KR20230147876A - 이적재 유닛 및 이를 구비하는 스토커 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 소자 제조 공정에서 웨이퍼와 같은 물품이 적재된 용기를 반송 및 적재할 수 있는 이적재 유닛 및 이를 구비하는 스토커에 관한 것으로서, 상기 스토커의 골격을 형성하는 바디 프레임 내에 설치되고, 상기 용기를 파지 및 반송하는 로봇 암을 포함하는 반송 로봇과, 상기 반송 로봇을 상기 바디 프레임의 상방 또는 하방으로 승하강시키는 크레인부 및 상기 크레인부를 상기 바디 프레임의 전방 또는 후방으로 전후진시키는 주행부를 포함하고, 상기 크레인부는, 상기 바디 프레임의 상방 또는 하방을 향하는 방향으로 다단 슬라이딩이 가능하도록 측방으로 적층되는 복수의 기둥부로 구성될 수 있다.

Description

이적재 유닛 및 이를 구비하는 스토커{Transfer unit and stocker having same}

본 발명은 이적재 유닛 및 이를 구비하는 스토커에 관한 것으로서, 더 상세하게는 반도체 소자 제조 공정에서 웨이퍼와 같은 물품이 적재된 용기를 반송 및 적재할 수 있는 이적재 유닛 및 이를 구비하는 스토커에 관한 것이다.

반도체 소자를 제조하기 위해서는 증착, 사진, 그리고 식각 공정과 같은 다양한 종류의 공정들이 수행되며, 이들 각각의 공정을 수행하는 장치들은 반도체 제조 라인 내에 배치된다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 웨이퍼 등의 물품들은 풉(FOUP) 등의 용기에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공될 수 있다. 또한, 공정이 수행된 물품들은 각 반도체 공정 장치로부터 용기로 회수되고, 회수된 용기는 외부로 반송될 수 있다.

이때, 용기는, 오버 헤드 호이스트 트랜스포트(Overhead Hoist Transport, OHT)와 같은 비히클에 의해 이송될 수 있다. OHT는, 물품이 수납된 용기를 반도체 공정 장치들 중 어느 하나의 로드 포트로 이송할 수 있다. 또한, OHT는, 공정 처리된 물품이 수납된 용기를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송하거나, 반도체 공정 장치들 중 다른 하나로 반송할 수 있다.

이러한, 용기는, 반도체 소자 제조 공정 상에서 스토커(Stocker)에 보관될 수 있다. 스토커는, 용기들을 적재하기 위한 복수의 선반들을 구비할 수 있고, 스토커의 내부에는 용기들을 반송하기 위한 반송 로봇을 포함하는 이적재 유닛이 설치될 수 있다. 이적재 유닛은, 스토커 내에서 반송 로봇을 수평 및 수직 방향으로 이동시킬 수 있으며, 용기를 반송할 수 있다.

이중, 이적재 유닛에서 반송 로봇을 스토커의 높이 방향으로 승하강시키는 크레인부는, 스토커의 골격을 형성하는 바디 프레임의 높이에 맞춰 제작되며, 벨트(Belt)와 모터(Motor) 조합의 구동부를 구비하여 반송 로봇을 승하강 시킴으로써, 반송물인 용기를 바디 프레임에 형성된 선반에 적재 및 반송할 수 있게 제작된 설비 구조물이다.

그러나, 스토커의 특성상 타입별 바디 프레임의 높이가 상이할 수 있으며, 이에 따라, 이적재 유닛의 크레인부를 각 스토커의 바디 프레임의 높이에 맞춰 타입별로 맞춤 제작이 필요하여, 스토커의 수량 예측이 되어도 레이아웃 확정 전까지는 사전 제작 준비가 불가능한 문제점이 있었다. 이와 같이, 이적재 유닛의 크레인부 제작 시, 반도체 제조 설비의 레이아웃이 확정된 이후, 스토커의 위치 및 높이에 맞게 맞춤 제작이 필요한 관계로, 제작 리드 타임(Lead time)이 증가되는 부분이 빈번하게 발생하는 문제점이 있었다.

