KR840002129B1 - 금속 스템퍼를 제조하는 방법 - Google Patents

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내용 없음.

Description

금속 스템퍼를 제조하는 방법

제 1 도는 디스크상에 데이타 신호를 기록하고, 적절히 기록되었는지를 확인하도록 그 기록된 디스크로부터 신호를 재생시키기 위한 장치의 개략적인 블록도.

제 2 도는 기록된 데이타 신호를 나타내는 요부 또는 철부의 배열을 나타내는, 제 1 도에 도시된 디스크의 일부분의 확대 평면도.

제 3 도는 종래 사용되어 오는, 현상 후의 감광성 내식막 기록매체의 부분 단면도.

제 4 도는 특수한 폭발성 피복층에 형성된 정보함유 요부를 나타내는, 본 발명에 필요한 마스터 레코드 디스크의 부분 단면도.

제 5 도는 특수한 폭발성 피복층에 형성된 정보함유 철부를 나타내는, 본 발명에 필요한 또 하나의 다른 마스터 레코드 디스크의 부분 단면도이다.

본 발명은 일반적으로 스템퍼(stamper)제조에 관한 것으로, 더 구체적으로는, 복사판 디스크(replica disc)의 제조에 계속 사용하기 위한 스템퍼 제조 방법에 관한 것이다. 정보신호는, 디스크의 회전시 디스크상에 강도변조(intensitymodulation)된 기록광비임이 집중(focus)되는 열처리(thermal process)에 의해 그 디스크에 기록되며, 그리하여 그 정보신호에 따라, 반사율과 같은 디스크의 특성들을 변경시킨다.

종래의 마스터 디스크로 사용될 수 있는 기록매체는, 고도로 연마된 상부표면을 가지고 있고 감광성 내식물질(photoresist material) 또는 금속 물질의 얇은 피복층이 그 표면에 부착된 유리기질(glass substrate)로 되어 있다. 감광성 내식물의 경우, 강도 변조된 기록광비임은, 기록되는 정보신호를 나타내는 피복층상의 일련의 간격을 가지고 떨어져 있는 미세지역을 감광시키도록 작용하며, 그후, 그 감광성 내식물을 현상(development)함에 의해 일련의 미세 요부(凹部)들이 형성된 마스터 디스크가 제조된다. 다음, 이 마스터 디스크는, 열증발에 의한 진공증착(vacuumdeposit)의 초기 단계와 전기도금의 후속 단계를 사용하여 니켈과 같은 금속물질의 얇은 층으로 적당히 피복될 수 있다.

그 금속층은 마스터 디스크로부터 제거되어, 그의 하측에 정보신호가 기록되어 있고 디스크 복사판을 제조하기 위한 적당한 성형장치에 사용하기 위한 스템퍼(stamper)로 사용된다.

그러한 감광성 내식막 기록매체는 디스크 복사판의 제조에 사용될 수 있는 마스터 디스크를 제조하는데 만족스러울지라도, 여러가지 이유로 인해 전적으로 만족스러운 것이 못되었다. 그 이유 중 하나는 현상 단계전, 기록된 디스크를 판독할 수 없다는 것이다. 그리하여, 디스크가 기록되고 있을 때 비임 강도 및 촛점과 같은 각종 기록 파라메터를 최적화하도록 기록장치를 연속 조정하는 것을 불가능하게 한다. 다른 결점들은, 약 0.5미크론 이하의 직경을 가진 매요부들을 매체에 형성하는 것이 어렵다는 것과, 디스크의 요부들의 가장자리가 간혹 거칠고 나뭇결 모양으로 될 수 있어, 복사판 디스크를 손상시킬 수 있는 스템퍼가 형성될수 있다는 것이다. 또 다른 결점은 감광성 내식물을 현상하기 위한 추가 단계를 필요로 한다는 것이다.

