KR20220113036A - 증착 시스템용 마스크 반송시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 마스크를 기판과 별도로 증착챔버에 공급하고, 마스크 교체 주기에 달한 구 마스크를 증착챔버로부터 반출하고 새 마스크를 증착챔버에 반입하여 주는 마스크 반송시스템을 제공하고자 하는 것이다.
상기 목적에 따라 본 발명은, 증착챔버에 마스크 스토커를 인접 배치하고, 상기 마스크 스토커에 마스크를 적재하고, 마스크 스토커에서 증착챔버로 마스크를 반입하여 로봇이 증착챔버로 반입한 기판에 대해 마스크를 합착시켜 증착공정을 실시하고, 여러 번 사용된 구 마스크를 새 마스크로 교체할 경우, 구 마스크를 마스크 스토커로 반출하고 새 마스크를 증착챔버로 반입하여 주는 마스크 반송시스템을 제공한다.

Description

증착 시스템용 마스크 반송시스템{MASK CARRY-IN AND OUT SYSTEM FOR EVAPORATION SYSTEM}

본 발명은 대면적 기판에 OLED 화소를 형성하는 증착시스템에서 마스크를 반송하는 시스템에 관한 것이다.

OLED 디스플레이에 대한 수요가 점점 더 확대되고 있는 추세로, 그에 따라 좀 더 생산성이 높은 제작시스템을 필요로 한다. 종래부터 대면적 기판에 대한 OLED 증착시스템은 그 생산성 향상을 위해, 각 공정 챔버에서의 공정 시간을 단축시키고, 하나의 공정 챔버에 두 장의 기판을 증착하는 듀얼 시스템을 만들었다. 본 출원인에 의한 등록특허 10-2035398호는 로봇 암의 적용을 최소화한 듀얼 증착시스템을 제안한다. 상기 10-2035398호 공보의 증착시스템에서는 척 플레이트에 척킹된 기판이 롤러, 트레이, 셔틀 등의 기판 반송 기구에 의해 운반된다.

한편, 디스플레이 화소 증착용 기판의 반송과정은, 화소가 증착될 기판 면에 대해 마스크를 덧댄 상태에서 이루어지고 있다. 오픈 마스크는 얼라인 챔버에서 기판과 함께 얼라인 및 합착된 후, 반송기구에 의해 증착챔버를 비롯한 각 공정챔버로 반송된다. FMM은 증착챔버에서 얼라인 및 합착된 후 증착되고 각 공정챔버로 반송된다. 기판 사이즈가 증가함에 따라 마스크 사이즈도 증가하며, 금속으로 만들어진 마스크의 무게 역시 증가하여, 기판/마스크 합착체의 반송은 점점 더 부담이 증가되고 있다.

그에 따라 본 발명은 기판과 마스크를 별도로 반송하는 기판-마스크 반송시스템을 제안하며, 기판은 로봇이, 마스크는 마스크 반송시스템에 의해 증착챔버로 반송하도록 하였다.

따라서 본 발명의 목적은 마스크를 기판과 별도로 증착챔버에 공급하고, 마스크 교체 주기에 달한 구 마스크를 증착챔버로부터 반출하고 새 마스크를 증착챔버에 반입하여 주는 마스크 반송시스템을 제공하고자 하는 것이다.

상기 목적에 따라 본 발명은, 증착챔버에 마스크 스토커를 인접 배치하고, 상기 마스크 스토커에 마스크를 적재하고, 마스크 스토커에서 증착챔버로 마스크를 반입하여 로봇이 증착챔버로 반입한 기판에 대해 마스크를 합착시켜 증착공정을 실시하고, 여러 번 사용된 구 마스크를 새 마스크로 교체할 경우, 구 마스크를 마스크 스토커로 반출하고 새 마스크를 증착챔버로 반입하여 주는 마스크 반송시스템을 제공한다.

본 발명은,

증착챔버;

상기 증착챔버에 인접 배치되고, 마스크가 적재되는 마스크 스토커; 및

상기 증착챔버와 상기 마스크 스토커 사이에서 마스크를 반송하는 마스크 반송모듈;을 포함하고,

상기 마스크 반송모듈은, 마스크 스토커에서 증착챔버로 기판에 합착될 마스크를 반입하거나, 교체가 필요한 구 마스크를 증착챔버로부터 마스크 스토커로 반출하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템을 제공한다.

