KR20220076326A - 반송 장치, 성막 장치, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법 - Google Patents

반송 장치, 성막 장치, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법 Download PDF

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KR20220076326A
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magnet
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타카시 시부야
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캐논 톡키 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 마그넷의 배치에 의해 집진 롤러의 집진 효율 및 유지 보수의 용이성을 향상시키는 것이다.
[해결 수단]
기판의 반송 장치는, 재치된 기판을 반송하는 반송 롤러와, 반송 롤러를 둘러싸는 커버 유닛을 구비하고, 커버 유닛은, 반송 롤러의 하방에 설치된 트레이와, 트레이의 하방에 설치된 마그넷을 포함한다.

Description

반송 장치, 성막 장치, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법{CONVEYANCE APPARATUS, FILM FORMING APPARATUS,　FILM FORMING METHOD AND MANUFACTURING METHOD OF ELECTRONIC DEVICE}
본 발명은, 반송 장치, 성막 장치, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법에 관한 것이다.
유기 EL 디스플레이 등의 제조에 있어서는, 마스크를 사용하여 기판 상에 증착 물질을 성막하는 인라인형의 성막 장치가 알려져 있다. 인용 문헌 1에는, 성막을 위한 챔버 내에서 기판을 반송하면서 성막을 행하는 성막 장치가 도시되어 있다.
특허문헌 1: 일본특허공개 2014-173170호 공보 특허문헌 2: 일본특허공개 2004-204823호 공보
여기서, 반송 장치에 설치된 반송 롤러와 반송되는 기판과의 접촉에 의해 발생한 분진 등이, 반송 롤러의 회전에 의해 발생하는 기류나 증착원으로부터 방출되는 증착 재료에 의해 발생하는 기류에 의해 날아올라, 기판 상이나 성막 장치의 구동 구조에 부착되어, 성막 불량이나 반송 롤러의 동작 불량이 발생하는 것을 방지하기 위해, 반송 롤러에는 커버 유닛이 설치되는 경우가 있다. 또한, 커버 유닛에는, 쌓인 분진이 커버 유닛 밖으로 나오지 않도록 마그넷이 설치되는 경우가 있다(인용문헌 2).
본 발명은, 마그넷의 배치에 의해 집진 롤러의 집진 효율 및 유지 보수의 용이성을 향상시키기 위한 기술에 관한 것이다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 기판의 반송 장치로서,
재치된 기판을 반송하는 반송 롤러와,
상기 반송 롤러를 둘러싸는 커버 유닛을 구비하고,
상기 커버 유닛은,
상기 반송 롤러의 하측에 설치된 트레이와,
상기 트레이의 하측에 설치된 마그넷을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 장치가 제공된다.
본 발명에 의하면, 마그넷의 배치에 의해 집진 롤러의 집진 효율 및 유지 보수의 용이성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 일 실시형태에 따른 성막 장치의 개략도이다.
도 2는 성막 장치의 성막 처리를 나타내는 도면이다.
도 3은 반송 유닛과 증착 유닛의 분리를 나타내는 도면이다.
도 4는 일 실시형태에 따른 반송 유닛의 개략도이다.
도 5는 반송 유닛의 면 X에서의 단면도이다.
도 6은 반송 유닛의 면 Y에서의 단면도이다.
도 7은 반송 롤러 및 커버 유닛의 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 8은 커버 유닛에 배치된 마그넷이 형성하는 자계의 자속 밀도를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 실시 형태를 상세하게 설명한다. 한편, 이하의 실시 형태는 특허청구의 범위에 따른 발명을 한정하는 것이 아니다. 실시 형태에는 복수의 특징이 기재되어 있으나, 이들 복수의 특징 모두가 발명에 필수적인 것은 아니고, 또한, 복수의 특징은 임의로 조합되어도 된다. 또한, 첨부 도면에 있어서는, 동일 또는 유사한 구성에 동일한 참조 번호를 붙여, 중복 설명은 생략한다.
<성막 장치의 개요>
도 1(A) 및 도 1(B)는, 본 실시형태에 따른 성막 장치를 나타내는 개략도이다. 도 1(A) 및 도 1(B)에 나타내는 본 실시형태에 따른 성막 장치(1)는, 기판을 반송하면서 제막하는 인라인형의 성막 장치이다. 본 실시형태에 따른 성막 장치(1)는, 예를 들면, 스마트폰용의 유기 EL 표시 장치의 표시 패널 등의 전자 디바이스의 제조 라인에 적용된다. 성막 장치(1)는, 반송 유닛(2), 증착 유닛(3), 프레임(4)을 포함한다.
반송 유닛(2)은, 기판 상에 형성하는 박막 패턴에 대응하는 개구 패턴을 갖는 메탈 마스크 등의 마스크에 의해 마스크된 기판이 배치된 마스크 트레이를 반입구(5)로부터 반출구(6)까지 반송하기 위한 장치이다. 또한, 반송 유닛(2)의 저면에는, 증착 유닛(3)의 증착원으로부터 방출된 증착 재료가 마스크 트레이에 배치된 기판에 증착되도록 개구가 배치된다.
증착 유닛(3)은, 후술하는 증착원을 갖고, 증착 유닛(3)의 천장면측에는 반송 유닛(2)에 의해 반송되는 기판에 증착 재료를 방출하기 위한 개구를 갖는다. 또한, 증착 유닛(3) 또는 프레임(4)에 배치된 승강 기구(41) 및 슬라이드 기구(42)에 의해, 후술하는 반송 유닛(2)과 증착 유닛(3)의 분리가 행해진다.
프레임(4)은, 반송 유닛(2)과 증착 유닛(3)을 지지하기 위한 구조이다. 본 실시형태에서는, 프레임(4)이 승강 기구(41) 및 슬라이드 기구(42)를 구비함으로써 하여 설명하는데, 승강 기구 및 슬라이드 기구 중 적어도 하나가 증착 유닛(3)에 구비되어도 된다.
또한, 도 1(B)에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에서는, 성막 장치(1)는 3개의 증착 유닛(3A∼3C)(총칭하여 증착 유닛(3)이라고 함)을 구비하고, 반송되는 기판에 1종류 이상의 증착 재료를 연속하여 증착할 수 있다. 한편, 도 1(B)의 예에서는, 승강 기구(41)는 생략하여 도시되어 있다. 증착 유닛(3)의 수, 및 각각의 증착 유닛(3)이 방출하는 증착 재료의 종류는 임의로 변경 가능하다. 또한, 승강 기구(41) 및 슬라이드 기구(42)는, 복수의 증착 유닛(3)을 함께 승강 또는 슬라이드시켜도 되고, 별개로 승강 또는 슬라이드시켜도 된다.
도 2(A)∼도 2(D)는, 본 실시형태에 따른 성막 장치(1)의 성막 처리를 나타낸다. 여기서, 도 1(A)의 성막 장치(1)의 면 XZ에서의 단면도를 나타낸다. 한편, 도 2(A)∼도 2(D)에서는, 프레임(4)은 생략하여 도시되어 있다.
도 2(A)는, 기판이 배치된 마스크 트레이(201)가 반입구(5)로부터 반입된 상태의 성막 장치(1)를 나타낸다. 반송 유닛(2)은 각각의 증착 유닛(3)에 대응하는 개구(21A∼21C)(총칭하여 개구(21)이라고 함)를 구비한다. 증착 유닛(3)은 각각 대응하는 증착원(31A∼31C)(총칭하여 증착원(31)이라고 함)을 구비한다. 도 2(A)에서, 반입된 마스크 트레이(201)는, 반송 유닛(2)이 구비하는 복수의 반송 롤러(22)에 의해, 반송 유닛(2)의 개구(21) 상으로 반송된다.
도 2(B)는, 마스크 트레이(201)가 개구(21A) 상으로 반송되고, 증착 유닛(3A)의 증착원(31A)으로부터 증착 재료를 방출하고 있는 상태의 성막 장치(1)를 나타낸다. 도 2(B)에서는, 기판이 반송되고 있는 상태에서, 증착원(31A)으로부터 상방을 향해 증착 재료가 방출되고 있다. 이에 의해, 마스크 패턴을 따라 기판 상에 증착 재료가 증착된다. 본 실시형태에 따른 성막 장치(1)는, 마스크 트레이(201)가 이동하고 있는 상태로 증착을 행함으로써 하여 설명하지만, 마스크 트레이(201)가 개구(21) 상에 위치하는 상태에서 이동을 일시정지 또는 감속하도록 마스크 트레이(201)의 반송 속도를 제어하여도 된다. 이에 의해, 성막 장치(1)는 기판 상에 적절한 두께의 증착 재료가 증착되도록 제어할 수 있다.
도 2(C)는, 증착된 기판이 반송 유닛(2)에 의해 반송되어, 다음 증착 유닛(3B)에 대응하는 개구(21B) 상으로 마스크 트레이(201)가 반송되고 있는 상태를 나타낸다. 여기서, 증착 유닛(3B)의 증착원(31B)으로부터 증착 재료가 방출된다. 그리고, 성막 장치(1)는 마스크 트레이(201)의 반송을 진행하여 다음 증착 유닛(3C)에 의해 다음 증착을 행하고, 도 2(D)에 도시된 바와 같이, 증착이 완료된 마스크 트레이(201)가, 반출구(6)로부터 반출된다. 이와 같이, 반송 유닛(2)의 반송 롤러(22)에 의해 반입구(5)로부터 반출구(6)까지 반송될 때까지 복수의 증착 유닛(3)으로부터 증착을 행할 수 있다.