얇은 금속 필름으로 된 마스터 디스크의 경우에는, 강도가 변조된 기록 광 비임은 정보신호를 나타내는, 일련의 간격을 가지고 떨어져 있는 구멍들을 그 필름에 용융시키도록 작용한다. 그러한 마스터 디스크상에 기록된 신호가 기록되는 직후 판독될 수 있을 지라도, 금속필름의 비교적 높은 열전도성 때문에, 감광성 내식물 피복층을 가진 마스터 디스크에 형성된 구멍보다도 더 큰 정보 함유(informationbearing) 구멍들이 그 필름에 형성된다. 그리하여 기록밀도가 제한되며, 또한, 각 구멍주위에 금속 잔유물이 형성되어, 제조된 복사판 디스크의 재생(playback)시 얻어지는 신호대 잡음비가 제한된다.

그리하여, 복사판 디스크의 최종 형성에 뿐 아니라 그러한 복사판 디스크의 재생시 신호대 잡음비에 악영향을 끼칠 수 있는 잔여물질 또는 거친 가장자리를 형성하지 않고 현상단계를 요하지 않는, 작은 정보 함유 요철부들이 형성될 수 있는 마스터 레코드 디스크가 요구됨을 알 수 있다. 이들 요구는 본 발명에 의해 충족된다.

본 발명에 따르면 스템퍼 제조에 필요한 기록 매체는 유효량의 광흡수 피복층이 부착된 기질을 가지고 있고, 그러한 피복층은 폭발성 물질로 되어 있으며, 강도 변조(intensity-modulation)될 기록비임에 대해 그 매체가 회전될 때 피복층이 그 비임에 의해 선택적으로 가열되어 그 피복층에서 폭발을 일으키고 그리하여 데이타 신호를 나타내는 불균일부들이 피복층의 외측면에 형성된다. 이들 불균일부들은 요부 또는 철부의 어느 한가지 형태로 될 수 있고, 또한 그 불균일부가 요부형태일 때 그들이 피복층을 완전히 관통하여 있거나 또는 소정의 깊이만큼 그 피복층내로 파여져 있을 수 있다.

특히, 기록장치는 디스크가 소정의 각 속도로 회전될 때, 강도 변조된 기록 광비임 및 일정한 강도의 판독 광비임을 그 디스크상에 집중시키도록 작동한다. 그 판독 비임은 기록 비임에 의해 기록된 표면불균 일부의 형태에 따라 그 디스크에 의해 반사된다.

본 발명에 필요한 마스터 레코드 디스크의 기질 위에 부착된 특수한 광흡수 피복층은 니트로셀루로즈, 트리니트로아닐린, 또는 트리니트로토루엔과 같은 폭발성 물질로 형성될 수 있고, 그들 모든 물질은 집중된 기록 비임에 의해 선택적으로 소정의 자연 점화 온도까지 가열될 때 자동적으로 비용축성 가스를 생성하는 화학적 반응을 한다. 피복층에 의해 흡수된 강도 변조된 비임으로부터의 에너지의 양을 조절함으로써 그 비임이 닿은 피복층의 선택된 부분들이 부분적으로나 완전히 폭발되도록 할 수 있다. 부분적인 폭발은 피복층의 외측 표면에 철부를 형성하고, 완전 폭발은 요부를 형성한다. 폭발성 물질들이 무색이기 때문에, 기록비임을 흡수하고 색체가 안정적(color-stable)이며 그 폭발성 물질에 용해될 수 있는 적당한 염료를 그 폭발성물질에 첨가하는 것이 필요하다.

또한, 기질은 고도로 연마된 상부 표면을 가진 두꺼운 유리 디스크인 것이 바람직하며, 그 특수한 피복층에 형성된 표면 요부들은 적도어 약 1000Å의 깊이를 갖는 것이 바람직하다. 제조된 마스터 디스크는, 집중된 기록비임의 직경의 1/e2배 보다도 좁은 직경을 가진 일련의 요부 또는 철부들을 가지고 있고, 그리하여 기록밀도가 개선될 수 있다.

본 발명에 필요한 기록매체의 일 양태에 따르면, 폭발성 물질과 선택된 염료를 필요에 따라 적당한 용제로 혼합한 다음, 그 액체 용액을 기질의 상부면에 붓고 그 기질을 소정의 각 속도로 회전시켜 그 액체 피복물이 기질의 전체 표면에 균일한 두께로 되게 한다. 소정의 각 속도로 기질을 계속 회전시킴으로 용제를 증발시켜 소정의 두께의 특수한 피복층이 형성되도록 한다. 그 피복층의 두께는 그 용액의 점도 및 디스크의 회전 각 속도를 변경시킴에 의해 조절될 수 있다.