상기에 있어서, 마스크 반송모듈은, 마스크를 들어올리는 제1 액츄에이터와 들어올려진 마스크를 직선운동시키는 제2 액츄에이터를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템을 제공한다.

상기에 있어서, 제1 액츄에이터와 제2 액츄에이터는 마스크를 직접 지지하는 마스크 지지체에 결합된 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템을 제공한다.

상기에 있어서, 제1 액츄에이터는 마스크에 접촉하는 마스크 지지체에 상승력을 부여하며, 상기 마스크 지지체는 마스크 단부와 마스크가 안착된 베이스 사이의 틈새에 진입될 수 있는 블레이드를 구비한 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템을 제공한다.

상기에 있어서, 제1 액츄에이터는 실린더 또는 업다운 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템을 제공한다.

상기에 있어서, 제2 액츄에이터는 볼 스크류 또는 기어를 포함한 직선운동시스템인 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템을 제공한다.

상기에 있어서, 마스크 반송모듈은 마스크 양변에 설치되고, 양쪽으로 물러나 마스크 반송모듈의 폭을 확장할 수 있고, 다시 원상복귀될 수 있는 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템을 제공한다.

상기에 있어서, 마스크 스토커는,

각 층마다 마스크를 적재하는 다층의 카세트; 및

상기 카세트를 상승과 하강 동작시키는 엘리베이터;를 포함하고,

상기 마스크 반송모듈이 마스크 반송을 위해 카세트에 인접한 상태에서 카세트가 상승 또는 하강할 경우, 상기 마스크 반송모듈은 폭을 확장하여 카세트와의 간섭을 회피하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템을 제공한다.

상기에 있어서, 스텝 바이 스텝 방식으로 마스크를 반송하기 위하여,

마스크 스토커에 설치되는 제1 반송베이스;

증착챔버에 설치되는 제2 반송베이스;

제1 반송베이스에 설치된 제1 반송모듈; 및

제1 반송베이스에 설치된 제2 반송모듈;을 포함하고,

상기 제1 반송베이스와 제2 반송베이스는 마스크를 지지할 수 있는 마스크 안착 핀을 구비하고,

상기 제1 반송모듈과 제2 반송모듈 각각은 업다운 구동되는 업다운 핀과 직선운동을 위한 액츄에이터를 포함하고,

마스크 안착 핀에 지지된 마스크에 대해 업다운 핀을 상승시켜 제1 반송모듈 또는 제2 반송모듈이 마스크를 인수한 후, 제1 반송모듈 또는 제2 반송모듈이 단독 또는 함께 병진운동하여 마스크를 원하는 방향으로 반송하며, 소정 구간 마스크를 반송한 후, 업다운 핀을 하강시켜 마스크를 마스크 안착핀에 인계하고, 제1 반송모듈 또는 제2 반송모듈이 단독 또는 함께 후진하여 멈춘 후 업다운 핀을 상승시켜 다시 마스크를 인수하고, 병진운동으로 마스크를 소정 구간 반송하는 스텝 반송을 반복하여 원하는 위치에 마스크를 반송하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템을 제공한다.

본 발명에 따르면, 마스크는 기판과 합착된 상태에서 반송되지 않고, 증착챔버에 비치되어 로봇이 반입한 기판에 합착되므로 기판과 마스크를 함께 반송해야 하는 부담이 없다. 마스크는 마스크 스토커에서 증착챔버로 공급되어 증착 공정 단계에서 마스크는 증착챔버에 비치되어 있으므로, 증착챔버에 기판만 반입하면 된다.

또한, 여러 번 사용된 마스크를 회수하고 새 마스크를 공급하여야 할 경우에도, 마스크 스토커로 구 마스크를 반출하고, 마스크 스토커에 적재되어 있던 새 마스크를 증착챔버로 반입하면 된다.

마스크의 반입 반출은 마스크를 들어올리는 제1 액츄에이터와 마스크를 병진운동시키는 제2 액츄에이터가 담당하여 마스크 스토커와 증착챔버 사이에서 마스크가 운반되므로, 마스크의 이동경로는 극히 단거리가 되어 무게가 무거운 FMM의 운반도 원활하게 이루어질 수 있다.