또한, 종래의 이적재 유닛의 크레인부는, 반송 로봇을 벨트와 모터 조합의 구동부로 승하강 시킴으로써, 승강축이 벨트 구조로 되어 있어 장기간 사용 시 파티클(Particle)이 쉽게 발생되고, 설비 구동축의 성능 저하가 쉽게 발생되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 이적재 유닛의 크레인부를 스토커의 높이 방향으로 다단 슬라이딩이 가능한 다단식 구조로 형성함으로써, 다양한 스토커 타입을 단일 유닛으로 대응할 수 있고, 승강축 구동 방식을 모터와 롤러의 조합으로 구성하여 구동 중에 발생하는 파티클을 저감시킬 수 있도록 구조를 개선한 이적재 유닛 및 이를 구비하는 스토커를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 이적재 유닛이 제공된다. 상기 이적재 유닛은, 물품이 적재된 용기를 적재하기 위한 복수의 선반을 구비하는 스토커 내에서 상기 용기를 상기 복수의 선반에 이적재하기 위한 이적재 유닛에 있어서, 상기 스토커의 골격을 형성하는 바디 프레임 내에 설치되고, 상기 용기를 파지 및 반송하는 로봇 암을 포함하는 반송 로봇; 상기 반송 로봇을 상기 바디 프레임의 상방 또는 하방으로 승하강시키는 크레인부; 및 상기 크레인부를 상기 바디 프레임의 전방 또는 후방으로 전후진시키는 주행부;를 포함하고, 상기 크레인부는, 상기 바디 프레임의 상방 또는 하방을 향하는 방향으로 다단 슬라이딩이 가능하도록 측방으로 적층되는 복수의 기둥부로 구성될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 주행부는, 상기 바디 프레임의 내부에 상기 반송 로봇이 이동하는 공간으로 형성되는 이동 통로의 바닥면에 상기 이동 통로의 연장 방향을 따라 길게 형성되는 주행 레일; 및 상기 주행 레일을 따라 상기 바디 프레임의 전방 또는 후방으로 전후진 슬라이딩 이동하는 주행 플레이트;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 크레인부는, 상기 주행 플레이트의 상면에 고정적으로 설치되는 베이스 기둥부; 및 상기 바디 프레임의 상방 또는 하방을 향하는 방향으로 슬라이딩 이동이 가능하도록 상기 베이스 기둥부의 내측에 설치되는 제 1 주행 기둥부;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 베이스 기둥부는, 평평한 플레이트 형상으로 형성되어 상기 주행 플레이트의 상면에 안착되는 베이스 플레이트; 및 상기 베이스 플레이트의 양측에서 상기 바디 프레임의 상방으로 길게 프레임 형태 또는 플레이트 형태로 연장되게 형성되는 베이스 칼럼;을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제 1 주행 기둥부는, 상기 베이스 칼럼의 내측에서 상기 바디 프레임의 상방으로 길게 프레임 형태 또는 플레이트 형태로 연장되게 형성되어, 상기 베이스 칼럼을 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되는 제 1 주행 칼럼; 상기 제 1 주행 칼럼이 상기 베이스 칼럼을 기준으로 슬라이딩 이동하는 구동력을 인가할 수 있도록, 상기 제 1 주행 칼럼의 일측에 설치되어, 회전 모터에 의해 상기 베이스 칼럼의 내측면 상에서 구름 운동을 하는 제 1 구동 롤러; 및 상기 제 1 주행 칼럼이 상기 베이스 칼럼을 따라 용이하게 슬라이딩 이동할 수 있도록, 측방으로 적층되는 상기 베이스 칼럼과 상기 제 1 주행 칼럼 사이에 설치되어, 상기 제 1 주행 칼럼의 슬라이딩 이동에 따라 구름 운동을 하는 제 1 구름 롤러;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 베이스 칼럼은, 상기 제 1 구동 롤러 및 상기 제 1 구름 롤러의 구름 운동 방향을 가이드할 수 있도록, 그 내측에 상기 제 1 주행 칼럼의 슬라이딩 이동 방향을 따라 길게 연장되는 홈(Groove) 형상으로 형성되어, 상기 제 1 구동 롤러 및 상기 제 1 구름 롤러의 적어도 일부분이 수용되는 제 1-1 가이드 레일 홈부;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제 1 주행 칼럼은, 상기 제 1-1 가이드 레일 홈부와 연동되어 상기 제 1 구동 롤러 및 상기 제 1 구름 롤러의 구름 운동 방향을 가이드할 수 있도록, 그 외측에 상기 제 1-1 가이드 레일 홈부의 연장 방향을 따라 길게 연장되는 홈 형상으로 형성되어, 상기 제 1 구동 롤러 및 상기 제 1 구름 롤러의 적어도 다른 일부분이 수용되는 제 1-2 가이드 레일 홈부;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 크레인부는, 상기 바디 프레임의 상방 또는 하방을 향하는 방향으로 슬라이딩 이동이 가능하도록 상기 제 1 주행 기둥부의 내측에 설치되는 제 2 주행 기둥부;를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제 2 주행 기둥부는, 상기 제 1 주행 칼럼의 내측에서 상기 바디 프레임의 상방으로 길게 프레임 형태 또는 플레이트 형태로 연장되게 형성되어, 상기 제 1 주행 칼럼을 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되는 제 2 주행 칼럼; 상기 제 2 주행 칼럼이 상기 제 1 주행 칼럼을 기준으로 슬라이딩 이동하는 구동력을 인가할 수 있도록, 상기 제 2 주행 칼럼의 일측에 설치되어, 회전 모터에 의해 상기 제 1 주행 칼럼의 내측면 상에서 구름 운동을 하는 제 2 구동 롤러; 및 상기 제 2 주행 칼럼이 상기 제 1 주행 칼럼을 따라 용이하게 슬라이딩 이동할 수 있도록, 측방으로 적층되는 상기 제 1 주행 칼럼과 상기 제 2 주행 칼럼 사이에 설치되어, 상기 제 2 주행 칼럼의 슬라이딩 이동에 따라 구름 운동을 하는 제 2 구름 롤러;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 반송 로봇은, 상기 제 2 주행 칼럼을 따라 상기 바디 프레임의 상방 또는 하방으로 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되는 주행 유닛; 및 상기 주행 유닛에 설치되어 상기 용기를 파지 및 반송하는 상기 로봇 암;을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 크레인부는, 상기 바디 프레임의 상방 또는 하방을 향하는 방향으로 슬라이딩 이동이 가능하도록 제 n-1 주행 기둥부의 내측에 설치되는 제 n 주행 기둥부;를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 스토커가 제공된다. 상기 스토커는, 물품이 적재된 용기를 적재하기 위한 복수의 선반이 형성될 수 있도록 프레임(Frame) 구조로 형성되는 바디 프레임; 상기 바디 프레임의 일측에 형성되어, 상기 용기가 로딩되거나 언로딩되는 로드 포트; 및 상기 바디 프레임 내부의 이동 통로에 설치되어, 상기 복수의 선반 중 어느 한 선반에 상기 용기를 로딩하거나 언로딩하는 이적재 유닛;을 포함하고, 상기 이적재 유닛은, 상기 바디 프레임 내에 설치되고, 상기 용기를 파지 및 반송하는 로봇 암을 포함하는 반송 로봇; 상기 반송 로봇을 상기 바디 프레임의 상방 또는 하방으로 승하강시키는 크레인부; 및 상기 크레인부를 상기 바디 프레임의 전방 또는 후방으로 전후진시키는 주행부;를 포함하고, 상기 크레인부는, 상기 바디 프레임의 상방 또는 하방을 향하는 방향으로 다단 슬라이딩이 가능하도록 측방으로 적층되는 복수의 기둥부로 구성될 수 있다.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 이적재 유닛의 크레인부를 스토커의 높이 방향으로 다단 슬라이딩이 가능한 다단식 구조로 형성하여 높이 조절이 가능함으로써, 사양별로 다양한 높이로 형성되는 모든 스토커 타입을 단일 유닛으로 대응할 수 있어, 계획적으로 대량 생산이 가능하여 제작 리드 타임을 단축할 수 있으며, 제작 단가를 절감할 수 있다.

