KR20220053098A - 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법 - Google Patents

Abstract

제진대용 콘크리트 패드의 제조방법이 개시된다. 본 실시 예는 보강재의 안정적인 정렬과 함께 콘크리트의 이음 타설량이 최소화된 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법에 관한 것이다.

Description

제진대용 콘크리트 패드의 제조방법{Manufacturing method of concrete pad for vibration isolation pad}

본 발명은 반도체 장비를 안정적으로 제조하기 위해 사용되는 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 이중마루가 설치된 크린룸은 반도체 또는 디스플레이 제조와 같은 첨단 제품의 제조 공장으로 사용되고 이러한 공장에는 매우 정밀한 측정 장비와 수 마이크론 내지 나노 수준의 직접회로를 제조하는 초정밀 가공장비가 설치된다.

이러한 초정밀 장비는 환경진동에 매우 민감하여 특정 주파수대역에서 불량이 발생하거나, 작동 자체가 불가해 지는 문제가 발생하기 때문에 각 장비마다 요구되는 환경진동 수준으로 환경진동을 조절하여 주는 것이 필요하다.

환경진동의 수준은 ISO2631이 제공하는 VC(vibartion criteria)-Curve의 Class구분인 주파수 대역별 가속도의 크기에 따른 등급 구분이 적용되고 있다.

각 장비마다의 요구되는 환경진동수준을 조성하기 위해서는 댐핑 장치와 감쇠 기술이 사용되고 있으나 일반적으로는 장비의 바닥투영면적과 동일한 수준의 크기를 가지는 콘크리트 패드를 장비 하부에 설치하고 허용되는 환경진동의 요구 특성에 맞게 콘크리트 패드의 하부에 강성 구조물을 설치하거나 하부 강성 구조물과 콘크리트 패드 사이에 댐퍼를 설치하는 방법이 주로 이용되고 있으며, 콘크리트 패드와 댐퍼와 하부 강성 구조물이 복합된 구조체로 이중마루용 제진대용 콘크리트 패드가 구성된다.

상기 콘크리트 패드는 부식과 분진 발생을 억제할 목적으로 바닥과 네 측면이 일정두께의 철판으로 밀봉된 케이스 형태로 제조되고, 내부는 철근이 배근된 콘크리트가 채워지며, 상부면에는 대전방지용 타일이나 도료, 또는 전도체로 마감된다.

제진대용 콘크리트 패드의 상부에 설치되는 장비의 하부에 장비의 하중을 바닥으로 전달하는 수많은 캐스터(지지점)가 불규칙하게 배치되어 있고, 장비 내부의 질량도 각 캐스터의 위치마다 크기가 다르기 때문에 외부로부터 전달되는 진동에너지에 대한 응답도 각위치의 캐스터 마다 다르게 되어 이로 인하여 공진이 발생되거나 특정 주파수의 가속도가 증폭되는 문제 발생할 가능성이 있다.

어느 한 장비의 하부에 있는 캐스터는 어느 지점의 캐스터라도 모두 동일한 동특성을 갖는 구조물위에 설치되는 것이 중요한 요건이 되고 이를 위해 콘크리트 패드는 하나의 질량체로 구성되는 것이 매우 중요한 요건이나, 장비의 바닥 투영면적이 매우 크거나 복잡한 경우 운반과 설치의 문제로 인하여 각각의 크기로 제조된 콘크리트 패드를 현장에서 맞대어 볼팅으로 고정하는 방법이 사용되고 있다.

이러한 핀 접합으로 연결된 콘크리트 패드는 서로 다른 동특성을 보이는 문제가 있고, 또 다른 방법으로는 철재 케이스를 외부에서 제조하여 설비가 설치될 장소에서 조립한 후 콘크리트를 타설하는 방법이 있다. 이 경우 동특성의 문제는 크게 없으나 현장 타설 과정에서 콘크리트 분진과 오염수로 인하여 크린룸이 오염되는 문제와 콘크리트의 완전 경화에 약 28일이 소요되어 장비 설치까지 상당한 대기 시간이 발생한다는 문제가 야기 되었다.

최근 이러한 문제를 해결하기 위한 방법으로 콘크리트 패드를 여러 조각으로 만들되 조각과 조각이 이어져야 하는 면에 철판으로 내측과 구분되는 별도의 연결공간을 형성하고 콘크리트 내부의 철근을 연결부 공간으로 돌출시켜 철근 커플러와 바닥 철판의 덧대기 이음으로 콘크리트 조각과 조각을 이은 후 연결부 공간에 콘크리트를 타설하여 일체화하는 공법들이 시도되고 있다.

