KR100773450B1 - 진공처리장치의 기판 적재대 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공처리장치의 기판 적재대에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 진공처리장치의 기판 적재대는 기판을 적재하는 베이스; 상기 베이스의 상부에 장착가능한 블럭; 및 상기 블럭의 상면에 돌출형성된 적어도 하나 이상의 지지수단;을 포함하여 이루어진다. 또한 상기 베이스에는 상기 블럭이 삽입될 수 있는 형상의 요홈이 형성되어, 상기 요홈에 단순 삽입되거나 또는 슬라이드되어 장착하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 기판을 적재하는 베이스에 다수개의 지지수단이 블럭화하여 고정된다. 따라서 다수개의 지지수단 중 어느 하나가 이상이 있는 경우, 당해 지지수단이 고정된 블럭만을 게이트를 통해 분리한 다음, 수리 또는 교체하기 때문에, 유지 보수가 매우 용이하다.

기판 적재대. 블럭. 볼트랜스퍼.

Description

진공처리장치의 기판 적재대{Substrate loading table of vacuum processing apparatus}

도 1은 종래 진공처리장치의 내부구조를 나타내는 분리사시도이다.

도 2는 본 발명에 의한 진공처리장치의 내부구조를 나타내는 분리사시도이다.

도 3은 도 2의 요부를 나타내는 사시도이다.

도 4는 본 발명에 의한 다층구조의 진공처리장치를 나타낸 단면도이다.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

1: 진공처리장치 10: 본체

11: 베이스 12: 요홈

13: 게이트 14: 걸림핀

15: 고정수단 20: 덮개

30: 볼트랜스퍼 모듈 31: 블럭

32: 경사면 33: 볼트랜스퍼

33a: 롤러볼 33b: 지지부

본 발명은 진공처리장치의 기판 적재대에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 지지수단이 블럭화되어 장착되는 진공처리장치의 기판 적재대에 관한 것이다.

최근 정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광받고 있다. 이러한 평판표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적이다.

이 중에서 액정표시소자를 예로 설명하면, 유리 기판상에 유전체 물질 등을 박막으로 증착하는 증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피 (Photolithography)공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝(Patterning)하는 식각공정, 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등을 수차례 반복하여야 하는데, 이들 각 공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경이 조성된 챔버 내부에서 진행된다.

이러한 진공처리장치는 플라즈마 처리 등의 공정이 수행되는 공정챔버와, 로드락 챔버와, 이송챔버 등으로 구성된다. 이들 진공처리용 챔버는 공정순으로 배치될 수도 있고, 다수의 챔버가 이송챔버를 중심으로 결합되는 클러스터 형태로 배치될 수도 있다.

종래 방식의 클러스터형 진공처리장치의 구성을 설명보면, 이송챔버를 중심으로 다수개의 공정챔버와 로드락챔버가 연결되며, 로드락챔버의 일측면은 다수개의 기판을 적재하는 카세트와 연결되어 있다. 상기 로드락 챔버는 진공과 대기압 분위기가 반복되도록 핸들링되고, 기판이 반입 또는 반송된다.

도 1을 참조하여 종래 진공처리장치의 구성을 설명하면, 측벽과 저판으로 구성되는 본체(110)와, 그의 상면에 장착되는 덮개(120)로 이루어진다. 또한 진공처리장치의 내부에는 기판(S)을 적재하는 적재대가 구비되는데, 상기 적재대는 기판(S)이 적재되는 베이스(111)와, 상기 베이스(111)의 상면에 돌출형성된 적어도 하나 이상의 지지수단(112)으로 구성된다. 물론 상기 베이스(111)에는 반송로봇의 암이 진입할 수 있는 진입면이 형성된다. 또한 기판이 출입할 수 있는 게이트(113)가 구비된다.

그러나 종래의 진공처리장치는 다수개의 지지수단(112) 중 어느 하나에 이상이 있을 경우, 상기 덮개(120)을 분리하여야만 교체 또는 수리를 할 수 있었기 때문에, 유지보수가 매우 곤란하다는 문제점이 있었다.

특히, 다층 구조를 가진 진공처리장치에 있어서, 하층에 있는 지지수단에 이상이 있는 경우에는 덮개 및 상층에 있는 본체들을 모두 분리하여 하층 본체의 상면을 개방한 다음, 이상이 있는 지지수단을 교체 등을 하여야 했기 때문에, 매우 번거로운 작업이었다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판 지지수단이 블럭화되어 장착되는 진공처리장치의 기판 적재대를 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 진공처리장치의 기판 적재대는 기판을 적재하는 베이스; 상기 베이스의 상부에 장착가능한 블럭; 및 상기 블럭의 상면에 돌출형성된 적어도 하나 이상의 지지수단;을 포함하여 이루어진다.

