KR102629533B1 - 연질 필름의 클램핑 장치 및 그의 장착 고정구 - Google Patents

연질 필름의 클램핑 장치 및 그의 장착 고정구 Download PDF

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Abstract

연질 필름의 클램핑 장치 및 그 장착 고정구가 설명된다. 상기 클램핑 장치는 제1 바, 제2 바, 제3 바, 및 하나 이상의 탄성 부재를 포함한다. 상기 제1 바 및 상기 제2 바는 각각 연질 필름의 제1 측면부 및 제2 측면부를 고정하도록 구성된다. 상기 제3 바는 제2 바에 인접하고 연결된다. 상기 제3 바와 상기 제1 바는 각각 상기 제2 바의 두 대향면에 위치한다. 상기 제3 바는 상기 제2 바를 통해 상기 연질 필름의 상기 제2 측면부로부터 상기 연질 필름을 당기도록 구성된다. 상기 탄성 부재는 서로 반대되는 제1 말단 및 제2 말단을 가지며, 각각 상기 제2 바 및 상기 제3 바에 배치된다. 상기 탄성 부재는 상기 연질 필름에 풀 버퍼를 제공하도록 구성된다.

Description

연질 필름의 클램핑 장치 및 그의 장착 고정구{CLAMPING APPARATUS OF SOFT FILM AND MOUNTING FIXTURE THEREOF}
본 개시는 연질 필름을 고정 및 이형하는 기술에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 개시는 연질 필름의 클램핑 장치 및 그 장착 고정구에 관한 것이다.
각인 공정에 사용되는 연질 필름은 프레임으로 고정된다. 프레임은 일반적으로 4개의 막대들을 포함하며 막대들은 서로 연결되어 직사각형 프레임을 형성한다. 연질 필름의 네 면은 각각 프레임의 막대에 고정된다.
각인 공정이 완료된 후, 웨이퍼에서 연질 필름을 제거해야 한다. 연질 필름의 제거 작업에서, 연질 필름은 프레임의 측면을 올리는 것만으로 웨이퍼로부터 제거될 수 있다. 이러한 제거 작업은 연질 필름의 활성 영역에서 패턴 구조에 큰 영향을 준다. 제거 작업 중 당기는 힘에 의해 패턴 구조가 쉽게 손상된다.
따라서, 본 개시의 목적은 제1 바와 제2 바를 사용하여 연질 필름의 두 개의 대향 측면부를 각각 고정하는 연질 필름의 클램핑 장치를 제공하는 것이다. 연질 필름의 제거 작업 동안, 제1 바는 고정되고, 제2 바는 상방 또는 제1 바를 향해 이동하여 연질 필름을 당겨서 연질 필름이 웨이퍼로부터 서서히 제거된다. 따라서, 제거 작업은 다양한 제거 동작들에 의해 수행될 수 있다.
본 개시의 다른 목적은 연질 필름의 클램핑 장치를 제공하는 것이며, 이는 하나 이상의 탄성 부재를 통해 제2 바에 연결된 제3 바를 포함하여, 탄성 부재는 제거 작업 동안 연질 필름에 풀 버퍼(pull buffer)를 제공함으로써 연질 필름이 손상되는 것을 보호한다.
본 개시의 또 다른 목적은 원하는 장력을 갖는 연질 필름을 제공하기 위해 클램핑 장치의 제1 바 및 제3 바를 플랫폼 상에 위치시킬 수 있는 연질 필름의 클램핑 장치의 장착 고정구를 제공하는 것이다. 두 개의 연결 바를 사용하여 제1 바의 두 개의 말단과 제3 바의 두 개의 말단을 연결하여 연질 필름이 원하는 장력으로 클램핑 장치에 고르게 고정되도록 한다. 따라서, 연질 필름은 공정 장치에 쉽게 이동 및 설치된다.
전술한 목적들에 따르면, 본 개시는 연질 필름의 클램핑 장치를 제공한다. 클램핑 장치는 제1 바, 제2 바, 제3 바, 및 하나 이상의 탄성 부재를 포함한다. 제1 바는 연질 필름의 제1 측면부를 고정하도록 구성된다. 제2 바는 연질 필름의 제2 측면부를 고정하도록 구성되며, 여기서 제2 측면부는 제1 측면부와 대향한다. 제3 바는 제2 바에 인접하고 연결되어 있으며, 여기서 제3 바와 제1 바는 각각 제2 바의 두 대향면에 위치하고, 제3 바는 제2 바를 통해 연질 필름의 제2 측면부에서 연질 필름을 당기도록 구성된다. 하나 이상의 탄성 부재는 서로 대향하는 제1 말단 및 제2 말단을 가지며, 각각 제2 바 및 제3 바에 배치되고, 여기서 하나 이상의 탄성 부재는 연질 필름에 풀 버퍼를 제공하도록 구성된다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 하나 이상의 탄성 부재는 다양한 스프링들을 포함한다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 스프링들은 일정한 피치로 제2 바와 제3 바 사이에 배치된다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 클램핑 장치는 제3 바에 배치된 하나 이상의 로드 셀(load cell)을 더 포함한다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 바 및 제3 바 각각에서 제1 단부 및 제1 단부와 대향하는 제2 단부는 각각 제1 관통 구멍 및 제2 관통 구멍을 갖는다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 클램핑 장치는 제1 연결 바 및 제2 연결 바를 더 포함한다. 제1 연결 바의 두 개의 대향하는 말단들은 각각 제1 바 및 제3 바의 제1 관통 구멍들에 배치된다. 제2 연결 바의 두 개의 대향하는 말단들은 각각 제1 바 및 제3 바의 제2 관통 구멍에 배치된다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 각각의 제1 관통 구멍 및 제2 관통 구멍의 측벽은 제1 결합부를 갖는다. 제1 연결 바 및 제2 연결 바 각각의 단부는 제2 결합부를 가지며, 여기서 제2 결합부들은 제1 결합부들과 상응하게 결합되도록 구성된다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 연질 필름은 각인 연질 필름이다.
전술한 목적들에 따라, 본 개시는 연질 필름의 클램핑 장치의 장착 고정구를 더 제공한다. 장착 고정구에는 플랫폼, 바리케이드 및 다양한 고정 부재들이 포함된다. 플랫폼의 표면에는 제1 고정부, 제1 고정부와 대향하는 제2 고정부 및 제3 고정부가 형성된다. 제1 고정부, 제2 고정부 및 제3 고정부는 각각 연질 필름의 클램핑 장치의 제1 바, 제2 바 및 제3 바가 배치되는 곳이다. 바리케이드는 제2 고정부와 제3 고정부 사이의 플랫폼 표면 상에 배치된다. 바리케이드는 클램핑 장치의 하나 이상의 탄성 부재를 수용하기 위한 하나 이상의 채널을 갖는다. 하나 이상의 탄성 부재의 두 개의 대향하는 말단들은 각각 제2 바 및 제3 바에 배치된다. 고정 부재들은 플랫폼의 표면 상에 배치되며, 플랫폼의 표면 상에서 제1 바 및 제3 바를 고정하도록 구성된다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 장착 고정구는 플랫폼의 표면으로부터 돌출되고 제1 고정부와 제2 고정부 사이에 위치하는 운반베이스를 더 포함한다. 운반베이스는 클램핑 장치에 의해 고정되는 연질 필름을 운반하도록 구성된다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 운반베이스는 다양한 진공 채널을 가지며, 진공 채널들은 연질 필름에 진공을 제공하도록 구성된다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 장착 고정구는 제1 고정 블록 및 제2 고정 블록을 더 포함한다. 제1 고정 블록은 플랫폼의 표면 상에 배치되고 제1 고정부에 인접한다. 제1 고정 블록은 제1 바를 위치를 지정하도록 구성된다. 제2 고정 블록은 플랫폼의 표면 상에 배치되고 제3 고정부에 인접한다. 제2 고정 블록은 바리케이드와 함께 제3 고정부로서 홈을 형성하도록 구성된다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 플랫폼은 제1 고정 블록 및 제1 고정부에 함몰된 제1 오목부, 및 제2 고정 블록 및 제3 고정부에 함몰된 제2 오목부를 더 포함한다. 클램핑 장치가 플랫폼 상에 배치될 때, 제1 바 및 제3 바는 각각 제1 오목부 및 제2 오목부 위에 위치한다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 하나 이상의 채널은 복수의 채널들을 포함하고, 하나 이상의 탄성 부재는 복수의 탄성 부재들을 포함하고, 채널들의 특성은 탄성 부재들의 특성과 동일하며, 채널들은 일정한 피치로 배치된다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 바리케이드는 플랫폼의 표면 상에서 제2 고정부 및 제3 고정부를 향해 이동 가능하게 배치된다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 각각의 고정 부재는 캘리퍼(caliper)를 포함한다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 바 및 제3 바의 제1 단부 및 제1 단부와 대향하는 제2 단부는 각각 제1 관통 구멍 및 제2 관통 구멍을 갖는다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 클램핑 장치는 제1 연결 바 및 제2 연결 바를 더 포함한다. 연질 필름의 두 개의 대향 측면부가 장착 고정구에 배치된 제1 바와 제2 바에 각각 끼워질 때, 제1 연결 바의 두 개의 대향하는 말단들은 각각 제1 바와 제3 바의 제1 관통 홀에 배치되고, 제2 연결 바의 두 개의 대향하는 말단들은 제1 바와 제3 바의 제2 관통 홀에 각각 배치된다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 각각의 제1 관통 구멍 및 제2 관통 구멍의 측벽은 제1 결합부를 갖는다. 제1 연결 바 및 제2 연결 바의 각각의 단부는 제2 결합부를 갖는다. 제2 결합부는 제 1결합부와 상응하게 결합되도록 구성된다.
본 개시의 일 실시예에 따르면, 클램핑 장치는 제1 바 및 제2 바를 이용하여 각인 연질 필름을 고정하도록 구성된다.
전술한 일반적인 설명 및 다음의 상세한 설명은 모두 예시에 의한 것이며 청구된 본 발명의 추가 설명을 제공하기 위한 것임을 이해해야 한다.
본 발명은 다음과 같이 첨부된 도면들을 참조하여, 실시예에 대한 다음의 상세한 설명을 읽음으로써 보다 완전히 이해될 수 있다.
도 1은 본 개시의 일 실시예에 따른 연질 필름의 클램핑 장치의 개략적인 평면도이다.
도 2a 내지 도 2d는 본 개시의 일 실시예에 따른 연질 필름의 클램핑 장치의 부분 확대도들이다.
도 3은 본 개시의 일 실시예에 따른 장착 고정구 상에 배치된 연질 필름의 클램핑 장치의 개략도이다.
도 4는 본 개시의 일 실시예에 따른 장착 고정구로부터 제거되는 연질 필름의 클램핑 장치의 개략도이다.
도 5는 도 3의 A부분의 개략적인 확대도이다.
도 6은 본 개시의 일 실시예에 따른 각인 장치 상에 배치된 연질 필름의 클램핑 장치의 개략도이다.
이제 본 발명의 본 실시예에 대한 참조가 상세하게 이루어질 것이며, 그 예는 첨부 도면에 도시되어 있다. 가능한 한 동일한 참조 번호가 도면 및 설명에서 사용되어 동일하거나 유사한 부분을 지칭한다.
도 1은 본 개시의 일 실시예에 따른 연질 필름의 클램핑 장치의 개략적인 평면도이다. 클램핑 장치(100)는 공정 장치에 운반 및 적재하기 위해 연질 필름(110)을 균일하게 유지하도록 구성된다. 각인 공정과 같은 공정이 완료된 후, 클램핑 장치(100)는 연질 필름(110)의 일 측면부를 위로 또는 연질 필름(110)의 대향 측면부를 향해 당겨서 웨이퍼로부터 연질 필름(110)을 서서히 제거하도록 구성된다. 일부 예시들에서, 연질 필름(110)은 각인 연질 필름이고 그의 활성 영역(112) 상에 다양한 각인 패턴 구조들을 포함한다. 연질 필름(110)은 연질 필름(110)의 두 대향면에 있는 제1 측면부(114) 및 제2 측면부(116)를 포함한다.
도 1을 참조하면, 클램핑 장치(100)는 주로 제1 바(120), 제2 바(130), 제3 바(140) 및 하나 이상의 탄성 부재(150)를 포함할 수 있다. 제1 바(120), 제2 바(130) 및 제3 바(140)는 알루미늄 또는 스테인리스 강과 같은 고강도 플라스틱 재질 또는 금속으로 형성될 수 있다. 제1 바(120)는 연질 필름(110)의 제1 측면부(114)를 고정하도록 구성된다. 예를 들어, 연질 필름(110)의 제1 측면부(114)는 나사 또는 자기력을 이용하여 제1 바(120)에 고정될 수 있다.
제1 바(120)는 서로 마주 보는 제1 단부(122)와 제2 단부(124)를 갖는다. 일부 예시들에서, 제1 바(120)는 제1 관통 구멍(126) 및 제2 관통 구멍(128)을 가지며, 여기서 제1 관통 구멍(126)은 제1 단부(122)를 통과하고, 제2 관통 구멍(128)은 제2 단부(124)를 통과한다. 일부 예시들에서, 제1 관통 구멍(126) 및 제2 관통 구멍(128)의 측벽은 각각 제1 결합부들(126e, 128e)을 갖는다. 예를 들어, 제1 결합부들(126e, 128e)은 제1 관통 구멍(126) 및 제2 관통 구멍(128)의 측벽들에서 돌출된 돌출부일 수 있다.
제2 바(130)는 연질 필름(110)의 제2 측면부(116)를 고정하도록 구성되고, 제2 바(130) 및 제1 바(120)가 각각 연질 필름(110)의 두 대향면을 고정한다. 유사하게, 연질 필름(110)의 제2 측면부(116)는 나사 또는 자기력을 이용하여 제2 바(130)에 고정될 수 있다. 따라서, 클램핑 장치(100)는 제1 바(120) 및 제2 바(130)를 이용하여 연질 필름(110)을 고정할 수 있다.
제3 바(140)는 제2 바(130)에 인접하고 제2 바(130)에 연결된다. 제3 바(140)는 제2 바(130)와 사이의 틈(G)만큼 이격될 수 있다. 제3 바(140)는 제2 바(130)에 대해 이동 또는 회전할 수 있다. 제3 바(140)와 제1 바(120)는 각각 제2 바(130)의 두 대향면에 위치한다. 제3 바(140)는 제2 바(130)를 당겨서 연질 필름(110)이 제2 바(130)에 의해 제2 측면부(116)로부터 당겨지도록 구성된다.
제3 바(140)는 제1 단부(142) 및 제1 단부(142)에 대향하는 제2 단부(144)를 갖는다. 일부 예시들에서, 제3 바(140)는 제1 관통 구멍(146) 및 제2 관통 구멍(148)을 갖는다. 제1 관통 구멍(146)은 제1 단부(142)를 통과하고, 제2 관통 구멍(148)은 제2 단부(144)를 통과한다. 일부 예시들에서, 제1 관통 구멍(146) 및 제2 관통 구멍(148)의 측벽은 각각 제1 결합부들(146e, 148e)을 갖는다. 제1 결합부들(146e, 148e)은 예를 들어, 제1 관통 구멍(146) 및 제2 관통 구멍(148)의 측벽에서 돌출된 돌출부일 수 있다.
도 1에 도시된 예에서, 하나 이상의 탄성 부재(150)의 특성은 1보다 크다. 일부 예시들에서, 탄성 부재들(150)은 스프링들이다. 각각의 탄성 부재들(150)은 서로 대향하는 제1 말단(152) 및 제2 말단(154)을 갖는다. 탄성 부재(150)의 제1 말단(152) 및 제2 말단(154)은 각각 제2 바(130) 및 제3 바(140) 상에 배치된다. 탄성 부재(150)는 연질 필름(110)에 풀 버퍼(pull buffer)를 제공하도록 구성된다. 일부 예시들에서, 탄성 부재(150)는 일정한 피치로 제2 바(130)와 제3 바(140) 사이에 배치되어 균일한 장력 버퍼를 연질 필름(110)에 제공한다.
