KR900003678A - 감광제 및 그 감광제를 사용한 감광성 수지조성물 및 그의 감광성 수지조성물을 사용한 패턴형성방법 - Google Patents

감광제 및 그 감광제를 사용한 감광성 수지조성물 및 그의 감광성 수지조성물을 사용한 패턴형성방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

감광제 및 그 감광제를 사용한 감공성 수지조성물 및 그의 감광성 수지조성물을 사용한 패턴형성방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (16)

  1. 다음 일반식(Ⅰ)으로 나타내는 방향족 디아지드화합물인 것을 특징으로 하는 감광제.
    (식중, X는,,또는를 나타내고, Y는,, 또는를 나타낸다. 단, R2, R3는 수소 또는 저급알킬기, m은 1,2 또는 3, n은 1 또는 2를 나타내고, R4는 탄소수 4이상, 20이하의 치환 또는 비치환알킬렌기, R5는 수소 또는 탄소수 20이하의 치환 또는 비치환알킬기를 나타내며, R6, R7, R8, R9, R10은 수소, ㅏㄹ킬기, 치환알킬기, 아르알킬기, 알릴기 또는 R6내지 R9의 중의 2개가 같이 되어서 형성하는 알킬렌기를 나타낸다. 또한 R6내지 R9는 각각 동시에 수소로 되는 일은 없다.)
  2. 제1항에 있어서, X는이며, Y는 -CH=CH-인 것을 특징으로 하는 감광제.
  3. 제2항에 있어서, R1은 -CH2CH2CH2-, R2및 R3은 수소, m=1, n=1인 것을 특징으로 하는 감광제.
  4. 제2항에 있어서, R1은 -CH2CH2-, R2는 -CH2CH3R3는 수소, m=1, n=1인 것을 특징으로 하는 감광제.
  5. 제1항에 있어서, X는이며, Y는 -CH=CH-인 것을 특징으로 하는 감광제.
  6. 제5항에 있어서, R4는 -(CH2)7CH3, R5는 수소인 것을 특징으로 하는 감광제.
  7. 제5항에 있어서, R4및 R5는 -(CH2)4CH3인 것을 특징으로 하는 감광제.
  8. 제1항에 있어서, X는이며,Y는 -CH=CH-인 것을 특징으로 하는 감광제.
  9. 제8항에 있어서, R6, R7, R8및 R9는 -CH3인 것을 특징으로 하는 감광제.
  10. 제8항에 있어서, R6및 R7은 -(CH2)3CH3, R8및 R9는 수소인 것을 특징으로 하는 감광제.
  11. 제8항에 있어서, R6, R7, R8및 R9는 -CH2CH3인 것을 특징으로 하는 감공제.
  12. 방향족 디아지드화합물을 감광제로 하는 수성현상 가능한 감광성 수지조성물에 있어서, 이 감광제가 다음 일반식(Ⅰ)으로 표시되는 방향족 디아지드화합물인 것을 특징으로 하는 감광성 수지조성물.
    (식중, X는,,또는를 나타내며 Y는 -CH=CH-,또는를 타나낸다. 단, R1은 치환 또는 비치환알킬렌기, R2, R3는 수소 또는 저급알킬기, m은 1,2 또는 3, n은 1 또는 2를 나타내며, R4는 탄소수 4이상, 20이하의 치환 또는 비치환알킬렌기, R5는 소수 또는 탄소수 20이하의 치환 또는 비치환알킬기를 나타내며, R6, R7, R8, R9, R10은 수소, 알킬기, 치환알킬기, 아르알킬기, 아릴기 또는 R6내지 R9중의 2개가 같이 되어서 형성하는 알킬렌기를 나타낸다. 또 R6내지 R9는 각각 동시에 수소로 되는 일은 없다.)
  13. 제12항에 있어서, X는이며, Y는 -CH=CH-인 것을 특징으로 하는 감광성 수지조성물.
  14. 제12항에 있어서, X는이며, Y는 -CH=CH-인 것을 특징으로 하는 감광성 수지조성물.
  15. 제12항에 있어서, X는이며, Y는 -CH=CH-인 것을 특징으로 하는 감공성 수지조성물.
  16. 제12항에 있어서, 감광성 수지조성물을 기판상에 도포하여 노광한 후, 수성현상액으로 현상함으로써 된 감광성 수지조성물을 사용한 것을 특징으로 하는 패턴형성방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890011105A 1988-08-03 1989-08-03 감광제 및 그 감광제를 사용한 감광성 수지조성물 및 그의 감광성 수지조성물을 사용한 패턴형성방법 KR0145708B1 (ko)

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