종래에는 상기 콘크리트 블록을 제조할 때 분할 제조 한 후 재조립하여 일체화하는 방법들이 제공하는 연결부 조성방법은 콘크리트에서 발생하는 분진이 콘크리트 블록의 취급과정에서 크린룸을 오염시키지 못하도록 철판을 이용하여 모든 면을 밀폐하여 반입되고 있다.

연결부도 분진 억제를 위해 철판에 접합되고 철판과 콘크리트 접합면 사이의 경계면 분리(크랙)를 억제할 목적으로 철망이나, 앵커류 등을 철판의 양면에 접합하는 방법을 사용하고 있어 자재와 가공, 조립비용이 매우 크다는 문제점이 발생되었다.

또한 종래에는 철근을 연결 할 때 1점식 철근 연결방법을 사용하므로 각각 따로 제조된 콘크리트 블록에서 돌출된 철근이 서로 간에 정확한 각도와 거리를 가지고 결합되기가 어려워서 나사식 커플러가 조립되지 않는 문제가 빈번하게 발생되어 이에 대한 대책이 필요하게 되었다.

대한민국등록특허 제10-0791079호

본 발명의 실시 예들은 이중마루가 설치된 크린룸과 같은 뜬바닥 구조에 설치되는 장비(설비, 기계)의 진동 전달을 최소화 하기 위한 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법을 제공하고자 한다.

본 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법은 초정밀 장비가 안착되는 바닥 면에 설치될 제진대를 제조하기 위해 상기 바닥 면과 접한 바닥 판에서 최종 조립 시 최외곽 가장 자리를 형성하는 외측판과 마주보는 상대 위치에 지지 프레임을 설치하여 제1 본체부의 외형을 제조하는 제1 단계(ST110)와, 상기 제1 본체부의 내측에 보강재를 설치하고, 상기 보강재에 대한 정렬을 실시하는 제2 단계(ST120)와, 상기 제1 본체부의 내측에 콘크리트를 타설하는 제3 단계(ST130)를 포함하는 제1 제조 단계(ST100)와, 상기 제1 본체부로 주입된 콘크리트의 양생이 완료된 이후에 상기 소켓부와 상기 지지 프레임을 상기 제1 본체부에서 분리하는 제2 제조 단계(ST200)와, 기 제조된 제1 본체부가 소정의 간격으로 서로 간에 마주보면서 바닥면과 측면이 결합 되는 제3 제조 단계(ST300)와, 상기 이격된 제1 본체부가 연결부를 매개로 서로 간에 연결되는 제4 제조 단계(ST400) 및 상기 이격된 제1 본체부 사이로 콘크리트가 주입 후 양생 되어 상기 제1 본체부와 일체로 제2 본체부가 성형되는 제5 제조 단계(ST500)를 포함한다.

상기 제1 단계(ST110)는 상기 외측판에 대한 지지 보강을 위해 상기 외측판과 상기 바닥판 사이에 보강판이 설치되는 제1 보강 단계(ST112)를 더 포함한다.

상기 제1 단계(ST110)는 콘크리트 타설시 상기 지지 프레임의 내측에 다각 형태의 요입 홈이 형성되도록 요철 부재가 설치되는 제2 보강 단계(ST114)를 더 포함한다.

상기 제2 단계(ST120)는 상기 보강재가 상기 제1 본체부의 내측으로 설치되기 전에 상기 보강재의 일측 단부에 소켓부가 삽입되는 소켓부 삽입 단계(ST122); 상기 소켓부가 결합된 보강재가 상기 지지 프레임의 내측을 향해 가로 및 세로 방향에서 삽입이 이루어지는 보강재 삽입 단계(ST124); 상기 보강재가 가로 및 세로 방향에서 위치 정렬이 이루어지도록 상기 소켓부가 상기 지지 프레임의 내측을 향해 소정의 깊이로 결합되는 소켓부 결합 단계(ST126); 상기 보강재가 가로 및 세로 방향에서 서로 간에 수평 상태가 유지되도록 상기 바닥 판에 수직으로 설치되어 상기 보강재와 함께 고정되는 수직 보강재 설치 단계(ST128)를 포함한다.

상기 제2 단계(ST120)는 상기 보강재에 대한 설치가 이루어진 이후에 상기 바닥 판의 모서리 위치에서 이격되어 수직으로 설치되고 상기 제1 본체부에 대한 양생이 완료된 이후에 아이 볼트가 결합되기 위한 견인 봉 설치 단계(ST129)를 더 포함한다.

