KR900002325B1 - 인쇄회로 기판의 기능테스트 시스템 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

인쇄회로 기판의 기능테스트 시스템

제 1 도는 본 발명의 일 실시예를 표시한 기능테스트 시스템의 전체구조도.

제 2 도는 파형변환 기억수단의 회로구성도.

제 3 도는 허용범위 데이터와 검사파형신호와의 관계도.

제 4 도는 양질품 회로 기판 및 검사회로 기판이 측정해야할 소정점의 좌표치 및 그들 측정순서를 결정하는 수순을 표시한 플로우 챠트.

제 5 도는 양질품 회로 기판인 소정의 측정점의 파형신호의 취득 및 허용범위 데이터의 작성수순을 표시한 플로우 챠트.

제 6 도는 검사회로 기판의 측정해야할 소정점에서의 파형신호를 얻은후 또는 허용범위 데이터와 비교하는 수순을 표시한 플로 챠트이다.

본 발명은 전자부품이 실장(mounted or installed) 배선된 인쇄회로 기판의 좋고 나쁨을 판정하는 인쇄회로 기판의 기능테스트 시스템에 관한 것이다.

종래의 기능테스트 시스템은 검사해야할 회로 기판의 입력단자에 대하여, 소정의 신호를 인가하였을때, 그 회로 기판의 출력단자에 나타나는 신호의 값을 예컨대 디지탈 볼트메터, 오실로스코프등에 의해 측정한다. 이 경우 검사해야할 회로 기판이 좋으냐 나쁘냐의 판정을 위한 기준은 미리 그 검사해야할 회로 기판의 설계도로부터 그 회로 기판의 동작 슈미레이션을 계산에 의해 산출해내고, 거기에 의거 작성한다. 그러므로 이러한 기능테스트 시스템을 자동화할때에는 콤퓨터등에 상기 동작 슈미레이션을 소프트웨어의 모양으로 기억시켜 두는 것이 필요하게 되며, 복잡한 회로 기판의 경우 방대한 시스템구성이 되어 간편한 시스템이 요망되는 것이다.

미국특허 제4,510,572호에 기재된 장치는, 미리 양질품(良品)인것이 확인되어 있는 디지탈회로의 시그니쳐(Signature)를 장치의 메모리에 격납하여두며, 테스트되는 디지탈회로의 시그니쳐와 비교하여 그 디지탈 회로의 좋고 나쁨을 판정한다. 이 장치는 디지탈신호의 시그니쳐를 그 판정을 위한 비교요소로 하고 있으므로, 예컨대 아나로그 신호가 출력되도록 하는 회로 기판의 시험을 행할 경우에는, A/D변환기등을 사용하여 디지탈 신호로 변환하는 동작이 필요하게 된다. 이경우, 상기 회로 기판에서 출력된 아나로그 신호가 합리적인 범위내의 변동을 수반하는 것이었다 하더라도 변환된 디지탈신호는 크게 변동할 수 있다.

그러므로 그 판정결과가 불량하게될 경우가 있으며, 결국 이 장치는 디지탈회로의 시험장치에 한정되어 버리는 결점이 있었다.

또한, 이와같은 기능테스트 시스템에 유사한 시스템으로서, 예컨대 미국특허 제 4,686,627호, 미국특허 제4,688,628호에 기재된 일반적으로 인서키트테스터(IN-CIRCUIT-TESTER)라고 불리는 장치가 있다. 이런 류의 인서키트테스터는 회로 기판에 실장되어 있는 전자부품을 부품마다 좋고 나쁨의 판정을 하며, 이들 개개의 전자부품 판정결과를 종합하여 목적인 회로 기판의 좋고 나쁨의 판정을 할려고 하는 것이다. 따라서, 이런 류의 장치에 있어서는, 통상, 회로 기판이 측정해야할 포인트가 방대한 수에 이르며, 측정시간이 지극히 길어지는 결점이 있었다. 미국특허 제4,493,045호 미국특허 제4,652,814호에 기재된 장치는 이 인서키트테스터의 상기 문제점을 해결할려고 하는 것으로서, 테스트벡터를 효과적으로 발생함으로서 측정시간의 단축화를 기한것이나, 충분한 것은 아니었다.

