KR20240039039A - 부품 실장 시스템 - Google Patents

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KR20240039039A
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히데키 아오야마
마사키 후지와라
제홍 진
준 아사이
신이치 오카자키
준이치 오가와
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야마하하쓰도키 가부시키가이샤
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Abstract

부품 실장 라인(10) 상의 복수의 검사 장치(12)는 검사 화상(GI)을 취득하는 검사 촬상부(122), 제 1 검사 판정부(1233), 제 2 검사 판정부(1234), 및 제 3 검사 판정부(1235)를 포함한다. 제 1 검사 판정부(1233)는 검사 화상(GI)의 특징량을 검출함으로써 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태의 양부를 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 1 검사 판정 정보(DI1)를 출력한다. 제 2 검사 판정부(1234)는 처리 상태가 양호한 제 1 카테고리와 처리 상태가 불량한 제 2 카테고리로 검사 화상(GI)을 분류하고, 검사 화상(GI)이 속하는 카테고리에 따라 처리 상태의 양부를 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 2 검사 판정 정보(DI2)를 출력한다. 제 3 검사 판정부(1235)는 제 1 검사 판정 정보(DI1)와 제 2 검사 판정 정보(DI2)에 기초하여, 처리 상태의 양부의 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 검사 판정 정보(DI3)를 출력한다.

Description

부품 실장 시스템
본 발명은 부품 실장 장치를 포함하는 부품 실장 라인을 구비한 부품 실장 시스템에 관한 것이다.
종래부터, 부품 탑재 기판을 생산하는 부품 실장 장치를 포함하는 복수의 처리 장치와 검사 장치가 일렬로 배열된 부품 실장 라인을 구비한 부품 실장 시스템이 알려져 있다. 부품 실장 라인에서는 처리 장치의 처리 상태의 화상이 취득되고, 상기 화상에 기초하여 처리 상태의 양부가 판정된다.
특허문헌 1에는 처리 장치에 있어서 처리 상태의 불량이 발생한 경우에, 상기 처리 상태의 불량의 발생 요인을 해석하기 위한 기술이 개시되어 있다. 특허문헌 1에 개시되는 기술에서는 각 검사 장치의 판정 결과와 그 판정에 사용된 화상이 관리 장치의 데이타베이스에 축적되어 일원 관리된다. 관리 장치는 키보드나 마우스 등의 입력부와, 표시부를 갖고 있다. 그리고, 오퍼레이터가 입력부에 의해 해석 대상의 기판을 특정하는 입력 조작을 행한 경우, 각 검사 장치에 있어서의 판정 결와 화상이 표시부에 동시에 표시된다. 이것에 의해, 오퍼레이터는 표시부에 표시된 판정 결과 및 화상을 확인하면서, 처리 장치에 있어서의 처리 상태의 불량의 발생 요인을 해석하는 것이 가능해진다.
그렇지만, 화상에 기초하는 판정에 있어서 처리 상태가 양호하다는 판정 결가 출력된 상태이어도, 부품 탑재 기판의 최종적인 품질이 충분히 높지 않은 경우가 있다. 이 때문에, 처리 장치의 처리 상태에 관한 화상에 기초하는 판정의 판정 정밀도를 높이는 것이 요구되고, 이 점에 개량의 여지가 남아 있다.
일본특허공개 2006-210729호 공보
본 발명의 목적은 부품 실장 라인에 있어서의 처리 장치의 처리 상태에 관한 화상에 기초하는 판정의 판정 정밀도를 높이는 것이다.
본 발명의 일국면에 의한 부품 실장 시스템은 부품이 탑재된 부품 탑재 기판을 생산하는 부품 실장 장치를 포함하는 복수의 처리 장치와, 상기 처리 장치의 처리 상태를 검사하는 하나 또는 복수의 검사 장치를 포함하는 부품 실장 라인과, 상기 부품 실장 라인을 관리하는 관리 장치를 구비한다. 상기 부품 실장 장치 및 상기 검사 장치 중 적어도 어느 하나의 복수의 특정 장치는 각각, 처리 장치의 처리 상태의 화상을 취득하는 촬상부와, 상기 화상의 특징량을 검출함으로써 상기 처리 상태의 양부를 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 1 판정 정보를 출력하는 제 1 판정부와, 인공지능에 의한 화상 분류의 수법을 사용하여 상기 화상을 제 1 카테고리와 제 2 카테고리로 분류하고, 상기 화상이 상기 제 1 카테고리에 속하는 경우에는 상기 처리 상태가 양호하다고 판정하고, 상기 화상이 상기 제 2 카테고리에 속하는 경우에는 상기 처리 상태가 불량하다고 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 2 판정 정보를 출력하는 제 2 판정부와, 상기 제 1 판정 정보와 상기 제 2 판정 정보에 기초하여 상기 처리 상태의 양부의 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 판정 정보를 출력하는 제 3 판정부를 포함한다. 상기 관리 장치는 상기 복수의 특정 장치에 각각 대응한 상기 화상이 상기 제 1 카테고리와 상기 제 2 카테고리 중 어느 카테고리에 속하는지를 지정하는 카테고리 지정 지령 정보가 입력되는 조작부와, 상기 복수의 특정 장치 중 상기 부품 실장 라인에 있어서 최하류에 배치된 최하류 장치에 대응한 상기 제 3 판정 정보와 상기 카테고리 지정 지령 정보에 기초하여, 상기 복수의 특정 장치에 각각 대응한 상기 화상이 상기 제 1 카테고리와 상기 제 2 카테고리 중 어느 카테고리에 속하는지를 나타내는 카테고리 정보를 생성하는 카테고리 정보 생성부와, 상기 화상과 상기 카테고리 정보를 관련지은 학습 데이터를, 상기 복수의 특정 장치의 각각에 있어서의 상기 제 2 판정부에 대응하여 생성하는 학습 데이터 생성부와, 상기 학습 데이터에 기초하여, 상기 복수의 특정 장치의 상기 제 2 판정부가 상기 화상을 분류할 때의 분류 기준을 학습하는 학습부를 포함한다.
본 발명의 목적, 특징 및 이점은 이하의 상세한 설명과 첨부 도면에 의해, 보다 명백해진다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 의한 부품 실장 시스템의 전체 구성을 나타내는 도이다.
도 2는 부품 실장 시스템에 구비되는 부품 실장 장치의 블록도이다.
도 3은 부품 실장 장치에 있어서의 실장기 본체의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 4는 실장기 본체의 헤드 유닛의 부분을 확대하여 나타내는 도이다.
도 5는 부품 실장 장치의 부품 탑재 동작을 나타내는 플로우차트이다.
도 6은 부품 실장 시스템에 구비되는 검사 장치의 블록도이다.
도 7은 검사 장치의 검사 판정 동작을 나타내는 플로우차트이다.
도 8은 부품 실장 시스템에 구비되는 관리 데이터 기억 장치에 축적하여 기억되는 관리 데이터를 나타내는 도이다.
도 9는 부품 실장 시스템에 구비되는 관리 장치의 블록도이다.
도 10은 관리 장치에 있어서의 학습 처리의 흐름을 나타내는 플로우차트이다.
도 1에 나타내어지는 바와 같이, 본 실시형태에 의한 부품 실장 시스템(100)은 부품 실장 라인(10)과, 관리 데이터 기억 장치(13)와, 알고리즘 기억 장치(14)와, 관리 장치(15)를 구비한다.
부품 실장 라인(10)은 복수의 처리 장치(11)와 복수의 검사 장치(12)가 직선 형상으로 늘어서도록 연결되어 구성된다. 복수의 처리 장치(11)는 땜납 인쇄 장치(11A), 부품 실장 장치(11B), 및 리플로우 장치(11C)를 포함한다. 검사 장치(12)는 복수의 처리 장치(11)의 각각의 하류측에 배치되고, 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태를 검사하기 위한 장치이다. 복수의 검사 장치(12)는 땜납 페이스트 검사 장치(12A), 탑재 검사 장치(12B), 및 리플로우 검사 장치(12C)를 포함한다. 부품 실장 라인(10)에서는 땜납 인쇄 장치(11A), 땜납 페이스트 검사 장치(12A), 부품 실장 장치(11B), 탑재 검사 장치(12B), 리플로우 장치(11C), 및 리플로우 검사 장치(12C)가 이 순서대로 직선 형상으로 늘어서도록 연결된다.
부품 실장 라인(10)에서는 부품 실장 장치(11B), 땜납 페이스트 검사 장치(12A), 탑재 검사 장치(12B), 및 리플로우 검사 장치(12C) 중 적어도 어느 하나의 복수의 장치가 화상에 기초하여 처리 상태의 양부의 판정을 행하는 특정 장치로서 설정된다. 예를 들면, 부품 실장 장치(11B)와 리플로우 검사 장치(12C)가 특정 장치로서 설정된다. 또한, 땜납 페이스트 검사 장치(12A), 탑재 검사 장치(12B), 및 리플로우 검사 장치(12C)에 의해 구성되는 복수의 검사 장치(12)가 특정 장치로서 설정되어도 좋다. 본 실시형태에서는, 부품 실장 장치(11B), 땜납 페이스트 검사 장치(12A), 탑재 검사 장치(12B), 및 리플로우 검사 장치(12C)의 모든 장치가 특정 장치로서 설정된다. 이 경우, 특정 장치로서 설정된 부품 실장 장치(11B), 땜납 페이스트 검사 장치(12A), 탑재 검사 장치(12B), 및 리플로우 검사 장치(12C) 중, 부품 실장 라인(10)에 있어서 최하류에 배치된 리플로우 검사 장치(12C)가 최하류 장치로서 설정된다.
땜납 인쇄 장치(11A)는 회로 기판에 땜납 페이스트를 인쇄하고, 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP를 얻기 위한 장치이다. 이 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP는 땜납 페이스트 검사 장치(12A)에 반입된다. 땜납 페이스트 검사 장치(12A)는 땜납 인쇄 장치(11A)의 하류측에 배치되어, 땜납 인쇄 장치(11A)의 처리 상태를 검사한다. 땜납 페이스트 검사 장치(12A)에 의한 검사 후의 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP는 부품 실장 장치(11B)에 반입된다. 부품 실장 장치(11B)는 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP 상에 전자 부품(이하, 「부품」이라고 칭함)이 탑재된 부품 탑재 기판 PPA를 생산하기 위한 장치이다. 이 부품 탑재 기판 PPA는 탑재 검사 장치(12B)에 반입된다. 탑재 검사 장치(12B)는 부품 실장 장치(11B)의 하류측에 배치되어, 부품 실장 장치(11B)의 처리 상태를 검사한다. 탑재 검사 장치(12B)에 의한 검사 후의 부품 탑재 기판 PPA는 리플로우 장치(11C)에 반입된다. 리플로우 장치(11C)는 부품 탑재 기판 PPA 상의 땜납을 용융시킨 후에 경화시키는 리플로우 처리를 행함으로써, 리플로우 기판 PPB를 얻기 위한 장치이다. 이 리플로우 기판 PPB는 리플로우 검사 장치(12C)에 반입된다. 리플로우 검사 장치(12C)는 리플로우 장치(11C)의 하류측에 배치되어, 리플로우 장치(11C)의 처리 상태를 검사한다.
다음에, 부품 실장 장치(11B)에 대해서, 도 1에 추가해서 도 2∼도 5를 참조하면서 설명한다. 또한, 도 3에서는 수평면 상에 있어서 서로 직교하는 XY 직교 좌표를 사용하여 방향 관계가 나타내어져 있다.