상기 제3 제조 단계(ST300)는 복수의 제1 본체부가 서로 간에 밀착된 상태로 바닥면 내측에 각각 마주보며 지지 리브가 설치되는 제1 결합 단계(ST310); 상기 지지 리브의 수평 방향에서 결합 부재를 매개로 서로 간에 볼팅 결합이 이루어지는 제2 결합 단계(ST320)를 더 포함한다.

상기 제4 제조 단계(ST400)는 서로 마주보며 이격된 제1 본체부에서 상기 지지 프레임에 노출된 각각의 보강재의 단부가 서로 간에 연결되도록 어느 하나의 보강재에 소정의 길이로 연장된 연장부의 일단부에 구비된 제1 너트가 결합되는 제1 너트 결합 단계(ST410); 다른 하나의 보강재에 상기 연장부의 타단부에 구비된 제2 너트가 결합되는 제2 너트 결합 단계(ST420)를 더 포함한다.

본 실시 예들은 대면적의 제진대용 콘크리트 패드를 취급이 용이한 면적으로 나누어 사전 제조할 때 작업자의 안전 사고 예방과 결합의 편리성 및 구조적 강도 향상 및 콘크리트 타설량이 감소된 상태로 제진대용 콘크리트 패드를 제조할 수 있다.

본 실시 예들은 운반과 설치가 용이하고 제조가 용이하며 진동 발생으로 인한 구조적 강도가 향상되며, 콘크리트의 이음 타설량이 최소화 되는 제진대용 콘크리트 패드를 제조할 수 있다.

본 실시 예들은 반도체 장비를 안정적으로 지지할 수 있으며 조립 공차 범위 이내에서 제조가 가능하여 치수 정확도가 향상된 제진대용 콘크리트 패드를 제조할 수 있다.

도 1은 본 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드의 제조 방법을 도시한 순서도.
도 2는 본 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드로 콘크리트가 타설되기 이전에 보강재가 내부에 설치된 상태를 도시한 사시도.
도 3은 본 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드가 최종적으로 결합되어 제조된 상태를 도시한 사시도.
도 4는 본 실시 예에 의한 제1 본체부의 결합 단면도.
도 5 내지 도 6은 본 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드의 제조 과정을 도시한 사시도.
도 7은 본 실시예에 의한 제2 제작 단계의 순서도.
도 8은 본 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드에 구비된 소켓부의 설치를 도상태를 일 예로 도시한 도면.
도 9는 본 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드의 제1 본체부로 보강재가 모두 설치된 상태를 도시한 사시도.
도 10은 본 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드의 제1 본체부로 콘크리트가 타설된 이후의 상태를 도시한 사시도.
도 11은 본 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드에서 소켓부가 분리되는 상태를 도시한 도면.
도 12는 본 실시 예에 의한 제4 제조 단계를 도시한 순서도.
도 13은 본 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드에 구비된 연결부의 설치 상태를 일 예로 도시한 도면.
도 14는 본 실시 예에 의한 제1 본체부가 연결부를 매개로 서로 간에 결합된 상태를 도시한 평면도.

본 실시 예에 따른 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

첨부된 도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 실시 예에 의한 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법은 초정밀 장비가 안착되는 바닥 면에 설치될 제진대를 제조하기 위해 상기 바닥 면과 접한 바닥 판에서 최종 조립 시 최외곽 가장 자리를 형성하는 외측판과 마주보는 상대 위치에 지지 프레임을 설치하여 제1 본체부의 외형을 제조하는 제1 단계(ST110)와, 상기 제1 본체부의 내측에 보강재를 설치하고, 상기 보강재에 대한 정렬을 실시하는 제2 단계(ST120)와, 상기 제1 본체부의 내측에 콘크리트를 타설하는 제3 단계(ST130)를 포함하는 제1 제조 단계(ST100)를 통해 제1 본체부에 대한 제조가 이루어진다.

그리고 상기 제1 본체부로 주입된 콘크리트의 양생이 완료된 이후에 상기 소켓부와 상기 지지 프레임을 상기 제1 본체부에서 분리하는 제2 제조 단계(ST200)와, 기 제조된 제1 본체부가 소정의 간격으로 서로 간에 마주보면서 바닥면과 측면이 결합 되는 제3 제조 단계(ST300)와, 상기 이격된 제1 본체부가 연결부를 매개로 서로 간에 연결되는 제4 제조 단계(ST400) 및 상기 이격된 제1 본체부 사이로 콘크리트가 주입 후 양생 되어 상기 제1 본체부와 일체로 제2 본체부가 성형되는 제5 제조 단계(ST500)를 포함한다.