계속해서, 도 3(A) 및 도 3(B)를 참조하여, 반송 유닛(2)과 증착 유닛(3)의 분리에 대해서 설명한다. 증착 유닛(3)의 증착원(31)으로부터 방출된 증착 재료가 반송 유닛(2)의 측벽이나 천장면에 부착되고, 낙하하여 반송 중의 기판에 부착됨으로써, 증착 처리가 실패하는 경우가 있다. 또한, 반송 유닛(2)의 측벽이나 천장면에 부착된 증착 재료가 낙하하여 반송 롤러(22)에 부착됨으로써 반송되고 있는 기판이 오손되거나, 반송 롤러(22)의 동작 불량이 발생하는 경우가 있다. 이 때문에, 반송 유닛(2)의 측벽이나 천장면에는 방착판이 설치되며, 방착판을 정기적으로 세정 또는 교환하는 유지 보수가 필요하게 된다.
또한, 반송 롤러(22)와 마스크 트레이(201)의 접촉에 의해 발생하는 분진이, 반송 롤러의 회전이나 증착 재료의 방출에 의해 발생하는 기류에 의해 날아올라, 기판이나 성막 장치(1)의 구동 구조에 부착되어, 성막 처리의 실패나 반송 유닛(2)의 동작 불량이 발생하는 경우가 있다. 이 때문에, 반송 롤러(22)에는, 발생한 분진이 흩어지는 것을 방지하기 위한 커버 유닛 설치되고, 커버 유닛의 교환 또는 청소 등의 유지 보수를 정기적으로 행하는 경우가 있다.
이러한 경우, 반송 유닛(2)과 증착 유닛(3)을 분리하여, 반송 유닛(2)의 저면측의 개구(21)로부터 반송 유닛(2) 내의 반송 공간으로 액세스함으로써, 유지 보수 시의 작업 편리성이 향상된다. 반송 유닛(2)과 증착 유닛(3)의 분리에서는, 도 3(A)에 도시된 바와 같이, 프레임(4)이 구비하는 승강 기구(41)에 의해, 증착 유닛(3)이 반송 유닛(2)에 대해 상대적으로 하방으로 이동한다. 한편, 본 실시형태에 따른 증착 유닛(3)은, 후술하는 바와 같이, 반송 유닛(2)과 접속된 경우 개구(21)보다 Z축 상방으로 진입하는 부분을 구비하기 때문에, 승강 기구(41)에 의한 증착 유닛(3)의 강하가 필요하다. 이에 의해, 반송 유닛(2)에 대해 수평 방향으로 증착 유닛(3)이 이동하는 것이 가능하게 된다.
계속해서, 도 3(B)에 도시된 바와 같이, 프레임(4)이 구비하는 슬라이드 기구(42)에 의해, 증착 유닛(3)이 반송 유닛(2)에 대해 상대적으로 수평으로 이동한다. 이에 의해, 프레임(4)에 보유지지된 반송 유닛(2)의 하방으로부터 반송 유닛(2) 내부의 반송 공간으로 액세스할 수 있고, 유지 보수의 편리성을 향상시킬 수 있다. 또한, 증착 유닛(3)의 상방으로부터 증착 유닛(3) 내로 액세스할 수 있기 때문에, 증착 유닛(3)의 유지 보수 편리성도 향상시킬 수 있다.
계속해서, 도 4에, 반송 유닛(2)의 구조를 나타낸다. 반송 유닛(2)은, 저면의 개구(21), 복수의 반송 롤러(22), 천장면 방착부(23), 측벽 방착부(24), 케이스(25), 천장면 덮개(26)를 포함한다. 한편, 도 4에서 측벽 방착부(24)는 일부만 도시되어 있다.