본 발명의 또 하나의 다른 양태에 따르면, 유리기질과 특수한 피복층 사이에 얇은 금속층이 삽입된다. 이 금속층은 피복층의 접합을 보강할 뿐 아니라, 금속층이 반사도가 매우 크기 때문에 판독 광비임에 의해 기록된 데이타신호의 판독을 용이하게 한다.

기록된 마스터 디스크는 금속 피복물로 적당히 피복되는데, 그 금속 피복물은, 후에 디스크로부터 제거되어 디스크 복사판 제조를 위해 성형장치에 사용하기 위한 스템퍼를 생성한다. 그 피복과정은 비교적 얇은 금속층을 열증발에 의해 진공증착(vacuumdepositing by termal evaporation)하고, 다음, 비교적 두꺼운 금속층을 전기 도금하는 단계들도 구성되는 것이 바람직하다. 정보함유 요철부들이 잔여 물질이나 거친 가장자리를 가지고 있지 않기 때문에 스템퍼로부터의 손상을 받을 중대한 위험없이 복사판 디스크가 제조될수 있고 데이타신호가 향상된 신호대 잡음비로 복사판 디스크로부터 재생될 수 있다.

표면 불균일부가 철부형대로 된 기록매체의 예에서는 광흡수 피복층은 폭발성 물질로 된 폭발물 층과, 그 폭발물층의 외측면위에 부착되는 얇은 금속층으로 구성될 수 있다. 폭발물층에 형성된 각 철부에 의해 그에 대응하는 철부가 금속 피복층에 형성된다. 이 금속 피복층은 제조된 디스크의 반사도를 증진시켜, 기록된 데이타신호의 판독을 용이하게 한다. 이 예에서, 강도 변조된 광비임은 얇은 금속층 위로부터 또는 기질 아래로부터의 어느 한가지 방식으로 매체에 투사될 수 있고, 그 피복층은 주도 금속층으로부터의 전자들의 열전자 및 광전자 방출에 의해 가열된다.

본 발명의 다른 목적 및 잇점들은 본 발명의 원리를 예시한 첨부도면과 관련하여 기술된 하기 설명으로부터 명백하게 될 것이다.

도면, 특히 제1도에, 회전가능한 마스터 레코드 디스크(11)상에 주파수 변조된 비데오신호 또는 디지탈신호와 같은 데이타신호를 기록하기 위한 장치가 도시되어 있다. 이 마스터 디스크는 디스크 복사판을 제조하기 위한 성형장치(도시안 됨)에 사용하는 스템퍼(stamper)를 제조하는데 사용된다. 이 기록장치는 디스크가 소정의 각 속도로 회전될 때 기록 광비임(13)을 디스크상에 판사하도록 작동하며, 그 광비임(13)은 기록된 데이타신호에 따라 강도가 변조된다. 그리하여, 디스크상에 나선 또는 동심원 형태의 실제원형인 다수의 기록 트랙(19)로 배치되는 연속적인 미시적 정보함유 요부(凹部)(15) 또는 철부(凸部)(17)(제 2도)가 형성 된다.

또한, 이 기록장치는 기록비임(13)의 피이크(peak) 강도보다 낮은 일정한 강도를 갖는 판독 광비임(21)을 디스크상에 집중(focus)시킴으로, 기록비임에 의해 요부(15)(또는 철부 17)를 형성한 직후 그 요부(또는 철부)를 주사(scan)할 수 있게끔 한다. 이를 통해, 기록비임의 동력수준(power level)과 촛점을 연속적으로 제어하여 신호가 전체 디스크상에 적절히 기록될 수 있게 된다.

