JP7213226B2 - 搬送装置、および成膜装置 - Google Patents
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Description
前記搬送装置の搬送空間の天井を形成する天井部と、
前記天井部の内面を覆う複数の防着板と、
前記天井部から前記防着板を着脱可能にする着脱構造と、
を備え、
前記着脱構造は、前記天井部に沿って前記防着板を移動させるスライド構造であり、
前記スライド構造は、
前記天井部と前記防着板との一方に設けられたガイドローラと、
前記天井部と前記防着板との他方に設けられ、前記ガイドローラが転動する転動面と、を含むことを特徴とする搬送装置が提供される。
図1(A)および図1(B)は、本実施形態に係る成膜装置を示す概略図である。図1(A)および図1(B)に示す本実施形態に係る成膜装置1は、基板を搬送しながら製膜するインライン型の成膜装置である。本実施形態に係る成膜装置1は、例えば、スマートフォン用の有機EL表示装置の表示パネルなどの電子デバイスの製造ラインに適用される。成膜装置1は、搬送ユニット2、蒸着ユニット3、フレーム4を含む。
発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。
Claims (8)
- 基板を搬送しながら成膜するインライン型の成膜装置の搬送装置であって、
前記搬送装置の搬送空間の天井を形成する天井部と、
前記天井部の内面を覆う複数の防着板と、
前記天井部から前記防着板を着脱可能にする着脱構造と、
を備え、
前記着脱構造は、前記天井部に沿って前記防着板を移動させるスライド構造であり、
前記スライド構造は、
前記天井部と前記防着板との一方に設けられたガイドローラと、
前記天井部と前記防着板との他方に設けられ、前記ガイドローラが転動する転動面と、を含むことを特徴とする搬送装置。 - 前記スライド構造は、基板の搬送方向に対して交差する方向に前記防着板を移動させることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記搬送空間を囲む側壁部を備え、
前記天井部は前記側壁部に対して着脱可能であることを特徴とする請求項1または2に記載の搬送装置。 - 前記天井部は、複数の前記防着板が前記天井部に装着された状態で前記側壁部から着脱可能であることを特徴とする請求項3に記載の搬送装置。
- 前記側壁部の内側には側壁防着板が設けられ、
前記側壁防着板は、前記天井部の内面を覆う前記複数の防着板のうち、前記側壁防着板と隣接する防着板と、上下方向に重なる部分を有することを特徴とする請求項3または4に記載の搬送装置。 - 前記防着板は、隣接する他の防着板と上下方向に重なる部分を有する、ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の搬送装置。
載の搬送装置。 - 基板を搬送しながら成膜するインライン型の成膜装置であって、
基板を搬送する搬送ユニットと、
前記搬送ユニットの下方に配置され、前記搬送ユニットによって搬送される基板に蒸着材料を放出する蒸着ユニットと、
を備え、
前記搬送ユニットは、
前記搬送ユニットの搬送空間の天井を形成する天井部と、
前記天井部の内面を覆う複数の防着板と、
前記天井部から前記防着板を着脱可能にする着脱構造と、
を備え、
前記着脱構造は、前記天井部に沿って前記防着板を移動させるスライド構造であり、
前記スライド構造は、
前記天井部と前記防着板との一方に設けられたガイドローラと、
前記天井部と前記防着板との他方に設けられ、前記ガイドローラが転動する転動面と、を含むことを特徴とする成膜装置。 - 前記蒸着ユニットは前記搬送ユニットに対して相対的に移動可能であることを特徴とする請求項7に記載の成膜装置。
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