도 1a는 본 발명에 따른 마스크 스토커가 증착챔버에 인접한 구성을 보여주고, 도 1b는 도 1a의 단면도들로서, 마스크 스토커와 증착챔버 사이에서 마스크를 반송하는 반송모듈의 구성과 마스크가 증착챔버에 반입되어 마스크 베이스에 안착되는 과정을 보여준다.
도 2는 본 발명에 따른 마스크 반송모듈을 보여준다.
도 3은 마스크 스토커의 구성을 보여준다.
도 4는 마스크 반송모듈의 폭의 가변성을 보여준다.
도 5 내지 도 7은 마스크 반송모듈에 의한 마스크의 직선운동을 보여준다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.

도 1a는 본 발명에 따른 마스크 스토커가 증착챔버에 인접한 구성을 보여주고, 도 1b는 도 1a의 단면도들로서, 마스크 스토커와 증착챔버 사이에서 마스크를 반송하는 반송모듈의 구성과 마스크가 증착챔버에 반입되어 마스크 베이스에 안착되는 과정을 보여준다.

마스크 스토커(Mask STK)가 증착챔버(EV Ch)에 인접 배열되어 증착공정 초기에 마스크를 증착챔버로 공급한다. 이후, 여러 번 증착에 사용된 마스크(구 마스크라 함)를 마스크 스토커로 회수하고, 새 마스크를 증착챔버로 공급한다. 이와 같이 마스크의 증착챔버로의 반입반출이 기판과 별도로 이루어지기 위해 마스크를 적재하여 두던 마스크 스토커를 증착챔버에 인접 배열하고 마스크 스토커와 증착챔버 사이에서 마스크를 반송하는 마스크 반송모듈을 구성한 것이다.

도 1a의 정단면도(도 1b의 상)는 마스크 스토커와 증착챔버 사이에서 마스크를 반송하는 반송모듈의 구성을 보여주며, 이에 대해서는 구성과 동작을 상세히 후술할 예정이다. 도 1a의 측단면도(도 1b의 하)는 증착챔버 내부의 구성과 마스크 반입에 따른 마스크 안착 과정을 설명한다. 마스크가 마스크 반송모듈에 의해 증착챔버로 반입되면, 핸드형 픽업 유닛이 마스크를 인수하여 들어올리고, 마스크 반송모듈은 증착챔버에서 퇴장한다. 그리고 픽업 유닛은 하강하여 마스크를 마스크 베이스에 내려놓는다.

도 2는 본 발명에 따른 마스크 반송모듈을, 그리고 도 3은 마스크 스토커 구성을 보여준다.

증착챔버 안에서 마스크는 마스크 베이스 위에 놓여있다. 마스크 베이스로부터 마스크를 들어올려(리프팅) 직선운동으로 마스크 스토커로 운반하는 마스크 반송모듈(100)은 리프팅 수단으로서 제1 액츄에이터(AC1)와 직선운동수단으로서 제2 액츄에이터(AC2)를 구비한다. 제1 액츄에이터는 실린더, 로딩 핀 등의 부재를 포함할 수 있고, 제2 액츄에이터는 볼 스크류 등을 포함한 기어, 리니어 모터, 롤러, 컨베이어 등으로 구성될 수 있다. 제1 액츄에이터와 제2 액츄에이터는 마스크를 직접 접하여 지지하는 마스크 지지체(10)에 결합되어 있다. 마스크 지지체(10)는 마스크 단부가 마스크 베이스에 비해 더 연장되어 둘 사이에 형성된 간극 부분에 들어갈 수 있는 블레이드(15)를 구비한 걸쇠형으로 구성될 수 있다.

또한, 마스크 반송모듈(100)은 마스크를 양쪽에서 지지하여 리프팅하고 직선운동시키도록 마스크 양변에 대칭으로 형성되며, 필요한 경우, 마스크 반송모듈의 양변의 폭을 확장시켰다 원상복귀될 수 있다.

마스크를 증착챔버에서 마스크 스토커로 반출하는 과정은 다음과 같다.