부품 실장 장치(11B)는 실장기 본체(2)와, 실장 제어부(4)와, 실장 통신부(40)를 구비한다. 실장기 본체(2)는 부품 탑재 기판 PPA의 생산시에 있어서, 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP에 부품을 탑재하는 부품 탑재 처리 등을 행하는 구조 부분을 구성한다. 실장 통신부(40)는 후기의 관리 데이터 기억 장치(13) 및 알고리즘 기억 장치(14)와 데이터 통신을 행하기 위한 인터페이스이다. 실장 제어부(4)는 실장기 본체(2)의 부품 탑재 처리 등을 제어함과 아울러, 실장 통신부(40)의 데이터 통신을 제어한다.
실장기 본체(2)는 본체 프레임(21)과, 컨베이어(23)와, 부품 공급 유닛(24)과, 헤드 유닛(25)과, 기판 지지 유닛(28)을 구비한다.
본체 프레임(21)은 실장기 본체(2)를 구성하는 각 부가 배치되는 구조체이며, X축 방향 및 Y축 방향의 양방향과 직교하는 방향(연직 방향)으로부터 본 평면으로 볼 때에 대략 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 컨베이어(23)는 X축 방향으로 연장되고, 본체 프레임(21)에 배치된다. 컨베이어(23)는 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP를 X축 방향으로 반송한다. 컨베이어(23) 상을 반송되는 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP는 소정의 작업 위치(땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP 상에 부품이 탑재되는 부품 탑재 위치)에, 기판 지지 유닛(28)에 의해 위치 결정되도록 되어 있다. 기판 지지 유닛(28)은 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP를 하방측으로부터 지지함으로써, 상기 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP를 컨베이어(23) 상에 두어 위치결정한다.
부품 공급 유닛(24)은 본체 프레임(21)에 있어서의 Y축 방향의 양단부의 각각의 영역 부분에 컨베이어(23)를 사이에 두고 배치된다. 부품 공급 유닛(24)은 본체 프레임(21)에 있어서, 피더(24F)가 복수 병설된 상태로 장착되는 영역이며, 후술의 헤드 유닛(25)에 구비되는 탑재 헤드(251)에 의한 유지 대상의 부품마다, 각 피더(24F)의 세트 위치가 구획되어 있다. 피더(24F)는 부품 공급 유닛(24)에 착탈 가능하게 장착된다. 피더(24F)는 부품을 공급하는 부품 공급 처리를 행하는 장치이다. 피더(24F)는 복수의 부품을 유지하고, 그 유지한 부품을 피더 내에 설정된 소정의 부품 공급 위치에 공급할 수 있는 것이면 특별히 한정되지 않고, 예를 들면 테이프 피더이다. 테이프 피더는 부품을 소정 간격으로 수납한 부품 수납 테이프가 권회된 릴을 구비하고, 그 릴로부터 부품 수납 테이프를 송출함으로써 부품을 공급하도록 구성된 피더이다.
헤드 유닛(25)은 이동 프레임(27)에 유지되어 있다. 본체 프레임(21) 상에는 Y축 방향으로 연장되는 고정 레일(261)과, Y축 서보 모터(263)에 의해 회전 구동되는 볼 나사축(262)이 설치되어 있다. 이동 프레임(27)은 고정 레일(261) 상에 배치되고, 이 이동 프레임(27)에 형성된 너트 부분(271)이 볼 나사축(262)에 나사결합하고 있다. 또한, 이동 프레임(27)에는 X축 방향으로 연장되는 가이드 부재(272)와, X축 서보 모터(274)에 의해 구동되는 볼 나사축(273)이 배치되어 있다. 이 가이드 부재(272)에 헤드 유닛(25)이 이동가능하게 유지되고, 이 헤드 유닛(25)에 형성된 너트 부분이 볼 나사축(273)에 나사결합하고 있다. 그리고, Y축 서보 모터(263)의 작동에 의해 이동 프레임(27)이 Y축 방향으로 이동함과 아울러, X축 서보 모터(274)의 작동에 의해 헤드 유닛(25)이 이동 프레임(27)에 대하여 X축 방향으로 이동하게 되어 있다. 즉, 헤드 유닛(25)은 이동 프레임(27)의 이동에 따라 Y축 방향으로 이동가능하며, 또한 이동 프레임(27)에 따라 X축 방향으로 이동가능하다. 헤드 유닛(25)은 부품 공급 유닛(24)과 기판 지지 유닛(28)에 지지된 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP 사이에서 이동가능하다. 헤드 유닛(25)은 부품 공급 유닛(24)과 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP 사이에서 이동함으로써, 부품을 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP에 탑재하는 부품 탑재 처리를 실행한다.
도 4에 나타내어지는 바와 같이, 헤드 유닛(25)은 복수의 탑재 헤드(251)를 구비하고 있다. 각 탑재 헤드(251)는 그 선단(하단)에 장착된 흡착 노즐(2511)을 갖는다. 흡착 노즐(2511)은 피더(24F)에 의해 공급된 부품의 흡착 유지가 가능한 노즐이다. 흡착 노즐(2511)은 부품을 흡착하는 부품 흡착 처리를 행한다. 흡착 노즐(2511)은 전동 스위칭 밸브를 개재해서 부압 발생 장치, 정압 발생 장치 및 대기 중 어느 하나에 연통가능하게 되어 있다. 즉, 흡착 노즐(2511)에 부압이 공급됨으로써 상기 흡착 노즐(2511)에 의한 부품의 흡착 유지가 가능해지고, 그 후, 정압이 공급됨으로써 상기 부품의 흡착 유지가 해제된다. 각 탑재 헤드(251)는 흡착 노즐(2511)에 의해 흡착 유지된 부품을 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP에 탑재하는 부품 탑재 처리를, 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP에 설정된 복수의 목표 탑재 위치의 각각에 대응하여 행한다. 각 탑재 헤드(251)는 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP에 대한 부품 탑재 처리를 행함으로써, 부품 탑재 기판 PPA를 얻는다.
각 탑재 헤드(251)는 헤드 유닛(25)의 프레임에 대하여 Z축 방향(연직 방향)으로 승강가능함과 아울러, Z축 방향으로 연장되는 헤드축 주변의 회전이 가능하게 되어 있다. 각 탑재 헤드(251)는 흡착 노즐(2511)에 의한 부품의 흡착 유지가 가능한 흡착 가능 위치와, 흡착 가능 위치에 대하여 상방측의 대피 위치 사이에서 Z축 방향을 따라 승강가능하다. 즉, 흡착 노즐(2511)에 의해 부품을 흡착 유지할 때에는, 각 탑재 헤드(251)는 대피 위치부터 흡착 가능 위치를 향해서 하강하고, 상기 흡착 가능 위치에 있어서 부품을 흡착 유지한다. 한편, 부품의 흡착 유지 후의 각 탑재 헤드(251)는 흡착 가능 위치로부터 대피 위치를 향해서 상승한다. 더욱, 각 탑재 헤드(251)는 흡착 노즐(2511)에 의해 흡착 유지된 부품을 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP 상의 미리 정해진 목표 탑재 위치에 탑재하는 것이 가능한 탑재 가능 위치와, 상기 대피 위치 사이에서, Z축 방향을 따라 승강가능하다.
도 2 및 도 3에 나타내어지는 바와 같이, 실장기 본체(2)는 실장 촬상부(3)를 더 구비한다. 실장 촬상부(3)는 촬상 대상을 촬상하는 촬상 동작을 행하여 촬상 화상을 취득한다. 실장 촬상부(3)는 제 1 촬상부(31)와, 제 2 촬상부(32)와, 제 3 촬상부(33)를 포함한다.
제 1 촬상부(31)는 본체 프레임(21) 상에 있어서 부품 공급 유닛(24)과 컨베이어(23) 사이에 설치되고, 예를 들면 CMOS(Complementary metal-oxide-semiconductor)나 CCD(Charged-coupled device) 등의 촬상 소자를 구비한 촬상 카메라이다. 제 1 촬상부(31)는 부품 공급 유닛(24)으로부터 기판 지지 유닛(28)에 의해 지지된 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP를 향해서 헤드 유닛(25)이 이동하고 있는 중에 있어서, 각 탑재 헤드(251)의 흡착 노즐(2511)에 의해 흡착 유지된 부품을 하방측으로부터 촬상하여 제 1 흡착 화상 GA1을 취득한다. 제 1 흡착 화상 GA1은 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태를 나타내는 화상이다. 제 1 흡착 화상 GA1은 부품 흡착 처리의 처리 상태로서, 예를 들면 흡착 노즐(2511)에 흡착된 부품의 자세, 흡착 노즐(2511)에 대한 부품의 흡착 위치의 어긋남량 등을 확인하는 것이 가능한 화상이다. 제 1 흡착 화상 GA1은 후기의 실장 제어부(4)에 입력되고, 제 1 흡착 판정부(46) 및 제 2 흡착 판정부(47)에 의한 처리 상태의 양부의 판정시에 참조된다.
제 2 촬상부(32)는 헤드 유닛(25)에 배치되고, 예를 들면 CMOS나 CCD 등의 촬상 소자를 구비한 촬상 카메라이다. 제 2 촬상부(32)는 각 탑재 헤드(251)의 흡착 노즐(2511)에 의해 흡착 유지된 부품을, 측방으로부터 촬상하여 제 2 흡착 화상 GA2를 취득한다. 제 2 흡착 화상 GA2는 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태를 나타내는 화상이다. 제 2 흡착 화상 GA2는 부품 흡착 처리의 처리 상태로서, 예를 들면 흡착 노즐(2511)에 흡착된 부품의 자세 등을 확인하는 것이 가능한 화상이다. 제 2 흡착 화상 GA2는 실장 제어부(4)에 입력되고, 제 1 흡착 판정부(46) 및 제 2 흡착 판정부(47)에 의한 처리 상태의 양부의 판정시에 참조된다.
제 3 촬상부(33)는 헤드 유닛(25)에 배치되고, 예를 들면 CMOS나 CCD 등의 촬상 소자를 구비한 촬상 카메라이다. 제 3 촬상부(33)는 각 탑재 헤드(251)가 부품 탑재 처리를 실행하고 있을 때에, 기판 지지 유닛(28)에 의해 지지된 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP의 상면에 부설되어 있는 각종 마크를 인식하기 위해서, 상기 마크를 상방측으로부터 촬상한다. 제 3 촬상부(33)에 의한 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP 상의 마크의 인식에 의해, 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP의 원점 좌표에 대한 위치 어긋남량이 검지된다.
실장 제어부(4)는 CPU(Central Processing Unit), 제어 프로그램을 기억하는 ROM(Read Only Memory), CPU의 작업 영역으로서 사용되는 RAM(Random Access Memory) 등으로 구성되어 있다. 실장 제어부(4)는 CPU가 ROM에 기억된 제어 프로그램을 실행함으로써, 실장기 본체(2)의 각 구성 요소의 동작을 제어함과 아울러, 실장 통신부(40)의 데이터 통신 동작을 제어하고, 게다가 각종 연산 처리를 실행한다. 도 2에 나타내어지는 바와 같이, 실장 제어부(4)는 주된 기능 구성으로서, 통신 제어부(41)와, 기판 반송 제어부(42)와, 부품 공급 제어부(43)와, 헤드 제어부(44)와, 촬상 제어부(45)와, 제 1 흡착 판정부(46)와, 제 2 흡착 판정부(47)와, 제 3 흡착 판정부(48)를 포함한다.
통신 제어부(41)는 실장 통신부(40)를 제어함으로써, 부품 실장 장치(11B)와 관리 데이터 기억 장치(13) 사이의 데이터 통신과, 부품 실장 장치(11B)와 알고리즘 기억 장치(14) 사이의 데이터 통신을 제어한다. 실장 통신부(40)는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 후기의 제 3 흡착 판정부(48)로부터 출력되는 제 3 흡착 판정 정보 DA3이 관련지은 부품 흡착 데이터 세트 DSPP를, 관리 데이터 기억 장치(13)로 보낸다. 또한, 실장 통신부(40)는 알고리즘 기억 장치(14)에 기억되는 후기의 검사 알고리즘을 수신한다.
기판 반송 제어부(42)는 컨베이어(23)에 의한 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP의 반송 동작을 제어한다. 부품 공급 제어부(43)는 부품 공급 유닛(24)에 배열된 복수의 피더(24F)의 각각의 부품 공급 처리를 제어한다. 헤드 제어부(44)는 헤드 유닛(25)를 제어함으로써 탑재 헤드(251)를 제어한다. 이것에 의해, 헤드 제어부(44)는 흡착 노즐(2511)에 의해 흡착 유지된 부품을 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP에 탑재하는 부품 탑재 처리를, 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP에 설정된 복수의 목표 탑재 위치의 각각에 대응하여, 탑재 헤드(251)에 실행시킨다. 촬상 제어부(45)는 실장 촬상부(3)를 구성하는 제 1 촬상부(31), 제 2 촬상부(32) 및 제 3 촬상부(33)에 의한 촬상 동작을 제어한다.
제 1 흡착 판정부(46)는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2의 특징량을 검출함으로써 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태의 양부를 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 1 흡착 판정 정보 DA1을 출력한다. 상기 특징량은 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2에 있어서의, 흡착 노즐(2511)에 흡착된 부품의 자세나 흡착 위치의 어긋남량 등을 확인하기 위한 영역 부분의 치수나 면적 등으로 나타내어진다.
제 2 흡착 판정부(47)는 AI(인공지능)에 의한 화상 분류의 수법을 사용하여 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태의 양부를 판정한다. 구체적으로는, 제 2 흡착 판정부(47)는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2를 제 1 카테고리와 제 2 카테고리로 분류하고, 제 1 카테고리에 속하는 경우에는 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태가 양호하다고 판정하고, 제 2 카테고리에 속하는 경우에는 처리 상태가 불량하다고 판정한다. 그리고, 제 2 흡착 판정부(47)는 AI(인공지능)에 의한 화상 분류의 수법을 사용한 상기의 판정 결과를 나타내는 제 2 흡착 판정 정보 DA2를 출력한다.
제 3 흡착 판정부(48)는 제 1 흡착 판정 정보 DA1과 제 2 흡착 판정 정보 DA2에 기초하여, 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태의 양부의 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 흡착 판정 정보 DA3을 출력한다.
상기 대로, 부품 실장 장치(11B)에서는 판정 방법이 서로 상이한 제 1 흡착 판정부(46) 및 제 2 흡착 판정부(47)의 각 판정 결과에 기초하여, 제 3 흡착 판정부(48)가 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태의 양부의 최종 판정을 행한다. 이것에 의해, 처리 상태의 양부의 최종 판정의 판정 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.
제 1 흡착 판정 정보 DA1에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과와, 제 2 흡착 판정 정보 DA2에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과가 일치하는 경우, 제 3 흡착 판정부(48)는 상기 일치한 판정 결과를 최종 판정의 결과로서 나타내는 제 3 흡착 판정 정보 DA3을 출력한다. 이것에 의해, 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태의 양부의 최종 판정의 판정 정밀도를 고수준으로 유지할 수 있다.
예를 들면, 제 1 흡착 판정 정보 DA1 및 제 2 흡착 판정 정보 DA2에 의해 나타내어지는 판정 결과가 각각, 처리 상태가 양호한 것을 나타내어 일치하는 경우, 제 3 흡착 판정부(48)는 처리 상태가 양호한 것을 나타내는 제 3 흡착 판정 정보 DA3을 출력한다.
한편, 제 1 흡착 판정 정보 DA1 및 제 2 흡착 판정 정보 DA2에 의해 나타내어지는 판정 결과가 각각, 처리 상태가 불량한 것을 나타내어 일치하는 경우, 제 3 흡착 판정부(48)는 처리 상태가 불량한 것을 나타내는 제 3 흡착 판정 정보 DA3을 출력한다. 이 경우, 제 3 흡착 판정부(48)는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2를 사용한 오퍼레이터에 의한 목시 판정의 판정 결과를 나타내는 정보를 제 3 흡착 판정 정보 DA3으로서 출력하도록 구성되어 있어도 좋다. 즉, 제 1 흡착 판정 정보 DA1 및 제 2 흡착 판정 정보 DA2가 모두, 처리 상태가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우, 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2를 사용한 오퍼레이터에 의한 목시 판정이 행해져도 좋다. 그리고, 제 3 흡착 판정부(48)는 오퍼레이터에 의한 목시 판정의 판정 결과를 나타내는 정보를 제 3 흡착 판정 정보 DA3으로서 출력한다.
제 1 흡착 판정 정보 DA1에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과와, 제 2 흡착 판정 정보 DA2에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 3 흡착 판정부(48)는 처리 상태가 불량하다는 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 흡착 판정 정보 DA3을 출력한다. 제 1 흡착 판정 정보 DA1 및 제 2 흡착 판정 정보 DA2에 의해 나타내어지는 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 1 흡착 판정 정보 DA1 및 제 2 흡착 판정 정보 DA2 중 어느 하나의 정보는 처리 상태가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보가 된다. 이 경우, 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태가 불량할 가능성을 완전히는 부정할 수 없다. 이 때문에, 제 1 흡착 판정 정보 DA1 및 제 2 흡착 판정 정보 DA2에 의해 나타내어지는 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 3 흡착 판정부(48)는 처리 상태가 불량하다는 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 흡착 판정 정보 DA3을 출력한다. 이것에 의해, 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태가 불량한 것에 기인하여, 부품 탑재 기판 PPA의 품질이 저하하는 것을 보다 엄격하게 억제할 수 있다.
또한, 제 1 흡착 판정 정보 DA1에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과와, 제 2 흡착 판정 정보 DA2에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 3 흡착 판정부(48)는 처리 상태가 양호하다는 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 흡착 판정 정보 DA3을 출력하도록 구성되어 있어도 좋다. 이 경우, 제 3 흡착 판정부(48)에 의한 최종 판정의 판정 기준이 과도하게 엄격한 기준으로 설정되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 제 1 흡착 판정 정보 DA1 및 제 2 흡착 판정 정보 DA2에 의해 나타내어지는 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 3 흡착 판정부(48)는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2를 사용한 오퍼레이터에 의한 목시 판정의 판정 결과를 나타내는 정보를 제 3 흡착 판정 정보 DA3으로서 출력하도록 구성되어 있어도 좋다. 즉, 제 1 흡착 판정 정보 DA1 및 제 2 흡착 판정 정보 DA2에 의해 나타내어지는 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2를 사용한 오퍼레이터에 의한 목시 판정이 행해져도 좋다. 그리고, 제 3 흡착 판정부(48)는 오퍼레이터에 의한 목시 판정의 판정 결과를 나타내는 정보를 제 3 흡착 판정 정보 DA3으로서 출력한다.
제 3 흡착 판정부(48)로부터 출력된 제 3 흡착 판정 정보 DA3은 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 관련지어 부품 흡착 데이터 세트 DSPP가 된다. 이 부품 흡착 데이터 세트 DSPP는 실장 통신부(40)를 개재해서 관리 데이터 기억 장치(13)로 보내진다.
다음에, 도 5의 플로우차트를 참조하면서, 부품 실장 장치(11B)의 부품 탑재 동작에 대해서 설명한다.
부품 실장 장치(11B)는 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP에 대한 부품 부품 탑재 동작을 개시하는 지령 신호가 오퍼레이터의 조작에 의해 입력되면, 그 부품 탑재 동작을 개시한다. 우선, 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP가 컨베이어(23) 상을 반송되어, 소정의 부품 탑재 위치에 위치결정된다. 그리고, 부품 공급 제어부(43)는 피더(24F)의 부품 공급 처리를 제어한다.
헤드 제어부(44)는 피더(24F)에 의해 공급된 부품의 상방에 흡착 노즐(2511)이 위치하도록 헤드 유닛(25)를 이동시킨다. 흡착 노즐(2511)이 부품의 상방에 위치하면, 헤드 제어부(44)는 흡착 노즐(2511)을 하강시킨다. 하강된 흡착 노즐(2511)은 부품을 흡착 유지한다(스텝 a1). 흡착 노즐(2511)이 부품을 흡착 유지하면, 헤드 제어부(44)는 흡착 노즐(2511)을 상승시킨다. 이 때, 제 2 촬상부(32)는 흡착 노즐(2511)에 흡착 유지된 부품을 측방으로부터 촬상하여 제 2 흡착 화상 GA2를 취득한다(스텝 a2). 게다가, 헤드 제어부(44)는 컨베이어(23) 상의 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP에 있어서의 부품 탑재 위치의 상방에 흡착 노즐(2511)이 위치하도록 헤드 유닛(25)를 이동시킨다. 이 때, 제 1 촬상부(31)는 흡착 노즐(2511)에 흡착 유지된 부품을 하방으로부터 촬상하여 제 1 흡착 화상 GA1을 취득한다(스텝 a2).
제 1 촬상부(31)가 제 1 흡착 화상 GA1을 취득하고, 제 2 촬상부(32)가 제 2 흡착 화상 GA2를 취득하면, 제 1 흡착 판정부(46)는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2의 특징량을 검출함으로써 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태의 양부를 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 1 흡착 판정 정보 DA1을 출력한다(스텝 a3). 또한, 제 2 흡착 판정부(47)는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2를 제 1 카테고리와 제 2 카테고리로 분류한다. 그리고, 제 2 흡착 판정부(47)는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2가 속하는 카테고리에 따라 처리 상태의 양부를 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 2 흡착 판정 정보 DA2를 출력한다(스텝 a3).
제 3 흡착 판정부(48)는 제 1 흡착 판정 정보 DA1과 제 2 흡착 판정 정보 DA2에 기초하여, 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태의 양부의 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 흡착 판정 정보 DA3을 출력한다(스텝 a4).
제 3 흡착 판정부(48)로부터 제 3 흡착 판정 정보 DA3이 출력되면, 헤드 제어부(44)는 제 3 흡착 판정 정보 DA3의 판정 결과가 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태가 양호한 것을 나타내는지의 여부를 판단한다(스텝 a5). 부품 흡착 처리의 처리 상태가 양호하다는 판정 결과인 경우(스텝 a5에서 YES), 헤드 제어부(44)는 부품 탑재 위치의 상방에 배치된 흡착 노즐(2511)을 하강시켜, 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP에의 부품 부품 탑재 동작을 실행한다(스텝 a6). 이와 같이 하여, 부품을 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP에 탑재할 수 있다.
한편, 부품 흡착 처리의 처리 상태가 불량하다는 판정 결과인 경우(스텝 a5에서 NO), 헤드 제어부(44)는 흡착 노즐(2511)에 흡착 유지된 부품을 폐기하는 부품 폐기 동작을 실행하도록 헤드 유닛(25)의 동작을 제어한다(스텝 a7). 이와 같이 하여, 부품 흡착 처리의 처리 상태가 불량인 경우의 부품을 폐기함으로써, 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP에 대한 부품의 탑재 불량의 발생을 억제할 수 있다.