또한 상기 베이스에는 상기 블럭이 삽입될 수 있는 형상의 요홈이 형성되어, 상기 요홈에 단순 삽입되거나 또는 슬라이드되어 장착하는 것이 바람직하다. 특히, 슬라이드 방식을 위하여 상기 블럭을 상기 요홈에 슬라이드되도록 측부가 경사 또는 단차지게 형성되고, 상기 요홈도 이와 대응되는 형상으로 형성될 수 있다. 이 때, 상기 베이스의 일단에 헤드가 구비된 걸림핀이 형성되면, 상기 걸림핀에 걸릴때까지 상기 블럭을 슬라이드하므로 장착이 용이해진다. 이 경우에 상기 블럭의 선단부를 상기 걸림핀에 걸리도록 수평방향으로 함몰형성하면, 상기 선단부가 상기 헤드에 의해 구속되어 상방으로 유동되는 것을 제한하게 되어 장착이 더욱 확실해진다.

또한 상기 블럭을 더욱 확실히 고정하기 위하여 상기 블럭을 장착한 상태에서 상기 베이스에 고정하는 고정수단이 더 구비되는 것이 바람직하다. 상기 고정수 단은 볼트 등이 될 수 있다.

상기 블럭의 상면에 돌출형성되어 기판을 직접적으로 지지하는 상기 지지수단은 베스펠(Vespel) 재질의 지지핀 또는 볼트랜스퍼가 바람직하다. 상기 볼트랜스퍼는 상기 기판과 접촉하고, 회동가능한 롤러볼; 및 상기 롤러볼을 구속하는 지지부;를 포함하여 이루어진다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.

도 2를 참조하면, 본 실시예(1)는 본체(10) 및 덮개(20)를 포함하여 이루어진다. 또한 그 내부에는 베이스(11)와, 상기 베이스(11)에 착탈가능하게 장착되고, 특히 다수개의 볼트랜스퍼(33)가 모듈화된 볼트랜스퍼 모듈(30)을 포함하여 이루어진다.

상기 베이스(11)는 진공처리장치의 하면 또는 하면으로부터 소정거리 이격된 위치에 형성되며, 상기 베이스(11)와 베이스 사이에는 이송로봇의 암이 출입할 수 있도록 하기 위한 진입면이 형성된다.

특히, 본 발명에 의한 기판 적재대는 베이스(11)의 상면의 소정위치에 후술하는 볼 트랜스퍼 모듈(30)이 장착될 수 있는 요홈(12)이 형성되어 있다.

또한 상기 볼트랜스퍼 모듈(30)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 베이스(11)의 요홈(12)에 삽입 또는 슬라이드 가능한 블럭(31)과, 상기 블럭(31)의 상면에 기판을 직접적으로 지지하는 볼트랜스퍼(33)가 적어도 하나 이상 형성되어 있 다.

상기 블럭(31)의 측부는 도시된 바와 같이 소정형상의 경사면(32)이 형성되어 있다. 물론 상기 요홈(12)도 상기 블럭(31)의 경사면과 대응되는 형상으로 경사지게 형성되어 있다. 이로써, 상기 블럭(31)은 요홈(12)에 슬라이드되어 장착된다. 이와 달리 요홈(12) 및 블럭(31)에 상호 대응되는 단차면을 형성함으로써 동일한 효과를 얻을 수 있을 것이다.

상기 블럭(31)의 선단부(34)는 'V'형상으로 함몰되어 있음을 알 수 있다. 이는 베이스(11)에 이미 고정 설치되어 있는 상기 걸림핀(14)이 걸리도록 함으로써 장착을 용이하게 하기 위함이다. 또한 상기 걸림핀(14)은 그 상부에 헤드가 형성되는데, 상기 헤드는 상기 선단부(34)가 상방으로 유동되는 것을 방지하기 위한 것이다.

상기 블럭(31)이 베이스(11)에 장착됨에 있어서, 유동을 억제하기 위하여 보다 확실한 고정수단(15)이 필요하다. 즉, 블럭(31)이 베이스(11)에 장착된 후에 이들을 관통하는 볼트 등의 고정수단(15)을 이용하여 고정시킬 수 있다.

