KR20210117149A

KR20210117149A - 검사 장치 및 검사 방법

Info

Publication number: KR20210117149A
Application number: KR1020210020205A
Authority: KR
Inventors: 히로시 모리카즈
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2020-03-18
Filing date: 2021-02-16
Publication date: 2021-09-28
Also published as: CN113494993A; US20210291295A1; DE102021202379A1; JP7547060B2; US11933667B2; TW202135963A; JP2021148545A

Abstract

(과제) 레이저 광선의 가우시안 분포의 등광선을 정밀하게 검출할 수 있는 검사 장치를 제공한다.
(해결 수단) 레이저 발진기의 검사 장치는, 레이저 발진기로부터 출사된 직후의 레이저 광선을 감광시키는 감광판과, 감광판에 의해 감광된 레이저 광선을 복수의 화소로 촬상하는 촬상 유닛과, 촬상 유닛에 의해 촬상된 화상을 처리하는 처리 유닛과, 처리 유닛에 의해 처리된 화상을 표시하는 표시 유닛을 포함한다. 처리 유닛은, 레이저 광선의 강도를 구분하는 적어도 내륜과 외륜의 2개의 임계값을 가진다.

Description

검사 장치 및 검사 방법{INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD}

본 발명은, 레이저를 발진하는 레이저 발진기의 정밀도를 검사하는 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.

IC, LSI 등의 복수의 디바이스가 교차하는 복수의 분할 예정 라인에 의해 구획되어 표면에 형성된 웨이퍼는, 다이싱 장치, 레이저 가공 장치에 의해 개개의 디바이스 칩으로 분할되고, 분할된 각 디바이스 칩은 휴대 전화, 컴퓨터 등의 전기 기기에 이용된다.

레이저 가공 장치는, 웨이퍼를 유지하는 척 테이블과, 척 테이블에 유지된 웨이퍼에 레이저 광선을 조사하는 레이저 광선 조사 유닛과, 척 테이블과 레이저 광선 조사 유닛을 상대적으로 가공 이송하는 이송 기구로 대략 구성되어 있다.

레이저 광선 조사 유닛은, 피가공물에 대해 흡수성을 가지는 파장의 레이저 광선을 피가공물에 조사하여 어블레이션에 의해 피가공물의 상면에 홈 가공을 실시하는 타입(예컨대 특허문헌 1 참조)과, 피가공물에 대해 투과성을 가지는 파장의 레이저 광선의 집광점을 피가공물의 내부에 위치시키고 레이저 광선을 피가공물에 조사하여 피가공물의 내부에 개질층을 형성하는 타입(예컨대 특허문헌 2 참조)이 존재한다.

이러한 레이저 가공 장치에 있어서, 레이저 광선의 가우시안 분포의 등광선(等光線)(동일한 강도의 복수의 점을 연결한 선)을 확인하는데 있어서는 M2 측정기가 사용되고 있다.

일본 공개특허공보 평10-305420호 일본특허공보 제3408805호

그러나, M2 측정은, 집광기에 의해 집광된 스폿 형상을 관찰하는 것으로서, 레이저 광선의 가우시안 분포의 등광선을 충분한 해상도로 검출하지 못하고, 실제로 피가공물에 레이저 광선을 조사하여 미묘한 스폿 형상의 왜곡(등광선의 왜곡)을 가공 결과에 의해 알게 되는 경우가 많아, M2 측정은 참고 정도의 정밀도이고 신뢰성이 부족하다는 문제가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은, 레이저 광선의 가우시안 분포의 등광선을 고정밀도로 검출할 수 있는 검사 장치 및 검사 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 의하면, 레이저를 발진하는 레이저 발진기의 정밀도를 검사하는 검사 장치에 있어서, 상기 레이저 발진기로부터 출사된 직후의 레이저 광선을 감광시키는 감광판과, 상기 감광판에 의해 감광된 레이저 광선을 복수의 화소로 촬상하는 촬상 유닛과, 상기 촬상 유닛에 의해 촬상된 화상을 처리하는 처리 수단과, 상기 처리 수단에 의해 처리된 화상을 표시하는 표시 유닛을 구비하고, 상기 처리 수단은, 레이저 광선의 강도를 구분하는 적어도 내륜과 외륜의 2개의 임계값을 가지고, 상기 표시 유닛은 상기 내륜과 상기 외륜을 표시하는 검사 장치가 제공된다.

