KR101859849B1 - 마스크 스토커를 구비한 대면적 기판용 클러스터 시스템 - Google Patents

마스크 스토커를 구비한 대면적 기판용 클러스터 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명의 목적은 클러스터 장비에 적용 가능한 대면적 마스크와 개선된 증발원의 운용 방식을 제공하여 다층 박막 증착에 따르던 어려움을 해결하고 대면적 기판의 안정적인 양산이 가능한 클러스터 시스템을 제공하는 데 있다.
그에 따라 본 발명은, 클러스터를 형성하는 하나 이상의 챔버와 챔버에 기판을 반입 반출하여 주는 로봇 암을 구비하는 클러스터 증착 시스템에 있어서,
상기 챔버 중 증착 공정을 실시하는 공정 챔버는,
하나 이상의 증발원; 및
단부에 마스크가 반입 및 반출되는 마스크 스토커;를 구비하여,
로봇 암은 기판만을 공정 챔버에 반입하고, 마스크는 상기 마스크 스토커에서 반입되어 기판과 마스크가 얼라인 된 후, 증발원에 의해 증착공정이 실시된 후, 로봇 암에 의해 기판만이 반출되는 것을 특징으로 하는 클러스터 증착 시스템을 제공한다.

Description

마스크 스토커를 구비한 대면적 기판용 클러스터 시스템{CLUSTER SYSTEM FOR LARGE AREA SUBSTRATE WITH MASK STOCKER}
본 발명은 대면적 기판, 특히 8세대 이상 기판에 물질을 증착하는 클러스터 다층박막제조 시스템의 구성에 관한 것이다.
OLED 디스플레이 패널 제작에 사용되는 기판의 크기는 점점 대면적화 되고 있으며, 현재 FMM 마스크를 사용하는 양산 라인은 최대 6세대 절반 사이즈의 기판을 사용하고 있다. 기판 사이즈가 커짐에 따라 기판 사용 및 양산 효율이 극대화되지만 기판의 휘어짐, 이송, 대면적 마스크의 운용 그리고 증발원의 개발 등 여러 문제로 인해 양산 디스플레이 패널의 사이즈를 늘리는데 많은 어려움이 있다.
진공 로봇을 사용한 이송 시 기판 증착 면이 하부를 향할 경우 기판의 휘어짐 및 파손, 증착 면의 손상 등 많은 어려움이 따르며, 대면적화된 마스크의 투입과 배출 또한 마스크의 중량과 부피의 증가로 더 이상 로봇이 감당할 수 없는 상황이 발생 된다. 대한민국 공개번호 제20-2016-0001648호의 경우, 클러스터 시스템에서 마스크를 로봇 암이 이송하여 주는 방식이 나오며, 이러한 경우는 마스크가 대형화 및 중량화되지 않았을 때 적용되는 방식이다.
또한, 대면적 증발원의 경우 기존에 사용되는 소형 증발원의 이송 방식을 그대로 적용할 경우 케이블의 손상, 증발 시 증발 물질의 비 균일화 등 여러 문제가 야기된다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하고 대면적의 다층박막 제작에 적용 가능한 다층박막 제작장치를 제공하고자 한다.
즉, 본 발명의 목적은 클러스터 장비에 적용 가능한 대면적 마스크와 개선된 증발원의 운용 방식을 제공하여 다층 박막 증착에 따르던 어려움을 해결하고 대면적 기판의 안정적인 양산이 가능한 클러스터 시스템을 제공하는 데 있다.
상기 목적에 따라 본 발명은,
기판에 박막을 형성하는 클러스터 시스템에 있어서,
기판을 공정 챔버에 반입하고 반출시키는 로봇을 구비하는 트랜스퍼 챔버;및
상기 트랜스퍼 챔버 주위에 배치되는 하나 이상의 공정 챔버;를 구비하고,
상기 공정 챔버는,
기판과 합착 될 마스크가 비치되는 마스크 스토커; 및
하나 이상의 증발원;을 구비하여,
상기 로봇으로 기판을 공정 챔버에 반입하고,
마스크는 마스크 스토커로부터 제공되고,
기판과 마스크가 얼라인 후 합착되며,
상기 증발원에 의해 기판에 박막을 형성하고,
박막 형성을 마친 기판은 마스크로부터 탈착되어 트랜스퍼 챔버의 로봇에 의해 공정 챔버로부터 반출되는 것을 특징으로 하는 클러스터 시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 상기 마스크는 다수의 기판 박막 형성에 사용되며, 교체 시 상기 마스크 스토커를 통해 반출되고 새로운 마스크가 마스크 스토커로 반입되는 것을 특징으로 하는 클러스터 시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 상기 증발원은 셔터를 구비하여 필요에 따라 다층 박막 형성이 가능하도록 셔터로 개폐 제어되는 것을 특징으로 하는 클러스터 시스템을 제공한다.
