KR850006777A - 건식 에칭장치 - Google Patents

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니찌덴 아네르바 가부시끼가이샤
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Abstract

내용 없음

Description

건식 에칭장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1a도는 본 발명에 따른 건식에칭장치의 한 실시예를 보이는 단면도.
제1b도는 제1a도에 보인장치의 변형을 보이는 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
101 : 반응용기 102 : 지지전극
103 : 대향전극 104 : 웨이퍼
105 : 피막 107 : 고주파전원
108 : 가스공급구멍 109 : 배기도관
110 : 반응가스도입관 111 : 축

Claims (22)

  1. 진공분위기 상태로 있는 진공용기, 상기 용기안에 배치된 서로 대향한 제1 및 제2전극, 제1전극의 제2전극에 대향하여 제1면상에 위치한 시편을 에칭하도록 상기 용기안에 반응가스를공급하는 동안 방전에 의하여 그사이에서 가스플라스마를 발생하는 제1 및 제2전극을 갖는 건식에칭장치에 있어서; 제1전극의 제2대항면상의 시편외측에 위치한 최소한 외주부분을 피막하기 위한 피박부재 및 반응가스가 시편을 향하도록 시편에 대향한 위치에 제2전극의 제1전극에 대향한 제2면상에 마련된 반응가스 공급수단을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  2. 제1항에 있어서, 반응가스공급수단이 최소한 하나의 구멍인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  3. 제2항에 있어서, 최소한 하나의 가스공급구멍이 처리될 최소한 하나의 기판 바로위에 위치한 대향전극에 마련되는 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  4. 제1항에 있어서, 피막부재가 반응가스의 가스플라스마로부터 발생된 부식제를 감소시키기 위한 물질로 구성된 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  5. 제4항에 있어서, 피막물질이 폴리올레핀수지인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  6. 제4항에 있어서, 피막물질이 폴리설폰수지인 것을 특징으로 하는 건칙에칭장치.
  7. 제4항에 있어서, 피막물질이 폴리알릴레이트수진인 것을 특징으로 하는 건칙에칭장치.
  8. 제4항에 있어서, 피막물질이 탄소인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  9. 제4항에 있어서, 피막물질이 단결정 실리콘인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  10. 제4항에 있어서, 피막물질이 다결정 실리콘인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  11. 제4항에 있어서, 피막물질이 알루미늄인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  12. 반응용기, 점대칭으로 처리될 다수의 기판을 지지하기 위하여 상기 용기안에 마련된 지지전극, 및 양전극사이에 고주파전력을 가하여 기판이 에칭되도록 상기 용기안에 배치된 지지전극에 대향한 대향전극을 갖는 건식에칭장치에 있어서; 지지전극의 면상에서 처리될 기판의 외측에 위치한 최소한 외주부분을 피막하기 위한 피막부재, 및 임의의 시간동안 가스공급수단 바로밑에 기판을 정지시키고 임의의 각도로 대칭축을 중심으로 지지전극이 회전되도록 처리될 기판 바로 상부의 위치에 대향전극에 마련되는 반응가스 공급수단을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  13. 제12항에 있어서, 반응가스 공급수단이 최소한 하나의 구멍인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  14. 제13항에 있어서, 최소한 하나의 가스공급구멍이 처리될 최소한 하나의 기판 바로위에 위치한 대향전극에 마련되는 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  15. 제12항에 있어서, 피막부재가 반응가스의 가스플라스마로부터 발생되는 부식제를 감소시키기 위한 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  16. 제15항에 있어서, 피막물질이 폴리올레핀수지인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  17. 제15항에 있어서, 피막물질이 폴리설폰수지인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  18. 제15항에 있어서, 피막물질이 폴리알릴레이트수지인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  19. 제15항에 있어서, 피막물질이 탄소인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  20. 제15항에 있어서, 피막물질이 단결정 실리콘인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  21. 제15항에 있어서, 피막물질이 다결정 실리콘인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
  22. 제15항에 있어서, 피막물질이 알루미늄인 것을 특징으로 하는 건식에칭장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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