바람직하게는, 상기 처리 수단은, 상기 내륜의 임계값과 상기 외륜의 임계값의 사이에 적어도 중륜의 임계값을 가진다. 바람직하게는, 상기 처리 수단은 상기 내륜의 중심과 상기 외륜의 중심 또는 상기 중륜의 중심과의 어긋남량을 산출하고 상기 표시 유닛은 상기 어긋남량을 표시한다.

본 발명의 다른 측면에 의하면, 레이저를 발진하는 레이저 발진기와, 레이저 광선을 집광하는 집광기와, 상기 레이저 발진기와 상기 집광기의 사이에 배치되어 레이저 광선을 안내하는 광학계와, 상기 집광기가 집광한 레이저 광선에 의해 가공이 실시되는 피가공물을 유지하는 척 테이블을 포함한 레이저 가공 장치에 있어서의 레이저 발진기의 검사 방법에 있어서, 촬상 유닛을 상기 레이저 가공 장치의 상기 레이저 발진기와 상기 광학계의 사이에 위치시키는 촬상 유닛 위치 설정 공정과, 상기 레이저 발진기로부터 출사된 직후의 레이저 광선을 상기 촬상 유닛으로 촬상하는 촬상 공정과, 상기 촬상 유닛에 의해 촬상된 화상을 상기 처리 수단으로 처리하는 처리 공정과, 상기 처리 수단으로 처리한 화상을 표시 유닛에 표시시키고, 상기 표시 유닛에 표시시킨 화상에 의해 상기 레이저 발진기의 정밀도를 검사하는 검사 공정을 포함한 레이저 발진기의 검사 방법이 제공된다.

본 발명의 검사 장치에 의하면, 레이저 광선의 가우시안 분포의 등광선을 정밀하게 검출할 수 있다.

본 발명의 레이저 발진기의 검사 방법에 의하면, 레이저 광선의 가우시안 분포의 등광선을 정밀하게 검출할 수 있다.

도 1은 본 발명 실시형태의 검사 장치의 블록도이다.
도 2(a)는 내륜, 중륜 및 외륜의 각각의 중심이 정합하고 있는 레이저 광선의 단면 화상의 모식도이고, 도 2(b)는 내륜, 중륜 및 외륜의 각각의 중심이 어긋나 있는 레이저 광선의 단면 화상의 모식도이다.
도 3은 본 발명의 검사 방법에 의해 검사될 수 있는 레이저 가공 장치의 사시도이다.
도 4는 도 3에 나타내는 레이저 가공 장치의 주요부의 블록도이다.

이하, 본 발명의 검사 장치 및 검사 방법의 바람직한 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1을 참조하여 설명하면, 검사 장치(2)는, 레이저 발진기(4)로부터 출사된 직후의 레이저 광선(LB)을 감광시키는 감광판(6)과, 감광판(6)에 의해 감광된 레이저 광선(LB)을 복수의 화소로 촬상하는 촬상 유닛(8)과, 촬상 유닛(8)에 의해 촬상된 화상을 처리하는 처리 수단(10)과, 처리 수단(10)에 의해 처리된 화상을 표시하는 표시 유닛(12)을 구비한다.

감광판(6)으로서는, ND 필터 등의 적절한 감광 수단이 이용될 수 있다. 감광판(6)은, 예컨대, 반복 주파수가 수십 MHz 정도이고, 또한 출력이 수 mW 정도의 레이저 광선(LB)(이른바 종광(種光))을 출사하는 레이저 발진기(4)의 직후에 배치되어 있다. 즉, 레이저 발진기(4)로부터 출사된 레이저 광선(LB)은, 반복 주파수 변환 수단(도시하고 있지 않음)에 의해 주파수가 변환되기 전에, 또한 출력 증폭기(도시하고 있지 않음)에 의해 출력이 증폭되기 전에, 감광판(6)에 의해 감광되고 촬상 유닛(8)에 의해 촬상된다.

