KR920000980A - 태양전지의 기재로서 주상구조의 실리콘블록을 캐스팅하는 방법 및 그 장치 - Google Patents

태양전지의 기재로서 주상구조의 실리콘블록을 캐스팅하는 방법 및 그 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR920000980A
KR920000980A KR1019910009777A KR910009777A KR920000980A KR 920000980 A KR920000980 A KR 920000980A KR 1019910009777 A KR1019910009777 A KR 1019910009777A KR 910009777 A KR910009777 A KR 910009777A KR 920000980 A KR920000980 A KR 920000980A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mold
heating zone
molten silicon
station
heating
Prior art date
Application number
KR1019910009777A
Other languages
English (en)
Inventor
프리바서 게오로그
허버 로타
스파트지어 게르하르트
Original Assignee
게. 시르베, 아르. 뢰머
와커-헤미트로닉 게셀샤프트 퍼 에렉트로닉-그룬드스토페엠베하
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 게. 시르베, 아르. 뢰머, 와커-헤미트로닉 게셀샤프트 퍼 에렉트로닉-그룬드스토페엠베하 filed Critical 게. 시르베, 아르. 뢰머
Publication of KR920000980A publication Critical patent/KR920000980A/ko

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B11/00Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
    • C30B11/02Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method without using solvents
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/02Elements
    • C30B29/06Silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B11/00Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
    • C30B11/002Crucibles or containers for supporting the melt
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B11/00Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
    • C30B11/003Heating or cooling of the melt or the crystallised material
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/546Polycrystalline silicon PV cells

Abstract

내용 없음

Description

태양전지의 기재로서 주상구조의 실리콘블록을 캐스팅하는 방법 및 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
첨부도면은 본 발명의 방법을 실시하는데 적합한 장치의 1실시예를 나타낸다.

Claims (10)

  1. 도입고형실리콘을 용융스테이션에서 열을 공급시켜 점진적으로 용융시키고 계속적으로 또는 단계적으로 그 스테이션에서 이탈시켜 몰드로 공급하고 그 몰드에서 고형화 시키도록 하는 태양전지의 기재로서 다결정성 실리콘블록을 캐스팅하는 방법에 있어서, 그 캐스팅스텝의 초기단계에서 고형화실리콘과 용융실리콘사이의 저면영역에서 몰드횡단면에 걸쳐 형성되고, 그 몰드의 저면영역을 포위하는 가열영역에 의해 안정화시키는 정출정면(crystallization front)을 발생시키며, 그 용융스테이션에서 용융실리콘을 공급하는 캐스팅스텝(casting step)의 또 다른 과정에서 그 몰드와 가열영역사이에서의 상대운동에 의해 그 가열영역내에서 유지되는 그 정출정면을 그 상승하는 충전레벨로 조절하며, 그 용융스테이션의 열공급에 의해 제어시켜 공급한 용융물량을 매칭(matching)함으로써 그 정출정면상에 중첩시킨 용융실리콘의 용융레벨을 그 가열영역의 에너지공급으로 제어시킴을 특징으로 하는 상기 캐스팅하는 방법.
  2. 제1항 있어서, 상기 정출정면은 거의 평편한 레벨에서 안정화시킴을 특징으로 하는 상기 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 정출정면상에 충첩된 용융실리콘의 용융높이 20~50㎜의 범위에서 유지함을 특징으로 하는 상기 방법.
  4. 제1항 내지 제3항중 어느 한항에 있어서, 상기몰드의 충전레벨은 중량증가에 의해 감시함을 특징으로 하는 상기 방법.
  5. 제1항 내지 제4항중 어느 한항에 있어서, 상기 가열영역의 높이는 그 몰드 직경의 0.1~0.5배에 해당함을 특징으로 하는 상기 방법.
  6. 제1항 내지 제5항중 어느 한항에 있어서, 상기 고화(Solidification)는 4㎜/분까지의 속도로 실시함을 특징으로 하는 상기 방법.
  7. 용융시키는 실리콘의 연속적 또는 주기적인 공급과 용융시릴콘의 연속적인 이탈을 하도록하며 그 용융실리콘을 수용하는데 적합한 몰드를 사용하여 충전할 수 있는 적어도 하나의 정출스테이션(Crystalization station)을 접속하고, 몰드를 포위하는 가열영역을 구성하고 그 몰드의 높이가 그 외경의 0.1~0.5배에 해당하는 몰드를 가열시키는 수단과, 그 가열영역과 그 몰드 사이에서 수직상대운동을 하도록 한 수단을 포함하는 가열할 수 있는 용융스테이션을 포함하며 청구범위 제1항 내지 제6항의 방법을 실시하는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 가열영역은 그 몰드를 수직으로 포위하며 유도시켜 가열할 수 있는 재질로 구성되는 벽(wall)과, 그 벽을 포위하는 수직운동이 가능한 유도가열코일에 의해 형성되고 그 벽의 높이는 몰드의 외경의 0.1~0.5배에 해당하도록 구성함을 특징으로 하는 상기 장치.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서, 그 장치는 필요할 경우 가열할 수 있는 플레이트를 구성하여 그 용융 스테리이션과 정출스테이션 사이에 그 플레이트를 간삽하고 용융실리콘의 통로오리피스를 구성함을 특징으로 하는 상기 장치.
  10. 제7항 내지 제9항 중 어느 한항에 있어서, 그 장치는 용융실리콘의 취입(intake)에 의해 발생한 몰드의 중량증가를 검출하는 중량센서(weight sensor)과, 용융스테이션과 가열영역의 가열 및 몰드와 가열영역사이의 상대운동에 대한 제어 파라미터를 중량신호(weight signal)로 부터 유도하는 제어장치를 구성함을 특징으로 하는 상기 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019910009777A 1990-06-13 1991-06-13 태양전지의 기재로서 주상구조의 실리콘블록을 캐스팅하는 방법 및 그 장치 KR920000980A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEP4018967.8 1990-06-13
DE4018967A DE4018967A1 (de) 1990-06-13 1990-06-13 Verfahren und vorrichtung zum giessen von siliciumbloecken mit kolumnarstruktur als grundmaterial fuer solarzellen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR920000980A true KR920000980A (ko) 1992-01-29