본 발명에 따르면 대면적 기판에 적용되는 마스크 무게로 인해 로봇 암이 핸들링할 수 없는 상황을 해결하기 위해 공정 챔버 후단에 마스크 스토커를 구비하여 마스크를 스토커로부터 기판이 투입되는 지점으로 이동하여 기판과 합착 되게 하였다.
마스크는 기판이 반입되는 쪽에서 대기하여 기판과 얼라인되고 합착 된 후 증발원에 의해 기판에 박막이 형성되면 기판과 탈착되어 챔버로부터 기판이 반출되고 다시 새로운 기판이 반입되어 새로운 기판과 합착 된다. 이와 같이 마스크는 일정 횟수를 반복해서 사용한 다음, 교체 주기에 다다르면 마스크 스토커로 배출되고 새로운 마스크가 마스크 스토커로부터 지정된 위치로 반입되어 공정을 지속하게 된다.
이와 같이 본 발명은 기판의 대면적화에 맞추어 핸들링이 매우 어려워진 대면적 고중량의 마스크를 공정 챔버 내에 비치시킴으로써 로봇 암의 성능 개선 등을 요하지 않고도 기판에 적용될 수 있게 하였다.
또한, 본 발명에 따르면, 공정 챔버 안에 증발원을 하나 이상 배치하고, 각 증발원에 대해 셔터를 설치함으로써 필요에 따라 셔터를 조작하여 원하는 다층 박막을 제작할 수 있게 하였다.
도 1은 본 발명의 클러스터 시스템의 구성을 보여주는 단면도이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 마스크 스토커를 구비한 클러스터 시스템을 보여준다.
일반적인 클러스터 시스템과 동일하게 중앙에 로봇 암(500)과 같은 기판 운송 기구부가 들어있는 트랜스퍼 챔버(약자를 써서 TM 챔버라고 불리 운다)(600)가 배치되고 이를 중심으로 공정챔버(700)들이 방사상으로 배치된다. 기판(100)은 트랜스퍼 챔버(600)의 로봇 암(500)에 의해 클러스터 시스템에 반입되어 증착 공정을 수행할 공정 챔버(700)에 투입되나 대면적 마스크(200)는 로봇으로 핸들링하는데 한계가 있어 본 발명에서는 공정챔버(600) 후단에 마스크 스토커(200)를 구성하고 마스크(200)가 반송롤러(미 도시)에 의해 기판이 들어오는 위치에 투입되는 특징을 갖는다. 따라서 로봇 암(500)에 의해 기판(100)이 투입되면 마스크와의 얼라인 공정을 수행하게 되며 합착된 기판과 마스크는 반송롤러에 의해 증발원(400)을 중심으로 왕복 스캔 증착이 진행된다.
증발원(300)은 하나 이상 배치될 수 있다. 여러 가지 물질, 예를 들면, 호스트와 도펀트를 동시 증착하는 경우라든가, 동일 물질이라도 대면적 기판의 균일도 향상을 위해 다수의 증발원을 배치할 수 있다. 하나 이상의 증발원을 배치함과 동시에 각각의 증발원에 대한 셔터(미 도시)를 설치하여 증발물의 분사와 차단을 제어한다.
증착 공정을 마친 다음, 기판과 마스크는 탈착되고, 기판(100)은 공정 챔버(700)로부터 반출되며 로봇 암(500)이 받아 다른 공정 챔버로 반입하거나 출구로 보내진다.
또한, 또 다른 기판이 클러스터 시스템으로 들어오게 되고 상기 과정을 반복하게 된다. 이러한 반복 과정은 마스크를 교체해야 할 필요가 있을 때까지 지속된다. 예를 들면, 100회 내지 200회 정도 마스크가 사용된 다음에는 장시간 동안 증착된 물질에 의한 마스크 오염과 물질 낙하에 의한 증착원 성능 저하 등의 우려로 다른 마스크로 교체된다. 마스크의 교체는 마스크 스토커(300)를 통해 이루어진다. 마스크는 트레이 형태로 구성될 수 있으며, 공정 챔버(700)의 후단(클러스터의 트랜스퍼 챔버와 인접된 단부의 반대편을 뜻한다)을 통해 반출되고, 세정된 마스크가 반입된다. 마스크 스토커(300) 전후단에는 도어가 구성되어 마스크 교체 시 공정챔버(700)의 진공도 유지가 가능하게 된다.
각 마스크 스토커(300)에는 서로 다른 종류의 마스크가 비치될 수 있으며, 하나의 마스크 스토커(300)에는 같은 종류의 마스크가 다수 구비되어 순차적으로 공정에 사용된 후 교체주기에 다다르면 외부로 반출될 수 있다.
이와 같은 구성으로 대면적 기판에 적용되는 대형 마스크의 운용을 효율적으로 할 수 있다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시 예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
100: 기판
200, 201: 마스크
300: 마스크 스토커
400, 401: 증발원
500: 로봇 암
600: 트랜스퍼 챔버
700: 공정 챔버

Claims (3)

  1. 기판에 박막을 형성하는 클러스터 시스템에 있어서,
    기판을 공정 챔버에 반입하고 반출시키는 로봇을 구비하는 트랜스퍼 챔버;및
    상기 트랜스퍼 챔버 주위에 배치되는 하나 이상의 공정 챔버;를 구비하고,
    상기 공정 챔버는,
    기판과 합착 될 마스크가 비치되는 마스크 스토커; 및
    하나 이상의 증발원;을 구비하여,
    상기 로봇은 기판을 공정 챔버에 반입하고,
    마스크는 마스크 스토커로부터 반송롤러에 의해 이동되되, 기판이 반입되는 지점으로 이동되어 기판과 마스크가 얼라인 및 합착 되고,
    상기 증발원 각각은 셔터를 구비하여 박막 형성을 위해 셔터로 개폐 제어되고 기판에 대해 스캔이송되어 기판에 박막을 형성하고,
    박막 형성을 마친 기판은 마스크로부터 탈착되어 트랜스퍼 챔버의 로봇에 의해 공정 챔버로부터 반출되며,
    상기 마스크 스토커는 전후단에는 도어를 구비하여, 상기 마스크는 다수의 기판에 대해 합착 및 탈착과정을 반복 수행한 후, 교체되기 위해 상기 마스크 스토커를 통해 반출되고 새로운 마스크가 마스크 스토커로부터 반입되는 것을 특징으로 하는 클러스터 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 증발원은 다수가 구비되어 여러 가지 물질을 증착하여 다층박막을 이루거나, 호스트와 도펀트를 동시 증착하거나, 동일 물질이라도 대면적 기판의 박막 균일도를 향상시키는 것을 특징으로 하는 클러스터 시스템.


















  3. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20220113036A (ko) * 2021-02-05 2022-08-12 주식회사 야스 증착 시스템용 마스크 반송시스템
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