제 3도는 종래 마스터 디스크로 널리 사용되어 오던 레코드 디스크의 개략적인 단면도이다. 그 디스크는, 감광성 내식물질(photoresist) 피복층(27)을 가지고 있고 상기 표면(25)가 연마된 유리 기질(基質)(23)으로 구성되어 있다. 이 디스크는 마스터 디스크 기록장치(도시안 됨)에 사용되는데, 디스크가 소정의 속도로 회전할 때 강도 변조된 기록 광비임이, 일정 간격을 두고 연속하여 떨어져 있는 감광성 내식물 피복층의 미세한 부분을 집중하여 비추게 된다. 다음, 그 감광성 내식물 피복층은 적당히 현상(develop)되어 그 투광된 지역내의 모든 피복물질을 제거하며, 그리하여 데이타신호를 나타내는 연속적인 요부(29)들을 가진 마스터 디스크가 제조된다. 감광성 내식물 피복층의 각 요부의 크기는, 집중된 기록비임에 의해 형성된 회절이 제한된 스포트(diffraction-limited spot) 직경의 1/e2 배보다 작게 만들어질 수 없다는 것은 일반적이다.

제 3 도의 현상된 마스터 디스크는 요부(29)의 형태에 적합한 금속층(도시안 됨)으로 적당히 피복되고, 이 금속층은 기반(基盤) 디스크로부터 제거되어 복사판 성형장치에 사용하기 위한 스템퍼를 제공한다. 감광성 내식물 피복층(27)에 형성된 요부(29)는 구조가 거칠고 나뭇결 모양의 측벽(31)을 가짐이 특징임을 제 3 도에서 볼 수 있다. 이 거친 구조는 제조된 스템퍼에도 그대로 나타나며 성형 공정시 디스크 복사판에 손상을 끼칠 수 있다.

제 4 도는 제 1 도의 기록장치에 사용될 수 있는 하나의 마스터 레코드 디스크(11)의 부분 단면도이다. 그 디스크는 유리기질(33)을 가지고 있고, 그 유리기질의 상면(35)는 잘 연마되어 있고 그 표면 위에 얇은 금속층(37)이 피복되어 있다. 또한, 그 금속층 상에는 특수한 광흡수 피복층(39)가 부착되어 있다. 기록 광비임(13)은 디스크주위의 공기 매체를 통해 전도되고 특수 피복층(39)의 외측 표면상에 회절이 제한된 스포트(41)로 집중된다.

본 발명에 따르면, 그 특수 피복층(39)는 폭발성 물질로 되어 있고, 강도 변조된 기록 광비임(13)을 잘 흡수하여, 디스크(11)이 비임에 대해 회전될 때 그 피복층이 그 비임에 의해 선택적으로 가열되어, 데이타신호를 나타내는 미세한 요부(15) 형태의 간격을 가지고 떨어져 있는 폭발부를 형성한다. 그 요부(15)들에는 어떤 잔여물질이 남아있지 않고 날카로운 모서리 및 거친 측벽도 형성되지 않아, 최종 제조된 디스크 복사판의 손상 위험이 감소되고 그러한 디스크 복사판으로부터 재생된 데이타신호의 신호대 잡음비가 개선된다. 또한, 요부의 단면 크기는 집중된 기록비임의 회절이 제한된 스포트에 비해 작게 만들어질 수 있어, 디스크 복사판으로부터 재생되는 데이타신호의 신호대 잡음비를 더 증가시킨다.

금속층(37)은 2가지 주요 목적을 위해 기질(33)과 정보함유 피복층(39) 사이에 배치된다. 그 주요 목적들중 하나는 피복물질의 결합을 증진시키는 것이며, 다른 하나는 요부(15)의 형성 직후 디스크를 주사하는 판독 광비임(21)의 반사도를 증가시키기 위한 것이다. 그 층(37)을 위한 바람직한 금속은 티타늄이지만 크롬 및 알루미늄과 같은 다른 금속도 적당하다. 이 실시예에서, 티타늄은 약 500Å의 두께로 유리기질(33)의 상면(35)상에 열 증발에 의해 진공 증착된다.

