JP4951712B2 - 有機elデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
有機elデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4951712B2 JP4951712B2 JP2011132951A JP2011132951A JP4951712B2 JP 4951712 B2 JP4951712 B2 JP 4951712B2 JP 2011132951 A JP2011132951 A JP 2011132951A JP 2011132951 A JP2011132951 A JP 2011132951A JP 4951712 B2 JP4951712 B2 JP 4951712B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- vapor deposition
- deposition
- delivery unit
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 153
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 77
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 33
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 10
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 5
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Description
一般的な真空蒸着法における基板搬送方法としては、下から蒸着するために蒸着面を下にして搬送する下面搬送がある。下面搬送では、下面は蒸着面であり蒸着面を保持できず、表示面として使われない枠部分を保持等して搬送する必要がある。または、基板の大型化にともない、基板をトレイに入れて垂直に搬送する垂直搬送も提案されている。前記公知例としては下記のものがある。
従って、本発明の第一の目的は、機構が簡単で上面搬送ができる有機ELデバイス製造装置または同製造方法あるいは成膜装置または成膜方法を提供することである。
また、本発明の第二の目的は、上面搬送においても高精彩に蒸着可能な有機ELデバイス製造装置または同製造方法あるいは成膜装置また成膜方法を提供することである。
さらに、上記第二の目的を達成するために、前記基板の蒸着面を上面にして搬送する場合には、第1の特徴に加え、前記移動は前記基板面を略垂直に立てることを第3の特徴とする。
また、本発明によれば、上面搬送においても高精彩に蒸着可能な有機ELデバイス製造装置または同製造方法あるいは成膜装置または成膜方法を提供することができる。
図6は、図1から図3に示した処理チャンバ1の処理フローを示した図である。本実施形態での処理の基本的な考え方は、上面搬送された基板6を垂直にたてて、アライメント部8に搬送し、蒸着する。搬送時基板6の下面が蒸着面であるならば反転する必要があるが、上面が蒸着面であるので垂直にたてるだけでよい。
まず、Rラインにおいて、基板6Rを搬入し、基板6Rを垂直に立ててアライメント部8Rに移動し、位置合せを行なう(StepR1からStepR3)。このとき、基板は蒸着面を上にした上面搬送であるので、反転等することなく直ぐに位置合せを行なうことができる。位置合せは、図3の引出し図に示すように、CCDカメラ86で撮像し、基板6に設けられたアライメントマーク84がマスク81mに設けられた窓85の中心にくるように、シャドウマスク81Rを前記アライメント駆動部83で制御することによって行なう。本蒸着が赤(R)を発光させる材料であるならば、図4に示すようにマスク81mのRに対応する部分に窓があいており、その部分が蒸着されることになる。その窓の大きさは色によって異なるが平均して幅50μm、高さ150μm程度である。マスク81mの厚さは40μmであり、今後さらに薄くなる傾向がある。
また、本実施形態によれば、上面搬送行い基板を立てて蒸着することで、基板に高精彩に蒸着することができる。
2:搬送チャンバ 3:ロードチャンバ
4:受渡室 5:搬送ロボット
6:基板 7:蒸着部
8:アライメント部 9:処理受渡部
10:ゲート弁 11:仕切り板
20:保持手段(粘着性ゴム) 31:ロード室
41:受渡室の基板保持部 81:シャドウマスク
71:蒸着源 100:有機ELデバイスの製造装置
A〜D:クラスタ。
Claims (10)
- 基板を搬入する搬入ロード室と、前記基板と蒸着位置を位置合わせするシャドウマスクを有し蒸着材料を前記基板に蒸着する少なくとも1台の真空チャンバと、前記基板を搬出する搬出ロード室と、前記搬入ロード室から前記搬出ロード室へ前記基板を搬送する搬送機構を有する有機ELデバイス製造装置において、
前記真空チャンバは前記基板を受渡し、前記基板を垂直又は略垂直に立てて蒸着する位置に存在するシャドウマスクに対面させる基板面制御手段を有する第1処理受渡部及び第2処理受渡部と、前記第1の処理受渡部を介して搬入された第1の基板を蒸着中に、前記第2処理受渡部を介して搬入された第2の基板の前記位置合せを終了させ、第1の前記基板を蒸着した蒸着源で第2の前記基板を蒸着中に第1の前記基板を前記真空チャンバ内から搬出させる蒸着手段とを有し、前記搬送機構は前記第1処理受渡部及び前記第2処理受渡部を除いて前記基板の蒸着面を上面にして搬送することを特徴とする有機ELデバイス製造装置。 - 前記搬送機構のうち少なくとも前記基板を移動させる機構部には前記基板を保持する保持手段を有することを特徴とする請求項1に記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記保持手段は前記基板を移動させる機構部上面に設けられた粘着性ゴムであることを特徴とする請求項2に記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記蒸着手段は、前記第1の基板と前記第2の基板との間を、前記蒸着源を移動させる駆動ベースを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記蒸着手段は、前記位置合わせをした前記基板と前記シャドウマスクを前記蒸着源側に移動させる手段を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の有機ELデバイス製造装置。
- 前記蒸着手段は、前記第1及び第2処理受渡部を順次前記蒸着源側に移動させる移動機構を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の有機ELデバイス製造装置。
- 基板を搬入ロード室から搬入させ、少なくとも1台の真空チャンバを介して、搬出ロード室へと搬送し、前記真空チャンバにおいて前記基板とシャドウマスクとの蒸着位置を位置合わせし、蒸着材料を前記基板に蒸着する有機ELデバイス製造方法において、
前記基板の蒸着面を上面にして搬送し、蒸着面を上面にして搬送されてきた前記基板を前記真空チャンバ内の第1又は第2処理受渡部で受渡し、前記第1の処理受渡部を介して搬入された第1の基板を蒸着中に、前記第2処理受渡部を介して搬入された第2の基板の前記位置合せを終了させ、前記第1の基板を蒸着した蒸着源で前記第2の基板を蒸着中に前記第1の基板を前記真空チャンバ内から搬出させ、前記蒸着は前記第1及び第2の基板を垂直または略垂直に立てて蒸着する位置に存在するシャドウマスクに対面させて行う、ことを特徴とする有機ELデバイス製造方法。 - 少なくとも前記基板を移動させる場合には前記基板の搬送面が摺動しないように保持することを特徴とする請求項7に記載の有機ELデバイス製造方法。
- 基板を搬入する搬入ロード室と、前記基板と蒸着位置を位置合わせするシャドウマスクを有し蒸着材料を前記基板に蒸着する少なくとも1台の真空チャンバと、前記基板を搬出する搬出ロード室と、前記搬入ロード室から前記搬出ロード室へ前記基板を搬送する搬送機構を有する成膜装置において、
前記真空チャンバは前記基板を受渡し、前記基板を垂直又は略垂直に立てて蒸着する位置に存在するシャドウマスクに対面させる基板面制御手段を有する第1処理受渡部及び第2処理受渡部と、前記第1の処理受渡部を介して搬入された第1の基板を蒸着中に、前記第2処理受渡部を介して搬入された第2の基板の前記位置合せを終了させ、第1の前記基板を蒸着した蒸着源で第2の前記基板を蒸着中に第1の前記基板を前記真空チャンバ内から搬出させる蒸着手段とを有し、前記搬送機構は前記第1処理受渡部及び前記第2処理受渡部を除いて前記基板の蒸着面を上面にして搬送することを特徴とする成膜装置。 - 基板を搬入ロード室から搬入させ、少なくとも1台の真空チャンバを介して、搬出ロード室へと搬送し、前記真空チャンバにおいて前記基板とシャドウマスクとの蒸着位置を位置合わせし、蒸着材料を前記基板に蒸着する成膜方法において、
前記基板の蒸着面を上面にして搬送し、蒸着面を上面にして搬送されてきた前記基板を前記真空チャンバ内の第1及び第2処理受渡部で受渡し、前記第1の処理受渡部を介して搬入された第1の基板を蒸着中に、前記第2処理受渡部を介して搬入された第2の基板の前記位置合せを終了させ、前記第1の基板を蒸着した蒸着源で前記第2の基板を蒸着中に前記第1の基板を前記真空チャンバ内から搬出させ、前記蒸着は前記第1及び第2の基板を垂直または略垂直に立てて蒸着する位置に存在するシャドウマスクに対面させて行う、ことを特徴とする成膜方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011132951A JP4951712B2 (ja) | 2011-06-15 | 2011-06-15 | 有機elデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011132951A JP4951712B2 (ja) | 2011-06-15 | 2011-06-15 | 有機elデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008227488A Division JP4768001B2 (ja) | 2008-09-04 | 2008-09-04 | 有機elデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012009716A Division JP5358697B2 (ja) | 2012-01-20 | 2012-01-20 | 成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011187456A JP2011187456A (ja) | 2011-09-22 |
JP4951712B2 true JP4951712B2 (ja) | 2012-06-13 |
Family
ID=44793464
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011132951A Expired - Fee Related JP4951712B2 (ja) | 2011-06-15 | 2011-06-15 | 有機elデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4951712B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3874852B2 (ja) * | 1996-10-01 | 2007-01-31 | 三菱電機株式会社 | 基板搬送アームおよびそれを用いた基板搬送方法 |
