CN113968069A - 软膜夹具及其安装治具 - Google Patents

Abstract

一种软膜夹具及其安装治具。此软膜夹具包含第一杆件、第二杆件、第三杆件、以及至少一弹性元件。第一杆件与第二杆件分别配置以固定软膜的第一侧部与第二侧部。第三杆件邻接于第二杆件。第三杆件与第一杆件分别位于第二杆件的相对二侧。第三杆件配置以透过第二杆件从软膜的第二侧部拉动软膜。弹性元件具有彼此相对的第一端与第二端分别设于第二杆件与第三杆件上。弹性元件配置以提供软膜拉力缓冲。通过将第一杆件固定，第二杆件朝上或朝第一杆件移动以拉动软膜，即可将软膜逐步地从晶圆上分离，而可利用许多离膜动作来进行离膜操作。弹性元件在离膜操作期间可提供软膜拉力缓冲，借此可保护软膜免于受损。

Description

软膜夹具及其安装治具

技术领域

本揭露是有关于一种固定与分离软膜的技术。更特别是有关于一种软膜夹具及其安装治具。

背景技术

应用于压印制程的软膜由一框架夹持。一般而言，框架包含四个杆件，且这些杆件彼此连接而形成矩形框架。软膜的四边分别固定在框架的这些杆件上。

压印制程完成后，需将软膜从晶圆上分离。在软膜的离膜操作中，仅可透过抬高框架的一侧的方式来从晶圆上分离软膜。这样的离膜操作对软膜的主动区上的图案结构造成相当大的冲击。图案结构容易受到离膜操作期间的拉力的损坏。

发明内容

因此，本揭露的一目的就是在提供一种软膜夹具，其使用第一杆件与第二杆件来分别夹持软膜的二相对侧部。于软膜的离膜操作期间，第一杆件固定，第二杆件朝上或朝第一杆件移动以拉动软膜，如此软膜可逐步地从晶圆上分离。因此，可利用许多离膜动作来进行离膜操作。

本揭露的另一目的就是在提供一种软膜夹具，其包含透过至少一弹性元件与第二杆件连接的第三杆件，如此弹性元件在离膜操作期间可提供软膜拉力缓冲，借此可保护软膜免于受损。

本揭露的又一目的就是在提供一种软膜夹具的安装治具，其可将夹具的第一杆件与第三杆件定位于平台上，以提供软膜所需的张力。利用二连杆来对应连接第一杆件的二端与第三杆件的二端，如此软膜可以所需张力平坦地固定在夹具上。因此，可轻易移动软膜与将软膜设置在制程设备上。

根据上述目的，本揭露提供一种软膜夹具。此软膜夹具包含第一杆件、第二杆件、第三杆件、以及至少一弹性元件。第一杆件配置以固定软膜的第一侧部。第二杆件配置以固定软膜的第二侧部，其中第二侧部与第一侧部相对。第三杆件邻接于第二杆件，其中第三杆件与第一杆件分别位于第二杆件的相对二侧，第三杆件配置以透过第二杆件从软膜的第二侧部拉动软膜。至少一弹性元件具有彼此相对的第一端与第二端分别设于第二杆件与第三杆件上，其中此至少一弹性元件配置以提供软膜拉力缓冲。

依据本揭露的一实施例，上述的至少一弹性元件包含数个弹簧。

依据本揭露的一实施例，上述的弹簧以一固定间距设于第二杆件与第三杆件之间。

依据本揭露的一实施例，上述的软膜夹具还包含至少一拉力传感器设于第三杆件上。

依据本揭露的一实施例，上述的每个第一杆件与第三杆件中的第一端部与相对于第一端部的第二端部分别具有第一通孔与第二通孔。

依据本揭露的一实施例，上述的软膜夹具还包含第一连杆以及第二连杆。第一连杆的相对二端分别穿设在第一杆件与第三杆件的第一通孔中。第二连杆的相对二端分别穿设在第一杆件与第三杆件的第二通孔中。

依据本揭露的一实施例，上述的第一通孔与第二通孔的侧壁均具有第一卡掣部。第一连杆与第二连杆的每一端具有第二卡掣部，其中这些第二卡掣部配置以与第一卡掣部对应卡合。

依据本揭露的一实施例，上述的软膜为压印软膜。

根据上述目的，本揭露还提供一种软膜夹具的安装治具。此安装治具包含平台、挡墙、以及数个固定件。平台的一表面上设有第一固定部、以及与第一固定部相对的第二固定部及第三固定部。第一固定部、第二固定部、与第三固定部分别供软膜夹具的第一杆件、第二杆件、与第三杆件设置。挡墙设于平台的表面上，且介于第二固定部与第三固定部之间。挡墙具有至少一通道以容纳软膜夹具的至少一弹性元件。此至少一弹性元件的相对二端分别设于第二杆件与第三杆件上。固定件设于平台的表面上，且配置以将第一杆件与第三杆件固定在平台的表面上。

依据本揭露的一实施例，上述的安装治具还包含承托台凸设于平台的表面上且介于第一固定部与第二固定部之间。承托台配置以支撑欲装设在软膜夹具的软膜。

依据本揭露的一实施例，上述的承托台还设有数个真空道，这些真空道配置以对软膜提供吸力。

依据本揭露的一实施例，上述的安装治具还包含第一固定块以及第二固定块。第一固定块设于平台的表面上并邻近第一固定部。第一固定块配置以定位第一杆件。第二固定块设于平台的表面上并邻近第三固定部。第二固定块配置以与挡墙形成卡槽来做为第三固定部。

依据本揭露的一实施例，上述的平台还包含第一凹入部凹设于第一固定块与第一固定部中，以及第二凹入部凹设于第二固定块与第三固定部中。当软膜夹具放置在平台上时，第一杆件与第三杆件分别位于第一凹入部与第二凹入部上。

依据本揭露的一实施例，上述的至少一通道包含数个通道，上述的至少一弹性元件包含数个弹性元件，通道的数量与弹性元件的数量相同，这些通道以一固定间距设置。

依据本揭露的一实施例，上述的挡墙可朝第二固定部与第三固定部移动地设于平台的表面上。

依据本揭露的一实施例，上述的每个固定件包含卡钳。

依据本揭露的一实施例，上述的每个第一杆件与该第三杆件的相对的第一端部与第二端部分别具有第一通孔与第二通孔。

依据本揭露的一实施例，上述的软膜夹具还包含第一连杆以及第二连杆。当软膜的相对二侧部分别夹设在安装治具上的第一杆件与第二杆件时，第一连杆的相对二端分别穿设在第一杆件与第三杆件的第一通孔中，第二连杆的相对二端分别穿设在第一杆件与第三杆件的第二通孔中。

依据本揭露的一实施例，上述的每个第一通孔与些第二通孔的侧壁具有第一卡掣部。第一连杆与第二连杆的每一端具有第二卡掣部。这些第二卡掣部配置以与第一卡掣部对应卡合。

依据本揭露的一实施例，上述的软膜夹具配置以利用第一杆件与第二杆件来固定压印软膜。

应当理解的是，前面的一般描述与下面的详细描述均为例子，且意欲提供如所请求保护的发明进一步的解释。

附图说明

从以下参考所附附图所做的实施方式的详细描述，可对本发明有更充分的了解，所附附图的说明如下：

图1是绘示依照本揭露的一实施方式的一种软膜夹具的上视示意图；

图2A至图2D是绘示依照本揭露的一实施方式的一种软膜夹具的局部放大示意图；

图3是绘示依照本揭露的一实施方式的软膜夹具设置在安装治具上的示意图；

图4是绘示依照本揭露的一实施方式的软膜夹具从安装治具移开的示意图；

图5是绘示图3的部分A的放大示意图；以及

图6是绘示依照本揭露的一实施方式的一种软膜夹具设置在压印设备上的示意图。

【符号说明】

100:夹具

110:软膜

112:主动区

114:第一侧部

116:第二侧部

120:第一杆件

122:第一端部

124:第二端部

126:第一通孔

126e:第一卡掣部

128:第二通孔

128e:第一卡掣部

130:第二杆件

140:第三杆件

142:第一端部

144:第二端部

146:第一通孔

146e:第一卡掣部

148:第二通孔

148e:第一卡掣部

150:弹性元件

152:第一端

154:第二端

160:第一连杆

162:端

162e:第二卡掣部

164:端

164e:第二卡掣部

170:第二连杆

172:端

172e:第二卡掣部

174:端

174e:第二卡掣部

180:拉力传感器

200:安装治具

210:平台

210a:表面

212:第一固定部

214:第二固定部

216:第三固定部

218a:第一凹入部

218b:第二凹入部

220:挡墙

222:通道

230a:固定件

230b:固定件

230c:固定件

230d:固定件

240:承托台

240a:表面

242:真空道

250:第一固定块

260:第二固定块

300:压印设备

310:载盘

320:工作台

330:固定座

340:传动轴

350:滚筒

G:间距

具体实施方式

现将详细参考本发明的目前的实施方式，其例子绘示在所附附图中。附图与说明中尽可能使用相同参考数字来表示相同或相似部件。

图1是绘示依照本揭露的一实施方式的一种软膜夹具的上视示意图。夹具100配置以均匀地夹住软膜110，来进行传送与装载于制程设备上。于完成一制程，例如压印制程后，夹具100配置以透过向上或朝软膜110的一相对侧部拉软膜110的一侧部的方式，将软膜110逐渐与晶圆分离。在一些例子中，软膜110为压印软膜，且包含许多压印图案结构在其主动区112上。软膜110包含第一侧部114与第二侧部116，第一侧部114与第二侧部116分别位于软膜110的相对二侧。

请参照图1，夹具100主要可包含第一杆件120、第二杆件130、第三杆件140、以及至少一弹性元件150。第一杆件120、第二杆件130、与第三杆件140可由高强度塑胶材料或金属，例如铝或不锈钢所制成。第一杆件120配置以固定软膜110的第一侧部114。举例而言，可利用螺丝或磁力将软膜110的第一侧部114固定在第一杆件120上。

第一杆件120具有彼此相对的第一端部122与第二端部124。在一些例子中，第一杆件120具有第一通孔126与第二通孔128，其中第一通孔126贯穿第一端部122，且第二通孔128贯穿第二端部124。在一些示范例子中，第一通孔126与第二通孔128的侧壁分别具有第一卡掣部126e与128e。举例而言，第一卡掣部126e与128e可为从第一通孔126与第二通孔128的侧壁突出的突出物。

第二杆件130配置以夹住软膜110的第二侧部116，因此第二杆件130与第一杆件120分别固定软膜110的二相对侧。同样地，可利用螺丝或磁力将软膜110的第二侧部116固定在第二杆件130上。因此，夹具100可利用第一杆件120与第二杆件130固定软膜110。

第三杆件140邻近第二杆件130，且与第二杆件130连接。第三杆件140可与第二杆件130分隔一间距G。第三杆件140可相对于第二杆件130移动或转动。第三杆件140与第一杆件120分别位于第二杆件130的二相对侧。第三杆件140配置以拉动第二杆件130，借此透过第二杆件130而从第二侧部116拉动软膜110。

第三杆件140具有第一端部142、以及相对于第一端部142的第二端部144。在一些例子中，第三杆件140具有第一通孔146与第二通孔148。第一通孔146贯穿第一端部142，第二通孔148贯穿第二端部144。在一些示范例子中，第一通孔146与第二通孔148的侧壁分别具有第一卡掣部146e与148e。第一卡掣部146e与148e可例如为从第一通孔146与第二通孔148的侧壁突出的突出物。

在图1所示的例子中，至少一弹性元件150的数量大于1。在一些例子中，弹性元件150为弹簧。每个弹性元件150具有彼此相对的第一端152与第二端154。弹性元件150的第一端152与第二端154分别位于第二杆件130与第三杆件140上。弹性元件150配置以提供软膜110拉力缓冲。在一些示范例子中，这些弹性元件150以一固定间距设于第二杆件130与第三杆件140之间，以提供软膜110均匀的张力缓冲。

在一些例子中，夹具100还可包含第一连杆160与第二连杆170。第一连杆160具有相对二端162与164。第一连杆160的端162与164分别设于第一杆件120的第一通孔126与第三杆件140的第一通孔146中。可从第一杆件120与第三杆件140朝上或朝下地移开第一连杆160的端162与164。在一些示范例子中，如图2A与图2B所示，第一连杆160的端162与164分别具有第二卡掣部162e与164e。第二卡掣部162e与164e可与第一卡掣部126e与146e对应卡合，因此第一连杆160固定在第一杆件120与第三杆件140之间。

类似地，第二连杆170具有相对二端172与174。第二连杆170的端172与174分别设于第一杆件120的第二通孔128与第三杆件140的第二通孔148中。亦可从第一杆件120与第三杆件140朝上或朝下地移开第二连杆170的端172与174。如图2C与图2D所示，第二连杆170的端172与174可分别具有第二卡掣部172e与174e。第二卡掣部172e与174e可与第一卡掣部128e与148e对应卡合，因此第二连杆170固定在第一杆件120与第三杆件140之间。

当软膜110的第一侧部114与第二侧部116分别为第一杆件120与第二杆件130所夹持时，连接在第一杆件120与第三杆件140之间的第一连杆160与第二连杆170可摊开软膜110，因此软膜110可为夹具100平整的夹持。当软膜110应用在制程中时，将第一杆件120固定在制程机台上，并移走第一连杆160与第二连杆170，如此透过移动第三杆件140来拉动第二杆件130的方式，可将软膜110的第二侧部116向上拉或拉向第一侧部114。因此，可利用不同方式使软膜110脱离晶圆。软膜110的离膜角度可从大于0度至180度。

在一些例子中，夹具100可进一步包含至少一拉力传感器180。在图1所示的例子中，夹具100包含二个拉力传感器180，且这些拉力传感器180设于第三杆件140上。这些拉力传感器180可分别位于第三杆件140的二相对端部上。拉力传感器180即时量测与显示施加在软膜110的拉力的变化，如此一来，操作者可根据量测结果调整拉力。

图3是绘示依照本揭露的一实施方式的软膜夹具设置在安装治具上的示意图，图4是绘示依照本揭露的一实施方式的软膜夹具从安装治具移开的示意图。可利用安装治具200将软膜110设置在夹具100上。安装治具200主要可包含平台210、挡墙220、以及数个固定件230a至230d。

平台210为板状结构。平台210可由金属，例如不锈钢所制成。平台210可配置以在设置软膜110的期间承载与固定夹具100。平台210具有表面210a。在一些例子中，平台210包含设于平台210的表面210a上的第一固定部212、第二固定部214、与第三固定部216。第二固定部214与第三固定部216相对于第一固定部212。第一杆件120、第二杆件130、与第三杆件140分别设于第一固定部212、第二固定部214、与第三固定部216上。

在一些例子中，如图4所示，安装治具200还包含承托台240。承托台240位于第一固定部212与第二固定部214之间，且从平台210的表面210a凸出。承托台240可在将软膜110设置到夹具100上的期间支撑软膜110。

在一些示范例子中，如图4所示，承托台240具有数个真空道242。这些真空道242凹设于承托台240的表面240a中。通过连接抽真空装置(未绘示)，真空道242可提供真空给设于承托台240的表面240a上的软膜110。

如图4所示，挡墙220设于平台210的表面210a上。第二固定部214位于挡墙220与承托台240之间，因此第二固定部214为挡墙220与承托台240所定义的卡槽。挡墙220位于第二固定部214与第三固定部216之间。

请参照图5，图5是绘示图3的部分A的放大示意图。第二杆件130与第三杆件140分别位于挡墙220的相对二侧，且每个弹性元件150的第一端152与第二端154分别设于第二杆件130与第三杆件140上。因此，挡墙220具有至少一通道222穿设于挡墙220中，以容纳夹具100的至少一弹性元件150。在图5所示的例子中，挡墙220具有数个通道222，且通道222的数量可与弹性元件150的数量相同，以对应容纳弹性元件150。在一些例子中，这些通道222以一固定间距形成在挡墙220中。挡墙220可移动地设置在平台210的表面210a上，因此挡墙220可朝第二固定部214与第三固定部216移动，即挡墙220可在第二固定部214与第三固定部216之间移动。

在一些例子中，如图4所示，安装治具200可选择性地包含第一固定块250与第二固定块260。第一固定块250设于平台210的表面210a上。第一固定块250邻近第一固定部212，且第一固定部212位于第一固定块250与承托台240之间，因此第一固定部212为第一固定块250与承托台240所定义之卡槽。因此，第一固定块250可用以将第一杆件120定位在第一固定部212中。

第二固定块260设于平台210的表面210a上。第二固定块260邻近第三固定部216，且第三固定部216位于第二固定块260与挡墙220之间，因此第三固定部216为第二固定块260与挡墙220所形成的卡槽。

请参照图3与图4，平台210可选择性地包含第一凹入部218a与第二凹入部218b。第一凹入部218a与第二凹入部218b分别位于平台210的相对二边。第一凹入部218a凹设于第一固定块250与第一固定部212中。第二凹入部218b凹设于第二固定块260与第三固定部216中。因此，当夹具100放置在平台210的表面210a上时，第一杆件120与第三杆件140分别位于第一凹入部218a与第二凹入部218b上，如此一来，操作者可透过第一凹入部218a与第二凹入部218b轻易拿取夹具100与夹具100所夹持的软膜110。

如图3所示，固定件230a至230d设于平台210的表面210a上。在一些示范例子中，固定件230a与230b分别邻近第一杆件120的第一端部122与第二端部124，且分别压住第一端部122与第二端部124，以将第一杆件120固定在平台210的表面210a上。此外，固定件230c与230d分别邻近第三杆件140的第一端部142与第二端部144，且分别压住第一端部142与第二端部144，以将第三杆件140固定在平台210的表面210a上。固定件230a至230d可为任何可将第一杆件120与第三杆件140固定在平台210的表面210a上的固定件。举例而言，每个固定件230a至230d可包含卡钳，因此可轻易且快速地固定与释放第一杆件120与第三杆件140。

请参照图1、图3、与图4，在设置软膜110时，将夹具100设置在平台210的表面210a上。第一杆件120、第二杆件130、与第三杆件140分别定位在第一固定部212、第二固定部214、与第三固定部216上。利用固定件230a与230b、以及固定件230c与230d，分别将第一杆件120与第三杆件140固定在平台210的表面210a上。提供软膜110，并将软膜110的第一侧部114固定在第一杆件120上。接着，经由承托台240的表面240a上的真空道242进行抽真空操作，借以将软膜110吸在承托台240的表面240a上。接下来，将第二侧部116固定在第二杆件130上。在一些例子中，可朝第二杆件130或朝第三杆件140移动挡墙220，以调整软膜110的张力。

接着，将第一连杆160的端162与164分别放入第一杆件120的第一通孔126与第三杆件140的第一通孔146中，以将第一连杆160设置在第一杆件120与第三杆件140之间。类似地，将第二连杆170的端172与174分别放入第一杆件120的第二通孔128与第三杆件140的第二通孔148中，以将第二连杆170设置在第一杆件120与第三杆件140之间。夹具100平整地夹持住软膜110，打开固定件230a至230d以释放第一杆件120与第三杆件140。

如图4所示，操作者可经由第一凹入部218a与第二凹入部218b，从安装治具200取出具有软膜110的夹具100。在一些例子中，软膜110为压印软膜，且当夹具100装设在安装治具200上时，主动区112中的压印图案结构朝上。

图6是绘示依照本揭露的一实施方式的一种软膜夹具设置在压印设备上的示意图。当软膜110应用于在压印设备300上进行的压印制程时，翻转夹具100，以转动主动区112使其面向晶圆(未绘示)，其中晶圆为压印设备300的载盘310所承载。压印设备300主要可包含载盘310、工作台320、固定座330、传动轴340、以及滚筒350。可利用真空吸附或静电吸附方式将晶圆固定在载盘310上。固定座330、传动轴340、以及滚筒350设置在工作台320上。载盘310设于工作台320中，且位于固定座330与传动轴340之间。

可将第一杆件120固定在固定座330上，且可将第三杆件140固定在传动轴340，如此一来，软膜110可位于载盘310的上方。可利用传动轴340来驱动第三杆件140往上或朝第一杆件120。滚筒350可在载盘310的上方滚动。

进行压印制程时，将晶圆(未绘示)固定在载盘310上，并翻转夹具100，借以使软膜110的主动区112面向晶圆。移走夹具100的第一连杆160与第二连杆170。接着，滚筒350可在软膜110上滚动，以将软膜110的主动区112压在晶圆上，借以将主动区112上的图案结构转移至晶圆。滚筒350可从第一杆件120至第二杆件130滚动在软膜110上。

将软膜110的主动区112上的图案结构转移至晶圆上后，利用例如紫外光对晶圆进行固化处理。接下来，进行软膜110的离膜操作。在离膜操作中，滚筒350逐步地从第二杆件130朝第一杆件120滚动在软膜110上，且传动轴340移动以驱动第三杆件140来拉动第二杆件130，借以从晶圆分离软膜110。在一些例子中，当滚筒350朝第一杆件120滚动时，将第三杆件140往上且弯向第一杆件120拉动。在其他例子中，于离膜操作期间，将第三杆件140往上拉。在又一些其他例子中，将第三杆件140拉向第一杆件120，并使第三杆件140越过滚筒350。利用滚筒350与传动轴340，可控制软膜110的离膜速率。

根据上述的实施方式，本揭露的一优点为软膜夹具使用第一杆件与第二杆件来分别夹持软膜的二相对侧部。于软膜的离膜操作期间，第一杆件固定，第二杆件朝上或朝第一杆件移动以拉动软膜，如此软膜可逐步地从晶圆上分离。因此，可利用许多离膜动作来进行离膜操作。

根据上述的实施方式，本揭露的另一优点为夹具包含透过至少一弹性元件与第二杆件连接的第三杆件，如此弹性元件在离膜操作期间可提供软膜拉力缓冲，借此可保护软膜免于受损。

根据上述的实施方式，本揭露的又一优点为软膜夹具的安装治具可将夹具的第一杆件与第三杆件定位于平台上，以提供软膜所需的张力。利用二连杆来对应连接第一杆件的二端与第三杆件的二端，如此软膜可以所需张力平坦地固定在夹具上。因此，可轻易移动软膜与将软膜设置在制程设备上。

虽然已经参考本发明的特定实施方式相当详细地描述了本发明，但是其他实施方式也是可能的。因此，所附权利要求书的精神与范围不应限于在此所包含的实施方式的描述。

对于熟悉此技艺者显而易见的是，在不脱离本发明的范围或精神之下，可对本发明的结构做各种润饰与改变。鉴于前述内容，意指本发明涵盖所提供的此发明的润饰与改变，只要它们落在所附的权利要求书的范围内。

Claims (20)

