(25)상에 배치된다. 따라서, 영구자석의 자기장은 어느정도 차폐되며 코일(13A)부근에 집중된다. 홀더(25)는 루비 베어링(12)를 지지하기 위해 역시 사용된다.
코일(13A)의 코일리드 및 두 코일(14A)의 코일리드는 프레임(4)상부의 접촉판(27)상에서 핀(26)에 접속된다. 상기 코일의 전기접속부 및 프레임(4)내부의 전자광학장치의 부분에 속하는 전기부 및 다극커넥터(28)는 프레임상에 배치된다.
제3도에 도시된 실시예는 제1도 및 2도에 도시된 실시예와 어느점에서 매우 유사하다. 예로서, 프레임(29)은 코일(13A) 및 (14A)이 생략되며 프레임(4)과 동일하다. 차이점은 제3도에 도시된 장치의 상부에만 한정된다. 제1 및 제2조정자 수단은 제1영구자석 조정자수단(30B) 및 제2영구자석 조정자수단(37B) 각각을 구비하며, 렌즈시스템(32) 및 카운트용적(33)과 함께 렌즈 설치대(31)의 부분을 형성한다. 렌즈 시스템은 광학축(34)을 가지며 베어링핀(36)의 축에 의해 형성되는 추축(35)을 따라 이동하며 선회할 수 있다. 영구자석(30B)은 화살표로 나타낸 북극 및 남극을 각각 가리키는 N 및 S부호의 방향으로 각각 자화된다. 제2영구자석 조정자 수단(37B)은 관련 화살표로 나타낸 추축(35)에 횡단하는 반대방향으로 자화되는 영구자석(37B1) 및 (37B2)을 구비한다. 두 코일(30A) 및 (37A)은 코일권형(38)상에서 서로 축방향으로 간격을 가지며, 상기 코일은 렌즈설치대(31)용 커버로서 작동하며 베어링핀(36)의 제2종단부(36B)용 지지대로 작용한다. 축방향으로 간격을 가진 두 코일(30A)을 사용함으로 비교적 큰 스토로크 및 실제로 선형특성을 가지며 조정자를 구성하는 축방향으로 자화된 영구자석(30B)과 결합되는 코일배치가 얻어진다.
제4도는 상술된 실시예와 특히 다른 부분을 간단하게 도시한 것이다. 렌즈설치대(38)는 축(45)을 따라 선회할 수 있으며 중간부(39) 및 카운터용적(40)을 구비한다. 상기 카운트 용적은 중간부와 함께 구성되어 있다. 렌즈시스템의 광학축은 쇄선(44)으로 나타나 있다. 도면은 한 긴 축방부 및 동일한 다른 축방부를 단지 도시한 것이며, 축방부에 설치된 자석은 동일하다. 제2조정자 수단은 렌즈 설치부의 두 대향편의 한편에 설치되는 제2자석(43) 및 제1자석(42)을 구비한다. 상기 자석은 접착제 수단에 의해 중간부(39)에 모두 고착되어 있다.
제2조정자 수단은 두 코일(46)을 구비한다. 상기 코일은 제1도의 코일(14A,B)과 동일한 방법으로 프레임에 고착된다. 제1자석(42)은 코일의 돌출된 내부주위에 위치하여, 축방향 힘을 받을 수 있다. 코일을 같은 위상 및 반대위상으로 활성화시킴으로, 축방향 힘은 서로 상쇄되며, 추축방향의 힘은 상쇄되지 않으며, 역으로 추축방향의 힘은 상쇄되며, 축방향 힘이 생쇄되지 않는다. 대향 위상의 정도에 영향을 야기시킴으로 한 타입 또는 다른타입의 힘이 가해질 정도의 영향이 가해질 수 있다.