[발명의 요약]

본 발명은 회로기판의 출력신호의 값을 측정하는 디지탈볼트메터, 오실로스코프등의 측정기를 필요로하지 않으며, 또한, 회로 기판의 동작슈미레이션을 소프트웨어의 모양으로 미리 콤퓨터에 격납하는 일이 없는 비교적 간단한 장치로 회로 기판의 좋고 나쁨의 판정을 할수가 있는 기능테스트 시스템을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

또한, 본 발명은 회로 기판의 좋고 나쁨의 판정때의 신호를 단하나의 시점에서의 신호로서가 아니라 소정의 시간폭에 이르는 파형신호로 꺼내며, 양질품의 회로 기판에서 얻어진 파형신호와 검사할려고 하는 회로 기판으로부터의 파형신호와를 비교판정하는 정밀도가 좋은 기능테스트 시스템을 제공하려는 것을 목적으로 하고 있다.

또한, 본 발명은 양질품의 회로 기판에서 얻어진 파형신호에 허용범위를 측정하며, 검사되는 회로 기판으로부터의 합리적인 신호의 변동에도 좌우되지 않고 정확한 좋고 나쁨의 판정을 할수 있는 기능테스트 시스템을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

그러므로 본 발명은 전자부품이 실장배선되어 있으며, 또한 양질품으로서 확인필의 회로 기판(이하, 양질품 회로 기판이라한다)을 실제의 장치에 탑재한것과 동일조건 아래서, 그 측정해야할 소정점에서 출력신호를 소정의 시간폭에 이르는 파형 신호로서 꺼내는 파형취득수단과 이꺼낸 파형신호에 대하여 좋고 나쁨의 판정때의 허용범위가 되는 허용범위데이터를 측정하는 수단과 이 허용범위데이터를 읽기 가능하게 격납하는 수단과 전자부품이 실장배선된 검사해야할 회로 기판(이하, 검사회로 기판이라고 한다)을 실제의 장치에 탑재한 것과 동일조건 아래서, 그 측정해야할 소정점에서의 출력신호를 소정의 시간폭을 이르는 검사파형신호로써 꺼내는 파형취득수단과 이 검사파형신호가 상기 허용범위 데이터의 허용범위내에 있느냐 여부를 비교판정하는 수단과 비교판정 결과를 사용자에게 고지하는 고지수단을 보유하고 있다.

이와같이 구성함으로서 본 발명은 예컨대 한개의 양질품 회로 기판에 대하여 그 측정해야할 소정점에서의 출력신호를 꺼내며, 허용범위를 설정한 허용범위 데이터를 격납하여 둠으로서, 대량 검사해야할 회로 기판이 있다고 하더라도 신속하게 또한 비교적 간단한 구성으로 그 좋고 나쁨의 판정을 할수가 있다.

일반적으로 이와같이 회로 기판에서를 복잡한 전기회로는 탑재한 기판이였다고 하더라도, 이 복잡한 전기회로는 기능마다 몇개의 소회로 블록으로 분할 할수가 있으므로, 이 소회로 블록마다에 소정의 측정점을 결정하도록 구성함으로서, 파형신호를 꺼내야할 측정점을 비교적 소수로 할수가 있다.

또한, 본 발명은 양질품회로 기판 및 검사회로 기판의 소정의 측정점에서 꺼내야할 신호를 단하나의 시점에서의 신호로서가 아니라, 소정의 시간폭에 이르는 파형신호로서 이용하도록 구성하고 있으므로, 그 좋고 나쁨의 판정에서 양호한 정밀도를 유지 할수가 있다.

[바람직스러운 실시예의 상세한 설명]

우선, 제 1 도를 참조하여 본 설명에 관한 실시예 장치의 전체구성을 설명한다. 제 1 도에서 기능테스트 시스템은 부호(10)으로 표시되어 있다. 키보드(11)은 키스위치군(11a)을 보유하며, 소정의 코만드 혹은 파라메터등을 설정한다.

CPU(12)(이하 프로세서라고 한다)는 키보드(11)와 접촉되며, 그 코만드 및 파라메터를 받아 기능테스트 시스템(10)을 제어한다. 측정점검출수단(13)은 프로세서(12)와 접촉되어있으며, 양질품회로 기판 또는 검사회로 기판의 소정의 측정점의 좌표치를 취득한다. 이 측정점검출수단(13)은 소위 좌표독취판(13a)과 위치지시기(13b)로 형성된 타불렛으로 구성되어있다.