구체적인 설명에 앞서 제진대용 콘크리트 패드(1)는 진동에 취약한 반도체 장비가 안정적으로 안착 되도록 바닥면(10)에 다수개가 서로 간에 조립 되는 제1 본체부(100, 100a)가 구비된다.

상기 제1 본체부(100, 100a)는 실제 반도체 장비가 설치되는 장소가 아닌 다른 장소에서 선 제조된 이후에 별도의 중장비를 통해 상기 반도체 장비가 설치될 장소로 옮겨 설치 위치가 셋팅된 후에 제2 본체부(200)에 대한 타설 및 양생으로 최종 조립이 완료된다.

또한 본 실시 예는 제1 본체부(100, 100a)가 반도체 장비가 설치될 장소의 크기에 맞춰 가로 및 세로 길이가 도면에 도시된 길이 이외에도 다양하게 변경되어 현장에서 사전 제조가 가능하므로 도면에 도시된 형태 및 길이로 한정하지 않는다.

상기 제1 본체부(100, 100a)는 도면에 도시된 형태로 반드시 한정하지 않고 다양하게 변경될 수 있으며, 일 예로 다각의 직육면체 형태 또는 원판 형태와 같이 다양한 형태로 변경될 수 있다.

또한 본 실시 예는 제1 본체부(100, 100a)가 전술한 바와 같이 다양한 형태로 변경될 경우 제2 본체부(200) 또한 서로 간의 맞물림을 위해 형태가 변경될 수 있다.

따라서 본 실시 예는 일 예로 판 형태의 직육면체 형태로 도시하였으나 이에 반드시 한정하는 것은 아니며 다양한 형태 및 길이로 제조가 가능할 수 있으며 제2 본체부(200)를 매개로 서로 간에 조립된다.

본 실시 예는 제1 본체부(100, 100a)와 제2 본체부(200)의 접합면에서의 강도가 안정적으로 유지되도록 제2 본체부(200)의 폭을 최소화 하고, 보강재(300, 300a)의 배치를 최초 설계안 대로 오차 없이 정확히 유지하기 위해 소켓부(600, 600a)를 이용하여 보강재(300, 300a)에 대한 정확한 정렬을 실시할 수 있다.

또한 상기 제2 본체부(200)는 짧아진 폭만큼 정확하게 연결부(500)(도 13 참조)가 보강재(300, 300a)와 결합되도록 구조를 변경하여 진동 및 균열로 인한 구조적인 강성이 저하되는 것을 방지하여 인장 강도 향상을 통한 내구성을 향상시킬 수 있다.

보강재(300, 300a)는 상기 본체부(100, 100a)의 내측 가로 방향(장변방향)을 향해 상하로 서로 마주보며 배치된 제1 철근(310, 310a)과, 상기 제1 철근(310, 310a)과 직교하며 세로 방향(단변 방향)에 상하로 마주보며 배치된 제2 철근(320, 320a)을 포함한다.

상기 제1 철근(310, 310a)과 제2 철근(320, 320a)은 격자 형태로 서로 간에 동일한 간격으로 이격 되므로 반도체 장비의 하중이 가해질 경우 제1 본체부(100, 100a)의 특정 위치에 하중이 집중되지 않고 안정적으로 지지될 수 있다.

상기 제1,2 철근(310, 310a, 320, 320a)이 동일간격으로 배치될 경우 제1 본체부(100, 100a)는 상면 어느 위치에 반도체 장비가 위치되는 경우에도 진동에 의한 영향을 최소한으로 받게 되므로 안정적인 장비 운영과 함께 반도체 장비가 가동될 때 발생될 수 있는 오차 발생을 줄일 수 있다.

상기 제1 본체부(100, 100a)는 최종 조립 현장이 아닌 제조단계에서 제2 본체부(200)보다 먼저 성형된 이후에 제2 본체부(200)에 대한 콘크리트 주입 및 양생이 이루어지게 되므로 최종 조립 현장의 다양한 크기에 대해 보다 정확하게 대처할 수 있다.

또한 본 실시 예는 제2 본체부(200)를 사전에 제조하지 않고 상기 제1 본체부(100, 100a)만을 사전에 규격화 하여 다수개로 제조하고, 현장에서 제2 본체부(200)를 제조하는 방법도 가능하므로 현장에서 설치가 손쉽게 이루어질 수 있다.

