KR20220145543A - 기판 분리 장치 - Google Patents

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KR20220145543A
KR20220145543A KR1020210052234A KR20210052234A KR20220145543A KR 20220145543 A KR20220145543 A KR 20220145543A KR 1020210052234 A KR1020210052234 A KR 1020210052234A KR 20210052234 A KR20210052234 A KR 20210052234A KR 20220145543 A KR20220145543 A KR 20220145543A
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이종규
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(주)샘테크
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Abstract

본 발명은 캐리어지그에 부착된 기판을 분리하는 기판 분리 장치에 있어서, 본체부, 본체부의 상부에 구비되고 캐리어지그가 안착되며, 상면에 캐리어지그에 형성된 복수의 관통공에 대응하게 삽입되는 복수의 가압돌기가 형성된 지그 지지부, 본체부에서 지그 지지부를 승강시키는 승강부재 및 본체부에 구비되고, 승강하는 지그 지지부에 안착된 캐리어지그가 일정 높이 이상 상승되는 것을 제한하는 스토퍼부재를 포함하고, 승강부재에 의해 캐리어부재가 안착된 지그 지지부가 상승되면, 스토퍼부재에 의해 캐리어지그의 상승이 정지되고, 상승되는 지그 지지부의 가압돌기가 캐리어지그의 관통공을 통해 돌출되면서, 캐리어지그에 부착된 기판을 가압하여 분리시키는 기판 분리 장치를 제공한다.

Description

기판 분리 장치{AN APPARATUS FOR SEPARARING CIRCUIT BOARD}
본 발명은 기판 분리 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 캐리어지그에 부착된 기판을 안정적으로 분리할 수 있는 기판 분리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 연성회로기판(FPCB, Flexible Printed Circuit Board)은 유연성 재질의 필름에 회로를 형성하고 전자소자를 실장한 구조로서, 휴대 단말기, 노트북 및 디지털 카메라 등의 다양한 전자기기에 적용되고 있다.
이러한 연성회로기판은 물성 자체가 유연하고 원상 유지력을 보유하지 못하는 바, 칩부품 등과 같은 전자소자를 연성회로기판에 표면실장하기 위해서는 표면실장 공정 진행시 연성회로기판을 평평하게 지지할 수 있는 구조가 필요하다.
이에 따라, 연성회로기판에 칩부품을 실장하는 표면실장장치로 연성회로기판를 공급함에 있어서는, 통상 복수의 연성회로기판을 캐리어지그의 일정 위치에 정렬하여 정확하게 부착한 다음, 그 캐리어지그를 표면실장장치에 공급하여 표면실장 공정을 수행하게 된다.
또한, 표면실장 공정 후에는 캐리어지그에 부착된 연성회로기판을 분리하는 작업이 필요하다.
그런데, 종래에는 캐리어지그 부착된 복수의 연성회로기판을 작업자가 일일이 수작업으로 분리하였으며, 이에 따라 분리 과정에서 내구성이 약한 연성회로기판의 훼손, 오염 및 불량 등이 빈번하게 발생하여 제품 신뢰성이 떨어지는 문제가 있었다.
등록특허 제10-1355151호(등록일: 2014.01.17) "PCB소자 분리용 컷팅지그"
본 발명에서는 기판 분리 장치, 구체적으로는 자동 제어를 통해 캐리어지그에 부착된 기판을 균일하게 가압하여 안정적으로 분리할 수 있는 기판 분리 장치를 제공하고자 한다.
본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 캐리어지그에 부착된 기판을 분리하는 기판 분리 장치에 있어서, 본체부, 본체부의 상부에 구비되고 캐리어지그가 안착되며, 상면에 캐리어지그에 형성된 복수의 관통공에 대응하게 삽입되는 복수의 가압돌기가 형성된 지그 지지부, 본체부에서 지그 지지부를 승강시키는 승강부재 및 본체부에 구비되고, 승강하는 지그 지지부에 안착된 캐리어지그가 일정 높이 이상 상승되는 것을 제한하는 스토퍼부재를 포함하고, 승강부재에 의해 캐리어부재가 안착된 지그 지지부가 상승되면, 스토퍼부재에 의해 캐리어지그의 상승이 정지되고, 상승되는 지그 지지부의 가압돌기가 캐리어지그의 관통공을 통해 돌출되면서, 캐리어지그에 부착된 기판을 가압하여 분리시키는 기판 분리 장치를 제공한다.
또한, 본체부의 상부에 구비되어, 캐리어지그를 향하여 정전기 제거를 위한 이온을 공급하는 이온발생부를 더 포함하는 기판 분리 장치를 제공한다.
또한, 스토퍼부재는, 본체부에서 지그 지지부를 사이에 두고 양측에 구비되어, 지그 지지부에 안착된 상태로 상승되는 캐리어지그의 양측면부를 걸어 정지시키는 제1 스토퍼와 제2 스토퍼를 포함하는 기판 분리 장치를 제공한다.
또한, 스토퍼부재는, 본체부에 구비되고, 실린더를 통해 제1 스토퍼를 캐리어지그를 걸어 정지시킬 수 있는 위치로 이동시키거나, 그 반대방향으로 퇴피시키는 스토퍼 구동부 및 제1 스토퍼가 정렬된 상태로 이동하도록 가이드하는 스토퍼 정렬부를 더 포함하는 기판 분리 장치를 제공한다.
또한, 스토퍼 정렬부는, 제1 스토퍼의 하부에 수평하게 결합되고, 본체부의 내측에 배치되는 가이드편 및 본체부 내측에서 구비되고, 제1 스토퍼를 따라 이동하는 가이드편이 대응하게 삽입되어, 실린더의 로드에 결합된 제1 스토퍼의 틀어짐 또는 회전을 억제하는 정렬가이드를 포함하는 기판 분리 장치를 제공한다.
또한, 기 설정된 제어에 따라 스토퍼부재, 이온발생부 및 승강부재를 동작시키는 제어부를 더 포함하여, 지그 지지부에 캐리어지그가 안착되면, 제어부의 제어에 따라, 본체부에서 스토퍼부재가 캐리어지그를 정지시킬 수 있는 위치로 이동하고, 이온발생부에서 캐리어지그를 향하여 이온을 공급하며, 승강부재가 지그지지부를 상승시킴으로써, 정전기 제거와 동시에 캐리어지그에 부착된 기판을 분리시키는 기판 분리 장치를 제공한다.
또한, 지그 지지부에 안착된 캐리어지그를 감지하는 감지센서를 더 포함하고, 제어부는 감지센서로부터 감지신호를 전송받으면, 기 설정된 제어에 따라 스토퍼부재, 이온발생부 및 승강부재를 동작시키는 기판 분리 장치를 제공한다.
또한, 가압돌기는, 높이가 캐리어지그의 두께에 비해 높게 형성되고, 기판을 가압하는 끝단이 평평하게 형성되는 기판 분리 장치를 제공한다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 분리 장치는, 간단한 구성으로 이루어져, 일련의 제어를 통해 캐리어지그에 부착된 기판을 균일한 힘으로 가압하여 안정적으로 분리할 수 있고, 기판 분리 과정이 자동으로 진행됨에 따라 작업 효율이 증대될 수 있으며, 기판의 훼손, 오염 및 불량 등을 억제하여 제품 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 캐리어지그로 이온을 공급하여, 기판 분리 과정에서 발생되는 정전기를 제거함으로써 정전기로 인한 기판의 훼손을 방지할 수 있다.
본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치의 외관을 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치에 캐리어지그가 안착된 상태를 도시한 것이다.
도 3 및 도 4는 일 실시예에 따른 기판 분리 장치의 내부 구조를 보여주기 위한 단면도를 도시한 것이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치의 동작 상태를 도시한 것이다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
첨부된 도면과 함께 이하에 개시될 상세한 설명은 본 발명의 예시적인 실시형태를 설명하고자 하는 것이며, 본 발명이 실시될 수 있는 유일한 실시형태를 나타내고자 하는 것이 아니다.
도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략할 수 있고, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, “또는”, “적어도 하나” 등의 표현은 함께 나열된 단어들 중 하나를 나타내거나, 또는 둘 이상의 조합을 나타낼 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)의 외관을 도시한 것이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)에 캐리어지그(10)가 안착된 상태를 도시한 것이며, 도 3 및 도 4는 일 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)의 내부 구조를 보여주기 위한 단면도를 도시한 것이다.
본 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)는, 간단한 구성으로 이루어져, 캐리어지그(10)에 부착된 기판(20)을 균일한 힘으로 안정적으로 분리할 수 있고, 분리 과정이 자동으로 진행됨에 따라 작업 효율이 증대될 수 있으며, 기판(20)의 훼손, 오염 및 불량 등을 억제하여 제품 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)는, 본체부(110), 지그 지지부(120), 승강부재(130), 스토퍼부재(140) 및 제어부(미도시)를 포함할 수 있다.
본체부(110)는 내부가 빈 케이스 형태로 형성되어 기판 분리 장치(100)의 외관을 형성하며, 일 예로써 본 실시예에서는 사각의 함체 형태로 형성된 것을 보여주고 있다.
또한, 본체부(110)의 상부에는 지그 지지부(120)가 설치될 수 있고, 내부에는 지그 지지부(120)를 승강시키는 승강부재(130)가 설치될 수 있다.
이때, 본체부(110)에는 승강부재(130)에 의해 승강하는 지그 지지부(120)가 본체부(110)의 상면을 통과할 수 있도록 상면에 개구부(111)가 형성될 수 있다.
이에 따라, 본체부(110) 상면의 개구부(111)를 통과하여 지그 지지부(120)가 본체부(110)의 내측으로 하강하거나 본체부(110) 위로 상승할 수 있다.
또한, 본체부(110)의 일측에는 기판 분리 장치(100)를 동작시키기 위한 스위치부(112)가 구비될 수 있다.
지그 지지부(120)는 본체부(110)의 상부에 구비되고, 상면에 캐리어지그(10)가 대응하게 안착되도록 판체 형태로 형성될 수 있다.
여기서, 캐리어지그(10)는 표면실장장치로부터 연성회로기판 등의 기판(20)이 부착된 상태로 공급될 수 있고, 이러한 캐리어지그(10)를 지그 지지부(120)에 안착시킬 수 있다.
즉, 연성회로기판과 같이 두께가 얇고 유연한 기판(20)의 경우, 표면실장 공정 진행시 해당 기판(20)을 평평하게 지지할 수 있는 구조가 필요한데, 단단한 재질의 캐리어지그(10)에 실리콘 테이프(30) 등을 이용하여 복수의 기판(20)을 부착한 다음 표면실정 공정을 수행하였으며, 이에 따라 표면실장 공정 후에는 캐리어지그(10)에 부착된 기판(20)을 분리하는 작업이 필요하다.
더불어, 판체 형태로 형성된 캐리어지그(10)에는 표면실장 공정에서 이용되는 복수의 관통공(11)이 형성되어 있고, 복수의 관통공(11)이 형성된 캐리어지그(10)의 상면에 복수의 기판(20)이 정렬되어 부착되어 있다.
지그 지지부(120)의 상면에는 캐리어지그(10)에 형성된 복수의 관통공(11)과 대응하는 복수의 가압돌기(121)가 돌출 형성될 수 있다.
이에 따라, 지그 지지부(120)의 상면에 캐리어지그(10)를 안착시킬 때, 지그 지지부(120)의 상면에 돌출된 복수의 가압돌기(121)가, 캐리어지그(10)에 형성된 복수의 관통공(11)에 대응하게 삽입될 수 있으며, 캐리어지그(10)가 지그 지지부(120)의 정위치에 고정될 수 있다.
이때, 지그 지지부(120)의 상면에서 돌출된 가압돌기(121)의 높이는 캐리어지그(10)의 두께에 비해 높게 형성될 수 있고, 가압돌기(121)의 끝단은 평평하게 형성될 수 있다.
이와 같은 지그 지지부(120)는 본체부(110)의 상면에 형성된 개구부(111)에 배치될 수 있고, 승강부재(130)에 의해 승강할 수 있다.
승강부재(130)는 본체부(110)의 내부에 구비되고, 지그 지지부(120)의 하부에 연결되어 지그 지지부(120)를 승강시키도록 동작할 수 있다.
이러한 승강부재(130)는 공압실린더 또는 유압실린더 등으로 이루어지는 수직실린더(131)를 구비하여, 수직실린더(131)를 통해 지그 지지부(120)를 승강시킬 수 있다.
구체적으로, 본 실시예의 승강부재(130)는, 본체부(110)로부터 지그 지지부(120)를 승강시키는 수직실린더(131)와, 지그 지지부(120)의 승강을 가이드하는 승강가이드부(132)를 포함할 수 있다.
여기서, 수직실린더(131)를 구성하는 실린더몸체는 본체부(110)의 내측에 고정될 수 있고, 실린더몸체로부터 수직하게 연장되는 실린더로드(131a)는 지그 지지부(120)의 하부 중앙에 결합될 수 있다.
또한, 승강가이드부(132)는 한 쌍으로 구비되어 수직실린더(131)의 양측에 나란히 수직하게 배치될 수 있는데, 각각의 승강가이드부(132)는 본체부(110)의 내측에 고정되는 가이드몸체(133)와, 가이드몸체(133)에 승강 가능하게 구비되고 지그 지지부(120)의 하부에 결합되는 가이드로드(134)를 포함할 수 있다.
이와 같은 한 쌍의 승강가이드부(132)는 실린더몸체에서 실린더로드(131a)가 승강하여 지그 지지부(120)를 들어올리거나 내릴 때, 실린더로드(131a)를 따라 한 쌍의 가이드로드(134)가 동시에 승강하며 지그 지지부(120)의 하부 양측을 지지함으로써, 지그 지지부(120)가 틀어지거나 기울지 않고 수평을 유지하며 정자세로 승강하도록 가이드할 수 있다.
스토퍼부재(140)는 본체부(110)에 구비되어, 승강하는 지그 지지부(120)에 안착된 캐리어지그(10)가 일정 높이 이상 상승되는 것을 제한할 수 있다.
구체적으로, 스토퍼부재(140)는 본체부(110)의 상면 양측에 각각 구비되어, 지그 지지부(120)에 안착되어 승강부재(130)에 의해 상승되는 캐리어지그(10)의 양측을 걸어 정지시키는 제1 및 제2 스토퍼(141,142)를 포함할 수 있다.
여기서, 제1 스토퍼(141)와 제2 스토퍼(142)는 본체부(110) 상면에서 지그 지지부(120)를 사이에 두고 양측에 구비될 수 있는데, 제1 스토퍼(141)는 "┌" 형태의 걸림턱이 형성되고, 제2 스토퍼(142)는 "┐" 형태의 걸림턱이 형성되어, 지그 지지부(120)에 안착된 상태로 상승되는 캐리어지그(10)의 양측면부를 걸림턱을 통해 걸어 정지시킬 수 있다.
이에 따라, 본 실시예의 기판 분리 장치(100)는, 승강부재(130)에 의해 캐리어부재가 안착된 지그 지지부(120)가 상승되면, 스토퍼부재(140)의 제1 및 제2 스토퍼(141,142)에 의해 캐리어지그(10)의 상승이 정지되고, 상승되는 지그 지지부(120)의 가압돌기(121)가 캐리어지그(10)의 관통공(11)을 통해 돌출되면서, 캐리어지그(10)에 부착된 기판(20)을 가압하여 분리시킬 수 있다.
이때, 지그 지지부(120)의 상면에서 돌출된 복수의 가압돌기(121)는 상단이 평평하게 형성되어 있어, 복수의 가압돌기(121)를 통해 캐리어지그(10)에 부착된 각 기판(20)들을 균일한 가압력으로 분리시킬 수 있다.
또한, 도 4를 참조하면, 스토퍼부재(140)는 제1 스토퍼(141)와 제2 스토퍼(142) 중 적어도 하나를 지그 지지부(120) 쪽으로 소정 간격 전진시키거나 또는 그 반대방향으로 퇴피시키는 스토퍼 구동부(143)를 더 포함할 수 있다.
즉, 지그 지지부(120)의 상면에 캐리어지그(10)를 안착시킬 때에는, 한 쌍의 스토퍼(141,142) 중에 적어도 한 쪽을 지그 지지부(120)에서 퇴피시켜야 지그 지지부(120)에 캐리어지그(10)를 간섭 없이 용이하게 안착시킬 수 있으며, 지그 지지부(120)에 캐리어지그(10)가 안착된 후에는 퇴피된 스토퍼(141)를 소정 간격 전진시킴으로써, 한 쌍의 스토퍼(141,142)를 통해, 승강하는 지그 지지부(120)에 안착된 캐리어지그(10)가 일정 높이 이상 상승되는 것을 제한할 수 있다.
일 예로써, 본 실시예에서는 스토퍼 구동부(143)를 통해 제1 스토퍼(141)를 동작시킬 수 있다.
이때, 본 실시예의 스토퍼 구동부(143)는, 본체부(110)의 내측에 구비되고 제1 스토퍼(141)와 연결되어 제1 스토퍼(141)를 전후진시키는 수평실린더(143)로 이루어질 수 있다.
또한, 스토퍼부재(140)는 제1 스토퍼(141)가 정렬된 상태로 전후진하도록 가이드하는 스토퍼 정렬부(150)를 포함할 수 있다.
여기서, 스토퍼 정렬부(150)는 제1 스토퍼(141)의 하부에 수평하게 결합되고 본체부(110)의 내측에 배치되는 가이드편(151)과, 본체부(110) 내측에서 구비되어 제1 스토퍼(141)를 따라 전후진하는 가이드편(151)이 대응하게 삽입되는 정렬가이드(152)를 포함할 수 있다.
이와 같은 스토퍼 정렬부(150)는, 수평실린더(143)의 실린더로드(143a)를 통해 제1 스토퍼(141)를 지그 지지부(120) 쪽으로 전진시키거나 그 반대방향으로 퇴피시킬 때, 제1 스토퍼(141)의 하부에 수평하게 구비된 가이드편(151)이 정렬가이드(152)에 삽입되어, 제1 스토퍼(141)가 실린더로드(131a)에 의해 틀어지거나 회전하게 되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)는, 본체부(110)의 상부에 구비되어 지그 지지부(120)에 안착된 캐리어지그(10)를 향하여 이온을 공급하여 정전기를 제거하는 이온발생부(160)를 더 포함할 수 있다.
즉, 캐리어지그(10)에 부착된 기판(20)을 분리하는 과정에서 정전기가 발생될 수 있는데, 정전기 발생 시 기판(20)이 훼손될 수 있으므로, 본체부(110)에 구비된 이온발생부(160)를 이용하여 정전기를 제거할 수 있다.
구체적으로, 이온발생부(160)는 이오나이저 등으로 이루어질 수 있고, 지지대에 의해 본체부(110)에 상면으로부터 이격되어 배치될 수 있다.
또한, 이온발생부(160)를 지지하는 지지대에는 각도조절부(161)가 구비되어, 각도조절부(161)를 통해 이온발생부(160)의 이온 조사 방향을 조절할 수 있다.
이와 같은 이온발생부(160)는 스위치 조작에 따라 동작하거나 또는 후술되는 제어부(미도시)의 제어에 따라 동작할 수 있다.
한편, 제어부(미도시)는 본체부(110)에 구비되고, 지그 지지부(120)에 안착된 캐리어지그(10)에서 기판(20)을 분리시키도록 기 설정된 제어에 따라 승강부재(130), 스토퍼부재(140) 및 이온발생부(160)를 동작시킬 수 있다.
즉, 복수의 기판(20)이 부착된 캐리어지그(10)를 지그 지지부(120)에 안착시킨 후, 본체부(110)에 구비된 스위치부(112)를 통해 기판 분리 장치(100)를 동작시키면, 제어부(미도시)의 제어에 따라, 스토퍼부재(140), 승강부재(130) 및 이온발생부(160)가 동작하여, 캐리어지그(10)에서 복수의 기판(20)을 균일한 힘으로 안정적으로 분리할 수 있고, 기판 분리 과정에서 발생되는 정전기를 제거하여 정전기로 인한 기판(20)의 훼손을 방지할 수 있다.
이때, 지그 지지부(120)에 감지센서(미도시)를 구비하여, 감지센서(미도시)에 의해 지그 지지부(120)에 캐리어지그(10)가 안착되는 것이 감지되면, 감지신호에 따라 제어부(미도시)가 스토퍼부재(140), 승강부재(130) 및 이온발생부(160)의 동작을 제어할 수도 있다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)의 동작 상태를 도시한 것이다.
도 5를 참조하면, 본체부(110)에서 지그 지지부(120)를 사이에 두고 배치되는 제1 스토퍼(141)와 제2 스토퍼(142) 중에, 제1 스토퍼(141)는 스토퍼 구동부(143, 도 4 참조)에 의해 지그 지지부(120)에서 퇴피된 상태로 배치될 수 있으며, 이에 따라 제1 스토퍼(141)와 제2 스토퍼(142) 사이를 통해 지그 지지부(120)에 캐리어지그(10)를 간섭 없이 용이하게 안착시킬 수 있다.
이때, 지그 지지부(120)에 캐리어지그(10)가 안착되면, 지그 지지부(120)의 상면에 돌출된 복수의 가압돌기(121)가, 캐리어지그(10)에 형성된 복수의 관통공(11, 도 3 및 도 4 참조)에 대응하게 삽입될 수 있으며, 캐리어지그(10)가 지그 지지부(120)의 정위치에 고정될 수 있다.
다음, 도 6을 참조하면, 기판 분리 장치(100)를 동작시키면, 제어부(미도시)의 제어에 따라, 스토퍼 구동부(143, 도 4 참조)가 제1 스토퍼(141)를 지그 지지부(120) 쪽으로 소정 간격 전진시킴으로써, 제1 스토퍼(141)와 제2 스토퍼(142)가 지그 지지부(120)에 안착된 캐리어지그(10)를 걸어 정지시킬 수 있는 상태가 될 수 있다.
더불어, 이온발생부(160)에서는 지그 지지부(120)에 안착된 캐리어지그(10)를 향하여 정전기 제거를 위한 이온을 공급할 수 있다.
또한, 승강부재(130)의 수직실린더(131)가 동작하여 캐리어부재가 안착된 지그 지지부(120)를 상승시킬 수 있으며, 이 과정에서 제1 및 제2 스토퍼(141,142)의 걸림턱이 상승되는 캐리어지그(10)의 양측면부를 걸어 캐리어지그(10)의 상승을 정지시킬 수 있다.
이어서, 도 7을 참조하면, 수직실린더(131, 도 4 참조)에 의해 상승되는 지그 지지부(120)의 가압돌기(121)가 정지된 캐리어지그(10)의 관통공(11)을 통해 돌출되면서, 균일한 힘으로 캐리어지그(10)의 상면에 부착된 기판(20)을 가압하여 분리시킬 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)는, 간단한 구성으로 이루어져, 일련의 제어를 통해 캐리어지그(10)에 부착된 기판(20)을 균일한 힘으로 가압하여 안정적으로 분리할 수 있고, 기판 분리 과정이 자동으로 진행됨에 따라 작업 효율이 증대될 수 있으며, 기판(20)의 훼손, 오염 및 불량 등을 억제하여 제품 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 캐리어지그(10)로 이온을 공급하여, 기판 분리 과정에서 발생되는 정전기를 제거함으로써 정전기로 인한 기판(20)의 훼손을 방지할 수 있다.
본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다.
따라서 본 발명의 범위는 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상을 바탕으로 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 캐리어지그 11 : 관통공
20 : 기판 100 : 기판 분리 장치
110 : 본체부 120 : 지그 지지부
121 : 가압돌기 130 : 승강부재
140 : 스토퍼부재 150 : 스토퍼 정렬부
160 : 이온발생부

Claims (8)

  1. 캐리어지그에 부착된 기판을 분리하는 기판 분리 장치에 있어서,
    본체부;
    상기 본체부의 상부에 구비되고 상기 캐리어지그가 안착되며, 상면에 상기 캐리어지그에 형성된 복수의 관통공에 대응하게 삽입되는 복수의 가압돌기가 형성된 지그 지지부;
    상기 본체부에서 상기 지그 지지부를 승강시키는 승강부재; 및
    상기 본체부에 구비되고, 승강하는 지그 지지부에 안착된 캐리어지그가 일정 높이 이상 상승되는 것을 제한하는 스토퍼부재를 포함하고,
    상기 승강부재에 의해 상기 캐리어부재가 안착된 지그 지지부가 상승되면, 상기 스토퍼부재에 의해 상기 캐리어지그의 상승이 정지되고, 상승되는 상기 지그 지지부의 가압돌기가 상기 캐리어지그의 관통공을 통해 돌출되면서, 상기 캐리어지그에 부착된 기판을 가압하여 분리시키는 기판 분리 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 본체부의 상부에 구비되어, 상기 캐리어지그를 향하여 정전기 제거를 위한 이온을 공급하는 이온발생부를 더 포함하는 기판 분리 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 스토퍼부재는,
    상기 본체부에서 상기 지그 지지부를 사이에 두고 양측에 구비되어, 상기 지그 지지부에 안착된 상태로 상승되는 캐리어지그의 양측면부를 걸어 정지시키는 제1 스토퍼와 제2 스토퍼를 포함하는 기판 분리 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 스토퍼부재는,
    상기 본체부에 구비되고, 실린더를 통해 상기 제1 스토퍼를 상기 캐리어지그를 걸어 정지시킬 수 있는 위치로 이동시키거나, 그 반대방향으로 퇴피시키는 스토퍼 구동부; 및
    상기 제1 스토퍼가 정렬된 상태로 이동하도록 가이드하는 스토퍼 정렬부를 더 포함하는 기판 분리 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 스토퍼 정렬부는,
    상기 제1 스토퍼의 하부에 수평하게 결합되고, 상기 본체부의 내측에 배치되는 가이드편; 및
    상기 본체부 내측에서 구비되고, 상기 제1 스토퍼를 따라 이동하는 상기 가이드편이 대응하게 삽입되어, 상기 실린더의 로드에 결합된 상기 제1 스토퍼의 틀어짐 또는 회전을 억제하는 정렬가이드를 포함하는 기판 분리 장치.
  6. 제 2항에 있어서,
    기 설정된 제어에 따라 상기 스토퍼부재, 상기 이온발생부 및 상기 승강부재를 동작시키는 제어부를 더 포함하여,
    상기 지그 지지부에 상기 캐리어지그가 안착되면, 상기 제어부의 제어에 따라, 상기 본체부에서 상기 스토퍼부재가 상기 캐리어지그를 정지시킬 수 있는 위치로 이동하고, 상기 이온발생부에서 상기 캐리어지그를 향하여 이온을 공급하며, 상기 승강부재가 지그지지부를 상승시킴으로써, 정전기 제거와 동시에 상기 캐리어지그에 부착된 기판을 분리시키는 기판 분리 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 지그 지지부에 안착된 캐리어지그를 감지하는 감지센서를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 감지센서로부터 감지신호를 전송받으면, 기 설정된 제어에 따라 상기 스토퍼부재, 상기 이온발생부 및 상기 승강부재를 동작시키는 기판 분리 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 가압돌기는,
    높이가 캐리어지그의 두께에 비해 높게 형성되고, 상기 기판을 가압하는 끝단이 평평하게 형성되는 기판 분리 장치.
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