좌표독취판(13a)상에는 양질품회로 기판 또는 검사회로 기판이 측정해야할 소정점이 표시된 측정점지정도시이트(14) 또는 아직 전자부품이 실장되어있지 않은 노출된 회로 기판의 어느것인가를 올려놓으며, 위치지시기(13b)의 중심시준점(13c)을 상기 측정점지정도 시이트(14) 또는 미실장회로 기판의 소정점에 위치시킨다. 그리고 위치지시기(13b)의 스위치(13d)를 접속함으로서 측정해야할 소정점의 좌표치를 프로세서(12)에 입력시킬수가 있다. 또한, 이 경우 도시와같이 측정점지정도 시이트(14)등을 기울게하여 올려놓았다고 하더라도 그 좌우 하단부(14a) 및 (14b)를 위치지시기(13b)에 의해 지정함으로서, 그 경사를 보상할수가 있다.

외부 기억장치(15)는 프로세서(12)와 접속되어있으며, 그 플렉시블 디스크(15a)에 예컨대 측정점검출수단(13)에 의해 취득한 양질품회로 기판 또는 검사회로 기판의 소정의 측정점의 좌표치를 순차 기억 격납한다. 표시수단(16)은 프로세서(12)의 제어하여 처리과정 및 검사기판의 좋고 나쁨의 판정결과를 표시한다.

버스유니트(17)는 프로세서(12)의 출력 및 입력 인터페이스이다. 파형취득수단(18)은 프로세서(12)의 지령에 의해 제어되는 X-Y-Z드라이버(18a), X-Y-Z테이블(18b), 이 테이블(18b)의 상판(18c), 상판(18c)에 형성된 양질품회로 기판(20a) 또는 검사회로 기판(20b)을 부착하기 위한 위치결정틀(18d), 가이드판(18e), 이 가이드판(18e)에 따라서 X축방향으로 이동가능한 Y축간(18f), 이 Y축간(18f)을 Y축방향으로 이동하기위한 X축 모우터(18g) Y축간에 따라서 이동가능한 활동부재를 Y축방향으로 이동하기 위한 Y축 모우터(18h), 활동부재에 부착되고, Z축방향으로 이동하여 양질품회로 기판(20a) 또는 검사회로 기판(20b)의 소정의 측정점에 접촉하여 파형신호를 취득하며, 다음 단계의 파형변환 기억수단에 이 파형신호를 송출하는 프로우브(18i), 프로우브(18i)를 Z축방향으로 이동하는 Z축 모우터(18j), 및 Z축 모우터(18j)의 구동력을 프로우브(18i)의 Z축 이동력으로 변환하는 링크간(18k)을 보유하고 있다.

X-Y-Z테이블(18b)의 위치결정틀(18d)에 파형신호를 취득해야할 양질품회로 기판(20) 또는 검사회로 기판(20b)을 부착한다. 이 부착된 양질품회로 기판(20a) 또는 검사회로 기판(20b)을 실제기기(19)에 코넥터(19b),(19c)를 통하여 접속하고, 실동작을 행하게한다. 이 상태에서 X-Y-Z드라이버(18a)는 프로세서(12)로 부터의 지령 즉 상기 측정점검출수단(13)에 의해 검출된 소정의 측정점좌표로의 이동 지령에 의해 목적인 측정점으로 이동한다. 이 이동은 X축 모우터(18g) Y축 모우터(18h)의 구동에 의해 달성된다.

목적인 측정점에 위치하게한 시점에서, 프로세서(12)는 Z축 모우터(18j)를 제어하고 프로우브(18i)를 Z축방향으로 구동하여 양질품회로 기판(20a) 또는 검사회로 기판(20b)의 배면측의 측정점에 접촉시켜 그 측정점에서의 파형신호를 취득한다. 이 파형신호는 다음단계의 파형변환기억수단(23)에 걷어 드려진다. 파형변환기억수단(23)은 프레콘디쇼너(21)와 트랜지엔트메모리(22)를 보유하고 있다. 제 2 도시와 같이 프레콘디쇼너(21)는 콘트롤회로(21a) AC/DE 셀렉터(21b), 어텐유에이터(21c) 및 증폭기(21d)로 구성되어 있다.

트랜지엔트메모리(22)는 A/D변환기(22a), IC메모리(22b), I/O 회로(22c), 콘트롤회로(22d), 트리거펄스발생기(22e), 샘플링클럭회로(22g)보유하고 있다. 그런데, 먼저 설명한 파형취득수단(18)으로 부터의 파형신호는 프레콘디쇼너(21)의 AC/DC 셀렉터(21b)로 그 교류성분 또는 직류성분을 선택한다. 이 선택은 프로세서(12)의 지령에 의해 콘트롤회로(21a)로 이루어진다. AC/DC 셀렉터(21b)의 출력신호는 어텐유에이터(21c)에 보내져 그 전압레벨이 조정된다.

증폭기(21d)에 의해 소정 증폭된뒤, 트랜지엔트메모리(22)로 출력된다. 트랜지엔트메모리(22)에서는 프레콘디쇼너(21)의 출력신호는 A/D변환기(22a)와 트리거펄스발생기(22e)에 입력된다. 여기서, 이 트래지엔트메모리(22)로의 입력파형신호가 양질품회로 기판의 것일때에는, 다음동작이 부가 된다. 즉, 프로세서(12)는 그 인터페이스(17) 및 트랜지엔트메모리(22)의 콘트롤회로(22d)를 통하여 적당한 샘플링클럭으로 이 양질품회로 기판(20a)으로 부터의 입력파형신호를 순차 디지탈회로 변환함과 동시에, IC 메모리(22b)에 격납하도록 A/D변환기(22a) 및 IC메모리(22b)를 제어한다. 이어서, 프로세서(12)는 이 IC메모리(22b)에 격납된 파형데이터를 I/O 회로(22c)을 통하여 읽어내며, 표시수단(16)에 표시한다.

이 표시된 연속파형을 인식하면서, 장치사용자는 이 양질품회로 기판(20a)의 소정의 측정점의 파형신호중, 검사회로 기판의 좋고 나쁨을 판정함에 있어서 어느 부분이 중요한 부분인가를 특정하며, 키보드(11)에 의해 검사회로 기판(20b)의 소정의 측정점에서의 필요한 파형신호만을 취득하도록 측정개시점이 되어야할 최소치를 이시점에서 프로세서(12)에 입력한다. 프로세서(12)는 이 최소치를 받아서, 그 측정점에서의 양질품회로 기판의 파형신호중 필요한 것만을 상기 트랜지엔트메모리(22)의 IC 메모리(22b)에 격납하도록 콘트롤회로(22d)를 통하여, 트리거펄스발생기(22e) 및 샘플링클럭회로(22g)를 제어한다.

따라서, 트리거펄스 발생기(22e)는 프레콘디쇼너(21)의 출력신호 즉, 양질품회로 기판(20a)의 소정의 측정점에서의 파형신호가 상기 최소치를 넘었을때 트리거펄스를 발생한다. 이 트리거펄스는 샘플링클럭회로(22g)로 보내진다.

이 샘플링클럭회로(22g)는 A/D변환기(22a) 및 IC메모리(22b)의 동작클럭이 된다. 또한, 이 샘플링클럭회로(22g)의 샘플링클럭의 발생기간은 IC메모리(22b)의 기억용량 및 샘플링클럭주기에 의해 결정된다. 이와같이 하여, 양질품회로 기판(20a)의 파형신호는 트랜지엔트메모리(22)의 A/D변환기(22a)에 의해 상기 샘플링클럭이 발생되어있는 기간 디지탈치로 변환되어, IC메모리(22b)에 격납된다.

트랜지엔트메모리(22)에 입력되는 파형신호가 검사회로 기판(20b)의 소정의 측정점에서의 파형신호일때에는, 상기 최소치를 넘는 파형신호(즉 양질품회로 기판(20a)으로 취득한 파형신호에 대응하는 파형신호)만이 순차 디지탈치로 변환되어 IC메모리(22b)에 격납된다.

이 경우에 있어서, 이 파형변환기억수단(23)의 IC메모리(22b)에 기억격납된 파형신호가 상기 양질품회로 기판(20a)의 것일때에는 아래 기술하는 처기라 행하여진다.

IC 메모리(22b)에 격납된 파형신호는 I/O회로(22c) 및 인터페이스(17)를 통하여 프로세서(12)의 제 1 메모리(도시않음)에 일시격납됨과 동시에, 프로세서(12)에 접속된 표시수단(16)에 연속파형으로서 표시된다. 장치의 사용자는 표시수단(16)에 표시된 연속파형을 인식한위에, 검사회로 기판(20b)의 출력파형을 판정할 때의 허용범위로 될 상한 및 하한이 표시되는 허용범위데이터를 작성하기 위한 파라메터를 키보드(11)에 의해 입력한다. 프로세서(12)는 이 파라메터를 인식하여, 상기 제 1 메모리에 격납되어 있는 디지탈 파형 데이터의 각각의 디지탈치에 대하여 상한치 및 하한치를 연산하고, 허용범위데이터로서 외부 기억장치(15)의 플렉시블디스크(15a)에 격납한다.

검사회로 기판(20b)의 좋고 나쁨을 판정하는 비교판정수단은 프로세서(12)에 의해 구성된다. 파형취득수단(18)에 의해 취득된 검사회로 기판(20b)의 파형출력신호는 상기 샘플링 기간에 응답하여 파형변환기억수단의 트랜지엔트메모리(22)의 IC메모리(22b)에 격납된다. 프로세서(12)는 그 제 1 의 메모리에 먼저 단계에서 외부 기억장치(15)에 격납한 허용범위 데이터를 읽어내어 격납함과 동시에, 그 제 2 메모리(도시않음)에 상기 IC 메모리(22b)에 격납되어 있는 검사회로 기판(20b)의 검사데이터를 읽어내어 격납한다. 프로세서(12)는 이들 제 1 메모리 및 제 2 메모리에 격납된 허용범위데이터 및 검사데이터를 소정처리하여, 표시수단(16)에 연속 파형으로서 표시한다.

이 표시형태로서는 제 3 도시와 같이 행한다. 이와같은 표시형태는 영국특허출원 2038062 A에 발표되어 있으며, 이 방식을 이용하도록 하여도 좋다. 제 3 도의 일점쇄선으로 표시한 두개의 파형(25) 및 (26)은 각각 허용범위데이터의 상한선 및 하한선이며, 실선으로 표시한 파형(27)은 검사데이터이다. 이때, 프로세서(12)는 제 2 메모리에 격납되어있는 검사데이터중, 샘플치마다, 또는 제 1 메모리에 격납되어있는 허용범위데이터의 상기 샘플치에 대응하는 상한치와 하한치를 읽어내며, 상기 검사데이터의 샘플치가 허용범위데이터의 상한치 및 하한치에서 규정되는 허용범위내에 존재하느냐 여부를 연산한다. 이 연산결과에 의거 프로세서(12)는 좋고 나쁨의 판정을 하여 표시수단(16)에 「양질품」 또는 「불량품」의 어느것인가를 표시하며, 또, 프린터(24)에 그 상세한 판정결과가 인자된다. 다음에 제 4 도, 제 5 도 및 제 6 도에 의해 본 발명의 동작을 설명한다.

제 4 도는 제 1 도에 표시한 측정점검출수단(18)의 좌표신호 검출의 수순을 표시한 플로우차트이다. 스텝(101)에서는 좌표독취판(13a)위에 측정점지정도 시이트(14)를 올려놓는다. 스텝(102)에서는 측정점지정도 시이트(14)위에 기재되어있는 첫번째 측정점에 위치지시기(13b)의 중심시준점(13c)을 위치시킨다. 스텝(103)에서 위치지시기(13b)의 스위치를 접속하며, 첫번째 측정점의 XY좌표 데이터를 프로세서(12)를 통하여 외부 기억장치(15)에 격납한다.

스텝(104)에서는 두번째 측정점위에 위치지시기(13b)의 중심시준점(13c)을 위치시킨다. 스텝(105)에서는 위치지시기(13b)의 스위치(13d)를 접속하며, 두번째 측정점의 XY좌표 데이터를 외부 기억장치(15)에 격납한다. 차례로 이 조작을 하여, 순차 측정점의 XY좌표 데이터를 외부 기억장치(15)에 격납한다. 스텝(106)에서는 i번째의 측정점위에 위치지시기(13b)의 중심시준점(13c)을 위치시킨다.

스텝(107)에서는 위치지시기(13b)의 스위치(13b)를 접속하며, i번째 측정점의 XY좌표 데이터를 외부 기억장치에 격납한다. 스텝(108)에서는 이 조작에 의해 최종 특정점의 XY좌표 데이터를 외부 기억장치(15)에 격납하였느냐 여부를 판단하며, 마지막번째 측정점에 아니면, 스텝(109)에서 그 측정점의 순위를 하나 올려서 스텝(106)으로 돌아온다. 스텝(108)에서 마지막 측정점의 XY좌표 데이터가 외부 기억장치(15)에 격납된 것이 확인된 것으로서, 이 측정점 검출수단(13)에 의한 양질품회로 기판(20a) 및 검사회로 기판(20b)의 소정의 복수의 측정점의 XY좌표 데이터와 그 측정순서가 외부 기억장치(15)에 격납하는 조작이 끝난다.

제 5 도는 제 4 도시 회로 기판의 측정점위치정보의 취득의 다음단계의 동작을 표시하고 있으며, 구체적으로는 양질품회로 기판(20a)의 소정 측정점에서의 파형신호의 취득과 그 파형데이터에 의거 허용범위데이터를 작성하는 동작을 표시하고 있다. 스텝(110)에서는 파형취득수단(18)에 양질품회로 기판(20a)을 부착한다. 스텝(111)에서는 이 양질품회로 기판(20a)을 실제기기(19)에 접속하여, 실동작을 하게한다.

스텝(112)에서는 제 4 도의 동작을 얻어진 측정점 정부 즉, XY좌표 데이터중 i번째 좌표데이터를 읽어내며, 파형취득수단(18)의 프로우브(18i)를 그 XY좌표점에 위치시킴과 동시에, Z축 방향으로 상승시키며, 양질품회로 기판(20a)의 배면의 i번째 측정점에 접속시켜, 소정의 파형신호를 다음 단계의 파형변환기억수단(23)에 송출한다.

스텝(113)에서는 파형변환기억수단(23)에 의해, 상기 양질품회로 기판(20a)의 파형신호를 프로세서(12)의 제어하에 적당한 샘플링 간격으로 디지탈치로 변환한후, 표시수단(16)에 연속 파형으로서 표시한다. 스텝(114)에서는 이 표시된 연속 파형에 의거, 장치 사용자가 회로 기판의 좋고 나쁨의 판정을 위하여 필요한 파형신호만을 취득함으로 그 트리거레벨 및 샘플링간격을 설정하며, 또한 양질품회로 기판(20a)의 트리거레벨 및 샘플링간격에 의해 취득된 파형신호에 의거, 허용범위데이터를 작성하기위한 파라메터를 프로세서(12)에 입력한다. 그리고 프로세서(12)에 의해 작성된 이 시점의 측정점에서의 허용범위데이터를 외부기억수단(15)에 격납한다.

스텝(112),(113) 및 (114)의 동작은 제 4 도에서 취득한 회로 기판의 측정점정부에 의해 그 첫번째 측정점으로부터 순차행하여진다. 스텝(115)에서는 이 일련의 동작이 마지막 측정점에 관한것이냐 여부를 판단하며, 그렇지 않을때는 스텝(116)에 의해 그 측정점의 순위를 하나 올려서 스텝(112)으로 돌아온다. 스텝(115)에서 마지막 측정점에 관하여 상기 동작이 행하여졌다는 것이 확인되었을 단계에서, 양질품회로 기판(20a)의 파형신호를 취득하며, 또한, 이 파형신호로부터 허용범위데이터를 작성하는 동작이 끝난다.

다음에 제 6 도를 참조하여 검사회로 기판(20b)의 파형신호의 취득동작 및 이 검사파형신호와 제 5 도에서 구한 허용범위데이터와의 비교 판정동작을 설명한다. 이 동작은 제 5 도시 동작에 계속되는 것이다.

스텝(121)에서는 좋고 나쁨을 판정할 검사회로 기판(20b)을 파형취득수단(18)에 부착한다. 스텝(122)에서는 이 검사회로 기판(20b)을 실동작기(19)에 접속하여, 실동작시킨다. 스텝(123)에서는 검사회로 기판(20b)의 검사개시를 지령한다.

스텝(124)에서는 파형취득수단(18)의 프로우브(18i)를 소정의 측정점(i)에 위치시킴과 동시에, Z축방향으로 상승시켜 그 측정점의 검사파형신호를 취득하며, 다음단계의 파형 변환기억수단(23)으로 송출한다. 스텝(125)에서는 이 검사파형신호의 전압레벨등을 조정한후, 제 5 도 스텝(114)의 전단에서 설정한 트리거레벨을 넘는 검사파형신호가 소정의 샘플링간격에서 소정기간에 걸쳐서 디지탈치로 변환되어 기억된다.

