KR20220076323A

KR20220076323A - 반송 장치, 및 성막 장치

Info

Publication number: KR20220076323A
Application number: KR1020210159366A
Authority: KR
Inventors: 타카히로 스나가와; 노리야스 사토
Original assignee: 캐논 톡키 가부시키가이샤
Priority date: 2020-11-30
Filing date: 2021-11-18
Publication date: 2022-06-08
Also published as: CN114574833B; JP7213226B2; JP2022086585A; CN114574833A

Abstract

[과제] 인라인형의 성막 장치의 반송 공간의 천장을 덮는 방착판의 유지 보수를 용이하게 하는 것이다.
[해결 수단] 기판을 반송하면서 성막하는 인라인형의 성막 장치의 반송 장치는, 반송 장치의 반송 공간의 천장을 형성하는 천장부와, 천장부의 내면을 덮는 복수의 방착판과, 천장부으로부터 방착판을 착탈 가능하게 하는 착탈 구조를 구비한다.

Description

반송 장치, 및 성막 장치{CONVEYANCE APPARATUS AND FILM FORMING APPARATUS}

본 발명은, 기판의 반송 장치, 및 성막 장치에 관한 것이다.

유기 EL 디스플레이 등의 제조에 있어서는, 마스크를 사용하여 기판 상에 증착 물질을 성막하는 인라인형의 성막 장치가 알려져 있다. 인용문헌 1에는, 성막을 위한 챔버 내에서 기판을 반송하면서 성막을 행하는 성막 장치가 도시되어 있다.

특허문헌 1: 일본공개특허 2014-173170호 공보

여기서, 챔버 공간의 천장부에는, 성막 장치가 구비하는 증발원으로부터 방출된 증발 재료가 챔버 공간의 벽에 부착, 퇴적되는 것을 방지하기 위한 방착판이 설치된다. 또한, 천장부의 방착판에 부착되어 응고된 증발 재료가, 기판 상이나 성막 장치의 구동 구조에 낙하하여 성막 불량이나 성막 장치의 동작 불량이 발생하는 것을 방지하기 위해, 정기적으로 방착판을 교환 또는 세정하는 유지 보수 작업이 필요하다.

본 발명은, 인라인형의 성막 장치의 반송 공간의 천장을 덮는 방착판의 유지 보수를 용이하게 하는 기술을 제공한다.

본 발명의 일 측면에 의하면, 기판을 반송하면서 성막하는 인라인형의 성막 장치의 반송 장치로서,

상기 반송 장치의 반송 공간의 천장을 형성하는 천장부와,

상기 천장부의 내면을 덮는 복수의 방착판과,

상기 천장부로부터 상기 방착판을 착탈 가능하게 하는 착탈 구조를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치가 제공된다.

본 발명에 의하면, 인라인형의 성막 장치의 반송 공간의 천장을 덮는 방착판의 유지 보수를 용이하게 할 수 있다.

도 1은 일 실시형태에 따른 성막 장치의 개략도이다.
도 2는 성막 장치의 성막 처리를 나타내는 도면이다.
도 3은 반송 유닛과 증착 유닛의 분리를 나타내는 도면이다.
도 4는 일 실시형태에 따른 반송 유닛의 개략도이다.
도 5는 반송 유닛의 면 X에서의 단면도이다.
도 6은 반송 유닛의 면 Y에서의 단면도이다.
도 7은 천장면측으로부터의 천장면 방착판의 분리를 나타내는 도면이다.
도 8은 측면측으로부터의 천장면 방착판의 분리를 나타내는 도면이다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 실시 형태를 상세하게 설명한다. 한편, 이하의 실시 형태는 특허청구의 범위에 따른 발명을 한정하는 것이 아니다. 실시 형태에는 복수의 특징이 기재되어 있으나, 이들 복수의 특징 모두가 발명에 필수적인 것은 아니고, 또한, 복수의 특징은 임의로 조합되어도 된다. 또한, 첨부 도면에 있어서는, 동일 또는 유사한 구성에 동일한 참조 번호를 붙여, 중복 설명은 생략한다.