JP2004204289A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Sony Corp | 成膜装置とその方法および表示パネルの製造装置とその方法 |
JP4257497B2 (ja) * | 2003-02-26 | 2009-04-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 真空蒸着方法及び真空蒸着装置、並びにこの真空蒸着方法により製造したelパネル |
JP4549697B2 (ja) * | 2004-03-04 | 2010-09-22 | 株式会社アルバック | 成膜装置及び成膜方法 |
JP4538650B2 (ja) * | 2004-06-18 | 2010-09-08 | 京セラ株式会社 | 蒸着装置 |
JP2008177071A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Sony Corp | 表示装置の製造装置および表示装置の製造方法 |
KR20100132517A (ko) * | 2008-03-05 | 2010-12-17 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 회전 모듈을 갖는 코팅 장치 |
JP5081710B2 (ja) * | 2008-04-28 | 2012-11-28 | 株式会社アルバック | 成膜装置 |
-
2011
- 2011-06-15 JP JP2011132951A patent/JP4951712B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011187456A (ja) | 2011-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5173699B2 (ja) | 有機elデバイス製造装置 | |
KR101092163B1 (ko) | 유기 el 디바이스 제조 장치 및 유기 el 디바이스 제조 방법 및 성막 장치 및 성막 방법 | |
JP5547932B2 (ja) | 成膜装置 | |
JP4768001B2 (ja) | 有機elデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 | |
KR101756992B1 (ko) | 증착 마스크, 증착 장치, 박막 형성 방법 | |
US20120064728A1 (en) | Substrate depositing system and depositing method using the same | |
TWI232242B (en) | Substrate processing apparatus and processing method | |
JP2013209700A (ja) | 真空蒸着装置及びその方法 | |
JP5634522B2 (ja) | 真空処理装置及び有機薄膜形成方法 | |
JP5358697B2 (ja) | 成膜装置 | |
US20140370633A1 (en) | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the organic layer deposition apparatus | |
JP5260212B2 (ja) | 成膜装置 | |
TWI724435B (zh) | 濺鍍方法、濺鍍裝置 | |
JP4951712B2 (ja) | 有機elデバイス製造装置及び同製造方法並びに成膜装置及び成膜方法 | |
JP5277015B2 (ja) | 有機elデバイス製造装置及び成膜装置並びにシャドウマスク交換装置 | |
JP5705933B2 (ja) | 成膜装置 | |
TW200832517A (en) | Film deposition apparatus, film deposition system, and film deposition method | |
JP2013171811A (ja) | 成膜装置 | |
CN113025955A (zh) | 成膜装置、及电子器件的制造方法 | |
KR101859849B1 (ko) | 마스크 스토커를 구비한 대면적 기판용 클러스터 시스템 | |
JP2013110114A (ja) | 有機elデバイス製造装置及び角度補正機構 | |
CN111041424A (zh) | 成膜装置及方法、有机el面板的制造系统以及制造方法 | |
KR20150133076A (ko) | 박막 증착 인라인 시스템 | |
CN219679167U (zh) | 有机发光器件生产线 | |
JP2013151760A (ja) | シャドウマスク交換方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120214 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120312 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150316 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |