KR920000980A - 태양전지의 기재로서 주상구조의 실리콘블록을 캐스팅하는 방법 및 그 장치 - Google Patents
태양전지의 기재로서 주상구조의 실리콘블록을 캐스팅하는 방법 및 그 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR920000980A KR920000980A KR1019910009777A KR910009777A KR920000980A KR 920000980 A KR920000980 A KR 920000980A KR 1019910009777 A KR1019910009777 A KR 1019910009777A KR 910009777 A KR910009777 A KR 910009777A KR 920000980 A KR920000980 A KR 920000980A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- mold
- heating zone
- molten silicon
- station
- heating
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B11/00—Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
- C30B11/02—Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method without using solvents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
- C30B29/06—Silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B11/00—Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
- C30B11/002—Crucibles or containers for supporting the melt
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B11/00—Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
- C30B11/003—Heating or cooling of the melt or the crystallised material
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/546—Polycrystalline silicon PV cells
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
첨부도면은 본 발명의 방법을 실시하는데 적합한 장치의 1실시예를 나타낸다.
Claims (10)
- 도입고형실리콘을 용융스테이션에서 열을 공급시켜 점진적으로 용융시키고 계속적으로 또는 단계적으로 그 스테이션에서 이탈시켜 몰드로 공급하고 그 몰드에서 고형화 시키도록 하는 태양전지의 기재로서 다결정성 실리콘블록을 캐스팅하는 방법에 있어서, 그 캐스팅스텝의 초기단계에서 고형화실리콘과 용융실리콘사이의 저면영역에서 몰드횡단면에 걸쳐 형성되고, 그 몰드의 저면영역을 포위하는 가열영역에 의해 안정화시키는 정출정면(crystallization front)을 발생시키며, 그 용융스테이션에서 용융실리콘을 공급하는 캐스팅스텝(casting step)의 또 다른 과정에서 그 몰드와 가열영역사이에서의 상대운동에 의해 그 가열영역내에서 유지되는 그 정출정면을 그 상승하는 충전레벨로 조절하며, 그 용융스테이션의 열공급에 의해 제어시켜 공급한 용융물량을 매칭(matching)함으로써 그 정출정면상에 중첩시킨 용융실리콘의 용융레벨을 그 가열영역의 에너지공급으로 제어시킴을 특징으로 하는 상기 캐스팅하는 방법.
- 제1항 있어서, 상기 정출정면은 거의 평편한 레벨에서 안정화시킴을 특징으로 하는 상기 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 정출정면상에 충첩된 용융실리콘의 용융높이 20~50㎜의 범위에서 유지함을 특징으로 하는 상기 방법.
- 제1항 내지 제3항중 어느 한항에 있어서, 상기몰드의 충전레벨은 중량증가에 의해 감시함을 특징으로 하는 상기 방법.
- 제1항 내지 제4항중 어느 한항에 있어서, 상기 가열영역의 높이는 그 몰드 직경의 0.1~0.5배에 해당함을 특징으로 하는 상기 방법.
- 제1항 내지 제5항중 어느 한항에 있어서, 상기 고화(Solidification)는 4㎜/분까지의 속도로 실시함을 특징으로 하는 상기 방법.
- 용융시키는 실리콘의 연속적 또는 주기적인 공급과 용융시릴콘의 연속적인 이탈을 하도록하며 그 용융실리콘을 수용하는데 적합한 몰드를 사용하여 충전할 수 있는 적어도 하나의 정출스테이션(Crystalization station)을 접속하고, 몰드를 포위하는 가열영역을 구성하고 그 몰드의 높이가 그 외경의 0.1~0.5배에 해당하는 몰드를 가열시키는 수단과, 그 가열영역과 그 몰드 사이에서 수직상대운동을 하도록 한 수단을 포함하는 가열할 수 있는 용융스테이션을 포함하며 청구범위 제1항 내지 제6항의 방법을 실시하는 장치.
- 제7항에 있어서, 상기 가열영역은 그 몰드를 수직으로 포위하며 유도시켜 가열할 수 있는 재질로 구성되는 벽(wall)과, 그 벽을 포위하는 수직운동이 가능한 유도가열코일에 의해 형성되고 그 벽의 높이는 몰드의 외경의 0.1~0.5배에 해당하도록 구성함을 특징으로 하는 상기 장치.
- 제7항 또는 제8항에 있어서, 그 장치는 필요할 경우 가열할 수 있는 플레이트를 구성하여 그 용융 스테리이션과 정출스테이션 사이에 그 플레이트를 간삽하고 용융실리콘의 통로오리피스를 구성함을 특징으로 하는 상기 장치.
