KR910017670A - 반도체 집적회로 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 11
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 claims 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1도는 본 발명의 반도체 집적회로의 1실시예에 따른 MOS형 LST에서의 입력보호회로의 동가회로를 나타낸 회로도, 제 2도 ⒜는 제 1도중에서 입력보호저항의 평면패턴의 일례를 나타낸 도면, 제 2도 ⒝는 제 2도 ⒜중에서 B-B선에 따른 단면도.
Claims (7)
- 입력보호저항(10) 및 입력보호 소자로 구성되는 입력보호회로를 갖춘 반도체 집적회로에 있어서, 상기 입력 보호 저항이 반도체기판(20)과는 반대도전형의 제1확산층영역(21)내에, 이 제 1확산층영역(21)과 동일도전형이면서 제 1확산층영역보다도 높은 불순물농도를 갖춘 제 2확산층영역(22)이 그 제 1확산층영역(21)보다도 알게 형성된 구성으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 집적회로.
- 제 1항에 있어서, 상기 반도체기판(20)은 N형기판이고, 상기 제 1확산층영역(21)은 불순물으로 농도가 비교적 적은 붕소가 확산되어 있으며, 상기 제 2확산층영역(22)은 불순물로서 농도가 비교적 높은 붕소가 확산되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 집적회로.
- 제 1항에 있어서, 상기 반도체기판(20)은 P형기판이고, 상기 제 1확산층영역(21)은 불순물로서 인이 확산되어 있으며, 상기 제 2확산층영역(22)은 불순물로서 비소가 확산되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 집적회로.
- 제 1항 내지 제 2항중 어느 한 항에 있어서, 상기 입력보호저항(10)은 입력패드(11)로부터 내부회로 첫단의 MOS트랜지스터(12)의 게이트에 이르는 신호경로에 삽입되어 있고, 상기 입력보호소자는 상기 입력보호저항(10)으로부터 상기 내부회로 첫단의 MOS트랜지스터(12)의 게이트에 이르는 신호경로와 접지전위의사이에 접속되어 있는 트랜지스터나 다이오드로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 집적회로.
- 제 4항에 있어서, 상기 입력보호소자는 게이트·소스가 상호 접속된 N채널 MOS트랜지스터(13)인 것을 특징으로 하는 반도체 집적회로.
- 제 5항에 있어서, 상기 입력보호소자는 드레인영역 또는 소스영역으로 사용되는 복수의 N+확산층영역(62, 63)이 서로 평행하게 배치되어 형성됨과 더불어, 한쪽의 영역으로 사용되는 N+확산층영역(62)이 상기 입력보호저항(10)에 접속되고, 다른쪽의 영역으로 사용되는 N+확산층영역(63)이 기준전위에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 집적회로.
- 제 5항에 있어서, 상기 입력보호소자는 드레인영역 또는 소스영역으로 사용되는 복수의 N+확산층영역(62, 63)이 서로 평행하게 배치되어 형성됨과 더불어, 한쪽의 영역으로 사용되는 N+확산층영역(62)이 상기 입력보호저항(10)에 접속되고, 다른쪽의 영역으로 사용되는 N+확산층영역이 전원전위에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 집적회로.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2069722A JPH03272180A (ja) | 1990-03-22 | 1990-03-22 | 半導体集積回路 |
JP02-069722 | 1990-03-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR910017670A true KR910017670A (ko) | 1991-11-05 |
Family
ID=13411015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019910004535A KR910017670A (ko) | 1990-03-22 | 1991-03-22 | 반도체 집적회로 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5181092A (ko) |
EP (1) | EP0448119A3 (ko) |
JP (1) | JPH03272180A (ko) |
KR (1) | KR910017670A (ko) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5514893A (en) * | 1992-01-05 | 1996-05-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor device for protecting an internal circuit from electrostatic damage |
US5336908A (en) * | 1992-08-26 | 1994-08-09 | Micron Semiconductor, Inc. | Input EDS protection circuit |
US5218222A (en) * | 1992-09-16 | 1993-06-08 | Micron Semiconductor, Inc. | Output ESD protection circuit |
DE4423591C2 (de) * | 1994-07-06 | 1996-08-29 | Itt Ind Gmbh Deutsche | Schutzstruktur für integrierte Schaltungen |
JP3412393B2 (ja) * | 1996-04-19 | 2003-06-03 | 松下電器産業株式会社 | 半導体装置 |
US5875089A (en) * | 1996-04-22 | 1999-02-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Input protection circuit device |
US5936284A (en) | 1997-11-03 | 1999-08-10 | Sgs-Thomson Microelectronics S.R.L. | Electrostatic discharge protection circuit and transistor |
JPH11330385A (ja) * | 1998-05-20 | 1999-11-30 | Mitsumi Electric Co Ltd | Cmosデバイス |
JP2000232203A (ja) | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Nec Corp | ラテラルバイポーラ型入出力保護装置 |
JP3430080B2 (ja) * | 1999-10-08 | 2003-07-28 | Necエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US6144538A (en) * | 1999-12-20 | 2000-11-07 | United Microelectronics Corp. | High voltage MOS transistor used in protection circuits |
US6786941B2 (en) * | 2000-06-30 | 2004-09-07 | Hazen Research, Inc. | Methods of controlling the density and thermal properties of bulk materials |
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US6821808B2 (en) | 2002-08-23 | 2004-11-23 | Micron Technology, Inc. | CMOS APS with stacked avalanche multiplication layer which provides linear and logarithmic photo-conversion characteristics |
US7002220B1 (en) | 2003-01-29 | 2006-02-21 | Marvell International Ltd. | ESD protection circuit |
US6911739B1 (en) | 2003-01-29 | 2005-06-28 | Marvell International Ltd. | Methods and apparatus for improving high frequency input/output performance |
US7164185B1 (en) | 2004-02-02 | 2007-01-16 | Advanced Micro Devices, Inc. | Semiconductor component and method of manufacture |
US7456655B1 (en) | 2005-05-16 | 2008-11-25 | Marvell Israel (Misl) Ltd. | System and process for overcoming wire-bond originated cross-talk |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5683964A (en) * | 1979-12-13 | 1981-07-08 | Nec Corp | Input protective device |
JPS594082A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-10 | Fujitsu Ltd | 半導体集積回路 |
JPS59224163A (ja) * | 1983-06-03 | 1984-12-17 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JPS59228751A (ja) * | 1983-06-09 | 1984-12-22 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 半導体集積回路 |
JPS6290963A (ja) * | 1985-10-16 | 1987-04-25 | Mitsubishi Electric Corp | Mos半導体回路 |
KR900008746B1 (ko) * | 1986-11-19 | 1990-11-29 | 삼성전자 주식회사 | 접합 파괴장치 반도체장치 |
US5051860A (en) * | 1989-05-12 | 1991-09-24 | Western Digital Corporation | Electro-static discharge protection circuit with bimodal resistance characteristics |
-
1990
- 1990-03-22 JP JP2069722A patent/JPH03272180A/ja active Pending
-
1991
- 1991-03-21 US US07/672,933 patent/US5181092A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-03-22 KR KR1019910004535A patent/KR910017670A/ko not_active Application Discontinuation
- 1991-03-22 EP EP19910104544 patent/EP0448119A3/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0448119A3 (en) | 1992-03-04 |
US5181092A (en) | 1993-01-19 |
JPH03272180A (ja) | 1991-12-03 |
EP0448119A2 (en) | 1991-09-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |