KR910003830B1 - 위치검출기의 기준신호 발생장치 - Google Patents

위치검출기의 기준신호 발생장치 Download PDF

Info

Publication number
KR910003830B1
KR910003830B1 KR1019880005456A KR880005456A KR910003830B1 KR 910003830 B1 KR910003830 B1 KR 910003830B1 KR 1019880005456 A KR1019880005456 A KR 1019880005456A KR 880005456 A KR880005456 A KR 880005456A KR 910003830 B1 KR910003830 B1 KR 910003830B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
slit
photodetector
slit portion
plate
slit plate
Prior art date
Application number
KR1019880005456A
Other languages
English (en)
Other versions
KR880014377A (ko
Inventor
유다까 마쓰다
노리오 오꾸다니
Original Assignee
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
다니이 아끼오
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤, 다니이 아끼오 filed Critical 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
Publication of KR880014377A publication Critical patent/KR880014377A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR910003830B1 publication Critical patent/KR910003830B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/48—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
    • G01P3/481—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36—Forming the light into pulses
    • G01D5/366—Particular pulse shapes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2454—Encoders incorporating incremental and absolute signals
    • G01D5/2455—Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
    • G01D5/2457—Incremental encoders having reference marks
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • H03M1/12—Analogue/digital converters
    • H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
    • H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
    • H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
    • H03M1/30—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
    • H03M1/308—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental with additional pattern means for determining the absolute position, e.g. reference marks

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

내용 없음.

Description

위치검출기의 기준신호 발생장치
제 1 도는 본 발명의 제 1 의 실시예에 있어서는 위치검출기의 기준신호 발생장치의 개요도.
제 2 도는 제1도의 요부확대도.
제 3 도는 제 1 도의 실시예에 있어서의 위치검출기의 기준신호 발생장치의 신호처리계통도.
제 4 도는 제 1 도의 신호파형도.
제 5 도는 본 발명의 제 2 의 실시예에 있어서의 위치검출기의 기준신호 발생장치의 개요도.
제 6 도는 제 5 도의 신호파형도.
제 7 도는 본 발명의 제 3 실시예에 있어서의 위치검출기의 기준신호 발생장치의 개요도.
제 8 도는 제 7 도의 요부확대도.
제 9 도는 본 발명의 제 4 실시예에 있어서의 위치검출기의 기준신호 발생장치의 요부확대도.
제 10 도는 제 1 의 종래예에 있어서의 위치검출기의 기준신호 발생장치의 개요도.
제 11 도는 제 10 도의 요부확대도.
제 12 도는 제 10 도의 신호처리 계통도.
제 13 도는 제 10 도의 신호파형도.
제 14 도는 제 2 의 종래예에 있어서의 위치검출기의 기준신호 발생장치의 요부확대도.
제 15 도는 제 14 도의 신호처리계통도.
제 16 도는 제 14 도의 신호파형도.
제 17 도는 본 발명의 제 5 의 실시예에 있어서의 위치검출기의 기준신호 발생장치의 개요도.
제 18 도는 제 5 의 실시예에 있어서의 위치검출기의 기준신호 발생장치의 신호처리계통도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1: 이동슬릿판 2: 광원
3: 고정슬릿판 30,31: 광검출기
32: 제 1 슬릿부 33: 제 2 슬릿부
34,35: 제 1 슬릿부를 구성하는 슬릿열
36: 광검출기의 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단
38: 차신호가 최대치와 최소치를 취하는 동안에 있어서, 다른 2개의 값을
취하는 동안에 원점위치를 표시한 기준신호를 출력하는 회로수단
39,40,41,42: 슬릿열 43,44,45,46: 슬릿열
47,48,49,50: 슬릿열 51: 레이저다이오우드(광원)
본 발명은 위치결정장치에 있어서의 위치검출장치의 기준신호 발생장치에 관한 것이다.
위치결정장치의 위치검출장치로서 광원식 엔코우더가 널리 이용되고 있고, 회전 또는 직선운동하는 이동 슬릿판 및 고정슬릿판에 계수신호 발생용의 슬릿을 가지고, 광학적으로 광검출기로부터 펄스출력을 얻어서, 물체의 위치를 검출하고 있었다.
이하, 도면을 참조하면서, 상술한 종래의 광전식 엔코우더의 기준신호 발생장치의 일례에 대해서 설명한다. 제 10 도는 종래의 광전식 엔코우더의 개요를 도시한 도면으로서, (1)은 회전운동하는 이동슬릿판, (2)는 광원, (3)은 고정슬릿판, (4) (5) (6)은 광검출기, (7)은 회전부재이다. (8)은 계수신호 발생용 슬릿으로서 이동슬릿판(1)상에 형성되고, (9)도 계수신호발생용 슬릿으로서 슬릿(8)에 대향해서 고정슬릿판(3)위에 형성되어 있다. (10)(11)(12)(13)은 기준신호발생용 슬릿으로서, 슬릿(10)(11)은 이동슬릿판(1)위에, 슬릿(12)(13)은 고정슬릿판(3)위에 형성되어있다. 슬릿(10)(12)은 서로 대향해서 배치되고, 광원(2)으로 부터의 광은 각각을 통과해서 광검출기(4)에 이르며, 슬릿(11)(13)은 서로 대향해서 배치되고, 각각을 통과한 광은 광검출기(5)에 의해서 검출된다. 마찬가지로 슬릿(8)(9), 광검출기(6)도 배치된다. 제 11 도는 기준신호발생 신호(B)와 광검출기(5)의 출력인 신호(A)와의 차신호인 신호(C)를 얻기위한 회수단, (15)는 신호(C)와 스레소울드치(D)의 값을 비교하여, 소정의 조건을 만족할 때, 펄스형상인 출력의 기준신호를 얻는 회로수단이다. 제 13 도는 각 신호를 도시한 것으로서, 이동슬릿판(1)의 회전에 따른 시간의 경과를 가로축에, 각 신호의 값을 세로축에 취한 것이다.
이상과 같이 구성된 광전식 엔코우더에 대하여, 이하 그 동작에 대해서 설명한다. 이동슬릿판(1)은 회전부재(7)와 일체적으로 회전하고, 그때 슬릿(8)(9)을 통과하는 광이 단속되며, 그에 따라 광검출기(6)로부터 계수신호용 출력이 얻어진다. 기준신호 발생용 슬릿은 제 11 도에 도시한 바와같이 랜덤슬릿이 배열되고, 대응하는 2개의 슬릿이 겹쳐서 일치하였을때에만 피이크출력이 얻어진다.
구체적으로는 슬릿(11)(13)은 같은 슬릿배열이며 그곳을 통과하는 광에 의하여 피이크(P1)를 가진 신호(A)가 얻어진다. 슬릿(10)(12)은 서로 차광부와 투광부가 반대로 된 슬릿배열이며, 피이크(P2)를 가진 신호(B)가 얻어진다. 여기서, 피이크(P1)(P2)는 동시에 얻어지도록, 각 슬릿, 광검출기가 착설되어 있다. 신호(C)는 신호(A)와 신호(B)의 차를 취함으로써, 각 신호에 실린 노이즈성분 및 광량변화에 기인하는 신호(A)(B)의 변동을 상쇄하여 내(耐)노이즈성을 높이고 있다. 이 차신호(C)와 스레소울드치(D)를 비교하여 차신호(C)가 스레소울드치(D)보다 클때에 기준신호를 출력하고 있었다. 스레소울드치(D)를 차신호(C)의 피이크(P3)만이 해당하고, 다른 피이크에서는 해당하지 않는 값으로 함으로써, 유일한 위치, 즉 피이크(P3)의 위치에서 기준신호를 얻을 수 있다. 또, 차신호(C)는 피이크(P3)근처에서는 3각형에 가까운 파형이 되어, 스레소울드치(D)의 값을 조절함으로써, 기준신호의 폭을 어느 범위내로 조절할수 있다. 즉 스레소울드치(D)를 크게함으로써 기준신호의 폭을 좁게, 스레소울드치(D)의 설정을 작게함으로써, 기준신호의 폭을 넓게할 수 있다. 그러나, 스레소울드치(D)의 설정을 너무 크게하면, 차신호(C)의 피이크(P3)가 작아지게 되어 기준신호를 얻을 수 없게 되며, 또 스레소울드치(D)의 설정도 작게하면 차신호(C)의 피이크(P3)이외의 피이크가 노이즈등에 의하여 큰 피이크가 되었을때에 그 스레소울드치(D)보다도 커져서 기준신호가 그 위치에서도 발생한다. 그 때문에 스레소울드치(D)를 얻을 수 있는 값은 어느 적당한 범위에 한정되며, 따라서 기준신호폭의 조절범위도 한정되게 된다. 또 기준신호의 폭을 조정함으로써 그 위치도 다소 변화가 발생하나, 그것은 폭에 의하여 그 위치도 결정되는 것이며, 위치와 폭을 독립해서 조정하는 것은 매우 곤란하였다.
다음에 종래의 광전식 엔코우더의 기준신호 발생장치의 다른 일례에 대해서 설명한다. 여기서는 제 1의 종래예와 다른 기준신호 발생장치에 대해서 설명한다. 제 14 도는 그 개요를 도시한 도면으로서, 이동슬릿판(1), 광원(2), 고정슬릿판(3)은 마찬가지이다. (16)(17)은 광검출기, (18)(19)(20)은 슬릿으로서, 슬릿(18)은 이동슬릿판(1)에 형성되고, 슬릿(19)(20)은 고정슬릿판(3)에 형성되어 있다. 광검출기(16)는 슬릿(19)과 대항하고, 이동슬릿판(1)의 회전에 따라서, 슬릿(18), 슬릿(19)도 대향하며, 광원(2)으로부터의 광은 슬릿(18)(19)을 통과하여, 광검출기(16)에 이른다. 광검출기(17), 슬릿(18)(20)도 마찬가지로 구성된다. 각 슬릿은, 단일 개구부로 형성되고, 슬릿(19)(20)은 인접해서, 어떤 거리를 두고 형성되어 있다. 제 15 도는 광검출기(16)(17)의 출력신호 처리도이고, (21)은 광검출기(16)의 출력신호(E)와 광검출기(17)의 출력신호(F)와의 차신호인 신호(G)를 얻는 회로수단, (22)는 신호(G)로부터 기준신호를 얻기위한 회로수단이다. 제 16 도는 이동슬릿판(1)의 회전에 따라 시간경과를 가로축에, 각 신호를 세로축에 취한 것이다.
