KR860003668A - 액정구동용 활성화행열 박막트랜지스타의 제조방법 - Google Patents
액정구동용 활성화행열 박막트랜지스타의 제조방법 Download PDFInfo
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- Formation Of Insulating Films (AREA)
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도면은 액정구동용 박막트랜지스터의 구조도.
Claims (1)
- 게이트를 아래로하고 드레인 소오스를 위로하며 투명전극 위에 드레인 전극을 형성한 구동소자로써 a-Si반도체로 하기 위하여 유리기판에 투명전극을 증착하고 금속(Al, Mo)으로 게이트 전극을 형성한 후 SiO2나 Si3H4로 절연층 증착하고 다시 통상의 플라즈마 CVD법으로 a-Sl층을 형성하여 드레인 소오스 전극을 증착하고 SiO2나 Si3H4로 절연층을 증착하도록하는 액정 구동용 활성화 행열 박막트랜지스터의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019840006805A KR860003668A (ko) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 액정구동용 활성화행열 박막트랜지스타의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019840006805A KR860003668A (ko) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 액정구동용 활성화행열 박막트랜지스타의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR860003668A true KR860003668A (ko) | 1986-05-28 |
Family
ID=69172431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019840006805A KR860003668A (ko) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 액정구동용 활성화행열 박막트랜지스타의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR860003668A (ko) |
-
1984
- 1984-10-31 KR KR1019840006805A patent/KR860003668A/ko not_active Application Discontinuation
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