KR20060110806A - 연속 ｏｌｅｄ 코팅 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 특히 유기전계발광재료(OLED; organic electroluminescent materials)가 제공되는 기판, 특히 OLED 디스플레이, 스크린, 패널 또는 다른 빔 요소등의 연속적 제조를 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위하여 진공 공간 및 가공된 기판을 이송하며 진공 공간을 따라 적어도 부분적으로 배열되고 그리고 기판에 대해 캐리어를 가지는 운송 장치를 갖고, 유기전계발광재료, 특히 OLED디스플레이, 스크린, 패널 또는 다른 광요소를 갖는 기판의 연속적인 제작을 위한 장치에 있어서, 운송장치는 제 1 방향(기판운송방향)으로 캐리어(40)를 운송하기 위한 운송 장치의 제 1 부분이 구비된 제 1 부(3, 103) 및 제 2 방향(캐리어 반환 운송방향)으로 캐리어를 운송하기 위한 운송 장치의 제 2 부분이 구비된 제 2 부(4, 104)를 갖는 적어도 두 개의 부로 분리된 진공 공간을 구비하고, 캐리어를 운송하기 위한 적어도 하나의 무한루프(140)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치를 제공한다.

Description

연속 ＯＬＥＤ 코팅 장치 {Continuous OLED coating machine}

본 발명은 청구항 1의 포괄적인 부분에 다른 장치 및 유기전계발광재료(OLED; organic electroluminescent materials; 이하 "OLED" 라고도 한다)가 제공되는 기판의 제조를 위한 방법에 관한 것이다.

기술적 구동 요소 및 엔터테인먼트 전자기기 분야에서, 평평한 패널 및 디스플레이가 중요도에서 점점 증가하는 추세이다. 그러한 평평한 패널의 재미있는 실현이 전극들을 통한 구동 수단에 의해 영상을 생성하기 위하여 사용될 수 있는 발광이 생성될 수 있도록 전극들 사이의 유기전계발광재료가 평평하고 투명한 기판 위에 놓여지는 소위 OLED 디스플레이 또는 스크린에 의해 달성된다.

일반적으로 소위 클러스터 툴의 진공 코팅 공정이 그러한 OLED 스크린의 제조에 이용된다. 일반적으로 다른 코팅 단계들이 수행되는 다양한 모듈들이 중앙에 배치되고, 중앙에 배치된 로봇은 코팅하고자 하는 기판을 대응하는 모듈 안으로 삽입하고, 기판을 제거하고 그리고 다음 모듈로 기판을 수송한다. 한편 그러한 기술은 개개의 모듈들에서 청결의 필요성 및 공정 조건들과 관련된 어떤 이점들을 제공하지만, 이것이 대응하는 OLED 스크린의 경제적이고 대량의 제조에 의미있는 것은 아니다.

이러한 이유로, 연속된 순서의 다양한 필요 코팅 단계들을 촉진하는 소위 인라인 장치에 대한 종래기술의 제안이 이미 존재한다. 이하 실시예로써 JP 2003332052 A, WO 03/090260 A2 및 WO 03/043067 A1이 있다.

JP 2003332052 A는 예를 들어 레드-, 그린-, 블루-발광 전계발광재료의 배치를 위하여, 배출부에서 링 외측으로 제안된 코팅부를 구성하기 위하여 필요한 마스크용 별개의 세정부를 구비한 다른 코팅부들의 환형 배치를 제안한다. 그러나, 이러한 장치 구성은 세정된 마스크의 개별적 수송 경로와 함께 세정부의 개별 장치에 대한 높은 비용을 필요로 한다.

WO 03/090260 A2는 다른 층들이 증착될 수 있도록 필수적인 선형 xfor 위에 코팅 장치를 통하여 일부 시간에 안내되는 기판을 이용하여, 기판 위에 다층 코팅을 증착하는 장치를 기술한다. 비록 연속 인라인 장치가 그에 따라 실현되기는 하지만, 그러한 장치는 코팅 장치를 통하여 기판의 반복되는 이동에 따른 불리함을 갖는다.

WO 03/043067 A1은 예컨대, 널리 다양한 코팅 공정이 수행될 수 있도록 코팅하고자 하는 기판이 진공 코팅 장치를 통하여 트랙 배치를 따라 안내되는 캐리어 위에 배치되고 그리고 기판을 구비한 캐리어가 인접한 코팅 챔버들 안으로 담겨질 수 있는, 대량 제조를 위한 유기 전계발광, 방사 장치의 제조에 이용되는 장치를 기술한다.

여기에서, 기판을 개개의 코팅 챔버로 내려놓기 위한 비용이 코팅 공정 중 시간 및 디자인 측면 양자에서 매우 높다.

부수적으로, 기판 세정, 구조화를 위한 마스크 배치, 및 마스크의 세정과 같은 모든 공정들이 다양한 챔버 내 코팅과 마찬가지로 계속적으로 수행된다.

따라서 본 발명의 목적은 특히 유기전계발광재료(OLED)가 제공되는 기판, 특히 OLED 디스플레이, 스크린, 패널 또는 다른 OLED 발광 요소의 연속 제조를 위한 코팅 기기 또는 장치를 생성하기 위한 것이며, 이 장치는 OLED 제품의 고품질 표준에 대한 허용과 적은 공간 필요성과 조합하여 종래기술의 불리함을 회피하고 특히 OLED 발광 요소의 대량 생산을 위해 단순하고 유리한 가능성이 제공될 수 있다. 특히, 대응하는 장치는 제조에 용이하고 그리고 공정은 동작에 용이하여야 한다.

본 발명의 목적은 청구항 1의 특징에 따른 장치 및 청구항 20의 특징에 따른 공정(방법)을 통해 달성된다. 유리한 실시형태들이 종속 청구항들의 목적이 된다.

제안된 해결책은 코팅 기기 또는 장치가 이중 챔버 원리에 의해 구성된다는 사실에 의해 특징지어질 수 있다. 즉, 진공-코팅 기기의 전체 진공 공간은 바람직하게는 그 종축을 따른 두 개의 부분으로 분할되고, 진공 공간의 제1부분은 코팅 기기를 통하여 코팅하고자 하는 기판을 구비하여 로드된 캐리어를 로딩부에서 언로딩부로 수송하는 데 이용되며, 그리고 다음 기기의 제2부분은 기판 캐리어 및 특히 구조화에 필요한 마스크를 회송하고 세정하는 역할을 한다. 이는 지속적이고 여속적 동작을 갖지며는 매우 소형의 기기가 무한루프로 캐리어 및/또는 마스크를 안내함에 의해서 캐리어 및 마스크 양자의 저장이 크게 회피되는 소위 인-라인 기기로써 실현될 수 있고, 그리고 출력 및 효율이 실질적으로 증가된다는 이점을 갖는다.

덧붙여, 이중 챔버 원리의 덕으로, 특히 이중 챔버가 포괄적인 모듈(all-round modules)로써 형성될 수 있는 가능성에 따라 특히 진공 생성에 관하여 단순한 구성 및 단순한 작동이 가능하고 따라서, 필요한 만큼 대응하는 공정 도구 및 다른 장치들이 대응하는 이중 챔버 모듈 내에 배치될 수 있다. 이는 또한 전환을 크게 촉진한다. 덧붙여, 그러한 구성은 진공 내에서 코팅을 마이크로 구조화하기 위한 기판 또는 캐리어 및/또는 마스크의 중단없는 수송을 촉진한다. 그 결과로써, 주변환경에 의한 캐리어 또는 마스크의 오염이 회피된다.

또한, 필요한 경우에, 오염을 회피하거나 또는 기기의 일부 구멍의 경우를 회피하기 위하여 특정 영역이 밀봉될 수 있도록, 개개의 챔버들 또는 챔버 모듈들 사이에 잠금 챔버 및/또는 잠금 장치 및 고립 장치들이 제공될 수 있다.