촬상 유닛(8)은, 예컨대 CCD 카메라로 좋고, 감광판(6)에 의해 감광된 레이저 광선(LB)의 단면(광축에 직교하는 단면)을 복수의 화소로 촬상한다.

처리 수단(10)은, 컴퓨터로 구성될 수 있다. 처리 수단(10)은, 제어 프로그램에 따라 연산 처리하는 중앙 처리 장치(CPU)와, 제어 프로그램 등을 저장하는 ROM(Read Only Memory)과, 연산 결과 등을 저장하는 읽고 쓰기 가능한 RAM(Random Access Memory)을 포함한다. 처리 수단(10)은 촬상 유닛(8)에 전기적으로 접속되고 있고, 촬상 유닛(8)에 의해 촬상된 레이저 광선(LB)의 광축에 직교하는 단면 화상이 처리 수단(10)에 보내진다.

처리 수단(10)은, 레이저 광선(LB)의 강도를 구분하는 적어도 내륜과 외륜의 2개의 임계값을 구비한다. 본 실시 형태의 처리 수단(10)은, 내륜의 임계값과 외륜의 임계값의 사이에 중륜의 임계값을 더 구비하고 있다. 내륜의 임계값은 중륜의 임계값 및 외륜의 임계값보다 크고, 중륜의 임계값은 외륜의 임계값보다 크다(내륜의 임계값 > 중륜의 임계값 > 외륜의 임계값). 또한, 처리 수단(10)은 3개 이상의 임계값을 구비하고 있어도 좋다.

처리 수단(10)은, 내륜, 외륜 및 중륜의 3개의 임계값에 기초하여 레이저 광선(LB)의 단면 화상을 4치화 처리하고, 레이저 광선(LB)의 강도에 따라 레이저 광선(LB)의 단면 화상을 구획한다. 도 2를 참조하는 것에 의해 이해되는 바와 같이, 처리 수단(10)은, 레이저 광선(LB)의 강도가 내륜의 임계값보다 큰 원형상의 제1 영역(R1)(흑색의 영역)과, 레이저 광선(LB)의 강도가 내륜의 임계값보다 작고 또한 중륜의 임계값보다 큰 환형의 제2 영역(R2)(연한 회색 영역)과, 레이저 광선(LB)의 강도가 중륜의 임계값보다 작고 또한 외륜의 임계값보다 큰 환형의 제3 영역(R3)(진한 회색의 영역)과, 레이저 광선(LB)의 강도가 외륜의 임계값보다 작은 제4 영역(R4)(백색의 영역)으로 레이저 광선(LB)의 단면 화상을 구획한다.

처리 수단(10)은, 4치화 처리한 레이저 광선(LB)의 단면 화상에 기초하여, 제1 영역(R1)의 면적을 산출하고, 산출한 제1 영역(R1)의 면적과 동일한 면적을 가지는 원의 직경을 산출하는 것과 함께, 제1 영역(R1)의 중심(重心)을 산출한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 처리 수단(10)은, 산출한 제1 영역(R1)의 중심(重心)을 중심(中心)(C1)으로 하여, 산출한 원(제1 영역(R1)에 상당하는 원)의 직경에 기초하여, 4치화 처리한 레이저 광선(LB)의 단면 화상에 내륜(14)을 그리는 처리를 실시한다.

또한, 처리 수단(10)은, 4치화 처리한 레이저 광선(LB)의 단면 화상에 기초하여, 제1·제2 영역(R1,R2)의 합계 면적을 산출하고, 산출한 제1·제2 영역(R1,R2)의 합계 면적과 동일한 면적을 가지는 원의 직경을 산출하는 것과 함께, 제2 영역(R2)의 중심을 산출한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 처리 수단(10)은, 산출한 제2 영역(R2)의 중심을 중심(C2)으로 하여, 산출한 원(제1·제2 영역(R1,R2)에 상당하는 원)의 직경에 기초하여, 4치화 처리한 레이저 광선(LB)의 단면 화상에 중륜(16)을 그리는 처리를 실시한다.