다음에, 땜납 페이스트 검사 장치(12A), 탑재 검사 장치(12B), 및 리플로우 검사 장치(12C)에 의해 구성되는 검사 장치(12)에 대해서, 도 1에 추가해서 도 6, 7을 참조하면서 설명한다. 검사 장치(12)는 검사 통신부(121)와, 검사 촬상부(122)와, 검사 제어부(123)를 구비한다.
검사 통신부(121)는 후기의 관리 데이터 기억 장치(13) 및 알고리즘 기억 장치(14)와 데이터 통신을 행하기 위한 인터페이스이다.
검사 촬상부(122)는, 예를 들면 CMOS나 CCD 등의 촬상 소자를 구비한 촬상 카메라이다. 검사 촬상부(122)는 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태의 화상을 나타내는 검사 화상 GI를 취득한다. 예를 들면, 땜납 페이스트 검사 장치(12A)의 검사 촬상부(122)는 땜납 인쇄 장치(11A)의 인쇄 처리의 처리 상태를 확인가능한 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP의 화상을 검사 화상 GI로서 취득한다. 마찬가지로, 탑재 검사 장치(12B)의 검사 촬상부(122)는 부품 실장 장치(11B)의 부품 탑재 처리의 처리 상태를 확인가능한 부품 탑재 기판 PPA의 화상을 검사 화상 GI로서 취득한다. 또한, 리플로우 검사 장치(12C)의 검사 촬상부(122)는 리플로우 장치(11C)의 리플로우 처리의 처리 상태를 확인가능한 리플로우 기판 PPB의 화상을 검사 화상 GI로서 취득한다.
검사 제어부(123)는 CPU, 제어 프로그램을 기억하는 ROM, CPU의 작업 영역으로서 사용되는 RAM 등으로 구성되어 있다. 검사 제어부(123)는 CPU가 ROM에 기억된 제어 프로그램을 실행함으로써, 검사 통신부(121) 및 검사 촬상부(122)를 제어함과 아울러, 각종 연산 처리를 실행한다. 검사 제어부(123)는 주된 기능 구성으로서, 통신 제어부(1231)와, 촬상 제어부(1232)와, 제 1 검사 판정부(1233)와, 제 2 검사 판정부(1234)와, 제 3 검사 판정부(1235)를 포함한다.
통신 제어부(1231)는 검사 통신부(121)를 제어함으로써, 검사 장치(12)와 관리 데이터 기억 장치(13) 사이의 데이터 통신과, 검사 장치(12)와 알고리즘 기억 장치(14) 사이의 데이터 통신을 제어한다. 검사 통신부(121)는 검사 화상 GI와 후기의 제 3 검사 판정부(1235)로부터 출력되는 제 3 검사 판정 정보 DI3이 관련지은 검사 데이터 세트 DS를, 관리 데이터 기억 장치(13)로 보낸다. 예를 들면, 땜납 페이스트 검사 장치(12A)의 검사 통신부(121)는 검사 화상 GI와 제 3 검사 판정 정보 DI3이 관련지은 땜납 페이스트 검사 데이터 세트 DSPT를 관리 데이터 기억 장치(13)로 보낸다. 마찬가지로, 탑재 검사 장치(12B)의 검사 통신부(121)는 검사 화상 GI와 제 3 검사 판정 정보 DI3이 관련지은 탑재 검사 데이터 세트 DSMT를 관리 데이터 기억 장치(13)로 보낸다. 또한, 리플로우 검사 장치(12C)의 검사 통신부(121)는 검사 화상 GI와 제 3 검사 판정 정보 DI3이 관련지은 리플로우 검사 데이터 세트 DSRF를 관리 데이터 기억 장치(13)로 보낸다. 또한, 검사 통신부(121)는 알고리즘 기억 장치(14)에 기억되는 후기의 검사 알고리즘을 수신한다.
촬상 제어부(1232)는 검사 촬상부(122)에 의한 촬상 동작을 제어한다.
제 1 검사 판정부(1233)는 검사 화상 GI의 특징량을 검출함으로써 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태의 양부를 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 1 검사 판정 정보 DI1을 출력한다. 상기 특징량은 검사 화상 GI에 있어서의, 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태를 확인하기 위한 영역 부분의 치수나 면적 등으로 나타내어진다.
제 2 검사 판정부(1234)는 AI(인공지능)에 의한 화상 분류의 수법을 사용하여, 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태의 양부를 판정한다. 구체적으로는, 제 2 검사 판정부(1234)는 검사 화상 GI를 제 1 카테고리와 제 2 카테고리로 분류하고, 검사 화상 GI가 제 1 카테고리에 속하는 경우에는 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태가 양호하다고 판정하고, 검사 화상 GI가 제 2 카테고리에 속하는 경우에는 처리 상태가 불량하다고 판정한다. 그리고, 제 2 검사 판정부(1234)는 AI(인공지능)에 의한 화상 분류의 수법을 사용한 상기의 판정 결과를 나타내는 제 2 검사 판정 정보 DI2를 출력한다.
제 3 검사 판정부(1235)는 제 1 검사 판정 정보 DI1과 제 2 검사 판정 정보 DI2에 기초하여, 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태의 양부의 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 검사 판정 정보 DI3을 출력한다.
상기 대로, 검사 장치(12)에서는 판정 방법이 서로 상이한 제 1 검사 판정부(1233) 및 제 2 검사 판정부(1234)의 각 판정 결과에 기초하여, 제 3 검사 판정부(1235)가 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태의 양부의 최종 판정을 행한다. 이것에 의해, 처리 상태의 양부의 최종 판정의 판정 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.
제 1 검사 판정 정보 DI1에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과와, 제 2 검사 판정 정보 DI2에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과가 일치하는 경우, 제 3 검사 판정부(1235)는 상기 일치한 판정 결과를 최종 판정의 결과로서 나타내는 제 3 검사 판정 정보 DI3을 출력한다. 이것에 의해, 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태의 양부의 최종 판정의 판정 정밀도를 고수준으로 유지할 수 있다.
예를 들면, 제 1 검사 판정 정보 DI1 및 제 2 검사 판정 정보 DI2에 의해 나타내어지는 판정 결과가 각각, 처리 상태가 양호한 것을 나타내어 일치하는 경우, 제 3 검사 판정부(1235)는 처리 상태가 양호한 것을 나타내는 제 3 검사 판정 정보 DI3을 출력한다.
한편, 제 1 검사 판정 정보 DI1 및 제 2 검사 판정 정보 DI2에 의해 나타내어지는 판정 결과가 각각, 처리 상태가 불량한 것을 나타내어 일치하는 경우, 제 3 검사 판정부(1235)는 처리 상태가 불량한 것을 나타내는 제 3 검사 판정 정보 DI3을 출력한다. 이 경우, 제 3 검사 판정부(1235)는 검사 화상 GI를 사용한 오퍼레이터에 의한 목시 판정의 판정 결과를 나타내는 정보를 제 3 검사 판정 정보 DI3으로서 출력하도록 구성되어 있어도 좋다. 즉, 제 1 검사 판정 정보 DI1 및 제 2 검사 판정 정보 DI2가 모두, 처리 상태가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우, 검사 화상 GI를 사용한 오퍼레이터에 의한 목시 판정이 행해져도 좋다. 그리고, 제 3 검사 판정부(1235)는 오퍼레이터에 의한 목시 판정의 판정 결과를 나타내는 정보를 제 3 검사 판정 정보 DI3으로서 출력한다.
제 1 검사 판정 정보 DI1에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과와, 제 2 검사 판정 정보 DI2에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 3 검사 판정부(1235)는 처리 상태가 불량하다는 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 검사 판정 정보 DI3을 출력한다. 제 1 검사 판정 정보 DI1 및 제 2 검사 판정 정보 DI2에 의해 나타내어지는 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 1 검사 판정 정보 DI1 및 제 2 검사 판정 정보 DI2 중 어느 하나의 정보는 처리 상태가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보가 된다. 이 경우, 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태가 불량할 가능성을 완전히는 부정할 수 없다. 이 때문에, 제 1 검사 판정 정보 DI1 및 제 2 검사 판정 정보 DI2에 의해 나타내어지는 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 3 검사 판정부(1235)는 처리 상태가 불량하다는 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 검사 판정 정보 DAI3을 출력한다. 이것에 의해, 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태가 불량한 것에 기인하여, 부품 탑재 기판 PPA의 품질이 저하하는 것을 보다 엄격하게 억제할 수 있다.
또한, 제 1 검사 판정 정보 DI1에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과와, 제 2 검사 판정 정보 DI2에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 3 검사 판정부(1235)는 처리 상태가 양호하다는 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 검사 판정 정보 DI3을 출력하도록 구성되어 있어도 좋다. 이 경우, 제 3 검사 판정부(1235)에 의한 최종 판정의 판정 기준이 과도하게 엄격한 기준으로 설정되는 것을 억제할 수 있다.
또한, 제 1 검사 판정 정보 DI1 및 제 2 검사 판정 정보 DI2에 의해 나타내어지는 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 3 검사 판정부(1235)는 검사 화상 GI를 사용한 오퍼레이터에 의한 목시 판정의 판정 결과를 나타내는 정보를 제 3 검사 판정 정보 DI3으로서 출력하도록 구성되어 있어도 좋다. 즉, 제 1 검사 판정 정보 DI1 및 제 2 검사 판정 정보 DI2에 의해 나타내어지는 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 검사 화상 GI를 사용한 오퍼레이터에 의한 목시 판정이 행해져도 좋다. 그리고, 제 3 검사 판정부(1235)는 오퍼레이터에 의한 목시 판정의 판정 결과를 나타내는 정보를 제 3 검사 판정 정보 DI3으로서 출력한다.
제 3 검사 판정부(1235)로부터 출력된 제 3 검사 판정 정보 DI3은 검사 화상 GI와 관련지어 검사 데이터 세트 DS가 된다. 이 검사 데이터 세트 DS는 검사 통신부(121)를 개재해서 관리 데이터 기억 장치(13)로 보내진다.
다음에, 도 7의 플로우차트를 참조하면서, 검사 장치(12)의 검사 판정 동작에 대해서 설명한다.
검사 장치(12)는 대응하는 처리 장치(11)로부터 반출된 기판이 반입됨으로써, 검사 판정 동작을 개시한다(스텝 b1). 우선, 검사 촬상부(122)는 검사 화상 GI를 취득한다(스텝 b2).
검사 촬상부(122)가 검사 화상 GI를 취득하면, 제 1 검사 판정부(1233)는 검사 화상 GI의 특징량을 검출함으로써 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태의 양부를 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 1 검사 판정 정보 DI1을 출력한다(스텝 b3). 또한, 제 2 검사 판정부(1234)는 검사 화상 GI를 제 1 카테고리와 제 2 카테고리로 분류한다. 그리고, 제 2 검사 판정부(1234)는 검사 화상 GI가 속하는 카테고리에 따라 처리 상태의 양부를 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 2 검사 판정 정보 DI2를 출력한다(스텝 b3).
제 3 검사 판정부(1235)는 제 1 검사 판정 정보 DI1과 제 2 검사 판정 정보 DI2에 기초하여, 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태의 양부의 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 검사 판정 정보 DI3을 출력한다(스텝 b4).