이상과 같이 구성된 기준신호 발생장치에 대해서, 이하 그 동작에 대하여 설명한다. 광검출기(16)(17)는 모두 슬릿(18)을 통과하는 광을 받아서 출력한다. 따라서 각각의 출력인 신호(E)와 신호(F)는, 슬릿(18)이 슬릿(19)(20)의 간격만큼 동작한 시간을 두고 피이크출력에 도달한다. 이 신호(E)(F)의 차를 취하면, 정(正)과 부(負)의 최대치의 사이에 값이 0이되는 점을 가진 신호(G)가 얻어진다. 이 신호(G)의 값이 0이 되는 점을 검출하여, 그 순간으로부터 짧은 시간동안만 기준신호를 출력하는 방법이 사용되고 있었다. 또 이 때문에 신호(G)가 0이 되는 점을 특정할려면, 신호(G)와 스레소울드치(H) 및 스레소울드치(I)를 비교하여 정과 부의 피이크를 검출하고, 그 사이에 0이 되는 점을 구하고 있었다.
그러나 상기와 같은 구성에서는, 다음과 같은 문제점을 가지고 있었다. 먼저, 제1 종래예에 있어서는, 고분해능에 대응하는 기준신호를 얻기 위해서는 피이크(P3)를 뾰족하게 하여, 그 폭을 좁게할 필요가 있고, 슬릿의 최소폭을 좁게할 필요가 있다. 그에 따라서, 이동슬릿판과 고정슬릿판의 간격도 좁게할 필요가 있으나, 현실의 조립상의 문제나 먼지 등의 쌓임에 의한 슬릿오손, 파손에 의한 수명의 문제가 있어 곤란하다. 또 신호(A)(B)와 같은 출력을 얻기 위하여, 슬릿(10)은 광의 투과면 중에 일부의 불투명부를 형성하는 구성이 된다. 이 투과부분으로부터의 광은 다른 수광부에의 돌아들어감이 발생하기 쉽고, 계수용신호에 악영향을 발생하기 쉬우며, 이것을 방지할려면 슬릿(10)을 계수용슬릿과는 거리를 두고 설치하지 않으면 안되어, 위치검출장치로서 기기의 소형화가 곤란하다는 결점이 있었다. 또, 제 2 종래예에 있어서는 슬릿이 단(單)개구이기 때문에 투과광량이 적어져서 출력이 적어지며, SN비가 나쁘다는 문제점이 있다. 이 해결방법으로서, 고정밀도화에 대응할려면, 슬릿폭을 좁게 또한 개구면적을 넓게하는 방법이 있으나, 이렇게 하는데도 한계가 있어, 기기의 대형화를 초래하게 된다. 또 기준신호는 어떤 점으로부터 일정한 미세시간만 출력하기 위하여, 회전방향에 의하여 기준신호의 위치가 변화한다는 문제점을 가지고 있었다.
그래서, 본 발명의 주요한 목적은 소형고분해능화에 대응할 수 있는, 고정밀도, 고 SN비의 위치검출기의 기준신호 발생장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 목적은 값은 간격이 아니거나 혹은 같은 폭이 아닌 복수의 슬릿으로 이루어지며, 이동슬릿판상에 있는 제1 슬릿부와, 마찬가지의 고정스릿판상의 제2 슬릿부와, 각 슬릿부의 투과광의 복수의 광검출기와, 각 광검출기의 출력신호의 차신호를 구하는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소 사이에서 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지며, 상기 광검출기의 각 출력이 이동슬릿판에서 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록 각 광검출기, 슬릿부를 배설함으로써 달성된다.
또, 본 발명은 상기 광검출기의 각 출력에 있어서 서로 한쪽이 최대의 극대치 이외의 피이크가 될 때, 다른쪽도 피이크가 되도록 제 1 및 제 2 슬릿부를 구성한 것이다.
또, 본 발명은, 상기 기준신호를 발생하는 회로수단에 있어서, 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 서로 다른 2개의 값을 취하는 동안만 기준신호를 발생하도록 구성한 것이다.
또, 본 발명은 상기 제 1슬릿부와 제 2슬릿부의 각각을 같은 간격이 아니거나 혹은 같은 폭이 아닌 복수의 슬릿으로 이루어진 슬릿열이 다른 배열 패턴을 가진 복수의 것으로 구성하고, 상기 광검출기를 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부의 각 슬릿열의 투과광을 검출하도록 구성한 것이다.
또, 본 발명은 상기 제 1슬릿부와 제 2 슬릿부의 각각을 상기 슬릿열이 다른 슬릿 경사각을 가진 복수의 것으로 구성하과, 제 2 슬릿부와 각 슬릿열은 제 1 슬릿부의 각 슬릿열과 같은 슬릿 경사각을 가지도록 구성한 것이다.
또, 본 발명은 광원으로서 레이저광원을 착설함과 동시에 상기 이동슬릿판, 고정슬릿판 및 광검출기를 광원쪽의 슬릿판에 형성한 슬릿부에 의하여 발생한 프라운호우퍼 회절상의 명암줄무늬(밝고 어두운 줄무늬)가 광검출기쪽의 슬릿판에 형성된 슬릿부를 개재해서 광검출기에 조사되도록 설치한 것이다.
상기한 구성에 의해서 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어진 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부의 중첩된 투과광량을 광검출기로 검출한다. 따라서, 그 광량은 단개구 슬릿에 비하여 현격히 커진다. 따라서 SN비가 향상된다. 또 이 복수의 광검출기 출력의 차신호를 구함으로써 광량변동이나 노이즈에 의한 신호의 변동이 상쇄되어 소요의 피이크치의 비가 향상된다. 제 1 및 제 2 슬릿부의 투과광량은 서로 슬릿패턴이 일치할때에 뾰족한 피이크를 나타내고, 그 피이크폭은 슬릿폭에 대응한다. 따라서 뾰족하고 큰 피이크가 얻어지며, 일정한 간격 이간된 피이크의 차신호에 있어서의 경사를 크게 취하여 그 차신호의 어떤 값으로 기준신호를 출력할 때, 고정밀도의 기준신호로 할수 있다. 또, 투과광량이 클수록, 피이크 폭도 넓게 할 수 있어, 개개의 슬릿폭을 넓게할 수 있다. 따라서 이동슬릿판과 고정슬릿판의 간격을 넓게할 수 있어, 파손의 위험감소 및 조립조정을 용이하게 할수 있다. 또 광량이 많아 큰 개구부를 필요로 하지 않기 때문에, 광의 돌아들어 가는것도 적어 기기의 소형화가 도모된다.
이하, 본 발명의 제 1의 실시예의 위치검출기의 기준신호발생장치에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 제 1 도는 본 발명의 제 1의 실시예에 있어서의 위치검출기의 기준신호 발생장치의 개요를 도시한 도면이다. (1)은 이동슬릿판, (2)는 광원, (3)은 고정슬릿판, (7)은 회전부재이며, 종래예와 마찬가지이다. (30)(31)은 광검출기이다. (32)는 이동슬릿판(1)에 형성된 복수의 슬릿열로 이루어진 제 1슬릿부, (33)은 고정슬릿판(3)에 형성된 복수의 슬릿열로 이루어진 제 2슬릿부이다.
제 2 도는 제 1 슬릿부(32), 제 2 슬릿부(33)의 요부확대도이다. 제 1 슬릿부(32)는 2개의 슬릿(34)과 슬릿(35)으로 이루어지며, 위치가 편위되어 있을뿐이고 그 슬릿패턴도 마찬가지이다. 또 제 2슬릿부(33)의 슬릿패턴도 마찬가지이며, 그 크기만이 다르다. 광검출기(30)는 슬릿(34), 제 2슬릿부(33)에 대응해서 착설되고, 광검출기(31)는 슬릿(35), 제 2슬릿부(33)에 대응해서 착설되어있다. 제 3 도는 각 광검출기의 출력신축에 취한 도면이다. (36)은 광검출구(30)의 출력신호(J)와 광검출기(31)의 출력신호(K)의 차신호(L)를 구하는 회로수단, (37)은 차신호(L)의 정과 부의 최대치를 미리 설정한 스레소울드치(M)와 스레소울드치(N)로 비교해서 구하고, 그 정과 부의 최대치를 취하는 동안만 신호를 출력하는 회로수단, (38)은 회로수단(37)이 신호를 출력하는 동안에, 차신호(L)가 미리 설정한 스레소울드치(0)와 스레소울드치(P)사이의 값일 때, 기준신호를 출력하는 회로수단이다.