천장면 방착부(23)는, 반송 유닛(2) 내의 반송로의 천장면측에 증착하는 증착 재료의 제거 등의 유지 보수를 용이하게 하도록, 케이스(25)로부터 탈착 가능하게 배치된다. 본 실시형태에서는, 천장면 덮개(26)에 천장면 방착부(23)가 배치되고, 케이스(25)로부터 천장면 덮개(26)를 분리하면, 천장면 덮개(26)와 함께 천장면 방착부(23)도 케이스(25)로부터 분리된다. 또한, 천장면 방착부(23)는 복수의 방착판(천장면 방착판)에 의해 형성되고, 각각의 천장면 방착판은 별개로 케이스(25) 또는 천장면 덮개(26)로부터 분리할 수 있다. 천장면 덮개(26)가 복수의 천장면 방착판을 지지하는 구조에 대해서는 도 5 및 도 6을 참조하여 후술한다. 또한, 케이스(25), 천장면 덮개(26), 및 천장면 방착부(23)의 상세한 구조에 대해서는 도 5 및 도 6을 참조하여 후술한다.
측벽 방착부(24)는, 반송 유닛(2) 내의 케이스(25)의 측벽으로부터 탈착 가능한 방착판을 포함하고, 케이스(25)의 내측 측벽에 증착 재료가 증착되는 것을 방지한다. 유지 보수 시에는, 측벽 방착부(24)를 케이스(25)로부터 분리하여, 교환 또는 세정함으로써 유지 보수 작업을 용이하게 행할 수 있다. 한편, 본 실시형태에 따른 측벽 방착부(24)도 복수의 측벽 방착판에 의해 형성되고, 각각의 측벽 방착판도 별개로 케이스(25)로부터 분리할 수 있다.
천장면 덮개(26)는, 케이스(25)의 천장면측에 배치되며, 천장면 덮개(26)를 상방으로 들어 올림으로써 케이스(25)로부터 천장면 덮개(26)를 분리할 수 있다. 이에 의해, 케이스(25)의 천장면측으로부터 반송 공간으로 액세스할 수 있다. 즉, 천장면 덮개(26)는 반송 유닛(2) 내부의 반송 공간의 천장을 형성하는 천장부이고, 케이스(25)는 반송 공간의 측벽을 형성하는 측벽부이다. 또한, 천장면 방착부(23)는 반송 공간의 천장부를 덮는 방착부이고, 측벽 방착부(24)는 반송 공간의 측벽부를 덮는 방착부이다.
계속해서, 도 5를 참조하여 반송 유닛(2)의 상세한 구조에 대해서 설명한다. 도 5는, 도 4의 면(401)에서의 반송 유닛(2)의 단면도이다. 또한, 도 5에서는, 증착 유닛(3)도 도시되어 있다.
도 5에서는, 천장면 덮개(26)에는 가이드롤러(27)가 배치되고, 천장면 방착판(501∼504)은, 가이드롤러(27)에 의해 지지된다. 즉, 가이드롤러(27)와, 천장면 방착판(501∼504)의 가이드롤러(27)에 당접하는 부분이, 천장면 덮개(26)를 따라 방착판을 이동 가능하도록 지지하는 슬라이드 구조(착탈 구조)로서 기능한다. 본 실시형태에서는, 가이드롤러(27)의 이동 방향은, 기판의 반송 방향과 교차하는 방향이며, 도 5에서는 Y축 방향이다. 한편, 도 5의 예에서는, 천장면 덮개(26)에 가이드롤러(27)가 배치되고, 천장면 방착판(501∼504)은, 가이드롤러(27)가 전동(轉動)하는 전동면을 포함함으로써 하여 도시하고 있다. 그러나, 다른 예에서는, 천장면 덮개(26)에 레일이 배치되고, 해당 레일을 따라 전동하는 롤러가 천장면 방착판(501∼504)에 배치되어도 된다. 또한, 천장면 덮개(26)가 천장면 방착판(501∼504)을 착탈 가능하게 지지하는 착탈 구조로서는, 슬라이드 구조 이외에도 후크형의 고정 부재 등의 임의의 구조를 사용해도 된다.
또한, 원(506∼508)에 도시된 바와 같이, 천장면 방착판과 수평한 면에 있어서 슬라이드 방향과 교차하는 방향으로 이웃하는 천장면 방착판은 래버린스(labyrinth) 구조를 형성한다. 여기서 래버린스 구조란, 방착판이 덮는 면에 대해 수직인 방향, 즉 상하 방향에서 인접하는 방착판이 중첩되는 것을 의미한다. 천장면 방착판(501∼504)에서는, 상하(Z축) 방향에서 인접하는 방착판이 중첩된다. 이에 의해, 인접하는 천장면 방착판(501∼504)의 위치가 다소 변화하더라도, 천장면 방착판(501∼504)이 반송 공간의 천장의 내면을 덮을 수 있고, 가이드롤러(27), 천장면 덮개(26), 및 케이스(25)에 증착 재료가 부착되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 원(509)에 도시된 바와 같이, 케이스(25)의 측면에 장착되어, 반송 공간의 측면을 덮는 측벽 방착부(24)는, 측벽 방착부(24)에 인접하는 천장면 방착판(501)과 래버린스 구조를 형성한다. 이에 의해, 천장면 방착판(501)의 위치가 다소 변화되어도, 가이드롤러(27), 천장면 덮개(26), 및 케이스(25)에 증착 재료가 부착되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 따른 천장면 덮개(26)는, 케이스(25)와의 계합 구조를 갖고, 케이스(25)와 천장면 덮개(26)와의 계합을 해제함으로써 케이스(25)로부터 분리할 수 있다. 케이스(25)로부터 천장면 덮개(26)를 분리할 때에는, 천장면 덮개(26)에 설치된 후크 구멍(505)에 크레인의 후크를 장착함으로써, 크레인을 사용하여 천장면 덮개(26)를 분리할 수 있다.
