KR880014377A

KR880014377A - 위치검출기의 기준신호 발생장치

Info

Publication number: KR880014377A
Application number: KR1019880005456A
Authority: KR
Inventors: 유다까 마쓰다; 노리오 오꾸다니
Original assignee: 다니이 아끼오; 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
Priority date: 1987-05-13
Filing date: 1988-05-11
Publication date: 1988-12-23
Also published as: EP0292151A2; US5003170A; CA1300245C; EP0292151A3; JPS63281015A; KR910003830B1; US4900924A

Abstract

내용 없음

Description

위치검출기의 기준신호 발생장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 제1의 실시예에 있어서의 위치검출기의 기준신호발생장치의 개요도.

제2도는 제1도의 요부확대도.

제3도는 제1의 실시예에 있어서의 위치검출기의 기준신호발생장치의 신호처리계통도.

Claims

광원과 광검출기의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식 위치검출장치에 있어서, 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어지고, 이동슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제1슬릿부와, 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지않은 복수의 슬릿으로 이루어지고, 고정슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제2슬릿부와, 제1슬릿부와 제2슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 근처에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지며, 상기 각 광검출기의 각 출력이, 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광검출기, 제1슬릿부, 제2슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
광원과 광검출기의 사이에 이동 슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식 위치검출장치에 있어서, 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어지고, 이동슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제1슬릿부와, 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어지고, 고정슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제2슬릿부와, 제1슬릿부와 제2슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 근처에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이, 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광검출기, 제1슬릿부, 제2슬릿부를 배설하여, 상기 광검출기의 각 출력에 있어서 서로 한쪽의 최대의 극대치 이외의 피이크가 될 때, 다른쪽도 피이크가 되도록 제1슬릿부와 제2슬릿부를 구성한 위치검출기의 기준위치발생장치.
제2항에 있어서, 상기 각 광검출기의 출력에 있어서, 한쪽의 출력이 최대가 될 때, 다른쪽의 출력이 극소치가 되고, 그 이외일때는 양쪽의 출력이 대체로 같아지도록 제1슬릿부, 제2슬릿부를 구성한 것을 특징으로하는 위치검출기의 기준신호발생장치.
광원과 광검출기의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식 위치검출장치에 있어서, 이동슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제1슬릿부와, 고정슬릿판위에 있으며, 기준위치를 나타내는 제2슬릿부와, 제1슬릿부와 제2슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 서로 다른 2개의 값을 취하는 동안만, 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이, 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광검출기, 제1슬릿부, 제2슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
광원과 광검출기의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식 위치검출장치에 있어서, 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어진 슬릿열과, 다른 배열패턴의 복수의 상기 슬릿열로 이루어지고, 이동슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제1슬릿부와, 다른 배열패턴의 복수의 상기 슬릿열로 이루어지고, 고정슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제2슬릿부와, 제1슬릿부와 제2슬릿부의 각 슬릿열을 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로 수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이, 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광검출기, 제1슬릿부, 제2슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