1.一种软膜夹具，其特征在于，该软膜夹具包含：

一第一杆件，配置以固定一软膜的一第一侧部；

一第二杆件，配置以固定该软膜的一第二侧部，其中该第二侧部与该第一侧部相对；

一第三杆件，邻接于该第二杆件，其中该第三杆件与该第一杆件分别位于该第二杆件的相对二侧，该第三杆件配置以透过该第二杆件从该软膜的该第二侧部拉动该软膜；以及

至少一弹性元件，具有彼此相对的一第一端与一第二端分别设于该第二杆件与该第三杆件上，其中该至少一弹性元件配置以提供该软膜一拉力缓冲。

2.根据权利要求1所述的软膜夹具，其特征在于，该至少一弹性元件包含多个弹簧。

3.根据权利要求2所述的软膜夹具，其特征在于，所述多个弹簧以一固定间距设于该第二杆件与该第三杆件之间。

4.根据权利要求1所述的软膜夹具，其特征在于，该软膜夹具还包含至少一拉力传感器设于该第三杆件上。

5.根据权利要求1所述的软膜夹具，其特征在于，每一该第一杆件与该第三杆件中的一第一端部与相对于该第一端部的一第二端部分别具有一第一通孔与一第二通孔。

6.根据权利要求5所述的软膜夹具，其特征在于，该软膜夹具还包含：

一第一连杆，其中该第一连杆的相对二端分别穿设在该第一杆件与该第三杆件的所述第一通孔中；以及

一第二连杆，其中该第二连杆的相对二端分别穿设在该第一杆件与该第三杆件的所述第二通孔中。

7.根据权利要求6所述的软膜夹具，其特征在于，

每一所述第一通孔与所述第二通孔的一侧壁具有一第一卡掣部；以及

每一该第一连杆与该第二连杆的所述端具有一第二卡掣部，其中所述第二卡掣部配置以与所述第一卡掣部对应卡合。

8.根据权利要求1所述的软膜夹具，其特征在于，该软膜为一压印软膜。

9.一种软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具的安装治具包含：

一平台，其中该平台的一表面上设有一第一固定部、以及与该第一固定部相对的一第二固定部及一第三固定部，该第一固定部、该第二固定部、与该第三固定部分别供一软膜夹具的一第一杆件、一第二杆件、与一第三杆件设置；

一挡墙，设于该平台的该表面上，且介于该第二固定部与该第三固定部之间，其中该挡墙具有至少一通道以容纳该软膜夹具的至少一弹性元件，该至少一弹性元件的相对二端分别设于该第二杆件与该第三杆件上；以及

多个固定件，设于该平台的该表面上，且配置以将该第一杆件与该第三杆件固定在该平台的该表面上。

10.根据权利要求9所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具的安装治具还包含一承托台凸设于该平台的该表面上且介于该第一固定部与该第二固定部之间，其中该承托台配置以支撑欲装设在该软膜夹具的一软膜。

11.根据权利要求10所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该承托台还设有多个真空道，所述多个真空道配置以对该软膜提供吸力。

12.根据权利要求9所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具的安装治具还包含：

一第一固定块，设于该平台的该表面上并邻近该第一固定部，其中该第一固定块配置以定位该第一杆件；以及

一第二固定块，设于该平台的该表面上并邻近该第三固定部，其中该第二固定块配置以与该挡墙形成一卡槽来做为该第三固定部。

13.根据权利要求12所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该平台还包含：

一第一凹入部，凹设于该第一固定块与该第一固定部中；以及

一第二凹入部，凹设于该第二固定块与该第三固定部中，

其中当该软膜夹具放置在该平台上时，该第一杆件与该第三杆件分别位于该第一凹入部与该第二凹入部上。

14.根据权利要求9所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该至少一通道包含多个通道，该至少一弹性元件包含多个弹性元件，所述多个通道的数量与所述多个弹性元件的数量相同，所述多个通道以一固定间距设置。

15.根据权利要求9所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该挡墙可朝该第二固定部与该第三固定部移动地设于该平台的该表面上。

16.根据权利要求9所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，每一所述固定件包含一卡钳。

17.根据权利要求9所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，每一该第一杆件与该第三杆件的相对的一第一端部与一第二端部分别具有一第一通孔与一第二通孔。

18.根据权利要求17所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具还包含：

一第一连杆；以及

一第二连杆，

其中，当一软膜的相对二侧部分别夹设在该安装治具上的该第一杆件与该第二杆件时，该第一连杆的相对二端分别穿设在该第一杆件与该第三杆件的所述第一通孔中，该第二连杆的相对二端分别穿设在该第一杆件与该第三杆件的所述第二通孔中。

19.根据权利要求18所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，

每一所述第一通孔与所述第二通孔的一侧壁具有一第一卡掣部；以及

每一该第一连杆与该第二连杆的所述端具有一第二卡掣部，其中所述第二卡掣部配置以与所述第一卡掣部对应卡合。

20.根据权利要求9所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具配置以利用该第一杆件与该第二杆件来固定一压印软膜。

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