이상과 같이 구성된 위치검출기의 기준신호 발생장치에 대해서, 그 동작을 설명한다. 제 1 슬릿부(32), 제 2 슬릿부(33)의 슬릿패턴은 복수의 슬릿의 배열로 구성되고, 대응하는 슬릿, 즉 슬릿(34)과 제 2슬릿부(33), 혹은 슬릿(35)과 제 2슬릿부(33)가 중첩되어 일치하였을때만 제 4 도에 도시한 바와같이 슬릿의 투과광량이 최대가 되어, 대응하는 광검출기 출력이 피이크(P)를 가지고, 그 이외의 중첩상태에서는 피이크(P)에 비하여 낮은 출력밖에 얻을 수 없도록 각 슬릿이 배열된 랜덤패턴이다. 이동슬릿판(1)의 회전과 함께, 제 1슬릿부(32)와 제 2슬릿부(33)는 중첩되고, 광검출기(30)(31)로부터는 제 4 도에 도시한 바와같은 출력신호(J) 및 신호(K)가 얻어진다. 여기서 신호(J) 와 신호(K)의 피이크위치는 슬릿(34)과 슬릿(35)의 위치편위량만큼 다르고, 그 양은 피이크(P)의 크기 및 기준신호정밀도에 의해서 결정된다. 다음에 회로수단(36)에 의하여 신호(J)와 신호(K)로부터 그 차신호인 신호(L)가 얻어지며 제4도와 같이 된다. 최종적으로는 차신호(L)와 스레소울드치(0)와 스레소울드치(P)로부터 기준신호가 결정되나, 이것을 유일한 점에 특정하기 위하여, 회로수단(37)이 착설되며, 신호(L)의 정과 부의 최대치를 스레소울드치(M)와 스레소울드치(N)를 사용해서 비교하고, 신호값이나 회전 방향으로부터 신호(L)가 정과 부의 최대치를 취하는 위치사이에 있는 것을 검출한다. 따라서, 이때에 신호(L)와 스레소울드치(0)와 스레소울드치(P)로부터 회로수단(38)에 의하여 기준신호가 얻어진다.
이상과 같이 본 실시예에 의하면, 복수의 슬릿열로 이루어진 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부의 중첩에 의해 얻어지는 복수신호의 차신호를 취함으로써, 각 광검출기 출력의 피이크 위치의 편위량이 좁고, 피이크 클수록, 고정밀도에 대응할 수 있으나, 복수의 슬릿 때문에 출력을 제 2 종래예에 비하여 크게 취하고, 피이크위치의 편위도 임의로 설정할 수 있어 고정밀도가 용이해진다. 또, 출력을 본래부터 크게 취하기 때문에, 고출력화를 위하여 기기의 대형화를 초래하는 일이 없이, 기기의 소형화 공정밀도화가 적당하다. 또한, 차신호를 취함으로써 그 이전에 노이즈나 광량변동이라는 외란에 대해서도 강하여 SN비가 좋은 것이다. 한편, 제 1 의 종래예와 비슷한 슬릿열이나, 제 1 종래예에서는 고정밀도화할려면 슬릿 그 자체를 정밀하게 세밀화할 필요가 있어, 상술한 문제점이 있었으나, 본 실시예에서는 고정밀도화에는 복수의 광검출기 출력의 피이크 위치의 편위량이 관계하여 슬릿 그 자체의 정밀한 세밀화의 중요성은 낮으며, 그 때문에 비교적 정밀하지 않은 슬릿을 사용할 수 있기 때문에, 이동슬릿판과 고정슬릿판의 간격을 넓게 할 수 있어 신뢰성이 향상된다. 또 제 1 실시예에서는 광검출기 출력은 정과 역의 2종류의 패턴이 필요하게 되며, 그 때문에 슬릿의 밝은부에 의한 광의 돌아들어감이 문제가 되었으나, 본 실시예에서는 그와 같은 일도 없어 출력의 안정화를 도모하고, 그것을 방지하기 위하여 기기가 대형화되는 일도 없어 고신뢰성화, 기기의 소형화에 적당하다.
또, 상기 차신호가 최대치와 최소치를 취하는 동안에 있어서, 다른 2개의 값의 스레소울드치의 사이에서 원점위치를 표시하는 기준신호를 출력하는 회로수단을 사용함으로써, 기준신호의 폭과 위치를 일정하고, 또한 임의로 설정할 수 있어, 제 2 종래예와 같이 회전방향에 의하여 그 위치가 변화하는 일도 없고, 안정성이 좋으며 신뢰성이 도모된다.
다음에 본 발명의 제 2의 실시예에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 제5도는 본 발명의 제 2의 실시예를 도시한 위치검출기의 기준신호 발생장치의 개요도이다. 제 1 도에 도시한 본 발명의 제 1 의 실시예와 다른 것은 제 1 슬릿부(32)와, 제 2 슬릿부(33)이며, 기타는 마찬가지이다. 즉, 제 1 슬릿부(32)는 슬릿(39)과 슬릿(40)으로 구성되고, 제 2 슬릿부(33)는 슬릿(41)과 슬릿(42)으로 구성되며, 각각 복수의 슬릿으로 구성된다. 광검출기(30)는 슬릿(39), 슬릿(41)을 통과한 광에 대응하고, 광검출기(31)는 슬릿(40), 슬릿(42)을 통과한 광에 대응해서 배치된다.
제 6 도는 각 신호의 값의 변화를 가로축에 시간을 표시한 것이고, 광 검출기(30)의 출력신호(Q), 광검출기(31)의 출력신호(R), 그리고 그들의 차신호(S)를 표시한 것이다. 신호(Q)의 피이크가 되는 위치가, 슬릿(39)과 슬릿(41)이 일치하는 위치에서 신호(R)의 피이크가 되는 위치가 슬릿(40)과 슬릿(42)이 일치하는 위치에 있어, 소정의 간격을 두고 피이크가 된다. 여기서, 슬릿(39)과 슬릿(41)은 같은 구성이며, 슬릿(40)과 슬릿(42)은 같으나, 그들로부터 얻어지는 신호가 다르도록, 슬릿(39)과 슬릿(40), 슬릿(41)과 슬릿(42)은 다르다. 그리고, 신호(Q)와 신호(R)중, 한쪽이 피이크가 될 때는, 다른쪽은 극소치를 취하며, 그 이외의 곳에서는 각 신호의 값은 대체로 같아지도록 각 슬릿이 구성되어 있다.
이상과 같이, 복수의 광검출기의 각 출력에 있어서, 서로 최대치 이외의 피이크가 다른쪽의 피이크에 의하여 차신호를 구함으로써 지워지도록 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 구성함으로써, 차신호에 있어서 기준신호에 필요한 최대의 피이크치 이외의 부분, 즉 노이즈등에 의하여 SN비가 악화하기 쉬운 부분을 서로 상쇄함으로써 낮게 할 수 있어, SN비가 높은 내노이즈성이 뛰어난 것이 된다. 또한, 한쪽의 광검출기 출력신호가 최대치일 때, 다른쪽이 극소치가 되도록 구성하면 더욱 양호하게 되는 것이다.
다음에 본 발명의 제 3 실시예에 대해서 설명한다. 제 7 도는 본 발명의 제 3 실시예를 도시한 위치검출기의 기준신호 발생장치의 개요도이다. 제 8 도는 그 슬릿판의 요부확대도이다. 이동슬릿판(1), 광원(2), 고정슬릿판(3), 광검출기(30)(31), 제 1 슬릿부(32), 제 2 슬릿부(33)는 제 1 도에 도시한 본 발명의 제 1 의 실시예와 마찬가지이며, 다른 것은 제 1 슬릿부(32)와 제 2 슬릿부(33)의 구성 및 광검출기(30)(31)의 배치이다. 즉, 제 1 슬릿부(32)는 슬릿열(43)과 슬릿열(44)로 구성되고, 제 2 슬릿부(33)는 슬릿열(45)과 슬릿열(46)로 구성된다. 슬릿열(43)과 슬릿열(45)은 대응하고, 그들을 통과한 광은 광검출기(30)로 검출된다. 슬릿열(44)과 슬릿열(46)은 대응하고, 그들을 통과한 광은 광검출기(31)에 의해서 검출된다. 슬릿열(43)(44)은 이동슬릿판(1)의 이동방향, 즉 원주상에 늘어서서 배열된다. 마찬가지로 슬릿열(45)(46)도 배열된다.
