KR20220042242A - 나노결정질 합금의 전구체로서의 광폭 철계 무정형 합금 - Google Patents

나노결정질 합금의 전구체로서의 광폭 철계 무정형 합금 Download PDF

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Abstract

다음 화학식 (Fe1-aMa)100-x-y-z-p-q-rCuxSiyBz M'pM"q Xr (여기서, M은 Co 및/또는 Ni이고, M'은 Nb, W, Ta, Zr, Hf, Ti 및 Mo로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, M"은 V, Cr, Mn, Al, 백금족 원소, Sc, Y, 희토류 원소, Au, Zn, Sn 및 Re로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, X는 C, Ge, P, Ga, Sb, In, Be 및 As로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, a, x, y, z, p, q 및 r은 각각 0≤a≤0.5, 0.1≤x≤3, 0≤y≤30, 1≤z≤25, 5≤y+z≤30, 0.1≤p≤30, q≤10 및 r≤10을 만족시킴)으로 나타내는 조성을 갖는 63.5 mm 초과의 폭, 13 내지 20 ㎛의 두께의 철계 연자성 합금에 관한 것이고, 합금은 적어도 50% 결정질이고, 100 nm 이하의 평균 입자 크기를 갖는다. 이 합금은 낮은 코어 손실, 높은 투자율 및 낮은 자기변형을 갖는다.

Description

나노결정질 합금의 전구체로서의 광폭 철계 무정형 합금{A WIDE IRON-BASED AMORPHOUS ALLOY, PRECURSOR TO NANOCRYSTALLINE ALLOY}
기술 분야
본 발명은 63.5 mm 초과의 폭을 갖는 철계 나노결정질 연자성 합금 리본에 관한 것이다. 주조된 무정형 합금을 열 처리하여 나노결정질 구조를 얻는다. 그러한 열 처리된 리본은 전류 센서, 포화 인덕터, 트랜스포머, 자성 차폐재 및 다양한 전력 변환 장치에 이용될 수 있다.
배경
많은 제조업체, 예컨대 히타치 메탈즈(Hitachi Metals) 및 배큠쉬멜쯔(Vacuumschmelze)는 나노결정질 합금의 전구체인 63.5 mm 이하의 최대 폭을 갖는 무정형 합금 리본을 판매한다. 현재의 최대 폭은 주조 기술에 의해 제한되고, 그 결과로 빈약한 자성 특성, 리본의 폭을 가로질러서 큰 두께 변화 및 주조 동안에 빈약한 권취 성능이 초래된다.
전력 전자 장치에 이용되는 나노결정질 호일 합금에 대해 상당한 요구가 있다. 나노결정질 리본의 낮은 손실 특성은 그것이 넓은 범위의 고주파수(kHz) 트랜스포머 응용에 적합하게 한다. 또한, 나노결정질 리본은 초크 코일에서 고주파수 고조파를 감소시키기 위해 이용된다. 또한, 나노결정질 리본은 펄스 전력 응용에 이용될 수 있다.
나노결정질 합금은 평면 유동 주조 방법을 통해 제조되고, 평면 유동 주조 방법에서는 용융된 금속이 회전 켄치 휠에 공급되고 그곳에서 금속이 106 ℃/sec 정도의 냉각 속도로 무정형 상태로 급속 냉각된다. 주조된 리본의 바람직한 두께는 13 내지 20 ㎛이다. 회전 켄치 휠의 선 속도는 전형적으로 25 내지 35 m/s이다. 리본이 연속으로 주조되어 켄치 휠로부터 스트리핑(stripping)되고 동일한 속도로 움직이는 큰 스풀 상에 기계적으로 운반되어 스풀에서 연속으로 권취된다.
통상적인 철계 완전 무정형 합금은 트랜스포머 코어에 흔히 이용되고, 리본은 25 ㎛의 두께로 5.6", 6.7" 및 8.4"의 폭으로 입수가능하다. 겨우 13 내지 20 ㎛의 두께를 갖는 이 나노결정질 합금은 리본의 포획 및 권취를 63.5 mm 초과의 폭에서는 매우 어렵게 한다. 리본의 상대적 얇음은 리본을 파단하지 않으면서 리본을 고속으로 기계적으로 포획하는 것을 어렵게 하고, 따라서, 리본이 스풀 상에 연속으로 권취될 수 없다.
