KR20210099570A - 검사 장치, 검사 방법 및 검사 장치용 프로그램 - Google Patents

Abstract

다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로 A1, A2가 병렬 접속된 검사 대상부 A의 검사를 행하는 검사 방법이며, 미리 설정된 제1 전류값 Ia의 전류를 상기 양단 간에 흘리면서, 상기 양단 간의 전압을 제1 전압값 Va로 하여 측정하는 측정 처리 공정을 포함하고, 제1 전류값 Ia는, 정상인 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값 이하이다.

Description

검사 장치, 검사 방법 및 검사 장치용 프로그램

본 발명은, 도전로를 검사하기 위한 검사 장치, 검사 방법 및 검사 장치용 프로그램에 관한 것이다.

종래부터, 회로 기판에 마련된 검사 대상의 배선 등에 측정 전류를 흘리고, 당해 검사 대상에 발생한 전압을 측정함으로써 그 전류값과 전압값으로부터 당해 검사 대상의 저항값을 측정하는 기판 검사 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조.).

일본 특허 공개 제2012-117991호 공보

그런데, 기판에 부품이 실장된 상태의 회로 기판, 기판에 부품이 내장된 부품 내장 기판, 혹은 회로가 형성된 반도체 기판 등을 검사하는 경우가 있다. 이러한 경우, 다이오드나, 다이오드와 마찬가지의 다이오드 특성을 발생하는 복수의 전류 경로가 병렬 접속되는 경우가 있다.

예를 들어 통상의 도체 패턴이 2개 병렬 접속되어 있는 경우에, 상술한 기판 검사 장치로 이 병렬 회로의 저항값을 측정하면, 2개 중 1개가 단선되면, 저항값이 2배가 된다. 따라서, 병렬 접속된 2개의 도체 패턴 중 1개가 단선되면, 저항값에 기초하여 단선을 검지할 수 있다.

그러나, 다이오드는, 전류와 전압의 관계가 비선형이고, 병렬 접속된 2개의 다이오드 중 1개가 단선된 경우에도, 저항 측정을 위하여 흘린 전류에 대하여 발생하는 전압은, 거의 변화하지 않는다.

그 때문에, 복수의 다이오드가 병렬 접속되어 있는 경우, 이것을 상술한 기판 검사 장치로 검사하면, 일부의 다이오드가 단선되어도, 단선을 검지하기 어렵다고 하는, 문제가 있었다.

본 발명의 목적은, 복수의 다이오드가 병렬 접속된 검사 대상의 검사가 용이한 검사 장치, 검사 방법 및 검사 장치용 프로그램을 제공하는 것이다.

본 발명의 일례에 관한 검사 장치는, 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하기 위한 검사 장치이며, 전류를 공급 가능한 전류 공급부와, 전압을 측정 가능한 전압 측정부와, 미리 설정된 제1 전류값의 전류를 상기 전류 공급부에 의해 상기 양단 간에 흐르게 하면서, 상기 양단 간의 전압을 상기 전압 측정부에 의해 제1 전압값으로 하여 측정시키는 측정 처리부를 구비하고, 상기 제1 전류값은, 정상인 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값 이하이다.

또한, 본 발명의 일례에 관한 검사 장치는, 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하기 위한 검사 장치이며, 전압을 출력 가능한 전압 공급부와, 전류를 측정 가능한 전류 측정부와, 실질적으로 상기 온 전압 이하로 미리 설정된 제1 전압값의 전압을 상기 전압 공급부에 의해 상기 검사 대상부의 양단 간에 인가시키면서, 상기 양단 간에 흐르는 전류를 상기 전류 측정부에 의해 제1 전류값으로 하여 측정시키는 측정 처리부를 구비한다.

또한, 본 발명의 일례에 관한 검사 방법은, 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하는 검사 방법이며, 미리 설정된 제1 전류값의 전류를 상기 양단 간에 흘리면서, 상기 양단 간의 전압을 제1 전압값으로 하여 측정하는 측정 처리 공정을 포함하고, 상기 제1 전류값은, 정상인 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값 이하이다.

또한, 본 발명의 일례에 관한 검사 방법은, 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하는 검사 방법이며, 실질적으로 상기 온 전압 이하로 미리 설정된 제1 전압값의 전압을 상기 검사 대상부의 양단 간에 인가하면서, 상기 양단 간에 흐르는 전류를 제1 전류값으로 하여 측정하는 측정 처리 공정을 포함한다.