특수한 광흡수 피복층(39)에 포함된 폭발성 물질은, 자연 점화온도까지 가열될 때 기체를 발생하도록 폭발하거나 또는 신속한 화학반응을 일으키는 물질이다. 그 피복층은 비교적 낮은 열전도성을 갖는 것이 바람직하며, 그리하여 강도 변조된 기록비임(13)을 실제 받는 피복층 부분만이 임게 온도로 가열되게 한다. 더우기, 신속한 화학반응으로 생긴 기체상 생성물이 냉각 후 기록장치의 부분위 또는 피복층 위에서 응축하지 않도록 하는 것이 중요하다. 적당한 폭발 물질들은 니트로셀루로즈, 트리니트로아닐린 및 트리니트로토루엔이다.

스템퍼 제조에 필요한 마스터 디스크 기록장치의 이 실시예(제 1 도)에서, 기록비임(13)은 통상의 알곤이온 레이저에 의해 발생되며, 그 레이저는 대략 457과 488 및 514 나노미터(nanometer)의 파장을 갖는 비임을 발생시킨다. 따라서, 강도 변조된 기록비임에 의해 가열되기 위해서 피복층(39)는 이들 파장들을 흡수하여야 한다. 니트로셀루로즈나 트리니트로토루엔 어느 것도 이들 파장을 잘 흡수하지 못하며, 그리하여 이들 폭발성 물질들이 이용될 때는 그 피복층에 그 파장을 잘 흡수하는 적당한 오렌지색 또는 적색 염료를 포함시킨다. 그 염료는 색체가 안정적 이어야 하고, 사용되는 폭발성 물질에 쉽게 용해할 수 있어야 한다. 그에 바람직한 염료가 "AMPLAS ORANGE CR''이란 상표하에 아메리칸 칼러 앤드 케미칼 컴페니(American Color & Chemical Co)에서 판매되고 있고, 상기 회사에서 판매되는 "ANAPLAST-SCARLET MM"이란 상표의 염료도 적당하며, 또한 각각 "오일 오렌지" 및 "오일레드"라는 상표하에 듀퐁사에서 판매되는 1-페닐-아조-2-나프톨 및 아조벤젠-4-아조-2-나프톨도 적당하다.

특수한 폭발성 피복층(39)가 특수 공정에 의해 금속층(37)의 상부 표면에 부착되며, 그 공정에서 폭발성물질과 염료가 처음에 적당한 용제에 혼합된다. 그 바람직한 공정에서, 니트로셀루로즈 10중량부, "암플라스 오렌지 씨알" 염로 3중량부 및 셀로솔브(cellosolve) 아세테이트 용제 약 300-400 중량부가 혼합되어 약3-5 센티포이즈의 점도를 갖는 용액을 형성한다. 폭발성 물질 및 염료 혼합을 위한 다른 적당한 용제는 부틸 아세테이트 및 아밀아세테이트 이다.

그 액체상 용액을 금속층(37)의 상부 표면에 쏟은 다음, 그 피복된 기질(33) 및 일체의 금속층을 상기 용액이 전표면에 걸쳐 균일한 두께로 될 때까지 약 1000rpm의 각 속도로 회전시킨다. 약 20-30초 동안 약 1000rpm으로 계속 회전시키면 셀로솔브(cellosolve) 아세테이트가 완전히 증발하고, 금속층의 상면에 접합된 고체상 용액 형태의 특수 피복층(39)가 남는다.

피복층(39)의 두께는 용액의 점도 및(또는) 회전 속도를 변경시킴에 의해 조절될 수 있다. 최종 두께가 약 1300-1400Å인 것이 바람직한데, 이는 피복층에 형성된 요부(15)가 상응하는 깊이를 가지고 있어 이 마스터 디스크의 복사판의 판독성을 향상 시킨다. 특히, 그러한 복사판 디스크가 폴리메틸메타크릴레이트로 형성될 때 1300-1400Å은 디스크 재생(Playback)장치(도시안 됨)에서의 통상의 헬륨네온 레이저에 의해 발생된 판독 비임파장, 즉 6328Å의 대략 1/4에 해당한다.