또한, 폭 방향에서 두께 균일성은 리본을 스풀 상에 연속으로 권취하는 능력을 제한한다. 리본의 높은 구역 및 낮은 구역의 점진적인 겹침으로 인해 스풀이 증대하기 때문에 두께 변화는 스풀이 빈약하게 권취하게 할 수 있다. 예를 들어, 폭을 가로질러서 큰 두께 변화를 갖는 리본으로 이루어진 스풀은 리본이 더 얇은 곳에서는 매우 헐겁고 리본이 더 두꺼운 곳에서는 매우 팽팽하여 권취 동안에 리본이 쉽게 파단하게 할 것이다.
리본을 연속으로 권취하는 것의 어려움은 더 넓은 폭의 나노결정질 합금이 상업적으로 입수가능하지 않은 이유 중 하나이다. 상이한 두 단계로 리본을 주조하고 스풀에 권취하는 것이 가능하지만, 그것이 많은 접힘을 도입하고 리본에 주름이 생기게 하여 연자성 성능을 감소시킬 수 있기 때문에 현실적으로는 이것이 어렵다. 또한, 리본의 연속 주조 및 동기 권취는 중간 가공 단계를 제거하기 때문에, 리본 제조 비용을 감소시키기 위해서 리본의 연속 주조 및 동기 권취가 필요하다.
그 다음, 완전 무정형 리본은 나노결정질 상태로 열 처리된다. 내용이 참조로 포함되는 미국 특허 번호 4,881,989(발명의 명칭: "Fe-base soft magnetic alloy and method of producing same")는 열 처리 동안에 무정형 주조된 리본으로부터 나노결정질 합금으로의 전이의 물리학을 개시한다.
좁은 입수가능한 폭은 응용을 주로 작은 테이프로 권취된 코어 물질에 제한한다. 현재로서는 광폭 고주파수 트랜스포머를 제조하는 것은 다수의 좁은 폭의 권취된 코어를 함께 적층하는 것을 요구한다. 또한, 좁은 리본 폭은 나노결정질 리본의 제조 속도를 제한하고, 이것은 리본의 비용을 많은 응용에서 엄두도 못 낼 정도로 높게 한다. 20 ㎛ 미만의 호일의 두께는 63.5 mm 초과의 리본을 권취하는 것을 어렵게 하고, 그러한 더 넓은 리본은 상업적으로 입수가능하지 않다.
발명의 요약
현 기술의 불리한 점을 고려하여, 본 발명의 목적은 우수한 연자성 특성을 갖는 나노결정질 상태로 열 처리될 수 있는 13 내지 20 ㎛의 두께 및 63.5 mm 초과의 폭을 갖는 철계 전구체 리본을 제공하는 것 및 63.5 mm보다 넓은 폭의 리본을 제조하는 제조 방법을 제공하는 것이다.
위에서 언급한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 다음 기술적 해결책을 포함한다.
포화 자속 밀도가 1.15 T 초과이고 1 kHz에서 시험되는 초기 투자율이 75000 초과인 연자성 특성을 갖는 나노결정질 상태로 열 처리될 수 있는 13 내지 20 ㎛의 두께 및 63.5 mm 초과의 폭의 철계 전구체 리본이 개시된다. 추가로, 63.5 mm보다 넓은 폭의 리본을 제조하는 제조 방법이 개시된다. 리본 두께는 바람직하게는 13 내지 20 ㎛이고, 16 내지 18 ㎛가 더 바람직하다. 폭 방향을 가로질러서 리본 두께 균일성은 바람직하게는 총 리본 두께의 +/- 15% 미만의 변화를 나타낸다. 25 ㎛ 두께의 표준 무정형 리본은 5.6", 6.7" 및 8.4" 폭으로 입수가능하다. 또한, 13 내지 20 ㎛의 두께를 갖는 본 발명의 전구체 나노결정질 리본은 이 폭으로 주조될 수 있다. 본 발명의 전구체 나노결정질 리본은 63.5 mm부터 그것을 제조하고 있는 기계가 허용하는 만큼의 폭까지 범위의 폭으로 주조될 수 있다.