Family

ID=6408361

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019910009777A KR920000980A (ko) 1990-06-13 1991-06-13 태양전지의 기재로서 주상구조의 실리콘블록을 캐스팅하는 방법 및 그 장치

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5254300A (ko)
EP (1) EP0462494A1 (ko)
JP (1) JPH04240192A (ko)
KR (1) KR920000980A (ko)
CA (1) CA2044389A1 (ko)
DE (1) DE4018967A1 (ko)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100263220B1 (ko) * 1996-10-14 2000-09-01 에모토 간지 다결정실리콘의 제조방법과 장치 및 태양전지용실리콘기판의 제조방법
WO1998016466A1 (fr) * 1996-10-14 1998-04-23 Kawasaki Steel Corporation Procede et appareil de preparation de silicium polycristallin et procede de preparation d'un substrat en silicium pour cellule solaire
DE19711550C2 (de) * 1997-03-20 2000-06-21 Bayer Ag Verfahren zur Herstellung von im wesentlichen Randzonen-freien Formteilen aus multikristallinem Silicium und die Verwendung dieser Formteile
DE19854838A1 (de) * 1998-11-27 2000-05-31 Bayer Solar Gmbh Gerichtet erstarrtes multikristallines Silicium sowie Verfahren zu dessen Herstellung
JP3872233B2 (ja) * 1999-06-29 2007-01-24 京セラ株式会社 シリコン鋳造方法
DE19934940C2 (de) * 1999-07-26 2001-12-13 Ald Vacuum Techn Ag Vorrichtung zum Herstellen von gerichtet erstarrten Blöcken und Betriebsverfahren hierfür
JP2002170780A (ja) * 2000-12-01 2002-06-14 Sharp Corp ルツボおよびそれを使用した多結晶シリコンの成長方法
US8021483B2 (en) * 2002-02-20 2011-09-20 Hemlock Semiconductor Corporation Flowable chips and methods for the preparation and use of same, and apparatus for use in the methods
DE10339402B4 (de) * 2003-08-27 2011-02-24 Crystal Growing Systems Gmbh Schmelzvorrichtung mit einem Schmelztiegel sowie Verfahren zum Zuführen von Granulat in eine im Schmelztiegel vorhandene Schmelze
US7556764B2 (en) * 2005-11-09 2009-07-07 Heraeus Shin-Etsu America, Inc. Silica vessel with nozzle and method of making
DE102007038851A1 (de) * 2007-08-16 2009-02-19 Schott Ag Verfahren zur Herstellung von monokristallinen Metall- oder Halbmetallkörpern
TW200938664A (en) 2007-12-19 2009-09-16 Schott Ag Method for producing a monocrystalline or polycrystalline semiconductor material
TW200930851A (en) * 2008-01-03 2009-07-16 Green Energy Technology Inc Crystal growth furnace having guiding structure for overflow slurry
DE102009022412A1 (de) * 2009-05-22 2010-11-25 Ald Vacuum Technologies Gmbh Vorrichtung zum gerichteten Erstarren geschmolzener Metalle
DE102009034145B4 (de) 2009-07-20 2015-10-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung, Verwendung der Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Ingots aus multikristallinem Silizium
DE102010048602A1 (de) * 2010-10-15 2012-04-19 Centrotherm Sitec Gmbh Schmelztiegel für Silizium, Schmelztiegelanordnung und Trenneinheit für einen Schmelztiegel
US9352389B2 (en) 2011-09-16 2016-05-31 Silicor Materials, Inc. Directional solidification system and method
US20130192302A1 (en) * 2012-02-01 2013-08-01 Memc Singapore Pte. Ltd. (Uen200614794D) Crucibles for holding molten material and methods for producing them and for their use
DE102013203740B4 (de) * 2013-03-05 2020-06-18 Solarworld Industries Gmbh Vorrichtung und Vefahren zur Herstellung von Silizium-Blöcken
TWI643983B (zh) * 2013-03-14 2018-12-11 美商希利柯爾材料股份有限公司 定向凝固系統及方法
JP6711327B2 (ja) * 2017-07-18 2020-06-17 株式会社Sumco シリコンウェーハ製造工程の評価方法およびシリコンウェーハの製造方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2508803C3 (de) * 1975-02-28 1982-07-08 Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen Verfahren zur Herstellung plattenförmiger Siliciumkristalle mit Kolumnarstruktur
US4256681A (en) * 1976-12-16 1981-03-17 Semix Incorporated Method of producing semicrystalline silicon
DE2925679A1 (de) * 1979-06-26 1981-01-22 Heliotronic Gmbh Verfahren zur herstellung von siliciumstaeben
EP0055310A1 (en) * 1980-12-29 1982-07-07 Semix Incorporated Method and apparatus for the continuous casting of silicon
JPS5819639A (ja) * 1981-07-29 1983-02-04 Toyoda Autom Loom Works Ltd 冷房装置における可変容量圧縮機の運転制御方法
DE3427465A1 (de) * 1984-07-25 1986-01-30 Heliotronic Forschungs- und Entwicklungsgesellschaft für Solarzellen-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen Verfahren und vorrichtung zur taktweisen herstellung von siliciumformkoerpern
DE3531610A1 (de) * 1985-09-04 1987-03-05 Wacker Chemitronic Verfahren und vorrichtung zur herstellung von siliciumstaeben
DE3536743C2 (de) * 1985-10-15 1994-11-10 Siemens Ag Verfahren zum Herstellung von großflächigen Siliziumkristallkörpern für Solarzellen
JP2657240B2 (ja) * 1988-04-15 1997-09-24 住友シチックス株式会社 シリコン鋳造装置
US4834382A (en) * 1988-06-13 1989-05-30 Donald Spector Inflatable play ball
JP2660225B2 (ja) * 1988-08-11 1997-10-08 住友シチックス株式会社 シリコン鋳造装置