수송 장치의 제1섹션을 구비하여 기판 수송 방향으로 진공 공간의 제1부분을 따라 연장되고 그리고 반대 방향, 즉 캐리어 회송 수송 방향에서 수송 장치의 제2섹션을 구비하여 진공 이중 챔버(vacuum dual chamber) 또는 진공실(vacuum room)의 제2부분에서 연장되는 캐리어를 수송하기 위한 무한 루프 이외에, 바람직하게는 마스크를 수송하기 위한 일부 제2무한루프가 유리하며 그리고 부가적으로 코팅의 마이크로 구조화 또는 구조화의 목적을 제공하는 것이 바람직하다. 마스크를 수송하기 위한 제2무한루프에 대응하는 수송 배치는 또한 공급 영역에서 배출 영역으로 기판 수송이 발생하는 진공 공간의 부분 내 제1섹션을 갖고, 그리고 진공 공간의 제2부분에서 회송을 위한 제2섹션을 갖는다.

덧붙여, 바람직하게는 기판 캐리어용 수송 장치 및/또는 마스크용 수송 배치가 연속된 루프로 형성되지 않고, 동일한 및/또는 반대 방향에서 평행한 수송 섹션들이 이중 챔버 내에 제공되는 적어도 하나의 수송 분기가 제공될 수 있다. 이는 공급 및 배출 영역에서 특히 이로웁다. 이러한 방식으로 진공 이중 챔버의 양 부분들이 기판 캐리어 위 기판을 그리고 마스크-배치부(mask-placement station)으로부터 벗어나도록 수송하는 데 이용될 수 있고, 그 결과로써 효율이 크게 향상된다. 유사하게, 기판은 추가의 기판들이 빠르고 연속적으로 코팅 공정으로 전환될 수 있고, 이는 기기의 효율을 추가로 증가시킨다.

바람직하게는, 캐리어용 수송 장치 및 마스크용 수송 장치는 부분적으로 동일한 수송 수단 및 취급 장치들을 이용하며, 따라서 적어도 일부 수송은 함께 발생한다. 특히, 기판 캐리어는 적어도 마스크의 부분적 회송을 위한 마스크 캐리어의 역할을 하는 것이 바람직하다.

바람직하게는, 수송 장치 또는 수송 배치의 제1섹션으로부터 수송 장치 또는 수송 배치의 제2섹션으로의 전환은 무한루프 내에서 그리고 반대로 기판이 캐리어에 배치되거나 또는 제거되는 기판로딩부(substrate-loading station) 및/또는 기판언로딩부(substrate-unloading station)에서 및/또는 마스크가 기판에 할당되거나 그 위에 배치되며 또는 그로부터 다시 제거되는 마스크-배치부(mask-placement station) 및/또는 마스크-제거부(mask-removal station)에서 발생한다.

바람직한 일 실시형태에서, 제1부에서 두 개의 인접한 코팅 영역에서의 마스크 교환뿐만 아니라 코팅섹션에서 세정섹션으로의 유효한 마스크 이송을 수행하고, 그리고 반대로 마스크-배치부 및/또는 제거부 및/또는 마스크-정렬부(mask-alignment station) 및 회전 모듈에서 제공되는 마스크용 홀딩 요소를 구비하는 회전 모듈이 제공된다.

회전 모듈은 수송 장치의 제1섹션 및 제2섹션 양자로부터 기판 캐리어용 수송 위치를 구비한 두 개의 픽업이 제공되는 회전 테이블을 구비한 회전 미캐니즘을포함하며, 그에 따라 180°로 회전 테이블의 회전을 통하여, 두 개의 픽업이 개개의 다른 수송 섹션의 수송 위치로, 그리고 90°로 회전하여 인접하게 배치된 마스크 및/또는 기판 캐리어 교환 영역으로의 수송을 위한 수송 위치 안으로 두 개의 픽업이 이동할 수 있다. 첫 번째, 마스크는 마스크-교환 영역에서 기판 캐리어로부터 제거되고, 그리고 나서 기판 캐리어는 다른 대기중인 마스크 각각에 할당되며 그리고, 배치 이후에 수송 시스템을 따라 추가로 이동한다.

바람직하게는, 기판 캐리어 및/또는 마스크가 교체될 수 있도록 또는 취급 공정에 다른 지속기간을 부여함으로써 장치의 효율 및 출력의 최적화에 영향을 줄 수 있도록 마스크 및/또는 기판 캐리어 매거진이 기판 캐리어 및/또는 마스크의 수송 루트를 따라 제공될 수 있다. 덧붙여, 매거진은 또한 기기에 적재하는 데 이용될 수 있다. 바람직하게는, 하나 또는 특히 몇몇 적재 장소를 갖는 그러한 매개 매거진은 수송 장치, 마스크-배치부 및/또는 마스크-제거부 및/또는 회전 모듈에 할당된다. 개개의 취급 가능성에 대한 대응하는 회전 및/또는 이송 움직임(rotary and/or translatory movement)을 제공하는 기판 캐리어 및/또는 마스크 운송 유닛의 이용에 불구하고, 대응하는 기판 캐리어 및/또는 마스크는 수송 공정 안으로 그리고 밖으로 단순히 다시 분기될 수 있고 그리고 덧붙여 예컨대 일부 매거진들이 함께 배치되는 매거진 유닛들 사이에서 교환될 수 있다.

마스크- 및/또는 기판 캐리어 매거진과 마찬가지로, 추가의 마스크- 및/또는 기판 캐리어 세정부가 실제 수송 루트의 외측에 측면 분기로 제공될 수 있고, 따라서 실제 수송 루트로부터 단순 배출을 통하여 마스크 및/또는 기판 캐리어의 세정이 달성될 수 있다. 이는 세정을 위해서 특히 진공 챔버의 제2부분에서 또는 제2섹션 내 회송 중에 추가로 설치될 수 있다.

무한루프는 단일 연속 작동 수송 장치 또는 다수의 취급 장치들 및 예컨대, 기판 및/또는 캐리어 또는 마스크가 한 장치에 다른 장치로 수송되는 수송 수단들에 의해서 실현될 수 있다. 유사하게, 마스크 및/또는 기판 캐리어의 수송은 오나전히 연속적으로, 즉 멈춤, 중간 멈춤으로 인한 불연속 및/또는 그 모든 조합 없이 발생할 수 있다. 때때로, 개별 부들(stations)로의 회송이 그에 따라 가능하고 그리고 마찬가지로 예측될 수 있다. 따라서, 기판의 코팅 또는 일반적 처리가 동적으로, 즉 수송 중에, 또는 기판이 움직이지 않는 정적으로 발생할 수 있다. 결과적으로, 코팅 또는 처리의 종류에 대한 서로 조합될 수 있는 세 가지 기본적 가능성, 즉 연속적 동적(continuous dynamic), 시간적 동적(timed dynamic) 또는 정적(static)의 가능성이 존재한다.

본 발명의 장치의 실시형태를 통하여, OLED 요소의 제작을 위한 대응 공정이 부여됨으로써 회송 중에 코팅의 구조화를 위하여 필요한 마스크 또는 새도우 마스크를 직접 세정하고 그리고 마스크 저장량을 줄이고 마찬가지로 필요한 전체 마스크의 개수를 최소화하는 것이 가능하다.

본 발명의 추가의 이점들, 특성들 및 특징들이 뒤따르는 첨부된 도면을 이용한 두 개의 실시형태들의 상세한 기술로부터 명백하다. 도면은 단순히 개략적인 형태로 나타내고, 그 상세는 앞의 '도면의 간단한 설명' 항목에서 기재하였다.

도 1은 백색 광을 방출하는 유기 LEDs (OLELDs; organic LEDs)를 제작하기 위하여 구성된 본 발명에 따른 장치를 도시한다. 장치(1)는 각각 부분들(절반)(3, 4)로 분할되고 그리고 이웃한 챔버와 함께 진공 공간을 형성하는 연속되는 다수의 진공 이중 챔버들(2)을 포함한다. 장치의 종축에 따른 두 부분(3, 4)로의 진공 공간의 분할 이외에, 진공 공간은 추가로 도 1에 도시된 실시형태에서 마스크-배치부(14) 및 마스크-제거부(13)에 의해 두 영역으로 재분할되고, 다수 영역으로의 재분할 역시 가능하다.

그러나, 부분들(3, 4)로의 종방향 재분할과 마찬가지로, 마스크-배치부 및 제거부(13, 14)에 의한 재분할은 다른 진공 상태를 얻는 것으로 이해되지는 않는다. 비록 이것이 개개의 경우에 가능할지라도, 동일한 진공 상태가 또한 유력하다. 재분할은 단지 진공 공간이 연속적으로 동일하디 않도록 하는 수단으로써 이해되어야 한다. 그러나, 개개의 부분들(3, 4)을 구비한 진공 이중 챔버(2)는 연속적인 수송 영역을 형성하고, 덧붙여 마스크-배치부 및 제거부(13, 14)에 의해 중단되지 않으나, 반면 단지 임의의 영역에서 부분들(3, 4) 사이의 전환이 가능하다. 진공 이중 챔버(2)의 모듈에 의해 진공 공간의 재분할이 부분들(3, 4)로의 기본 재분할에 영향을 줄 수 없다.

부가하여, 진공 공간의 개별 영역들의 분리 또는 고립을 촉진하는 잠금 또는 고립 요소들(20)에 의해 분리가 유효하게 될 수 있다. 바람직하게는, 진공 공간은 연속하는 마스크 배치부 및 마스크 제거부 또는 기판로딩부 및 기판언로딩부로써 이용되는 유사한 모듈로 구성될 수 있고, 코팅부 등은 다른 방식으로 장착된다.

장치(1)는 일단에 제공되는 기판공급장치(5) 및 타탄에 제공되는 기판배출장치(6)를 구비하여 전체적인 선형 구성을 갖는다. 선형 구성 이외에, 자연스럽게 대응하는 곡면을 구비한 다른 구성 또는 코너 주변의 수송을 갖는 것이 가능하다. 기판공급장치(5) 및 기판배출장치(6)을 통하여, 코팅하고자 하는 기판은 주변의 상태 또는 다른 진공-처리 기기로부터 장치(1)의 진공 공간 안으로 또는 외부로 운반된다.

상세하게 도시되지는 않은 잠금 또는 고립 장치 이후에, 코팅 공정 중에 또는 장치를 통한 수송 중에 기판이 그 위에 위치하는 캐리어(40; 도 3 참조) 위로 코팅하고자 하는 기판이 배치되는 기판공급부(7)에 의해 기판공급장치(5)가 뒤따른다. 동시에, 기판공급부(7)는 도 1의 우측 하부에 부분도로 도시되고, 진공 공간의 부분(4)에서 진공 공간의 부분(3) 안으로 그리고 그 반대로 캐리어(40)의 교체를 촉진하는 수송 장치를 활용가능하게 한다. 후에 묘사되는 것처럼, 기판로딩부 내 캐리어(40)는 캐리어 회송 방향에서 기판 수송 방향으로 수송 방향을 변경한다.

선택적으로(도시되지 않음), 기판공급부는 기판공급장치 내에 제공될 수 있고, 따라서 기판 캐리어 위에 위치하는 기판의 취급이 진공이 아닌 공기중에서 간단하게 발생할 수 있다. 그 경우에, 기판공급장치는 기판 캐리어가 부분(4)에서 부분(3)으로 회송되고 그리고 순차적으로 로딩을 위한 기판공급장치 안으로 수송되는 수송 모듈에 의해 뒤따르게 된다. 배출 영역 역시 유사하게 배치될 수 있다.

이후의 코팅 중에 기판이 마스크에 의해 덮여진 영역에서 코팅되지 않고, 반면 다른 영역에서 코팅이 이루어지는 방식으로 코팅의 구조화가 얻어지도록 기판공급부(7) 이후에 마스크(새도우 마스크; 도 3 참조)가 배치된 기판 또는 캐리어(40) 위에 놓여지거나 할당되는 마스크-배치부(8)가 뒤따른다. 부가하여, 구조화가 정확하게 바른 위치에서 발생하도록 여기에서 마스크가 정렬되거나 조정된다.

마스크-배치부(8)는 또한 더 이상 상세히 기술되지 않는 수송 장치를 포함하며, 수송 장치는 마스크가 진공 공간의 부분(4)으로부터 진공 공간의 부분(3)으로 수송될 수 있도록 하고, 동시에 마스크는 회송 방향에서 기판 수송 방향으로 수송 방향을 변경한다. 취급 및 홀딩 장치들(미도시)를 구비한 유사 구성이 부여됨에 따라, 기판공급부(7) 및 마스크-배치부(8)는 단일 부(station)로 결합될 수 있다.

마스크-배치부(8)는 부분(3)에서 유사한 코팅 공정에 적합한 다수의 진공 이중 챔버(2)가 뒤따른다.

도 1에 도시된 실시형태에서, 영역(9) 내에 홀분사층(HIL; hole injection layer), 홀수송층(HTL; hole transport layer) 및 전자저지층(EBL; electron blocking layer)이, 영역(10) 내에 발광재료와 같은 대응하는 보조 층들이 적용되고, 그리고 영역(11) 내에 전자분사층(EIL; electron injection layer), 전자수송층(ETL; electron transport layer) 및 홀저지층(HBL; hole blocking layer)과 같은 보조층이 적용되는 코팅 영역들(9, 10, 11)이 제공된다.

그 위에 기판이 구비된 캐리어 및 마스크가 코팅 영역들(9 내지 11)을 통하여 이동한 이후에, 기판으로부터 마스크가 제거되는 마스크-제거부(13) 안으로 통과한다. 마스크-제거부(13)는 또한 진공 공간의 부분(4)으로 제거된 마스크가 기판 수송의 반대 방향, 도 1의 실시형태에서 좌에서 우를 향한 방향으로 마스크-배치부(8)로 되돌려지는 수송되는 수송 장치를 갖는다. 도중에 진공 이중 챔버(2)의 하나에서, 마스크가 되돌려짐에 따라 코팅 영역(9 내지 11)에서 적용된 코팅 물질을 제거하고 마스크를 직접 세정하는 마스크-세정부(12)가 존재한다. 이러한 방식으로, 마스크는 마스크-배치부(8)에서 즉시 재사용될 수 있다. 세정은 적당한 어떠한 방식으로도 수행될 수 있다.

한편, 기판을 구비한 캐리어는 열 증발을 통하여 이후의 전극 적용을 위해 적절하게 조정된 마스크가 제공될 수 있도록 마스크-제거부(13) 이후에 배치되고 그리고 마스크-배치부(8)에서와 같이 새로운 마스크가 기판으로 공급되는 마스크-배치부(14; mask-placement station) 안으로 이동한다.

마스크-배치부(8)에서와 같이 마스크-배치부(14)에서, 유사한 마스크가 진공 공간의 부분(4)으로부터 진공 공간의 부분(3)으로 이송되고, 마스크는 그 수송 방향이 변경된다. 덧붙여, 마스크-배치부(8)에서와 같이, 마스크는 마스크-배치부(14)에서 정렬되고, 따라서 적용하고자 하는 코팅 재료의 구조화는 그 구조가 필요로 하는 다른 영역에서 정밀하게 발생한다.

마스크-배치부(14) 이후 영역(15)의 진공 이중 챔버(2)는 전극 재료가 기판 위로 열적으로 증발될 수 있도록 장착된다. 즉, 다른 증발 공정이 또한 사용될 수 있다.

코팅 영역(15)를 통과한 이후에, 캐리어 위 기판 및 그 위에 배치된 마스크는 마스크-제거부(17) 안으로 지나고, 여기서 마스크는 기판으로부터 제거되고 그리고 진공 공간의 부분(4)으로 수송되며, 따라서 마스크는 기판의 수송 방향의 반대 방향으로 수송될 수 있고,그리고 세정부(16)에서 세정될 수 있으며, 따라서 마스크-배치부에서 즉시 재활용가능하다.

뒤따르는 캐리어용 기판로딩부(18)에서, 기판은 캐리어로부터 제거되고 기판배출부(6)로 수송되며, 반면 캐리어는 진공 공간의 부분(4)으로 수송되고 그리고 기판로딩부(7)로 되돌려진다.