Claims (6)

  1. 이동정보캐리어의 정보구조물에 대해 정보구조물에 방사스폿을 집속하기 위한 제1방향 및 정보구조물의 트랙을 따르기 위해 제1방향에 수직인 평면에서의 제2방향인 두방향으로 방사스폿의 위치를 전기역학적으로 제어하기 위한 전자광학장치에 있어서, 프레임과, 광학축을 가진 최소한 한 렌즈를 구비하는 렌즈시스템과, 렌즈시스템이 고착되는 렌즈설치대와, 여기서 렌즈설치대는 상기 광학축으로부터 평행하게 간격을 가지는 추축 주위의 프레임에 대해 제한된 정도로 선회할 수 있으며 추축을 따라 제한된 정도로 역시 이동할 수 있다. 렌즈설치대의 상기 이동을 가능하게 하며 축이 추축을 형성하며 베어링핀이 접합되는 최소한 한 베어링을 구비하는 지지수단과, 추축주위를 따라 선회할 수 있으며 렌즈설치대를 이동시킬 수 있는 전자기적 제1 및 제2조정자 수단을 구비하여, 렌즈설치대는 렌즈시스템의 광학축 및 추축과 교차하는 라인을 따라 뻗어있는 최대길이방향 칫수을 가지며 축방향 칫수가 렌즈시스템 직경의 두배이하가 되며, 렌즈설치대의 두 부분은 동일하거나 또는 거의 동일한 용적 및 용적분포를 가지는 추축의 대향편에 위치하는 것을 특징으로 하는 전자광학장치.
  2. 제1항의 전자광학장치에 있어서, 베어링핀의 제1종단부는 프레임에 접속되며, 베어링핀은 렌즈설치대를 통해 뻗으며 상기 베어링핀의 제2종단부는 렌즈설치대로부터 돌출되어 있으며, 베어링핀은 얇은 가요성 금속와이어를 구비하며, 베어링핀의 제2종단부는 프레임에 고착되는 지지대에 접속되며, 베어링핀의 최소한 한 종단부의 위치는 추축에 횡단하는 방향에서 조정될 수 있는 것을 특징으로 하는 전자광학장치.
  3. 제2항의 전자광학장치에 있어서, 렌즈설치대는 서로 간격을 가지며 베어링핀용의 환형의 두 루비베어링을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자광학장치.
  4. 제1항의 전자광학장치에 있어서, 제1조정자 수단은 추축에 인접하는 렌즈설치부의 종단부 사이에 위치하며, 제2조정자 수단은 렌즈설치부의 종단부에 인접하게 위치하는 것을 특징으로 하는 전자광학장치.
  5. 제1항의 전자광학장치에 있어서, 제1 및 제2조정자 수단은 렌즈설치대상의 제1 및 제2영구자석 조정자수단 및 프레임상의 제1 및 제2조정자 코일 수단을 구비하며, 제1 및 제2영구자석 조정자 수단은 최소한 부분적으로 렌즈설치대 주위를 따라 위치하며 축방향으로 서로 간격을 가지며, 조정자 코일수단은 틈새를 형성하기 위해 렌즈설치대 주위에 위치하는 다수의 동축코일을 구비하며, 상기 코일은 서로 축방향으로 간격을 가져서 코일권형에 배치되는 것을 특징으로 하는 전자광학장치.
  6. 제2항의 전자광학장치에 있어서, 제1 및 제2조정자수단은 제1 및 제2영구자석 조정자 수단을 구비하며 상기 수단 각각은 렌즈 설치대가 중앙에 놓여질때 추축 및 광학축을 포함하는 평면에 평행한 렌즈설치대의 두 대향편의 한편에 각각 배치되며, 렌즈설치대 각편에 놓여지는 제1영구자석 조정자 수단은 추축을 포함하며 추축 및 광학축을 포함하는 상기 평면에 수직으로 뻗어있는 평면에 중심이 위치하며, 축방향으로 자화된 제1영구자석을 구비하며, 렌즈설치대 각편에 놓여지는 제2영구자석 조정자 수단은 제1영구자석 조정자로부터 동일한 거리에서 대향편에 위치하는 두 영구자석을 구비하며, 제2영구자석 조정자 수단의 자석은 광학축 및 추축을 포함하는 상기 평면에 동일한 방향으로 평행하게 자화되며, 제1 및 제2조정자 수단은 프레임에 고착되는 결합된 두 평면코일을 구비하며, 렌즈설치대의 각편에 위치하는 코일은 광학축 및 추축을 포함하는 상기 평면에 평행하며, 각각의 제1영구자석은 코일턴의 돌출된 내부주위에 위치하며 각각의 제2영구자석은 추축에 평행하게 뻗어있는 코일턴에 마주보게 배치되는 것을 특징으로 하는 전자광학장치.
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