또한, 본 발명의 일례에 관한 검사 장치는, 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하기 위한 검사 장치이며, 전류 또는 전압 중 한쪽을, 값을 다르게 하면서 복수회, 상기 검사 대상부의 양단 간에 공급하고, 상기 한쪽이 공급되는 각 기간 중에 상기 양단 간에 있어서의 상기 전류 또는 전압 중 다른 쪽을 측정하고, 당해 측정된 상기 다른 쪽의 변화에 기초하여 상기 검사 대상부가 온하는 상기 전류를 취득하는 측정 처리부와, 상기 측정 처리부에 의해 취득된 상기 전류에 기초하여 상기 검사 대상부의 양부를 판정하는 판정부를 구비한다.

또한, 본 발명의 일례에 관한 검사 방법은, 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하기 위한 검사 방법이며, 전류 또는 전압 중 한쪽을, 값을 다르게 하면서 복수회, 상기 검사 대상부의 양단 간에 공급하고, 상기 한쪽이 공급되는 각 기간 중에 상기 양단 간에 있어서의 상기 전류 또는 전압 중 다른 쪽을 측정하고, 당해 측정된 상기 다른 쪽의 변화에 기초하여 상기 검사 대상부가 온하는 상기 전류를 취득하는 측정 처리 공정과, 상기 측정 처리부에 의해 취득된 상기 전류에 기초하여 상기 검사 대상부의 양부를 판정하는 판정 공정을 포함한다.

또한, 본 발명의 일례에 관한 검사 장치용 프로그램은, 상술한 검사 장치를 동작시키기 위한 검사 장치용 프로그램이며, 컴퓨터를, 상기 측정 처리부로서 기능시킨다.

도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 검사 방법을 사용하는 검사 장치의 구성의 일례를 도시하는 블록도이다.
도 2는, 검사 대상부의 다른 예를 도시하는 개념도이다.
도 3은, 검사 대상부에 순방향으로 전류를 흘렸을 경우의 전류-전압 특성의 일례를 도시하는 그래프이다.
도 4는, 도 1에 도시하는 온 전압 탐색부의 동작의 일례를 도시하는 흐름도이다.
도 5는, 도 1에 도시하는 온 전압 탐색부의 동작의 일례를 도시하는 흐름도이다.
도 6은, 측정 정보의 일례를 도시하는 설명도이다.
도 7은, 기울기와 비의 일례를 도시하는 설명도이다.
도 8은, 도 1에 도시하는 측정 처리부 및 판정부에 의한 검사 방법의 일례를 도시하는 흐름도이다.
도 9는, 전류 경로가 3개 병렬 접속된 검사 대상부에 순방향으로 전류를 흘렸을 경우의 전류-전압 특성의 일례를 도시하는 그래프이다.
도 10은, 도 1에 도시하는 검사 장치의 다른 일례를 도시하는 블록도이다.
도 11은, 제2 실시 형태에 따른 검사 장치의 구성 일례를 도시하는 블록도이다.
도 12는, 도 11에 도시하는 기준 기울기 취득부의 동작의 일례를 도시하는 흐름도이다.
도 13은, 도 11에 도시하는 기준 기울기 취득부, 측정 처리부 및 판정부의 동작을 설명하기 위한 설명도이다.
도 14는, 도 11에 도시하는 측정 처리부 및 판정부의 동작의 일례를 도시하는 흐름도이다.
도 15는, 도 11에 도시하는 기준 기울기 취득부, 측정 처리부 및 판정부의 동작을 설명하기 위한 설명도이다.
도 16은, 제3 실시 형태에 따른 측정 처리부 및 판정부의 동작의 일례를 도시하는 흐름도이다.
도 17은, 제3 실시 형태에 따른 측정 처리부 및 판정부의 동작의 일례를 도시하는 흐름도이다.
도 18은, 제3 실시 형태에 따른 측정 처리부 및 판정부의 동작을 설명하기 위한 설명도이다.
도 19는, 제3 실시 형태에 따른 측정 처리부 및 판정부의 동작의 변형예를 도시하는 흐름도이다.
도 20은, 제3 실시 형태에 따른 측정 처리부 및 판정부의 동작을 설명하기 위한 설명도이다.

이하, 본 발명에 관한 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서 동일한 부호를 붙인 구성은, 동일한 구성인 것을 나타내고, 그 설명을 생략한다.

(제1 실시 형태)

도 1에 도시하는 검사 장치(1)는, 전류 공급부(2), 전압 측정부(3), 전류 측정부(4), 프로브 Pr1, Pr2 및 제어부(5)를 구비하고 있다. 검사 장치(1)는, 기판의 검사를 행하는 기판 검사 장치여도 되고, 반도체 웨이퍼 등의 검사를 행하는 반도체 검사 장치여도 된다. 도 1에서는, 검사 대상의 회로 기판(100)에, 검사 장치(1)의 프로브 Pr1, Pr2를 접촉시킨 상태를 도시하고 있다.