이상과 같이 구성된 위치검출기의 기준신호 발생장치에 대해서 그 동작을 설명한다. 슬릿열(43)과 슬릿열(45)의 결합에 대해서, 슬릿열(44)과 슬릿열(46)의 결합의 슬릿배열 랜덤패턴은 다르게 형성되어 있다. 이때문에 결합끼리, 즉 슬릿(43)과 슬릿(45)이 일치하였을때는 개구면적이 커지며, 그렇지 않을 때 즉, 슬릿(43)과 슬릿(46)이 중첩되어도 결합끼리와 같이 개구면적이 커지는 일이 없다. 따라서, 이동슬릿판(1)의 회전에 따른 광검출기(30)의 출력을 고려하면, 제 1 슬릿부(32)와 제 2 슬릿부(33)가 중첩되지 않을때는 광은 차폐되어서 출력이 나오지 않는다. 제 7 도에 도시한 화살표 방향의 회전을 고려하면, 슬릿(45)은 슬릿(44)과 먼저 중첩하나, 이때는 슬릿배열모양이 일치하지 않아, 투과광량은 적으므로 출력도 적다. 다음에, 슬릿(45)이 슬릿(43)과 중첩될때는 슬릿배열 모양이 일치할때가 있으며, 그때 투과광량은 최대가 되고, 출력신호도 피이크출력을 얻게된다. 마찬가지의 것이 광검출기(31)에 대해서도 성립하며, 각 광검출기는 이동슬릿판 1회전에 대하여 1회만 피이크 출력을 발생한다. 이 피이크출력을 얻는 위치가 소정의 간격을 두고 얻어지도록 각 슬릿은 배열되어 있다. 이와같이해서 얻어진 복수의 광검출기의 피이크신호처리는 본 발명의 제 1 및 제 2의 실시예와 마찬가지이며 설명은 생략한다.
이상과 같이 본 실시예에 의하면, 다른 배열모양을 가진 복수의 슬릿열에 의하여, 제 1 슬릿부 및 제 2 슬릿부를 구성함으로써, 복수의 광검출기의 대응하는 각각의 슬릿이 서로 중첩되는 것과 같은 배열로 구성할 수 있다. 따라서, 광검출기를 이동슬릿판의 진행방향과 직렬로 배열할 수 있어, 기기의 소형화를 도모하는 일이 가능해진다.
다음에 본 발명의 제 4의 실시예에 대해서 설명한다. 제 9 도는 본 발명의 제 4의 실시예를 도시한 위치검출기의 기준신호발생장치의 요부확대도이며, 제 1슬릿부(32)와 제 2슬릿부(33)에 대해서 도시한다. 본 실시예가 본 발명의 제 3의 실시예와 다른 점은 제1슬릿부(32) 및 제 2슬릿부(33)를 구성하는 슬릿열의 구성이 다르며, 기타는 마찬가지이다. 즉, (47)(48)은 슬릿열이며, 제 1슬릿부(32)를 구성하고, (49)(50)은 슬릿열이며 제 2슬릿부(33)를 구성한다. 슬릿열(47)(49)은 대응하고, 일치하였을 때, 투과광량이 최대가 되며, 그 광을 받는 광검출기(30)의 출력도 피이크출력이 된다. 슬릿열(48)(50) 및 광검출기(31)도 마찬가지의 관계에 있다. 슬릿열(47)(49)은 이동슬릿판(1)의 이동방향에 대하여 어느 각도만큼 경사진 슬릿열로 구성되고, 슬릿열(48)(50)은 다른 각도만큼 경사진 슬릿열로 구성된다.
이상과 같이 구성된 위치검출기의 기준신호 발생장치에 대해서 그 동작을 설명한다. 본 실시예에 있어서도 제 3의 실시예와 마찬가지로 대응하는 슬릿배열패턴이 같은 슬릿끼리의 중첩에 있어서 많은 투과광량이 얻어지고, 그 이외에서는 0 혹은 적어지는 것은 마찬가지이다. 본 실시예에서는 슬릿패턴이 다른 각도로 구성되기 때문에, 다른 슬릿열, 즉 슬릿(47)(50)의 중첩에서는, 일치부분은 +자의 중심만이 되어 좁은 면적이 된다. 따라서 본래 노이즈가 되는 작은 출력부의 출력을 더욱 낮게할 수 있어, SN비의 향상이 도모된다. 또 본 발명의 제 3실시예에서는 슬릿열이 배열간격의 불일치에 의하여 슬릿열끼리의 일치를 막고 있었다. 그 때문에 피이크형상의 투과광량의 최대치를 얻기 위한 슬릿열의 설계가 2종류 이상 필요하게 되며, 또한 서로 피이크출력을 얻을 수 없는 슬릿열로 할필요가 있어, 작업이 복잡하였다. 또 본 발명의 제 2의 실시예에 도시한 바와같은 출력신호를 얻는 슬릿열을 제 3의 실시예에 그대로 적용하여도 그 2종류의 슬릿배열에 의해서는 효과가 충분하지 않는 경우도 있다. 그러나, 본 실시예와 같이 슬릿열의 중첩을 슬릿자체의 불일치로 얻을 경우는 그와같은 일도 없어 슬릿열의 설계가 간단해지며, 또 더욱 최적한 슬릿열을 취할 수 있다.
이상과 같이 복수의 슬릿열을 각도를 바꾸어서 배설함으로써, SN비의 향상이 도모되며, 또 슬릿열의 설계도 간단화할 수 있는 것이다.
다음에 본 발명의 제 5의 실시예에 대해서 설명한다. 제 17 도는 본 발명의 제 5의 실시예를 도시한 위치검출기의 기준신호발생장치의 개요도이다. 제 1 도에 도시한 본 발명의 제 1의 실시예와 다른 점은 광원이며, 기타는 마찬가지이다. 즉, 제 1 도의 광원(2)대신에 레이저 다이오우드(51), 레이저 다이오우드(51)의 발광면에서 나온 광을 평행 집속광으로 하는 콜리메이터 렌즈(52)를 착설하고, 이동슬릿판(1)위의 슬릿부에 의하여 생긴 프라운호우퍼 회절상의 명암줄무늬가 고정슬릿판(3)위의 슬릿부를 개재해서 광검출기의 조사되도록 설치된다. 제 18 도는 각 광검출기의 출력신호처리도이며, 제 3 도에 도시한 제 1의 실시예와는 다음의 점이 다르다. 즉, 광검출기(30)의 출력신호(J)와 광검출기(31)의 출력신호(K)의 합신호(Q)를 얻는 회로수단(53)과, 합신호(Q)를 미리 설정한 스레소울드치(R)와 비교하여, Q 〉R 때만 신호를 출력하는 회로수단(54)을 추가하고, 회로수단(38)에 회로수단(54)의 출력이 있는 동안만, 그 출력 즉 기준신호를 출력하는 기능을 추가한 회로수단(55)을 착설한 것이다.
이상과 같이 구성된 위치검출기의 기준신호 발생장치에 대해서 그 동작을 설명한다. 먼저, 레이저 다이오우드(51)의 발광면에서 나온 광은 콜리메이터렌즈(52)에 의해서 평행 접속광이 되며, 이동슬릿판(1)위의 주기적 슬릿열을 조사하고, 그 슬릿에 의한 프라운호우퍼 회전상으로서 발생한 폭이 좁고 뾰족한 비임형상의 명암부를 가진 명암줄무늬를, 고정슬릿판(3)위에 투영한다. 이 명암줄무늬를 광검출기에 의해서 검출함으로써 위치검출용 신호 및 기준신호 발생용 신호가 얻어진다. 광검출기(30)(31)의 출력신호(J)(K)는 회로수단(36)(37)에 의해서 처리되어 회로수단(55)의 입력신호가 되기까지는 본 발명의 제 1의 실시예와 대체로 마찬가지이다. 또한 출력신호(J)(K)로부터 그 합신호인 신호(Q)가 회로수단(55)에 의하여 얻어지고, 이것은 제 4 도의 신호(J)(K)의 2개의 피이크(P)의 중간에 최대치를 취하는 신호(Q)가 된다. 이 신호(Q)의 피이크와 미리 설정한 스레소울드치(R)를 비교하여 R〈 Q 때에, 즉 신호(J)(K)가 피이크가 되는 그 중간부근에서, 회로수단(54)은 출력신호를 발생한다. 그리고, 이 출력신호와 회로수단(37)의 출력신호가 동시에 발생하는 동안에, 회로수단(55)은 신호(L)와 스레소울드치(O)(P)로부터 기준신호를 발생한다.
이상과 같이 본 실시예에 의하면, 레이저광원과 주기적 슬릿열에 의한 프라운호우퍼 회절상을 이용해서 광검출을 함으로써, 이동슬릿판과 고정슬릿판의 간격을 슬릿피치를 크게 하지 않고 넓게 할수 있고, 슬릿판 간격을 넓게 함으로써 파손의 위험감소, 조립성의 향상이 도모되며, 한편 슬릿판 간격을 좁게하는 일이 없이 슬릿피치를 작게 할수 있어, 위치 검출기의 소형화, 고정밀도화가 도모된다. 또 본 실시예에서는 광검출기의 출력신호의 합신호를 사용하여, 합신호치의 조건결과와 차신호치의 조건결과와의 논리합을 회로수단(55)에 의해서 구하고, 그때의 기준신호를 발생하기 위하여, 본 발명의 제 1이 실시예에 도시한 신호처리수단에 비하여, 이동슬릿판의 이동방향등을 고려할 필요가 없어, 간단한 회로구성으로 할 수가 있다. 이 때문에 코스트저감, 기기의 소형화, 신뢰성의 향상이 도모된다.
또한 본 발명의 각 실시예에서는 이동슬릿판은 회전운동하는 형태의 위치검출기에 대해서 설명하였으나, 직선운동하는 것에서도 상관없다. 또 제 1의 실시예로부터 제 5의 실시예까지의 각각을 결합하여 사용해도 된다. 또 각 실시예에 있어서의 각 슬릿열의 배열패턴에 대해서도 구체적으로 도시한 예에 한정되는 것은 아니며, 그 기능을 하는 것이면 된다. 또, 제 1의 실시예에서는 2개의 광검출기에 대한 제 2의 슬릿부(33)는 1개의 슬릿열로 이루어져 있으나, 이것은 각 광검출기의 출력피이크치의 위치간격을 제1슬릿부(32)에 의하여 결정하며, 또한 슬릿열(34)(35)을 같게 하기 위하여, 별개의 슬릿열에 의하여 구성해도 된다. 또 제 2슬릿부(33)와 제 1슬릿부(32)의 구성을 반대로 하여도 된다. 이것은 다른 실시예에 대해서도 마찬가지이다.
또한, 각 실시예에 도시한 각종 회로수단에 대해서도 한정하는 것이 아니며, 각각 설명한 기능을 가진 회로수단이어도 된다. 또, 본 발명의 제2의 실시예에 있어서, 복수의 광검출기의 출력신호는 최대치이외에서는 서로 대체로 같은 값으로 하였으나, 이것은 차신호에 있어서의 상쇄효과를 최대한으로 발휘시키기 위함이며, 제 1슬릿부, 제 2슬릿부의 랜덤슬릿패턴형상에 의해서는 반드시 전체에서 상쇄효과를 발휘할 수 있는 경우도 있다. 제 2의 실시예에서 말하고자 하는 것은 한쪽의 사용하지 않는 신호성분을, 다른쪽의 신호성분으로 제거하는데 있고, 한쪽의 신호에 사용하지 않는 피이크신호가 있을 경우, 다른 신호에도 그것을 제거하기 위하여 피이크 신호를 억지로 부가하는 것은 이 고안에 의한 것이며, 효과가 있는 것은 물론이다.
또, 본 발명의 각 실시예에 있어서의 제 1슬릿부와 제 2슬릿부는 각각 대응하는 부분은 동일한 슬릿 배열로 하였으나, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부는 다른 슬릿열로 구성되어 있어도 된다. 특히, 제 3 실시예에 제 2 실시예를 결합시켜, 각 슬릿부를 구성하는 슬릿열군을 접근시켜서 중첩하여 배설하면, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부는 전혀 배열패턴이 다른 것이 된다. 제 2 실시예에 있어서도 개별의 슬릿패턴에 대응해서 제거하기 위하여 슬릿을 형성하면 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부는 다른 배열 패턴을 가진 슬릿열이 되는 것이다.
또, 본 발명의 제 5의 실시예에 있어서의 레이저광의 프라운호우퍼 회절상을 발생하는 것이, 기준신호 발생용 슬릿이 아닌, 위치검출용의 슬릿이어도 된다. 이 경우에는 위치검출용 슬릿열에 대해서는 제 5의 실시예에서 설명한 프라운호우퍼 회절상에 의한 효과에 의해서, 이동슬릿판과 고정슬릿판의 간격을 넓게 할 수 있어, 기준신호발생용 슬릿열에 대해서는 제 1의 실시예에서 설명한 효과에 의해서 넓게 할 수 있는 것이며, 위치검출기로서 밸런스를 취한 것이 얻어진다. 또, 제 5의 실시예에 있어서, 회로수단(37)에 있어서 신호(L)와 스레소울드치(M)(N)의 비교를 행하여, 차신호(L)의 최대치와 최소치의 근처에서 그 출력신호가 얻어지도록 되어 있으나, 더욱 간단한 것이어도 되며, 합신호(Q)와 스레소울드치(R)의 비교결과인 회로수단(54)의 출력신호를 그 근처에서밖에 얻을 수 없는 것이면 논리합을 취하는 회로수단(55)이 있기 때문에 회로수단(37)은 생략할 수도 있다. 요는 차신호(L)의 최대치와 최소치 근처를 특정하기 위하여, 합신호와 차신호로부터 얻은 신호의 논리합으로부터 특정할 수 있으면 된다.
이상과 같이 본 발명의 제 1의 발명은 같은 간격이 아니거나 혹은 같은 폭이 아닌 복수의 슬릿으로 이루어지며, 이동슬릿판 위에 있는 제 1슬릿부와 같은 구성의 고정슬릿판위의 제 2슬릿부와, 각 슬릿부의 투과광의 복수의 광검출기와, 각 광검출기의 출력신호의 차신호를 구하는 회로 수단과, 그 차신호가 최대와 최소의 사이에서 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지며, 상기 광검출기 각 출력이 이동슬릿판에 의해서 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록 각 광검출기, 슬릿부를 배설함으로써, 제 1, 제 2슬릿부의 중첩의 투과광의 광검출기의 출력을 나타내며, 또한 차신호를 취함으로써 노이즈 및 광량변동에 대하여 안정하고, SN비의 향상, 신뢰성의 향상이 도모된다. 또, 차신호의 최대 경사부를 크게 취하여, 고정밀도의 기준신호를 얻을 수 있다. 한편 슬릿폭을 넓게 해도 되며, 이 경우 이동슬릿판과 고정슬릿판의 간격을 넓게할 수 있어, 파손의 위험성 감소, 조립조정의 용이화가 도모된다. 또, 제 1의 종래예에 도시한 바와같은 큰 개구부를 형성할 필요가 없어 광의 돌아들어감이 발생하지 않는다. 따라서, 기기의 소형화가 도모된다. 또 본 발명의 제 2의 발명은 제 1의 발명에 있어서의 광검출기의 각 출력에 있어서 서로 한쪽이 최대의 극대치 이외의 피이크가 될 때, 다른쪽도 피이크가 되도록, 제 1 및 제 2슬릿부를 구성함으로써 차신호의 최대와 최소의 피이크 이외의 피이크를 작게할 수 있어, SN비의 향상, 신뢰성의 증대가 도모된다. 또 소요의 피이크 이외의 피이크를 작게할 수 있어, SN비의 향상, 신뢰성의 증대가 도모된다. 또 소요의 피이크 이외의 피이크를 제거하도록 각 슬릿부를 구성함으로써 각 슬릿부의 배치자유도가 증가하여 기기의 소형화를 도모할 수 있다.
또, 본 발명의 제 3의 발명은 상기 차신호에 의하여 기준신호를 발생하는 회로수단에 있어서, 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에 있어서 다른 2개의 값을 취하는 동안만 기준신호를 발생하도록 구성함으로써 회전방향에 의하지 않고, 일정하게 할수 있어, 다른 2개의 값을 설정함으로써 기준신호의 위치와 폭을 미세조정하여 설정할 수 있다.
또, 본 발명의 제 4의 발명은, 상기 제 1슬릿부와 제 2슬릿부의 각각을 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어진 슬릿열이 다른 배열 패턴을 가진 복수의 것으로 구성하여, 광검출기를 제 1슬릿부와 제 2슬리부의 각 슬릿열의 투과광을 검출하도록 구성함으로써, 배열패턴이 일치 또는 공통부분이 많을 때 피이크출력이 얻어진다. 따라서, 다른 슬릿열이 중첩하는 배열도 가능하게 되어, 이동슬릿판의 이동방향을 따라서 슬릿열을 배치할 수 있어, 기기의 소형화가 도모된다. 또, 다른 슬릿열로부터 얻은 광검출기의 출력도 다르므로, 이들을 결합한 차신호에 있어서 최적한 것으로 할 수도 있다.
또, 본 발명의 제 5의 발명은 본 발명의 제 4의 발명에 있어서, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부의 각각을 상기 슬릿열이 다른 슬릿경사각을 가진 복수의 것으로 구성하고, 제1 및 제 2 슬릿부의 각각 대응하는 슬릿열은 같은 슬릿경사각을 가지도록 구성함으로써, 같은 슬릿경사각을 가진 슬릿열이 대향할때만 뾰족한 피이크가 얻어진다. 따라서, 동 배열패턴이 복수 중첩하도록 하는 배열도 가능하며, 소형화가 가능하다. 또, 슬릿열의 배열패턴의 설계의 자유도가 증가하여, 최적화 혹은 간소화가 도모된다.
또, 본 발명의 제 5 발명은 레이저광과 주기적 슬릿열에 의한 프라운호우퍼 회절상에 의한 명암줄무늬를 검출함으로써 이동슬릿판과 고정슬릿판의 간격을 넓게하는 것이, 슬릿피치를 넓게하지않고, 기기의 파손의 위험성 감소, 조립, 조정의 간단화, 슬릿피치의 소형화에 의하여 기기의 소형화, 고정밀도화를 도모할 수 있다.