<성막 장치의 개요>

도 1(A) 및 도 1(B)는, 본 실시형태에 따른 성막 장치를 나타내는 개략도이다. 도 1(A) 및 도 1(B)에 나타내는 본 실시형태에 따른 성막 장치(1)는, 기판을 반송하면서 제막하는 인라인형의 성막 장치이다. 본 실시형태에 따른 성막 장치(1)는, 예를 들면, 스마트폰용의 유기 EL 표시 장치의 표시 패널 등의 전자 디바이스의 제조 라인에 적용된다. 성막 장치(1)는, 반송 유닛(2), 증착 유닛(3), 프레임(4)을 포함한다.

반송 유닛(2)은, 기판 상에 형성하는 박막 패턴에 대응하는 개구 패턴을 갖는 메탈 마스크 등의 마스크에 의해 마스크된 기판이 배치된 마스크 트레이를 반입구(5)로부터 반출구(6)까지 반송하기 위한 장치이다. 또한, 반송 유닛(2)의 저면에는, 증착 유닛(3)의 증착원으로부터 방출된 증착 재료가 마스크 트레이에 배치된 기판에 증착되도록 개구가 배치된다.

증착 유닛(3)은, 후술하는 증착원을 갖고, 증착 유닛(3)의 천장면측에는 반송 유닛(2)에 의해 반송되는 기판에 증착 재료를 방출하기 위한 개구를 갖는다. 또한, 증착 유닛(3) 또는 프레임(4)에 배치된 승강 기구(41) 및 슬라이드 기구(42)에 의해, 후술하는 반송 유닛(2)과 증착 유닛(3)의 분리가 행해진다.

프레임(4)은, 반송 유닛(2)과 증착 유닛(3)을 지지하기 위한 구조이다. 본 실시형태에서는, 프레임(4)이 승강 기구(41) 및 슬라이드 기구(42)를 구비하는 것으로 하여 설명하는데, 승강 기구 및 슬라이드 기구 중 적어도 하나가 증착 유닛(3)에 구비되어도 된다.

또한, 도 1(B)에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에서는, 성막 장치(1)는 3개의 증착 유닛(3A∼3C)(총칭하여 증착 유닛(3)이라고 함)을 구비하고, 반송되는 기판에 1종류 이상의 증착 재료를 연속하여 증착할 수 있다. 한편, 도 1(B)의 예에서는, 승강 기구(41)는 생략하여 도시되어 있다. 증착 유닛(3)의 수, 및 각각의 증착 유닛(3)이 방출하는 증착 재료의 종류는 임의로 변경 가능하다. 또한, 승강 기구(41) 및 슬라이드 기구(42)는, 복수의 증착 유닛(3)을 함께 승강 또는 슬라이드시켜도 되고, 별개로 승강 또는 슬라이드시켜도 된다.

도 2(A)∼도 2(D)는, 본 실시형태에 따른 성막 장치(1)의 성막 처리를 나타낸다. 여기서, 도 1(A)의 성막 장치(1)의 면 XZ에서의 단면도를 나타낸다. 한편, 도 2(A)∼도 2(D)에서는, 프레임(4)은 생략하여 도시되어 있다.

도 2(A)는, 기판이 배치된 마스크 트레이(201)가 반입구(5)로부터 반입된 상태의 성막 장치(1)를 나타낸다. 반송 유닛(2)은 각각의 증착 유닛(3)에 대응하는 개구(21A∼21C)(총칭하여 개구(21)이라고 함)를 구비한다. 증착 유닛(3)은 각각 대응하는 증착원(31A∼31C)(총칭하여 증착원(31)이라고 함)을 구비한다. 도 2(A)에서, 반입된 마스크 트레이(201)는, 반송 유닛(2)이 구비하는 복수의 반송 롤러(22)에 의해, 반송 유닛(2)의 개구(21) 상으로 반송된다.

도 2(B)는, 마스크 트레이(201)가 개구(21A) 상으로 반송되고, 증착 유닛(3A)의 증착원(31A)으로부터 증착 재료를 방출하고 있는 상태의 성막 장치(1)를 나타낸다. 도 2(B)에서는, 기판이 반송되고 있는 상태에서, 증착원(31A)으로부터 상방을 향해 증착 재료가 방출되고 있다. 이에 의해, 마스크 패턴을 따라 기판 상에 증착 재료가 증착된다. 본 실시형태에 따른 성막 장치(1)는, 마스크 트레이(201)가 이동하고 있는 상태로 증착을 행하는 것으로 하여 설명하지만, 마스크 트레이(201)가 개구(21) 상에 위치하는 상태에서 이동을 일시정지 또는 감속하도록 마스크 트레이(201)의 반송 속도를 제어하여도 된다. 이에 의해, 성막 장치(1)는 기판 상에 적절한 두께의 증착 재료가 증착되도록 제어할 수 있다.

도 2(C)는, 증착된 기판이 반송 유닛(2)에 의해 반송되어, 다음 증착 유닛(3B)에 대응하는 개구(21B) 상으로 마스크 트레이(201)가 반송되고 있는 상태를 나타낸다. 여기서, 증착 유닛(3B)의 증착원(31B)으로부터 증착 재료가 방출된다. 그리고, 성막 장치(1)는 마스크 트레이(201)의 반송을 진행하여 다음 증착 유닛(3C)에 의해 다음 증착을 행하고, 도 2(D)에 도시된 바와 같이, 증착이 완료된 마스크 트레이(201)가, 반출구(6)로부터 반출된다. 이와 같이, 반송 유닛(2)의 반송 롤러(22)에 의해 반입구(5)로부터 반출구(6)까지 반송될 때까지 복수의 증착 유닛(3)으로부터 증착을 행할 수 있다.

계속해서, 도 3(A) 및 도 3(B)를 참조하여, 반송 유닛(2)과 증착 유닛(3)의 분리에 대해서 설명한다. 증착 유닛(3)의 증착원(31)으로부터 방출된 증착 재료가 반송 유닛(2)의 측벽이나 천장면에 부착되고, 낙하하여 반송 중의 기판에 부착됨으로써, 증착 처리가 실패하는 경우가 있다. 또한, 반송 유닛(2)의 측벽이나 천장면에 부착된 증착 재료가 낙하하여 반송 롤러(22)에 부착됨으로써 반송되고 있는 기판이 오손되거나, 반송 롤러(22)의 동작 불량이 발생하는 경우가 있다. 이 때문에, 반송 유닛(2)의 측벽이나 천장면에는 방착판이 설치되며, 방착판을 정기적으로 세정 또는 교환하는 유지 보수가 필요하게 된다.

또한, 반송 롤러(22)와 마스크 트레이(201)의 접촉에 의해 발생하는 분진이, 반송 롤러의 회전이나 증착 재료의 방출에 의해 발생하는 기류에 의해 날아올라, 기판이나 성막 장치(1)의 구동 구조에 부착되어, 성막 처리의 실패나 반송 유닛(2)의 동작 불량이 발생하는 경우가 있다. 이 때문에, 반송 롤러(22)에는, 발생한 분진이 흩어지는 것을 방지하기 위한 집진 커버가 설치되고, 집진 커버의 교환 또는 청소 등의 유지 보수를 정기적으로 행하는 경우가 있다.

이러한 경우, 반송 유닛(2)과 증착 유닛(3)을 분리하여, 반송 유닛(2)의 저면측의 개구(21)로부터 반송 유닛(2) 내의 반송 공간으로 액세스함으로써, 유지 보수 시의 작업 편리성이 향상된다. 반송 유닛(2)과 증착 유닛(3)의 분리에서는, 도 3(A)에 도시된 바와 같이, 프레임(4)이 구비하는 승강 기구(41)에 의해, 증착 유닛(3)이 반송 유닛(2)에 대해 상대적으로 하방으로 이동한다. 한편, 본 실시형태에 따른 증착 유닛(3)은, 후술하는 바와 같이, 반송 유닛(2)과 접속된 경우 개구(21)보다 Z축 상방으로 진입하는 부분을 구비하기 때문에, 승강 기구(41)에 의한 증착 유닛(3)의 강하가 필요하다. 이에 의해, 반송 유닛(2)에 대해 수평 방향으로 증착 유닛(3)이 이동하는 것이 가능하게 된다.