제 3 검사 판정부(1235)로부터 제 3 검사 판정 정보 DI3이 출력되면, 검사 제어부(123)는 제 3 검사 판정 정보 DI3의 판정 결과가 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태가 양호한 것을 나타내는지의 여부를 판단한다(스텝 b5). 처리 상태가 양호하다는 판정 결과인 경우(스텝 b5에서 YES), 검사 제어부(123)는 검사 후의 기판을 검사 장치(12)로부터 하류측으로 반출시킨다(스텝 b6).
한편, 처리 상태가 불량하다는 판정 결과인 경우(스텝 b5에서 NO), 검사 제어부(123)는 검사 후의 기판을 폐기하는 기판 폐기 동작을 실행한다(스텝 b7). 이 때, 예를 들면 처리 상태가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 제 3 검사 판정 정보 DI3이 탑재 검사 장치(12B)에 있어서 출력된 경우, 처리 상태의 불량의 대상의 부품을 새로운 부품과 교환하는 것이 가능하면, 오퍼레이터는 불량의 대상의 부품을 폐기함과 아울러, 새로운 부품으로 교환하여 부품 탑재 기판 PPA를 수리하는 수리하는 작업을 행하는 경우가 있다. 한편, 불량의 대상의 부품을 새로운 부품으로 교환하는 것이 불가능한 경우, 오퍼레이터는 부품 탑재 기판 PPA를 폐기한다.
다음에, 관리 데이터 기억 장치(13)에 대해서, 도 1에 추가해서 도 8을 참조하면서 설명한다. 관리 데이터 기억 장치(13)는 부품 실장 장치(11B)와 데이터 통신 가능하게 접속된다. 또한, 관리 데이터 기억 장치(13)는 복수의 검사 장치(12)를 구성하는 땜납 페이스트 검사 장치(12A), 탑재 검사 장치(12B), 및 리플로우 검사 장치(12C)의 각각과 데이터 통신 가능하게 접속된다. 상기 대로, 부품 실장 장치(11B)로부터 출력된 부품 흡착 데이터 세트 DSPP는 관리 데이터 기억 장치(13)에 입력된다. 또한, 땜납 페이스트 검사 장치(12A)로부터 출력된 땜납 페이스트 검사 데이터 세트 DSPT, 탑재 검사 장치(12B)로부터 출력된 탑재 검사 데이터 세트 DSMT, 및 리플로우 검사 장치(12C)로부터 출력된 리플로우 검사 데이터 세트 DSRF에 대해서도, 관리 데이터 기억 장치(13)에 입력된다.
관리 데이터 기억 장치(13)는 도 8에 나타내어지는 관리 데이터 DM을 축적하여 기억하는 장치이다. 관리 데이터 DM은 기판 정보 DPP, 부품 정보 DP, 땜납 페이스트 검사 데이터 세트 DSPT, 부품 흡착 데이터 세트 DSPP, 탑재 검사 데이터 세트 DSMT, 및 리플로우 검사 데이터 세트 DSRF를 관련지은 데이터이다. 관리 데이터 기억 장치(13)에는 관리 데이터 DM의 데이터 군이 기억된다.
기판 정보 DPP는 땜납 페이스트 인쇄 완료 기판 PP, 부품 탑재 기판 PPA, 및 리플로우 기판 PPB를 특정하기 위한 정보이다. 기판 정보 DPP에는 각 기판을 특정하기 위한 정보로서, 기판 ID 등의 정보가 등록되어 있다. 부품 정보 DP는 부품 실장 장치(11B)에 있어서의 부품 탑재 기판 PPA의 생산시에 사용된 부품을 특정하기 위한 정보이다. 부품 정보 DP에는 부품을 특정하기 위한 정보로서, 부품에 고유의 부품명, 부품의 종류를 나타내는 부품종, 부품의 외형 치수 등의 정보가 등록되어 있다.
땜납 페이스트 검사 데이터 세트 DSPT는 기술 대로, 땜납 페이스트 검사 장치(12A)로부터 출력된 검사 데이터 세트이며, 검사 화상 GI와 제 3 검사 판정 정보 DI3이 관련지어진 데이터 세트이다. 부품 흡착 데이터 세트 DSPP는 기술 대로, 부품 실장 장치(11B)로부터 출력된 데이터 세트이며, 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 제 3 흡착 판정 정보 DA3이 관련지어진 데이터 세트이다. 탑재 검사 데이터 세트 DSMT는 기술 대로, 탑재 검사 장치(12B)로부터 출력된 검사 데이터 세트이며, 검사 화상 GI와 제 3 검사 판정 정보 DI3이 관련지어진 데이터 세트이다. 리플로우 검사 데이터 세트 DSRF는 기술 대로, 리플로우 검사 장치(12C)로부터 출력된 검사 데이터 세트이며, 검사 화상 GI와 제 3 검사 판정 정보 DI3이 관련지어진 데이터 세트이다.
다음에, 관리 장치(15)에 대해서, 도 1에 추가해서 도 9, 10을 참조하면서 설명한다. 관리 장치(15)는 부품 실장 라인(10)을 관리하기 위한 장치이다. 관리 장치(15)는 관리 데이터 기억 장치(13) 및 알고리즘 기억 장치(14)와 데이터 통신 가능하게 접속된다. 관리 장치(15)는 관리 데이터 기억 장치(13)에 축적 기억된 관리 데이터 DM의 데이터 군을 판독하는 것이 가능하다. 또한, 관리 장치(15)는 후기의 학습부(1545)에 의해 생성되는 검사 알고리즘 IAL을 알고리즘 기억 장치(14)에 입력하는 것이 가능하다.
알고리즘 기억 장치(14)는 관리 장치(15)로부터의 검사 알고리즘 IAL을 기억하는 장치이다. 알고리즘 기억 장치(14)는 부품 실장 장치(11B)와 데이터 통신 가능하게 접속된다. 또한, 알고리즘 기억 장치(14)는 복수의 검사 장치(12)를 구성하는 땜납 페이스트 검사 장치(12A), 탑재 검사 장치(12B), 및 리플로우 검사 장치(12C)의 각각과 데이터 통신 가능하게 접속된다. 이 때문에, 부품 실장 장치(11B)는 알고리즘 기억 장치(14)에 기억된 검사 알고리즘 IAL을 판독하는 것이 가능하다. 부품 실장 장치(11B)에서는, 제 2 흡착 판정부(47)는 검사 알고리즘 IAL에 기초하여, 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2를 제 1 카테고리와 제 2 카테고리로 분류하고, 흡착 노즐(2511)의 처리 상태의 양부를 판정한다. 마찬가지로, 각 검사 장치(12)는 알고리즘 기억 장치(14)에 기억된 검사 알고리즘 IAL을 판독하는 것이 가능하다. 각 검사 장치(12)에서는, 제 2 검사 판정부(1234)는 검사 알고리즘 IAL에 기초하여 검사 화상 GI를 제 1 카테고리와 제 2 카테고리로 분류하고, 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태의 양부를 판정한다.
관리 장치(15)는 관리 통신부(151)와, 표시부(152)와, 조작부(153)와, 관리 제어부(154)를 구비한다.
관리 통신부(151)는 관리 데이터 기억 장치(13) 및 알고리즘 기억 장치(14)와 데이터 통신을 행하기 위한 인터페이스이다. 관리 통신부(151)는 관리 데이터 DM의 데이터 군을 관리 데이터 기억 장치(13)로부터 취득함과 아울러, 검사 알고리즘 IAL을 알고리즘 기억 장치(14)로 보낸다.
표시부(152)는, 예를 들면 액정 디스플레이 등에 의해 구성된다. 표시부(152)는 후기의 카테고리 정보 생성부(1543)의 요구에 따라, 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 제 1 흡착 화상 GA1, 제 2 흡착 화상 GA2, 및 검사 화상 GI 등의 각종의 화상을 표시한다.
조작부(153)는 키보드, 마우스, 또는 표시부(152)에 설치된 터치패널 등에 의해 구성된다. 조작부(153)는 오퍼레이터에 의한 각종 지령의 입력 조작을 접수한다. 조작부(153)는 오퍼레이터에 의한 카테고리 지정 지령 정보 DCC가 입력된다. 카테고리 지정 지령 정보 DCC는 부품 실장 장치(11B)에 대응한 화상이고, 관리 데이터 DM에 포함되는 부품 흡착 데이터 세트 DSPP를 구성하는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2가, 제 1 카테고리와 제 2 카테고리 중 어느 카테고리에 속하는지를 지정하기 위한 정보이다. 또한, 카테고리 지정 지령 정보 DCC는 각 검사 장치(12)에 대응한 화상으로서, 관리 데이터 DM에 포함되는 땜납 페이스트 검사 데이터 세트 DSPT, 탑재 검사 데이터 세트 DSMT, 및 리플로우 검사 데이터 세트 DSRF를 구성하는 검사 화상 GI가, 제 1 카테고리와 제 2 카테고리 중 어느 카테고리에 속하는지를 지정하기 위한 정보이다.
조작부(153)는 표시부(152)에 있어서의 제 1 흡착 화상 GA1, 제 2 흡착 화상 GA2, 및 검사 화상 GI의 표시에 대응하여, 카테고리 지정 지령 정보 DCC의 입력을 접수한다. 이것에 의해, 오퍼레이터는 표시부(152)에 표시된 각 화상을 확인하면서, 상기 각 화상이 제 1 카테고리와 제 2 카테고리 중 어느 카테고리에 속하는지를 목시 판정하고, 그 목시 판정에 따른 카테고리 지정 지령 정보 DCC를 조작부(153)로부터 입력할 수 있다.
관리 제어부(154)는 CPU, 제어 프로그램을 기억하는 ROM, CPU의 작업 영역으로서 사용되는 RAM 등으로 구성되어 있다. 관리 제어부(154)는 CPU가 ROM에 기억된 제어 프로그램을 실행함으로써, 관리 통신부(151) 및 표시부(152)를 제어함과 아울러, 각종 연산 처리를 실행한다. 관리 제어부(154)는 주된 기능 구성으로서, 통신 제어부(1541)와, 표시 제어부(1542)와, 카테고리 정보 생성부(1543)와, 학습 데이터 생성부(1544)와, 학습부(1545)를 포함한다.
통신 제어부(1541)는 관리 통신부(151)를 제어함으로써, 관리 장치(15)와 관리 데이터 기억 장치(13) 사이의 데이터 통신과, 관리 장치(15)와 알고리즘 기억 장치(14) 사이의 데이터 통신을 제어한다. 표시 제어부(1542)는 표시부(152)를 제어한다.
카테고리 정보 생성부(1543)는 부품 실장 장치(11B)에 대응한 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와, 각 검사 장치(12)에 대응한 검사 화상 GI가, 제 1 카테고리와 제 2 카테고리 중 어느 카테고리에 속하는지를 나타내는 카테고리 정보 DCT를 생성한다. 카테고리 정보 생성부(1543)는 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 검사 화상 GI의 모든 화상에 대응하여 카테고리 정보 DCT를 생성한다. 이 때, 카테고리 정보 생성부(1543)는 부품 실장 라인(10)에 있어서 최하류에 배치된 리플로우 검사 장치(12C)(특정 검사 장치)에 대응한 리플로우 검사 데이터 세트 DSRF를 구성하는 제 3 검사 판정 정보 DI3과, 조작부(153)를 개재해서 입력되는 카테고리 지정 지령 정보 DCC에 기초하여 카테고리 정보 DCT를 생성한다.