스텝(126)에서는 이 검사파형신호와 제 5 도 스텝(114)에서 작성된 허용범위데이터가 비교된다. 스텝(127)에서는 스텝(126)에서 행하여진 소정의 측정점(i)의 비교결과가 프로세서(12)의 제어하여, 예컨대, 외부기억장치(15)에 격납된다. 스텝(128)에서는 모든 측정점에 대해, 이상의 동작을 행하였느냐 여부를 판단하며, 그렇지 않을때에는 스텝(129)에서 측정점의 순위를 하나 올려서 스텝(124)으로 돌아간다.

스텝(128)에서 모든 측정점에 대해, 상기 비교동작이 행하여진것이 확인되면은 스텝(130)으로 진행된다. 스텝(130)에서는 프로세서(12)가 모든 측정점에서의 비교결과를 종합하여 그 검사회로 기판의 좋고 나쁨의 판정을 한다.

스텝(131)에서는 그 판정결과를 표시수단(16)에 표시함과 동시에 프린터(24)에 인자한다. 이 시점에서 검사회로 기판(20b)의 비교판정동작이 끝나는데, 복수개의 검사회로 기판(20b)을 차례로 검사할 경우를 위해, 스텝(132)에서는 검사할 회로 기판(20b)의 유무를 묻는 메시지가 표시수단(16)에 표시된다.

다음의 검사회로 기판(20b)의 검사를 하는 것이 선택 되었을때에는, 스텝(121)으로 돌아오며, 검사할 회로 기판(20b)이 없는 경우에는 장치의 동작을 끝낸다.

Claims (1)

1. 소정의 측정점에서의 양질품회로 기판(20a)의 출력신호와, 상기 소정의 측정점과 대응하는 소정의 측정점에서의 검사회로 기판(20b)의 출력신호와를 비교하여, 상기 검사회로 기판(20b)의 좋고 나쁨을 판정하는 기능테스트 시스템이며, (a)는 상기 양질품회로 기판(20a) 및 검사회로 기판(20b)의 소정의 측정점의 XY좌표 데이터를 취득하는 측정점 검출수단(13),(b)상기 양질품회로 기판(20a) 또는 검사회로 기판(20b)이 부착 가능하게 구성되며, 또한, 이들 부착된 양질품회로 기판(20a) 또는 검사회로 기판(20b)의 상기 소정의 측정점에 이동 가능함과 동시에 접촉 가능하게 구성된 신호취출 프로우브(18i)를 보유한 X-Y-Z테이블(18b)을 보유하며, 상기 부착된 양질품회로 기판(20a) 또는 검사회로 기판(20b)를 실제기기(19)에 탑재하였을때와 동일한 입력신호를 부여하여 실동작시킨 상태에서, 상기 측정점 검출수단(13)에 의해 얻어진 좌표데이터에 의거 상기 신호취출 프로우브(18i)를 X-Y-Z축 방향으로 구동하여 상기 소정의 측정점에서의 상기 양질품회로 기판(20a) 또는 검사회로 기판(20b)의 출력신호를 취득하는 파형취득수단(18),(c)상기 파형취득수단(18)에 의해 얻어진 상기 양질품회로 기판(20a) 또는 검사회로 기판(20b)의 출력신호를 소정의 샘플링간격으로, 또한 소정의 시간폭에 이르는 파형데이터로서 디지탈치로 변환하며, 일시 격납하는 파형변환기억수단(23),(d) 상기 파형취득수단(18)에 의해 얻어진 파형데이터가 양질품회로 기판(20a)의 파형데이터일때, 이 양질품회로 기판(20a)의 파형데이터에 의거 좋고 나쁨의 판정을 위한 상한치와 하한치와를 부여하여 허용범위데이터를 작성하고, 격납하는 허용범위데이터 작성수단(e), 상기 허용범위데이터 작성수단에 의해 작성된 허용범위데이터와 상기 파형수단 기억수단(23)에 격납된 상기 검사회로 기판(20b)의 검사파형 데이터와를 비교하는 비교판정수단과를 보유한 인쇄회로 기판의 기능테스트 시스템.

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