- 제7항 내지 제9항 중 어느 한항에 있어서, 그 장치는 용융실리콘의 취입(intake)에 의해 발생한 몰드의 중량증가를 검출하는 중량센서(weight sensor)과, 용융스테이션과 가열영역의 가열 및 몰드와 가열영역사이의 상대운동에 대한 제어 파라미터를 중량신호(weight signal)로 부터 유도하는 제어장치를 구성함을 특징으로 하는 상기 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4018967A DE4018967A1 (de) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | Verfahren und vorrichtung zum giessen von siliciumbloecken mit kolumnarstruktur als grundmaterial fuer solarzellen |
DEP4018967.8 | 1990-06-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR920000980A true KR920000980A (ko) | 1992-01-29 |
Family
ID=6408361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019910009777A KR920000980A (ko) | 1990-06-13 | 1991-06-13 | 태양전지의 기재로서 주상구조의 실리콘블록을 캐스팅하는 방법 및 그 장치 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5254300A (ko) |
EP (1) | EP0462494A1 (ko) |
JP (1) | JPH04240192A (ko) |
KR (1) | KR920000980A (ko) |
CA (1) | CA2044389A1 (ko) |
DE (1) | DE4018967A1 (ko) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998016466A1 (fr) * | 1996-10-14 | 1998-04-23 | Kawasaki Steel Corporation | Procede et appareil de preparation de silicium polycristallin et procede de preparation d'un substrat en silicium pour cellule solaire |
DE69621348T2 (de) * | 1996-10-14 | 2002-09-05 | Kawasaki Steel Corp., Kobe | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von polykristallinem silizium und verfahren zur herstellung eines siliziumsubstrats für eine solarzelle |
DE19711550C2 (de) * | 1997-03-20 | 2000-06-21 | Bayer Ag | Verfahren zur Herstellung von im wesentlichen Randzonen-freien Formteilen aus multikristallinem Silicium und die Verwendung dieser Formteile |
DE19854838A1 (de) * | 1998-11-27 | 2000-05-31 | Bayer Solar Gmbh | Gerichtet erstarrtes multikristallines Silicium sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
JP3872233B2 (ja) * | 1999-06-29 | 2007-01-24 | 京セラ株式会社 | シリコン鋳造方法 |
DE19934940C2 (de) * | 1999-07-26 | 2001-12-13 | Ald Vacuum Techn Ag | Vorrichtung zum Herstellen von gerichtet erstarrten Blöcken und Betriebsverfahren hierfür |
JP2002170780A (ja) * | 2000-12-01 | 2002-06-14 | Sharp Corp | ルツボおよびそれを使用した多結晶シリコンの成長方法 |
US8021483B2 (en) * | 2002-02-20 | 2011-09-20 | Hemlock Semiconductor Corporation | Flowable chips and methods for the preparation and use of same, and apparatus for use in the methods |
DE10339402B4 (de) * | 2003-08-27 | 2011-02-24 | Crystal Growing Systems Gmbh | Schmelzvorrichtung mit einem Schmelztiegel sowie Verfahren zum Zuführen von Granulat in eine im Schmelztiegel vorhandene Schmelze |
US7556764B2 (en) * | 2005-11-09 | 2009-07-07 | Heraeus Shin-Etsu America, Inc. | Silica vessel with nozzle and method of making |
DE102007038851A1 (de) * | 2007-08-16 | 2009-02-19 | Schott Ag | Verfahren zur Herstellung von monokristallinen Metall- oder Halbmetallkörpern |
TW200938664A (en) † | 2007-12-19 | 2009-09-16 | Schott Ag | Method for producing a monocrystalline or polycrystalline semiconductor material |
TW200930851A (en) * | 2008-01-03 | 2009-07-16 | Green Energy Technology Inc | Crystal growth furnace having guiding structure for overflow slurry |
DE102009022412A1 (de) * | 2009-05-22 | 2010-11-25 | Ald Vacuum Technologies Gmbh | Vorrichtung zum gerichteten Erstarren geschmolzener Metalle |
DE102009034145B4 (de) | 2009-07-20 | 2015-10-22 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung, Verwendung der Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Ingots aus multikristallinem Silizium |
DE102010048602A1 (de) * | 2010-10-15 | 2012-04-19 | Centrotherm Sitec Gmbh | Schmelztiegel für Silizium, Schmelztiegelanordnung und Trenneinheit für einen Schmelztiegel |
US9352389B2 (en) | 2011-09-16 | 2016-05-31 | Silicor Materials, Inc. | Directional solidification system and method |
US20130192302A1 (en) * | 2012-02-01 | 2013-08-01 | Memc Singapore Pte. Ltd. (Uen200614794D) | Crucibles for holding molten material and methods for producing them and for their use |
DE102013203740B4 (de) * | 2013-03-05 | 2020-06-18 | Solarworld Industries Gmbh | Vorrichtung und Vefahren zur Herstellung von Silizium-Blöcken |
TWI643983B (zh) * | 2013-03-14 | 2018-12-11 | 美商希利柯爾材料股份有限公司 | 定向凝固系統及方法 |
JP6711327B2 (ja) * | 2017-07-18 | 2020-06-17 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハ製造工程の評価方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2508803C3 (de) * | 1975-02-28 | 1982-07-08 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen | Verfahren zur Herstellung plattenförmiger Siliciumkristalle mit Kolumnarstruktur |
US4256681A (en) * | 1976-12-16 | 1981-03-17 | Semix Incorporated | Method of producing semicrystalline silicon |
DE2925679A1 (de) * | 1979-06-26 | 1981-01-22 | Heliotronic Gmbh | Verfahren zur herstellung von siliciumstaeben |
EP0055310A1 (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-07 | Semix Incorporated | Method and apparatus for the continuous casting of silicon |
JPS5819639A (ja) * | 1981-07-29 | 1983-02-04 | Toyoda Autom Loom Works Ltd | 冷房装置における可変容量圧縮機の運転制御方法 |
DE3427465A1 (de) * | 1984-07-25 | 1986-01-30 | Heliotronic Forschungs- und Entwicklungsgesellschaft für Solarzellen-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen | Verfahren und vorrichtung zur taktweisen herstellung von siliciumformkoerpern |
DE3531610A1 (de) * | 1985-09-04 | 1987-03-05 | Wacker Chemitronic | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von siliciumstaeben |
DE3536743C2 (de) * | 1985-10-15 | 1994-11-10 | Siemens Ag | Verfahren zum Herstellung von großflächigen Siliziumkristallkörpern für Solarzellen |
JP2657240B2 (ja) * | 1988-04-15 | 1997-09-24 | 住友シチックス株式会社 | シリコン鋳造装置 |
US4834382A (en) * | 1988-06-13 | 1989-05-30 | Donald Spector | Inflatable play ball |
JP2660225B2 (ja) * | 1988-08-11 | 1997-10-08 | 住友シチックス株式会社 | シリコン鋳造装置 |
-
1990
- 1990-06-13 DE DE4018967A patent/DE4018967A1/de not_active Withdrawn
-
1991
- 1991-06-07 US US07/712,340 patent/US5254300A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-06-10 JP JP3163327A patent/JPH04240192A/ja active Pending
- 1991-06-11 EP EP91109551A patent/EP0462494A1/de not_active Withdrawn
- 1991-06-12 CA CA002044389A patent/CA2044389A1/en not_active Abandoned
- 1991-06-13 KR KR1019910009777A patent/KR920000980A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2044389A1 (en) | 1991-12-14 |
EP0462494A1 (de) | 1991-12-27 |
US5254300A (en) | 1993-10-19 |
JPH04240192A (ja) | 1992-08-27 |
DE4018967A1 (de) | 1991-12-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR920000980A (ko) | 태양전지의 기재로서 주상구조의 실리콘블록을 캐스팅하는 방법 및 그 장치 | |
KR910003477B1 (ko) | 고온 용융물의 정량배출방법 | |
CA1328977C (en) | Continuous casting of fine grain ingots | |
FR2595716B1 (fr) | Procede et dispositif pour l'elaboration de materiaux refractaires par induction | |
FR2764877B1 (fr) | Procede de vitrification d'un materiau pulverulent et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede | |
GB9815357D0 (en) | Improvements in and relating to the manufacture of synthetic vitreous silica ingot | |
KR960017934A (ko) | 초크랄스키 단결정 성장에서의 실리콘 입상원료의 공급방법 및 그의 공급장치 | |
SU1528335A3 (ru) | Способ управлени запуском установки непрерывной разливки металла | |
JPS6156754A (ja) | 水平式連続鋳造設備 | |
KR860000126B1 (ko) | 얇은 스트립을 연속적으로 주조하기 위한 전자기 주조법 | |
US5416796A (en) | Float melting apparatus and method employing axially movable crucibles | |
US5309976A (en) | Continuous pour directional solidification method | |
IL34591A (en) | Method and apparatus for forming directionally solidified articles by a consumable arc melting technique | |
NO20045319L (no) | Anordning for fremstilling av krystallstaver med definert tverrsnitt og polykrystallinsk struktur ved hjelp av digelfri kontinuerlig krystallisasjon | |
JPH0664913A (ja) | シリコン等多結晶質物体の鋳造方法 | |
US9434000B2 (en) | System and method of forming a solid casting | |
JP3386335B2 (ja) | 単結晶成長方法及び装置 | |
DE3881389D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum direkten giessen von metallbaendern. | |
SU1201053A1 (ru) | Устройство дл направленного затвердевани | |
SE8206843D0 (sv) | Forfarande vid gjutning av metallsmelta samt anordning for utforande av forfarandet | |
SU1748922A1 (ru) | Способ вертикального непрерывного лить полых заготовок и устройство дл его осуществлени | |
HUT63121A (en) | Process and device for producing mineral fibres | |
JPH0619539Y2 (ja) | ガラス溶融炉 | |
KR100273912B1 (ko) | 부상용해장치 및 그 운전방법 | |
SU806238A1 (ru) | Установка непрерывного или полу-НЕпРЕРыВНОгО лиТь СлиТКОВ B элЕКТРО-МАгНиТНОМ КРиСТАллизАТОРЕ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |