KR20100054248A - 클립형 캐리어 보트의 클립 개폐 장치 - Google Patents
클립형 캐리어 보트의 클립 개폐 장치 Download PDFInfo
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- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
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Abstract
Description
Claims (6)
- 관통부를 구비하는 메인프레임;상기 메임프레임의 관통부에 고정 설치되고, 제1방향으로 형성된 장공(長孔) 형태의 다수의 제1가이드홀을 구비하는 베어링블록;상기 메인프레임의 상부에 설치되며, 마주보는 각 변이 서로 평행하고, 상기 각 변이 상기 제1방향과 다른 제2방향으로 형성된 제1플레이트와 제2플레이트;상기 메인프레임의 하부에 설치되며, 상기 제1방향 및 상기 제2방향과 다른 방향으로 형성되어 상기 다수의 제1가이드홀과 각각 교차하는 다수의 제2가이드홀을 구비하는 무빙플레이트;서로 교차하는 상기 제1가이드홀과 상기 제2가이드홀에 삽입되며, 적어도 하나가 상기 제1플레이트와 결합하고, 상기 제1플레이트에 결합된 것을 제외한 나머지 중에서 적어도 하나가 상기 제2플레이트와 결합하는 다수의 베어링;상기 무빙플레이트를 상기 제2방향을 따라 이동시키는 구동유닛;을 포함하는 클립형 캐리어보트의 클립 개폐 장치
- 제1항에 있어서,상기 베어링블록에 형성된 상기 다수의 제1가이드홀은 상기 제1플레이트의 하부에 위치하면서 상기 제2방향으로 이격된 다수의 홀과 상기 제2플레이트의 하부 에 위치하면서 상기 제2방향으로 이격된 다수의 홀을 포함하고,상기 무빙플레이트에 형성된 상기 다수의 제2가이드홀은 상기 제1플레이트의 하부에 위치하는 다수의 홀과 상기 제2플레이트의 하부에 위치하는 다수의 홀을 포함하며,상기 무빙플레이트에서, 상기 제1플레이트의 하부에 위치하는 상기 다수의 홀은 서로 동일한 제3방향으로 형성되고 상기 제2플레이트의 하부에 위치하는 상기 다수의 홀은 서로 동일한 제4방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 클립형 캐리어보트의 클립 개폐 장치
- 제1항에 있어서,상기 구동유닛은,베이스플레이트;상기 베이스플레이트에 장착된 구동실린더;상기 구동실린더의 구동축에 연결되며 상부로 돌출되는 삽입부재;를 포함하고, 상기 무빙플레이트는 상기 삽입부재가삽입되는 구동유닛연결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 클립형 캐리어보트의 클립 개폐 장치
- 제1항에 있어서,상기 메인프레임의 상부에 안치된 클립형 캐리어보트의 일단과 타단을 파지하는 수단으로서, 상기 메인프레임의 일단 및 타단에 각각 설치되는 제1클램프 및 제2클램프;탄성부재를 개재하여 상기 제1 및 제2클램프를 상기 메인프레임에 결합시키는 결합수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 클립형 캐리어보트의 클립 개폐 장치
- 제4항에 있어서,상기 구동유닛은,베이스 플레이트;상기 베이스플레이트에 설치되는 제1클램프구동실린더 및 제2클램프구동실린더;상기 제1 및 제2클램프구동실린더의 구동축에 각각 연결되는 제1 클램프결합돌기 및 제2클램프결합돌기;를 포함하고, 상기 제1클램프 및 상기 제2클램프의 하단부에는 상기 제1 및 제2클램프결합돌기가 삽입되는 결합홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 클립형 캐리어보트의 클립 개폐 장치
- 제1항에 있어서,상기 메인프레임 또는 상기 구동유닛을 승강시키는 승강구동수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클립형 캐리어보트의 클립 개폐 장치
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KR1020080113079A KR100990887B1 (ko) | 2008-11-14 | 2008-11-14 | 클립형 캐리어 보트의 클립 개폐 장치 |
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KR1020080113079A KR100990887B1 (ko) | 2008-11-14 | 2008-11-14 | 클립형 캐리어 보트의 클립 개폐 장치 |
Publications (2)
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KR20100054248A true KR20100054248A (ko) | 2010-05-25 |
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Family
ID=42279005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020080113079A KR100990887B1 (ko) | 2008-11-14 | 2008-11-14 | 클립형 캐리어 보트의 클립 개폐 장치 |
Country Status (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20220145543A (ko) * | 2021-04-22 | 2022-10-31 | (주)샘테크 | 기판 분리 장치 |
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JP2007164001A (ja) | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Pentax Corp | カム機構 |
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2008
- 2008-11-14 KR KR1020080113079A patent/KR100990887B1/ko active IP Right Grant
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20220145543A (ko) * | 2021-04-22 | 2022-10-31 | (주)샘테크 | 기판 분리 장치 |
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