계속해서, 도 6을 참조하여 반송 유닛(2)의 상세한 구조에 대해서 설명한다. 도 6에서는, 도 4의 면(402)에서의 반송 유닛(2)의 단면도이다. 또한, 도 6에서는 증착 유닛(3)도 도시되어 있다.
도 6에서는, 가이드롤러(27)의 슬라이드 방향 상의 일방에서는 반송 유닛(2)의 케이스(25) 또는 천장면 덮개(26)에 설치된 스토퍼(606)에 닿는다. 또한, 슬라이드 방향 상의 타방에서는 커버(28)에 닿는다. 커버(28)는, 가이드롤러(27)에 의해 천장면 방착판(601∼605)을 탈착 가능하게 할 지 여부를 스위칭할 수 있는 계지구조이다. 도 6의 예에서는, 커버(28)는 천장면 방착판(601∼605)을 천장면 덮개(26)로부터 개별적으로 분리할 수 없는 닫힘 상태이다. 한편, 도 8을 참조하여 후술하는 바와 같이, 커버(28)를 열림 상태로 스위칭함으로써, 닫힘 상태에서 커버(28)가 덮고 있던 케이스(25)의 개구로부터 천장면 방착판(601∼605)을 가이드롤러(27)를 따라 개별적으로 분리할 수 있다. 또한, 케이스(25)의 개구로부터 개별적으로 가이드롤러(27)를 따라 천장면 방착판을 장착하여, 스토퍼(606) 또는 이미 장착된 다른 천장면 방착판에 당접할 때까지 슬라이드시킴으로써, 천장면 방착판을 슬라이드 방향에서 위치 맞춤할 필요없이 장착할 수 있다. 이와 같이, 탈착 구조로서 슬라이드 구조를 채용함으로써, 천장면 방착판을 착탈할 때의 작업 효율이 향상된다.
또한, 원(607∼610)에 도시된 바와 같이, 슬라이드 방향에서 이웃하는 방착판끼리도, 래버린스 구조를 형성한다. 이에 의해, 슬라이드 방향에서 전후의 인접하는 천장면 방착판(601∼605)의 위치가 다소 변화되더라도, 가이드롤러(27), 천장면 덮개(26), 및 케이스(25)에 증착 재료가 부착되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 슬라이드 방향으로 동일 열의 천장면 방착판(601∼605)은, 같은 형상을 갖는다. 이에 의해, 방착판을 설치하는 순서를 고려할 필요가 없고, 천장면 방착판을 착탈하는 작업이 용이해진다.
또한, 원(611∼612)에 도시된 바와 같이, 케이스(25)의 측면에 장착되어, 반송 공간의 측면을 덮는 측벽 방착부(24)는, 측벽 방착부(24)에 인접하는 천장면 방착판(601, 605)과 래버린스 구조를 형성한다. 이에 의해, 천장면 방착판(601, 605)의 위치가 다소 변화되어도, 가이드롤러(27), 천장면 덮개(26), 및 케이스(25)에 증착 재료가 부착되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 반송 롤러(22)는, 샤프트(621)를 통해 반송 롤러 구동부(622)에 의해 구동된다.
<반송 롤러(22)와 커버 유닛의 구성>
계속해서, 도 7(A)∼도 10(B)를 참조하여, 반송 롤러(22)와 커버 유닛의 구성 일례에 대해서 설명한다. 한편, 한편, 도 7(A)∼도 10(B)에서, 유사한 구성에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용한다. 본 실시형태에 따른 반송 유닛(2)에 설치되는 복수의 반송 롤러(22)의 각각은 커버 유닛을 갖는다. 반송 롤러마다 커버 유닛을 설치함으로써, 반송 롤러(22)와 마스크 트레이(201)의 접촉 등에 의해 발생한 분진이 증착 유닛측에 낙하하는 것을 방지할 수 있다.
