KR900017056A - 저 인더런스 세라믹 캐패시터의 박막 필름 마무리부 형성 방법 및 그 방법으로 제조된 제품 - Google Patents

저 인더런스 세라믹 캐패시터의 박막 필름 마무리부 형성 방법 및 그 방법으로 제조된 제품 Download PDF

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KR900017056A
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갈바그니 존
엠. 오베르슈미트 제임스
엔. 휴메닉 제임스
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조오 시크리
에이 브이 엑스 코포레이션
하워드 지. 피규에로아
아이 비 엠 코포레이션
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Abstract

내용 없음

Description

저 인더런스 세라믹 캐패시터의 박막 필름 마무리부 형성 방법 및 그 방법으로 제조된 제품
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 전극 연결 탭을 관통하여 도시한 세라믹 캐패시터의 개략적 수직 관통 단면도,
제2도는 최초 폴리싱 단계이후의 제1도에 대한 단면도,
제3도는 본 발명에 따라 최종 폴리싱 단계를 거친 제1도 및 제2도에 대한 단면도,
제4도는 캐패시터 표면이 금속화되고 땜납볼이 금속화된 쇼팅바에 고정된 이후의 제1도 내지 3도의 단면도,
제5도는 세라믹 표면에 대한 쇼팅 바 및/또는 땜납 볼의 접착성과 관계하여 최종 연마 입자 크기를 비교하는 그래프.

Claims (8)

  1. 제1표면상에 나란히 배치된 도전성 탭을 갖는 저인덕턴스의 고품질 탭형 세라믹 캐패시터를 마무리하는 방법에 있어서, 소결된 상기 캐괘시터의 상기 제1표면을 연마하여 전체적으로 평탄한 형상을 형성하고, 약 2마이크론 내지 약 10마이크론 범위의 평균 입자 치수를 갖는 연마 폴리싱(polishing)매질을 이용하여 상기 표면을 폴리싱하고, 상기 탭들이 배치된 부분들을 노출시키면서 타부분들을 덮도록 상기 표면을 마스킹하고, 진공 증착 기술로 상기 마스크를 통해서 상기 표면상에 하나 이상의 금속층을 증착시키는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 마무리 방법.
  2. 제1항에 있어 서, 상기 금속층들의 결합 두께가 약 5,000옹스트롬 내지 40,000옹스트롬인 것을 특징으로하는 방법.
  3. 제2항에 있어서. 상기 금속층이, 상기 표면에 직접 적용되며 필수적으로 텅스텐과 티타늄 합금으로 구성되는 제1층, 상기 제1층을 덮고 필수적으로 알루미늄으로 구성되는 제2층 및 상기 제2층을 덮고 필수적으로 텅스텐과 티타늄 합금으로 구성되는 제3층으로 구성되는 것을 특징으로하는 방법.
  4. 제2항에 있어서. 상기 마스크를 통해서 상기 금속층상의 선택된 위치에 하나 이상의 3차원 땜납 덩어리를 접합하는 단계를 표함하는 것을 특징으로하는 방법.
  5. 제1항의 방법에 따라 제조된 캐패시터.
  6. 제2항의 방법에 따라 제조된 캐패시터.
  7. 제3항의 방법에 따라 제조된 캐패시터.
  8. 제4항의 방법에 따라 제조된 캐패시터.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890016627A 1989-04-04 1989-11-16 저 인더런스 세라믹 캐패시터의 박막 필름 마무리부 형성 방법 및 그 방법으로 제조된 제품 KR900017056A (ko)

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