도시된 바람직한 실시형태에서 캐리어의 회송중에, 마스크 및 캐리어는 함께 수송되고, 이 경우에 마스크 제거부(17) 내 캐리어는 회송을 위해 마스크를 픽업하고 다시 유사하게 마스크-배치부(14)로 수송한다. 동일한 방식으로, 마스크-제거부(13) 내 진공 공간의 부분(4)의 회송 중에, 캐리어는 이전 코팅 공정으로부터 마스크를 픽업하고 다시 마스크-픽업부(8)로 수송한다. 그러나, 캐리어 및 마스크를 위한 개별적인 수송 수단의 제공은 또한 회송에 대하여 가능하다.

전체적으로, 도 1의 실시형태에서, 세 개의 무한루프, 보다 정확하게는 기판의 캐리어를 위한 제1무한루프가 나타나며, 이 제1무한루프는 진공 공간의 부분(3; 도면의 상부부분) 내 기판로딩부(7)로부터 마스크-배치부(8) 및 코팅부(9 내지 11), 마스크 -제거부(13)과 마스크-픽업부(14) 및 코팅부(15)를 통하여, 기판 수송 방향의 반대 방향으로 그 수송 방향이 변경되고 그리고 기판로딩부(7)까지 회송하는 기판언로딩부(18)로 캐리어를 이동한다. 이러한 제1무한루프에 더하여, 마스크 수송에 관한 두 개의 제2무한루프가 존재하며, 보다 정밀하게는 코팅부(9 내지 11) 내 코팅 영역을 위한 마스크에 관한 하나와 코팅부(15) 내 코팅 공정을 위한 마스크용 다른 하나가 존재한다. 코팅부들(9 내지 11) 내 코팅 공정용 마스크는 마스크-배치부(8)로부터 코팅부들(9 내지 11)을 통하여 마스크-제거부(13)까지 이동하며, 마스크-제거부(13)는 그 수송 방향을 변경하고 진공 공간의 부분(4) 내 마스크-세정부(12)를 통하여 마스크-배치부(8)로 마스크를 되돌린다.

코팅부(15)의 코팅 공정의 다른 마스크는 진공 공간의 부분(3) 내 마스크-배치부(14)로부터 코팅부(15)를 통하여 마스크-제거부(17)로 이동하며, 마스크-제거부(17)는 그 수송 방향을 변경하고 부분(4) 내 세정부(16)를 통하여 마스크-배치부(14)로 마스크를 되돌린다.

대상이 이동하는 관점에서 표현된, 즉 캐리어 또는 마스크의 관점에서의 이러한 무한루프들은 다수의 취급 및 수송 장치들에 의해 형성될 수도 있다. 그러나 특히 캐리어의 움직임에 대하여 단일한 연속적인 컨베이어 장치가 제공되는 것이 기대될 수 있다.

동일한 방식으로, 마스크, 캐리어, 기판 등을 픽업하고 움직이기 위한 다른 매니폴드 장치들이 기판로딩부 및 기판언로딩부(7 및 18)와 마찬가지로 일측의 마스크-배치부 및 마스크-제거부(8 및 14)와 다른측의 마스크-배치부 및 마스크-제구부(13 및 17)로 기대될 수 있다.

예를 들면, 기판로딩부 및 기판언로딩부(7 및 18)과 함께 마스크-배치부 및 마스크-제거부(8, 13, 14 및 17)에 대한 상상가능한 수송 장치는 캐리어 플레이트(70)이 축(80)에 대하여 보다 구체적으로는 180°의 각으로 회전(rotate)하거나 축회전(pivot)하는 단순한 회전 미캐니즘이고, 따라서 캐리어(70)가 일단 진공 공간의 부분(3)을 향한 측면을 가리키고, 그리고 180°회전하여 다음번에는 진공 공간의 부분(4)을 향한다. 기판에 수직한 정렬, 즉 도 1의 도면의 평면에 수직하고 유사한 수직 수송 의한 정렬을 부여함으로써, 따라서 축회전가능한 캐리어 플레이트(70)가 도면의 평면에 수직하게 배치될 수 있다. 대응하는 구성이 도 1의 우측 하부에 도시되고, 중심축(80)을 갖는 캐리어 플레이트(70)을 구비하여 이중 화살표에 의해 도시된 것처럼 캐리어 플레이트(70)이 축회전할 수 있고, 따라서 기판 캐리어(40)는 진공 공간의 부분들(3 및 4) 사이에서 회전할 수 있다.

이러한 방식으로, 기판로딩부 및 기판언로딩부(7 및 18) 및 마스크-배치부 및 마스크-제거부(8, 13, 14, 17), 예컨대 마스크제거부(13) 및 마스크-배치부(14)의 조합을 실현하는 것이 매우 단순해질 수 있고, 이는 단순히 대응하는 매개 홀딩 장치들이 수용하고 배치하고자 하는 부분에 대해 제공될 필요가 있기 때문이다.

도 2는 레드-, 블루- 및 그린-발광 전계발광재료가 서로 개별적으로 제조되어야 하는 소위 RGB-디스플레이의 제작을 위한 본 발명에 따른 장치의 추가의 실시형태를 도시한다. 유사하게, 증착하고자 하는 레드-, 블루- 및 그린-발광 전계발광재료에 대하여 대응하는 마스크-배치부 및 마스크-제거부(124, 125, 126, 127, 128, 129)를 구비한 다른 마스킹이 제공되어야 한다. 유사하게, 세정부(130)는 레드-발광 전계발광재료에 대한 코팅부(121)에, 세정부(131)는 그린 코팅부(122)에, 그리고 세정부(132)는 블루 코팅부(123)에 할당된다.

코팅부들(121, 122 및 123)은 전계발광재료에 대한 코팅 영역(110)에 함께 형성된다. 부가하여, 도 1의 실시형태의 코팅 영역들(9 내지 11)에 대응하는 코팅 영역들(109 내지 111)이 또한 제공되고, 이는 홀안내층(hole inducing layer), 홀수송층, EBL 층 전자안내층(electron inducing layer), 전자수송층 및 HBL 층과 같은 보조 층이다. 이러한 코팅부들(109 내지 111)로 그에 사용된 마스크에 따라 세정부들(112 및 133)이 할당된다. 덧붙여, 전극코팅부(15) 이외에, 후속 코팅을 위하여 기판 또는 그 표면에 플라즈마 활성화하는 플라즈마-활성화부(119)가 제공된다.

그 진공 공간을 따라 장치(100)는 종축을 따라 두 개의 부분(103 및 104)으로 분할되고, 진공 이중 챔버(102)의 부분(103) 및 유사 부분에서 대응하는 기판처리부 및 기판코팅부(109, 110, 111, 115 및 119)가 제공되며, 반면 부분(104)에는 세정부들(112, 130, 131, 132, 133 및 116)이 할당되거나 또는 배치된다.

특히 마스크-배치부 및 마스크-제거부의 영역 내에서 개개의 영역들을 분리하거나 고립시키기 위한 도 1의 실시형태의 잠금 또는 고립 장치(20)와 마찬가지로, 장치(100)의 실시형태에서, 예컨대 대응하는 잠금 또는 고립 장치(120)가 유사한 대기를 구분하기 위한 플라즈마-활성부(1198) 및 코팅부(109) 사이에 제공되고 기판에 대한 잠금 영역을 형성한다.

장치(100)는 기판공급부(105), 기판로딩부(107), 마스크-배치부(108) 및 상세히 도시하지는 않았으나 수송 수단을 이용한 캐리어용 무한루프로 구성되고, 무한루프는 기판 및 마스크가 부가된 캐리어를 이동하여 먼저 플라즈마-활성부(119)를 통과시키고, 다음으로 코팅부(109)를 통과시키고 그리고 추가의 코팅부들(121, 122, 123 및 111)과 함께 코팅부(115)를 통과시켜 마지막으로 기판언로딩부(118) 내 캐리어로부터 기판을 분리하고 그리고 기판배출부(106) 내 기판을 등록하고 또는 이후 처리 장치들을 활용가능하게 한다. 교체된 마스크를 갖고 기판이 없는 캐리어는 그 다음에 진공 공간의 제2부분(104)에서 세정부들(16, 133, 132, 131, 130 및 112)의 순으로 기판로딩부(107)로 되돌려진다.