Also Published As

Publication number Publication date
US5254300A (en) 1993-10-19
DE4018967A1 (de) 1991-12-19
JPH04240192A (ja) 1992-08-27
EP0462494A1 (de) 1991-12-27
CA2044389A1 (en) 1991-12-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR920000980A (ko) 태양전지의 기재로서 주상구조의 실리콘블록을 캐스팅하는 방법 및 그 장치
KR910003477B1 (ko) 고온 용융물의 정량배출방법
CA1328977C (en) Continuous casting of fine grain ingots
FR2595716B1 (fr) Procede et dispositif pour l'elaboration de materiaux refractaires par induction
FR2764877B1 (fr) Procede de vitrification d'un materiau pulverulent et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede
GB9815357D0 (en) Improvements in and relating to the manufacture of synthetic vitreous silica ingot
KR960017934A (ko) 초크랄스키 단결정 성장에서의 실리콘 입상원료의 공급방법 및 그의 공급장치
SU1528335A3 (ru) Способ управлени запуском установки непрерывной разливки металла
JPS6156754A (ja) 水平式連続鋳造設備
KR860000126B1 (ko) 얇은 스트립을 연속적으로 주조하기 위한 전자기 주조법
US5416796A (en) Float melting apparatus and method employing axially movable crucibles
US3620288A (en) Directionally solidified castings
US5309976A (en) Continuous pour directional solidification method
NO20045319L (no) Anordning for fremstilling av krystallstaver med definert tverrsnitt og polykrystallinsk struktur ved hjelp av digelfri kontinuerlig krystallisasjon
JPH0664913A (ja) シリコン等多結晶質物体の鋳造方法
US9434000B2 (en) System and method of forming a solid casting
JP3386335B2 (ja) 単結晶成長方法及び装置
DE3881389T2 (de) Vorrichtung und verfahren zum direkten giessen von metallbaendern.
SU1201053A1 (ru) Устройство дл направленного затвердевани
SE8206843D0 (sv) Forfarande vid gjutning av metallsmelta samt anordning for utforande av forfarandet
SU1748922A1 (ru) Способ вертикального непрерывного лить полых заготовок и устройство дл его осуществлени
HUT63121A (en) Process and device for producing mineral fibres
JPH0619539Y2 (ja) ガラス溶融炉
SU806238A1 (ru) Установка непрерывного или полу-НЕпРЕРыВНОгО лиТь СлиТКОВ B элЕКТРО-МАгНиТНОМ КРиСТАллизАТОРЕ
RU98102459A (ru) Способ получения отливок направленной кристаллизацией и устройство для его осуществления

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application