도 7(A) 및 도 7(B)에서, 커버 유닛은, 도 7(A)에서 망점 및 해칭으로 나타내는 커버 유닛 부품(700) 및 도 7(B)에서 망점 및 해칭으로 나타내는 커버 유닛 부품(710)을 포함한다. 커버 유닛 부품(700)은, 상면부(701), 측면부(702), 장착부(703), 저면부(704), 역류 방지부(705), 배면부(706)를 포함한다. 커버 유닛 부품(700 및 710)은, 나사(720)에 의해 탈착 가능하도록 계합되어, 반송 롤러(22)를 둘러싼다. 한편, 도 7(A), 도 7(B)에서, 커버 유닛 부품(710)은 설명을 용이하게 하기 위해 투과하여 도시하고 있는데, 커버 유닛 부품(710)을 구성하는 재료를 한정하는 것은 아니며, 임의의 재료를 사용할 수 있다. 또한, 후술하는 도 8(A)∼도 10(B)의 커버 유닛 부품에 대해서도 마찬가지이다. 일례에서는, 커버 유닛 부품(700 및 710)은 비자성체의 재료에 의해 구성된다. 이에 의해, 마그넷에 의해 커버 유닛이 자화되어 분진이 부착되는 것을 방지하고, 유지 보수 시에 분진을 제거하는 것이 용이해진다.
상면부(701)는, 반송 롤러(22)에 재치된 마스크 트레이(201)의 반송을 가능하게 하면서 반송 롤러(22)의 둘레면의 상측의 적어도 일부를 덮도록, 상방 둘레면을 노출시키는 개구부를 구비한다. 상면부(701)는, 연직 방향(상하 방향, Z축 방향)으로, 반송 롤러(22)의 둘레면의 상측을 덮고 있다. 환언하면, 연직 방향으로 상방에서 보았을 때, 반송 롤러(22)의 둘레면의 일부가, 상면부(701)에 의해 덮여 가려져 있다. 이에 의해, 재치된 기판의 반송을 행하면서, 커버 유닛 내에 쌓인 분진이 커버 유닛 밖으로 나오지 않도록 할 수 있다. 도 7(A)에 나타내는 상면부(701)는, 반송 롤러(22)의 회전축과 수직한 면에서 八자 모양의 형상을 하고 있다. 구체적으로는, 반송 방향을 따라 늘어선 2개의 상면부(701)의 사이에 개구가 있다. 각각의 상면부(701)에 대해서 보면, 개구측의 단부가, 개구와는 반대측의 단부보다, 연직 방향에 있어서 높은 위치에 있다. 즉, 상면부(701)는, 연직 방향 및 반송 방향에 대해 롤러측으로 경사져 있는 한 쌍의 경사부이며, 반송 롤러(22)의 연직 방향에서 상방의 둘레면의 접선과 평행한 각도를 갖는다. 이에 의해, 커버 유닛의 상면부에 분진이 퇴적되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 반송되는 마스크 트레이(201)가 자중에 의해 쳐져, 상면부(701)에 당접하였을 때에, 마스크 트레이(201)를 반송 롤러(22)의 상방 둘레면으로 가이드하는 가이드로서 동작할 수 있다.
측면부(702)는, 배면부(706) 및 상면부(701)와 연결되며, 반송 롤러(22)의 회전축과 평행한 평면 중, 반송 롤러(22)의 둘레면에 대향하는 연직면을 덮는다. 환언하면, 측면부(702)는, 반송 롤러(22)의 회전축 방향(Y축 방향)에 수직하고, 연직 방향(Z축 방향)에 수직한 방향(X축 방향, 반송 방향)으로, 반송 롤러(22)의 둘레면을 덮고 있다. 즉, X축 방향에서 보면, 반송 롤러(22)의 둘레면은 측면부(702)에 의해 덮여 가려져 있다. 또한, 측면부(702)는, 커버 유닛 부품(710)을 지지하는 구조를 갖는다. 커버 유닛 부품(700)은 장착부(703)를 통해 커버 유닛 부품(700)을 반송 롤러(22)의 샤프트 커버(750)에 고정한다. 저면부(704)는, 트레이(712)의 하방에 배치되는, 마그넷(751)이 배치된다. 역류 방지부(705)는, 커버 유닛에 쌓인 분진이 반송 롤러(22)의 회전 등에 의해 발생한 기류에 의해 날아올라 커버 유닛 밖으로 나오는 것을 방지한다. 배면부(706)는, 회전축 방향에서, 반송 롤러(22)의 샤프트측의 측면을 덮고, 측면부(702), 저면부(704)에 연결된다.
계속해서, 도 7(B)를 참조하여 커버 유닛 부품(710)의 구성을 설명한다. 커버 유닛 부품(710)은, 전면부(711), 트레이(712), 및 측면부(713)를 포함한다. 전면부(711)는, 반송 롤러(22)의 회전축에 수직한 면이며, 기판측의 면을 덮는다. 전면부(711)는, 반송 롤러(22)의 회전축 방향에서, 반송 롤러(22)의 기판측의 측면을 덮고 있다. 환언하면, 반송 롤러(22)의 회전축 방향에 있어서, 기판측에서 보았을 때에, 반송 롤러(22)의 기판측의 측면이, 전면부(711)에 의해 덮여 가려진다. 트레이(712)는, 반송 롤러(22)의 하방에 배치된다. 트레이(712)는, 위가 개구인 상자형(오목형)의 형상을 하고 있고, 상방으로부터의 분진을 효율적으로 모을 수 있는 반송 롤러(22)의 하방 둘레면을 덮는다. 또한, 트레이(712)는 전면부(711)에 연결된다. 측면부(713)는, 커버 유닛 부품(700)의 측면부(702)에 착탈 가능하게 연결된다.
이에 의해, 커버 유닛에 분진이 쌓였을 때에는, 커버 유닛 부품(710)을 커버 유닛 부품(700)으로부터 분리함으로써 트레이(712)에 쌓인 분진을 효율적으로 제거할 수 있다. 또한, 커버 유닛 부품(710)은 비자성체로 되어 있고, 마그넷은 커버 유닛 부품(700)측에 설치되어 있다. 이 때문에, 커버 유닛 부품(710)을 커버 유닛 부품(700)으로부터 분리하여, 커버 유닛 부품(710)으로부터 분진을 제거할 시 분진을 트레이(712)로부터 제거하기 쉽다.
계속해서, 도 8을 참조하여 마그넷(751)의 상세한 구성에 대해서 설명한다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 마그넷(751)은 트레이(712)의 아래이고, 저면부(704)의 위에 배치되는 마그넷 커버(803)의 내부에 배치된다. 마그넷(751)은, 반송 롤러(22)의 회전축을 지나는 연직면(YZ평면)을 피하여 복수 배치된다. 이에 의해, 자성체를 포함하여, 마그넷(751)에 의해 자화될 수 있는 반송 롤러(22)로부터 마그넷(751)의 거리를 떼어 놓으면서, 마그넷(751)에 의한 높은 집진 효율을 유지할 수 있다.
또한, 마그넷 케이스(803)의 내부에는, 요크(801) 및 서브 요크(802)가 배치된다. 이에 의해, 마그넷(751)이 형성하는 자계의 자속 방향을 컨트롤할 수 있다. 마그넷(751)이 형성하는 자계의 자속 밀도는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 분진을 모아 두는 트레이(712)에서는 0.5mT 이상이며, 반송 롤러(22)의 둘레면에서는 0.5mT 미만이다. 반송 롤러(22)의 둘레면의 전체가, 자속 밀도가 0.5mT 미만의 위치에 있다. 이에 의해, 반송 롤러(22)에 포함되는 자성체의 자화를 방지하면서, 트레이(712)로 분진을 유지해 둘 수 있다. 보다 높은 집진 효과를 위해, 자속 밀도가 10mT 이상의 위치에, 트레이(712)의 적어도 일부가 배치되면 좋다.
또한, 트레이(712)는, 배면부(706)로부터 분리되는 측면부(711)에 연결되어 있고, 마그넷(751)은 배면부(706)에 연결된 저면부(704)에 배치되어 있다. 이 때문에, 측면부(711)를 배면부(706)로부터 분리하면, 자력에 의해 분진이 고정되지 않기 때문에, 트레이(712)에 쌓인 분진을 용이하게 제거할 수 있다.
<다른 실시 형태>
발명은 상기 실시 형태에 제한되는 것이 아니며, 발명의 정신 및 범위로부터 일탈하지 않고, 다양한 변경 및 변형이 가능하다. 따라서, 발명의 범위를 공표하기 위해 청구항을 첨부한다.
1: 성막 장치
2: 반송 유닛
3: 증착 유닛
22: 반송 롤러
700: 커버 유닛 부품
710: 커버 유닛 부품
712: 트레이
751: 마그넷

Claims (14)

  1. 기판의 반송 장치로서,
    재치된 기판을 반송하는 반송 롤러와,
    상기 반송 롤러를 둘러싸는 커버 유닛을 구비하고,
    상기 커버 유닛은,
    상기 반송 롤러의 하방에 설치된 트레이와,
    상기 트레이의 하방에 설치된 마그넷을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마그넷은, 상기 반송 롤러의 회전축을 지나는 연직면으로부터 떨어진 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 마그넷은, 상기 반송 롤러의 회전축을 지나는 연직면을 사이에 두고 복수 배치되는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 반송 롤러의 둘레면은 자성체에 의해 형성되고,
    상기 반송 롤러의 상기 둘레면은, 상기 마그넷이 형성하는 자계의 자속 밀도가 0.5mT 미만이 되는 위치에 배치되고,
    상기 트레이의 적어도 일부는, 상기 마그넷이 형성하는 자계의 자속 밀도가 0.5mT 이상이 되는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 트레이의 적어도 일부는, 상기 마그넷이 형성하는 자계의 자속 밀도가 10mT 이상이 되는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 커버 유닛은,
    상기 반송 롤러의 회전축 방향에 평행한 연직면을 덮는 측면부와,
    상기 반송 롤러의 회전축 방향에서, 상기 반송 롤러의 기판측의 측면을 덮고, 상기 측면부로부터 착탈 가능한 전면부를 포함하고,
    상기 트레이는 상기 전면부와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 측면부, 상기 전면부, 및 상기 트레이는 비자성체에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 커버 유닛은, 상기 측면부와 연결된 저면부를 포함하고,
    상기 마그넷은 상기 저면부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 트레이는 비자성체에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 마그넷은, 비자성체의 마그넷 케이스의 내부에 배치되고, 상기 마그넷 케이스의 내부에는 요크가 설치되는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 트레이는, 상하 방향에 평행한 연직면에서 오목형의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
  12. 기판을 반송하면서 성막하는 인라인형의 성막 장치로서,
    기판을 반송하는 반송 유닛과,
    상기 반송 유닛의 하방에 배치되어, 상기 반송 유닛에 의해 반송되는 기판에 증착 재료를 방출하는 증착 유닛을 포함하고,
    상기 반송 유닛은,
    재치된 기판을 반송하는 반송 롤러와,
    상기 반송 롤러를 둘러싸는 커버 유닛을 구비하고,
    상기 커버 유닛은,
    상기 반송 롤러의 하방에 설치된 트레이와,
    상기 트레이의 하방에 설치된 마그넷을 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 장치.
  13. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 반송 장치에 의해 상기 기판을 반송하는 반송 공정과,
    반송되는 상기 기판에 증착 재료를 방출하는 증착 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 성막 방법.
  14. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 반송 장치에 의해 상기 기판을 반송하는 반송 공정과,
    반송되는 상기 기판에 증착 재료를 방출하는 증착 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 전자 디바이스의 제조 방법.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004204823A (ja) 2002-12-26 2004-07-22 Mitsubishi Motors Corp 内燃機関の冷却水循環装置
JP2014173170A (ja) 2013-03-12 2014-09-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd 成膜装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0640389B2 (ja) * 1986-08-07 1994-05-25 富士写真フイルム株式会社 磁気記録媒体の製造装置
JPH0687307B2 (ja) * 1986-07-10 1994-11-02 富士写真フイルム株式会社 磁気記録媒体の製造装置
JPS63171425A (ja) * 1987-01-08 1988-07-15 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気記録媒体の製造装置
JP3378331B2 (ja) * 1994-01-06 2003-02-17 東芝トランスポートエンジニアリング株式会社 車両用アウターロータ電動機
JPH11178282A (ja) * 1997-12-12 1999-07-02 Railway Technical Res Inst 通風冷却式回転電機の鉄粉除去装置
EP1698715A1 (de) * 2005-03-03 2006-09-06 Applied Films GmbH & Co. KG Anlage zum Beschichten eines Substrats und Einschubelement
JP2007035161A (ja) * 2005-07-27 2007-02-08 Tdk Corp 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法
JP4580860B2 (ja) * 2005-11-02 2010-11-17 大日本印刷株式会社 成膜装置
JP5055776B2 (ja) * 2006-02-03 2012-10-24 大日本印刷株式会社 成膜装置
TW201346050A (zh) * 2012-02-06 2013-11-16 Tokyo Electron Ltd 成膜裝置及成膜方法
JP2015208830A (ja) * 2014-04-30 2015-11-24 日立工機株式会社 帯鋸盤
JP6605657B1 (ja) * 2018-05-24 2019-11-13 キヤノントッキ株式会社 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004204823A (ja) 2002-12-26 2004-07-22 Mitsubishi Motors Corp 内燃機関の冷却水循環装置
JP2014173170A (ja) 2013-03-12 2014-09-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd 成膜装置

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