이러한 제1무한루프 이외에, 장치(106)는 대응하는 마스크용으로 두 개의 무한루프들을 가지며, 마스크-배치부(108) 내 제1마스크는 기판이 보호받고 단지 플라즈마-활성부(119) 및 코팅부(109)를 통하여 통과함에 따라 사전에 정해지니 영역의 대응 영역만이 노출되도록 기판 또는 기판에 대한 캐리어 위로 배치되고 정렬된다. 이러한 마스크는 마스크-제거부(113)에서 기판 또는 캐리어로부터 제거되고 그리고 마스크-세정부(112)를 통하여 진공 부분 공간(104) 내 마스크-배치부(108)로 되돌려진다. 만일 기판의 전체 표면에 대한 플라즈마-활성화가 요구된다면, 마스크-배치 및 정렬부(108)는 또한 플라즈마-활성화부(119) 및 코팅부(109) 사이에 제공될 수 있다. 플라즈마-활성화 대신에, 표면에 대한 세정 및/또는 활성화 처리 기술, 특히 자외선(UV), 오존 처리 또는 이온 주입과 같은 가능한 다른 표면-활성화 기술들이 기대될 수 있다.

대응하는 마스크를 수송하기 위한 제2종류의 제2무한루프는 코팅부(121)에 대하여 제공되고, 마스크-배치부(114)에서 배치되고 조정되는 마스크는 기판 또는 캐리어로부터 제거되고 그리고 세정부(130)에서 세정된다.

제2 종류에 따른 제3, 제4, 제5 및 제6의 무한루프들이 코팅부들(122, 123, 111 및 115)에 할당되며, 각각 대응하는 마스크-배치부(125, 127, 129 및 135)에서, 후속 코팅 공정을 위한 마스크는 기판 또는 캐리어 위에 배치되고 정렬되며, 반면 대응하는 마스크는 개별 코팅부 이후에 마스크-제거부(126, 128, 134 및 117)에서 다시 제거된다.

이러한 동작 모드가 도 3 및 도 4의 개략 도에 의해 보다 명확하게 도시되며, 도 3은 도 2의 장치(100)의 부분에서 캐리어(40) 및 마스크(50, 51 또는 52)의 수송 또는 움직임의 흐름을 나타낸다. 도 3에서 명확하게 도시된 것처럼, 일부 캐리어들 및 마스크들은 제1무한루프 뿐만 아니라 제2무한루프에서 동시에 움직이며, 따라서 코팅 기기를 통한 높은 출력이 보장된다. 마스크-배치부(108, 114 및 125) 및 마스크-제거부(113 및 124)와 함께 기판로딩부(107)에서 이중 화살표에 의해 가리켜진 것처럼, 캐리어(40)는 진공 공간의 부분(104)의 캐리어를 위한 수송 장치의 제2섹션으로부터 진공 공간의 부분(103)의 수송 장치의 제1섹션으로 이들 부들에서 교체되고, 그리고 마스크는 진공 공간의 부분(104) 내 마스크를 위한 수송 배치의 제2섹션으로부터 진공 공간의 부분(103)의 수송 배치의 제1섹션(마스크 배치부 또는 그 반대로 마스크-제거부)으로 교체된다.

도 4에서 명백하게 나타난 것처럼, 도시된 제1무한루프(140) 및 제2무한루프(150)는 캐리어용 수송 장치 및 마스크용 수송 배치를 실현하기 위하여 동일한 수송 수단 및 취급 장치들을 갖는 것이 바람직하다.

도 4는 예를 들면 도 1에 도시된 회전가능한 캐리어 플레이트(70)에 의해, 마스크-제거부(124) 및 마스크-픽업부(125) 내 레드 코팅부(121)로부터 그린 코팅부(122)의 교체 중 마스크 수송의 개념도이다. 마스크-제거부(124)에서, 마스크를 구비한 캐리어는 레드 코팅부(121)로부터 캐리어 플레이트(70)의 회전에 의해 진공 공간의 제1부분(103)에서 진공 공간의 제2부분(104)으로 수송되고, 이는 마스크를 레드 코팅 영역으로 이송한다. 그리고 나서, 캐리어 플레이트(70)는 다시 역회전하고 따라서 그 위에 기판이 구비된 캐리어 플레이트(70)의 캐리어(40; 도시되지 않음)는 다시 진공 공간의 제1부분(103)으로 위치한다. 캐리어를 이용하여 그린 영역(122)의 마스크-배치부(125)로의 기판의 추가 수송이 뒤따르고, 반대로 캐리어 플레이트(70)는 180°로 제1회전하고, 따라서 캐리어를 구비한 기판은 진공 공간의 제2부분(104) 내에 차례로 배치된다. 캐리어 또는 기판은 그린 영역으로부터 반전되어 진공 공간의 부분(104)에서 세정되고, 그린 마스크의 배치 및 정렬 이후에, 180° 회전을 통하여 진공 공간의 부분(103) 안으로 역회전하고, 따라서 기판을 구비한 캐리어의 수송이 이루어지고 그리고 이제 그린 영역을 통한 그린 마스크가 계속될 수 있다. 이러한 종류의 순서는 모든 코팅부 및 기판-처리부 그리고 기판로딩부 및 기판언로딩부 사이에서 실현가능하다.

적어도 하나의 대응 마스크의 단기간 저장을 허용하는 대응 취급 수단을 사용함에 의해서, 마스크-배치부 및 마스크-제거부의 조합이 도 5에 도시된 것처럼 단일 부분으로 기대될 수 있다. 그러나, 다양한 코팅 영역들의 상호 오염을 회피하기 위하여, 취급 비용이 증가하더라도 공간 구분이 유리하다. 그러나, 그러한 조합은 오염이 위협이 되지 않는 코팅부 또는 기판-처리부에 대해 또는 만일 대응하는 구분수단이 제공된다면 실현될 수 있다.

도 5의 실시예에서, 회전 영역(262) 및 마스크-교체 영역(261)을 구비한 회전 모듈(260)이 제공된다. 코팅이 이루어지는 수송 장치의 부분(203) 내 회전 모듈(260) 안으로 대응하는 코팅 마스크를 구비한 기판 캐리어(266)가 안내되고, 반면 부분(204)에서, 인접한 코팅 영역으로부터 세정된 마스크를 구비한 기판 캐리어(267)이 수송되며, 수송 방향은 반대이다. 회전 테이블(263) 위에 기판 캐리어들(266, 267)을 픽업한 이후에, 후자는 90° 회전하여 기판 캐리어(266, 267)는 인접한 마스크-교체 영역(261)으로 선형 움직임을 통해 수송될 수 있다. 거기에 외벽이 배치되고, 마스크-포지셔닝 시스템(264 및 265)이 기판 캐리어(266, 267)로부터 마스크를 취한다. 마스크-포지셔닝 시스템(264 및 265)이 마스크를 잡고 있는 동안, 기판 캐리어는 다시 회전 테이블(263)로 이동하고,180° 회전하여 다시 마스크-교체 영역(261)으로 안내된다. 거기에서, 기판 캐리어(266)는 뒤따르는 코팅 영역으로부터 세정된 마스크를 취하고, 반면 기판 캐리어(267)는 코팅된 마스크를 취하며, 추가의 90°회전 이후에, 다른 코팅 영역의 세정 영역 안으로 이동한다.

마스크-세정부는, 예를 들면 공급 영역에서 회전 모듈이 사용되는 경우에, 마스크 교체 영역(261)에 대향하여 회전 영역(262)에 부착될 수 있다.

도 6은 백색의 유기 빔(백색 OLED)을 방출하는 다이오드를 제조하기 위한, 본 발명에 따른 추가 장치의 개략적인 도면을 나타낸다. 도 6에 도시된 장치(200)는 다시 연속하여 배열되고, 회전 모듈(260) 및 두 개의 전환 모듈(275) 및 일부 고립 장치들(220)에 의해 일부 지점에서만 상호 구분되는 다수의 진공 이중 챔버(202)를 갖는다.