또한, 처리 수단(10)은, 4치화 처리한 레이저 광선(LB)의 단면 화상에 기초하여, 제1·제2·제3 영역(R1,R2,R3)의 합계 면적을 산출하고, 산출한 제1·제2·제3 영역(R1,R2,R3)의 합계 면적과 동일한 면적을 가지는 원의 직경을 산출하는 것과 함께, 제3 영역(R3)의 중심을 산출한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 처리 수단(10)은, 산출한 제3 영역(R3)의 중심을 중심(C3)으로 하여, 산출한 원(제1·제2·제3 영역(R1,R2,R3)에 상당하는 원)의 직경에 기초하여, 4치화 처리한 레이저 광선(LB)의 단면 화상에 외륜(18)을 그리는 처리를 실시한다. 이와 같이 하여 처리 수단(10)은, 레이저 광선(LB)의 등광선으로서 내륜(14), 중륜(16) 및 외륜(18)의 3개의 륜(輪)을 레이저 광선(LB)의 단면 화상에 그리는 처리를 실시한다.

본 실시 형태의 처리 수단(10)은, 내륜(14)의 중심(C1)(제1 영역(R1)의 중심)과, 외륜(18)의 중심(C3)(제3 영역(R3)의 중심) 또는 중륜(16)의 중심(C2)(제2 영역(R2)의 중심)과의 어긋남량을 산출한다. 처리 수단(10)은, 내륜(14)의 중심(C1)과, 중륜(16)의 중심(C2) 또는 외륜(18)의 중심(C3)과의 어긋남량이 소정치 이하(예컨대 외륜(18)의 직경의 5% 이하)인 경우에는 레이저 발진기(4)의 사용이 허용되고, 어긋남량이 소정치를 초과하는 경우에는 레이저 발진기(4)의 사용이 허용되지 않는 것을 판정하도록 되어 있어도 좋다. 또한, 도 2(a)에는, 내륜(14), 중륜(16) 및 외륜(18)의 각각의 중심(C1,C2,C3)이 정합하고 있는 레이저 광선(LB)의 단면 화상의 모식도가 나타나고 있고, 도 2(b)에는, 내륜(14), 중륜(16) 및 외륜(18)의 각각의 중심(C1,C2,C3)이 어긋나 있고, 또한 내륜(14)의 중심(C1)과 외륜(18)의 중심(C3)과의 어긋남량이 상기 소정치를 초과하고 있는 경우의 레이저 광선(LB)의 단면 화상의 모식도가 나타나고 있다.

표시 유닛(12)은, 액정 화면 등을 가지는 표시 장치로 구성될 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 표시 유닛(12)은, 처리 수단(10)에 전기적으로 접속되고 있고, 처리 수단(10)에 의해 처리된 레이저 광선(LB)의 단면 화상이 표시 유닛(12)에 보내진다.

표시 유닛(12)은, 처리 수단(10)에 의해 처리된 레이저 광선(LB)의 단면 화상과 함께 적어도 내륜(14)과 외륜(18)을 표시한다. 본 실시 형태의 표시 유닛(12)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 추가적으로 중륜(16)을 표시하는 것과 함께, 내륜(14), 중륜(16) 및 외륜(18)의 각각의 중심(C1,C2,C3)을 표시하도록 되어 있다.

표시 유닛(12)은, 처리 수단(10)이 구한 어긋남량이나, 레이저 발진기(4)의 사용이 허용되는지 아닌지에 관한 처리 수단(10)의 판정 결과 등을 표시하도록 되어 있어도 좋다. 표시 유닛(12)이 표시하는 어긋남량은, 내륜(14)의 중심(C1)과 외륜(18)의 중심(C3)과의 어긋남량이어도 좋고, 내륜(14)의 중심(C1)과 중륜(16)의 중심(C2)과의 어긋남량이어도 좋다.