이 규정된 두께를 가지고 있고 니트로 셀루로즈와 염료의 규정된 상대 비율을 갖는 피복층(39)를 위해서는 약 0.3미크론의 폭을 가진 미세한 요부가, 약 0.5미크론 직경의 1/e2 배로 집중되고 전체 동력 약 20밀리왓트를 갖는 기록비임(13)에 의해 형성됨을 알았다. 그 기록 비임이 약 100나노세컨드 이하의 시간 동안 디스크(11)상의 선택된 지역에 주사되고 피복층(39)가 비교적 낮은 열전도성을 가지고 있기 때문에, 폭발부들은 그 비임에 의해 실제 조명된 피복층 부분들에만 한정된다고 믿어진다. 기록 비임에 대한 흡수성이 강한(또는 약한) 피복층에 대해서는, 동일 결과를 얻기 위해서, 그 비임의 강도가 그에 상응하여 낮게(또는 높게)되어야 한다.

데이타신호를 나타내는 미세 요부(15)가 마스터 디스크(11)에 형성된 후 금속 피복층(도시안 됨)이 그 기록된 피복층(39) 위에 적당히 부착된다. 다음, 그 금속 피복층을 기반 디스크로부터 제거하여 스템퍼를 제조하고, 그 스템퍼는 마스터 디스크의 복사판을 제조하기 의해 성형장치에 사용된다.

스템퍼의 제조시에 금속 피복층을 부착하기 위한 하나의 적당한 기술은 정보 함유 피복층(39)의 상면에 집접 100Å의 티타늄층을 열증발에 의해 진공 증착한 후 즉시, 그 티타늄층에 500Å의 니켈층을 유사하게 진공 증착하고, 다음, 그 니켈층상에 15밀(mil)의 니켈층을 전기도금하는 단계들도 구성되어 있다. 그 형성된 복합 금속층을 기반마스터 디스크(11)로부터 벗겨 적당한 스템퍼를 형성한다. 그렇게 기록된 데이터신호는 철부(凸部) 형태로 스템퍼의 하측상에 형성된다. 그 철부는 마스터 디스크의 요부(15)에 상응하며 유사하게 날카로운 모서리 및 거친 측벽도 없고 대략 0.3미크론의 폭을 가지고 있다.

제 5 도는 본 발명에 필요한 또 하나의 다른 마스터 디스크(11)의 단면도이다. 그 디스크는 강도 변조된 기록 광비임(13)으로부터 에너지를 적게 흡수하는데 적합하게 된 것을 제외하고는 제4도의 디스크(11)과 구조가 동일하다. 피복층(39)가 제 4 도의 피복층에 대해 설명한 것과 동일한 조성을 가지고 있기 때문에, 강도 변조된 기록비임(13)은 약 1밀리왓트의 동력수준을 가질 필요가 있다. 그 결과로, 그 에너지는 주사기록비임에 의해 조명된 피복층상의 영역들에서의 불완전 폭발들만을 일으키는데 충분하게 되어, 그러한 각 영역들에 철부(17)이 형성된다. 각 철부는, 기록비임에 의해 가열될 때 피복층에서 일어나는 신속한 화학반응에서 생성된 가스의 트랩핑(trapping)에 의해 형성되는 것으로 믿어진다. 금속 스템퍼는, 제 4 도의 마스터 디스크로부터 스템퍼를 제조하기 위한 전술한 기술과 유사한 방식으로 상술한 마스터 디스크로부터 형성될 수 있다.

본 발명에 필요한 마스터 디스크의 또는 다른 실시예(도시안 됨)에서는, 디스크가 기록비임(13)에 의해 주사되기 전, 약 100-200Å 두께를 갖는 얇은 금속 피복층이 특수한 폭발성 피복층위에 피복된다. 제 5 도실시예와 같이, 그 폭발성 피복층에 부분적인 폭발만이 발생되어 그에 철부를 형성하고 금속 피복층에 상응하는 철부를 형성한다. 이 실시예에서, 기록비임은 약 2밀리왓트의 동력수준을 가지고 있으며 디스크의 위로부터 금속 피복층상에 집중된다. 이 경우, 그 기반 피복층에서의 부분 폭발은 그 금속층으로부터 그 피복층내로의 전자들의 열전자 및 광전자 방출에 의해 일어난다. 그 폭발성 피복층이 기록비임의 흡수에 의해 에너지가 부여되는 것이 아니라 금속층으로부터의 전자들의 열전자 및 광전자 방출에 의해 에너지가 부여되기 때문에 그 폭발성 피복층은 염료를 포함할 필요가 없다. 또한, 그 기록비임은 기질을 통해 아래로부터 피복층상에 집중될 수 있다.