제5항에 있어서, 상기 각 광검출기의 출력에 있어서, 한쪽의 출력이 최대가 될 때, 다른쪽의 출력이 극소치가 되고, 그 이외일 때 양쪽의 출력이 대체로 같아지도록 제1슬릿부, 제2슬릿부를 구성한 것을 특징으로하는 위치검출기의 기준신호발생장치.
광원과 광검출기의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식 위치검출장치에 있어서, 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어진 슬릿열과, 다른 슬릿경사각을 가진 복수의 상기슬릿열로 이루어지고, 이동슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제1슬릿부와, 상기 제1슬릿부를 구성하는 각 슬릿열의 슬릿 경사각과 같은 슬릿경사각을 가진 복수의 상기 슬릿열로 이루어지고 고정슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제2슬릿부와, 제1슬릿부와 제2슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대가 최소가 되는 사이에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이, 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광검출기, 제1슬릿부, 제2슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
제7항에 있어서, 상기 각 광검출기의 출력에 있어서 한쪽의 출력이 최대치가 될 때, 다른쪽의 출력이 극소치가 되고, 그 이외일때는 양쪽의 출력이 대체로 같아지도록 제1슬릿부, 제2슬릿부를 구성한 것을 특징으로하는 위치검출기의 기준신호발생장치.
제4항에 있어서, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 합신호를 얻는 회로수단을 갖추고, 그 합신호가 극대치를 취하는 근처에서 또한 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 그 차신호가 다른 2개의 값을 취할 동안만 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어진 위치검출기의 기준신호발생장치.
광원과 광검출기와의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식의 위치검출장치에 있어서, 상기 광원으로서 레이저광원을 착설함과 동시에 상기 이동슬릿판, 고정슬릿판 및 광검출기를 광원쪽의 슬릿판에 착설한 슬릿부에 의하여 발생하는 프라운호우퍼회절상의 명암줄무늬가 광검출기쪽의 슬릿판에 착설된 슬릿부를 개재해서 광검출기에 조사되도록 설치하고, 또한 상기 이동슬릿판위에 있는 기준위치를 나타내는 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않는 복수의 슬릿으로 이루어진 제1슬릿부와, 고정슬릿판위에 있는 기준 위치를 나타내는 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어진 제2슬릿부와, 제1슬릿부와 제2슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 근처에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치와 최소치가 되도록, 각 광검출기, 제1슬릿부, 제2슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
광원과 광검출기와의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식의 위치검출장치에 있어서, 상기 광원으로서 레이저광원을 착설함과 동시에 상기 이동슬릿판, 고정슬릿판 및 광검출기를 광원쪽의 슬릿판에 착설한 슬릿부에 의하여 발생하는 프라운호우퍼회절상의 명암줄무늬가 광검출기쪽의 슬릿판에 착설된 슬릿부를 개재해서 광검출기에 조사되도록 설치하고, 또한 상기 이동슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어진 제1슬릿부와, 고정슬릿판위에 있는 기준위치를 나타내는 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어진 제2슬릿부와, 제1슬릿부와 제2슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 근처에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치와 최소치가 되도록, 각 광검출기, 제1슬릿부, 제2슬릿부를 배설하고 상기 광검출기의 각 출력에 있어서 서로 한쪽이 최대의 극대치 이외의 피이크가 될 때, 다른쪽도 피이크가 되도록 제1슬릿부와 제2슬릿부를 구성한 위치검출기의 기준신호발생장치.
광원과 광검출기와의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식의 위치검출장치에 있어서, 상기 광원으로서 레이저광원을 착설함과 동시에 상기 이동슬릿판, 고정슬릿판 및 광검출기를 광원쪽으로 슬릿판에 착설한 슬릿부에 의하여 발생하는 프라운호우퍼회절상의 명암줄무늬가 광검출기쪽의 슬릿판에 착설된 슬릿부를 개재해서 광검출기에 조사되도록 설치하고, 또한 상기 이동슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제1슬릿부와, 고정슬릿판위에 있으며 기준위치를 나타내는 제2슬릿부와, 제1슬릿부와 제2슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호를 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 다른 2개의 값을 취하는 동안만 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광거출기, 제1슬릿부, 제2슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