일부 예시들에서, 클램핑 장치(100)는 제1 연결 바(160) 및 제2 연결 바(170)를 더 포함할 수 있다. 제1 연결 바(160)는 두 개의 대향하는 말단들(162, 164)을 갖는다. 제1 연결 바(160)의 말단들(162, 164)은 각각 제1 바(120)의 제1 관통 구멍(126) 및 제3 바(140)의 제1 관통 구멍(146)에 배치된다. 제1 연결 바(160)의 말단들(162, 164)은 제1 바(120) 및 제3 바(140)에서 상하로 제거될 수 있다. 일부 예시들에서, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 제1 연결 바(160)의 말단들(162, 164)은 각각 제2 결합부들(162e, 164e)을 갖는다. 제2 결합부들(162e, 164e)은 제1 결합부들(126e, 146e)과 상응하게 결합될 수 있어서, 제1 연결 바(160)는 제1 바(120)와 제3 바(140) 사이에 고정된다.
유사하게, 제2 연결 바(170)는 두 개의 대향하는 말단들(172, 174)을 갖는다. 제2 연결 바(170)의 말단들(172, 174)은 각각 제1 바(120)의 제2 관통 구멍(128) 및 제3 바(140)의 제2 관통 구멍(148)에 배치된다. 제2 연결 바(170)의 말단들(172, 174)은 또한 제1 바(120) 및 제3 바(140)로부터 상하로 제거될 수 있다. 도 2c 및 도 2d에 도시된 바와 같이, 제2 연결 바(170)의 말단들(172, 174)은 각각 제2 결합부들(172e, 174e)을 가질 수 있다. 제2 결합부들(172e, 174e)은 제1 결합부들(128e, 148e)과 상응하게 결합될 수 있어서, 제2 연결 바(170)는 제1 바(120)와 제3 바(140) 사이에 고정된다.
연질 필름(110)의 제1 측면부(114) 및 제2 측면부(116)가 각각 제1 바(120) 및 제2 바(130)에 의해 고정될 때, 제1 바(120)와 제3 바(140) 사이에 연결된 제1 연결 바(160) 및 제2 연결 바(170)는 연질 필름(110)을 펴서, 클램핑 장치(100)에 의해 연질 필름(110)이 균일하게 고정되도록 할 수 있다. 연질 필름(110)을 공정에 사용하는 경우, 제1 바(120)를 가공 툴에 고정하고, 제1 연결 바(160)와 제2 연결 바(170)를 제거하여 연질 필름(110)의 제2 측면부(116)는 제3 바(140)를 이동시켜 제2 바(130)를 당김으로써 위쪽으로 또는 제1 측면부(114)쪽으로 당겨질 수 있다. 따라서, 연질 필름(110)은 상이한 방법들을 사용하여 웨이퍼로부터 제거된다. 연질 필름(110)의 제거 각도는 0도에서 180도 사이일 수 있다.
일부 예시들에서, 클램핑 장치(100)는 하나 이상의 로드 셀(180)을 더 포함할 수 있다. 도 1에 도시된 예시에서, 클램핑 장치(100)는 두 개의 로드 셀(180)을 포함하고, 로드 셀(180)은 제3 바(140)에 배치된다. 로드 셀(180)은 제3 바(140)의 두 개의 대향 단부에 각각 위치할 수 있다. 로드 셀(180)은 연질 필름(110)에 가해지는 당김의 변화를 즉시 측정하여 보여주므로 작업자는 측정 결과에 따라 당기는 힘을 조절할 수 있다.
도 3은 본 개시의 일 실시예에 따른 장착 고정구 상에 배치된 연질 필름의 클램핑 장치의 개략도이고, 도 4는 본 개시의 일 실시예에 따른 장착 고정구로부터 제거되는 연질 필름의 클램핑 장치의 개략도이다. 연질 필름(110)은 장착 고정구(200)를 이용하여 클램핑 장치(100)에 세팅될 수 있다. 장착 고정구(200)는 주로 플랫폼(210), 바리케이드(220) 및 다양한 고정 부재들(230a - 230d)을 포함할 수 있다.
플랫폼(210)은 플레이트 구조이다. 플랫폼(210)은 스테인레스 스틸과 같은 금속으로 형성될 수 있다. 플랫폼(210)은 연질 필름(110)의 세팅 중에 클램핑 장치(100)를 운반 및 고정하도록 구성될 수 있다. 플랫폼(210)은 표면(210a)을 갖는다. 일부 예시들에서, 플랫폼(210)은 플랫폼(210)의 표면(210a) 상에 배치된 제1 고정부(212), 제2 고정부(214) 및 제3 고정부(216)를 포함한다. 제2 고정부(214) 및 제3 고정부(216)는 제1 고정부(212)와 대향한다. 제1 바(120), 제2 바(130), 제3 바(140)는 각각 제1 고정부(212), 제2 고정부(214) 및 제3 고정부(216)에 배치된다.
일부 예시들에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 장착 고정구(200)는 운반베이스(240)를 더 포함한다. 운반베이스(240)는 제1 고정부(212)와 제2 고정부(214) 사이에 위치하며, 플랫폼(210)의 표면(210a)으로부터 돌출된다. 운반베이스(240)는 연질 필름(110)을 클램핑 장치(100)에 세팅하는 동안 연질 필름(110)을 운반할 수 있다.
일부 예시들에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 운반베이스(240)는 다양한 진공 채널들(242)을 갖는다. 진공 채널들(242)은 운반베이스(240)의 표면(240a)에 함몰된다. 진공 채널들(242)은 진공 펌핑 장치(미도시)에 연결함으로써 운반베이스(240)의 표면(240a)에 배치된 연질 필름(110)에 진공을 제공할 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 바리케이드(220)는 플랫폼(210)의 표면(210a)에 배치된다. 제2 고정부(214)는 바리케이드(220)와 운반베이스(240) 사이에 위치하며, 제2 고정부(214)는 바리케이드(220)와 운반베이스(240)에 의해 형성된 홈이 된다. 바리케이드(220)는 제2 고정부(214)와 제3 고정부(216) 사이에 위치한다.
도 5를 참조하면, 도 5는 도 3의 A부분을 개략적으로 확대한 도면이다. 제2 바(130)와 제3 바(140)는 각각 바리케이드(220)의 두 대향면에 위치하며, 각 탄성 부재(150)의 두 개의 말단(152,154)은 각각 제2 바(130)와 제3 바(140)에 배치된다. 따라서, 바리케이드(220)는 클램핑 장치(100)의 하나 이상의 탄성 부재(150)를 수용하기 위해 바리케이드(220)를 통과하는 하나 이상의 채널(222)을 갖는다. 도 5에 도시된 예시에서, 바리케이드(220)는 다양한 채널(222)을 가지며, 채널들(222)의 특성은 탄성 부재들(150)을 상응하게 수용하기 위해 탄성 부재들(150)의 특성과 동일할 수 있다. 일부 예시들에서, 채널들(222)은 일정한 피치로 바리케이드(220)에 형성된다. 바리케이드(220)는 플랫폼(212)의 표면(210a) 상에 이동 가능하게 배치되고, 이에 따라 바리케이드(220)가 제2 고정부(214)와 제3 고정부(216)를 향해 이동할 수 있다. 즉, 바리케이드(220)는 제2 고정부(214)와 제3 고정부(216) 사이를 이동할 수 있다.
일부 예시들에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 장착 고정구(200)는 선택적으로 제1 고정 블록(250) 및 제2 고정 블록(260)을 포함할 수 있다. 제1 고정 블록(250)은 플랫폼(210)의 표면(210a) 상에 배치된다. 제1 고정 블록(250)은 제1 고정부(212)에 인접하고, 제1 고정부(212)는 제1 고정 블록(250)과 운반베이스(240) 사이에 위치하여, 제1 고정부(212)는 제1 고정 블록(250)과 운반베이스(240)에 의해 형성된 홈이다. 따라서, 제1 고정 블록(250)은 제1 고정부(212)에 제1 바(120)를 위치시키는 데 사용될 수 있다.
제2 고정 블록(260)은 플랫폼(210)의 표면(210a) 상에 배치된다. 제2 고정 블록(260)은 제3 고정부(216)에 인접하고, 제3 고정부(216)는 제2 고정 블록(260)과 바리케이드(220) 사이에 위치하여, 제3 고정부(216)는 제2 고정 블록(260)과 바리케이드(220)에 의해 형성된 홈이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 플랫폼(210)은 선택적으로 제1 오목부(218a) 및 제2 오목부(218b)를 포함할 수 있다. 제1 오목부(218a) 및 제2 오목부(218b)는 각각 플랫폼(210)의 두 대향면에 위치한다. 제1 오목부(218a)는 제1 고정 블록(250) 및 제1 고정부(212)에 오목하게 형성된다. 제2 오목부(218b)는 제2 고정 블록(260) 및 제3 고정부(216)에 오목하게 형성된다. 따라서, 클램핑 장치(100)가 플랫폼(210)의 표면(210a)에 배치되면, 제1 바(120) 및 제3 바(140)는 각각 제1 오목부(218a) 및 제2 오목부(218b) 위에 위치하여, 작업자는 클램핑 장치(100)와 클램핑 장치(100)에 의해 고정된 연질 필름(110)을 제1 오목부(218a) 및 제2 오목부(218b)를 통해 쉽게 취할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 고정 부재들(230a - 230d)은 플랫폼(210)의 표면(210a) 상에 배치된다. 일부 예시들에서, 고정 부재들(230a, 230b)은 각각 제1 바(120)의 제1 단부(122) 및 제2 단부(124)에 인접하고, 플랫폼(210)의 표면(210a) 상에 제1 바(130)를 고정하기 위해 제1 단부(122) 및 제2 단부(124)를 각각 고정한다. 또한, 고정 부재들(230c, 230d)은 제3 바(140)의 제1 단부(142) 및 제2 단부(144)에 각각 인접하고, 플랫폼(210)의 표면(210a) 상에 제3 바(140)를 고정하기 위해 제1 단부(142) 및 제2 단부(144)를 각각 고정한다. 고정 부재들(230a - 230d)은 플랫폼(210)의 표면(210a) 상에 제1 바(120) 및 제3 바(140)를 고정할 수 있는 임의의 부재일 수 있다. 예를 들어, 각각의 고정 부재들(230a - 230d)은 캘리퍼를 포함하여 제1 바(120) 및 제3 바(140)를 쉽고 빠르게 고정 및 제거할 수 있다.
도 1, 도 3 및 도 4를 참조하면, 연질 필름(110)의 세팅에서 클램핑 장치(100)는 플랫폼(210)의 표면(210a) 상에 배치된다. 제1 바(120), 제2 바(130) 및 제3 바(140)는 각각 제1 고정부(212), 제2 고정부(214) 및 제3 고정부(216)에 위치한다. 제1 바(120)와 제3 바(140)는 각각 고정 부재들(230a, 230b)과 고정 부재들(230c, 230d)에 의해 플랫폼(210)의 표면(210a) 상에 고정된다. 연질 필름(110)이 제공되고, 연질 필름(110)의 제1 측면부(114)는 제1 바(120)에 고정된다. 이후, 운반베이스(240)의 표면(240a) 상에 있는 진공 채널(242)을 통해 진공 펌핑 작업이 수행되어 운반베이스(240)의 표면(242a) 상에 있는 연질 필름(110)을 흡수한다. 다음으로, 제2 측면부(116)는 제2 바(130)에 고정된다. 일부 예시들에서, 바리케이드(220)는 연질 필름(110)의 장력을 조절하기 위해 제2 바(130) 또는 제3 바(140)쪽으로 제거될 수 있다.
그 다음, 제1 바(120)와 제3 바(140) 사이에 제1 연결 바(160)를 배치하기 위하여 제1 연결 바(160)의 단부들(162, 164)을 각각 제1 바(120)의 제1 관통 구멍(126)과 제3 바(140)의 제1 관통 구멍(146)에 넣는다. 마찬가지로, 제1 바(120)와 제3 바(140) 사이에 제2 연결 바(170)를 배치하기 위하여 제2 연결 바(170)의 단부들(172, 174)을 각각 제1 바(120)의 제2 관통 구멍(128)과 제3 바(140)의 제2 관통 구멍(148)에 넣는다. 연질 필름(110)은 클램핑 장치(100)에 의해 나란히 고정되고, 고정 부재들(230a - 230d)이 개방되어 제1 바(120) 및 제3 바(140)가 제거된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 작업자는 제1 오목부(218a) 및 제2 오목부(218b)를 통해 장착 고정구(200)로부터 연질 필름(110)이 있는 클램핑 장치(100)를 취할 수 있다. 일부 예시들에서, 연질 필름(110)은 각인 연질 필름이고, 클램핑 장치(100)가 장착 고정구(200)에 장착될 때 활성 영역(112)의 각인 패턴 구조는 상향이다.
도 6은 본 개시의 일 실시예에 따른 각인 장치 상에 배치된 연질 필름의 클램핑 장치의 개략도이다. 연질 필름(110)을 각인 공정에 적용하면, 각인 장치(300)에서 수행되는 클램핑 장치(100)는 각인 장치(300)의 척(chuck)(310)에 의해 운반되는 웨이퍼(미도시)를 향하도록 활성 영역(112)을 회전시키기 위해 반전된다. 각인 장치(300)는 주로 척(310), 벤치(320), 고정베이스(330), 전동 샤프트(340) 및 롤러(350)를 포함할 수 있다. 웨이퍼는 진공 흡수 또는 정전 흡수에 의해 척(310)에 고정될 수 있다. 벤치(320)에는 고정베이스(330), 전동 샤프트(340) 및 롤러(350)가 배치된다. 척(310)은 벤치(320)에 배치되며 고정베이스(330)와 전동 샤프트(340) 사이에 위치한다.
제1 바(120)는 고정베이스(330)에 고정되고, 제3 바(140)는 전동 샤프트(340)에 고정되어 연질 필름(110)이 척(310) 위에 위치할 수 있다. 제3 바(140)는 전동 샤프트(340)에 의해 제1 바(120)를 향해 상방으로 구동될 수 있다. 롤러(350)는 척(310) 위로 굴러갈 수 있다.
각인 공정이 수행되면, 척(310)에 웨이퍼(미도시)가 고정되고, 클램핑 장치(100)가 반전되어, 연질 필름(110)의 활성 영역(112)이 웨이퍼를 향하게 된다. 클램핑 장치(100)의 제1 연결 바(160) 및 제2 연결 바(170)가 제거된다. 그 후, 롤러(350)는 연질 필름(110)상에서 롤링되어 연질 필름(110)의 활성 영역(112)을 웨이퍼 상으로 가압하여, 활성 영역(112)상의 패턴 구조들을 웨이퍼로 전달할 수 있다. 롤러(350)는 연질 필름(110)을 제1 바(120)에서 제2 바(130)로 롤링할 수 있다.
연질 필름(110)의 활성 영역(112) 상의 패턴 구조들이 웨이퍼 상에 전사된 후, 예를 들어 자외선을 이용하여 웨이퍼에 경화 처리가 수행될 수 있다. 다음으로, 연질 필름(110)의 제거 작업이 수행된다. 제거 작업에서, 롤러(350)는 연질 필름(110)을 제2 바(130)에서 제1 바(120) 방향으로 서서히 롤링하고, 전동 샤프트(340)는 웨이퍼로부터 연질 필름(110)을 제거하기 위해 제3 바(140)를 구동하여 제2 바(130)를 당긴다. 일부 예시들에서, 제3 바(140)는 위쪽으로 당겨지고 롤러(350)가 제1 바(120)를 향해 롤링하는 동안 만곡된다. 다른 예시들에서, 제3 바(140)는 제거 작업 동안 위로 당겨진다. 또 다른 예시들에서, 제3 바(140)는 제1 바(120)를 향하여 그리고 롤러(350)를 가로 질러 당겨진다. 연질 필름(110)의 제거 정도은 롤러(350) 및 전동 샤프트(340)에 의해 제어될 수 있다.
전술한 실시예들에 따르면, 본 개시의 한 가지 장점은 연질 필름의 클램핑 장치가 연질 필름의 두 개의 대향 측면부를 각각 유지하기 위해 제1 바 및 제2 바를 사용한다는 것이다. 연질 필름의 제거 작업 동안, 제1 바는 고정되고, 제2 바를 상방 또는 제1 바 쪽으로 이동시켜 연질 필름을 잡아 당겨 연질 필름이 웨이퍼로부터 서서히 제거되도록 한다. 따라서, 제거 작업은 다양한 제거 동작들에 의해 수행될 수 있다.
전술한 실시예들에 따르면, 본 개시의 또 다른 장점은 클램핑 장치가 하나 이상의 탄성 부재를 통해 제2 바에 연결된 제3 바를 포함하고, 제거 작업 중에 탄성 부재가 연질 필름에 풀 버퍼를 제공하도록 하며, 이에 따라 연질 필름이 손상되지 않도록 보호한다. 전술한 실시예들에 따르면, 본 개시의 또 다른 장점은 연질 필름의 클램핑 장치의 장착 고정구가 플랫폼 상에 클램핑 장치의 제1 바 및 제3 바를 위치시켜 연질 필름에 원하는 장력을 제공할 수 있다는 것이다. 두 개의 연결 바를 사용하여 제1 바의 두 개의 말단과 제3 바의 두 개의 말단을 연결하여 연질 필름이 원하는 장력으로 클램핑 장치에 고르게 고정되도록 한다. 따라서, 연질 필름은 공정 장치에 쉽게 이동 및 설치된다.
본 발명은 특정 실시예들을 참조하여 상당히 상세하게 설명되었지만, 다른 실시예들도 가능하다. 따라서, 첨부된 청구항들의 사상 및 범위는 여기에 포함된 실시예들의 설명으로 제한되지 않아야 한다.
본 발명의 범위 또는 사상을 벗어나지 않고 본 발명의 구조에 대해 다양한 수정 및 변경이 이루어질 수 있음은 당업자에게 명백하다. 전술한 바와 같이, 본 발명은 본 발명의 수정 및 변경이 다음의 청구항들의 범위에 속한다면 본 발명을 포함하는 것으로 의도된다.

Claims (20)

  1. 연질 필름의 클램핑 장치로서,
    상기 연질 필름의 제1 측면부를 고정하도록 구성된 제1 바;
    상기 연질 필름의 제2 측면부를 고정하도록 구성된 제2 바로서, 상기 제2 측면부는 상기 제1 측면부와 대향하는, 제2 바;
    상기 제2 바에 인접하여 연결되는 제3 바로서, 상기 제3 바 및 상기 제1 바는 각각 상기 제2 바의 두 대향면에 위치하며, 상기 제3 바는 상기 제2 바를 통해 상기 연질 필름의 상기 제2 측면부로부터 상기 연질 필름을 당기도록 구성되고, 상기 제1 바 및 상기 제3 바 각각의 제1 단부 및 상기 제1 단부에 대향하는 제2 단부는 각각 제1 관통 구멍 및 제2관통 구멍이 구비되는, 제3 바;
    서로 대향하게 상기 제2 바 및 상기 제3 바에 각각 배치되는 제1 말단 및 제2 말단을 가지고, 상기 연질 필름에 풀 버퍼를 제공하도록 구성되는, 하나 이상의 탄성 부재;
    제1 연결 바로서, 상기 제1 연결 바의 두 개의 대향하는 말단들은 상기 제1 바 및 상기 제3 바의 상기 제1 관통 구멍들에 각각 배치되는, 제1 연결 바; 및
    제2 연결 바로서, 상기 제2 연결 바의 두 개의 대향하는 말단들은 상기 제1 바 및 상기 제3 바의 상기 제2 관통 구멍들에 각각 배치되는, 제2 연결 바를 포함하고,
    상기 제1 바의 상기 제1 관통 구멍 및 상기 제2 관통 구멍은 상기 제1 바의 상면으로부터 상기 제1 바의 하면까지 상기 제1 바를 통과하고, 상기 제3 바의 상기 제1 관통 구멍 및 상기 제2 관통 구멍은 상기 제3 바의 상면으로부터 상기 제3 바의 하면까지 상기 제3 바를 통과하고, 상기 제1 연결 바의 말단들 및 상기 제2 연결 바의 말단들은 상기 제1 바 및 상기 제3 바에서 상하로 제거될 수 있는, 클램핑 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 탄성 부재는 복수의 스프링을 포함하는, 클램핑 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 스프링들은 일정한 피치로 상기 제2 바와 상기 제3 바 사이에 배치되는, 클램핑 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제3 바에 배치된 하나 이상의 로드 셀을 더 포함하는, 클램핑 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    각각의 상기 제1 관통 구멍들 및 상기 제2 관통 구멍들의 측벽은 제1 결합부를 가지고, 상기 제1 결합부들은 상기 제1 관통 구멍 및 상기 제2 관통 구멍의 측벽들에서 돌출된 돌출부들이며,
    상기 제1 연결 바 및 상기 제2 연결 바 각각의 말단들은 제2 결합부를 가지고, 상기 제2 결합부들은 상기 제1 결합부들과 상응하게 결합되도록 구성되는, 클램핑 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 연질 필름은 각인 연질 필름인, 클램핑 장치.
  9. 연질 필름의 클램핑 장치의 장착 고정구로서,
    플랫폼으로서, 상기 플랫폼의 표면은 제1 고정부, 및 상기 제1 고정부와 대향하는 제2 고정부 및 제3 고정부를 가지도록 형성되고, 상기 제1 고정부, 상기 제2 고정부, 및 상기 제3 고정부에 연질 필름의 클램핑 장치의 제1 바, 제2 바, 및 제3 바가 각각 배치되는, 플랫폼;
    상기 제2 고정부와 상기 제3 고정부 사이의 플랫폼 표면 상에 배치되는 바리케이드로서, 상기 바리케이드는 클램핑 장치의 하나 이상의 탄성 부재를 수용하기 위한 하나 이상의 채널을 갖고, 상기 하나 이상의 탄성 부재의 두 개의 대향하는 말단들이 각각 상기 제2 바 및 상기 제3 바에 배치되는, 바리케이드; 및
    상기 플랫폼의 표면 상에 배치되고, 상기 플랫폼의 표면 상에 상기 제1 바와 상기 제3 바를 고정하도록 구성되는 복수의 고정 부재를 포함하는, 장착 고정구.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 플랫폼의 표면으로부터 돌출되고 상기 제1 고정부와 상기 제2 고정부 사이에 위치하는 운반베이스를 더 포함하고, 상기 운반베이스는 상기 클램핑 장치에 의해 고정될 상기 연질 필름을 운반하도록 구성되는, 장착 고정구.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 운반베이스는 복수의 진공 채널을 가지며, 상기 진공 채널들은 상기 연질 필름에 진공을 제공하도록 구성되는, 장착 고정구.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1 고정부에 인접하여 상기 플랫폼의 표면 상에 배치되고, 상기 제1 바를 위치시키도록 구성된 제1 고정 블록; 및
    상기 제3 고정부에 인접하여 상기 플랫폼의 표면 상에 배치되고, 상기 바리케이드와 함께 상기 제3 고정부로서 홈을 형성하도록 구성되는 제2 고정 블록을 더 포함하는, 장착 고정구.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 플랫폼은,
    상기 제1 고정 블록 및 상기 제1 고정부에 오목하게 형성된 제1 오목부; 및
    상기 제2 고정 블록 및 상기 제3 고정부에 오목하게 형성된 제2 오목부를 더 포함하고,
    상기 클램핑 장치가 상기 플랫폼 상에 배치될 때, 상기 제1 바 및 상기 제3 바는 각각 상기 제1 오목부 및 상기 제2 오목부 위에 위치하게 되는, 장착 고정구.
  14. 제 9 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 채널은 복수의 채널들을 포함하고, 상기 하나 이상의 탄성 부재는 복수의 탄성 부재들을 포함하며, 상기 채널들의 특성은 상기 탄성 부재들의 특성과 동일하며, 상기 채널들은 일정한 피치로 배치되는, 장착 고정구.
  15. 제 9 항에 있어서,
    상기 바리케이드는 상기 플랫폼의 표면에서 상기 제2 고정부 및 상기 제3 고정부를 향해 이동 가능하게 배치되는, 장착 고정구.
  16. 제 9 항에 있어서,
    각각의 상기 고정 부재들은 캘리퍼를 포함하는, 장착 고정구.
  17. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1 바 및 상기 제3 바 각각의 제1 단부 및 상기 제1 단부에 대향하는 제2 단부는 각각 제1 관통 구멍 및 제2 관통 구멍을 포함하는, 장착 고정구.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 클램핑 장치는,
    제1 연결 바; 및
    제2 연결 바를 더 포함하고,
    상기 연질 필름의 두 개의 대향 측면부가 각각 상기 장착 고정구에 배치된 상기 제1 바 및 상기 제2 바에 끼워질 때, 상기 제1 연결 바의 두 개의 대향하는 말단들이 각각 상기 제1 바와 상기 제3 바의 상기 제1 관통 구멍들에 배치되고, 상기 제2 연결 바의 두 개의 대향하는 말단들은 각각 상기 제1 바와 상기 제3 바의 상기 제2 관통 구멍들에 배치되는, 장착 고정구.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 제1 관통 구멍 및 상기 제2 관통 구멍 각각의 측벽은 제1 결합부를 가지고,
    상기 제1 연결 바 및 상기 제2 연결 바 각각의 말단들은 제2 결합부를 가지며, 상기 제2 결합부는 상기 제1 결합부와 상응하게 결합되도록 구성되는, 장착 고정구.
  20. 제 9 항에 있어서,
    상기 클램핑 장치는 상기 제1 바와 상기 제2 바를 이용하여 각인 연질 필름을 고정하도록 구성되는, 장착 고정구.
KR1020210073638A 2020-07-23 2021-06-07 연질 필름의 클램핑 장치 및 그의 장착 고정구 KR102629533B1 (ko)

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