본 발명에 필요한 마스터 레코드 디스크의 아직 또 다른 실시예(도시안 됨)에서는, 그 폭발성 피복층이 제 4 및 5도에 도시된 실시예들로 예시된 것들 보다 상당히 두꺼우며, 바람직하게는 약 1미크론 이상의 두께를 가지고 있고, 표면의 불균일은 피복층의 상면내로 부분적으로만 연장하는 요부 형태로 되어 있다. 강도 변조된 기록비임(13)은 디스크 위로부터 피복층의 상면에 집중된다. 그 비임의 촛점 심도가 약 0.2미크론으로 제한되어 있기 때문에, 그 집중된 비임은 표면의 바로 아래에서 분산하기 시작한다. 그 결과로, 그 비임의 강도는 상면의 약 0.4-0.6미크론 이내에서만 그 폭발성 물질을 자연점화 온도로 가열하기에 충분하다.

다시, 제 1도를 참조하여, 디스크(11)상에 데이타신호를 기록하기 위한 마스터 디스크 기록장치를 이하 상세히 설명한다. 기록 광비임(13)은 알곤 이온 레이저와 같은 기록 레이저(42)에 의해 발생되고 이 일정한 강도의 비임은 강도 변조기(43)으로 보내지고 그 변조기에서 데이타 서브시스템(subsystem)(도시안 됨)으로부터 라인(45)를 통해 공급된 데이타신호에 따라 비임의 강도를 변조한다. 그 변조된 비임의 강도는 특수한 피복층(39)의 폭발성 물질이 자연점화 온도에 도달하는 드레시 호울드(threshold : 임계점)보다 교대로 크고 또 작게되어, 상응하는 요부(15) 또는 철부(17)이 디스크상에 형성된다.

그 강도 변조된 기록비임(13)은 변조기(43)으로부터 제 1 비임 분할기(splitter)(47)을 거쳐 거울(49)로 전달되고, 그 거울에서 비임이 반사되어 대물렌즈(51)로 보내진다. 그 대물렌즈는 디스크(11)상의 회절이 제한된 스포트(41)로 그 비임을 집중시킨다. 디스크는 스핀들 모우터(53)에 의해 규정된 각 속도로 회전되고 거울 및 대물렌즈는 디스크에 대해 반경방향으로 이동 가능한 캐리지(도시안 됨)상에 장착되어 데이타신호가 다수의 원형 기록 트랙(19)(제 2도)들로 연속적으로 기록될 수 있다.

디스크상에 기록된 직후 데이타신호를 판독하는데 이용되는 판독 광비임(21)은 판독 레이저(55)에 의해 발생된다. 그 비임은 기록비임(13)의 것보다 작은 일정한 강도를 가지고 있다. 그 판독 레이저는 헬륨 네온레이저로 구성되는 것이 유익하고, 그 헬륨 네온 레이저는 대략 6328의 파장을 갖는 비임을 형성한다.

판독 비임(21)은 처음에 제 2 비임 분할기(57)을 통해 제 1 비임 분할기(47)로 보내지고, 그 분할기(47)에서 그 비임이 반사되어 기록비임(13)과 결합된다. 그후, 그 비임이 디스크(11)상의 회절이 제한된 스포트(59)로 집중될 때까지 기록비임과 동일 통로를 따라 전달된다. 그 두개의 비임들은 디스크상의 그 비임들이 닿는 각 지점(41) 및 (59)가 대략 5미크론 떨어져 있도록 일렬로 정렬되고, 그 디스크는 그 스포트들이 공통 반경내에 있도록 배치되며, 기록비임이 판독비임 바로 앞에서 그 반경상의 주어진 지점을 주사하도록 회전한다.