광원과 광검출기와의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식의 위치검출장치에 있어서, 상기 광원으로서 레이저광원을 착설함과 동시에 상기 이동슬릿판, 고정슬릿판 및 광검출기를 광원쪽의 슬릿판에 착설한 슬릿부에 의하여 발생하는 프라운호우퍼회절상의 명암줄무늬가 광검출기쪽의 슬릿판에 착설된 슬릿부를 개재해서 광검출기에 조사되도록 설치하고, 또한 상기 이동슬릿판위에 있으며 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않는 복수의 슬릿으로 이루어진 슬릿열과, 이들과는 다른 배열패턴인 복수의 상기 슬릿열로 이루어지며 기준위치를 나타내는 제1슬릿부와, 고정슬릿판위에 있으며 서로 다른 배열패턴 복수의 상기 슬릿열로 이루어지며 기준위치를 나타내는 제2슬릿부와, 제1슬릿부와 제2슬릿부의 각 슬릿열을 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록, 각 광검출기, 제1슬릿부, 제2슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
광원과 광검출기와의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식의 위치검출장치에 있어서, 상기 광원으로서 레이저광원을 착설함과 동시에 상기 이동슬릿판, 고정슬릿판 및 광검출기를 광원쪽의 슬릿판에 착설한 슬릿부에 의하여 발생한 프라운호우퍼회절상의 명암줄무늬가 광검출기쪽의 슬릿판에 착설된 슬릿부를 개재해서 광검출기에 조사되도록 설치하고, 또한 상기 이동슬릿판위에 있으며 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않는 복수의 슬릿으로 이루어진 슬릿열과, 다른 슬릿경사각을 가진 복수의 상기 슬릿열로 이루어지며 기준위치를 나타내는 제1슬릿부와, 고정슬릿판위에 있으며 상기 제1슬릿부를 구성하는 각 슬릿열로 슬릿경사각과 같은 슬릿경사각을 가진 복수의 상기 슬릿열로 이루어지고 기준위치를 나타내는 제2슬릿부와, 제1슬릿부와 제2슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력 신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 괴도록 각 광검출기, 제1슬릿부, 제2슬릿부를 배설한 위치검출기의 기준신호발생장치.
광원과 광거출기와의 사이에 이동슬릿판과 고정슬릿판을 배설한 광전식의 위치검출장치에 있어서, 상기 광원으로서 레이저광원을 착설함과 동시에 상기 이동슬릿판, 고정슬릿판 및 광검출기를 광원쪽의 슬릿판에 착설한 슬릿부에 의하여 발생하는 프라운호우퍼회절상의 명암줄무늬가 광검출기쪽의 슬릿판에 착설된 슬릿부를 개재해서 광검출기에 조사되도록 설치하고, 또한 상기 이동슬릿판위에 있으며 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않는 복수의 슬릿으로 이루어지고 기준위치를 나타내는 제1슬릿부와, 상기 고정슬릿판위에 있으며 간격이 같지 않거나 혹은 폭이 같지 않은 복수의 슬릿으로 이루어지며 기준위치를 나타내는 제2슬릿부와, 제1슬릿부와 제2슬릿부를 투과한 광을 검출하는 복수의 광검출기와, 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 차신호를 얻는 회로수단과, 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 다른 2개의 값을 취하는 동안만, 기준신호를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어지고, 상기 각 광검출기의 각 출력이 이동슬릿판의 이동에 따라 일정한 간격을 두고 최대치가 되도록 각 광거출기, 제1슬릿부, 제2슬릿부를 배설하고, 상기 광검출기의 각 출력에 있어서 서로 한쪽이 최대의 극대치가 될 때는 다른쪽은 최소치 혹은 그에 가까운 값이 되며, 또, 한쪽이 최대가 아닌 극대치가 될 때는 다른쪽도 최대치 또는 그에 가까운 값이 되도록 제1슬릿부와 제2슬릿부를 구성하고, 상기 각 광검출기의 각 출력신호가 최대가 될 때의 각 광검출기에 대응하는 광을 투과하는 제1슬릿부와 제2슬릿부의 슬릿열의 배열패턴이 각 광출 출기에 대응하는 부분에서 다르도록 제1슬릿부와 제2슬릿부를 구성한 위치검출기의 기준신호발생장치.
제15항에 있어서, 상기 프라운호우퍼회절상이 위치검출용 슬릿부에 의하여 발생하는 것을 특징으로하는 위치검출기의 기준신호발생장치.
제15항에 있어서, 복수의 상기 기준신호발생용 광검출기가 이동슬릿판의 이동방향을 따라서 배설되어 있는 것을 특징으로하는 위치검출기의 기준신호발생장치.
제15항에 있어서, 기준신호발생용의 상기 각 광검출기의 각 출력신호의 합신호를 얻는 회로수단을 갖추고, 그 합신호가 극대치를 취하는 근처에서 또한 그 차신호가 최대와 최소가 되는 사이에서 그 차신호가 다른 2개의 값을 취하는 동안만 기준위치를 나타내는 기준신호를 발생하는 회로수단으로 이루어진 것을 특징으로하는 위치검출기의 기준신호발생장치.
제15항에 있어서, 기준신호발생용의 상기 각 광검출기의 출력에 있어서, 서로 한쪽의 최대치의 근처에서는 다른쪽의 값은 그것에 비하여 충분히 작고, 그 이외에서는 양쪽의 출력이 대체로 같아지도록 제1슬릿부, 제2슬릿부를 구성한 것을 특징으로하는 위치검출기의 기준신호발생장치.
제15항에 있어서, 구성하는 복수의 슬릿의 간격, 폭의 어느 한쪽 또는 양쪽은 서로 다르게 형성함으로써 상기 각 광검출기의 각 출력신호가 최대가 될 때의 각 광검출기에 대응하는 광을 투과하는 제1슬릿부와 제2슬릿부의 슬릿열의 배열패턴이 각 광검출기에 대응하는 부분에서 다르도록 제1슬릿부와 제2슬릿부를 구성한 것을 특징으로하는 위치검출기의 기준신호발생장치.

※ 참고사항：최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.