KR20230174159A - 기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 제어 방법 - Google Patents

기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 제어 방법 Download PDF

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Abstract

(과제) 처리조의 내부를 촬상할 때에 기판 유지 기구가 촬상되어도, 기판 유지 기구가 결손부로서 판단될 가능성을 저감시키는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
(해결 수단) 기판 처리 방법은, 기판 유지 기구가 복수의 기판을 유지하지 않는 상태에 있어서, 카메라가 기판 유지 기구 및 내부를 촬상하여 제 1 화상 데이터를 생성하는 제 1 공정과, 제 1 화상 데이터가 나타내는 제 1 영역에 있어서, 적어도 기판 유지 기구가 촬상된 영역인 제 2 영역을 특정하는 제 2 공정과, 제 1 영역이며 제 2 영역 이외의 제 3 영역에 있어서 분포하는, 제 1 화상 데이터의 계조도를, 계조도의 임계값과 비교하는 제 3 공정을 구비한다.

Description

기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 제어 방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS CONTROL METHOD}
본 개시는, 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 제어 방법에 관한 것이다.
하기의 특허문헌 1, 2 에서는, 복수의 기판에 대해 일괄적으로 처리를 실행하는 배치식의 기판 처리 장치가 제안되어 있다. 특허문헌 1, 2 에 있어서, 기판 처리 장치는 처리액을 저류하는 처리조를 포함한다. 처리조에 저류된 처리액에 복수의 기판을 침지시킴으로써, 복수의 기판에 대한 일괄적인 처리가 실시된다.
특허문헌 1, 2 에서는, 기판 처리 장치의 내부를 감시하기 위해 촬상부 (카메라) 가 형성된다. 특허문헌 1 에서는, 처리조에 저류된 처리액을 촬상부가 촬상하고, 촬상 화상에 기초하여 처리액의 비등 상태를 제어부가 특정한다. 특허문헌 2 에서는, 처리조의 내부를 연직 상방으로부터 카메라가 촬상하고, 그 촬상 화상에 기초하여 처리조의 내부의 기판편의 유무가 판정된다.
일본 공개특허공보 2019-50349호 미국 특허출원공개 제2007/0177788호 명세서
처리액에 복수의 기판을 침지시킬 때, 복수의 기판을 일괄적으로 유지하는 기능을 갖는 기구 (이하 「기판 유지 기구」 라고 칭해진다) 가 이용된다. 기판 유지 기구는 복수의 기판을 처리액에 침지시키고, 처리액으로부터 취출된다. 처리액에 의해 일괄적으로 처리된 복수의 기판은 다른 기구에 의해 기판 유지 기구로부터 다른 곳으로 이동된다. 이 때, 카메라는 처리조의 내부를 촬상한다. 당해 촬상에 의해 얻어진 화상 데이터는, 당해 내부에 있어서 기판의 파편 혹은 기판 그 자체 (이하「결손부」 라고 칭해진다) 가 존재하고 있는지의 확인에 이용된다.
이 확인은, 기판 유지 기구로부터 이동된 복수의 기판에 있어서의 파손이나 결락의 유무를 판단하는 관점에서 바람직하다. 당해 내부에 있어서 결손부의 존재가 확인되는 것은, 기판 유지 기구로부터 이동된 복수의 기판에 있어서 파손이나 결락이 있는 것으로 추측되는 근거가 될 수 있기 때문이다.
예를 들어 동일한 처리액으로 복수의 기판의 제 1 군과 제 2 군이 교체로 침지되는 경우에는, 기판 유지 기구는 당해 처리액을 저류하는 처리조에 대한 승강 (이것은 「상하의 이동」 이라고도 이해될 수 있다) 동작을 반복한다. 이러한 기판 유지 기구의 승강을 저해하지 않고, 또한 사각을 작게 하여 처리조의 내부를 촬상하는 관점에서, 카메라는 기판 유지 기구의 상방에 배치된다.
제 1 군이 기판 유지 기구로부터 이동되고 나서 제 2 군이 기판 유지 기구에 재치 (載置) 될 때까지의 동안, 기판 유지 기구는 처리조에 대해 상부에 계속해서 위치하는 경우가 있다. 이와 같은 상황에서는, 기판 유지 기구가 처리액에 침지되어 있는지, 처리조의 상방으로 처리액으로부터 취출되고 있는지에 상관없이, 카메라와 처리조 사이에는 기판 유지 기구가 개재된다. 이와 같은 경우에는, 카메라는 기판 유지 기구 너머로 처리조의 내부를 촬상하게 된다.
촬상된 내부에 있어서 결손부가 존재하고 있는지 여부의 판단은, 화상 데이터에 있어서 어둡다고 판단되는 영역의 넓이에 기초하여 실시할 수 있다. 그러나 상기 서술한 바와 같이 카메라가 기판 유지 기구 너머로 처리조의 내부를 촬상하는 경우, 기판 유지 기구도 촬상된다. 따라서 촬상된 기판 유지 기구가 당해 판단에 있어서 결손부로서 잘못 판단될 가능성이 있다.
그래서, 본 개시는, 처리조의 내부를 촬상할 때에 기판 유지 기구가 촬상되어도, 기판 유지 기구가 결손부로서 판단될 가능성을 저감시키는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
제 1 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 기판 처리 장치를 제어하는 방법으로서, 상기 기판 처리 장치는, 복수의 기판이 침지되어 상기 복수의 기판을 일괄적으로 처리하는 처리액을 저류하는 처리조 ; 상기 복수의 기판을 일괄적으로 유지하는 기능을 갖는 기구인 기판 유지 기구 ; 상기 기판 유지 기구를 상기 처리액에 침지시키는 기능과, 상기 기판 유지 기구를 상기 처리액으로부터 취출하는 기능을 갖는 기구인 승강기 ; 및 상기 기판 유지 기구에 대해 상기 처리조와 반대측으로부터 상기 처리조의 내부 및 상기 기판 유지 기구를 촬상하여 화상 데이터를 생성하는 카메라를 포함한다.
상기 방법은, 상기 기판 유지 기구가 상기 복수의 기판을 유지하지 않는 상태에 있어서, 상기 카메라가 상기 기판 유지 기구 및 상기 내부를 촬상하여 제 1 상기 화상 데이터를 생성하는 제 1 공정과, 상기 제 1 상기 화상 데이터가 나타내는 제 1 영역에 있어서, 적어도 상기 기판 유지 기구가 촬상된 영역인 제 2 영역을 특정하는 제 2 공정과, 상기 제 1 영역이며 상기 제 2 영역 이외의 제 3 영역에 있어서 분포하는, 상기 제 1 상기 화상 데이터의 계조도를, 상기 계조도의 임계값과 비교하는 제 3 공정을 구비한다.
제 2 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 1 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 2 공정에 있어서, 상기 제 1 영역에 있어서 상기 기판 유지 기구의 그림자가 촬상된 제 4 영역이 특정되고, 상기 제 3 공정에 있어서, 상기 제 3 영역은 상기 제 1 영역으로부터 상기 제 2 영역 및 상기 제 4 영역을 제외하여 얻어진다.
제 3 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 1 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 2 영역은, 상기 제 1 영역에 있어서 상기 승강기의 적어도 일부가 촬상된 영역을 포함한다.
제 4 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 3 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 2 공정에 있어서, 상기 제 1 영역에 있어서 상기 승강기의 상기 적어도 일부의 그림자가 촬상된 제 4 영역이 특정되고, 상기 제 3 공정에 있어서, 상기 제 3 영역은 상기 제 1 영역으로부터 상기 제 2 영역 및 상기 제 4 영역을 제외하여 얻어진다.
제 5 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 1 양태 내지 제 4 양태 중 어느 하나에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 1 공정은 상기 처리조로부터 상기 처리액이 배출된 상태에서 실행된다.
제 6 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 제 1 양태 내지 제 4 양태 중 어느 하나에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 상기 제 1 공정은 상기 처리조에 상기 처리액이 저류된 상태에서 실행되고, 상기 제 1 상기 화상 데이터는, 상이한 시각에 있어서 상기 내부를 촬상하여 생성되는 복수의 제 2 상기 화상 데이터를 사용한 시간적인 평활화에 의해 얻어진다.
제 7 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 복수의 기판이 침지되어 상기 복수의 기판을 일괄적으로 처리하는 처리액을 저류하는 처리조 ; 상기 복수의 기판을 일괄적으로 유지하는 기능을 갖는 기구인 기판 유지 기구 ; 상기 기판 유지 기구를 상기 처리액에 침지시키는 기능과, 상기 기판 유지 기구를 상기 처리액으로부터 취출하는 기능을 갖는 기구인 승강기 ; 상기 기판 유지 기구에 대해 상기 처리조와 반대측으로부터 상기 처리조의 내부 및 상기 기판 유지 기구를 촬상하여 화상 데이터를 생성하는 카메라 ; 및 제어부를 구비한다. 상기 제어부는, 상기 기판 유지 기구가 상기 복수의 기판을 유지하지 않는 상태에 있어서, 상기 카메라가 상기 기판 유지 기구 및 상기 내부를 촬상하여 제 1 상기 화상 데이터를 생성하고, 상기 제 1 상기 화상 데이터가 나타내는 제 1 영역에 있어서, 상기 기판 유지 기구가 촬상된 영역인 제 2 영역을 특정하고, 상기 제 1 영역으로부터 상기 제 2 영역을 제외하여 얻어지는 제 3 영역에 있어서의 상기 제 1 상기 화상 데이터의 계조도를, 상기 계조도의 임계값과 비교한다.
제 1 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법, 제 3 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법, 및 제 7 양태에 관련된 기판 처리 장치는, 처리조의 내부를 촬상할 때에 기판 유지 기구가 촬상되어도, 기판 유지 기구가 결손부로서 판단될 가능성을 저감시킨다.
제 2 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 기판 유지 기구의 그림자에 의한 오판단의 가능성을 저감시킨다. 제 4 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 승강기의 적어도 일부의 그림자에 의한 오판단의 가능성을 저감시킨다.
제 5 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법 및 제 6 양태에 관련된 기판 처리 장치의 제어 방법은, 처리조에 저류되는 처리액의 액면에 의한 반사광이 이물질의 판별에 영향을 미칠 가능성을 저감시킨다.
도 1 은, 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 2 는, 처리조가 저류하는 처리액으로의 기판의 침지 및 당해 처리액으로부터의 기판의 취출을 나타내는 측면도이다.
도 3 은, 처리조가 저류하는 처리액으로의 기판의 침지 및 당해 처리액으로부터의 기판의 취출을 나타내는 측면도이다.
도 4 는, 처리조와, 리프터와, 지지편의 일부를 나타내는 평면도이다.
도 5 는, 카메라의 촬상에 의해 얻어지는 화상 데이터를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 6 은, 카메라의 촬상에 의해 얻어지는 화상 데이터를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 7 은, 이물질이 존재하는지를 판별하는 공정군을 나타내는 플로 차트이다.
도 8 은, 기판이 처리되는 공정군을 나타내는 플로 차트이다.
도 9 는, 제 1 화상 데이터를 생성하는 공정군을 나타내는 플로 차트이다.
이하, 첨부되는 도면의 참조를 수반하여 실시형태가 설명된다. 또한, 도면은 개략적으로 나타내고, 설명의 편의를 위해 적절히, 구성의 생략, 또는 구성의 간략화가 이루어지는, 도면에 나타내는 구성의 크기 및 위치의 상호 관계는, 반드시 정확하게 기재되어 있지는 않고, 적절히 변경될 수 있다.
또, 이하에 나타내는 설명에서는, 동일한 구성 요소에는 동일한 부호가 부여되어 도시되고, 그들의 명칭과 기능에 대해서는 동일하다. 따라서, 그것들에 대한 상세한 설명은, 중복을 피하기 위해 생략되는 경우가 있다.
이하에 기재되는 설명에 있어서,「제 1」 또는「제 2」 등의 서수가 사용되는 경우가 있어도, 이들 용어는, 실시형태의 내용을 이해하는 것을 용이하게 하기 위해서 편의상 사용되고, 이들 서수에 의해 발생할 수 있는 순서에 한정되지는 않는다.
상대적 또는 절대적인 위치 관계를 나타내는 표현 (예를 들어 「일방향으로」 「일방향을 따라」 「평행」 「직교」 「중심」 「동심」 「동축」 등) 이 사용되는 경우, 그 표현은, 특별히 언급하지 않는 한, 그 위치 관계를 엄밀하게 나타낼 뿐만 아니라, 공차 혹은 동일한 정도의 기능이 얻어지는 범위에서 상대적으로 각도 또는 거리에 관해 변위된 상태도 나타낸다. 동등한 상태인 것을 나타내는 표현 (예를 들어 「동일」 「동등한」 「균질」 등) 이 사용되는 경우, 그 표현은, 특별히 언급하지 않는 한, 정량적으로 엄밀하게 동등한 상태를 나타낼 뿐만 아니라, 공차 혹은 동일한 정도의 기능이 얻어지는 차가 존재하는 상태도 나타낸다.
형상을 나타내는 표현 (예를 들어,「사각 형상」 또는 「원통 형상」 등) 이 사용되는 경우, 그 표현은, 특별히 언급하지 않는 한, 기하학적으로 엄밀하게 그 형상을 나타낼 뿐만 아니라, 동일한 정도의 효과가 얻어지는 범위에서, 예를 들어 요철이나 모따기 등을 갖는 형상도 나타낸다.
하나의 구성 요소를 「갖춘다」 「마련한다」 「구비한다」 「포함한다」 또는 「갖는다」 라는 표현이 사용되는 경우, 그 표현은, 다른 구성 요소의 존재를 제외하는 배타적 표현은 아니다.
「연결」 이라는 표현은, 특별히 언급하지 않는 한, 2 개의 요소가 접하고 있는 상태 외에, 2 개의 요소가 다른 요소를 사이에 두고 떨어져 있는 상태도 포함하는 표현이다.
「A, B 및 C 중 적어도 어느 하나」 라는 표현이 사용되는 경우, 그 표현은, A 만, B 만, C 만, A, B 및 C 중 임의의 2 개, 그리고, A, B 및 C 모두를 포함한다.
<기판 처리 장치의 구성의 개요>
도 1 은, 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 평면도이다. 이하의 각 도면에 있어서의 방향을 통일적으로 나타내는 위해, 도 1 에 나타내는 바와 같이 오른손계의 XYZ 직교 좌표축이 설정된다. 여기서 XY 평면이 수평면을 나타낸다. 또, Z 축이 연직축을 나타내고, 보다 상세하게는 Z 방향이 연직 상방향이다. -X 방향은 X 방향과 반대의 방향이고, -Y 방향은 Y 방향과 반대의 방향이고, -Z 방향은 Z 방향과 반대의 방향이다.
기판 처리 장치 (1) 는 복수의 기판 (W) 에 대해 일괄적으로 처리를 실시하는 배치식의 처리 장치이다. 기판 처리 장치 (1) 는, 재치부 (2) 와, 로봇 (4) 과, 자세 변환 기구 (5) 와, 푸셔 (6) 와, 반송 기구 (8) 와, 처리 유닛 (10) 과, 제어부 (9) 를 구비한다.
제어부 (9) 는, 예를 들어, 기판 처리 장치 (1) 의 동작을 통괄적으로 제어할 수 있다. 제어부 (9) 는, 예를 들어, 연산부, 메모리 및 기억부 등을 갖는다. 연산부는, 예를 들어, 1 개 이상의 중앙 연산 유닛 (Central Processing Unit : CPU) 등으로 구성된다. 메모리는, 예를 들어, RAM (Random Access Memory) 등의 휘발성의 기억 매체로 구성된다. 기억부는, 예를 들어, 하드 디스크 드라이브 (Hard Disk Drive : HDD) 또는 솔리드 스테이트 드라이브 (Solid State Drive : SSD) 등의 불휘발성의 기억 매체로 구성된다. 기억부는, 예를 들어, 프로그램 및 각종 정보 등을 기억할 수 있다. 연산부는, 예를 들어, 기억부에 기억된 프로그램을 판독 입력하여 실행함으로써, 각종 기능을 실현할 수 있다. 이 때, RAM 은, 예를 들어, 워크 스페이스로서 사용되고, 일시적으로 생성 혹은 취득되는 정보 등을 기억한다. 제어부 (9) 에서 실현되는 기능적 구성의 적어도 일부는, 예를 들어, 전용의 전자 회로 등의 하드웨어로 실현되어도 된다.
재치부 (2) 는 수납기 (F) 가 재치되는 기능을 갖는다. 수납기 (F) 는 복수의 기판 (W) 을 수납하는 기능을 갖는다. 수납기 (F) 는, 미처리의 기판 (W) 을 수납한 상태에서 재치부 (2) 에 재치되거나, 처리가 끝난 기판 (W) 을 수납하기 위해 빈 상태로 재치부 (2) 에 재치되거나 한다. 수납기 (F) 의 예로는, 수평 자세의 복수장 (예를 들어 25 장) 의 기판 (W) 을 Z 방향으로 적층한 상태에서 수납 가능하게 구성된 FOUP (Front Opening Unified Pod) 를 들 수 있다.
프로세스 공간 (3) 은 재치부 (2) 에 대해 Y 방향측에서 인접한다. 프로세스 공간 (3) 내에는, 로봇 (4), 자세 변환 기구 (5), 푸셔 (6), 반송 기구 (8) 및 처리 유닛 (10) 이 배치되어 있다.
재치부 (2) 와 프로세스 공간 (3) 은, 자유롭게 개폐할 수 있는 셔터를 장비하는 격벽 (도시 생략) 에 의해 구획된다. 당해 셔터는, 제어부 (9) 의 제어에 의해 개폐되고, 재치부 (2) 와 프로세스 공간 (3) 을 공간적으로 분리하거나, 서로 연통시키거나 한다. 재치부 (2) 와 프로세스 공간 (3) 이 연통하는 상태에서, 수납기 (F) 로부터 프로세스 공간 (3) 으로 미처리의 기판 (W) 이 반입되거나, 처리가 끝난 기판 (W) 이 수납기 (F) 로 반출되거나 한다.
프로세스 공간 (3) 과 수납기 (F) 사이에서의 기판 (W) 의 반입 및 반출은, 로봇 (4) 에 의해 실시된다. 로봇 (4) 은 수평면 내에서 자유롭게 선회할 수 있도록 구성되어 있다. 로봇 (4) 은, 셔터가 열린 상태에서, 자세 변환 기구 (5) 와 수납기 (F) 사이에서 복수장의 기판 (W) 을 수수한다. 당해 수수는 모식적으로 백색 화살표로 나타낸다.
자세 변환 기구 (5) 는, 로봇 (4) 을 통하여 수납기 (F) 로부터 기판 (W) 을 수취한 후, 복수장의 기판 (W) 의 자세를 수평 자세로부터 기립 자세로 변환한다. 자세 변환 기구 (5) 는, 로봇 (4) 을 통하여 수납기 (F) 에 기판 (W) 을 수수하기 전에, 복수장의 기판 (W) 의 자세를 기립 자세로부터 수평 자세로 변환한다.
처리 유닛 (10) 은 자세 변환 기구 (5) 에 관해 로봇 (4) 과는 반대측 (동 도면 중의 -X 방향측) 에 배치된다. 반송 기구 (8) 는 처리 유닛 (10) 에 관해 자세 변환 기구 (5) 와는 반대측 (동 도면 중의 -X 방향측) 에 배치된다.
처리 유닛 (10) 은 일방향 (동 도면 중의 -Y 방향) 으로 이 순서로 나열하여 배치되는 처리부 (101, 102, 103, 104, 105) 를 포함한다. 반송 기구 (8) 는, 푸셔 (6) 에 대향한 위치 (이하「대기 위치」 라고 한다) 로부터 처리부 (101, 102, 103, 104, 105) 가 배열된 방향 및 그 반대 방향을 따라, 수평 방향으로 이동 가능하다.
푸셔 (6) 는, 자세 변환 기구 (5) 와 반송 기구 (8) 사이에 배치된다. 푸셔 (6) 는, 자세 변환 기구 (5) 와 반송 기구 (8) 사이에서 기립 자세의 복수장의 기판 (W) 을 수수한다.
반송 기구 (8) 는 1 쌍의 아암 (81) 을 구비한다. 이 1 쌍의 아암 (81) 의 위치에 의해, 복수의 기판 (W) 의 일괄된 유지와 당해 유지의 해제를 전환할 수 있다. 각 아암 (81) 은, 그 하측 가장자리가 서로 접근하는 방향으로 수평축 둘레로 요동하여, 복수의 기판 (W) 을 일괄적으로 사이에 두고 유지한다. 각 아암 (81) 은, 그 하측 가장자리가 서로 떨어지는 방향으로 수평축 둘레로 요동하여, 복수의 기판 (W) 의 유지가 해제된다.
반송 기구 (8) 는 Y 방향 및 -Y 방향 중 어느 것을 따라서도 이동 가능하므로, 1 쌍의 아암 (81) 은 처리부 (101, 102, 103, 104, 105) 의 각각에 대향한 위치 (이하「처리 위치」 라고도 칭해진다) 및 대기 위치에 위치 결정된다.
대기 위치에서는, 푸셔 (6) 를 통하여 자세 변환 기구 (5) 와 아암 (81) 사이에서의 기판 (W) 의 수수가 가능하다.
처리 유닛 (10) 은 승강기 (40a, 40b, 40c) 를 갖는다. 승강기 (40a) 에는 리프터 (20a) 가 장착된다. 승강기 (40b) 에는 리프터 (20b) 가 장착된다. 승강기 (40c) 에는 리프터 (20c) 가 장착된다. 리프터 (20a, 20b, 20c) 모두가, 복수의 기판 (W) 을 유지하는 기판 유지 기구로서 기능한다.
승강기 (40a) 및 리프터 (20a) 는, 처리부 (103, 104) 사이에서 Y 방향 및 -Y 방향 중 어느 것을 따라서도 이동 가능하고, 처리부 (103, 104) 에 대응하는 처리 위치에 위치 결정된다. 승강기 (40a) 및 리프터 (20a) 는, 처리부 (103, 104) 에 있어서의 기판 (W) 의 처리에 이용된다.
승강기 (40b) 및 리프터 (20b) 는, 처리부 (101, 102) 사이에서 Y 방향 및 -Y 방향 중 어느 것을 따라서도 이동 가능하고, 처리부 (101, 102) 에 대응하는 처리 위치에 위치 결정된다. 승강기 (40b) 및 리프터 (20b) 는, 처리부 (101, 102) 에 있어서의 기판 (W) 의 처리에 이용된다.
승강기 (40c) 및 리프터 (20c) 는, 처리부 (105) 에 있어서의 기판 (W) 의 처리에 이용된다.
처리부 (101) 는 처리조 (101b) 를 포함한다. 처리부 (103) 는 처리조 (103b) 를 포함한다. 처리조 (101b, 103b) 는 Z 방향을 향하여 개구된다. 처리조 (101b, 103b) 에는, 복수의 기판 (W) 을 일괄적으로 처리하는 소정의 약액이 저류된다.
처리조 (101b) 가 저류하는 약액에 침지된 기판 (W) 은 당해 약액에 의한 처리를 받는다. 처리조 (103b) 가 저류하는 약액에 침지된 기판 (W) 은 당해 약액에 의한 처리를 받는다. 당해 약액이 처리조 (101b, 103b) 끼리에서 상이한지의 여부는 불문이다.
처리부 (102) 는 처리조 (102a) 를 포함한다. 처리부 (104) 는 처리조 (104a) 를 포함한다. 처리조 (102a, 104a) 는 Z 방향을 향하여 개구된다. 처리조 (102a) 에는, 처리조 (101b) 에 저류되는 약액을 기판 (W) 으로부터 세척하는 처리액인 린스액 (예를 들어 순수) 이 저류된다. 처리조 (104a) 에는, 처리조 (103b) 에 저류되는 약액을 기판 (W) 으로부터 세척하는 처리액인 린스액 (예를 들어 순수) 이 저류된다. 처리조 (102a) 가 저류하는 린스액에 침지된 기판 (W) 은 당해 린스액에 의한 세척을 받는다. 처리조 (104a) 가 저류하는 린스액에 침지된 기판 (W) 은 당해 린스액에 의한 세척을 받는다.
처리부 (105) 는, 예를 들어 감압 분위기 중에서 유기 용제, 예를 들어 이소프로필알코올을 기판 (W) 에 공급함으로써 기판 (W) 을 건조시킨다.
처리조 (103b, 104a) 에 대한 기판 (W) 의 침지 및 취출은, 승강기 (40a) 및 리프터 (20a) 에 의해 실현된다. 승강기 (40a) 는 리프터 (20a) 를 처리조 (103b) 에 저류된 약액에 침지시키는 기능과, 리프터 (20a) 를 당해 약액으로부터 취출하는 기능과, 리프터 (20a) 를 처리조 (104a) 에 저류된 린스액에 침지시키는 기능과, 리프터 (20a) 를 당해 린스액으로부터 취출하는 기능을 갖는다.
처리조 (101b, 102a) 에 대한 기판 (W) 의 침지 및 취출은, 승강기 (40b) 및 리프터 (20b) 에 의해 실현된다. 승강기 (40b) 는 리프터 (20b) 를 처리조 (101b) 에 저류된 약액에 침지시키는 기능과, 리프터 (20b) 를 당해 약액으로부터 취출하는 기능과, 리프터 (20b) 를 처리조 (102a) 에 저류된 린스액에 침지시키는 기능과, 리프터 (20b) 를 당해 린스액으로부터 취출하는 기능을 갖는다.
처리부 (105) 에 대한 기판 (W) 의 투입 및 취출은, 승강기 (40c) 및 리프터 (20c) 에 의해 실현된다.
리프터 (20a) 는, 승강기 (40a) 에 의해 Z 방향으로 상승하여 처리조 (103b, 104a) 보다 상방에 위치하는 상태에서, 반송 기구 (8) 사이에서 복수의 기판 (W) 이 수수된다. 리프터 (20b) 는, 승강기 (40b) 에 의해 Z 방향으로 상승하여 처리조 (101b, 102a) 보다 상방에 위치하는 상태에서, 반송 기구 (8) 와의 사이에서 복수의 기판 (W) 이 수수된다. 리프터 (20c) 는, 승강기 (40c) 에 의해 Z 방향으로 상승하여 처리부 (105) 보다 상방에 위치하는 상태에서, 반송 기구 (8) 와의 사이에서 복수의 기판 (W) 이 수수된다.
구체적으로는 예를 들어 당해 상태에 있어서 반송 기구 (8) 가 처리 위치로 이동하여 리프터 (20a, 20b, 20c) 중 어느 것과 X 방향을 따라 나열되고, 상기 서술한 유지 및 해제에 의해 당해 수수가 실행된다.
처리부 (101, 103) 에 있어서는, 예를 들어 처리액인 약액에 의한 기판 (W) 의 처리가 실시된다. 처리부 (102, 104) 에 있어서는, 예를 들어 기판 (W) 상의 약액의 헹굼 (이하에서는「세척」 이라고 표현된다) 이 실시된다. 처리부 (105) 에 있어서는, 예를 들어 건조 처리가 실시된다.
도 2 는 -X 방향을 따라 본, 처리조 (104a) 가 저류하는 처리액으로의 기판 (W) 의 침지 및 당해 처리액으로부터의 기판 (W) 의 취출을 나타내는 측면도이다. 도 3 은 Y 방향을 따라 본, 처리조 (104a) 가 저류하는 처리액으로의 기판 (W) 의 침지 및 당해 처리액으로부터의 기판 (W) 의 취출을 나타내는 측면도이다.
도시의 번잡을 피하기 위해, 도 2 에 있어서 승강기 (40a) 는 생략되어 있다. 도 2 및 도 3 에 있어서는 처리조 (104a) 에 린스액 (Q) 이 저류되는 경우가 예시된다.
도 2 및 도 3 에 있어서, 기판 (W) 이 리프터 (20a) 와 함께 린스액 (Q) 에 침지된 상태는, 일점 쇄선을 사용하여 나타낸다. 도 2 및 도 3 에 있어서, 기판 (W) 이 리프터 (20a) 와 함께 린스액 (Q) 으로부터 취출되어 있는 상태는, 침지의 전인지 후인지가 구별되지 않고, 실선을 사용하여 나타낸다. 도 2 에 있어서 이점 쇄선은, 기판 (W) 이 리프터 (20a) 와 함께 린스액 (Q) 으로부터 취출되어 있는 상태와, 린스액 (Q) 에 침지되어 있는 상태 사이의 천이를 모식적으로 나타낸다.
리프터 (20a) 는 복수의 봉 (21) 과 판 (22) 을 포함한다. 예를 들어 리프터 (20a) 는 3 개의 봉 (21) 을 포함한다. 봉 (21) 의 각각은 복수의 기판 (W) 을 간격을 두고 지지한다. 예를 들어 봉 (21) 의 각각에는, 도면에 있어서 명시되지 않지만, X 방향에 있어서 서로 떨어진 25 개의 홈이 형성된다.
판 (22) 은 예를 들어 X 방향에 대해 수직으로 넓어진다. 어느 봉 (21) 의 단 (예를 들어 -X 방향의 단) 도, 판 (22) 에 연결된다. 복수의 봉 (21) 및 판 (22) 을 포함함으로써, 리프터 (20a) 는 복수의 기판 (W) 을 유지하는 기능을 담당한다. 리프터 (20b, 20c) 도 리프터 (20a) 와 동일하게 구성되고, 복수의 기판 (W) 을 유지하는 기능을 담당한다.
도 2 에 있어서는 처리부 (104) 가 갖는 카메라 (30) 도 나타낸다. 도 1 에 있어서는 도시의 번잡을 피하기 위해 카메라 (30) 는 생략된다. 카메라 (30) 는 처리조 (104a) 에 대해, 리프터 (20a) 보다 Z 방향측에 배치된다. 카메라 (30) 는 리프터 (20a) 에 대해 처리조 (104a) 와 반대측으로부터 처리조 (104a) 의 내부를 촬상한다.
카메라 (30) 는 제어부 (9) 의 제어에 의해 처리조 (104a) 의 내부를 촬상하여 화상 데이터를 생성한다. 화상 데이터는 제어부 (9) 에 전달되고, 후술되는 판별 처리에 제공된다.
처리부 (102) 는, 처리조 (102a) 에 대해 리프터 (20b) 보다 Z 방향측에 배치되는 카메라 (30) 를 가져도 된다. 이 경우, 처리조 (104a) 에 대해 리프터 (20a) 보다 Z 방향측에 배치되는 카메라 (30) 가 생략되어도 된다. 혹은 처리부 (105) 에 대해 리프터 (20c) 보다 Z 방향측에 배치되는 카메라 (30) 가 형성되어도 된다. 기판 처리 장치 (1) 는, 상기 서술된 제어부 (9) 와, 1 개 또는 복수의 카메라 (30) 를 갖는다.
도 3 을 참조하여, 승강기 (40a) 는 지지편 (41), 승강 가이드 (42), 모터 (43), 서보 앰프 (44）를 포함한다.
지지편 (41) 은 리프터 (20a) 의 판 (22) 을, -X 방향측으로부터 지지한다. 승강 가이드 (42) 는 지지편 (41) 의 승강, 구체적으로는 Z 방향으로의 지지편 (41) 의 이동 및 -Z 방향으로의 지지편 (41) 의 이동을 안내한다. 예를 들어 승강 가이드 (42) 는, 모터（43）의 회전축에 연결된 볼 나사와, 당해 볼 나사에 끼워지는 탭이 파이고, 또한 판 (22) 이 연결된 봉 (모두 도시 생략) 을 갖는다. 모터（43）는 제어부 (9) 의 제어하에서 서보 앰프（44）에 의해 구동되어, 지지편 (41) 을 승강시킨다. 제어부 (9) 는 서보 앰프（44）를 통하여 모터（43）를 제어하여 리프터 (20a) 를 소정의 위치로 이동시킨다.
예를 들어 모터（43）는 스테핑 모터이다. 서보 앰프（44）는 제어부 (9) 로부터 회전하는 지시를 받아 모터（43）를 구동시키는 것 외에, 지지편 (41) 의 상하 위치, 나아가서는 리프터 (20a) 의 상하 위치에 관한 정보를 모터（43）로부터 제어부 (9) 에 전달한다.
승강기 (40b, 40c) 도 승강기 (40a) 와 동일하게 구성되고, 각각 리프터 (20b, 20c) 를 승강시켜 소정의 위치로 이동시킨다.
<리프터와 반송 기구 사이에서의 기판의 수수>
기판 (W) 이 처리부 (101, 102, 103, 104, 105) 에 있어서의 처리를 받는 흐름은, 하기와 같이 구분되는 공정으로 예시된다 :
(i) 푸셔 (6) 가 반송 기구 (8) 에 기판 (W) 을 수수한다 ;
(ii) 반송 기구 (8) 가 처리부 (101) 에 대한 처리 위치까지 Y 방향으로 이동한다 ;
(iii) 승강기 (40b) 에 의해 처리조 (101b) 의 상방에 위치한 리프터 (20b) 로, 반송 기구 (8) 로부터 기판 (W) 이 수수된다 ;
(iv) 승강기 (40b) 가 리프터 (20b) 를 내리고, 리프터 (20b) 및 이것에 유지되는 기판 (W) 을, 처리조 (101b) 가 저류하는 약액에 침지시킨다 ;
(v) 승강기 (40b) 가 리프터 (20b) 를 상승시키고, 리프터 (20b) 및 이것에 유지되는 기판 (W) 을, 처리조 (101b) 가 저류하는 약액으로부터 취출한다 ;
(vi) 승강기 (40b) 가 처리부 (102) 에 대한 처리 위치까지 -Y 방향으로 이동한다 ;
(vii) 승강기 (40b) 가 리프터 (20b) 를 내리고, 리프터 (20b) 및 이것에 유지되는 기판 (W) 을, 처리조 (102a) 가 저류하는 린스액에 침지시킨다 ;
(viii) 승강기 (40b) 가 리프터 (20b) 를 상승시키고, 리프터 (20b) 및 이것에 유지되는 기판 (W) 을, 처리조 (102a) 가 저류하는 린스액으로부터 취출한다 ;
(ix) 반송 기구 (8) 가 처리부 (102) 에 대한 처리 위치까지 이동한다 ;
(x) 승강기 (40b) 에 의해 처리조 (102a) 의 상방에 위치한 리프터 (20b) 로부터, 반송 기구 (8) 로, 기판 (W) 이 수수된다 ;
(xi) 반송 기구 (8) 가 처리부 (103) 에 대한 처리 위치까지 -Y 방향으로 이동한다 ;
(xii) 승강기 (40a) 에 의해 처리조 (103b) 의 상방에 위치한 리프터 (20a) 로, 반송 기구 (8) 로부터 기판 (W) 이 수수된다 ;
(xiii) 승강기 (40a) 가 리프터 (20a) 를 내리고, 리프터 (20a) 및 이것에 유지되는 기판 (W) 을, 처리조 (103b) 가 저류하는 약액에 침지시킨다 ;
(xiv) 승강기 (40a) 가 리프터 (20a) 를 상승시키고, 리프터 (20a) 및 이것에 유지되는 기판 (W) 을, 처리조 (103b) 가 저류하는 약액으로부터 취출한다 ;
(xv) 승강기 (40a) 가 처리부 (104) 에 대한 처리 위치까지 -Y 방향으로 이동한다 ;
(xvi) 승강기 (40a) 가 리프터 (20a) 를 내리고, 리프터 (20a) 및 이것에 유지되는 기판 (W) 을, 처리조 (104a) 가 저류하는 린스액 (Q) 에 침지시킨다 ;
(xvii) 승강기 (40a) 가 리프터 (20a) 를 상승시키고, 리프터 (20a) 및 이것에 유지되는 기판 (W) 을, 린스액 (Q) 으로부터 취출한다 ;
(xviii) 반송 기구 (8) 가 처리부 (104) 에 대한 처리 위치까지 이동한다 ;
(xix) 승강기 (40a) 에 의해 처리조 (104a) 의 상방에 위치한 리프터 (20a) 로부터, 반송 기구 (8) 로, 기판 (W) 이 수수된다 ;
(xx) 반송 기구 (8) 가 처리부 (105) 에 대한 처리 위치까지 -Y 방향으로 이동한다 ;
(xxi) 승강기 (40c) 에 의해 처리부 (105) 의 상방에 위치한 리프터 (20c) 로, 반송 기구 (8) 로부터 기판 (W) 이 수수된다 ;
(xxii) 리프터 (20c) 가 기판 (W) 을 처리부 (105) 에 투입하고, 기판 (W) 을 건조시킨다.
카메라 (30) 는 공정 (xix) 후, 예를 들어 공정 (xix) 후이며 공정 (xxi) 전에 있어서, 처리조 (104a) 의 내부를 촬상한다. 처리부 (102) 가 카메라 (30) 를 가질 때, 당해 카메라 (30) 는 공정 (x) 후, 예를 들어 공정 (x) 후이며 공정 (xii) 전에 있어서, 처리조 (102a) 의 내부를 촬상한다.
＜화상 데이터에 기초하는 처리＞
도 4 는 -Z 방향을 따라 본 처리조 (104a) 와, 리프터 (20a) 와, 지지편 (41) 의 일부를 나타내는 평면도이다. 도 4 에 있어서는, 처리조 (104a) 내에 결손부 (D) 가 존재하는 경우가 예시된다. 후술되는 화상 데이터에 있어서의 영역 (300, 30A, 30B, 30C) 이 쇄선으로 병기된다.
카메라 (30) 는 적어도, 처리조 (104a) 의 내측 및 당해 내측과 카메라 (30) 사이에 Z 방향을 따라 존재하는 물체와, 존재하는 경우에는 결손부 (D) 를 촬상한다. 이 촬상시에는 리프터 (20a) 는 기판 (W) 을 유지하고 있지 않다. 당해 물체는 구체적으로는 리프터 (20a) 와, 승강기 (40a) 의 적어도 일부 (예를 들어 지지편 (41) 의 X 방향측의 일부) 이다.
영역 (30A) 은 화상 데이터에 있어서 당해 물체가 촬상된 영역이다. 영역 (30A) 은 평면시상, 구체적으로는 -Z 방향을 따라 보았을 때 넓어진다.
영역 (30A) 은, 적어도 리프터 (20a) 가 촬상된 영역이고, 리프터 (20a) 가 촬상된 영역과 승강기 (40a) 의 적어도 일부가 촬상된 영역이라고도 할 수 있다.
영역 (300) 은 처리조 (104a) 의 내측이 촬상된 영역이다. 단, 이해를 용이하게 하기 위해, 영역 (300) 의 외곽은 처리조 (104a) 의 내측보다, 더욱 약간 내측에 그려져 있다.
영역 (30C) 은, (I) 영역 (300) 이며 영역 (30A) 이외의 영역, 혹은 (II) 영역 (300) 이며 영역 (30A, 30B) 이외의 영역이다. (I) 의 경우에는 영역 (30C) 은 영역 (300) 으로부터 영역 (30A) 이 제외되어 잔치 (殘置) 되는 영역이고, (II) 의 경우에는 영역 (30C) 은 영역 (300) 으로부터 영역 (30A, 30B) 이 제외되어 잔치되는 영역이라고 할 수도 있다. 이러한 관점에서 영역 (30A, 30B) 은 이하에 있어서 제외 영역 (30A, 30B) 이라고도 칭해치고, 영역 (30C) 은 이하에 있어서 잔치 영역 (30C) 이라고도 칭해진다.
(I) 의 경우.
도 5 는, 영역 (30C) 이, 영역 (300) 으로부터 영역 (30A) 이 제거된 영역인 경우에, 카메라 (30) 의 촬상에 의해 얻어지는 화상 데이터 (G1) 를 모식적으로 나타낸다. 도 5 에 있어서 결손부 (D) 가 영역 (30C) 에 있어서 차지하는 영역 (D1) 이 그려진다.
영역 (30C) 에 있어서 분포하는 화상 데이터 (G1) 의 계조도를, 계조도의 임계값과 비교하여 영역 (D1) 의 존재 여부를 판단할 수 있다. 분포하는 계조도를 임계값과 비교하여 영역을 특정하는 기술 자체는 주지이므로, 여기서는 그 자세한 것은 생략된다. 예를 들어 결손부 (D) 는 기판 (W) 의 일부 또는 그 전체이고, 결손부 (D) 가 존재하지 않는 처리조 (104a) 의 내부와 비교하여 어둡다. 이하의 설명에 있어서, 명도가 높을수록 높은 계조도가 채용된다. 제 1 임계값보다 낮은 계조도를 나타내는 영역으로서 영역 (D1) 이 특정된다.
영역 (D1) 이 존재할 때에는 처리조 (104a) 에 있어서 결손부 (D) 가 존재한다고 판별된다. 보다 일반적으로 말하면, 영역 (D1) 의 존재 여부를 판단하는 것이, 처리조 (104a) 에 있어서의 이물질의 존재 여부의 판별에 기여한다.
그리고 영역 (D1) 의 존재 여부는 영역 (300) 으로부터 제외 영역 (30A) 이 제거되어 잔치되는 잔치 영역 (30C) 에 있어서 판단되므로, 기판 유지 기구로서 기능하는 리프터 (20a) 나 지지편 (41) 이 촬상되어 있어도, 이들이 결손부 (D) 로서 판단될 가능성이 저감된다.
(II) 의 경우.
도 6 은, 잔치 영역 (30C) 이, 영역 (300) 으로부터 제외 영역 (30A, 30B) 이 제거된 영역인 경우에, 카메라 (30) 의 촬상에 의해 얻어지는 화상 데이터 (G2) 를 모식적으로 나타낸다. 도 6 에 있어서 결손부 (D) 가 잔치 영역 (30C) 에 있어서 차지하는 영역 (D2) 이 그려진다.
제외 영역 (30B) 은, 리프터 (20a) 의 그림자가 촬상되어 영역 (300) 에 있어서 차지하는 영역이다. 여기서는 제외 영역 (30B) 은 지지편 (41) 의 그림자가 촬상되어 영역 (300) 에 있어서 차지하는 영역도 포함한다. 이들 그림자는, 처리조 (104a), 리프터 (20a), 및 승강기 (40a) 에 대한 외광 (도시 생략) 에서 유래한다. 예를 들어 당해 외광은 처리조 (104a) 의 내부를 전체적에 밝게 하지만, 당해 내부 중 리프터 (20a) 및 승강기 (40a) 에 의해 차단되는 부분을 국소적으로 어둡게 한다.
당해 그림자는 어둡기 때문에, 계조도를 사용한 판단에 있어서, 당해 그림자도 결손부 (D) 일 것이라는 오판단의 가능성이 있다. 잔치 영역 (30C) 이 제외 영역 (30B) 을 포함하지 않는 것은, 이러한 가능성의 저감에 기여한다.
이 경우에도 영역 (D1) 과 동일하게 하여, 영역 (30C) 에 있어서 분포하는 화상 데이터 (G2) 의 계조도를 임계값과 비교하여, 영역 (D2) 의 존재 여부를 판단할 수 있다. 영역 (D2) 의 존재 여부를 판단하는 것이, 처리조 (104a) 에 있어서의 이물질의 존재 여부의 판별에 기여한다.
그리고 영역 (D2) 의 존재 여부는 영역 (300) 으로부터 제외 영역 (30A, 30B) 이 제거되어 잔치되는 잔치 영역 (30C) 에 있어서 판단되므로, 기판 유지 기구로서 기능하는 리프터 (20a) 나 지지편 (41) 이 촬상되어 있어도, 이들이나 이들의 그림자가 결손부 (D) 로서 판단될 가능성이 저감된다.
<제외 영역의 특정>
제외 영역 (30A, 30B) 은 예를 들어, 제 1 임계값보다 큰 제 2 임계값을 사용하여, 이하와 같이 특정된다. 카메라 (30) 에 의해, 리프터 (20a) 나 지지편 (41) 은 예를 들어 처리조 (104a) 보다 어둡게 촬상된다. 제 2 임계값보다 계조도가 낮고 (명도가 낮고) 또한 제 1 임계값보다 계조도가 높은 (명도가 높은) 영역을 제외 영역 (30A) 으로서 특정할 수 있다.
리프터 (20a) 나 지지편 (41) 의 그림자는, 예를 들어 리프터 (20a) 나 지지편 (41) 보다 어둡게 촬상된다. 따라서 제 2 임계값을 작게 함으로써, 제 2 임계값보다 계조도가 낮고 (명도가 낮고) 또한 제 1 임계값보다 계조도가 높은 (명도가 높은) 영역을 제외 영역 (30A, 30B) 으로서 특정할 수 있다. 제 1 임계값 및 제 2 임계값은, 예를 들어 미리 결정되거나, 혹은 예를 들어 화상 데이터에 있어서의 계조값의 분포에 따라 결정된다.
혹은 제외 영역 (30A, 30B) 은 예를 들어 미리 특정되어도 된다. 리프터 (20a), 지지편 (41) 의 형상은 설계 사양으로서 이미 알려져 있으므로 제외 영역 (30A) 은 미리 특정될 수 있다. 제외 영역 (30B) 은 영역 (300) 에 있어서 제외 영역 (30A) 에 대해 마진을 취하여 넓힌 영역으로서 미리 특정될 수 있다.
<이물질의 유무의 판별>
(I), (II) 중 어느 경우에 있어서도, 예를 들어 영역 (D1, D2) 의 면적이 제 3 임계값보다 클 때, 이물질이 존재한다고 판단된다. 이것은 이물질, 예를 들어 결손부 (D) 가 존재하지 않음에도 불구하고, 결손부 (D) 가 존재한다고 하여 오검출할 가능성의 저감에 기여한다. 이와 같은, 소정의 범위에 있는 계조도가 분포하는 영역의 면적과, 임계값의 비교 자체는 주지이므로, 여기서는 그 자세한 것은 생략된다.
제외 영역 (30A, 30B) 의 특정에 있어서의 오차, 또는 잔치 영역 (30C) 에 있어서 분포하는 계조값과 제 3 임계값의 비교에 있어서의 오차에 의해, 제 3 임계값보다 크다고 판단된 작은 영역 (D1, D2) 의 복수가 특정되는 경우가 상정된다. 복수의 영역 (D1) 또는 복수의 영역 (D2) 이 얻어지는 경우, 제 3 임계값과 비교되는 면적은, 예를 들어 복수의 영역 (D1) 의 총면적이나, 복수의 영역 (D2) 의 총면적은 아니다. 각각이 합쳐진 개별의 영역 (D1, D2) 의 면적을 제 3 임계값과 비교하는 것은, 복수의 영역 (D1) (또는 영역 (D2)) 을 집약하여 큰 영역 (D1) (또는 영역 (D2)) 이 존재한다고 오인할 가능성의 저감에 기여한다.
도 7 은 처리조 (104a) 에 있어서 이물질이 존재하는지를 판별하는 공정군을 나타내는 플로 차트이다. 당해 플로 차트에는, 그 의의를 반영하여 「이물질 판별 처리」 라는 표제가 부기된다. 당해 공정군은, 이 순서로 실행되는 스텝 S11, S12, S13 을 갖는다.
스텝 S11 은, 제어부 (9) 의 제어하에서 카메라 (30) 가 촬상함으로써, 제 1 화상 데이터를 생성하는 공정이다. 제 1 화상 데이터는 상기 서술한 예에서는 화상 데이터 (G1, G2) 로서 예시된다. 제 1 화상 데이터의 생성은 예를 들어 카메라 (30) 자체가 실시하고, 제 1 화상 데이터는 제어부 (9) 에 있어서의 처리에 제공되기 위해 제어부 (9) 에 부여된다.
스텝 S12 는 제외 영역 (30A) 을 특정하는 공정, 또는 제외 영역 (30A, 30B) 을 특정하는 공정이다. 이들 특정은 상기 서술한 방법에 의해 제어부 (9) 에 있어서 실시된다. 도 7 에 있어서는 도시의 간단화를 위해, 제외 영역 (30A, 30B) 의 양방이 특정되는 경우를 예로 들어 나타낸다.
스텝 S13 은 잔치 영역 (30C) 에 있어서 이물질을 판별하는 공정이다. 스텝 S12 에 있어서 제외 영역 (30A) 만이 특정된 경우, 당해 판별은 제어부 (9) 에 의한 영역 (D1) 과 제 2 임계값의 비교에 의해 실시된다. 스텝 S12 에 있어서 제외 영역 (30A, 30B) 이 특정된 경우, 당해 판별은 제어부 (9) 에 의한 영역 (D2) 과 제 2 임계값의 비교에 의해 실시된다.
예를 들어 영역 (D1) 의 면적 또는 영역 (D2) 의 면적이, 제 3 임계값보다 큰 경우, 이물질, 구체적으로는 예를 들어 결손부 (D) 가 존재한다고 판단된다.
이와 동일한 스텝 S11, S12, S13 의 실행에 의해, 기판 유지 기구로서 기능 하는 리프터 (20a) 나 지지편 (41) 이, 혹은 그들의 그림자가 촬상되어도, 이들이 결손부 (D) 로서 판단될 가능성이 저감되면서, 결손부 (D) 의 존재 여부를 판별할 수 있다.
<촬상시의 기판 유지 기구의 위치>
도 8 은 처리조 (104a) 에 있어서 기판 (W) 이 처리되는 공정군을 나타내는 플로 차트이다. 당해 플로 차트에는, 그 의의를 반영하여 「처리조에서의 기판 처리」 라는 표제가 부기된다. 도 8 에서 나타낸 공정군의 실행은, 도 7 에서 나타낸 공정군의 실행에 선행한다.
도 8 에서 나타난 공정군은, 이 순서로 실행되는 스텝 S21, S22, S23, S24, S25 를 갖는다.
스텝 S21 은 리프터 (20a) 에 기판 (W) 을 재치하는 공정이고, 상기 서술한 공정 (xii) 에 상당한다. 이러한 재치는 반송 기구 (8) 에 의해 실행된다.
스텝 S22 는 처리조 (104a) 에, 보다 구체적으로는 처리조 (104a) 에 저류되는 린스액 (Q) 에 기판 (W) 을 침지시키는 공정이다. 스텝 S22 는 상기 서술한 공정 (xvi) 에 상당한다. 이러한 침지는 승강기 (40a) 에 의해 실행된다.
스텝 S23 은, 처리조 (104a) 에 있어서의 기판 (W) 의 처리에 필요한 시간을 확보하는 공정이다. 스텝 S23 에 있어서는, 스텝 S22 가 실행되고 나서 소정 시간이 경과했는지의 여부가 판단된다. 당해 판단이 부정적이면, 요컨대 스텝 S22 가 실행되고 나서 소정 시간이 경과하고 있지 않으면 스텝 S23 이 반복해서 실행된다. 당해 판단이 긍정적이면, 요컨대 스텝 S22 가 실행되고 나서 소정 시간이 경과했을 때에는, 스텝 S24 가 실행된다.
스텝 S24 는 처리조 (104a) 로부터 기판 (W) 을 끌어올리는 공정이다. 이러한 끌어올림에 의해 린스액 (Q) 으로부터 기판 (W) 이 취출된다. 스텝 S24 는 상기 서술한 공정 (xvii) 에 상당한다. 이러한 끌어올림 (혹은 취출) 은 승강기 (40a) 에 의해 실행된다.
스텝 S25 는 리프터 (20a) 로부터 기판 (W) 을 이동하는 공정이다. 스텝 S25 는, 보다 구체적으로는, 기판 (W) 을 리프터 (20a) 로부터 반송 기구 (8) 에 수수하는 공정이다. 스텝 S25 는 상기 서술한 공정 (xix) 에 상당한다. 이러한 이동 (혹은 수수) 은 반송 기구 (8) 에 의해 실행된다.
도 8 에서 나타낸 공정군은 스텝 S26 을 추가로 가져도 된다. 스텝 S26 의 유무에 상관없이 처리조 (104a) 에 있어서의 기판 (W) 의 처리는 실현된다. 스텝 S26 이 생략 가능한 것은, 스텝 S26 을 나타내는 프레임이 파선임으로써 나타낸다.
스텝 S26 은 스텝 S25 후에 실행된다. 스텝 S26 은, 스텝 S25 의 실행에 의해 기판 (W) 을 유지하지 않게 된 리프터 (20a) 를, 처리조 (104a) 에, 보다 구체적으로는 린스액 (Q) 에 침지시키는 공정이다. 스텝 S26 이 실행되는 경우의 이점이 이하에 설명된다.
스텝 S25 의 실행으로 도 8 의 플로 차트가 종료되는 경우, 그 후에 스텝 S11 에 있어서 카메라 (30) 가 촬상할 때, 리프터 (20a) 에는 기판 (W) 은 배치되지 않고, 또한 리프터 (20a) 및 지지편 (41) 은 처리조 (104a) 에서 Z 방향으로 떨어져서 위치한다 (도 3 에 있어서 실선으로 나타낸 리프터 (20a) 및 지지편 (41) 의 위치를 참조).
스텝 S26 의 실행으로 도 8 의 플로 차트가 종료되는 경우, 그 후에 스텝 S11 에 있어서 카메라 (30) 가 촬상할 때, 리프터 (20a) 에는 기판 (W) 은 배치되지 않고, 또한 리프터 (20a) 및 지지편 (41) 은 처리조 (104a) 와 Z 방향에 있어서 거의 동일한 위치에 있다 (도 3 에 있어서 쇄선으로 나타낸 리프터 (20a) 및 지지편 (41) 의 위치를 참조).
리프터 (20a) 및 지지편 (41) 은, 이들이 카메라 (30) 에 가까울수록 크게 촬상된다. 스텝 S25 의 실행으로 도 8 의 플로 차트가 종료되는 경우와 비교하여, 스텝 S26 의 실행으로 도 8 의 플로 차트가 종료되는 경우 쪽이, 제외 영역 (30A), 혹은 제외 영역 (30A, 30B) 이, 영역 (300) 에서 차지하는 비율은 작다. 이것은 처리조 (104a) 에 있어서의 결손부 (D) 의 검출에 있어서, 판단의 대상이 되는 잔치 영역 (30C) 을 넓게 하는 관점에서 유리하다.
<처리조 중의 액의 영향>
처리조 (104a) 에 린스액 (Q) 이 저류되어 있는 상태에서는, 린스액 (Q) 의 액면에 의한 반사광이 화상 데이터에 영향을 미친다. 당해 반사광은 액면이 흔들림으로써 시간적으로도 공간적으로도 변동된다. 당해 변동은 상기 서술된 이물질의 판별에 영향을 미칠 가능성이 있다.
스텝 S11 에 있어서 카메라 (30) 가 복수회의 촬상을 실시하여 복수의 제 2 화상 데이터를 얻어도 된다. 복수의 제 2 화상 데이터의 시간적인 평활화에 의해 제 1 화상 데이터를 얻는 것은, 린스액 (Q) 의 액면에 의한 반사광이 이물질의 판별에 영향을 미칠 가능성을 저감시키는 것에 기여한다.
도 9 는 제 2 화상 데이터를 이용하여 제 1 화상 데이터를 생성하는 공정군을 나타내는 플로 차트이다. 당해 공정군은 이 순서로 실행되는 스텝 S111, S112 를 갖는다. 스텝 S111, S112 는 스텝 S11 에 포함된다.
스텝 S111 은 복수의 제 2 화상 데이터를 생성하는 공정이다. 당해 복수의 제 2 화상 데이터는 복수의 상이한 시각에 있어서, 처리조 (104a) 의 내부를 촬상하여 생성된다.
스텝 S112 는 복수의 제 2 화상 데이터로부터 제 1 화상 데이터를 생성하는 공정이다. 구체적으로는 복수의 제 2 화상 데이터의 시간적인 평활화를 실시하여 제 1 화상 데이터가 생성된다. 이러한 평활화는 예를 들어 복수의 제 2 화상 데이터에 있어서 서로 대응하는 화소의 평균값을 산출하여 얻어진다. 당해 평균값은 예를 들어 산술 평균, 기하 평균에 의해 산출된다.
카메라 (30) 에 의한 처리조 (104a) 의 내부의 촬상은, 처리조 (104a) 로부터 린스액 (Q) 이 배출된 상태에서 실행되어도 된다. 이 경우에는, 공정 (xix) 후, 카메라 (30) 에 의한 촬상 전에, 린스액 (Q) 을 배출하는 공정이 실행된다.
이 경우에는, 생성되는 화상 데이터는, 린스액 (Q) 의 액면에 의한 반사광의 영향을 받지 않는다. 처리조 (104a) 로부터 린스액 (Q) 이 배출된 상태에서 실행되는 촬상도, 린스액 (Q) 의 액면에 의한 반사광이 이물질의 판별에 영향을 미칠 가능성을 저감시키는 것에 기여한다.
처리부 (104) 에 관한 상기 서술한 설명은, 처리부 (102, 105) 에 있어서도 타당하다. 구체적으로는 처리부 (102) 에 카메라 (30) 가 형성될 때에는, 상기 서술한 설명에 있어서 리프터 (20a) 를 리프터 (20b) 로 바꾸어 읽고, 처리조 (104a) 를 처리조 (102a) 로 바꾸어 읽고, 승강기 (40a) 가 승강기 (40b) 로 바꾸어 읽힌다.
<변형>
상기 실시형태에 있어서, 예를 들어, 제외 영역 (30A, 30B), 잔치 영역 (30C) 모두가 특정되지 않고 이물질의 존재 여부가 판단되어도 된다. 예를 들어 화상 데이터 (G1) 중 제외 영역 (30A) 의 면적에 상당하는 값이 제 3 임계값으로서 채용되고, 영역 (300) 에 있어서 분포하는 계조도 중 제 1 임계값보다 큰 계조도를 나타내는 영역의 면적과 제 3 임계값이 비교되어도 된다. 혹은 예를 들어 화상 데이터 (G2) 중 제외 영역 (30A, 30B) 의 면적에 상당하는 값이 제 3 임계값으로서 채용되고, 영역 (300) 에 있어서 분포하는 계조도 중 제 1 임계값보다 큰 계조도를 나타내는 영역의 면적과 제 3 임계값이 비교되어도 된다. 이들의 경우, 제 3 임계값은 예를 들어, 리프터 (20a) 나 지지편 (41) 의 설계값으로부터 미리 설정될 수 있다.
또한, 상기 각 실시형태 및 각종 변형예를 각각 구성하는 전부 또는 일부를, 적절히, 모순되지 않는 범위에서 조합 가능한 것은 말할 필요도 없다.
1 : 기판 처리 장치
9 : 제어부
20a, 20b : 리프터 (기판 유지 기구)
30 : 카메라
30A, 30B, 30C, 300 : 영역
40a, 40b : 승강기
102a, 104a : 처리조
Q : 린스액 (처리액)
W : 기판

Claims (7)

  1. 복수의 기판이 침지되어 상기 복수의 기판을 일괄적으로 처리하는 처리액을 저류하는 처리조 ;
    상기 복수의 기판을 일괄적으로 유지하는 기능을 갖는 기구인 기판 유지 기구 ;
    상기 기판 유지 기구를 상기 처리액에 침지시키는 기능과, 상기 기판 유지 기구를 상기 처리액으로부터 취출하는 기능을 갖는 기구인 승강기 ; 및
    상기 기판 유지 기구에 대해 상기 처리조와 반대측으로부터 상기 처리조의 내부 및 상기 기판 유지 기구를 촬상하여 화상 데이터를 생성하는 카메라
    를 포함하는 기판 처리 장치를 제어하는 방법으로서,
    상기 기판 유지 기구가 상기 복수의 기판을 유지하지 않는 상태에 있어서, 상기 카메라가 상기 기판 유지 기구 및 상기 내부를 촬상하여 제 1 상기 화상 데이터를 생성하는 제 1 공정과,
    상기 제 1 상기 화상 데이터가 나타내는 제 1 영역에 있어서, 적어도 상기 기판 유지 기구가 촬상된 영역인 제 2 영역을 특정하는 제 2 공정과,
    상기 제 1 영역이며 상기 제 2 영역 이외의 제 3 영역에 있어서 분포하는, 상기 제 1 상기 화상 데이터의 계조도를, 상기 계조도의 임계값과 비교하는 제 3 공정을 구비하는, 기판 처리 장치의 제어 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 공정에 있어서, 상기 제 1 영역에 있어서 상기 기판 유지 기구의 그림자가 촬상된 제 4 영역이 특정되고,
    상기 제 3 공정에 있어서, 상기 제 3 영역은 상기 제 1 영역으로부터 상기 제 2 영역 및 상기 제 4 영역을 제외하여 얻어지는, 기판 처리 장치의 제어 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 영역은, 상기 제 1 영역에 있어서 상기 승강기의 적어도 일부가 촬상된 영역을 포함하는, 기판 처리 장치의 제어 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 공정에 있어서, 상기 제 1 영역에 있어서 상기 승강기의 상기 적어도 일부의 그림자가 촬상된 제 4 영역이 특정되고,
    상기 제 3 공정에 있어서, 상기 제 3 영역은 상기 제 1 영역으로부터 상기 제 2 영역 및 상기 제 4 영역을 제외하여 얻어지는, 기판 처리 장치의 제어 방법.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 공정은 상기 처리조로부터 상기 처리액이 배출된 상태에서 실행되는, 기판 처리 장치의 제어 방법.
  6. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 공정은 상기 처리조에 상기 처리액이 저류된 상태에서 실행되고,
    상기 제 1 상기 화상 데이터는, 상이한 시각에 있어서 상기 내부를 촬상하여 생성되는 복수의 제 2 상기 화상 데이터를 사용한 시간적인 평활화에 의해 얻어지는, 기판 처리 장치의 제어 방법.
  7. 복수의 기판이 침지되어 상기 복수의 기판을 일괄적으로 처리하는 처리액을 저류하는 처리조 ;
    상기 복수의 기판을 일괄적으로 유지하는 기능을 갖는 기구인 기판 유지 기구 ;
    상기 기판 유지 기구를 상기 처리액에 침지시키는 기능과, 상기 기판 유지 기구를 상기 처리액으로부터 취출하는 기능을 갖는 기구인 승강기 ;
    상기 기판 유지 기구에 대해 상기 처리조와 반대측으로부터 상기 처리조의 내부 및 상기 기판 유지 기구를 촬상하여 화상 데이터를 생성하는 카메라 ; 및
    제어부를 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 기판 유지 기구가 상기 복수의 기판을 유지하지 않는 상태에 있어서, 상기 카메라가 상기 기판 유지 기구 및 상기 내부를 촬상하여 제 1 상기 화상 데이터를 생성하고,
    상기 제 1 상기 화상 데이터가 나타내는 제 1 영역에 있어서, 상기 기판 유지 기구가 촬상된 영역인 제 2 영역을 특정하고,
    상기 제 1 영역으로부터 상기 제 2 영역을 제외하여 얻어지는 제 3 영역에 있어서의 상기 제 1 상기 화상 데이터의 계조도를, 상기 계조도의 임계값과 비교하는, 기판 처리 장치.
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