학습 데이터 생성부(1544)는 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2에 카테고리 정보 DCT를 관련지은 학습 데이터 DLN을, 부품 실장 장치(11B)의 제 2 흡착 판정부(47)에 대응하여 생성한다. 또한, 학습 데이터 생성부(1544)는 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 검사 화상 GI에 카테고리 정보 DCT를 관련지은 학습 데이터 DLN을, 각 검사 장치(12)의 제 2 검사 판정부(1234)에 대응하여 생성한다.
학습부(1545)는 부품 실장 장치(11B)에 대응한 학습 데이터 DLN에 기초하여, 제 2 흡착 판정부(47)가 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2를 분류할 때의 분류 기준을 기계 학습하고, 상기 분류 기준에 따른 화상 분류의 순서를 나타내는 검사 알고리즘 IAL을 생성한다. 또한, 학습부(1545)는 각 검사 장치(12)에 대응한 학습 데이터 DLN에 기초하여, 제 2 검사 판정부(1234)가 검사 화상 GI를 분류할 때의 분류 기준을 기계 학습하고, 상기 분류 기준에 따른 화상 분류의 순서를 나타내는 검사 알고리즘 IAL을 생성한다. 학습부(1545)에 의해 생성된 검사 알고리즘 IAL은 알고리즘 기억 장치(14)에 기억된다.
학습부(1545)가 실행하는 기계 학습의 수법은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 뉴럴 네트워크(neural network)를 사용한 수법을 들 수 있다. 뉴럴 네트워크는 인간의 뇌의 구조를 모방한 구성으로 되어 있으며, 인간의 뇌에 있어서의 뉴런(신경 세포)의 기능을 모방한 논리 회로를 다층으로 적층하여 구성된 것이다. 뉴럴 네트워크는 논리 회로층으로서, 입력층, 은폐층, 및 출력층을 포함하여 구성된다.
상기 대로, 부품 실장 장치(11B)의 제 2 흡착 판정부(47), 및 각 검사 장치(12)의 제 2 검사 판정부(1234)에 의한 화상 분류시의 분류 기준을 학습부(1545)가 학습할 때에 사용되는 학습 데이터 DLN은 학습 데이터 생성부(1544)에 의해 생성된다. 부품 실장 장치(11B)의 제 2 흡착 판정부(47)에 대응한 학습 데이터 DLN은 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2에, 카테고리 정보 DCT를 관련지은 데이터이다. 각 검사 장치(12)의 제 2 검사 판정부(1234)에 대응한 학습 데이터 DLN은 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 검사 화상 GI에, 카테고리 정보 DCT를 관련지은 데이터이다.
학습 데이터 DLN을 구성하는 카테고리 정보 DCT는 통상, 조작부(153)를 개재한 오퍼레이터에 의한 카테고리 지정 지령 정보 DCC의 입력에 의해 설정된다. 즉, 통상은 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 검사 화상 GI의 모든 화상에 대응하여 오퍼레이터가, 카테고리 지정 지령 정보 DCC의 입력 조작을 행할 필요가 있었다. 이 경우, 부품 실장 장치(11B)의 제 2 흡착 판정부(47), 및 각 검사 장치(12)의 제 2 검사 판정부(1234)에 있어서의 판정 정밀도를 향상시키기 위해서는, 오퍼레이터는 방대한 양의 화상에 대응하여 카테고리 지정 지령 정보 DCC의 입력 조작을 행할 필요가 있다. 이 경우, 오퍼레이터에 있어서는 큰 작업 부담이 된다.
그래서, 본 실시형태에서는 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 검사 화상 GI의 각 화상에 대응한 카테고리 정보 DCT를 생성하는 경우, 카테고리 정보 생성부(1543)는 카테고리 지정 지령 정보 DCC뿐만 아니라, 리플로우 검사 장치(12C)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3에 대해서도 참조한다. 이 경우, 오퍼레이터는 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 모든 화상에 대응하여 카테고리 지정 지령 정보 DCC의 입력 조작을 행할 필요는 없어진다. 이것에 의해, 오퍼레이터의 작업 부담을 경감하면서, 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 각 화상에 대응한 카테고리 정보 DCT를 생성할 수 있다. 이 때문에, 오퍼레이터의 작업 부담을 경감한 후에, 부품 실장 장치(11B)의 제 2 흡착 판정부(47), 및 각 검사 장치(12)의 제 2 검사 판정부(1234)에 있어서의 판정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
최하류의 리플로우 검사 장치(12C)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3이 양호하다는 판정 결과를 나타내는 정보이며, 또한 리플로우 검사 장치(12C) 이외의 땜납 페이스트 검사 장치(12A) 및 탑재 검사 장치(12B)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3, 및 부품 실장 장치(11B)에 대응한 제 3 흡착 판정 정보 DA3이 모두 양호하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우를 상정한다. 이 경우, 카테고리 정보 생성부(1543)는 관리 데이터 DM에 포함되는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 검사 화상 GI의 각 화상이 제 1 카테고리에 속하는 것을 나타내는 카테고리 정보 DCT를 생성한다. 이 경우, 카테고리 정보 생성부(1543)는 카테고리 지정 지령 정보 DCC를 참조하지 않고, 각 화상이 제 1 카테고리에 속하는 것을 나타내는 카테고리 정보 DCT를 자동적으로 생성한다. 이것에 의해, 오퍼레이터의 작업 부담을 보다 확실하게 경감하면서, 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 각 화상에 대응한 카테고리 정보 DCT를 생성할 수 있다.
기술 대로, 예를 들면 처리 상태가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 제 3 검사 판정 정보 DI3이 탑재 검사 장치(12B)에 있어서 출력된 경우, 처리 상태의 불량의 대상의 부품을 새로운 부품으로 교환하는 것이 가능하면, 오퍼레이터는 불량의 대상의 부품을 폐기함과 아울러, 새로운 부품으로 교환하여 부품 탑재 기판 PPA를 수리하는 작업을 행할 것이 있다. 이 경우, 탑재 검사 장치(12B)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3이 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 것에도 관계없이, 수리된 부품 탑재 기판 PPA가 탑재 검사 장치(12B)보다 하류측으로 보내져서, 최하류의 리플로우 검사 장치(12C)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3이 양호하다는 판정 결과를 나타낼 것이 있다. 이러한, 최하류의 리플로우 검사 장치(12C)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3이 양호하다는 판정 결과를 나타내는 정보이며, 또한 리플로우 검사 장치(12C) 이외의 땜납 페이스트 검사 장치(12A) 및 탑재 검사 장치(12B)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3, 및 부품 실장 장치(11B)에 대응한 제 3 흡착 판정 정보 DA3 중 적어도 어느 하나의 정보가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우를 상정한다.
이 경우, 카테고리 정보 생성부(1543)는 관리 데이터 DM에 포함되는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 검사 화상 GI의 각 화상이 카테고리 지정 지령 정보 DCC에 의해 지정되는 카테고리에 속하는 것을 나타내는 카테고리 정보 DCT를 생성한다. 이것에 의해, 오퍼레이터가 부품 탑재 기판 PPA를 수리하는 작업을 행한 경우 등에, 오퍼레이터에 의해 지정된 카테고리 지정 지령 정보 DCC에 기초하여, 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 각 화상에 대응한 카테고리 정보 DCT를 생성할 수 있다.
또한, 최하류의 리플로우 검사 장치(12C)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3이 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우, 리플로우 검사 장치(12C)보다 상류측의 땜납 인쇄 장치(11A), 부품 실장 장치(11B) 및 리플로우 장치(11C) 중 적어도 어느 하나의 처리 장치(11)의 처리 상태가 불량할 가능성이 있다. 이러한, 최하류의 리플로우 검사 장치(12C)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3이 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우를 상정한다.
이 경우, 카테고리 정보 생성부(1543)는 관리 데이터 DM에 포함되는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 검사 화상 GI의 각 화상이 카테고리 지정 지령 정보 DCC에 의해 지정되는 카테고리에 속하는 것을 나타내는 카테고리 정보 DCT를 생성한다. 이것에 의해, 각 처리 장치(11)의 처리 상태가 불량할 가능성이 있는 경우에, 오퍼레이터에 의해 지정된 카테고리 지정 지령 정보 DCC에 기초하여, 관리 데이터 DM 데이터 군에 포함되는 각 화상에 대응한 카테고리 정보 DCT를 생성할 수 있다. 이 경우, 오퍼레이터는 각 처리 장치(11)의 처리 상태가 불량할 가능성이 있는 장면에 대응한 화상만을 집중적으로 확인하면서, 상기 화상이 제 1 카테고리와 제 2 카테고리 중 어느 카테고리에 속하는지를 목시 판정하고, 그 목시 판정에 따른 카테고리 지정 지령 정보 DCC를 조작부(153)로부터 입력할 수 있다.
다음에, 도 10의 플로우차트를 참조하면서, 관리 장치(15)의 학습 처리에 대해서 설명한다.
관리 장치(15)는 관리 데이터 기억 장치(13)에 축적 기억된 관리 데이터 DM의 데이터 군이 관리 통신부(151)를 개재해서 취득됨으로써, 학습 처리를 개시한다(스텝 c1). 우선, 카테고리 정보 생성부(1543)는 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 기판 정보 DPP 및 부품 정보 DP에 의해 일의적으로 특정되는 관리 데이터 DM마다, 최하류의 리플로우 검사 장치(12C)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3이 양호하다는 판정 결과를 나타내는 정보인지의 여부를 판단한다(스텝 c2).
리플로우 검사 장치(12C)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3이 양호하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우(스텝 c2에서 YES), 카테고리 정보 생성부(1543)는 관리 데이터 DM마다, 리플로우 검사 장치(12C) 이외의 땜납 페이스트 검사 장치(12A) 및 탑재 검사 장치(12B)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3, 및 부품 실장 장치(11B)에 대응한 제 3 흡착 판정 정보 DA3이 모두 양호하다는 판정 결과를 나타내는 정보인지의 여부를 판단한다(스텝 c3).
땜납 페이스트 검사 장치(12A) 및 탑재 검사 장치(12B)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3, 및 부품 실장 장치(11B)에 대응한 제 3 흡착 판정 정보 DA3이 모두 양호하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우(스텝 c3에서 YES), 카테고리 정보 생성부(1543)는 관리 데이터 DM에 포함되는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 검사 화상 GI의 각 화상이 제 1 카테고리에 속하는 것을 나타내는 카테고리 정보 DCT를 생성한다(스텝 c4).
리플로우 검사 장치(12C)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3이 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우(스텝 c2에서 NO), 스텝 c5로 처리가 이행된다. 또한, 땜납 페이스트 검사 장치(12A) 및 탑재 검사 장치(12B)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3, 및 부품 실장 장치(11B)에 대응한 제 3 흡착 판정 정보 DA3 중 적어도 어느 하나의 정보가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우(스텝 c3에서 NO)에 대해서도, 스텝 c5로 처리가 이행된다.
스텝 c5에서는 카테고리 정보 생성부(1543)는 리플로우 검사 장치(12C)에 대응한 제 3 검사 판정 정보 DI3이고, 판정 결과가 불량한 것을 나타내는 제 3 검사 판정 정보 DI3에 관련지어진 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 각 검사 화상 GI의 표시를 요구하는 표시 요구 신호를 표시 제어부(1542)를 향해서 출력한다. 상기 표시 요구 신호를 받은 표시 제어부(1542)는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 각 검사 화상 GI의 각 화상을 표시부(152)에 표시시킨다. 그리고, 조작부(153)는 표시부(152)에 있어서의 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 각 검사 화상 GI의 표시에 대응하여, 오퍼레이터에 의한 카테고리 지정 지령 정보 DCC의 입력을 접수한다. 오퍼레이터는 표시부(152)에 표시된 각 화상을 확인하면서, 상기 각 화상이 제 1 카테고리와 제 2 카테고리 중 어느 카테고리에 속하는지를 목시 판정하고, 그 목시 판정에 따른 카테고리 지정 지령 정보 DCC를 조작부(153)로부터 입력한다.
상기 표시 요구 신호의 출력 후에 있어서, 카테고리 정보 생성부(1543)는 조작부(153)를 개재해서 카테고리 지정 지령 정보 DCC가 입력되는지의 여부를 판단한다(스텝 c6). 카테고리 지정 지령 정보 DCC가 입력된 경우(스텝 c6에서 YES), 카테고리 정보 생성부(1543)는 관리 데이터 DM에 포함되는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2와 검사 화상 GI의 각 화상이 카테고리 지정 지령 정보 DCC에 의해 지정되는 카테고리에 속하는 것을 나타내는 카테고리 정보 DCT를 생성한다(스텝 c7).
스텝 c4 및 스텝 c7에 있어서 카테고리 정보 생성부(1543)에 의해 카테고리 정보 DCT가 생성되면, 학습 데이터 생성부(1544)는 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2에 카테고리 정보 DCT를 관련지은 학습 데이터 DLN을, 부품 실장 장치(11B)의 제 2 흡착 판정부(47)에 대응하여 생성한다(스텝 c8). 또한, 학습 데이터 생성부(1544)는 관리 데이터 DM의 데이터 군에 포함되는 검사 화상 GI에 카테고리 정보 DCT를 관련지은 학습 데이터 DLN을, 각 검사 장치(12)의 제 2 검사 판정부(1234)에 대응하여 생성한다(스텝 c8).
학습 데이터 생성부(1544)에 의해 학습 데이터 DLN이 생성되면, 학습부(1545)는 부품 실장 장치(11B)에 대응한 학습 데이터 DLN에 기초하여, 제 2 흡착 판정부(47)가 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2를 분류할 때의 분류 기준을 기계 학습한다(스텝 c9). 또한, 학습부(1545)는 각 검사 장치(12)에 대응한 학습 데이터 DLN에 기초하여, 제 2 검사 판정부(1234)가 검사 화상 GI를 분류할 때의 분류 기준을 기계 학습한다(스텝 c9). 그리고, 학습부(1545)는 학습한 분류 기준에 따른 화상 분류의 순서를 나타내는 검사 알고리즘 IAL을, 부품 실장 장치(11B)의 제 2 흡착 판정부(47) 및 각 검사 장치(12)의 제 2 검사 판정부(1234)에 각각 대응하여 생성한다(스텝 c10).
학습부(1545)에 의해 생성된 검사 알고리즘 IAL은 알고리즘 기억 장치(14)에 기억된다.
부품 실장 장치(11B)에서는 제 2 흡착 판정부(47)는 알고리즘 기억 장치(14)에 기억된 검사 알고리즘 IAL을 판독함으로써, 상기 검사 알고리즘 IAL에 기초하여 제 1 흡착 화상 GA1 및 제 2 흡착 화상 GA2를 제 1 카테고리와 제 2 카테고리로 분류하여, 흡착 노즐(2511)의 처리 상태의 양부를 판정할 수 있다. 부품 실장 장치(11B)에서는 판정 방법이 상이한 제 1 흡착 판정부(46) 및 제 2 흡착 판정부(47)의 각 판정 결과에 기초하여 제 3 흡착 판정부(48)가, 흡착 노즐(2511)에 의한 부품 흡착 처리의 처리 상태의 양부의 최종 판정을 행한다. 이것에 의해, 처리 상태의 양부의 최종 판정의 판정 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.
또한, 각 검사 장치(12)에서는 제 2 검사 판정부(1234)는 알고리즘 기억 장치(14)에 기억된 검사 알고리즘 IAL을 판독함으로써, 상기 검사 알고리즘 IAL에 기초하여 검사 화상 GI를 제 1 카테고리와 제 2 카테고리로 분류하여, 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태의 양부를 판정할 수 있다. 각 검사 장치(12)에서는 판정 방법이 상이한 제 1 검사 판정부(1233) 및 제 2 검사 판정부(1234)의 각 판정 결과에 기초하여 제 3 검사 판정부(1235)가, 대응하는 처리 장치(11)의 처리 상태의 양부의 최종 판정을 행한다. 이것에 의해, 처리 상태의 양부의 최종 판정의 판정 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.
또한, 상술한 구체적 실시형태에는 이하의 구성을 갖는 발명이 주로 포함되어 있다.
본 발명의 일국면에 의한 부품 실장 시스템은 부품이 탑재된 부품 탑재 기판을 생산하는 부품 실장 장치를 포함하는 복수의 처리 장치와, 상기 처리 장치의 처리 상태를 검사하는 하나 또는 복수의 검사 장치를 포함하는 부품 실장 라인과, 상기 부품 실장 라인을 관리하는 관리 장치를 구비한다. 상기 부품 실장 장치 및 상기 검사 장치 중 적어도 어느 하나의 복수의 특정 장치는 각각, 처리 장치의 처리 상태의 화상을 취득하는 촬상부와, 상기 화상의 특징량을 검출함으로써 상기 처리 상태의 양부를 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 1 판정 정보를 출력하는 제 1 판정부와, 인공지능에 의한 화상 분류의 수법을 사용하여 상기 화상을 제 1 카테고리와 제 2 카테고리로 분류하고, 상기 화상이 상기 제 1 카테고리에 속하는 경우에는 상기 처리 상태가 양호하다고 판정하고, 상기 화상이 상기 제 2 카테고리에 속하는 경우에는 상기 처리 상태가 불량하다고 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 2 판정 정보를 출력하는 제 2 판정부와, 상기 제 1 판정 정보와 상기 제 2 판정 정보에 기초하여, 상기 처리 상태의 양부의 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 판정 정보를 출력하는 제 3 판정부를 포함한다. 상기 관리 장치는 상기 복수의 특정 장치에 각각 대응한 상기 화상이 상기 제 1 카테고리와 상기 제 2 카테고리 중 어느 카테고리에 속하는지를 지정하는 카테고리 지정 지령 정보가 입력되는 조작부와, 상기 복수의 특정 장치 중 상기 부품 실장 라인에 있어서 최하류에 배치된 최하류 장치에 대응한 상기 제 3 판정 정보와 상기 카테고리 지정 지령 정보에 기초하여, 상기 복수의 특정 장치에 각각 대응한 상기 화상이 상기 제 1 카테고리와 상기 제 2 카테고리 중 어느 카테고리에 속하는지를 나타내는 카테고리 정보를 생성하는 카테고리 정보 생성부와, 상기 화상과 상기 카테고리 정보를 관련지은 학습 데이터를, 상기 복수의 특정 장치의 각각에 있어서의 상기 제 2 판정부에 대응하여 생성하는 학습 데이터 생성부와, 상기 학습 데이터에 기초하여, 상기 복수의 특정 장치의 상기 제 2 판정부가 상기 화상을 분류할 때의 분류 기준을 학습하는 학습부를 포함한다.
이 부품 실장 시스템에 의하면, 부품 실장 라인 상의 각 특정 장치에서는 판정 수법이 상이한 제 1 판정부 및 제 2 판정부의 각 판정 결과에 기초하여 제 3 판정부가, 처리 장치의 처리 상태의 양부의 최종 판정을 행한다. 이것에 의해, 처리 상태의 양부의 최종 판정의 판정 정밀도를 높이는 것이 가능해진다.
또한, 각 특정 장치의 제 2 판정부에 의한 화상 분류시의 분류 기준을 학습부가 학습할 때에 사용되는 학습 데이터는 학습 데이터 생성부에 의해 생성된다. 이 학습 데이터는 각 특정 장치에 있어서의 화상에 카테고리 정보를 관련지은 데이터이다. 학습 데이터를 구성하는 카테고리 정보는 통상, 조작부를 개재한 오퍼레이터에 의한 카테고리 지정 지령 정보의 입력에 의해 설정된다. 즉, 통상은 각 특정 장치에 있어서의 모든 화상에 대응하여 오퍼레이터가, 카테고리 지정 지령 정보의 입력 조작을 행할 필요가 있었다. 이 경우, 각 특정 장치 제 2 판정부에 있어서의 판정 정밀도를 높이기 위해서는, 오퍼레이터는 방대한 양의 화상에 대응하여 카테고리 지정 지령 정보의 입력 조작을 행할 필요가 있다. 이 경우, 오퍼레이터에 있어서는 큰 작업 부담이 된다.
그래서, 각 화상에 대응한 카테고리 정보를 생성하는 경우, 카테고리 정보 생성부는 카테고리 지정 지령 정보뿐만 아니라, 부품 실장 라인에 있어서 최하류에 배치된 최하류 장치에 대응한 제 3 판정 정보에 대해서도 참조한다. 이 경우, 오퍼레이터는 각 특정 장치에 있어서의 모든 화상에 대응하여 카테고리 지정 지령 정보의 입력 조작을 행할 필요는 없어진다. 이것에 의해, 오퍼레이터의 작업 부담을 경감하면서, 각 화상에 대응한 카테고리 정보를 생성할 수 있다. 이 때문에, 오퍼레이터의 작업 부담을 경감한 후에, 각 특정 장치의 제 2 판정부에 있어서의 판정 정밀도를 높일 수 있다.
상기 부품 실장 시스템에 있어서, 상기 카테고리 정보 생성부는 상기 최하류 장치에 대응한 상기 제 3 판정 정보가, 상기 처리 상태가 양호하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우, 상기 카테고리 정보로서 상기 복수의 특정 장치에 각각 대응한 상기 화상이 상기 제 1 카테고리에 속하는 것을 나타내는 정보를 생성하는 구성이어도 좋다.
이 형태에서는 부품 실장 라인에 있어서 최하류에 배치된 최하류 장치에 대응한 제 3 판정 정보가 양호하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우, 카테고리 정보 생성부는 각 화상이 제 1 카테고리에 속하는 것을 나타내는 카테고리 정보를 생성한다. 이 경우, 카테고리 정보 생성부는 카테고리 지정 지령 정보를 참조하지 않고, 각 화상이 제 1 카테고리에 속하는 것을 나타내는 카테고리 정보를 자동적으로 생성한다. 이것에 의해, 오퍼레이터의 작업 부담을 보다 확실하게 경감하면서, 각 화상에 대응한 카테고리 정보를 생성할 수 있다.
상기 부품 실장 시스템에 있어서, 상기 카테고리 정보 생성부는 상기 최하류 장치에 대응한 상기 제 3 판정 정보가, 상기 처리 상태가 양호하다는 판정 결과를 나타내는 정보이며, 또한 상기 복수의 특정 장치 중 상기 최하류 장치 이외의 잔여의 특정 장치에 대응한 상기 제 3 판정 정보가, 상기 처리 상태가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우, 상기 카테고리 정보로서 상기 복수의 특정 장치에 각각 대응한 상기 화상이 상기 카테고리 지정 지령 정보에 의해 지정되는 카테고리에 속하는 것을 나타내는 정보를 생성하는 구성이어도 좋다.
예를 들면, 부품 실장 장치의 하류측에 배치된 검사 장치에 있어서 처리 상태가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 제 3 판정 정보가 출력된 경우, 처리 상태의 불량의 대상의 부품을 새로운 부품으로 교환하는 것이 가능하면, 오퍼레이터는 불량의 대상의 부품을 폐기함과 아울러, 새로운 부품으로 교환하여 부품 탑재 기판을 수리하는 작업을 행하는 경우가 있다. 이 경우, 부품 실장 장치의 하류측의 검사 장치에 대응한 제 3 판정 정보가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 것에도 관계없이, 수리된 부품 탑재 기판이 하류측으로 보내져서, 최하류 장치에 대응한 제 3 판정 정보가 양호하다는 판정 결과를 나타내는 경우가 있다. 이러한, 최하류 장치에 대응한 제 3 판정 정보가 양호하다는 판정 결과를 나타내는 정보이며, 또한 최하류 장치 이외의 잔여의 특정 장치에 대응한 제 3 판정 정보가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우를 상정한다.
이 경우, 카테고리 정보 생성부는 각 화상이 카테고리 지정 지령 정보에 의해 지정되는 카테고리에 속하는 것을 나타내는 카테고리 정보를 생성한다. 이것에 의해, 오퍼레이터가 부품 탑재 기판을 수리하는 작업을 행한 경우 등에, 오퍼레이터에 의해 지정된 카테고리 지정 지령 정보에 기초하여, 각 화상에 대응한 카테고리 정보를 생성할 수 있다.
상기 부품 실장 시스템에 있어서, 상기 카테고리 정보 생성부는 상기 최하류 장치에 대응한 상기 제 3 판정 정보가, 상기 처리 상태가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우, 상기 카테고리 정보로서 상기 복수의 특정 장치에 각각 대응한 상기 화상이 상기 카테고리 지정 지령 정보에 의해 지정되는 카테고리에 속하는 것을 나타내는 정보를 생성하는 구성이어도 좋다.
최하류 장치에 대응한 제 3 판정 정보가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우, 최하류 장치보다 상류측의 각 처리 장치 중 적어도 어느 하나의 처리 장치의 처리 상태가 불량할 가능성이 있다. 이러한, 최하류 장치에 대응한 제 3 판정 정보가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우를 상정한다.
이 경우, 카테고리 정보 생성부는 각 화상이 카테고리 지정 지령 정보에 의해 지정되는 카테고리에 속하는 것을 나타내는 카테고리 정보를 생성한다. 이것에 의해, 각 처리 장치의 처리 상태가 불량할 가능성이 있는 경우에, 오퍼레이터에 의해 지정된 카테고리 지정 지령 정보에 기초하여, 각 화상에 대응한 카테고리 정보를 생성할 수 있다. 이 경우, 오퍼레이터는 각 처리 장치의 처리 상태가 불량할 가능성이 있는 장면에 대응한 화상만을 집중적으로 확인하면서, 상기 화상이 제 1 카테고리와 제 2 카테고리 중 어느 카테고리에 속하는지를 목시 판정하고, 그 목시 판정에 따른 카테고리 지정 지령 정보를 조작부로부터 입력할 수 있다.
상기 부품 실장 시스템에 있어서, 상기 제 3 판정부는 상기 제 1 판정 정보에 의해 나타내어지는 상기 처리 상태의 양부의 판정 결과와, 상기 제 2 판정 정보에 의해 나타내어지는 상기 처리 상태의 양부의 판정 결과가 일치하는 경우, 상기 일치한 판정 결과를 최종 판정의 결과로서 나타내는 상기 제 3 판정 정보를 출력하는 구성이어도 좋다.
이 형태에서는 제 1 판정 정보에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과와, 제 2 판정 정보에 의해 나타내어지는 처리 상태의 양부의 판정 결과가 일치하는 경우, 제 3 판정부는 상기 일치한 판정 결과를 최종 판정의 결과로서 나타내는 제 3 판정 정보를 출력한다. 이것에 의해, 각 처리 장치의 처리 상태의 양부의 최종 판정의 판정 정밀도를 고수준으로 유지할 수 있다.
상기 부품 실장 시스템에 있어서, 상기 제 3 판정부는 상기 제 1 판정 정보에 의해 나타내어지는 상기 처리 상태의 양부의 판정 결과와, 상기 제 2 판정 정보에 의해 나타내어지는 상기 처리 상태의 양부의 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 상기 처리 상태가 불량하다는 최종 판정의 결과를 나타내는 상기 제 3 판정 정보를 출력하는 구성이어도 좋다.
제 1 판정 정보 및 제 2 판정 정보에 의해 나타내어지는 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 1 판정 정보 및 제 2 판정 정보 중 어느 하나의 정보는 처리 상태가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보가 된다. 이 경우, 처리 장치의 처리 상태가 불량할 가능성을 완전히 부정할 수 없다. 이 때문에, 제 1 판정 정보 및 제 2 판정 정보에 의해 나타내어지는 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 3 판정부는 처리 상태가 불량하다는 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 판정 정보를 출력한다. 이것에 의해, 처리 장치의 처리 상태가 불량한 것에 기인하여, 부품 탑재 기판의 품질이 저하하는 것을 보다 엄격하게 억제할 수 있다.
상기 부품 실장 시스템에 있어서, 상기 제 3 판정부는 상기 제 1 판정 정보에 의해 나타내어지는 상기 처리 상태의 양부의 판정 결과와, 상기 제 2 판정 정보에 의해 나타내어지는 상기 처리 상태의 양부의 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 상기 처리 상태가 양호하다는 최종 판정의 결과를 나타내는 상기 제 3 판정 정보를 출력하는 구성이어도 좋다.
이 형태에서는 제 1 판정 정보 및 제 2 판정 정보에 의해 나타내어지는 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 제 3 판정부는 처리 장치의 처리 상태가 양호하다는 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 판정 정보를 출력한다. 이 경우, 제 3 판정부에 의한 최종 판정의 판정 기준이 과도하게 엄격한 기준으로 설정되는 것을 억제할 수 있다.
이상 설명한 대로, 본 발명에 의하면, 부품 실장 라인에 있어서의 처리 장치의 처리 상태에 관한 화상에 기초하는 판정의 판정 정밀도를 향상시키는 것이 가능하다.

Claims (7)

  1. 부품이 탑재된 부품 탑재 기판을 생산하는 부품 실장 장치를 포함하는 복수의 처리 장치와, 상기 처리 장치의 처리 상태를 검사하는 하나 또는 복수의 검사 장치를 포함하는 부품 실장 라인과,
    상기 부품 실장 라인을 관리하는 관리 장치를 구비하고,
    상기 부품 실장 장치 및 상기 검사 장치 중 적어도 어느 하나의 복수의 특정 장치는 각각,
    처리 장치의 처리 상태의 화상을 취득하는 촬상부와,
    상기 화상의 특징량을 검출함으로써 상기 처리 상태의 양부를 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 1 판정 정보를 출력하는 제 1 판정부와,
    인공지능에 의한 화상 분류의 수법을 사용하여 상기 화상을 제 1 카테고리와 제 2 카테고리로 분류하고, 상기 화상이 상기 제 1 카테고리에 속하는 경우에는 상기 처리 상태가 양호하다고 판정하고, 상기 화상이 상기 제 2 카테고리에 속하는 경우에는 상기 처리 상태가 불량하다고 판정하고, 그 판정 결과를 나타내는 제 2 판정 정보를 출력하는 제 2 판정부와,
    상기 제 1 판정 정보와 상기 제 2 판정 정보에 기초하여, 상기 처리 상태의 양부의 최종 판정의 결과를 나타내는 제 3 판정 정보를 출력하는 제 3 판정부를 포함하고,
    상기 관리 장치는,
    상기 복수의 특정 장치에 각각 대응한 상기 화상이 상기 제 1 카테고리와 상기 제 2 카테고리 중 어느 카테고리에 속하는지를 지정하는 카테고리 지정 지령 정보가 입력되는 조작부와,
    상기 복수의 특정 장치 중 상기 부품 실장 라인에 있어서 최하류에 배치된 최하류 장치에 대응한 상기 제 3 판정 정보와 상기 카테고리 지정 지령 정보에 기초하여, 상기 복수의 특정 장치에 각각 대응한 상기 화상이 상기 제 1 카테고리와 상기 제 2 카테고리 중 어느 카테고리에 속하는지를 나타내는 카테고리 정보를 생성하는 카테고리 정보 생성부와,
    상기 화상과 상기 카테고리 정보를 관련지은 학습 데이터를, 상기 복수의 특정 장치의 각각에 있어서의 상기 제 2 판정부에 대응하여 생성하는 학습 데이터 생성부와,
    상기 학습 데이터에 기초하여, 상기 복수의 특정 장치의 상기 제 2 판정부가 상기 화상을 분류할 때의 분류 기준을 학습하는 학습부를 포함하는, 부품 실장 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 카테고리 정보 생성부는, 상기 최하류 장치에 대응한 상기 제 3 판정 정보가 상기 처리 상태가 양호하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우, 상기 카테고리 정보로서, 상기 복수의 특정 장치에 각각 대응한 상기 화상이 상기 제 1 카테고리에 속하는 것을 나타내는 정보를 생성하는, 부품 실장 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 카테고리 정보 생성부는, 상기 최하류 장치에 대응한 상기 제 3 판정 정보가 상기 처리 상태가 양호하다는 판정 결과를 나타내는 정보이며, 또한 상기 복수의 특정 장치 중 상기 최하류 장치 이외의 잔여의 특정 장치에 대응한 상기 제 3 판정 정보가, 상기 처리 상태가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우, 상기 카테고리 정보로서 상기 복수의 특정 장치에 각각 대응한 상기 화상이 상기 카테고리 지정 지령 정보에 의해 지정되는 카테고리에 속하는 것을 나타내는 정보를 생성하는, 부품 실장 시스템.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 카테고리 정보 생성부는, 상기 최하류 장치에 대응한 상기 제 3 판정 정보가 상기 처리 상태가 불량하다는 판정 결과를 나타내는 정보인 경우, 상기 카테고리 정보로서 상기 복수의 특정 장치에 각각 대응한 상기 화상이 상기 카테고리 지정 지령 정보에 의해 지정되는 카테고리에 속하는 것을 나타내는 정보를 생성하는, 부품 실장 시스템.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 3 판정부는, 상기 제 1 판정 정보에 의해 나타내어지는 상기 처리 상태의 양부의 판정 결과와, 상기 제 2 판정 정보에 의해 나타내어지는 상기 처리 상태의 양부의 판정 결과가 일치하는 경우, 상기 일치한 판정 결과를 최종 판정의 결과로서 나타내는 상기 제 3 판정 정보를 출력하는, 부품 실장 시스템.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 3 판정부는, 상기 제 1 판정 정보에 의해 나타내어지는 상기 처리 상태의 양부의 판정 결과와, 상기 제 2 판정 정보에 의해 나타내어지는 상기 처리 상태의 양부의 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 상기 처리 상태가 불량하다는 최종 판정의 결과를 나타내는 상기 제 3 판정 정보를 출력하는, 부품 실장 시스템.
  7. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 3 판정부는, 상기 제 1 판정 정보에 의해 나타내어지는 상기 처리 상태의 양부의 판정 결과와, 상기 제 2 판정 정보에 의해 나타내어지는 상기 처리 상태의 양부의 판정 결과가 일치하지 않는 경우, 상기 처리 상태가 양호하다는 최종 판정의 결과를 나타내는 상기 제 3 판정 정보를 출력하는, 부품 실장 시스템.
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