또한 상기 제1 본체부(100, 100a)는 반도체 장비가 안착될 위치로 차량을 통해 이동될 때 후술할 보강재(300, 300a)가 외측으로 돌출되지 않아 이동 및 보관이 유리해진다.

상기 제1 본체부(100, 100a)와 제2 본체부(200)는 콘크리트로 형성되나 다른 재질로 변경되는 것도 가능할 수 있다.

본 실시 예에 의한 제1 단계(ST110)는 제1 본체부가 제조될 때 콘크리트 타설에 따른 일종의 거푸집을 제조하는 것으로, 특히 사면이 모두 개방되지 않고 제2 본체부와 마주보는 위치는 개방된 상태로 제조되고, 나머지 최 외곽 가장 자리는 외측판(104, 104a)이 도면 기준으로 상측으로 수직으로 절곡되어 소정의 길이로 연장된다.

본 실시 예에 개시된 제1 단계(ST110)는 개방된 위치에 지지 프레임(120, 120a)이 설치되는데, 상기 지지 프레임(120, 120a)은 후술할 제2 본체부(200)의 기 설정된 폭을 일정하게 유지하기 위해 바닥판(102, 102a)의 외측판을 제외한 측면 프레임(110, 110a)의 내측으로 이격된 위치에 고정된다.

상기 제1 본체부(100, 100a)에는 외측판(104, 104a)과 마주보는 반대편 위치에서 바닥판(102, 102a) 및 상기 외측판(104, 104a)과 연결되고, 홈부(111, 111a)가 형성된 지지 프레임(110, 110a)과, 상기 홈부(111, 111a)에 끼움 결합되며, 보강재(300, 300a)와 마주보는 위치에 제1,2 삽입부(122, 122a)가 형성된 지지 프레임(120, 120a)이 구비된다.

상기 홈부(111, 111a)는 폭 방향에서 지지 프레임(110, 110a)의 폭 방향 길이 보다 상대적으로 길게 연장되어 제2 본체부(200)의 폭 방향 길이를 구성한다.

또한 홈부(111, 111a)는 지지 프레임(110, 110a)을 기준으로 보강재(300, 300a)가 설치된 내측 영역은 콘크리트가 타설되고, 외측 영역은 연결부(500)의 설치 작업을 위한 공간을 제공하게 되므로 작업자가 제1 본체부(100, 100a)에 대한 작업과 제2 본체부(200)를 타설하기 이전 작업을 실시할 수 있어 별도의 분리 작업이 가능해 진다.

일 예로 도 4에 도시된 바와 같이 제1 본체부(100, 100a)는 제2 본체부(200)에 대한 제조를 위해 서로 간에 밀착될 경우 면접촉된 위치에서 각각 W1과, W2의 폭 만큼 이격된 위치에 상기 지지 프레임(120, 120a)이 설치된다.

상기 W1과 W2는 상기 지지 프레임에서 84mm씩 이격 되어 총 164mm의 길이로 연장되므로 제2 본체부가 형성될 경우 최소한의 폭에서 제1 본체부와 연결되므로 길이가 단축되어 타설 및 양생을 위한 시간이 감소될 수 있다.

지지 프레임은 후술할 소켓부가 결합되는 삽입부(122, 122a)가 형성되어 있어 상기 소켓부가 정확하게 정위치에 결합될 수 있다. 상기 지지 프레임은 제1 본체부에서 콘크리트가 타설되기 이전에 설치되었다가 양생이 완료된 이후에는 분리되어 콘크리트의 안정적인 타설을 도모할 수 있다.

본 실시 예는 상기 외측판이 하나의 철판을 절곡하여 커버하고, 다른 부분은 오픈된 노출 콘크리트 상태로 제조하며, 상기 제2 본체부에 콘크리트를 타설하여 전체적으로 상기 제1 본체부에 기 타설된 콘크리트에 제2 본체부로 타설된 콘크리트가 서로 간에 접합된다.

본 실시 예는 상기 외측판에 대한 지지 보강을 위해 상기 외측판과 상기 바닥판 사이에 보강판이 설치되는 제1 보강 단계(ST112)를 더 포함하고, 상기 보강판은 외측판에만 복수개가 소정의 간격으로 설치된다.

상기 제1 보강 단계(ST112)는 제1 본체부의 내측으로 콘크리트가 타설 및 양생 될 때 부피 변화로 인한 외측판의 변형 및 파손을 방지할 수 있으며, 특히 바닥판과 연결되어 있어 구조적인 강도 보강을 보다 안정화 할 수 있다.

또한 바닥판과 외측판의 변형을 방지하고, 타설된 콘크리트와 접합되어 제1 본체부 중 외측판으로 외부 진동 및 충격이 전달되는 경우에도 제1 본체부의 변형 및 균열 발생을 방지할 수 있다.

상기 제1 단계(ST110)는 콘크리트 타설시 상기 지지 프레임의 내측에 다각 형태의 요입 홈이 형성되도록 요철 부재가 설치되는 제2 보강 단계(ST114)를 더 포함한다.

상기 제2 보강 단계(ST114)는 제2 본체부에 대한 성형을 위한 콘크리트가 타설 될 때 도면에 도시된 바와 같은 요철 형상을 인위적으로 형성시켜 외부에서 전달된 균열 또는 진동으로 인한 경계면이 제1 본체부에서 직선 형태로 형성되는 것을 차단하고 추가적으로 확산되는 것을 방지하여 구조적인 보강을 실시할 수 있다.

상기 제2 보강 단계(ST114)는 보강재와 보강재 사이에 배치되어 있어 상기보강재가 설치될 때 작업자의 작업성을 저해 하지 않고 안정적으로 작업이 가능하고, 상기 보강재 사이에 위치됨으로써 균열이 발생되는 경우에도 요철 형상에 의해 더 이상 확산 되거나, 제1 본체부 전체를 가로 또는 세로 및 대각선 방향으로 확산되거나 상기 제2 본체부로 확산되지 않고 요철 홈의 자체 형상에 의해 차단된다.

따라서 본 실시 예는 외부 진동 또는 자체 진동에 의한 제1,2 본체부의 강도 저하 및 균열 발생을 차단하여 사용할 수 있다.

첨부된 도 7 내지 도 11을 참조하면, 제2 단계(ST120)는 보강재가 제1 본체부의 내측으로 설치되기 전에 상기 보강재의 일측 단부에 소켓부(600, 600a)가 삽입되는 소켓부 삽입 단계(ST122)와, 상기 소켓부가 결합된 보강재가 상기 지지 프레임의 내측을 향해 가로 및 세로 방향에서 삽입이 이루어지는 보강재 삽입 단계(ST124)와, 상기 보강재가 가로 및 세로 방향에서 위치 정렬이 이루어지도록 상기 소켓부가 상기 지지 프레임의 내측을 향해 소정의 깊이로 결합되는 소켓부 결합 단계(ST126)와, 상기 보강재가 가로 및 세로 방향에서 서로 간에 수평 상태가 유지되도록 상기 바닥 판에 수직으로 설치되어 상기 보강재와 함께 고정되는 수직 보강재 설치 단계(ST128)를 포함한다.

상기 소켓부 삽입 단계(ST122)는 보강재가 제1 본체부의 내측으로 설치되기 이전에 일측 단부에 소켓부를 우선 결합시키는데, 상기 소켓부는 내측에 보강재로 사용될 이형 철근과 나사 결합 가능하도록 나사산이 형성되어 있어 작업자가 손쉽게 결합시킬 수 있다.

상기 보강재 삽입 단계(ST124)는 보강재를 제1 본체부의 내측으로 우선 삽입하되, 상기 지지 프레임에 형성된 삽입부의 외측에서 제1 본체부의 내측 방향으로 보강재를 우선 삽입한다.

소켓부가 삽입부를 경유하여 제1 본체부의 내측으로 삽입될 때 가로 방향으로 우선 결합한 후에 세로 방향을 결합하거나, 반대의 순서로 결합하는 것도 가능할 수 있다.

상기 보강재에 대한 삽입과 동시에 소켓부를 지지 프레임에 형성된 삽입부에 결합시키면 보강재가 도면에 도시된 바와 같이 가로 및 세로 방향에서 정 위치에 정렬된다(ST216). 특히 보강재는 일측 단부가 소켓부에 의해 위치 고정이 정확하게 이루어지므로 다량의 콘크리트가 주입되는 경우에도 위치 변동이 발생되지 않고 제 위치에 위치된 상태가 유지된다.

작업자는 보강재에 대한 보다 정확한 정렬을 위해 바닥판에 수직 보강재를 설치(ST218) 하여 상기 보강재와 함께 고정할 경우 가로 및 세로 방향에서 정확하게 수평이 유지될 수 있다.

상기 수직 보강재는 보강재에 설치될 때 하측 단부는 바닥판에 용접되고, 상기 보강재와는 철사를 매개로 고정된다.

수직 보강재는 바닥판에 설치될 때 도면에 도시된 배치 형태 또는 다른 형태로 변경될 수 있다.

이와 같이 보강재에 대한 설치가 종료된 이후에는 아이 볼트가 결합되기 위한 견인 봉을 설치한다(ST129). 상기 견인 봉은 제1 본체부에 대한 콘크리트 양생이 모두 완료된 이후에 이동 또는 설치를 위해 구비되고, 상기 제1 본체부의 모서리 위치에서 가로 및 세로 방향에서 동일 거리로 이격된 위치에 설치되어 제1 본체부의 무게 밸런스를 유지하는 것이 안정적인 이동을 실시하는데 보다 유리해 진다.

상기 보강재와 견인 봉이 모두 설치된 이후에 제1 본체부의 내부로 콘크리트가 주입되도록 타설을 실시하고(ST130), 양생이 완료된 이후에 소켓부와 지지 프레임을 제1 본체부에서 분리한다(ST200).

상기 소켓부는 삽입부에서 설치 방향과 반대 방향으로 회전시킬 경우 보강재와 나사 결합 상태가 해제되어 지지 프레임의 외측으로 손쉽게 분리된다.

그리고 작업자는 이웃한 제1 본체부가 서로 간에 밀착된 상태로 조립되도록 지지 리브를 설치한다(ST310). 상기 지지 리브는 바닥면에서 서로 마주보며 L자 형태로 설치되므로, 수평 방향에서 결합 부재(20)를 이용하여 볼팅 결합을 실시할 경우 복수의 제1 존체부가 서로 간에 밀착된 상태로 손쉽게 조립된다(ST320).

이와 같이 지지 리브를 이용하여 결합 부재를 매개로 조립을 실시할 경우 작업자는 볼팅 방향이 수평 방향에서 이루어지므로 안정적인 작업이 가능해지고, 안정성이 향상되어 작업자의 사고 발생을 예방할 수 있다.

첨부된 도 12 내지 도 14를 참조하면, 전술한 작업이 종료된 이후에는 이격된 제1 본체부에 이미 설치된 보강재를 서로 간에 연결하기 위해 서로 마주보며 이격된 제1 본체부에서 상기 지지 프레임에 노출된 각각의 보강재의 단부가 서로 간에 연결되도록 어느 하나의 보강재에 소정의 길이로 연장된 연장부의 일단부에 구비된 제1 너트(N1)를 결합(ST410)한다.

상기 제2 본체부가 형성될 위치에 설치되는 연결부는 이격된 제1 본체부에 기 설치된 보강재를 서로 간에 연결하는 길이가 최소화 되는 것이 콘크리트 타설량을 감소시킬 수 있다. 상기 콘크리트 타설량이 최소화 되어야 되는 이유는 상기 보강재의 연결 길이를 최소화 하는 것이 휘어지는 현상을 방지할 수 있고, 제2 본체부 제조를 위한 콘크리트 타설량도 감소시킬 수 있기 때문이다.

특히 초정밀 장비가 안착되므로 불필요한 분진 발생을 최소화 하는 것이 보다 유리해진다.

본 실시 예에서는 연결부(500)를 통해 서로 간에 이격된 보강재를 연결하는데, 일 예로 연결부의 일단부에 구비된 제1 너트(N1)를 서로 마주보며 이격된 어느 하나의 제1 본체부에 설치된 보강재에 우선 결합한다(ST410).

상기 제1 너트는 삽입부에 노출된 보강재의 단부에 길이 방향의 일부가 결합되고, 연결부를 구성하고 외주면에 나사산이 형성된 연결볼트(510)의 일단부가 나머지 부분에 결합된다. 그리고 마주보며 위치된 제1 본체부에 설치된 다른 보강재에 제2 너트(N2)가 결합되면 이격된 각각의 보강재가 서로 간에 연결된다(ST420).

이와 같은 방법으로 나머지 복수개의 보강재에도 연결부를 설치한 후에 제2 본체부로 성형될 연결부의 설치 위치에 콘크리트 타설을 실시하여 제2 성형부를 성형한다(ST500).

보강재는 삽입부에 일부가 노출되고, 제2 본체부 성형시 타설된 콘크리트가 상기 삽입부에 채워지게 되므로 상기 이격된 보강재 및 연결부가 서로 간에 안정적으로 결합된 상태로 양생될 경우 도 3과 같이 제조되므로 결합력이 향상된다.

이상, 본 발명의 일 실시 예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.

100, 100a : 제1 본체부
102, 102a : 바닥판
104, 104a : 외측판
110, 110a : 지지 프레임
120, 120a : 제1,2 지지 프레임
200 : 제2 본체부
300, 300a : 보강재
600, 600a : 소켓부

Claims (7)

1. 초정밀 장비가 안착되는 바닥 면(10)에 설치될 제진대를 제조하기 위해 상기 바닥 면(10)과 접한 바닥 판에서 최종 조립 시 최외곽 가장 자리를 형성하는 외측판(104, 104a)과 마주보는 상대 위치에 지지 프레임을 설치하여 제1 본체부의 외형을 제조하는 제1 단계(ST110)와,
   상기 제1 본체부의 내측에 보강재를 설치하고, 상기 보강재에 대한 정렬을 실시하는 제2 단계(ST120)와,
   상기 제1 본체부의 내측에 콘크리트를 타설하는 제3 단계(ST130)를 포함하는 제1 제조 단계(ST100);
   상기 제1 본체부로 주입된 콘크리트의 양생이 완료된 이후에 상기 소켓부와 상기 지지 프레임을 상기 제1 본체부에서 분리하는 제2 제조 단계(ST200);
   기 제조된 제1 본체부가 소정의 간격으로 서로 간에 마주보면서 바닥면과 측면이 결합 되는 제3 제조 단계(ST300);
   상기 이격된 제1 본체부가 연결부를 매개로 서로 간에 연결되는 제4 제조 단계(ST400); 및
   상기 이격된 제1 본체부 사이로 콘크리트가 주입 후 양생 되어 상기 제1 본체부와 일체로 제2 본체부가 성형되는 제5 제조 단계(ST500)를 포함하는 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 제1 단계(ST110)는 상기 외측판에 대한 지지 보강을 위해 상기 외측판과 상기 바닥판 사이에 보강판이 설치되는 제1 보강 단계(ST112)를 더 포함하는 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법.
3. 제1 항에 있어서,
   상기 제1 단계(ST110)는 콘크리트 타설시 상기 지지 프레임의 내측에 다각 형태의 요입 홈이 형성되도록 요철 부재가 설치되는 제2 보강 단계(ST114)를 더 포함하는 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법.
4. 제1 항에 있어서,
   상기 제2 단계(ST120)는 상기 보강재가 상기 제1 본체부의 내측으로 설치되기 전에 상기 보강재의 일측 단부에 소켓부가 삽입되는 소켓부 삽입 단계(ST122);
   상기 소켓부가 결합된 보강재가 상기 지지 프레임의 내측을 향해 가로 및 세로 방향에서 삽입이 이루어지는 보강재 삽입 단계(ST124);
   상기 보강재가 가로 및 세로 방향에서 위치 정렬이 이루어지도록 상기 소켓부가 상기 지지 프레임의 내측을 향해 소정의 깊이로 결합되는 소켓부 결합 단계(ST126);
   상기 보강재가 가로 및 세로 방향에서 서로 간에 수평 상태가 유지되도록 상기 바닥 판에 수직으로 설치되어 상기 보강재와 함께 고정되는 수직 보강재 설치 단계(ST128)를 포함하는 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법.
5. 제1 항에 있어서,
   상기 제2 단계(ST120)는 상기 보강재에 대한 설치가 이루어진 이후에 상기 바닥 판의 모서리 위치에서 이격되어 수직으로 설치되고 상기 제1 본체부에 대한 양생이 완료된 이후에 아이 볼트가 결합되기 위한 견인 봉 설치 단계(ST129)를 더 포함하는 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법.
6. 제1 항에 있어서,
   상기 제3 제조 단계(ST300)는 복수의 제1 본체부가 서로 간에 밀착된 상태로 바닥면 내측에 각각 마주보며 지지 리브가 설치되는 제1 결합 단계(ST310);
   상기 지지 리브의 수평 방향에서 결합 부재를 매개로 서로 간에 볼팅 결합이 이루어지는 제2 결합 단계(ST320)를 더 포함하는 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법.
7. 제1 항에 있어서,
   상기 제4 제조 단계(ST400)는 서로 마주보며 이격된 제1 본체부에서 상기 지지 프레임에 노출된 각각의 보강재의 단부가 서로 간에 연결되도록 어느 하나의 보강재에 소정의 길이로 연장된 연장부의 일단부에 구비된 제1 너트가 결합되는 제1 너트 결합 단계(ST410);
   다른 하나의 보강재에 상기 연장부의 타단부에 구비된 제2 너트가 결합되는 제2 너트 결합 단계(ST420)를 더 포함하는 제진대용 콘크리트 패드의 제조방법.

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