JP4830791B2 - スクリーン印刷装置 - Google Patents

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Description

本発明は、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷装置に関するものである。
電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、このマスクプレート上にペーストを供給した状態でスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷するものである。
スキージをマスクプレートで摺動させるスキージング動作においては、金属の薄板で製作されたマスクプレートにエラストマなどの絶縁体より成るスキージを摩擦させることにより静電気が発生する。そしてこの静電気がスキージに帯電したまま印刷動作を継続すると、印刷対象の基板に既に電子部品が実装されている場合にはこれらの電子部品を電気的に破損させる不具合を生じる場合がある。このため、スクリーン印刷装置においては従来よりスキージを接地線により電気的に接地して、スキージの帯電を防止するようにしている(例えば特許文献1参照)。
特開昭61−225054号公報
ところで近年電子部品が実装される基板の種類、すなわち材質や厚みなどによって、スキージングによってペーストを基板に印刷する際の印刷条件が精細化しており、スキージをマスクプレートに均一に密着させる必要が生じている。このため、スキージを保持するスキージヘッドの構成において、スキージング方向の軸線廻りの回動を許容するフローティング構造が用いられるようになっている。
このようなフローティング方式ではスキージは軸支持機構に用いられるベアリングを介して保持されるため、スキージはスキージヘッドにおいて電気的に接地された装置本体とは電気的に非導通の状態となっている。このため、スキージの帯電を防止しようとすれば、スキージ自体に接地配線を接続する必要がある。ところがスキージまで接地配線を導設すると、スキージ廻りのメンテナンス時などの作業において接地線が障害になり作業性を阻害するという不都合が生じる。このように、従来のスクリーン印刷装置においては、フローティング構造を採用した場合には、スキージへ帯電を作業性を損なうことなく防止する帯電防止構造を実現することが困難であるという問題点があった。
そこで本発明は、フローティング構造を採用した場合において、スキージの帯電を作業性を損なうことなく防止することができるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。
本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、ペーストが供給された前記マスクプレート上で板状のスキージ部材を摺動させることにより、パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記スキージ部材をスキージホルダに保持させて成るスキージユニットと、前記スキージユニットが着脱自在に装着される装着部と、スキージ昇降機構によって昇降し電気的に接地された昇降部と、前記装着部を前記スキージ部材の摺動方向の軸線廻りの回動が許容された状態で前記昇降部に電気的に絶縁した状態で支持させる軸支持部と、前記軸支持部の両側方に上下に伸縮自在に設けられ前記装着部の上面と前記昇降部の下面とに接触することにより前記スキージ部材を前記装着部を介して前記昇降部と導通させる導通部とを備え、前記軸支持部は前記昇降部と前記装着部とを電気的に絶縁した状態とする構造である
本発明によれば、スキージユニットが着脱自在に装着される装着部を、スキージ昇降機構によって昇降し電気的に接地された昇降部に、軸支持部によって回動が許容された状態で支持させるフローティング構造において、軸支持部の両側方に上下に伸縮自在に設けられた導通部を配置して、装着部の上面と昇降部の下面とに導通部を接触させる構成とすることにより、スキージ部材を常に接地部に導通させることができ、フローティング構造を採用した場合においてスキージ部材の帯電を作業性を損なうことなく防止することができる。
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図、図2は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図、図3、図4は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図、図5は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置における印刷動作の説明図、図6は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージヘッドにおけるスキージユニットの装着構造の説明図、図7は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージヘッドの部分断面図、図8は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージヘッドの動作説明図である。
まず図1、図2、図3、図4を参照して、スクリーン印刷装置の構造を説明する。図1において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部1の上方にスクリーン印刷機構を配設して構成されている。基板位置決め部1は、Y軸テーブル2、X軸テーブル3およびθ軸テーブル4を段積みし、更にその上に第1のZ軸テーブル5、第2のZ軸テーブル6を組み合わせて構成されている。
第1のZ軸テーブル5の構成を説明する。θ軸テーブル4の上面に設けられた水平なベースプレート4aの上面側には、同様に水平なベースプレート5aが昇降ガイド機構(図示省略)によって昇降自在に保持されている。ベースプレート5aは、複数の送りねじ5cをモータ5bによってベルト5dを介して回転駆動する構成のZ軸昇降機構によって昇降する。
ベースプレート5aには垂直フレーム5eが立設されており、垂直フレーム5eの上端部には基板搬送機構8が保持されている。基板搬送機構8は基板搬送方向(X方向−−図1において紙面垂直方向)に平行に配設された2条の搬送レールを備えており、これらの搬送レールによって印刷対象の基板10の両端部を支持して搬送する。第1のZ軸テーブル5を駆動することにより、基板搬送機構8によって保持された状態の基板10を、搬送レール8とともに後述するスクリーン印刷機構に対して昇降させることができる。図2、図3に示すように、基板搬送機構8は上流側(図2、図3において左側)および下流側に延出し、上流側から搬入された基板10は基板搬送機構8によって搬送され、さらに基板位置決め部1によって位置決めされる。そして後述するスクリーン印刷機構によって印刷が行われた後の基板10は、搬送レール8によって下流側に搬出される。
第2のZ軸テーブル6の構成を説明する。基板搬送機構8とベースプレート5aの中間には、水平なベースプレート6aが昇降ガイド機構(図示省略)に沿って昇降自在に配設されている。ベースプレート6aは、複数の送りねじ6cをモータ6bによってベルト6dを介して回転駆動する構成のZ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート6aの上
面には、上面に基板10を保持する下受け面が設けられた基板下受部7が配設されている。
第2のZ軸テーブル6を駆動することにより、基板下受部7は基板搬送機構8に保持された状態の基板10に対して昇降する。そして基板下受部7の下受け面が基板10の下面に当接することにより、基板下受部7は基板10を下面側から支持する。基板搬送機構8の上面にはクランプ機構9が配設されている。クランプ機構9は、左右対向して配置された2つのクランプ部材9aを備えており、一方側のクランプ部材9aを駆動機構9bによって進退させることにより、基板10を両側からクランプして固定する(図4も参照)。
次に基板位置決め部1の上方に配設されたスクリーン印刷機構について説明する。図1,図2において、マスクホルダ(図示省略)によって保持されたマスク枠11にはマスクプレート12が展張されており、マスクプレート12には、基板10において印刷対象となる電極10aの形状・位置(図3参照)に対応して、パターン孔12aが設けられている。マスクプレート12上には、スキージ駆動機構13が配設されている。スキージ駆動機構13は、水平なプレート14に対向配置された1対のスキージヘッド16A,16Bをそれぞれ昇降させる2つのスキージ昇降機構15を配設した構成となっており、各スキージ昇降機構15の昇降軸15aに結合されたスキージヘッド16A、16Bには、それぞれ板状のスキージ部材17が保持されている。
スキージ昇降機構15を駆動することによりスキージヘッド16A、16Bはそれぞれ個別に昇降し、これによりスキージ部材17がマスクプレート12の上面に当接する。プレート14の下面に固着されたナット20にはスキージ移動モータ19により回転駆動される送りねじ18が螺合しており、スキージ移動モータ19を駆動することにより、スキージヘッド16A,16Bはプレート14とともにY方向に水平移動する(図2も参照)。
図2に示すように、縦フレーム25上に配置されたブラケット26上にはガイドレール27がY方向に配設されており、ガイドレール27にスライド自在に嵌合したスライダ28は、プレート14の両端に結合されている。これにより、スキージ駆動機構13はY方向にスライド自在となっている。プレート14は、ナット20、送りねじ18および送りねじ18を回転駆動するスキージ移動モータ19(図1参照)より成るスキージ移動手段によりY方向に水平移動する。
図2において縦フレーム25上にはガイドレール30がY方向に配設されており、ガイドレール30にスライド自在に嵌合したスライダ31は、ヘッドX軸テーブル24にブラケット24aを介して結合されている。これにより、ヘッドX軸テーブル24はY方向にスライド自在となっている。ヘッドX軸テーブル24は、ナット33、送りねじ32および送りねじ32を回転駆動するヘッド移動用モータ(図示省略)より成るヘッドY軸移動機構23により、Y方向に水平移動する。
図2,図4に示すように、ヘッドX軸テーブル24には、カメラヘッドユニット21が装着されている。カメラヘッドユニット21は、基板10を上方から撮像するための基板認識カメラ21aと、マスクプレート12を下面側から撮像するためのマスク認識カメラ21bとを備えており、ヘッドY軸移動機構23、ヘッドX軸テーブル24を駆動してカメラヘッドユニット21を移動させることにより、基板10の認識とマスクプレート12の認識とを同時に行うことができる。カメラヘッドユニット21による基板10やマスクプレート12の認識を行わないときには、図1に示すように、カメラヘッドユニット21は基板位置決め部1の上方から側方に退避した位置にある。
次にスクリーン印刷機構による印刷動作について図5を参照して説明する。まず基板搬送機構8によって基板10が印刷位置に搬入されると、第2のZ軸テーブル6を駆動して基板下受部7を上昇させ、基板10の下面を下受けする。そしてこの状態で基板位置決め部1を駆動して基板10をマスクプレート12に対して位置合わせする。この後、第1のZ軸テーブル5を駆動して基板10を基板搬送機構8とともに上昇させてパターン孔12aが設けられたマスクプレート12の下面に当接させ、次いで基板10をクランプ機構9によってクランプする。これにより、スキージ駆動機構13によってスキージヘッド16A、16Bを移動させるスキージングにおいて、基板10の水平位置が固定される。
そしてこの状態で、当該スキージング動作におけるスキージング方向に対応してスキージヘッド16A、16Bのいずれかを下降させてスキージ部材17をマスクプレート12に当接させ、ペーストであるクリーム半田22が供給されたマスクプレート12上でスキージ部材17をスキージング方向(Y方向)に摺動させることにより、パターン孔12aを介して基板10にはクリーム半田が印刷される。
このスクリーン印刷動作においては、スキージ部材17がマスクプレート12上を摺動する際や、マスククリーニングの際の摩擦によって静電気が発生するが、マスクプレート12は周囲を絶縁体を介して保持されていることから、スクリーン印刷動作を反復して行うことによりスキージ部材17やマスクプレート12は静電気によって高電位に帯電する。
このようにマスクプレート12が帯電した状態のまま、スクリーン印刷動作が行われると、印刷対象の基板に既に電子部品が実装されている場合には、これらの電子部品にダメージを与え、また印刷対象の基板が未実装基板である場合には、これらの基板がマスクプレートから導電した電荷によって帯電した状態のまま後工程に送られ、ここで実装される電子部品に対してダメージを与えるおそれがある。そこで本実施の形態のスクリーン印刷装置では、以下に説明するスキージヘッド16A、16Bの構造において、スキージ部材17の接地部との導通を確保して、スキージ部材17やマスクプレート12に蓄積された静電気を確実に接地部へ逃がすようにしている。
図6,図7を参照して、スキージヘッド16A、16Bの構造を説明する。図6(a)に示すように、スキージヘッド16A、16Bは、スキージ昇降機構15の昇降軸15aに結合されて昇降する導電金属製の昇降部40に、同じく導電金属製の装着部41を軸支持部44を介して回動自在に支持させ、さらに装着部41にスキージユニット35を着脱自在に装着する構成となっている。昇降部40は、導電性の金属部や接地線を介して接地部と電気的に接続されており、静電気が帯電しないようになっている。すなわち、昇降部40はスキージ昇降機構15によって昇降し、電気的に接地された構成となっている。
スキージユニット35は、細長矩形の板状のスキージ部材17を、スキージホルダ36に保持させた構成となっている。スキージホルダ36は、スキージ部材17をスキージング方向に所定角度で傾斜した姿勢で保持可能なように略フ字断面形状となっており、スキージ部材17はスキージホルダ36と押さえ部材37との間に挟み込まれることによって固着される。スキージホルダ36の上面にはピン嵌合孔36bが形成された矩形ブロック状の嵌着部36aが2箇所に凸設されている。
装着部41の両端部には、嵌着部36aが嵌着する形状で装着部41を部分的に切り欠いた切欠き部41aが設けられており、切欠き部41aにはピン嵌合孔36bに嵌合する位置合わせピン41bが水平方向に植設されている。そして軸支持部44の両側方には、装着部41と昇降部40とを導通させるための導通部45が配置されており、さらに導通部45の両側方の切欠き部41aの上方には、スキージユニット35を装着した状態にお
いて嵌着部36aを係止するための抜止め機構42が設けられている。
スキージユニット35を装着部41に装着した状態では、図6(b)に示すように、スキージホルダ36の上面が装着部41の下面に当接して嵌着部36aが切欠き部41aに嵌着する。これとともに、ピン嵌合孔36bに位置合わせピン41bが嵌合し、これによりスキージホルダ36は装着部41に正しい姿勢で保持される。この状態では、スキージ部材17はスキージホルダ36、装着部41および導通部45を介して昇降部40に導通し、さらに接地部と導通する。
図7(a)、(b)、(c)は、図6(b)のA−A断面、B−B断面、C−C断面をそれぞれ示すものである。図7(a)は軸支持部44の構造を示している。昇降部40の両端部から下方に延出して設けられた2つのブラケット40aには、それぞれベアリング47が装着されている。また装着部41から上方に延出して設けられた凸部41cには、水平方向の軸線aを有する軸止ピン46が挿通しており、さらに軸止ピン46はベアリング47に嵌合してその両端部を止め輪48によって抜け止めされている。これにより、装着部41は昇降部40に対してY方向(スキージ部材17の摺動方向)に配置された軸止ピン46の軸線a廻りに回動自在となっている。すなわち軸支持部44は、装着部41を、スキージ部材17の摺動方向の軸線a廻りの回動が許容された状態で昇降部40に支持させる機能を有している。
この軸支持部44の構造において、ベアリング47には潤滑用のグリースが封入されているため、昇降部40は電気的に軸止ピン46と導通した状態にはならず、したがって昇降部40は装着部41と電気的に絶縁された状態にある。このため、スキージング動作においてスキージ部材17に発生した静電気は軸支持部44を介して昇降部40には流れず、このままではスキージ部材17が帯電状態となる。このようなスキージ部材17の帯電を防止するため、本実施の形態においては装着部41を昇降部40に確実に導通させることを目的として、以下に述べるような導通部45を設けるようにしている。
図7(b)は、導通部45の構造を示している。装着部41の上面には、垂直なストッパ軸49が植設されている。ストッパ軸49は装着部41が軸支持部44の軸止ピン46廻りの回動において回動角度を規制する機能を有している。すなわちストッパ軸49の頂部が昇降部40に当接しない範囲で、装着部41の軸支持部44廻りの回動が許容され、これによりマスクプレート12が水平面に対して幾分傾斜している場合においても、スキージ部材17をマスクプレート12の表面に追従させてスキージング動作における密着性を保つようになっている。
ストッパ軸49の外周には導電性の金属より成る導電バネ部材50が上下に装着されている。導電バネ部材50は圧縮バネであり、その伸張方向の付勢力により常に装着部41の上面41dと昇降部40の下面40bとに接触する。これにより導電バネ部材50は装着部41と昇降部40とを導通させ、さらにスキージ部材17を装着部41を介して昇降部40と導通させる。すなわち、導通部45に用いられる導電バネ部材50は、軸支点44の両側方に上下に伸縮自在に設けられ、装着部41の上面41dと昇降部40の下面40bとに接触することにより、スキー17ジを装着部41を介して昇降部40と導通させる。
図7(c)は、抜止め機構42の構造を示している。装着部41の上面には、前端部に鈎型の係止部51aが設けられた係止部材51が水平方向に配設されている。係止部材51は、装着部41の上面に立設されたガイドポスト52によって上下動自在にガイドされるとともに、ガイドポスト52の外周に装着されたバネ部材53によって常に下方に押しつけられている。係止部51aにはオーバーハング状のテーパ面51bが設けられており
、テーパ面51bに対して前面側(図において左側)から物体を当接させることにより、係止部51aはバネ部材53の付勢力に抗して上方に変位する。
この構成により、位置合わせピン41bをピン嵌合孔36bに嵌合させてスキージユニット35を装着部41に装着する際には、嵌着部36aは係止部51aの前面のテーパ面51bに摺接し、係止部51aを押し上げながら切欠き部41aに嵌着する。そしてこの嵌着動作が完了した状態では、図7(c)に示すように係止部51aが嵌着部36aの前面を係止した状態となる。すなわちスキージユニット35の装着部41への装着は、ワンタッチ動作によって行うことが可能となっている。そして嵌着部36aは位置合わせピン41bがピン嵌合孔36bに嵌合した装着状態から嵌脱することが無く、スキージユニット35は確実に装着部41に装着される。
次に図8を参照して、スキージングにおけるスキージヘッド16A、16Bの動作を説明する。図8(a)は、スキージ昇降機構15を駆動してスキージヘッド16A、16Bをマスクプレート12に対して下降させる状態を示してお、この下降動作により、図8(b)に示すように、スキージホルダ36に保持されたスキージ部材17がマスクプレート12の上面に当接する。このとき、マスクプレート12が正しく水平に装着されておらず、図8(c)のように、右下がりにα1度だけ傾斜しているような場合には、装着部41が軸支持部44廻りに回動することにより、スキージ部材17はマスクプレート12の上面の傾斜に倣って密着する。
また図8(d)のように、右下上がりにα2度だけ傾斜しているような場合にも同様に、装着部41が軸支持部44廻りに回動することにより、スキージ部材17はマスクプレート12の上面の傾斜に倣って密着する。そして図8(c)、図8(d)いずれの場合においても、導通部45では導電バネ部材50が伸縮することによって昇降部40と装着部41とに常に接触し、両者を導通させた状態を保つ。これにより、スキージ部材17をマスクプレート12に対して摺動させるスキージング動作において、摩擦によってスキージ部材17やマスクプレート12に発生した静電気は常に接地された昇降部40に流れる。したがって、スキージ部材17やマスクプレート12に電荷が蓄積することによる不具合が発生しない。
なお、図8(c)、図8(d)に示すようにマスクプレート12が傾斜した状態にある場合において、導通部45に伸縮性の導電バネ部材50を用いることにより、装着部材41に対して不勢力を作用させて、スキージ部材17のマスクプレート12の上面への追従性を向上させることができるという効果を得ることができる。
上記説明したように、本実施の形態に示すスクリーン印刷装置は、スキージユニット35が着脱自在に装着される装着部41を、スキージ昇降機構15によって昇降し電気的に接地された昇降部20に、軸支持部44によって回動が許容された状態で支持させるフローティング構造において、軸支持部44の両側方に上下に伸縮自在に設けられた導通部45を配置して、装着部41の上面と昇降部40の下面とに導通部を常に接触させる構成を採用している。これにより、スキージ部材17を常に接地部に導通させることができる。したがってスキージ部材17に専用の接地線を導設する必要がなく、フローティング構造を採用した場合においてスキージ部材17の帯電を作業性を損なうことなく防止することができる。
本発明のスクリーン印刷装置は、フローティング構造を採用した場合において、スキージの帯電を作業性を損なうことなく防止することができるという効果を有し、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する分野に有用である。
本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置における印刷動作の説明図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージヘッドにおけるスキージユニットの装着構造の説明図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージヘッドの部分断面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージヘッドの動作説明図
符号の説明
10 基板
12 マスクプレート
12a パターン孔
13 スキージ駆動機構
15 スキージ昇降機構
16A,16B スキージヘッド
17 スキージ部材
22 クリーム半田(ペースト)
35 スキージユニット
36 スキージホルダ
40 昇降部
41 装着部
42 抜止め機構
44 軸支持部
45 導通部
50 導電バネ部材

Claims (1)

  1. パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、ペーストが供給された前記マスクプレート上で板状のスキージ部材を摺動させることにより、パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、
    前記スキージ部材をスキージホルダに保持させて成るスキージユニットと、前記スキージユニットが着脱自在に装着される装着部と、スキージ昇降機構によって昇降し電気的に接地された昇降部と、前記装着部を前記スキージ部材の摺動方向の軸線廻りの回動が許容された状態で前記昇降部に電気的に絶縁した状態で支持させる軸支持部と、前記軸支持部の両側方に上下に伸縮自在に設けられ前記装着部の上面と前記昇降部の下面とに接触することにより前記スキージ部材を前記装着部を介して前記昇降部と導通させる導通部とを備え、前記軸支持部は前記昇降部と前記装着部とを電気的に絶縁した状態とする構造であることを特徴とするスクリーン印刷装置。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5630242B2 (ja) * 2010-11-30 2014-11-26 パナソニック株式会社 スクリーン印刷装置
JP7113306B2 (ja) * 2018-03-12 2022-08-05 パナソニックIpマネジメント株式会社 スクリーン印刷装置及びマスククリーナ

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5790832U (ja) * 1980-11-25 1982-06-04
JPS5885384U (ja) * 1981-12-07 1983-06-09 株式会社日立製作所 スクリ−ン印刷用スキ−ジホルダ−
JPS61188146A (ja) * 1985-02-18 1986-08-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd スクリ−ン印刷装置
JPS61224392A (ja) * 1985-03-29 1986-10-06 松下電器産業株式会社 導電性スキ−ジ
JPS61225054A (ja) * 1985-03-30 1986-10-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd スクリ−ン印刷装置
JPS63114650A (ja) * 1986-10-31 1988-05-19 Audio Technica Corp スクリ−ン印刷用スキ−ジ
JPH0642287B2 (ja) * 1987-08-17 1994-06-01 富士写真フイルム株式会社 磁気記録媒体の製造方法
JPH04147860A (ja) * 1990-10-11 1992-05-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd スキージ圧力均一印刷機
JPH04164645A (ja) * 1990-10-29 1992-06-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd スクリーン印刷用スキージ装置

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