JP5450198B2 - スパッタリング装置 - Google Patents
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Description
1a スパッタチャンバー内壁
2 コリメーター
2a コリメーターのシャドー部位
2b コリメーター開孔部
3 コリメーター支持具
4 ターゲット
5 試料
6 試料ホルダー
7 搬入・搬出口
11 搬送チャンバー
12 試料投入チャンバー
13 コリメーター、シャッター板収納位置
13a コリメーター収納位置のコリメーター支持具
13b シャッター板収納位置のシャッター支持具
14 搬送機器
14a 搬送回転機構
14b 搬送支持アーム
14c 搬送ホルダー機構
14d 搬送シャフト
15 シャッター板
Claims (5)
- 試料投入チャンバーと、前記試料投入チャンバーとの間に第1の搬入搬出口を有して隣接する搬送チャンバーと、前記搬送チャンバーとの間に第2の搬入搬出口を有して隣接するコリメーションスパッタリング可能なスパッタチャンバーとからなるスパッタリング装置であって、
前記スパッタチャンバーは、試料を載置するための試料ホルダーと、前記試料ホルダーと対向するターゲットと、前記試料ホルダーと前記ターゲットの間に配置された着脱可能なコリメーターと、前記コリメーターの外周部を支持する第1のコリメーター支持具とを有し、
前記搬送チャンバーは、搬送機器と、前記コリメーターを収納する第2のコリメーター支持具を有し、
前記コリメーターは、前記第1のコリメーター支持具と前記第2のコリメーター支持具の間を前記搬送機器によって移動できることを特徴とするスパッタリング装置。 - 前記搬送チャンバーは、さらに、シャッター板および前記シャッター板を収納するためのシャッター支持具を備えていることを特徴とする請求項1記載のスパッタリング装置。
- 前記第1のコリメーター支持具と接触する前記コリメーターの外周部は開孔のないシャドー部であることを特徴とする請求項1記載のスパッタリング装置。
- 前記搬送機器は、上下方向に伸縮動作可能な搬送シャフトと、360度回転可能な搬送回転機構と、水平方向に伸縮動作可能な搬送支持アームと、前記搬送支持アームの先端に固定され、前記試料または前記コリメーターまたは前記シャッター板を載せるための搬送ホルダー機構を有することを特徴とする請求項2記載のスパッタリング装置。
- 前記搬送機器は、前記コリメーターまたは前記シャッター板を前記第1の搬入搬出口を介して移動することが可能であることを特徴とする請求項4記載のスパッタリング装置。
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