마스크 베이스에 놓인 마스크 단부 아래 간극 부분에 마스크 지지체(10)의 블레이드 부분이 놓이고, 제1 액츄에이터가 구동되어 마스크 지지체(10)가 마스크 단부에 접한 상태에서 마스크가 리프팅된다. 다음, 제1 액츄에이터는 구동을 멈추고 제2 액츄에이터가 구동되어 마스크는 직선운동하여 마스크 스토커로 운반된다.

증착공정 시작 전 최초로 공급되는 마스크는 마스크 스토커에서 증착챔버로 반입되며, 이 경우에도 마스크 반송모듈에 의해 운반된다.

마스크 스토커는 다수의 마스크가 층상 적재될 수 있는 카세트를 보유한다. 즉, 구 마스크와 새 마스크가 카세트 각 층에 보관된다. 구 마스크를 반입받거나 새 마스크가 반출될 때, 출입할 마스크가 적재된 층의 카세트 부분이 증착챔버로 연결된 게이트를 통과할 수 있도록 카세트 전체가 상승 또는 하강되게 하는 엘리베이터가 마스크 스토커에 구비된다. 또한, 마스크 스토커의 카세트 층마다 마스크 반송모듈이 구비될 수 있다.

게이트는 마스크의 반입반출 시 개방되고, 증착공정 중에는 폐쇄된다.

구 마스크가 제2 액츄에이터에 의해 게이트(개방 상태)를 통과하여 마스크 스토커에 다다르면, 엘리베이터가 미리 작동되어 빈 카세트 층이 게이트 높이에 오도록 정렬되어 있고, 제2 액츄에이터에 의해 구 마스크가 빈 카세트층으로 반입된다.

다음, 새 마스크의 반출을 위해 마스크 스토커의 카세트 전체가 엘리베이터에 의해 상승 또는 하강하여 새 마스크가 게이트 높이에 오도록 한다. 이때, 마스크 반송모듈에 포함된 마스크 지지체(10)의 블레이드 부분이 마스크 스토커의 카세트 단부와 간섭되지 않도록 마스크 양변에 마주배치 된 마스크 반송모듈은 서로에 대해 후퇴하여 마스크 반송모듈의 폭을 넓혀준다.

도 4는 마스크 반송모듈의 폭의 가변성을 보여준다. 기차길의 선로와 같이 양변으로 배열된 마스크 반송모듈이 선로 폭을 넓혀 마스크 스토커의 카세트 상승/하강 동작에 간섭되지 않게 한다.

마스크 반송모듈과 간섭없이 카세트가 상승 또는 하강하여 새 마스크가 게이트 높이에 오면, 마스크 반송모듈은 원상복귀하고, 카세트에 놓인 새 마스크는 마스크 반송모듈에 의해 증착챔버로 반입된다. 새 마스크가 안착되어 있는 카세트 층에서 새 마스크의 전단 부분은 카세트 저면에 대해 약간 앞으로 돌출되어 있어 카세트 저면에 닿지 않은 상태로, 마스크 반송모듈이 원상복귀하면서 블레이드(15)가 새 마스크 저면에 위치된다. 제1 액츄에이터가 구동되어 지지체(10)가 새마스크 저면에 닿아 지지하고, 제1 액츄에이터는 구동을 멈추고 제2 액츄에이터가 구동되어 새 마스크를 카세트로부터 인출한다. 제2 액츄에이터의 구동으로 새 마스크가 게이트를 통과하여 증착챔버에 반입된다.

한편, 대면적 기판에 대한 대형 마스크의 반송은 도 5 내지 도 7과 같이 스텝 반송에 의해 이루어질 수 있다.

증착챔버와 마스크 스토커에는 스텝 반송에 필요한 업다운 핀 형태의 제1 액츄에이터와 직선운동을 이끌 수 있는 제2 액츄에이터가 구비된 마스크 반송모듈이 각각 설치된다. 반송 베이스(20)에 마스크 안착 핀이 소정간격으로 다수 있고, 반송 베이스(20) 위에 제2 액츄에이터가 설치되고, 제2 액츄에이터 상에 업다운 핀(제1 액츄에이터)이 설치어 있다. 편의상 마스크 스토커 쪽 반송모듈을 제1 반송모듈, 증착챔버의 것을 제2 반송모듈이라 하고, 같은 취지로 제1 반송 베이스, 제2 반송 베이스라 한다.

반송 동작은 다음과 같다.

병진운동 가능한 반송모듈이 마스크를 업다운 핀으로 지지한 상태에서 +X축으로 진행하여 마스크를 +X축을 따라 이동시키되, 반송모듈이 이동한계에 다다르면, 마스크를 반송베이스의 안착 핀에 맡기고 후진하여 마스크 후단으로 가서 다시 마스크를 인수한 후 +X축으로 이동시킨다. 대형 마스크이기 때문에 이와 같이 한 스텝씩 끊어 이동시킨다. 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.

마스크 스토커에 있는 마스크가 제1 반송 베이스의 마스크 안착 핀에 의해 지지된 상태에서 제1 반송모듈의 업다운 핀이 상승하여 마스크를 마스크 안착 핀으로부터 인수한다. 업다운 핀에 의해 지지된 마스크는 마스크 안착 핀 높이를 넘는 높이에 있고, 이 상태에서 제1 반송모듈의 제2 액츄에이터가 동작하여 마스크가 증착챔버 쪽으로 1차 반송이 시작된다. 1차 반송에서 제1 반송모듈은 +X축으로 진행, 게이트 근처에 이르게 되고, 이때 증착챔버 쪽의 제2 반송모듈은 -X축으로 후진, 게이트 근처에 도달해 마스크 인수에 대비한다. 즉, 제1 반송모듈의 제2 액츄에이터 구동으로 마스크 전단이 게이트를 넘어 증착챔버로 반입되면, 제2 반송모듈의 업다운 핀이 상승하여 반입된 마스크 부분을 지지한다. 마스크 위치가 마스크 스토커와 게이트(열린 상태), 증착챔버에 걸쳐 있는 상태에서 양쪽 반송모듈의 업다은 핀이 하강하고 마스크는 마스크 스토커의 제1 반송베이스의 마스크 안착핀과 제2 반송베이스의 마스크 안착핀에 의해 지지된다. 추가적인 마스크 반송을 위해, 게이트에 다다랐던 제1 반송모듈은 1차 후진한다. 제1 반송모듈은 중간부분(-X2) 마스크 안착 핀에 대해 업다운 핀이 +X축 방향에 놓이는 장소에서 멈추고, 업다운 핀을 상승시켜 마스크를 지지한다. 이와 동시에 제2 반송모듈의 업다운 핀도 상승하여 마스크는 안착 핀에서 업다운 핀으로 인수된다. 이 상태에서 2차 반송한다.

즉, 제1 반송모듈과 제2 반송모듈이 +X로 진행하여 제1 반송모듈은 게이트에 다다르고, 제2 반송모듈은 증착챔버 안쪽으로 진입하며, 마스크는 반 이상 증착챔버에 진입된다. 2차 반송 동작을 멈추고 제1 및 제2 반송모듈의 업다운 핀이 하강하여 마스크 안착핀들에 의해 마스크가 지지된다. 이 상태에서 제1 반송모듈과 제2 반송모듈이 2차 후진한다. 2차 후진으로 제1 반송모듈은, 제1 반송베이스의 최전단 마스크 안착 핀 위치(-X1)의 후단(-X)이자 마스크 바디를 업다운 핀이 지지할 수 있는 위치에 멈추고, 제2 반송모듈은 게이트에 다다른다.

제1 반송모듈과 제2 반송모듈의 업다운 핀을 상승시켜 마스크를 인수한 다음, 함께 +X로 진행하여 3차 반송한다. 3차 반송으로 마스크는 거의 증착챔버로 반입되고 후단만 제1 반송모듈의 업다운 핀에 의해 지지된 상태가 된다. 이 상태에서 양쪽 반송모듈의 업다운 핀이 하강하고 마스크는 제2 반송베이스의 마스크 안착 핀으로 지지된다.

다음, 제1 반송모듈과 제2 반송모듈은 3차 후진한다. 제1 반송모듈은 원위치되어 더이상 마스크를 반송하지 않고, 제2 반송모듈은 게이트 근처에 이르러 멈춘 후 업다운 핀을 상승시켜 마스크르 인수하고 +X로 4차 반송하여 마스크를 증착챔버의 정위치에 위치시킨다.

이러한 스텝 반송은 증착챔버에 제2 반송모듈이 설치되고, 마스크 스토커의 카세트의 특정 층 또는 각 층마다 설치될 수 있다.