다음에, 상술한 바와 같은 검사 장치(2)를 이용하는 검사 방법에 대해 설명한다.

도 3에는, 검사 장치(2)를 이용한 검사 방법이 실시될 수 있는 레이저 가공 장치(20)가 나타나고 있고, 도 4에는, 레이저 가공 장치(20)의 블록도가 나타나고 있다. 레이저 가공 장치(20)는, 레이저 광선(LB)을 출사하는 레이저 발진기(22)(도 4 참조)와, 레이저 광선(LB)을 집광하는 집광기(24)(도 3 및 도 4 참조)와, 레이저 발진기(22)와 집광기(24)의 사이에 배치되어 레이저 광선(LB)을 안내하는 광학계(26)(도 4 참조)와, 집광기(24)가 집광한 레이저 광선(LB)에 의해 가공이 실시되는 피가공물(W)을 유지하는 유지 유닛(28)(도 3 및 도 4 참조)을 포함한다.

도 3에 도시된 바와 같이, 레이저 가공 장치(20)는, 베이스(30)와, 베이스(30)의 상면으로부터 상방으로 연장하고 이어서 실질상 수평으로 연장하는 하우징(32)을 구비한다. 레이저 발진기(22) 및 광학계(26)는 하우징(32) 내에 배치되고, 집광기(24)는 하우징(32)의 선단 하면에 배치되어 있다. 또한, 하우징(32)의 선단 하면에는, 유지 유닛(28)에 유지된 피가공물(W)을 촬상하여 레이저 가공해야 할 영역을 검출하기 위한 카메라(34)가 장착되어 있다.

레이저 발진기(22)는, 예컨대, 반복 주파수가 수십 MHz 정도이고, 또한 출력이 수 mW 정도의 레이저 광선(LB)(이른바 종광)을 출사한다. 광학계(26)는, 레이저 발진기(22)로부터 출사된 레이저 광선(LB)의 반복 주파수를 적절한 반복 주파수(예컨대 수백 kHz 정도)로 변환하는 반복 주파수 변환 수단(도시하고 있지 않음)과, 레이저 발진기(22)로부터 출사된 레이저 광선(LB)의 출력을 적절한 출력(예를 들면 수십 W 정도)으로 증폭하는 출력 증폭기(도시하고 있지 않음)와, 출력 증폭기에 의해 증폭된 레이저 광선(LB)의 출력을 적절한 출력으로 조정하는 출력 조정 수단(도시하고 있지 않음)과, 레이저 발진기(22)로부터 출사된 레이저 광선(LB)의 파장을 적절한 파장으로 변환하는 파장 변환 수단(도시하고 있지 않음)을 가진다. 그리고, 도 4에 도시된 바와 같이, 레이저 발진기(22)로부터 출사된 레이저 광선(LB)은, 광학계(26)에 의해 적절한 주파수, 출력 및 파장으로 변환된 후, 미러(36)로 반사되어 집광기(24)에 안내되고, 집광기(24)에서 집광되어 피가공물(W)에 조사된다.

도 3을 참조하여 설명하면, 유지 유닛(28)은, 화살표 X로 나타내는 X축 방향으로 이동 가능하게 베이스(30)에 탑재된 X축 가동판(38)과, X축 방향에 직교하는 Y축 방향(화살표 Y로 나타내는 방향)으로 이동 가능하게 X축 가동판(38)에 탑재된 Y축 가동판(40)과, Y축 가동판(40)의 상면에 고정된 지주(42)와, 지주(42)의 상단에 고정된 커버판(44)을 포함한다. 또한, X축 방향 및 Y축 방향이 규정하는 XY 평면은 실질상 수평이다.

커버판(44)에는 Y축 방향으로 연장하는 긴 구멍(44a)이 형성되고, 긴 구멍(44a)을 지나 상방으로 연장하는 척 테이블(46)이 지주(42)의 상단에 회전 가능하게 탑재되어 있다. 척 테이블(46)은, 지주(42)에 내장된 회전 유닛(도시하고 있지 않음)에 의해 회전된다. 척 테이블(46)의 상단 부분에는, 흡인 수단(도시하고 있지 않음)에 접속된 다공질의 원형의 흡착척(48)이 배치되고, 척 테이블(46)에 있어서는, 흡인 수단으로 흡착척(48)의 상면에 흡인력을 생성하는 것에 의해, 흡착척(48)의 상면에 재치된 피가공물(W)을 흡인 유지한다. 또한, 척 테이블(46)의 주연부에는, 원주 방향으로 간격을 두고 복수의 클램프(50)가 배치되어 있다.

유지 유닛(28)은, X축 가동판(38)에 연결되고 X축 방향으로 연장하는 볼 나사(52)와, 볼 나사(52)를 회전시키는 모터(54)를 가지는 X축 이송 기구(56)에 의해, 베이스(30) 상의 안내 레일(30a)을 따라 X축 방향으로 가공 이송된다. 또한, 유지 유닛(28)은, Y축 가동판(40)에 연결되고 Y축 방향으로 연장하는 볼 나사(58)와, 볼 나사(58)를 회전시키는 모터(60)를 가지는 Y축 이송 기구(62)에 의해, X축 가동판(38) 상의 안내 레일(38a)을 따라 Y축 방향으로 인덱싱 이송된다.

상술한 검사 장치(2)를 이용하여 레이저 가공 장치(20)의 레이저 발진기(22)의 정밀도를 검사할 때는, 우선, 검사 장치(2)의 감광판(6) 및 촬상 유닛(8)을 레이저 가공 장치(20)의 레이저 발진기(22)와 광학계(26)의 사이에 위치시키는 촬상 유닛 위치 설정 공정을 실시한다.

촬상 유닛 위치 설정 공정을 실시한 후, 레이저 가공 장치(20)의 레이저 발진기(22)로부터 출사된 직후의 레이저 광선(LB)을 촬상 유닛(8)으로 촬상하는 촬상 공정을 실시한다. 촬상 공정에 있어서 촬상 유닛(8)이 촬상하는 레이저 광선(LB)은 감광판(6)에 의해 감광된 레이저 광선(LB)이다. 또한, 촬상 유닛(8)이 촬상하는 레이저 광선(LB)의 단면의 직경은, 예컨대 5~6 mm 정도이다.

촬상 공정을 실시한 후, 촬상 유닛(8)에 의해 촬상된 화상을 처리 수단(10)으로 처리하는 처리 공정을 실시한다.

처리 공정에서는, 우선, 내륜(14), 중륜(16) 및 외륜(18)의 3개의 임계값에 기초하여 레이저 광선(LB)의 단면 화상을 4치화 처리하고, 레이저 광선(LB)의 강도에 따라 레이저 광선(LB)의 단면 화상을 제1 내지 제4 영역(R1,R2,R3,R4)의 4개의 영역으로 처리 수단(10)에 의해 구획한다. 그 다음에, 4치화 처리한 레이저 광선(LB)의 단면 화상에 내륜(14), 중륜(16) 및 외륜(18)을 그리는 처리를 처리 수단(10)에 의해 실시한다. 그 다음에, 내륜(14)의 중심(C1)과 외륜(18)의 중심(C3) 또는 중륜(16)의 중심(C2)과의 어긋남량을 처리 수단(10)에 의해 산출한다.

처리 공정을 실시한 후, 처리 수단(10)으로 처리한 화상을 표시 유닛(12)에 표시시키는 것과 함께, 표시 유닛(12)에 표시시킨 화상에 의해 레이저 가공 장치(20)의 레이저 발진기(22)의 정밀도를 검사하는 검사 공정을 실시한다.