또한, 다단 슬라이딩이 가능한 크레인부의 승강축 구동 방식을 모터와 롤러의 조합으로 단순화함으로써, 구동 중에 발생할 수 있는 파티클을 저감시키고, 이적재 유닛의 셋업을 용이하게 하며, 유지보수를 간소화할 수 있도록 구조가 개선된 이적재 유닛 및 이를 구비하는 스토커를 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이적재 유닛을 구비하는 스토커가 설치된 반도체 소자 제조 공정의 이송 시스템을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커의 측면 및 평면을 각각 개략적으로 나타내는 단면도들이다.
도 4는 도 2의 스토커에 구비된 이적재 유닛의 크레인부를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 5는 도 4의 크레인부가 다단 슬라이딩된 상태의 일 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 6 및 도 7은 도 5의 절취선 A-A를 따라 취한 크레인부의 여러 실시예들을 개략적으로 나타내는 단면도들이다.
도 8은 도 4의 크레인부가 다단 슬라이딩된 상태의 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.

이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이적재 유닛(도 2의 100)을 구비하는 스토커(1000)가 설치된 반도체 소자 제조 공정의 이송 시스템(S)을 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커(1000)의 측면 및 평면을 각각 개략적으로 나타내는 단면도들이며, 도 4는 도 2의 스토커(1000)에 구비된 이적재 유닛(100)의 크레인부(120)를 개략적으로 나타내는 단면도이다. 그리고, 도 5는 도 4의 크레인부(120)가 다단 슬라이딩된 상태의 일 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 6 및 도 7은 도 5의 절취선 A-A를 따라 취한 크레인부(120)의 여러 실시예들을 개략적으로 나타내는 단면도들이며, 도 8은 도 4의 크레인부(120)가 다단 슬라이딩된 상태의 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 이적재 유닛(도 2의100)을 구비하는 스토커(1000)가 설치된 반도체 소자 제조 공정의 이송 시스템(S)은, 반도체 소자 제조 공정 내에서 용기를 이송하는데 사용될 수 있다. 예컨대, 이송 시스템(S)은, 물품이 수납된 용기(도 2의 F)를 반송할 수 있다. 여기서, 상기 물품은, 웨이퍼 등의 기판 또는 레티클일 수 있다.

더욱 구체적으로, 상기 물품이 수납되는 용기는, 풉(Front Opening Unified Pod: FOUP)일 수 있다. 그러나, 용기는, 반드시 이에 국한되지 않고, 수납되는 상기 물품의 종류에 따라, 포스비(POSB), 매거진, 레티클 포드 및 트레이 등 다양한 종류가 적용될 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 이송 시스템(S)은, 크게, 제 1 설비 영역(A1)과, 제 2 설비 영역(A2)과, 이송 영역(A3) 그리고 스토커(1000)를 포함할 수 있다.

예컨대, 제 1 설비 영역(A1) 및 제 2 설비 영역(A2)은, 반도체 제조 장치(1)가 설치되는 영역일 수 있다. 또한, 이송 영역(A3)은, 용기를 파지하고 이송하는 비히클이 주행할 수 있는 레일이 설치되는 영역이다.

더욱 구체적으로, 제 1 설비 영역(A1)은, 다수의 반도체 제조 장치(1)가 설치되고, X축 방향(X)을 따라 길게 연장될 수 있다. 또한, 제 2 설비 영역(A2)은, 다수의 반도체 제조 장치(1)가 설치되고, X축 방향(X)을 따라 길게 연장될 수 있다. 다수의 반도체 제조 장치(1)는, 예를 들어, 사진, 식각, 애싱, 이온 주입, 박막 증착, 세정 등의 공정을 수행할 수 있는 장치일 수 있다. 이러한, 제 1 설비 영역(A1)과 제 2 설비 영역(A2)은, 이송 영역(A3)을 기준으로 서로 대칭되도록 형성될 수 있다. 그러나, 제 1 설비 영역(A1) 및 제 2 설비 영역(A2)은, 반드시 도 1에 국한되지 않고, 다양한 형태로 변형될 수 있다.

또한, 이송 영역(A3)은, 제 1 설비 영역(A1)과 제 2 설비 영역(A2) 사이에 배치될 수 있다. 이송 영역(A3)에는, 비히클들이 이동하기 위한 적어도 하나 이상의 이송 레일(R3)이 설치될 수 있다. 또한, 제 1 설비 영역(A1) 및 제 2 설비 영역(A2) 각각에는 반송 레일(R1, R2)이 설치될 수 있다. 예컨대, 제 1 설비 영역(A1)에는 제 1 반송 레일(R1)이 설치되고, 제 2 설비 영역(A2)에는 제 2 반송 레일(R2)이 설치되며, 제 1 반송 레일(R1) 및 제 2 반송 레일(R2)의 일단과 타단은 이송 레일(R3)과 연결될 수 있다.

이러한, 반송 레일(R1, R2)은, 반도체 제조 장치(1)의 상부에 배치될 수 있으며, 반송 레일(R1, R2)과 반도체 제조 장치(1)는 서로 인접하게 배치될 수 있다. 이에 따라, 반송 레일(R1, R2)을 주행하는 상기 비히클들은 반도체 제조 장치(1)에 용기(도 2의 F)를 전달하거나, 반도체 제조 장치(1)로부터 용기(도 2의 F)를 반출할 수 있다.

상술한 이송 시스템(S)에서, 스토커(1000)는, 물품이 수납된 용기를 적재하여 저장할 수 있다. 스토커(1000)는, 제 1 설비 영역(A1) 및 제 2 설비 영역(A2) 중 적어도 어느 한 영역 이상에 설치될 수 있으며, 필요에 따라 이송 영역(A3)에도 설치될 수 있다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 스토커(1000)는, 크게, 이적재 유닛(100)과, 바디 프레임(200) 및 로드 포트(300)를 포함할 수 있다.

예컨대, 바디 프레임(200)은, 상기 물품이 수납된 용기(F)를 적재하기 위한 복수의 선반(210)이 형성될 수 있도록, 프레임(Frame) 구조로 형성될 수 있다.