또한 기판을 직접적으로 지지시키는 볼트랜스퍼(33)는 상기 블럭(11)의 상면에 돌출형성되어 있는데, 그 구성은 상기 블럭(31)의 상면에 돌출형성된 지지부(33b)에 구속되어 회동하는 롤러볼(33a)로 구성된다. 물론 이와 달리 베스펠 또는 세라믹이나 불소수지 계열의 재질로 형성된 단순한 지지핀일 수도 있다.

이하, 본 발명의 작용을 설명하면, 기판과 접촉하여 실질적으로 지지하는 볼트랜스퍼(33) 등의 다수개의 지지수단 중 어느 하나에 이상이 있어 수리 또는 교체 를 원하는 경우, 이상이 있는 지지수단이 위치한 볼트랜스퍼 모듈(30)만을 상기 베이스(11)로부터 분리시킨 후, 수리 또는 교체를 하면 된다. 물론, 상기 블럭을 베이스(11)로부터 분리시키는 작업은 기판이 출입하는 게이트(13)를 통해서 충분히 가능한 것이다. 따라서 종래와 같이 어느 하나의 지지수단이 이상이 있는 경우에, 이를 교체하기 위하여 덮개를 분리할 필요가 없는 것이다.

특히, 본 발명은 다층구조의 진공처리장치에 더욱 효과적이다. 도 4와 같이, 진공처리장치를 다층으로 구성할 수 있다. 즉, 다수개의 본체(10',10)를 상하로 적층한 후, 최상부에 적층된 본체(10)의 상면에 덮개(20)를 결합하여 구성될 수 있다. 이와 같이 다층구조를 가진 진공처리장치에 있어서, 예를 들어 1층 본체(10')에 구비된 볼 트랜스퍼에 이상이 발생한 경우, 종래에는 덮개(20) 및 상층에 있는 본체(10)들을 모두 분리하여 1층 본체(10')의 상면을 개방한 다음, 이상이 있는 볼 트랜스퍼를 교체 등을 하여야 했다. 그러나 본 발명에 따르면, 덮개(20) 및 상층의 본체(10)를 분리할 필요없이, 게이트를 통해 이상이 있는 볼트랜스퍼가 위치하는 볼 트랜스퍼 모듈(30')을 분리시켜 교체 등을 할 수 있는 것이다.

본 발명에 따르면, 기판을 적재하는 베이스에 다수개의 지지수단이 블럭화하여 고정된다. 따라서 다수개의 지지수단 중 어느 하나가 이상이 있는 경우, 당해 지지수단이 고정된 블럭만을 게이트를 통해 분리한 다음, 수리 또는 교체하기 때문에, 유지 보수가 매우 용이하다.

특히, 진공처리장치를 다층으로 구성하는 경우, 저층에 구비된 지지수단 중 어느 하나가 이상이 있는 경우에 더욱 실익이 크다. 즉, 종래에는 이경우에, 상층에 있는 덮개 및 본체들을 분리한 후, 이상이 있는 지지수단을 교체 등을 하여야 했으나, 본 발명에 따르면, 상층에 있는 덮개 및 본체들을 분리할 필요없이, 이상이 있는 지지수단이 고정된 블럭을 게이트를 통해 바로 분리할 수 있기 때문이다.

Claims (8)

1. 진공처리장치의 기판 적재대에 있어서,

   기판을 적재하는 베이스;

   상기 베이스의 상부에 장착가능한 블럭; 및

   상기 블럭의 상면에 돌출형성된 적어도 하나 이상의 지지수단;을 포함하여 이루어지되,

   상기 베이스에는 상기 블럭이 삽입될 수 있는 형상의 요홈이 형성되며,

   상기 블럭은 상기 요홈에 슬라이드되도록 측부가 경사 또는 단차지게 형성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 베이스의 일단에는 헤드가 구비된 걸림핀이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 블럭의 선단부는 상기 걸림핀에 걸리도록 수평방향으로 함몰형성된 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 블럭을 장착한 상태에서 상기 베이스에 고정하는 고정수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 지지수단은 베스펠(Vespel) 재질의 지지핀인 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 지지수단은,

   상기 기판과 접촉하고, 회동가능한 롤러볼; 및

   상기 롤러볼을 구속하는 지지부;를 포함하여 이루어지는 볼 트랜스퍼인 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 기판 적재대.
7. 삭제
8. 삭제

Images