Claims (20)

  1. 광원과 광검출기의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식 위치검출장치에 있어서, 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어지고, 이동슬릿판 위에 있으며 기준위치를 나타내는 제 1 슬릿부와, 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않는 복수의 슬릿으로 이루어지고, 고정슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제 2 슬릿부와, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 근처에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지며, 상기 각 광검출기의 각 출력이, 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광검출기, 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호 발생장치.
  2. 광원과 광검출기의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식 위치검출장치에 있어서, 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어지고, 이동슬릿판 위에 있으며 기준위치를 나타내는 제 1 슬릿부와, 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어지고, 고정슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제 2 슬릿부와, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 근처에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이, 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광검출기, 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 배설하여, 상기 광 검출기의 각 출력에 있어서 서로 한쪽의 최대의 극대치 이외의 피이크가 될 때, 다른 쪽도 피이크가 되도록 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부를 구성한 위치검출기의 기준위치 발생장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 각 광검출기의 출력에 있어서, 한쪽의 출력이 최대가 될 때, 다른쪽의 출력이 극소치가 되고, 그 이외일때는 양쪽의 출력이 대체로 같아지도록 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 구성한 것을 특징으로 하는 위치검출기의 기준신호 발생장치.
  4. 광원과 광검출기의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식 위치검출장치에 있어서, 이동슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제 1 슬릿부와, 고정슬릿판위에 있으며, 기준위치를 나타내는 제 2 슬릿부와, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 서로 다른 2개의 값을 취하는 동안만, 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이, 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광검출기, 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호 발생장치.
  5. 광원과 광검출기의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식 위치검출장치에 있어서, 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어진 슬릿열과, 다른 배열패턴의 복수의 상기 슬릿열로 이루어지고, 이동슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제 1 슬릿부와, 다른 배열패턴의 복수의 상기슬릿열로 이루어지고, 고정슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제 2 슬릿부와, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부의 각 슬릿열을 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지며, 상기 각 광검출기의 각 출력이, 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광검출기, 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 각 광검출기의 출력에 있어서, 한쪽의 출력이 최대가 될 때, 다른쪽의 출력이 극소치가 되고, 그 이외일 때 양쪽의 출력이 대체로 같아지도록 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 구성한 것을 특징으로 하는 위치검출기의 기준신호발생장치.
  7. 광원과 광검출기의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식 위치검출장치에 있어서, 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어진 슬릿열과, 다른 슬릿경사각을 가진 복수의 상기 슬릿열로 이루어지고, 이동슬릿판 위에 있으며 기준 위치를 나타내는 제 1 슬릿부와, 상기 제 1 슬릿부를 구성하는 각 슬릿열의 슬릿 경사각과 같은 슬릿경사각을 가진 복수의 상기 슬릿열로 이루어지고 고정슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제 2 슬릿부와, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이, 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광검출기, 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 각 광검출기의 출력에 있어서 한쪽의 출력이 최대치가 될 때, 다른쪽의 출력이 극소치가 되고, 그 이외일때는 양쪽의 출력이 대체로 같아지도록 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 구성한 것을 특징으로 하는 위치검출기의 기준신호발생장치.
  9. 제 4 항에 있어서, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 합신호를 얻는 회로수단을 갖추고, 그 합신호가 극대치를 취하는 근처에서 또한 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 그 차신호가 다른 2개의 값을 취할 동안만 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어진 위치검출기의 기준신호 발생장치.
  10. 광원과 광검출기와의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식의 위치검출장치에 있어서, 상기 광원으로서 레이저광원을 착설함과 동시에 상기 이동슬릿판, 고정슬릿판 및 광검출기를 광원쪽의 슬릿판에 착설한 슬릿부에 의하여 발생하는 프라운호우퍼 회절상의 명암줄무늬가 광검출기쪽의 슬릿판에 착설된 슬릿부를 개재해서 광검출기에 조사되도록 설치하고, 또한 상기 이동슬릿판위에 있는 기준 위치를 나타내는 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않는 복수의 슬릿으로 이루어진 제 1 슬릿부와, 고정슬릿판위에 있는 기준위치를 나타내는 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어진 제 2 슬릿부와, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 근처에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이, 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치와 최소치가 되도록, 각 광검출기, 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
  11. 광원과 광검출기와의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식의 위치검출장치에 있어서, 상기 광원으로서 레이저광원을 착설함과 동시에 상기 이동슬릿판, 고정슬릿판 및 광검출기를 광원쪽의 슬릿판에 착설한 슬릿부에 의하여 발생하는 프라운호우퍼 회절상의 명암줄무늬가 광검출기쪽의 슬릿판에 착설된 슬릿부를 개재해서 광검출기 조사되도록 설치하고, 또한 상기 이동슬릿판위에 있으며 기준 위치를 나타내는 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어진 제 1 슬릿부와, 고정슬릿판위에 있는 기준 위치를 나타내는 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어진 제 2 슬릿부와, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 근처에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치와 최소치가 되도록, 각 광검출기, 제1슬릿부, 제2슬릿부를 배설하고 상기 광검출기의 각 출력에 있어서 서로 한쪽이 최대의 극대치 이오의 피이크가 될 때, 다른쪽도 피이크가 되도록 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부를 구성한 위치검출기의 기준신호 발생장치.
  12. 광원과 광검출기와의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식의 위치검출장치에 있어서, 상기 광원으로서 레이저광원을 착설함과 동시에 상기 이동슬릿판, 고정슬릿판 및 광검출기를 광원쪽의 슬릿판에 착설한 슬릿부에 의하여 발생하는 프라운호우퍼 회절상의 명암줄무늬가 광검출기쪽의 슬릿판에 착설된 슬릿부를 개재해서 광검출기에 조사되도록 설치하고, 또한 상기 이동슬릿판위에 있으며 기준 위치를 나타내는 제 1 슬릿부와, 고정슬릿판위에 있으며 기준 위치를 나타내는 제 2 슬릿부와, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 다른 2개의 값을 취하는 동안만 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광검출기, 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
  13. 광원과 광검출기와의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식의 위치검출장치에 있어서, 상기 광원으로서 레이저광원을 착설함과 동시에 상기 이동슬릿판, 고정슬릿판 및 광검출기를 광원쪽의 슬릿판에 착설한 슬릿부에 의하여 발생하는 프라운호우퍼 회절상의 명암줄무늬가 광검출기쪽의 슬릿판에 착설된 슬릿부를 개재해서 광검출기에 조사되도록 설치하고, 또한 상기 이동슬릿판위에 있으며 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않는 복수의 슬릿으로 이루어진 슬릿열과, 이들과는 다른 배열패턴인 복수의 상기 슬릿열로 이루어지며 기준위치를 나타내는 제 2 슬릿부와, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부의 각 슬릿열을 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이, 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광검출기, 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
  14. 광원과 광검출기와의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식의 위치검출장치에 있어서, 상기 광원으로서 레이저광원을 착설함과 동시에 상기 이동슬릿판, 고정슬릿판 및 광검출기를 광원쪽의 슬릿판에 착설한 슬릿부에 의하여 발생한 프라운호우퍼 회절상의 명암줄무늬가 광검출기쪽의 슬릿판에 착설된 슬릿부를 개재해서 광검출기에 조사되도록 설치하고, 또한 상기 이동슬릿판위에 있으며 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지않은 복수의 슬릿으로 이루어진 슬릿열과, 다른 슬릿경사각을 가진 복수의상기 슬릿열로 이루어지며 기준위치를 나타내는 제1슬릿부와, 고정슬릿판위에 있으며 상기 제1슬릿부를 구성하는 각 슬릿열의 슬릿경사각과 같은 슬릿경사각을 가진 복수의 상기 슬릿열로 이루어지고 기준 위치를 나타내는 제 2 슬릿부와, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이, 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록 각 광검출기, 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
  15. 광원과 광검출기와의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 공전식의 위치검출장치에 있어서, 상기 광원으로서 레이저광원을 착설함과 동시에 상기 이동슬릿판, 고정슬릿판 및 광검출기를 광원쪽의 슬릿판에 착설한 슬릿부에 의하여 발생하는 프라운호우퍼 회절상의 명암줄무늬가 광검출기쪽의 슬릿판에 착설된 슬릿부를 개재해서 광검출기에 조사되도록 설치하고, 또한 상기 이동슬릿판위에 있으며 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어지고 기준위치를 나타내는 제 1 슬릿부와, 상기 고정슬릿판위에 있으며 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어지며 기준위치를 나타내는 제 2 슬릿부와, 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 다른 2개의 값을 취하는 동안만, 기준신호를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록 각 광검출기, 제1슬릿부, 제2슬릿부를 배설하고, 상기 광검출기의 각 출력에 있어서 서로 한쪽이 최대의 극대치가 될 때는 다른쪽은 최소치 혹은 그에 가까운 값이 되며, 또, 한쪽이 최대가 아닌 극대치가 될 때는 다른쪽도 최대치 또는 그에 가까운 값이 되도록 제1슬릿부와 제2슬릿부를 구성하고, 상기 각 광검출기의 각 출력신호가 최대가 될 때의 각 광검출기에 대응하는 광을 투과하는 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부를 구성하고, 상기 각 광검출기의 각 출력신호가 최대가 될 때의 각 광검출기에 대응하는 광을 투과하는 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부의 슬릿열의 배열패턴이 각 광출 출기에 대응하는 부분에서 다르도록 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부를 구성한 위치검출기의 기준신호 발생장치.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 프라운호우퍼 회절상이 위치검출용 슬릿부에 의하여 발생하는 것을 특징으로 하는 위치검출기의 기준신호 발생장치.
  17. 제 15 항에 있어서, 복수의 상기 기준신호 발생용 광검출기가 이동슬릿판의 이동방향을 따라서 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 위치검출기의 기준신호 발생장치.
  18. 제 15 항에 있어서, 기준신호 발생용의 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 합신호를 얻는 회로수단을 갖추고, 그 합신호가 극대치를 취하는 근처에서 또한 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 그 차신호가 다른 2개의 값을 취하는 동안만 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 위치검출기의 기준신호 발생장치.
  19. 제 15 항에 있어서, 기준신호 발생용의 상기 각 광검출기의 출력에 있어서 서로 한쪽의 최대치의 근처에서는 다른쪽의 값은 그것에 비하여 충분히 작고, 그 이외에서는 양쪽의 출력이 대체로 같아지도록 제 1 슬릿부, 제 2 슬릿부를 구성한 것을 특징으로 하는 위치검출기의 기준신호 발생장치.
  20. 제 15 항에 있어서, 구성하는 복수의 슬릿의 간격, 폭의 어느 한쪽 또는 양쪽은 서로 다르게 형성함으로써 상기 각 광검출기의 각 출력신호가 최대가 될 때의 각 광검출기에 대응하는 광을 투과하는 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부의 슬릿열의 배열패턴이 각 광검출기에 대응하는 부분에서 다르도록 제 1 슬릿부와 제2슬릿부를 구성한 것을 특징으로 하는 위치검출기의 기준신호 발생장치.
KR1019880005456A 1987-05-13 1988-05-11 위치검출기의 기준신호 발생장치 KR910003830B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62-116509 1987-05-13
JP62116509A JPS63281015A (ja) 1987-05-13 1987-05-13 位置検出器の基準信号発生装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR880014377A KR880014377A (ko) 1988-12-23
KR910003830B1 true KR910003830B1 (ko) 1991-06-12

Family

ID=14688902

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019880005456A KR910003830B1 (ko) 1987-05-13 1988-05-11 위치검출기의 기준신호 발생장치

Country Status (5)

Country Link
US (2) US4900924A (ko)
EP (1) EP0292151A3 (ko)
JP (1) JPS63281015A (ko)
KR (1) KR910003830B1 (ko)
CA (1) CA1300245C (ko)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3900866C2 (de) * 1989-01-13 2001-11-22 Heimeier Gmbh Metall Theodor Anordnung zur Steuerung eines Heiz- oder Kühlmediums
US5065017A (en) * 1990-04-20 1991-11-12 Hoech Robert W Zero mark for optical encoder using stator mask patterns and rotor patterns
AT397872B (de) * 1991-06-03 1994-07-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
US5307198A (en) * 1993-05-25 1994-04-26 Polaroid Corp. Scanner with combined predictive and diffractive feedback control of beam position
US5748181A (en) * 1994-07-01 1998-05-05 Primax Electronics Ltd. Cursor controlling apparatus and its direction detection method
EP0704680B1 (en) * 1994-09-30 2000-04-26 Kabushiki Kaisha Toshiba An optical rotary encoder device and an apparatus using same
US6229140B1 (en) 1995-10-27 2001-05-08 Canon Kabushiki Kaisha Displacement information detection apparatus
US5698851A (en) * 1996-04-03 1997-12-16 Placa Ltd. Device and method for precise angular measurement by mapping small rotations into large phase shifts
DE19642200A1 (de) * 1996-10-12 1998-04-16 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Kontrollvorrichtung und Verfahren zur Prüfung von positionsabhängigen Abtastsignalen
DE19717215A1 (de) * 1997-04-24 1998-10-29 Bosch Gmbh Robert Optischer Inkrementgeber
US5939713A (en) * 1997-11-03 1999-08-17 Primax Electronics Ltd. Optical sensing system using two sensors to generate position signals
US6713756B2 (en) 2000-05-09 2004-03-30 Olympus Corporation Optical encoder and optical rotary encoder
DE10056604A1 (de) * 2000-11-15 2002-05-23 Kostal Leopold Gmbh & Co Kg Verfahren zur Signalauswertung einer optoelektronischen Weg-oder Winkelmeßeinrichtung sowie Verwendung eines solchen Verfahrens
JP3821435B2 (ja) 2002-10-18 2006-09-13 松下電器産業株式会社 超音波探触子
US8148674B2 (en) * 2006-03-20 2012-04-03 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Optical encoder for detecting relative rotation angle for two members
JP4832204B2 (ja) * 2006-08-01 2011-12-07 本田技研工業株式会社 車両用変速装置のシフトドラム駆動装置
KR100861469B1 (ko) 2006-09-30 2008-10-02 한국 고덴시 주식회사 광원 위치인식센서용 모듈, 이를 이용한 자기위치 인식장치 및 자기위치 인식방법
GB2496230B (en) 2008-08-28 2013-07-17 Faro Tech Inc Indexed optical encoder, method for indexing an optical encoder, and method for dynamically adjusting gain and offset in an optical encoder
JP5379761B2 (ja) * 2010-08-06 2013-12-25 キヤノン株式会社 アブソリュートエンコーダ
US8835832B2 (en) * 2012-01-17 2014-09-16 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Optical encoder with signal offset correction system
JP5382826B2 (ja) * 2012-07-13 2014-01-08 レーザーテック株式会社 直線駆動装置、可変シャッター装置、ビーム成形装置、ビーム照射装置、欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法本発明は、直線駆動装置、可変シャッター装置、ビーム成形装置、及びビーム照射装置、並びにビーム成形装置を用いた欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法に関する。
JP6466642B2 (ja) * 2014-02-14 2019-02-06 キヤノンプレシジョン株式会社 エンコーダ
JP6487724B2 (ja) * 2014-03-14 2019-03-20 キヤノンプレシジョン株式会社 エンコーダ
EP3064903B1 (en) 2015-03-06 2018-06-13 Canon Precision Inc. Encoder
GB2554230A (en) 2015-04-22 2018-03-28 Faro Tech Inc Indexed optical encoder
JP6370826B2 (ja) * 2016-04-01 2018-08-08 ファナック株式会社 液体の浸入を光で検出するエンコーダ
JP2019517004A (ja) * 2016-05-25 2019-06-20 レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ 適応性のある基準マーク検出プロセス
US10303270B2 (en) * 2016-09-12 2019-05-28 Microsoft Technology Licensing, Llc Linear encoder force transducer
DE102018127676B4 (de) * 2018-11-06 2021-09-09 Sick Ag Optoelektronischer Sensor

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3187187A (en) * 1962-01-24 1965-06-01 Wayne George Corp Photoelectric shaft angle encoder
US3326077A (en) * 1963-09-03 1967-06-20 Dynamics Res Corp Optical device employing multiple slit patterns for zero reference in a shaft encoder
BE756467A (fr) * 1969-09-24 1971-03-22 Philips Nv Dispositif pour aligner des objets, comportant une source lumineuse, unsysteme de detection photosensible et deux porteurs pour configuration
US3996463A (en) * 1975-08-28 1976-12-07 Western Electric Company, Inc. Method and apparatus for monitoring the relative position of a light beam and a grating using Fraunhofer diffraction effects
US4218615A (en) * 1978-10-23 1980-08-19 Martin Marietta Corporation Incremental digital shaft encoder
DE3014467A1 (de) * 1980-04-15 1981-11-12 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Schaltungsanordnung zum erkennen von strichfoermigen markierungen
DE3104972C2 (de) * 1981-02-12 1985-06-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische inkrementale Positioniereinrichtung
US4451731A (en) * 1981-08-10 1984-05-29 Hewlett-Packard Company Apparatus and method for modulating light to generate an index pulse
JPS591021A (ja) * 1982-06-28 1984-01-06 Kawasaki Steel Corp コイルの巻締り度合検出方法
US4602155A (en) * 1983-07-25 1986-07-22 Bei Electronics, Inc. Zero reference generating method and apparatus for optical encoders
US4678908A (en) * 1983-07-25 1987-07-07 Bei Electronics, Inc. Zero reference generating method and apparatus for optical encoders
JPH0619280B2 (ja) * 1983-09-24 1994-03-16 名古屋大学長 光学式自動位置決め装置
JPS60230018A (ja) * 1984-04-27 1985-11-15 Asahi Optical Co Ltd 光電型エンコ−ダの基準位置検出装置
US4708484A (en) * 1984-10-24 1987-11-24 Hitachi, Ltd. Projection alignment method and apparatus
JPS61174717A (ja) * 1985-01-30 1986-08-06 Canon Inc 位置合わせ装置
JPS6236923A (ja) * 1985-08-10 1987-02-17 Fanuc Ltd 光学式エンコ−ダ
JPS6281528A (ja) * 1985-10-04 1987-04-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 位置検出装置の基準信号発生装置
DE3536466A1 (de) * 1985-10-12 1987-04-16 Bodenseewerk Geraetetech Nullimpulserzeuger zur erzeugung eines impulses bei erreichen einer vorgegebenen lage eines traegers
CH672185A5 (ko) * 1986-11-19 1989-10-31 Kern & Co Ag
US4883955A (en) * 1987-02-25 1989-11-28 Asahi Kogaku Kogyo K.K. Optical encoder with converging means
JPH113108A (ja) * 1997-06-13 1999-01-06 Sony Corp 加工制御方法及び加工制御装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP0292151A2 (en) 1988-11-23
US5003170A (en) 1991-03-26
CA1300245C (en) 1992-05-05
EP0292151A3 (en) 1991-02-27
JPS63281015A (ja) 1988-11-17
KR880014377A (ko) 1988-12-23
US4900924A (en) 1990-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR910003830B1 (ko) 위치검출기의 기준신호 발생장치
US6198534B1 (en) Scanning unit for an optical position measuring system
US4677293A (en) Photoelectric measuring system
US5214280A (en) Photoelectric position detector with offset phase grating scales
US5539519A (en) Compact, high resolution optical displacement detector
EP0577090B1 (en) Optical encoder
DE3809804C2 (ko)
JP2818800B2 (ja) 位置に依存する信号を発生する装置
JPH04157319A (ja) 影絵パターンを利用するエンコーダ
EP1236023A1 (de) Winkelmesssystem
JP4970649B2 (ja) リニア運動又は回転運動を定量的に検出するためのオプティカルエンコーダ
US4115008A (en) Displacement measuring apparatus
JPS6363919A (ja) 位置検出装置
JP7572834B2 (ja) 光学的な位置測定装置
JPH05256666A (ja) ロータリーエンコーダー
CN100385206C (zh) 位置测量装置
JPH0540046A (ja) アブソリユ−ト・エンコ−ダ用照明装置
JPH0843135A (ja) 光回折光学結像素子を有するエンコーダ
JPS58168914A (ja) 光学式定点検出装置
US11353583B2 (en) Optical position-measurement device with varying focal length along a transverse direction
JP2822225B2 (ja) 光学式変位検出装置
JP2000121388A (ja) 光学式エンコーダ
JP2001272252A (ja) 光学式エンコーダ装置
JPH0715376B2 (ja) 回転角検出装置
JPH0755506A (ja) 光電型エンコーダ

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 19980605

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee