KR100990887B1 - 클립형 캐리어 보트의 클립 개폐 장치 - Google Patents
클립형 캐리어 보트의 클립 개폐 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100990887B1 KR100990887B1 KR1020080113079A KR20080113079A KR100990887B1 KR 100990887 B1 KR100990887 B1 KR 100990887B1 KR 1020080113079 A KR1020080113079 A KR 1020080113079A KR 20080113079 A KR20080113079 A KR 20080113079A KR 100990887 B1 KR100990887 B1 KR 100990887B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- plate
- clip
- main frame
- carrier boat
- guide holes
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/67333—Trays for chips
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
Claims (6)
- 관통부를 구비하는 메인프레임;상기 메인프레임의 관통부에 고정 설치되고, 제1방향으로 형성된 장공(長孔) 형태의 다수의 제1가이드홀을 구비하는 베어링블록;상기 메인프레임의 상부에 설치되며, 마주보는 각 변이 서로 평행하고, 상기 각 변이 상기 제1방향과 다른 제2방향으로 형성된 제1플레이트와 제2플레이트;상기 메인프레임의 하부에 설치되며, 상기 제1방향 및 상기 제2방향과 다른 방향으로 형성되어 상기 다수의 제1가이드홀과 각각 교차하는 다수의 제2가이드홀을 구비하는 무빙플레이트;서로 교차하는 상기 제1가이드홀과 상기 제2가이드홀에 삽입되며, 적어도 하나가 상기 제1플레이트와 결합하고, 상기 제1플레이트에 결합된 것을 제외한 나머지 중에서 적어도 하나가 상기 제2플레이트와 결합하는 다수의 베어링;상기 무빙플레이트를 상기 제2방향을 따라 이동시키는 구동유닛;을 포함하는 클립형 캐리어보트의 클립 개폐 장치
- 제1항에 있어서,상기 베어링블록에 형성된 상기 다수의 제1가이드홀은 상기 제1플레이트의 하부에 위치하면서 상기 제2방향으로 이격된 다수의 홀과 상기 제2플레이트의 하부 에 위치하면서 상기 제2방향으로 이격된 다수의 홀을 포함하고,상기 무빙플레이트에 형성된 상기 다수의 제2가이드홀은 상기 제1플레이트의 하부에 위치하는 다수의 홀과 상기 제2플레이트의 하부에 위치하는 다수의 홀을 포함하며,상기 무빙플레이트에서, 상기 제1플레이트의 하부에 위치하는 상기 다수의 홀은 서로 동일한 제3방향으로 형성되고 상기 제2플레이트의 하부에 위치하는 상기 다수의 홀은 서로 동일한 제4방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 클립형 캐리어보트의 클립 개폐 장치
- 제1항에 있어서,상기 구동유닛은,베이스플레이트;상기 베이스플레이트에 장착된 구동실린더;상기 구동실린더의 구동축에 연결되며 상부로 돌출되는 삽입부재;를 포함하고, 상기 무빙플레이트는 상기 삽입부재가삽입되는 구동유닛연결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 클립형 캐리어보트의 클립 개폐 장치
- 삭제
- 삭제
- 삭제
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080113079A KR100990887B1 (ko) | 2008-11-14 | 2008-11-14 | 클립형 캐리어 보트의 클립 개폐 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080113079A KR100990887B1 (ko) | 2008-11-14 | 2008-11-14 | 클립형 캐리어 보트의 클립 개폐 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100054248A KR20100054248A (ko) | 2010-05-25 |
KR100990887B1 true KR100990887B1 (ko) | 2010-11-01 |
Family
ID=42279005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020080113079A KR100990887B1 (ko) | 2008-11-14 | 2008-11-14 | 클립형 캐리어 보트의 클립 개폐 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100990887B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102535517B1 (ko) * | 2021-04-22 | 2023-05-26 | (주)샘테크 | 기판 분리 장치 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007164001A (ja) | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Pentax Corp | カム機構 |
-
2008
- 2008-11-14 KR KR1020080113079A patent/KR100990887B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007164001A (ja) | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Pentax Corp | カム機構 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100054248A (ko) | 2010-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10290526B2 (en) | Device and method for aligning and holding a plurality of singulated semiconductor components in receiving pockets of a terminal carrier | |
KR20060081356A (ko) | 캐리어 상에 디바이스를 정렬하기 위한 장치 및 방법 | |
US9443819B2 (en) | Clamping mechanism for processing of a substrate within a substrate carrier | |
KR100829769B1 (ko) | 처리할 소자들을 배치하는 장치 및 방법 | |
KR100990887B1 (ko) | 클립형 캐리어 보트의 클립 개폐 장치 | |
CA2601878A1 (en) | A matrix-assisted laser desorption and ionization (maldi) sample plate releasably coupled to a sample plate adapter | |
KR20100053808A (ko) | 전동 그리퍼, 이를 포함하는 자동화 공정 장비 및 이를 이용한 자재 이송 방법 | |
EP1049365B1 (en) | Socket for electrical parts | |
CN100344513C (zh) | 基板搬运架 | |
KR960015925B1 (ko) | 캐리어 테이프용 슬라이드 캐리어 | |
CN112355940A (zh) | 一种载具 | |
US11483921B2 (en) | Holder for thermally contacting an electronic component mounted on a circuit board and a cooling body | |
JP2825101B2 (ja) | ウエハ用フレームの移動装置 | |
CN113968069A (zh) | 软膜夹具及其安装治具 | |
KR101487066B1 (ko) | 스크린 프린터용 기판 지지 유닛 | |
JP3922192B2 (ja) | 基板固定装置および基板固定方法 | |
US6654186B2 (en) | Arrangement for fixing an optical component part | |
CN218384854U (zh) | 一种电容器装载治具 | |
CN219633537U (zh) | 一种夹持装置 | |
CN111785669B (zh) | 一种基片承载装置和清洗设备 | |
KR100960882B1 (ko) | 반도체 패키지용 캐리어 | |
KR100223970B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 캐리어의 위치정렬용 공구 | |
KR102249027B1 (ko) | 웨이퍼 보트 플레이트 | |
KR100521584B1 (ko) | 핑거 블록 클램프 장치 | |
JP3680047B2 (ja) | バネ固定具付ヒートシンク |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131025 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141023 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151021 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161025 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171025 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181025 Year of fee payment: 9 |