계속해서, 도 3(B)에 도시된 바와 같이, 프레임(4)이 구비하는 슬라이드 기구(42)에 의해, 증착 유닛(3)이 반송 유닛(2)에 대해 상대적으로 수평으로 이동한다. 이에 의해, 프레임(4)에 보유지지된 반송 유닛(2)의 하방으로부터 반송 유닛(2) 내부의 반송 공간으로 액세스할 수 있고, 유지 보수의 편리성을 향상시킬 수 있다. 또한, 증착 유닛(3)의 상방으로부터 증착 유닛(3) 내로 액세스할 수 있기 때문에, 증착 유닛(3)의 유지 보수 편리성도 향상시킬 수 있다.

계속해서, 도 4에, 반송 유닛(2)의 구조를 나타낸다. 반송 유닛(2)은, 저면의 개구(21), 복수의 반송 롤러(22), 천장면 방착부(23), 측벽 방착부(24), 케이스(25), 천장면 덮개(26)를 포함한다. 한편, 도 4에서 측벽 방착부(24)는 일부만 도시되어 있다.

천장면 방착부(23)는, 반송 유닛(2) 내의 반송로의 천장면측에 증착하는 증착 재료의 제거 등의 유지 보수를 용이하게 하도록, 케이스(25)로부터 탈착 가능하게 배치된다. 본 실시형태에서는, 천장면 덮개(26)에 천장면 방착부(23)가 배치되고, 케이스(25)로부터 천장면 덮개(26)를 분리하면, 천장면 덮개(26)와 함께 천장면 방착부(23)도 케이스(25)로부터 분리된다. 또한, 천장면 방착부(23)는 복수의 방착판(천장면 방착판)에 의해 형성되고, 각각의 천장면 방착판은 별개로 케이스(25) 또는 천장면 덮개(26)로부터 분리할 수 있다. 천장면 덮개(26)가 복수의 천장면 방착판을 지지하는 구조에 대해서는 도 5 및 도 6을 참조하여 후술한다. 또한, 케이스(25), 천장면 덮개(26), 및 천장면 방착부(23)의 상세한 구조에 대해서는 도 5 및 도 6을 참조하여 후술한다.

측벽 방착부(24)는, 반송 유닛(2) 내의 케이스(25)의 측벽으로부터 탈착 가능한 방착판을 포함하고, 케이스(25)의 내측 측벽에 증착 재료가 증착되는 것을 방지한다. 유지 보수 시에는, 측벽 방착부(24)를 케이스(25)로부터 분리하여, 교환 또는 세정함으로써 유지 보수 작업을 용이하게 행할 수 있다. 한편, 본 실시형태에 따른 측벽 방착부(24)도 복수의 측벽 방착판에 의해 형성되고, 각각의 측벽 방착판도 별개로 케이스(25)로부터 분리할 수 있다.

천장면 덮개(26)는, 케이스(25)의 천장면측에 배치되며, 천장면 덮개(26)를 상방으로 들어 올림으로써 케이스(25)로부터 천장면 덮개(26)를 분리할 수 있다. 이에 의해, 케이스(25)의 천장면측으로부터 반송 공간으로 액세스할 수 있다. 즉, 천장면 덮개(26)는 반송 유닛(2) 내부의 반송 공간의 천장을 형성하는 천장부이고, 케이스(25)는 반송 공간의 측벽을 형성하는 측벽부이다. 또한, 천장면 방착부(23)는 반송 공간의 천장부를 덮는 방착부이고, 측벽 방착부(24)는 반송 공간의 측벽부를 덮는 방착부이다.

계속해서, 도 5를 참조하여 반송 유닛(2)의 상세한 구조에 대해서 설명한다. 도 5는, 도 4의 면(401)에서의 반송 유닛(2)의 단면도이다. 또한, 도 5에서는, 증착 유닛(3)도 도시되어 있다.

도 5에서는, 천장면 덮개(26)에는 가이드롤러(27)가 배치되고, 천장면 방착판(501∼504)은, 가이드롤러(27)에 의해 지지된다. 즉, 가이드롤러(27)와, 천장면 방착판(501∼504)의 가이드롤러(27)에 당접하는 부분이, 천장면 덮개(26)를 따라 방착판을 이동 가능하도록 지지하는 슬라이드 구조(착탈 구조)로서 기능한다. 본 실시형태에서는, 가이드롤러(27)의 이동 방향은, 기판의 반송 방향과 교차하는 방향이며, 도 5에서는 Y축 방향이다. 한편, 도 5의 예에서는, 천장면 덮개(26)에 가이드롤러(27)가 배치되고, 천장면 방착판(501∼504)은, 가이드롤러(27)가 전동(轉動)하는 전동면을 포함하는 것으로 하여 도시하고 있다. 그러나, 다른 예에서는, 천장면 덮개(26)에 레일이 배치되고, 해당 레일을 따라 전동하는 롤러가 천장면 방착판(501∼504)에 배치되어도 된다. 또한, 천장면 덮개(26)가 천장면 방착판(501∼504)을 착탈 가능하게 지지하는 착탈 구조로서는, 슬라이드 구조 이외에도 후크형의 고정 부재 등의 임의의 구조를 사용해도 된다.

또한, 원(506∼508)에 도시된 바와 같이, 천장면 방착판과 수평한 면에 있어서 슬라이드 방향과 교차하는 방향으로 이웃하는 천장면 방착판은 래버린스(labyrinth) 구조를 형성한다. 여기서 래버린스 구조란, 방착판이 덮는 면에 대해 수직인 방향, 즉 상하 방향에서 인접하는 방착판이 중첩되는 것을 의미한다. 천장면 방착판(501∼504)에서는, 상하(Z축) 방향에서 인접하는 방착판이 중첩된다. 이에 의해, 인접하는 천장면 방착판(501∼504)의 위치가 다소 변화하더라도, 천장면 방착판(501∼504)이 반송 공간의 천장의 내면을 덮을 수 있고, 가이드롤러(27), 천장면 덮개(26), 및 케이스(25)에 증착 재료가 부착되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 원(509)에 도시된 바와 같이, 케이스(25)의 측면에 장착되어, 반송 공간의 측면을 덮는 측벽 방착부(24)는, 측벽 방착부(24)에 인접하는 천장면 방착판(501)과 래버린스 구조를 형성한다. 이에 의해, 천장면 방착판(501)의 위치가 다소 변화되어도, 가이드롤러(27), 천장면 덮개(26), 및 케이스(25)에 증착 재료가 부착되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 실시형태에 따른 천장면 덮개(26)는, 케이스(25)와의 계합 구조를 갖고, 케이스(25)와 천장면 덮개(26)와의 계합을 해제함으로써 케이스(25)로부터 분리할 수 있다. 케이스(25)로부터 천장면 덮개(26)를 분리할 때에는, 천장면 덮개(26)에 설치된 후크 구멍(505)에 크레인의 후크를 장착함으로써, 크레인을 사용하여 천장면 덮개(26)를 분리할 수 있다.

계속해서, 도 6을 참조하여 반송 유닛(2)의 상세한 구조에 대해서 설명한다. 도 6에서는, 도 4의 면(402)에서의 반송 유닛(2)의 단면도이다. 또한, 도 6에서는 증착 유닛(3)도 도시되어 있다.

도 6에서는, 가이드롤러(27)의 슬라이드 방향 상의 일방에서는 반송 유닛(2)의 케이스(25) 또는 천장면 덮개(26)에 설치된 스토퍼(606)에 닿는다. 또한, 슬라이드 방향 상의 타방에서는 커버(28)에 닿는다. 커버(28)는, 가이드롤러(27)에 의해 천장면 방착판(601∼605)을 탈착 가능하게 할 지 여부를 스위칭할 수 있는 계지구조이다. 도 6의 예에서는, 커버(28)는 천장면 방착판(601∼605)을 천장면 덮개(26)로부터 개별적으로 분리할 수 없는 닫힘 상태이다. 한편, 도 8을 참조하여 후술하는 바와 같이, 커버(28)를 열림 상태로 스위칭함으로써, 닫힘 상태에서 커버(28)가 덮고 있던 케이스(25)의 개구로부터 천장면 방착판(601∼605)을 가이드롤러(27)를 따라 개별적으로 분리할 수 있다. 또한, 케이스(25)의 개구로부터 개별적으로 가이드롤러(27)를 따라 천장면 방착판을 장착하여, 스토퍼(606) 또는 이미 장착된 다른 천장면 방착판에 당접할 때까지 슬라이드시킴으로써, 천장면 방착판을 슬라이드 방향에서 위치 맞춤할 필요없이 장착할 수 있다. 이와 같이, 탈착 구조로서 슬라이드 구조를 채용함으로써, 천장면 방착판을 착탈할 때의 작업 효율이 향상된다.

또한, 원(607∼610)에 도시된 바와 같이, 슬라이드 방향에서 이웃하는 방착판끼리도, 래버린스 구조를 형성한다. 이에 의해, 슬라이드 방향에서 전후의 인접하는 천장면 방착판(601∼605)의 위치가 다소 변화되더라도, 가이드롤러(27), 천장면 덮개(26), 및 케이스(25)에 증착 재료가 부착되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 슬라이드 방향으로 동일 열의 천장면 방착판(601∼605)은, 같은 형상을 갖는다. 이에 의해, 방착판을 설치하는 순서를 고려할 필요가 없고, 천장면 방착판을 착탈하는 작업이 용이해진다.

또한, 원(611∼612)에 도시된 바와 같이, 케이스(25)의 측면에 장착되어, 반송 공간의 측면을 덮는 측벽 방착부(24)는, 측벽 방착부(24)에 인접하는 천장면 방착판(601, 605)과 래버린스 구조를 형성한다. 이에 의해, 천장면 방착판(601, 605)의 위치가 다소 변화되어도, 가이드롤러(27), 천장면 덮개(26), 및 케이스(25)에 증착 재료가 부착되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 반송 롤러(22)는, 샤프트(621)를 통해 반송 롤러 구동부(622)에 의해 구동된다.

계속해서, 도 7(A)∼도 7(B)를 참조하여, 천장면측으로부터 천장면 방착부(23)의 분리를 행하는 처리에 대해서 설명한다.

도 7(A)에서는, 천장면 덮개(26)를 크레인(도시하지 않음)에 의해 수직 상방으로 들어 올린다. 일례에서는, 그리고, 도 7(B)에 도시된 바와 같이, 천장면 방착부(23)가 천장면 덮개(26)에 설치된 가이드롤러(27)에 지지된 상태로 천장면 덮개(26)째 이동시킴으로써, 한번에 천장면 방착부(23)를 케이스(25)로부터 분리할 수 있다. 본 실시형태에서는, 천장면 덮개(26)에 장착된 천장면 방착판을 교환함으로써 유지 보수를 행하는 것으로 하여 설명하지만, 천장면 덮개(26)에 천장면 방착판을 장착한 채, 천장면 방착판에 부착된 증착 재료를 세정함으로써 유지 보수를 행해도 된다. 천장면 덮개(26)를 케이스(25)로부터 분리한 상태로 천장면 방착판의 교환이나 세정과 같은 작업을 행할 수 있기 때문에, 케이스(25) 내에서 작업하는 것에 비해 용이하게 작업을 행할 수 있고, 방착판의 유지 보수 작업의 편리성이 향상된다.

계속해서, 도 8(A)∼도 8(C)를 참조하여, 측벽으로부터 천장면 방착판의 분리를 행하는 처리에 대해서 설명한다.

도 8(A)에서는, 커버(28)가 열림 상태로 스위칭되고, 커버(28)에 면하는 측벽 방착부(24)가 분리됨으로써, 천장면 방착판(601∼605)이 가이드롤러(27)를 따라 케이스(25)에 대해 슬라이드 이동하는 것이 가능하게 된다. 작업자는, 도 8(B)에 도시된 바와 같이, 커버(28)측의 개구로부터 천장면 방착판(605)을 슬라이드시켜 케이스(25)로부터 분리할 수 있다. 계속해서, 도 8(C)에 도시된 바와 같이, 커버(28)측의 개구로부터 천장면 방착판(604)을 분리한다. 이와 같이, 천장면 방착판을 슬라이드시키는 것만으로 천장면 덮개(26)로부터 천장면 방착판을 분리하는 것이 가능하게 되기 때문에, 케이스(25) 내에서의 복잡한 작업이 필요 없게 되어, 방착판의 유지 보수 작업의 편리성이 향상된다.

<다른 실시 형태>

발명은 상기 실시 형태에 제한되는 것이 아니며, 발명의 정신 및 범위로부터 일탈하지 않고, 다양한 변경 및 변형이 가능하다. 따라서, 발명의 범위를 공표하기 위해 청구항을 첨부한다.

1: 성막 장치
2: 반송 유닛
3: 증착 유닛
23: 천장면 방착판
26: 천장면 덮개

Claims

기판을 반송하면서 성막하는 인라인형의 성막 장치의 반송 장치로서,
상기 반송 장치의 반송 공간의 천장을 형성하는 천장부와,
상기 천장부의 내면을 덮는 복수의 방착판과,
상기 천장부로부터 상기 방착판을 착탈 가능하게 하는 착탈 구조를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제1항에 있어서,
상기 착탈 구조는, 상기 천장부를 따라 상기 방착판을 이동시키는 슬라이드 구조인 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제2항에 있어서,
상기 슬라이드 구조는,
상기 천장부와 상기 방착판의 일방에 설치된 가이드롤러와,
상기 천장부와 상기 방착판의 타방에 설치되고, 상기 가이드롤러가 전동(轉動)하는 전동면(轉動面)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제2항에 있어서,
상기 슬라이드 구조는, 기판의 반송 방향에 대해 교차하는 방향으로 상기 방착판을 이동시키는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제1항에 있어서,
상기 반송 공간을 둘러싸는 측벽부를 구비하고,
상기 천장부는 상기 측벽부에 대하여 착탈 가능한 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제5항에 있어서,
상기 천장부는, 복수의 상기 방착판이 상기 천장부에 장착된 상태로 상기 측벽부로부터 착탈 가능한 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제5항에 있어서,
상기 측벽부의 내측에는 측벽 방착판이 설치되고,
상기 측벽 방착판은, 상기 천장부의 내면을 덮는 상기 복수의 방착판 중 상기 측벽 방착판과 인접하는 방착판과, 상하 방향으로 겹치는 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
제1항에 있어서,
상기 방착판은, 인접하는 다른 방착판과 상하 방향으로 겹치는 부분을 갖는, 것을 특징으로 하는 반송 장치.
기판을 반송하면서 성막하는 인라인형의 성막 장치로서,
기판을 반송하는 반송 유닛과,
상기 반송 유닛의 하방에 배치되어, 상기 반송 유닛에 의해 반송되는 기판에 증착 재료를 방출하는 증착 유닛을 구비하고,
상기 반송 유닛은,
상기 반송 유닛의 반송 공간의 천장을 형성하는 천장부와,
상기 천장부의 내면을 덮는 복수의 방착판과,
상기 천장부로부터 상기 방착판을 착탈 가능하게 하는 착탈 구조를 구비하는 것을 특징으로 하는 성막 장치.
제9항에 있어서,
상기 증착 유닛은 상기 반송 유닛에 대해 상대적으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 성막 장치.