광폭 철계 연자성 합금의 조성은 다음 화학식 (Fe1-aMa)100-x-y-z-p-q-rCuxSiyBz M'pM"q Xr (여기서, M은 Co 및/또는 Ni이고, M'은 Nb, W, Ta, Zr, Hf, Ti 및 Mo로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, M"은 V, Cr, Mn, Al, 백금족 원소, Sc, Y, 희토류 원소, Au, Zn, Sn 및 Re로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, X는 C, Ge, P, Ga, Sb, In, Be 및 As로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, a, x, y, z, p, q 및 r은 각각 0≤a≤0.5, 0.1≤x≤3, 0≤y≤30, 1≤z≤25, 5≤y+z≤30, 0.1≤p≤30, q≤10 및 r≤10을 만족시킴)으로 나타내는 조성을 가지고, 합금은 적어도 50% 결정질이고, 100 nm 이하의 평균 입자 크기를 갖는다. 광폭 Fe계 연자성 합금의 바람직한 조성은 0≤a≤0.05, 0.8≤x≤1.1, 12≤y≤16, 6≤z≤10, 1≤p≤5, q≤1 및 r≤1을 만족시키는 것이다. 추가로, 광폭 Fe계 연자성 합금의 바람직한 조성에서, M'은 Nb 또는 Mo이다.
합금은 바람직하게는 단일 롤러 켄칭(single roller quenching)을 이용하여 제조된다. 한 실시양태에서는, 합금이 평면-유동 용융 방사 방법을 이용하여 제조되고, 평면-유동 용융 방사 방법에서는 원료를 용융시키는 것이 무코어 유도 용융 퍼네이스에서 일어나고 균일한 조성의 용융된 합금을 제조한다. 용융된 금속은 보유 퍼네이스에 이송되고, 보유 퍼네이스는 용융된 금속을 보유하고 액체를 세라믹 노즐을 통해 회전 켄칭 휠 상에 연속으로 공급한다. 켄칭 휠은 내부적으로 수냉각되어 리본으로부터 열을 제거한다. 세라믹 노즐은 용융된 금속이 노즐과 휠을 이어주는 퍼들(puddle)을 형성하기에 충분하게 회전 휠에 가깝다. 용융된 금속 퍼들로부터 연속 리본을 잡아당기고, 리본은 휠과 접촉하는 동안에 급속하게 냉각한다.
리본의 폭 방향을 가로질러서 두께의 균일성은 용융된 금속을 세라믹 노즐의 폭 방향을 따라서 균등하게 흐르게 하는 능력에 의존한다. 용융된 금속 유동 속도에 영향을 미치는 매개변수는 노즐과 휠 사이의 틈색 간격, 노즐의 폭을 따라서 슬롯 치수, 및 퍼네이스와 노즐 사이의 메탈로스태틱(metallostatic) 압력이다.
켄치 휠 표면의 열 변형은 켄치 휠이 실온으로 있는 주조 공정의 시작과 휠을 통해 열이 전도되고 있는 정상 상태 가공 사이에서 일어난다. 켄치 휠의 열 변형은 노즐과 휠 사이의 틈새 간격의 변화를 야기한다. 정상 상태에 도달하기 전 과도기 동안의 휠 열 변형을 보상하기 위해 노즐의 슬롯 개구를 변경하기 위해서 세라믹 노즐이 폭 방향을 따라서 다양한 위치에서 기계적으로 피닝(pinning)된다. 다수의 장소에서 노즐 슬롯의 기계적 피닝은 리본 폭 방향에서 균일한 용융된 금속 유동 및 균일한 두께를 유지한다. 이것은 리본 폭이 63.5 mm 초과인 것을 허용한다.
리본은 공기유동 스트리퍼(stripper)를 이용해서 휠로부터 기계적으로 제거된다. 리본은 켄칭 휠과 대략 180°의 랩(wrap) 각도를 형성하여 리본이 250℃ 미만으로 냉각하는 것을 허용한다. 켄칭 표면을 주조 동안에 연속으로 폴리싱하여 표면을 1 ㎛ 미만의 평균 거칠기 Ra로 깨끗하게 유지한다.
리본이 켄치 휠로부터 제거된 후, 기계식 스피닝 이중 엇회전 브러쉬 시스템이 리본을 포획하여 그것을 권취 스풀 상에 이송한다. 그 다음, 브러쉬 시스템이 리본을 권취 스테이션으로 이송하고, 권취 스테이션에서 리본이 회전하는 켄치 휠과 동일한 속도로 움직이는 스풀 상에 이송된다.
겨우 13 내지 20 ㎛의 두께를 갖는 리본의 두께는 켄치 휠과 권취기 사이에서의 리본의 이송 동안에 리본이 기계적으로 파단되기 쉽게 한다. 권취기로 이송 동안 리본 파단을 최소화하기 위해 초미세 와이어 브리스틀을 이용하는 변경된 이중 브러쉬 시스템이 이용된다.
또한, 13 내지 20 ㎛의 리본을 처리하기 위해 권취기 기하학적 구조가 변경된다. 권취기는 켄치 휠과 동일한 속도로 움직여야 하고, 따라서 리본이 파단되게 하는 리본 상의 임의의 비균일 힘을 방지하기 위해 권취기를 둘러싸는 공기 유동이 최소화되는 것이 바람직하다.
도 1은 본 발명의 철계 무정형 전구체 리본의 제조 방법의 개략도이고, 여기서 1은 유도 용융 퍼네이스이고, 2는 보유 퍼네이스이고, 3은 회전 켄치 휠이고, 4는 쓰레드 업 브러쉬(thread up brush)이고, 5는 권취기 및 스풀이다.
도 2는 본 발명의 노즐 슬롯 확장 조절 방법을 이용할 때의 리본의 폭 방향에서의 두께 변화의 플롯이다.
도 3은 노즐 및 주조 휠의 열 변형을 고려하지 않는 선행 기술을 이용할 때의 리본의 폭 방향에서의 두께 변화의 플롯이다.
본 발명은 도면 및 실시양태와 조합하여 더 상세하게 서술될 것이다.
나노결정질 리본의 전구체로서 주조되는 철계 무정형 합금의 조성을 위해, 원료는 순수 철, 페로붕소, 페로규소, 페로니오븀 및 순수 구리로 이루어진다. 이 원료는 바람직하게는 1400℃로 가열된 유도 퍼네이스에서 용융되고, 여기서 용융된 금속이 보유되어 정련되고 부수적 불순물이 용융물의 상부로 올라가는 것을 허용하고, 그것은 도 1의 단계 1에 나타낸 바와 같이 고체 슬래그로서 제거될 수 있다. 그 다음, 용융된 금속은 도 1의 단계 2에 나타낸 바와 같이 보유 퍼네이스에 이송된다.
용융된 금속은 보유 퍼네이스로부터 세라믹 주조 노즐을 통해 조절된 일정 압력 유동 속도로 공급된다. 노즐과 켄치 휠 사이의 거리는 바람직하게는 150 내지 300 ㎛의 거리이다. 용융된 금속 퍼들이 이 틈새를 메우고, 안정한 용융된 퍼들이 형성되고, 그로부터 금속이 고화되어 도 1의 단계 3에 나타낸 바와 같이 연속 리본이 주조된다.
리본이 켄치 휠로부터 제거되어 도 1의 단계 4에 나타낸 바와 같이 쓰레드-업 브러쉬에 포획된다. 그 다음, 도 1의 단계 5에 나타낸 바와 같이 리본이 켄치 휠 회전의 동기 속도로 권취 장치에 이송된다.
권장 주조 속도는 바람직하게는 25 내지 35 m/s이고, 28 내지 30 m/s가 더 바람직하다. 리본 두께는 바람직하게는 13 내지 20 ㎛이고, 16 내지 18 ㎛가 더 바람직하다. 폭 방향을 가로질러서 리본 두께 균일성은 바람직하게는 총 리본 두께의 +/- 15% 미만의 변화를 나타낸다. 도 2는 리본의 폭 방향을 가로질러서 1 cm 간격으로 점검된 1 cm 앙빌로 측정된 주조된 리본의 전형적인 두께를 나타낸다. 세라믹 노즐은 바람직하게는 노즐 슬롯 개구를 조절하기 위해 노즐 폭을 가로질러서 다양한 위치에서 기계적으로 클램핑되고, 이렇게 하여 그것은 켄치 휠 변형과 정합하여 평편한 리본 프로파일을 유지한다. 도 3은 노즐이 기계적으로 클램핑되지 않을 때의 유사한 주조된 리본 프로파일을 나타내고, 리본의 중심까지 폭을 가로질러서 큰 두께 변화가 일어난다.
또한, 리본 프로파일 변화를 최소화하기 위해 노즐이 켄치 휠 형상과 정합하도록 윤곽화될 수 있다. 여기서, 평편한 리본 프로파일을 유지하기 위해 노즐과 휠 사이의 틈새 높이 간격이 조절된다. 그러나, 노즐 안으로 그 형상을 윤곽화하는 데 필요한 추가되는 노동 및 기계가공 때문에 노즐을 클램핑하는 것이 바람직하다.
본 해결법의 기술적 해결책을 구현함으로써, 63.5 mm 초과의 폭의 철계 무정형 전구체 리본이 우수한 연자성 특성을 갖는 나노결정질 상태로 열 처리될 수 있다. 142 mm의 모 물질로부터 중심으로부터 및 각 가장자리로부터 20 mm 폭으로 도 2에 나타낸 리본을 슬릿팅하고 자성 시험을 위해 토로이드로 형성하였다. 리본을 퍼네이스에서 550℃에서 1 시간 동안 어닐링하여 나노결정질 상태를 유도하였다.
표 1은 불활성 분위기 오븐에서 550℃에서 어닐링된 후의 3개의 토로이드의 결과적인 평균 자성 특성 및 리본의 가장자리 부분과 중심 부분 사이의 변화를 나타낸다. 800 A/m의 인가된 장에서 평균 유도 수준은 1.2 T이고, 편차는 0.5 T이다. 보자력은 0.71 A/m이고, 편차는 0.25 A/m이다. 투자율은 1 kHz, 10 kHz 및 100 kHz 각각에서 시험할 때 104000, 75000 및 13000이고, 편차는 10000, 5000 및 3000이다.
<표 1> 본 발명의 실시양태의 주조된 폭 방향을 가로질러서 전형적인 가변성을 갖는 나노결정질 토로이드 코어의 자성 특성
Figure pat00001
표 2는 본 발명의 실시양태의 화학 조성(중량%), 리본 폭 및 두께를 나타낸다.
<표 2> 본 발명의 실시양태의 리본 화학, 폭 및 두께
Figure pat00002
표 3은 본 발명의 실시양태의 화학 조성(중량%), 리본 폭 및 두께를 나타낸다.
<표 3> 본 발명의 실시양태의 리본 화학, 폭 및 두께
Figure pat00003
표 4는 본 발명의 실시양태의 처음 단계 및 제2 단계의 화학 및 결정화 온도를 나타낸다. 전형적으로, 리본은 토로이드 코어로 권취되거나 또는 슬릿되어 특정 형상으로 적층되고, 아마도 전자 응용에서는 접착제로 함침된다. 그 다음, 코어 또는 적층된 형상을 개시 결정화 온도보다 높지만 제2 결정화 온도보다 낮은 온도에서 어닐링하여 나노결정질 상을 유도한다.
<표 4> 본 발명의 실시양태의 개시 단계 및 제2 단계의 리본 화학 및 결정화 온도
Figure pat00004

Claims (7)

  1. 단일 롤러 켄칭(single roller quenching)을 이용하여 제조된, 조성 (Fe1-aMa)100-x-y-z-p-q-rCuxSiyBzM'pM"qXr (여기서, M은 Co 및/또는 Ni이고, M'은 Nb, W, Ta, Zr, Hf, Ti 및 Mo로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, M"은 V, Cr, Mn, Al, 백금족 원소, Sc, Y, 희토류 원소, Au, Zn, Sn 및 Re로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, X는 C, Ge, P, Ga, Sb, In, Be 및 As로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, a, x, y, z, p, q 및 r은 각각 0≤a≤0.5, 0.1≤x≤3, 0≤y≤30, 1≤z≤25, 5≤y+z≤30, 0.1≤p≤30, q≤10 및 r≤10을 만족시킴)의, 나노결정질 합금의 전구체인 철계 무정형 합금으로서,
    폭이 63.5 mm 초과이고,
    두께가 13 내지 16 ㎛의 범위이고,
    상기 철계 무정형 합금의 폭 방향을 가로질러서 두께 변화가 총 두께의 +/- 15% 미만이고,
    어닐링되어 나노결정질 구조를 얻을 때 포화 자기 유도가 1.15 T 초과인,
    철계 무정형 합금.