판독 광비임(21)은 자연점화 온도로 폭발성 피복층을 가열하는데 불충분한 일정한 강도를 가지고 있어 피복층(39)의 외측면에 불균일 부분들을 형성하지 않는다. 그리하여, 제 4 도의 마스터 디스크에서, 판독 비임이 요부가 형성되지 않은 디스크(11)의 부분들에 닿을 때, 그 비임이 피복층을 통해 전달되어 기반 금속층(37)에 의해 대물렌즈(51)로 반사된다. 한편, 그 비임이 요부(15)에 집중된 때 금속층(37)에 의해 반사되지만 그 판독 비임의 파장에 대한 요부의 크기가 작기 때문에 그 요부에 의해 회절 또는 산란되고 그의 적은 부분만이 대물렌즈에 의해 집합된다. 이것은 특히, 비교적 작은 구경을 가진 렌즈가 이용될 때의 경우이다. 그리하여, 대물렌즈에 의해 집합된 반사 비임은 기록된 요부의 형태에 의해 강도가 변조된다.

유사하게, 제 5 도의 마스터 디스크(11')에 사용될 때, 판독 광비임(21)은 철부(17)가 형성되지 않은 폭발성 피복층(39')의 부분에 닿을 때 대물렌즈(51)로 반사되지만, 그러한 철부상에 닿을 때 회절에 의해 산란된다. 그리하여, 대물렌즈에 의해 집합된 반사 비임은 기록된 철부의 형태에 의해 유사하게 강도가 변조된다.

대물렌즈(51)에 의해 집합된 그 반사 판독 비임(21)은 그 대물렌즈로부터 거울(49)를 거쳐 제 1 비임 분할기(47)로 전달되고, 그 분할기(47)에서 반사되어 제 2 비임 분할기(57)로 보내진다. 그 제 2 분할기로부터, 그 반사 비임은 광검파기(photodetetor) (61)로 보내지고, 그 광검파기는 그 비임을 복조(demodulate)하여 상응하는 기록 후 판독(read-after-write) 전기신호를 발생시킨다. 이 신호는 라인(63)을 통해 적당한 회로(도시안 됨)로 공급되어 동력수준과 기록 비임의 촛점을 연속적으로 조절하여 그 데이타신호가 디스크(11)의 전체 표면상에 적절히 기록될 수 있게 한다.

상술한 설명으로부터, 본 발명은 마스터 기록장치에 사용하기 위한 개량된 정보 기록 매체를 제공함으로, 표면의 철부 또는 요부들이 복사판 디스크의 최종 성형에 악영향을 끼칠 수 있는 거친 가장자리를 형성하지 않고 그 피복층에 높은 밀도로 신호를 기록할 수 있을 뿐 아니라 화학적 현상단계를 필요치 않는, 개량된 스템퍼 제조방법을 제공함이 명백하다.

본 발명을 몇몇 실시예들로 상세히 기술하였으나, 본 발명의 정신 및 범위를 벗어남이 없이 여러가지 개조가 행해질 수 있음이 당업자에게 이해될 것이다.

Claims (1)

1. 폭발성 물질을 포함하는 광흡수성 피복층(39)을 매끄럽고 평평한 표면을 가진 기록 디스크용 기질(33)이 표면에 증착시키고, 이 광흡수성 피복층내에 기록될 데이타신호에 따라서 강도가 변조되는 기록 광비임(13)에 대하여 상기 기록 디스크를 예정된 방식으로 회전시키고, 이러한 디스크 회전단계의 도중에 상기 폭발성물질을 상기 기록 광비임에 의해 가열시켜서 다수의 폭발부를 간격을 두고 생성시킴으로써 상기 광흡수성피복층의 외면에 다수의 불균일부(15,17)를 형성시키고, 이 광흡수성 피복층의 상면에 직접 약 100Å의 티타늄층과 같은 제 1 금속층을 열증발에 의해 진공증착시키고, 그 후 즉시 이 제 1 금속층에 약 500Å의 니켈층과 같은 제 2 금속층을 진공 증착시키고, 이와 같이 진공 증착된 제 2 금속층상에 약 15밀(mil)의 니켈층을 전기도금하고, 이와 같이 형성된 복합 금속층을 하부의 기록 디스크로부터 벗겨내서 금속 스템퍼를 형성시키는 단계들로 구성되는, 기록 디스크 복사판을 생산하기 위한 금속 스템퍼를 제조하는 방법.

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