도 1의 마스크-배치부 및 마스크-제거부를 교체하는 회전 모듈(260)을 제외하면, 장치는 그 코팅 영역에서 도 1의 장치에 대응하고, 따라서 동일 단위 숫자는 동일한 또는 비교되는 구성요소에 대한 항목의 리스트에서 선택되었다.

부가하여, 도 6의 장치(200)는 다른 기판공급장치 및 기판배출장치(270, 290)이 제공되는 점에서 도 1의 장치(1)와 다르다.

기판공급장치(270)는 기판을 이송 모듈(274) 내 기판 캐리어로 이송하는 로봇(273)을 갖는다. 이송 모듈은 그 내부의 기판 캐리어가 도면의 평면에 수직한 축에 대하여 회전할 수 있고 선형 움직임을 가질 수 있도록 설계되고, 따라서 기판 캐리어는 진공 이중 챔버(202)의 이송 섹션(278 및 279)에서 취해지고 이들로 이송될 수 있다.

기판공급장치(270)의 특정한 특징은 진공 이중 챔버(202) 내 수송 섹션들(278 및 279) 모두 기판을 두 개의 마스크-배치부(271)로 공급할 수 있도록 기능하는 점에 있다. 이는, 병렬의 수송 섹션들(278 및 279)에서, 비방향성 그리고 반대방향의 수송이, 반대로 코팅 영역에서의 안티-병렬 수송이 가능함을 의미한다.

부가하여, 기판공급장치(270)의 수송 섹션들(278 및 279)에서 가능한 마스크-배치부(271)로의 기판의 공급뿐만 아니라, 수송 모듈(274)에서 기판 캐리어의 수송이 가능하다. 유사하게, 기판-세정부(272)가 또한 제공되며, 이는 기판 캐리어를 세정하는 역할을 한다.

기판 공급의 이러한 배치는 효율과 출력에서의 증가를 가져올 수 있고, 왜냐하면 다수의 기판들이 코팅 영역들을 통한 각자의 경로로 보내질 수 있기 때문이다. 특히, 전환 모듈(275)을 구비한 기판공급장치(270)는 코팅 영역의 영역 내 수송 장치보다 매우 높은 순환 주기에서 작동될 수 있다.

덧붙여, 회전 모듈(260) 영역에서, 두 개의 기판 캐리어 매거진(281 및 282)이 회전 모듈(262)로 제공되며, 이는 기판 캐리어 수송 모듈(283)에 의해 상호 연결된다. 이러한 저장 유닛(280)은 따라서 기판 캐리어의 매개 버퍼링을 촉진하고 코팅 기기를 통한 기판의 출력의 최적화를 촉진한다. 덧붙여, 불량의 기판 캐리어를 교체할 수 있는 가능성이 있다. 부가하여, 저장 유닛은 기기에 기판 캐리어를로딩하는 역할을 할 수 있다. 그 밖의 점에 있어서는, 회전 모듈(260)은 도 5를 참조하여 기술된 것처럼 기능한다.

기판공급영역과 마찬가지로, 기판배출영역(290)는 전혼 모듈(275), 마스크-제거부 및/또는 매개 저장소(276) 및 로봇(273)과 상호작용하는 기판 캐리어 취급 또는 수송 모듈(274)을 갖는다. 기판 수송 모듈(274) 및 로봇(273)은 불활성 대기를 갖는 소위 글로브 박스에 배치된다.

기판배출장치(290)의 경우에, 대응하는 마스크-제거부 또는 저장 유닛(276)이 배열된 진공 이중 챔버(202)의 두 개의 수송 섹션들이 기판 캐리어를 위한 양 방향에서 횡단될 수 있고, 따라서 기판의 빠른 배출이 가능하다.

특히, 개개의 영역들 및 섹션들에서의 수송 속도는 전체 장치의 최적화된 이용이 촉진될 수 있도록 다르게 설정될 수 있다. 예를 들면, 기판공급장치(270) 및 기판배출장치(290)의 수송 분기 속도는 코팅 영역들(209 내지 211 및 215a 및 215b)의 수송 속도와 달라질 수 있다. 부가하여, 수송 속도는 코팅 영역들에서 다를 수 있고, 섹션들에서 다를 수 있고, 즉, 진공 이중 챔버의 부분(203) 및 진공 이중 챔버(202)의 다른 부분(204)에서 다를 수 있다. 따라서, 코팅 부분의 수송 속도는 회송 영역의 수송 속도와 다를 수 있다. 이는 전체 장치의 최적화된 사용을 촉진한다.

상세하게는, 도 6의 장치(200)는 기판들이 로봇(273)을 통해 기판-이송 유닛(274)로 활용될 수 있는 기판 캐리어들로 이송되는 방식으로 기능한다. 이로부터, 기판이 적재된 기판 캐리어는 잠금 장치(미도시)를 통해 마스크-배치부(271)의 방향으로 기판공급장치(270)의 수송 섹션(278 또는 279)에 수송된다. 세정부(212)를 통해 부분(204)으로부터 회송된 마스크는 기판 위에 놓여진다. 마스크가 제공된 기판은 전환 모듈(275)을 통해, 보다 상세하게는 예를 들어, 대응하는 기판 캐리어 픽업의 회전을 통하여 진공 챔버의 부분(203) 안으로 기판 캐리어와 함께 안내된다.

동시에, 세정된 마스크와 함께 부분(204)으로부터 회송된 기판 캐리어는 기판공급장치(270)로 수송될 수 있고, 마스크는 마스크-배치부(271)에서 제거되고 기판 수송 모듈(274)로부터 기판을 구비한 기판 캐리어가 회송될 때까지 임시로 저장된다.

따라서, 도시된 실시형태에서, 진공 챔버의 부분(203) 안으로 안내된 기판은 코팅 영역들(209, 210a, 210b, 210c, 및 211)을 통하여 횡단하고, 예컨대, 홀분사층, 홀수송층, 레드발광층, 그린발광층, 블루발광층, 홀저지층 및 전자분사층이 차례대로 적용된다. 그리고 나서, 그 위에 마스크가 배치된 기판은 회전 모듈(260)에서 픽업되고, 마스크는 마스크-제거부(265)에서 제거되며, 그리고 나서 진공 챔버의 부분(204)로 되돌려지며, 반면 마스크-배치부(264) 내 코팅 기판은 새로운 마스크를 취하고, 이는 코팅 챔버(215a, 215b) 내 순차적 코팅 공정에 대해 필요하다.

두 개의 기판 캐리어 매거진들(281 및 282)의 역할을 하는 기판 캐리어 수송 모듈(283)이 회전 모듈(260)의 마스크-교체 영역(261)에 연결된다. 따라서 기판 캐리어는 여기서 교체될 수 있다.

결과적으로, 여전히 진공 챔버의 부분(203)에 있는 새로운 마스크를 구비한 기판은 코팅부들(215a, 215b)을 통해 안내되고, LiF 증착 및 그 이후 알루미늄 증착 및 대응하는 증착이 처리된다. 그 후에, 마스크를 구비한 기판 캐리어 위 기판은 마스크-제거부(276) 안으로 통과하여 기판배출장치(290)의 전환 모듈(275)로 수송되고, 그리고 기판 캐리어는 기판 수송 유닛(274, 273)에서 언로딩된다. 이는 소위 글로브 박스(glove box)의 불활성가스 대기에서 발생한다.

도 7은 유사하거나 동일한 구성요소가 이전 실시형태와 동일한 끝자리(말단) 숫자를 갖는 제 4 실시형태(300)를 도시한다. 장치(300)는 RGB-OLED 시스템의 제조를 위한 코팅 기기이며, 따라서 다른 색상의 LED들이 서로 나란히 증착된다. 그러므로, 이 기기는 마스크-배치부 및 마스크-제거부(113 및 114, 그리고 124, 125, 126, 127, 128, 129, 130, 134, 135)가 대응하는 회전 모듈(360)에 의해 교체되는 차이점을 갖고 실시형태(100)의 기기 개념에 대응한다. 차례로, 회전 영역(362), 마스크-배치부(264) 및 마스크-제거부를 갖는 마스크-교체 영역(361) 및 매개 저장부(365)를 갖는다. 도 6의 실시형태와 마찬가지로, 하나 또는 두 개의 기판 캐리어 매거진(381, 382)을 구비한 기판 캐리어 이송 유닛(383)이 일부 회전 모듈(360) 내 마스크-교체 영역(361)에 제공된다.

기판공급장치(305)를 이용한 기판 공급이 로봇(383)에 의한 기판배출장치(306)을 이용한 기판배출과 함께 그리고 로봇(373)으로 수송이 뒤따르고 도 2의 실시형태와 유사한 진행이 뒤따른다. 그러나, 전환 모듈(390) 및 수송 모듈이 제공되고, 이는 진공 챔버의 부분(304)로부터 부분(303)으로 기판 캐리어의 이송만을 촉진한다. 기판 배치는 기판공급장치(305)에서 발생하고, 반면 기판의 제거는 기판배출장치(306)에서 발생한다.

본 발명에 따르면, 특히 유기전계발광재료(OLED)가 제공되는 기판, 특히 OLED 디스플레이, 스크린, 패널 또는 다른 OLED 발광 요소의 연속 제조를 위한 코팅 기기 또는 장치를 생성하기 위한 것이며, 이 장치는 OLED 제품의 고품질 표준에 대한 허용과 적은 공간 필요성과 조합하여 종래기술의 불리함을 회피하고 특히 OLED 발광 요소의 대량 생산을 위해 단순하고 유리한 가능성이 제공될 수 있다. 특히, 대응하는 장치는 제조에 용이하고 그리고 공정은 동작하기에 용이하다.

도 1은 본 발명에 다른 장치의 평면도;

도 2는 본 발명에 따른 장치의 제 2 실시형태의 평면도;

도 3은 캐리어 및 마스크에 대응하는 도 2의 장치의 부분도;

도 4는 도 2 및 도 3의 장치의 작동 또는 공정 순서의 일부를 나타내는 개략 도;

도 5는 본 발명의 추가 실시형태에 따른 회전 모듈의 평면도;

도 6은 백색 OLED의 제조를 위한 형태의 본 발명의 장치의 제 3 실시형태의 평면도; 및

도 7은 RGB-OLED 코팅의 형태의 본 발명의 장치의 제 4 실시형태의 평면도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

1, 100, 200, 300: 코팅 기계

2, 102, 202, 302: 진공 이중 챔버

3,4; 103, 104; 203, 204; 303, 304: 진공 이중 챔버의 부분

5, 105, 305: 기판공급장치

6, 106, 306: 기판배출장치

7, 107: 기판로딩부

8, 14, 108, 114, 125, 127, 129, 138, 271: 마스크 배치부

9, 109, 209, 309: 홀분사층, 홀수송층, 전자저지층용 코팅 영역

10, 109, 110, 111, 121, 122, 123, 210, 321, 322, 323: 발광용 코팅 영역

11, 111, 211, 311: 홀저지층, 전자분사층, 전자수송층용 코팅 영역

12, 16, 112, 116, 130, 131, 132, 133, 212, 312: 마스크용 세정부

13, 17, 113, 117, 124, 126, 128, 134: 마스크 제거부

15, 215a, 215b: 전극용 코팅 영역

18: 기판언로딩부

20, 120, 220: 잠금 및 분리 장치

40, 266, 267: 기판 캐리어

50, 51, 52: 마스크

70: 캐리어 플레이트

80: 축

119: 프라즈마 활성

140: 제1무한루프

150: 제2무한루프

260, 360: 회전 모듈

261, 361: 마스크 교체 영역

262, 362: 회전 영역

263: 회전 테이블

264, 265; 364, 365: 마스크 교체 시스템

270: 기판공급장치

271: 기판세정부

272, 273: 로봇

274: 수송 모듈

278, 279: 수송 단계

280: 저장 유닛

281, 282; 381, 382: 기판 캐리어 매거진

283, 383: 기판 캐리어 수송 모듈

290: 기판배출장치

390: 터닝 모듈

Claims (27)

1. 진공 공간 및 가공된 기판을 이송하며 진공 공간을 따라 적어도 부분적으로 배열되고 그리고 기판에 대해 캐리어를 가지는 운송 장치를 갖고, 유기전계발광재료, 특히 OLED디스플레이, 스크린, 패널 또는 다른 광요소를 갖는 기판의 연속적인 제작을 위한 장치에 있어서,

   운송장치는 제 1 방향(기판운송방향)으로 캐리어(40)를 운송하기 위한 운송 장치의 제 1 부분이 구비된 제 1 부(3, 103) 및 제 2 방향(캐리어 반환 운송방향)으로 캐리어를 운송하기 위한 운송 장치의 제 2 부분이 구비된 제 2 부(4, 104)를 갖는 적어도 두 개의 부로 분리된 진공 공간을 구비하고, 캐리어를 운송하기 위한 적어도 하나의 무한루프(140)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 진공 공간은 서로 분리될 수 있고 그리고 진공에 기판 및/또는 캐리어(40) 및/또는 마스크(50, 51, 52)의 연속적인 운송을 허용하는 서로(2, 102) 인접하여 배열된 다수의 챔버로부 및/또는 잠김 챔버 및/또는 장치(20, 120)가 무한루프를 따라 추가적으로 구비되는 사실로부터 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 두 개의 진공 공간의 분리는 적어도 하나 뒤에 다른 하나가 부분적으로 배열된 진공 이중 챔버(2, 102)에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 제 2, 바람직하게 마스크(50, 51, 52)를 운송하기 위해 몇개 제 2 무한루프(150)는 특히 진공 공간의 제 1 부(3, 103)에 구비된 제 2 무한루프(150)의 운송 배열의 제 1 부분 및 진공 공간의 제 2 부(4, 104)에 제 2 무한루프(150)의 운송 배열의 제 2 부분을 갖고, 진공 공간에 유기전계발광재료의, 특히 유기전계발광요소를 방사하는 레드(121), 그린(122) 및 블루(123)의 증착 영역(10, 110)을 위하여 바람직하게 각각 하나씩 구비되는 것을 특징으로 하는 장치.
5. 제 1 항에 있어서, 적어도 각각 하나, 바람직하게 몇개 기판적재(7, 107) 및 하적위치(18, 118)는 캐리어 및/또는 마스크 배치 및/또는 마스크 제거 위치 및/또는 마스크 정렬 위치(8, 13, 14, 17; 108, 113, 114, 117, 124, 125, 126, 127, 128, 129, 134, 135)로부터 기판의 배열 및 하적을 구비되는 것을 특징으로 하는 장치.
6. 제 1 항에 있어서, 운송 장치, 특히 상기 기판적재(7, 107) 및 하적위치(18, 118) 및/또는 마스크 배치 및/또는 제거 위치(8, 13, 14, 17; 108, 113, 114, 117, 124, 125, 126, 127, 128, 129, 134, 135)는 진공 공간의 제 1 부재(3, 103)에서 제 2 부재(4, 104)까지 캐리어(40) 및/또는 마스크(50, 51, 52)를 교환 및 반대로 구비되는 것을 특징으로 하는 장치.
7. 제 1 항에 있어서, 진공 코팅 처리 특히 화학적 증기 증착법(CVD), 물리적 증기 증착법(PVD) 특히 캐리어 가스와 함께 또는 캐리어 가스 없이 스퍼터링 처리, 플라즈마 코팅 처리, 증발 처리와를 포함하는 하나이상의 코팅 위치(9, 10, 11, 15; 109, 110, 111, 115)와, 기판을 위한 손질 위치(12, 16; 112, 116 ,130 내지 133)와, 특히 플라즈마 활성 및 홀 주사의 증착(HIL)과 홀 수송(HTL) 및 전자 저지(EBL)층의 구비와 캐리어 및/또는 마스크 및/또는 다른 기판 취급 위치 특히 기판 활성 위치(119) 특히 기판 황성 위치(119), 특히 플라즈마 활성 위치 및/또는 자외선, 오존, 이온 충격 또는 스파크 발사취급을 위한 위치를 위한 손질 위치(12, 16; 112, 116 ,130 내지 133)인 제 1 무한루프(140) 및, 코팅 과정 및/또는 동일한 전계발광재료의 증착 , 또는 특히 각각 레드, 블루 또는 그린 방사에 적응되는 마스크를 운송하기 위한 제 2 무한루프, 코팅 과정 및/또는 전자 주사의 증착(EIL), 전자 운송(ETL) 및 홀 저지(HBL)층에 적응되는 마스크를 운송하기 위한 그 이상의 제 2 무한루프, 코팅 과정 및/또는 전자의 증착 특히, 진공 코팅 처리 특히 화학적 증기 증착법(CVD), 물리적 증기 증착법(PVD) 특히 캐리어 가스와 함께 또는 캐리어 가스 없이 스퍼터링 기술, 플라즈마 코팅 처리, 증발 처리에 의해 적응되는 마스크를 운송하기 위한 동일하거나 또는 그 이상의 제 2 무한루프, 이 코팅 처리에 적응되는 마스크를 운송하기 위한 그 이상의 제 2 무한루프를 따라서 제공되는 것을 특징으로 하는 장치.
8. 제 7 항에 있어서, 코팅 및 기판 취급 위치(9, 10, 11, 15; 109, 110, 111, 115, 119)는 진공 공간 특히 벽 외면의 제 1 및/또는 제 2 부재(4, 104)에서 또는 제 1 및/또는 제 2 부(4, 104)내에 운송 장치의 제 1 및/또는 제 2 부분을 따라서 마스크 및/또는 캐리어를 위해 진공 공간 및/또는 손질 위치(12, 16,; 112, 116, 130 내지 133)의 제 1 부(3, 103)에서 또는 제 1 부(3, 103)내에 운송 장치의 제 1 부분을 따라서 배열되는 것을 특징으로 하는 장치.
9. 제 1 항에 있어서, 특히 인접한 코팅 영역에서 마스크 배치 및 제거 위치가 통합되는 회전 모듈(260)은 회전영역에 구비된 회전 영역(260) 및 마스크 교환 영역(261), 그리고 회전 영역에 구비된 회전 기계장치(263)를 가지고 있으며, 상기 회전 기계장치는 운송부분(203, 204) 및/또는 마스크 교환 영역 사이에 전환할 능력이 있는 것을 특징으로 하는 장치.
10. 제 1 항에 있어서, 적어도 하나, 바람직하게 몇개 마스크 및/또는 기판 캐리어 메거진, 특히 이동 장치, 기판 적하 및 하적 위치와 관련하여, 마스크 배치 및/또는 제거 위치 및/또는 회전 모듈(260)이 구비되는 것을 특징으로 하는 장치.
11. 제 9 항에 있어서, 마스크 교환 영역(261)은 두 개의 마스크 교환 위치를 가지며, 제 1 마스크 교환 위치(264)내에서, 가공된 기판에 마스크의 배치를 위해 정확한 마스크 정렬에 마스크가 위치하고, 한편, 다른 마스크 교환 위치(265)내에서, 캐리어에 마스크의 반환 운송을 위해 단순한 마스크 위치가 일어나는 것을 특징으로 하는 장치.
12. 제 9 항에 있어서, 회전 모듈이 적어도 하나를 갖는 기판 캐리어 메거진 바람직하게 두 개 대항하게 기판 캐리어 메거진을 구비한 후에, 적어도 하나의 기판 캐리어 교환 유닛은 기판 캐리어 매거진 및/또는 인접한 기계 장치 성분에서 및 기판 캐리어 매거진 및/또는 인접한 기계 장치 성분으로 기판 캐리어를 고정하고 그리고 운송하기 위하여 구비되는 것을 특징으로 하는 장치.
13. 제 9 항에 있어서, 회전 모듈(260) 뒤에, 특히 회전 모듈의 마스크 교환 영역 뒤에 및/또는 회전 모듈(260)의 회전 영역(262, 261)뒤에, 하나 이상의 마스크 및/또는 기판 손질 위치가 구비되는 것을 특징으로 하는 장치.
14. 제 1 항에 있어서, 적어도 하나의 장치의 운송 부문은 운송 방향이 적어도 간헐적으로 단일 방향인 두 개 평행한 부분을 가지는 운송 방향 및/또는 운송 배열을 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
15. 제 14 항에 있어서, 상기 운송 부문은 기판 적하 장치 및/또는 기판 하적 장치의 영역에 평행한 운송 부분의 적어도 하나의 간헐성의 단일 방향의 운송을 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
16. 제 1 항에 있어서, 상기 무한루프(140, 150) 및/또는 운송 장치는 단일 연속적인 운반 장치 및/또는 다수의 취급 및 이동 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
17. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1(140) 및 제 2(150) 무한루프는 동일한 운반 장치 및 취급 장치를 적어도 다수개 사용하는 것을 특징으로 하는 장치.
18. 제 1 항에 있어서, 운송 장치의 제 1 부분의 시작에서 제 1 무한루프(140)는 바람직하게 운송 장치의 제 1 부분의 말단에 기판 인피드(infeed) 장치(5, 105) 및 기판 아웃피드(outfeed) 장치(6, 106)를 구비하는 것을 특징으로 하는 장치.
19. 제 1 항에 있어서, 상기 장치는 연속적으로 작동하는 특히, 리니어(인 라인, in-line) 기계로 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
20. 제 1 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 따른 장치를 가지고, 유기전계발광재료, 특히 OLED디스플레이, 스크린, 패널 또는 다른 광요소를 갖는 기판의 연속적인 제작을 위한 공정에 있어서,

    a) 기판 적하 위치(7, 107)에 진공 코팅 기계를 통하여 수송을 위한 캐리어(40)에 기판을 배열하는 단계;

    b) 구성된 코팅의 증착을 위한 마스크 배치 위치(8, 14; 108, 114, 125, 127, 129, 135)에 기판에 관하여 기판 또는 캐리어에 마스크를 배치하는 단계;

    c) 구성된 코팅, 특히 전계발광재료를 실행하는 단계;

    d) 마스크 제거 위치(13, 17; 113, 124, 126, 128, 134, 117)를 제거 및 대향하는, 특히 반대-평행 기판 운송 방향으로 마스크 배치 위치(8, 14; 108, 114, 125, 127, 129, 135)에 마스크를 즉각 반환 운송하는 단계;

    e) 반환 운송 동안 마스크를 손질하는 단계;

    f) 마스크 배치 위치(8, 14; 108, 114, 125, 127, 129, 135)로 손질된 마스크를 준비하는 단계; 및

    g) 진공 코팅 기계 또는 그 이상의 코팅의 실행에서 하적하기 위해 코팅된 기판을 갖는 캐리어를 더 운송하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
21. 제 20 항에 있어서, 마스크의 반환 수송은 진공에서 진행되는 것을 특징으로 하는 방법.
22. 제 20 항에 있어서, b) 내지 g) 단계는 연속에서 몇 번 발생하는 것을 특징으로 하는 방법.
23. 제 20 항에 있어서, 기판의 하적 후, 캐리어는 특히 마스크를 갖는 적어도 임의의 마스크를 갖는 기판 적하 위치쪽으로 즉각 뒤로 특히 대향하여 적어도 평행으로, 바람직하게 최초의 운송 방향으로 반대 평행 방향으로 운송되는 것을 특징으로 하는 방법.
24. 제 20 항에 있어서, 마스크 배치 위치 및/또는 마스크 제거 위치에서, 기판 운송 방향에서 반환 운송 방향 및 반대로 마스크의 이동이 발생하는 것을 특징으로 하는 방법.
25. 제 20 항에 있어서, 상기 캐리어 및/또는 마스크는 운송길 따라서 메거진에 일시적으로 저장되는 것을 특징으로 하는 방법.
26. 제 20 항에 있어서, 반환 운송동안 마스크 및/또는 기판 캐리어의 손질은 반환 운송 방향의 보유 또는 부착된 손질 위치 옆에서 운송의 간결한 방해와 함께 발생하는 것을 특징으로 하는 방법.
27. 제 20 항에 있어서, 무한루프 및/또는 운송 부문 및/또는 부분에 운송 속력은 다른 것을 특징으로 하는 방법.