  2. 제1항에 있어서, 적어도 2개의 결정화 사건 또는 온도를 가지며, 제1 결정화 온도와 제2 결정화 온도 사이에서 어닐링될 때 100 nm 미만의 결정질 입자 크기를 갖는 나노결정질 합금을 제공하는, 철계 무정형 합금.
  3. 제1항에 있어서, 토로이드로 권취되고 적층되고 라미네이팅된 다음 특정 형상으로 절단되거나, 또는 토로이드로 권취된 다음 63.5 mm 초과의 폭을 갖는 다른 형상으로 절단되는, 철계 무정형 합금.
  4. 제1항에 있어서, 토로이드 코어로 권취될 때, 포화 인덕터 또는 자성 스위치, 전자기 간섭 필터, 트랜스포머, 전류 센서 및 접지 고장 전류 차단 센서로서 이용되며, 이들은 폭이 63.5 mm를 초과하는 것인, 철계 무정형 합금.
  5. 조성 (Fe1-aMa)100-x-y-z-p-q-rCuxSiyBzM'pM"qXr (여기서, M은 Co 및/또는 Ni이고, M'은 Nb, W, Ta, Zr, Hf, Ti 및 Mo로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, M"은 V, Cr, Mn, Al, 백금족 원소, Sc, Y, 희토류 원소, Au, Zn, Sn 및 Re로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, X는 C, Ge, P, Ga, Sb, In, Be 및 As로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, a, x, y, z, p, q 및 r은 각각 0≤a≤0.5, 0.1≤x≤3, 0≤y≤30, 1≤z≤25, 5≤y+z≤30, 0.1≤p≤30, q≤10 및 r≤10을 만족시킴)의, 나노결정질 합금의 전구체인 철계 무정형 합금으로서,
    폭이 63.5 mm 초과이고,
    두께가 13 내지 16 ㎛의 범위이고,
    상기 철계 무정형 합금의 폭 방향을 가로질러서 두께 변화가 총 두께의 +/- 15% 미만이고,
    어닐링되어 나노결정질 구조를 얻을 때 포화 자기 유도가 1.15 T 초과인,
    철계 무정형 합금.
  6. 단일 롤러를 이용하여 켄칭하는 것
    을 포함하는, 조성 (Fe1-aMa)100-x-y-z-p-q-rCuxSiyBzM'pM"qXr (여기서, M은 Co 및/또는 Ni이고, M'은 Nb, W, Ta, Zr, Hf, Ti 및 Mo로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, M"은 V, Cr, Mn, Al, 백금족 원소, Sc, Y, 희토류 원소, Au, Zn, Sn 및 Re로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, X는 C, Ge, P, Ga, Sb, In, Be 및 As로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소이고, a, x, y, z, p, q 및 r은 각각 0≤a≤0.5, 0.1≤x≤3, 0≤y≤30, 1≤z≤25, 5≤y+z≤30, 0.1≤p≤30, q≤10 및 r≤10을 만족시킴)의, 나노결정질 합금의 전구체인 철계 무정형 합금의 제조 방법이며,
    상기 철계 무정형 합금은 63.5 mm 초과의 폭, 13 내지 16 ㎛ 범위의 두께를 갖고, 상기 철계 무정형 합금의 폭 방향을 가로질러서 두께 변화가 총 두께의 +/- 15% 미만이고, 어닐링되어 나노결정질 구조를 얻을 때 포화 자기 유도가 1.15 T 초과인, 철계 무정형 합금의 제조 방법.
  7. 제6항에 있어서, 철계 무정형 합금이 적어도 2개의 결정화 사건 또는 온도를 가지며, 제1 결정화 온도와 제2 결정화 온도 사이에서 10초 내지 4 시간 범위의 시간 동안 어닐링될 때 100 nm 미만의 결정질 입자 크기를 갖는 나노결정질 합금을 제공하는 것인, 철계 무정형 합금의 제조 방법.
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