더욱 구체적으로, 바디 프레임(200)의 복수의 선반(210)은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 수평 방향(X축 방향, Y축 방향) 및 수직 방향(Z축 방향)으로 배열될 수 있다. 예컨대, 복수의 선반(210)은, 상기 수평 방향으로 복수의 행(行)과 열(列)이 각각 나란히 배치될 수 있고, 상기 수직 방향으로 복수의 단(段)이 나란히 배치될 수 있다. 본 발명의 실시예에서는, 복수의 선반(210)이 2열 6행 5단으로 배열되는 것을 예로 들었으나, 반드시 도 2 및 도 3에 국한되지 않고, 반도체 제조 공정에 따라서 매우 다양한 형태의 행과, 열 및 단으로 배열될 수 있다.

또한, 복수의 선반(210)은, 각각의 선반 바닥면에 정렬 핀(미도시)이 설치될 수 있다. 이에 따라, 용기(F)가 각 선반에 적재될 때, 상기 정렬 핀이 용기(F)의 정렬 홈(미도시)에 삽입됨으로써, 용기(F)가 각 선반에 정확하게 적재될 수 있다.

또한, 로드 포트(300)는, 바디 프레임(200)의 일측에 형성되어, 용기(F)가 로딩되거나 언로딩될 수 있다. 로드 포트(300)는, 반도체 소자의 제조에 이용되는 웨이퍼 또는 레티클 등의 다수의 상기 물품을 수용하는 용기(F)가 안착되는 공간을 제공하고, 용기(F)를 로딩하거나 언로딩할 수 있다. 예컨대, 로드 포트(300)는, 스토커(1000)의 외부로부터 스토커(1000)의 내부 공간으로, 또는 스토커(1000)의 내부 공간으로부터 스토커(1000)의 외부로 용기(F)를 전달하기 위한 것이다.

또한, 이적재 유닛(100)은, 바디 프레임(200) 내부의 이동 통로(220)에 설치되어, 복수의 선반(210) 중 어느 한 선반에 용기(F)를 로딩하거나 언로딩할 수 있다. 이러한, 이적재 유닛(100)은, 크게, 반송 로봇(110)과, 크레인부(120) 및 주행부(130)를 포함할 수 있다.

예컨대, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 반송 로봇(110)은, 바디 프레임(200)의 내부에 반송 로봇(110)이 이동하는 공간으로 형성되는 이동 통로(220) 내에 설치되고, 용기(F)를 파지 및 반송하는 로봇 암(111)을 포함할 수 있다.

더욱 구체적으로, 반송 로봇(110)은, 후술될 크레인부(120) 및 주행부(130)에 의해 X축 방향(X), Y축 방향(Y) 및 Z축 방향(Z)의 각 방향으로 용기(F)를 반송 가능하며, 로드 포트(300)과 복수의 선반(210) 중 어느 한 선반의 사이나, 복수의 선반(210) 중 어느 한 선반에서 다른 한 선반으로 용기(F)를 반송 가능할 수 있다.

또한, 반송 로봇(110)에 설치된 로봇 암(111)은 다관절 로봇 암으로서, 파지된 용기(F)의 반송을 위해 반송 로봇(110)에서 Y축 방향(Y) 및 Z축 방향(Z)으로 이동 및 회전 이동이 가능하도록 구비될 수 있다. 예컨대, 도시되진 않았지만, 반송 로봇(110)은, 로봇 암(111)을 Y축 방향(Y)으로 선형 이동시키기 위한 Y축 구동부(미도시)와, 로봇 암(111)을 Z축 방향(Z)으로 선형 이동시키기 위한 Z축 구동부(미도시) 및 로봇 암(111)을 회전시키기 위한 회전 구동부(미도시)를 로봇 암(111)을 구동하기 위한 구동부로 구비할 수 있다.

상술한 바와 같이, 반송 로봇(110)의 로봇 암(111)은, 반송 로봇(110) 상에서 복수의 선반(210) 중 어느 한 선반이나, 로드 포트(300)를 향해 이동 및 회전 가능하게 구성될 수 있으며, 포크 형태의 암을 이용하여, 용기(F)의 상부를 파지하여 용기(F)를 매달아 반송하거나, 용기(F)의 측면을 파지하여 반송할 수 있다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 주행부(130)는, 후술될 크레인부(120)를 바디 프레임(200)의 전방 또는 후방으로, 즉 X축 방향(X)으로 슬라이딩 이동시킬 수 있다.

예컨대, 주행부(130)는, 바디 프레임(200)의 내부에 반송 로봇(110)이 이동하는 공간으로 형성되는 이동 통로(220)의 바닥면(221)에 이동 통로(220)의 연장 방향을 따라 X축 방향으로 길게 연장되게 형성되는 주행 레일(131) 및 주행 레일(131)을 따라 바디 프레임(200)의 전방 또는 후방으로 전후진 슬라이딩 이동할 수 있는 주행 플레이트(132)를 포함할 수 있다.

더욱 구체적으로, 주행 레일(131)은, LM 가이드와 같이, 주행 플레이트(132)를 이동 통로(220)의 연장 방향인 X축 방향(X)으로 선형 이동시킬 수 있는 모든 종류의 레일 부재가 적용될 수 있다. 또한, 주행 플레이트(132)는, 주행 레일(131)을 타고 이동할 수 있는 일종의 비히클과 같은 주행체로서 상면에 후술될 크레인부(120)를 지지하고, 주행 레일(131)의 연장 방향을 따라 주행함으로써 선형으로 슬라이딩 이동할 수 있다.

이에 따라, 주행 플레이트(132)가 주행 레일(131)을 따라 바디 프레임(200)의 이동 통로(220) 내에서 X축 방향(X)으로 주행하여 슬라이딩 이동함에 따라, 그 상면에 설치된 크레인부(120)에 구비된 반송 로봇(110) 또한, 바디 프레임(200)의 이동 통로(220) 내에서 X축 방향(X)으로 전후진 이동할 수 있다.

또한, 크레인부(120)는, 반송 로봇(110)을 바디 프레임(200)의 상방 또는 하방으로, 즉 Z축 방향(Z)으로 승하강시킬 수 있다.

예컨대, 크레인부(120)는, 반송 로봇(110)을 바디 프레임(200)의 이동 통로(220) 내에서 바디 프레임(200)의 상방 또는 하방(Z축 방향)으로 승하강 이동시키기 위한 승하강 구조체로서, 바디 프레임(200)의 상방 또는 하방(Z축 방향)을 향하는 방향으로 다단 슬라이딩이 가능하도록 적층되는 복수의 기둥부로 구성될 수 있다.

더욱 구체적으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 크레인부(120)는, 주행 플레이트(도 2의 132)의 상면에 고정적으로 설치되는 베이스 기둥부(121)와, 바디 프레임(200)의 상방 또는 하방을 향하는 방향(Z축 방향)으로 슬라이딩 이동이 가능하도록 베이스 기둥부(121)의 내측에 설치되는 제 1 주행 기둥부(122) 및 바디 프레임(200)의 상방 또는 하방을 향하는 방향으로 슬라이딩 이동이 가능하도록 제 1 주행 기둥부(122)의 내측에 설치되는 제 2 주행 기둥부(123)를 포함할 수 있다.

예컨대, 베이스 기둥부(121)는, 평평한 플레이트 형상으로 형성되어 주행 플레이트(도 2의 132)의 상면에 안착되는 베이스 플레이트(121a) 및 베이스 플레이트(121a)의 양측에서 바디 프레임(200)의 상방으로 길게 프레임 형태 또는 플레이트 형태로 연장되게 형성되는 베이스 칼럼(121b)을 포함할 수 있다.

또한, 제 1 주행 기둥부(122)는, 베이스 칼럼(121b)의 내측에서 바디 프레임(200)의 상방으로 길게 프레임 형태 또는 플레이트 형태로 연장되게 형성되어, 베이스 칼럼(121b)을 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되는 제 1 주행 칼럼(122a)과, 제 1 주행 칼럼(122a)이 베이스 칼럼(121b)을 기준으로 슬라이딩 이동하는 구동력을 인가할 수 있도록, 제 1 주행 칼럼(122a)의 일측에 설치되어, 회전 모터에 의해 베이스 칼럼(121b)의 내측면 상에서 구름 운동을 하는 제 1 구동 롤러(122b) 및 제 1 주행 칼럼(122a)이 베이스 칼럼(121b)을 따라 용이하게 슬라이딩 이동할 수 있도록, 측방으로 적층되는 베이스 칼럼(121b)과 제 1 주행 칼럼(122a) 사이에 설치되어, 제 1 주행 칼럼(122a)의 슬라이딩 이동에 따라 구름 운동을 하는 제 1 구름 롤러(122c)를 포함할 수 있다.

그리고, 제 2 주행 기둥부(123)는, 제 1 주행 칼럼(122a)의 내측에서 바디 프레임(200)의 상방으로 길게 프레임 형태 또는 플레이트 형태로 연장되게 형성되어, 제 1 주행 칼럼(122a)을 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되는 제 2 주행 칼럼(123a)과, 제 2 주행 칼럼(123a)이 제 1 주행 칼럼(122a)을 기준으로 슬라이딩 이동하는 구동력을 인가할 수 있도록, 제 2 주행 칼럼(123a)의 일측에 설치되어, 회전 모터에 의해 제 1 주행 칼럼(122a)의 내측면 상에서 구름 운동을 하는 제 2 구동 롤러(123b) 및 제 2 주행 칼럼(123a)이 제 1 주행 칼럼(122a)을 따라 용이하게 슬라이딩 이동할 수 있도록, 측방으로 적층되는 제 1 주행 칼럼(122a)과 제 2 주행 칼럼(123a) 사이에 설치되어, 제 2 주행 칼럼(123a)의 슬라이딩 이동에 따라 구름 운동을 하는 제 2 구름 롤러(123c)를 포함할 수 있다.

위와 같은, 크레인부(120)의 구성에 따라, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 베이스 기둥부(121)만, 주행 플레이트(도 2의 132)의 상면에 고정적으로 설치되고, 제 1 주행 기둥부(122)는, 베이스 기둥부(121)를 기준으로 Z축 방향(Z)으로 승하강 슬라이딩 이동 가능하며, 제 2 주행 기둥부(123)는, 제 1 주행 기둥부(122)를 기준으로 Z축 방향(Z)으로 승하강 슬라이딩 이동 가능함으로써, 베이스 기둥부(121)와 제 1 주행 기둥부(122) 및 제 2 주행 기둥부(123)는 바디 프레임(200) 내의 이동 통로(220)에서 Z축 방향(Z)으로 신장 또는 수축이 가능한 다단 슬라이딩이 가능한 구조로 형성될 수 있다.

이때, 도 6에 도시된 바와 같이, 베이스 기둥부(121)의 베이스 칼럼(121b)과, 제 1 주행 기둥부(122)의 제 1 주행 칼럼(122a) 및 제 2 주행 기둥부(123)의 제 2 주행 칼럼(123a)은, 프레임 형태의 구조체로 Z축 방향(Z)으로 길게 연장되게 형성되고, 제 1 주행 기둥부(122) 및 제 2 주행 기둥부(123)의 다단 슬라이딩 방향을 안정적으로 가이드할 수 있도록, 제 1 주행 기둥부(122)의 제 1 구동 롤러(122b) 및 제 1 구름 롤러(122c)가 안착되는 베이스 칼럼(121b)의 내면 및 제 2 주행 기둥부(123)의 제 2 구동 롤러(123b) 및 제 2 구름 롤러(123c)가 안착되는 제 1 주행 칼럼(122a)의 내면에는, 각각 제 1 구동 롤러(122b) 및 제 1 구름 롤러(122c)와 제 2 구동 롤러(123b) 및 제 2 구름 롤러(123c)의 구름 운동 방향을 가이드하는 레일(Rail) 역할의 가이드 레일 홈부가 형성될 수 있다.