이와 같이 하여 마스크를 기판과 별도로 증착챔버와 같은 공정챔버로 반송할 수 있다.

상기 실시예는 마스크 스토커와 증착챔버를 인접배열하고 마스크를 이들 간에 반송하는 것으로 구성되지만, 경우에 따라 증착챔버 이외의 세정 등, 다른 공정을 실시하는 공정챔버에 대해서도 적용될 수 있다.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시 예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.

마스크 반송모듈(100)
마스크 지지체(10)
블레이드(15)
반송 베이스(20)

Claims (10)

1. 공정챔버;
   상기 공정챔버에 인접 배치되고, 마스크가 적재되는 마스크 스토커; 및
   상기 공정챔버와 상기 마스크 스토커 사이에서 마스크를 반송하는 마스크 반송모듈;을 포함하고,
   상기 마스크 반송모듈은, 마스크 스토커에서 공정챔버로 기판에 합착될 마스크를 반입하거나, 교체가 필요한 구 마스크를 공정챔버로부터 마스크 스토커로 반출하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템.
2. 제1항에 있어서, 마스크 반송모듈은, 마스크를 들어올리는 제1 액츄에이터와 들어올려진 마스크를 직선운동시키는 제2 액츄에이터를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템.
3. 제2항에 있어서, 제1 액츄에이터와 제2 액츄에이터는 마스크를 직접 지지하는 마스크 지지체에 결합된 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템.
4. 제3항에 있어서, 제1 액츄에이터는 마스크에 접촉하는 마스크 지지체에 상승력을 부여하며, 상기 마스크 지지체는 마스크 단부와 마스크가 안착된 베이스 사이의 틈새에 진입될 수 있는 블레이드를 구비한 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템.
5. 제2항에 있어서, 제1 액츄에이터는 실린더 또는 업다운 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템.
6. 제2항에 있어서, 제2 액츄에이터는 볼 스크류 또는 기어를 포함한 직선운동시스템인 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템.
7. 제2항에 있어서, 마스크 반송모듈은 마스크 양변에 설치되고, 양쪽으로 물러나 마스크 반송모듈의 폭을 확장할 수 있고, 다시 원상복귀될 수 있는 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템.
8. 제7항에 있어서, 마스크 스토커는,
   각 층마다 마스크를 적재하는 다층의 카세트; 및
   상기 카세트를 상승과 하강 동작시키는 엘리베이터;를 포함하고,
   상기 마스크 반송모듈이 마스크 반송을 위해 카세트에 인접한 상태에서 카세트가 상승 또는 하강할 경우, 상기 마스크 반송모듈은 폭을 확장하여 카세트와의 간섭을 회피하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템.
9. 제1항에 있어서, 스텝 바이 스텝 방식으로 마스크를 반송하기 위하여,
   마스크 스토커에 설치되는 제1 반송베이스;
   공정챔버에 설치되는 제2 반송베이스;
   제1 반송베이스에 설치된 제1 반송모듈; 및
   제1 반송베이스에 설치된 제2 반송모듈;을 포함하고,
   상기 제1 반송베이스와 제2 반송베이스는 마스크를 지지할 수 있는 마스크 안착 핀을 구비하고,
   상기 제1 반송모듈과 제2 반송모듈 각각은 업다운 구동되는 업다운 핀과 직선운동을 위한 액츄에이터를 포함하고,
   마스크 안착 핀에 지지된 마스크에 대해 업다운 핀을 상승시켜 제1 반송모듈 또는 제2 반송모듈이 마스크를 인수한 후, 제1 반송모듈 또는 제2 반송모듈이 단독 또는 함께 병진운동하여 마스크를 원하는 방향으로 반송하며, 소정 구간 마스크를 반송한 후, 업다운 핀을 하강시켜 마스크를 마스크 안착핀에 인계하고, 제1 반송모듈 또는 제2 반송모듈이 단독 또는 함께 후진하여 멈춘 후 업다운 핀을 상승시켜 다시 마스크를 인수하고, 병진운동으로 마스크를 소정 구간 반송하는 스텝 반송을 반복하여 원하는 위치에 마스크를 반송하는 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템.
10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 공정챔버는 증착챔버인 것을 특징으로 하는 마스크 반송시스템.
    

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