검사 공정에서는, 처리 수단(10)으로 처리한 레이저 광선(LB)의 단면 화상과 함께, 내륜(14)의 중심(C1)과 외륜(18)의 중심(C3) 또는 중륜(16)의 중심(C2)과의 어긋남량을 표시 유닛(12)에 표시시키고, 표시 유닛(12)에 표시시킨 화상을 확인하는 것에 의해, 레이저 발진기(22)의 사용을 허용하는지 아닌지를 판정한다. 레이저 발진기(22)의 사용 허락 여부의 판정에 있어서는, 어긋남량이 소정치 이하(예컨대 외륜(18)의 직경의 5% 이하)인 경우에는, 레이저 발진기(22)의 사용을 허용하고, 어긋남량이 소정치를 초과하는 경우에는 레이저 발진기(22)의 사용을 허용하지 않는다고 할 수 있다. 또한, 레이저 발진기(22)의 사용을 허용하지 않는 경우에는, 레이저 발진기(22)의 교환 이외에, 주파수 변환 수단, 출력 증폭기 또는 파장 변환 수단의 교환, 삭제 또는 추가 등을 실시한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 레이저 광선(LB)의 등광선으로서 내륜(14), 중륜(16) 및 외륜(18)이 표시 유닛(12)에 표시됨과 함께, 내륜(14)의 중심(C1)과 외륜(18)의 중심(C3) 또는 중륜(16)의 중심(C2)과의 어긋남량이 표시 유닛(12)에 표시되기 때문에, 레이저 광선(LB)의 가우시안 분포의 등광선을 정밀하게 검출할 수 있어, 레이저 발진기(22)의 정밀도를 검사할 수 있다.

2: 검사 장치 4: 레이저 발진기
6: 감광판 8: 촬상 유닛
10: 처리 수단 12: 표시 유닛
14: 내륜 16: 중륜
18: 외륜 20: 레이저 가공 장치
22: 레이저 발진기 24: 집광기
26: 광학계 28: 유지 유닛
LB: 레이저 광선

Claims

레이저를 발진하는 레이저 발진기의 정밀도를 검사하는 검사 장치에 있어서,
상기 레이저 발진기로부터 출사된 직후의 레이저 광선을 감광시키는 감광판과,
상기 감광판에 의해 감광된 레이저 광선을 복수의 화소로 촬상하는 촬상 유닛과,
상기 촬상 유닛에 의해 촬상된 화상을 처리하는 처리 수단과,
상기 처리 수단에 의해 처리된 화상을 표시하는 표시 유닛을 구비하고,
상기 처리 수단은, 레이저 광선의 강도를 구분하는 적어도 내륜과 외륜의 2개의 임계값을 가지고, 상기 표시 유닛은 상기 내륜과 상기 외륜을 표시하는 검사 장치.
제1항에 있어서,
상기 처리 수단은, 상기 내륜의 임계값과 상기 외륜의 임계값의 사이에 적어도 중륜의 임계값을 가지는 검사 장치.
제2항에 있어서,
상기 처리 수단은 상기 내륜의 중심과 상기 외륜의 중심 또는 상기 중륜의 중심과의 어긋남량을 산출하고, 상기 표시 유닛은 상기 어긋남량을 표시하는 검사 장치.
레이저를 발진하는 레이저 발진기와, 레이저 광선을 집광하는 집광기와, 상기 레이저 발진기와 상기 집광기의 사이에 배치되어 레이저 광선을 안내하는 광학계와, 상기 집광기가 집광한 레이저 광선에 의해 가공이 실시되는 피가공물을 유지하는 척 테이블을 포함한 레이저 가공 장치에 있어서의 레이저 발진기의 검사 방법에 있어서,
촬상 유닛을 상기 레이저 가공 장치의 상기 레이저 발진기와 상기 광학계의 사이에 위치시키는 촬상 유닛 위치 설정 공정과,
상기 레이저 발진기로부터 출사된 직후의 레이저 광선을 상기 촬상 유닛으로 촬상하는 촬상 공정과,
상기 촬상 유닛에 의해 촬상된 화상을 상기 처리 수단으로 처리하는 처리 공정과,
상기 처리 수단으로 처리한 화상을 표시 유닛에 표시시키고, 상기 표시 유닛에 표시시킨 화상에 의해 상기 레이저 발진기의 정밀도를 검사하는 검사 공정
을 포함하는 레이저 발진기의 검사 방법.