예컨대, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 베이스 칼럼(121b)은, 제 1 구동 롤러(122b) 및 제 1 구름 롤러(122c)의 구름 운동 방향을 가이드할 수 있도록, 그 내측에 제 1 주행 칼럼(122a)의 슬라이딩 이동 방향을 따라 길게 연장되는 홈(Groove) 형상으로 형성되어, 제 1 구동 롤러(122b) 및 제 1 구름 롤러(122c)의 적어도 일부분이 수용되는 제 1-1 가이드 레일 홈부(R1-1)를 포함하고, 제 1 주행 칼럼(122a)은, 제 2 구동 롤러(123b) 및 제 2 구름 롤러(123c)의 구름 운동 방향을 가이드할 수 있도록, 그 내측에 제 2 주행 칼럼(123a)의 슬라이딩 이동 방향을 따라 길게 연장되는 홈 형상으로 형성되어, 제 2 구동 롤러(123b) 및 제 2 구름 롤러(123c)의 적어도 일부분이 수용되는 제 2-1 가이드 레일 홈부(R2-1)를 포함할 수 있다.

이에 따라, 제 1 주행 기둥부(122) 및 제 2 주행 기둥부(123)의 다단 슬라이딩 시, 제 1 주행 기둥부(122)의 제 1 구동 롤러(122b) 및 제 1 구름 롤러(122c)가 제 1-1 가이드 레일 홈부(R1-1)에 의해 구름 운동 방향이 제 1 주행 칼럼(122a)의 슬라이딩 이동 방향으로 가이드되고, 제 2 주행 기둥부(123)의 제 2 구동 롤러(123b) 및 제 2 구름 롤러(123c)가 제 2-1 가이드 레일 홈부(R2-1)에 의해 구름 운동 방향이 제 2 주행 칼럼(123a)의 슬라이딩 이동 방향으로 가이드됨으로써, 베이스 기둥부(121)를 기준으로한 제 1 주행 기둥부(122) 및 제 2 주행 기둥부(123)의 다단 슬라이딩이 안정적으로 이루어질 수 있다.

이때, 반송 로봇(110) 또한, 상술한 제 1 주행 기둥부(122) 및 제 2 주행 기둥부(123)의 다단 슬라이딩 구조와 유사하게, 제 2 주행 기둥부(123)를 따라 바디 프레임(200)의 상방 또는 하방(Z축 방향)으로 승하강 슬라이딩 이동을 할 수 있다.

예컨대, 반송 로봇(110)은, 제 2 주행 칼럼(123a)을 따라 바디 프레임(200)의 상방 또는 하방(Z축 방향)으로 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되는 주행 유닛(112) 및 주행 유닛(112)에 설치되어 용기(F)를 파지 및 반송하는 로봇 암(111)을 포함하고, 주행 유닛(112)의 양측면에는, 주행 유닛(112)이 제 2 주행 칼럼(123a)을 기준으로 슬라이딩 이동하는 구동력을 인가할 수 있도록, 회전 모터에 의해 제 2 주행 칼럼(123a)의 내측면에 형성된 제 3-1 가이드 레일(R3-1) 상에서 구름 운동을 하는 제 3 구동 롤러(112a) 및 주행 유닛(112)이 제 2 주행 칼럼(123a)을 따라 용이하게 슬라이딩 이동할 수 있도록, 주행 유닛(112)과 제 2 주행 칼럼(123a) 사이에 설치되어, 주행 유닛(112)의 슬라이딩 이동에 따라 제 2 주행 칼럼(123a)의 내측면에 형성된 제 3-1 가이드 레일(R3-1) 상에서 구름 운동을 하는 제 3 구름 롤러(112b)가 설치될 수 있다.

이에 따라, 반송 로봇(110) 또한, 제 1 주행 기둥부(122) 및 제 2 주행 기둥부(123)의 다단 슬라이딩 방식으로, 제 2 주행 기둥부(123) 따라 바디 프레임(200)의 상방 또는 하방(Z축 방향)으로 승하강 슬라이딩 이동을 할 수 있다.

또한, 상술한 실시예에서, 베이스 기둥부(121)의 베이스 칼럼(121b)과, 제 1 주행 기둥부(122)의 제 1 주행 칼럼(122a) 및 제 2 주행 기둥부(123)의 제 2 주행 칼럼(123a)은, 프레임 형태로 형성되는 것을 예로 들었지만, 반드시 도 6에 국한되지 않고, 도 7에 도시된 바와 같이, 베이스 기둥부(121)의 베이스 칼럼(121b)과, 제 1 주행 기둥부(122)의 제 1 주행 칼럼(122a) 및 제 2 주행 기둥부(123)의 제 2 주행 칼럼(123a)은 플레이트 형태로 형성될 수도 있다.

그리고, 가이드 레일 홈부의 구성 또한 반드시 도 5에 국한되지 않고, 각 구동 롤러(122b, 123b) 및 각 구름 롤러(122c, 123c)의 구름 운동 방향을 더욱 안정적으로 가이드할 수 있도록, 각 구동 롤러(122b, 123b) 및 각 구름 롤러(122c, 123c)를 기준으로 서로 좌우로 마주보게 형성되는 한 쌍으로 구성될 수도 있다.

예컨대, 도 8에 도시된 바와 같이, 제 1 주행 칼럼(122a)은, 베이스 칼럼(121b)의 내면에 형성된 제 1-1 가이드 레일 홈부(R1-1)와 연동되어 제 1 구동 롤러(122b) 및 제 1 구름 롤러(122c)의 구름 운동 방향을 가이드할 수 있도록, 그 외측에 제 1-1 가이드 레일 홈부(R1-1)의 연장 방향을 따라 길게 연장되는 홈 형상으로 형성되어, 제 1 구동 롤러(122b) 및 제 1 구름 롤러(122c)의 적어도 다른 일부분이 수용되는 제 1-2 가이드 레일 홈부(R1-2)를 포함하고, 제 2 주행 칼럼(123a)은, 제 1 주행 칼럼(122a)의 내면에 형성된 제 2-1 가이드 레일 홈부(R2-1)와 연동되어 제 2 구동 롤러(123b) 및 제 2 구름 롤러(123c)의 구름 운동 방향을 가이드할 수 있도록, 그 외측에 제 2-1 가이드 레일 홈부(R2-1)의 연장 방향을 따라 길게 연장되는 홈 형상으로 형성되어, 제 2 구동 롤러(123b) 및 제 2 구름 롤러(123c)의 적어도 다른 일부분이 수용되는 제 2-2 가이드 레일 홈부(R2-2)를 포함할 수 있다.

이에 따라, 제 1 주행 기둥부(122) 및 제 2 주행 기둥부(123)의 다단 슬라이딩 시, 제 1 주행 기둥부(122)의 제 1 구동 롤러(122b) 및 제 1 구름 롤러(122c)가 좌우로 한 쌍으로 형성된 제 1-1 가이드 레일 홈부(R1-1) 및 제 1-2 가이드 레일 홈부(R1-2)에 의해 구름 운동 방향이 제 1 주행 칼럼(122a)의 슬라이딩 이동 방향으로 가이드되고, 제 2 주행 기둥부(123)의 제 2 구동 롤러(123b) 및 제 2 구름 롤러(123c)가 좌우로 한 쌍으로 형성된 제 2-1 가이드 레일 홈부(R2-1) 및 제 2-2 가이드 레일 홈부(R2-2)에 의해 구름 운동 방향이 제 2 주행 칼럼(123a)의 슬라이딩 이동 방향으로 가이드됨으로써, 베이스 기둥부(121)를 기준으로한 제 1 주행 기둥부(122) 및 제 2 주행 기둥부(123)의 다단 슬라이딩이 보다 안정적으로 이루어질 수 있다.

또한, 상술한 크레인부(120)의 여러 실시예들에서 3개의 기둥부(121, 122, 123)가 다단 슬라이딩 가능하도록 측방으로 적층되는 것을 예로 들었으나, 반드시 이에 국한되지 않고, 스토커(1000)의 골격을 이루는 바디 프레임(200)의 높이에 따라 매우 다양한 개수로 구성될 수 있음은 물론이다.

예컨대, 크레인부(120)는, 바디 프레임(200)의 상방 또는 하방을 향하는 방향(Z축 방향)으로 슬라이딩 이동이 가능하도록 제 n-1 주행 기둥부의 내측에 설치되는 제 n 주행 기둥부를 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 n은, 다단 슬라이딩되는 각 기둥부의 슬라이딩 스트로크 및 바디 프레임(200)의 높이를 고려하여, 설계자에 의해 선택적으로 결정될 수 있다.

따라서, 본 발명의 여러 실시예에 따른 이적재 유닛(100) 및 이를 구비하는 스토커(1000)에 따르면, 이적재 유닛(100)의 크레인부(120)를 스토커(1000)의 높이 방향으로 다단 슬라이딩이 가능한 다단식 구조로 형성하여 높이 조절이 가능한 구조로 형성함으로써, 사양별로 다양한 높이로 형성되는 모든 스토커 타입을 단일 유닛으로 대응할 수 있어, 계획적으로 대량 생산이 가능하여 제작 리드 타임을 단축할 수 있으며, 제작 단가를 절감할 수 있다.

또한, 다단 슬라이딩이 가능한 크레인부(120)의 승강축 구동방식을 모터와 롤러의 조합으로 단순화함으로써, 구동 중 발생할 수 있는 파티클을 저감시키고, 스토커(1000) 내에 이적재 유닛(100)의 셋업을 용이하게 하며, 유지보수를 간소화할 수 있도록 구조가 개선된 효과를 가질 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

1: 반도체 제조 장치
100: 이적재 유닛
110: 반송 로봇
111: 로봇 암
112: 주행 유닛
112a: 제 3 구동 롤러
112b: 제 3 구름 롤러
120: 크레인부
121: 베이스 기둥부
121a: 베이스 플레이트
121b: 베이스 칼럼
122: 제 1 주행 기둥부
122a: 제 1 주행 칼럼
122b: 제 1 구동 롤러
122c: 제 1 구름 롤러
123: 제 2 주행 기둥부
123a: 제 2 주행 칼럼
123b: 제 2 구동 롤러
123c: 제 2 구름 롤러
130: 주행부
131: 주행 레일
132: 주행 플레이트
200: 바디 프레임
210: 복수의 선반
220: 이동 통로
221: 바닥면
300: 로드 포트
1000: 스토커
S: 이송 시스템
A1: 제 1 설비 영역
A2: 제 2 설비 영역
A3: 제 3 설비 영역
R1: 제 1 반송 레일
R2: 제 2 반송 레일
R3: 이송 레일
R1-1: 제 1-1 가이드 레일
R1-2: 제 1-2 가이드 레일
R2-1: 제 2-1 가이드 레일
R2-2: 제 2-2 가이드 레일
R3-1: 제 3-1 가이드 레일
F: 용기

Claims (12)

1. 물품이 적재된 용기를 적재하기 위한 복수의 선반을 구비하는 스토커 내에서 상기 용기를 상기 복수의 선반에 이적재하기 위한 이적재 유닛에 있어서,
   상기 스토커의 골격을 형성하는 바디 프레임 내에 설치되고, 상기 용기를 파지 및 반송하는 로봇 암을 포함하는 반송 로봇;
   상기 반송 로봇을 상기 바디 프레임의 상방 또는 하방으로 승하강시키는 크레인부; 및
   상기 크레인부를 상기 바디 프레임의 전방 또는 후방으로 전후진시키는 주행부;를 포함하고,
   상기 크레인부는,
   상기 바디 프레임의 상방 또는 하방을 향하는 방향으로 다단 슬라이딩이 가능하도록 측방으로 적층되는 복수의 기둥부로 구성되는, 이적재 유닛.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 주행부는,
   상기 바디 프레임의 내부에 상기 반송 로봇이 이동하는 공간으로 형성되는 이동 통로의 바닥면에 상기 이동 통로의 연장 방향을 따라 길게 형성되는 주행 레일; 및
   상기 주행 레일을 따라 상기 바디 프레임의 전방 또는 후방으로 전후진 슬라이딩 이동하는 주행 플레이트;
   를 포함하는, 이적재 유닛.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 크레인부는,
   상기 주행 플레이트의 상면에 고정적으로 설치되는 베이스 기둥부; 및
   상기 바디 프레임의 상방 또는 하방을 향하는 방향으로 슬라이딩 이동이 가능하도록 상기 베이스 기둥부의 내측에 설치되는 제 1 주행 기둥부;
   를 포함하는, 이적재 유닛.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 베이스 기둥부는,
   평평한 플레이트 형상으로 형성되어 상기 주행 플레이트의 상면에 안착되는 베이스 플레이트; 및
   상기 베이스 플레이트의 양측에서 상기 바디 프레임의 상방으로 길게 프레임 형태 또는 플레이트 형태로 연장되게 형성되는 베이스 칼럼;
   을 포함하는, 이적재 유닛.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 제 1 주행 기둥부는,
   상기 베이스 칼럼의 내측에서 상기 바디 프레임의 상방으로 길게 프레임 형태 또는 플레이트 형태로 연장되게 형성되어, 상기 베이스 칼럼을 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되는 제 1 주행 칼럼;
   상기 제 1 주행 칼럼이 상기 베이스 칼럼을 기준으로 슬라이딩 이동하는 구동력을 인가할 수 있도록, 상기 제 1 주행 칼럼의 일측에 설치되어, 회전 모터에 의해 상기 베이스 칼럼의 내측면 상에서 구름 운동을 하는 제 1 구동 롤러; 및
   상기 제 1 주행 칼럼이 상기 베이스 칼럼을 따라 용이하게 슬라이딩 이동할 수 있도록, 측방으로 적층되는 상기 베이스 칼럼과 상기 제 1 주행 칼럼 사이에 설치되어, 상기 제 1 주행 칼럼의 슬라이딩 이동에 따라 구름 운동을 하는 제 1 구름 롤러;
   를 포함하는, 이적재 유닛.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 베이스 칼럼은,
   상기 제 1 구동 롤러 및 상기 제 1 구름 롤러의 구름 운동 방향을 가이드할 수 있도록, 그 내측에 상기 제 1 주행 칼럼의 슬라이딩 이동 방향을 따라 길게 연장되는 홈(Groove) 형상으로 형성되어, 상기 제 1 구동 롤러 및 상기 제 1 구름 롤러의 적어도 일부분이 수용되는 제 1-1 가이드 레일 홈부;
   를 포함하는, 이적재 유닛.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 제 1 주행 칼럼은,
   상기 제 1-1 가이드 레일 홈부와 연동되어 상기 제 1 구동 롤러 및 상기 제 1 구름 롤러의 구름 운동 방향을 가이드할 수 있도록, 그 외측에 상기 제 1-1 가이드 레일 홈부의 연장 방향을 따라 길게 연장되는 홈 형상으로 형성되어, 상기 제 1 구동 롤러 및 상기 제 1 구름 롤러의 적어도 다른 일부분이 수용되는 제 1-2 가이드 레일 홈부;
   를 포함하는, 이적재 유닛.
8. 제 5 항에 있어서,
   상기 크레인부는,
   상기 바디 프레임의 상방 또는 하방을 향하는 방향으로 슬라이딩 이동이 가능하도록 상기 제 1 주행 기둥부의 내측에 설치되는 제 2 주행 기둥부;
   를 더 포함하는, 이적재 유닛.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 제 2 주행 기둥부는,
   상기 제 1 주행 칼럼의 내측에서 상기 바디 프레임의 상방으로 길게 프레임 형태 또는 플레이트 형태로 연장되게 형성되어, 상기 제 1 주행 칼럼을 따라 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되는 제 2 주행 칼럼;
   상기 제 2 주행 칼럼이 상기 제 1 주행 칼럼을 기준으로 슬라이딩 이동하는 구동력을 인가할 수 있도록, 상기 제 2 주행 칼럼의 일측에 설치되어, 회전 모터에 의해 상기 제 1 주행 칼럼의 내측면 상에서 구름 운동을 하는 제 2 구동 롤러; 및
   상기 제 2 주행 칼럼이 상기 제 1 주행 칼럼을 따라 용이하게 슬라이딩 이동할 수 있도록, 측방으로 적층되는 상기 제 1 주행 칼럼과 상기 제 2 주행 칼럼 사이에 설치되어, 상기 제 2 주행 칼럼의 슬라이딩 이동에 따라 구름 운동을 하는 제 2 구름 롤러;
   를 포함하는, 이적재 유닛.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 반송 로봇은,
    상기 제 2 주행 칼럼을 따라 상기 바디 프레임의 상방 또는 하방으로 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되는 주행 유닛; 및
    상기 주행 유닛에 설치되어 상기 용기를 파지 및 반송하는 상기 로봇 암;
    을 포함하는, 이적재 유닛.
11. 제 8 항에 있어서,
    상기 크레인부는,
    상기 바디 프레임의 상방 또는 하방을 향하는 방향으로 슬라이딩 이동이 가능하도록 제 n-1 주행 기둥부의 내측에 설치되는 제 n 주행 기둥부;
    를 더 포함하는, 이적재 유닛.
12. 물품이 적재된 용기를 적재하기 위한 복수의 선반이 형성될 수 있도록 프레임(Frame) 구조로 형성되는 바디 프레임;
    상기 바디 프레임의 일측에 형성되어, 상기 용기가 로딩되거나 언로딩되는 로드 포트; 및
    상기 바디 프레임 내부의 이동 통로에 설치되어, 상기 복수의 선반 중 어느 한 선반에 상기 용기를 로딩하거나 언로딩하는 이적재 유닛;을 포함하고,
    상기 이적재 유닛은,
    상기 바디 프레임 내에 설치되고, 상기 용기를 파지 및 반송하는 로봇 암을 포함하는 반송 로봇;
    상기 반송 로봇을 상기 바디 프레임의 상방 또는 하방으로 승하강시키는 크레인부; 및
    상기 크레인부를 상기 바디 프레임의 전방 또는 후방으로 전후진시키는 주행부;를 포함하고,
    상기 크레인부는,
    상기 바디 프레임의 상방 또는 하방을 향하는 방향으로 다단 슬라이딩이 가능하도록 측방으로 적층되는 복수의 기둥부로 구성되는, 스토커.

Images