회로 기판(100)은, 예를 들어 배선 기판(101)과, 배선 기판(101)의 표면에 실장된 부품(102)을 구비하고 있다. 배선 기판(101)은, 소위 프린트 배선 기판이다. 배선 기판(101)의 표면에는, 배선 패턴 W1 내지 W8이 형성되어 있다.

배선 기판(101)은, 예를 들어 프린트 배선 기판, 필름 캐리어, 플렉시블 기판, 세라믹 다층 배선 기판, 반도체 칩 및 반도체 웨이퍼 등의 반도체 기판, 반도체 패키지용의 패키지 기판, 액정 디스플레이나 플라스마 디스플레이용의 전극판, 및 이들의 기판을 제조하는 과정의 중간 기판이나, 소위 캐리어 기판이어도 된다. 또한, 회로 기판(100)은, 예를 들어 부품 내장 기판이어도 되고, 예를 들어 반도체 기판에 반도체 프로세스에 의해 회로 소자가 형성된 것이어도 된다. 검사 장치(1)의 검사 대상은, 기판이어도 되고, 반도체 웨이퍼, 반도체 소자 등이어도 된다. 배선 기판(101)에는, 검사 대상으로 되는 검사 대상부 A가 마련되어 있다.

부품(102)은, 다이오드 D1, D2와, 단자 T1 내지 T4를 구비하고 있다. 다이오드 D1의 애노드는 단자 T1에 접속되고, 캐소드는 단자 T2에 접속되어 있다. 다이오드 D2의 애노드는 단자 T3에 접속되고, 캐소드는 단자 T4에 접속되어 있다. 다이오드 D1, D2는, 예를 들어 반도체 집적 회로(IC: Integrated Circuit)에 내장된 보호 다이오드여도 된다.

부품(102)은, 예를 들어 반도체 집적 회로, 반도체 소자, 다이오드 소자, 다이오드 어레이, LED(Light Emitting Diode) 등, 여러가지 부품이면 된다. 다이오드는, 순방향으로 인가된 전압을 점차 상승시킨 경우에, 어떤 전압에서 흐르는 전류가 급격하게 증가하는 특성을 갖는다. 이 전류가 급격하게 증가하는 전압을, 온 전압이라고 칭한다.

부품(102)은, 다이오드와 마찬가지의, 온 전압을 초과하는 전압이 인가된 경우에 흐르는 전류가 급격하게 증가하는 비선형의 특성(이하, 다이오드 특성이라고 칭한다)을 갖고 있으면 되고, 반드시 다이오드 그 자체가 아니어도 된다. 도 1에서는, 단일의 부품(102)이 2개의 다이오드 D1, D2를 구비하는 예를 나타냈지만, 다이오드 D1, D2는, 각각 개별의 부품이어도 된다. 예를 들어 다이오드 D1과 다이오드 D2는, 각각 별개의 IC 등에 포함되어 있고, 외부 배선에 의해 병렬 접속되어 있어도 된다. 또한, 다이오드의 수는 3개 이상이어도 된다.

또한, 다이오드 D1, D2는, 의도적으로 다이오드 소자로서 형성된 것에 제한되지 않는다. 다이오드 D1, D2는, 반도체 소자의 보호 다이오드, 기생 다이오드 등이어도 되고, 배선의 접합 부분의 산화 피막이나 이종 재료의 접합에 의해 다이오드 특성을 발생하는 것이어도 되고, 부품으로서 배선 기판(101)에 설치되는 예에 제한되지 않는다.

배선 패턴 W1 내지 W4의 일단에는, 패드 Pa1 내지 Pa4가 형성되어 있다. 패드 Pa1은 단자 T1과, 패드 Pa2는 단자 T2와, 패드 Pa3은 단자 T3과, 패드 Pa4는 단자 T4와 각각 접속되어 있다. 배선 패턴 W1의 타단과 배선 패턴 W3의 타단은 배선 패턴 W5에 의해 연결되고, 배선 패턴 W2의 타단과 배선 패턴 W4의 타단은 배선 패턴 W6에 의해 연결되어 있다. 배선 패턴 W5로부터는 배선 패턴 W7이 연장되고, 배선 패턴 W7의 선단에 패드 Pa5가 마련되어 있다. 배선 패턴 W6으로부터는 배선 패턴 W8이 연장되고, 배선 패턴 W8의 선단에 패드 Pa6이 마련되어 있다.

이에 의해, 배선 패턴 W1, 다이오드 D1 및 배선 패턴 W2가 직렬 접속된 전류 경로 A1이 형성되고, 배선 패턴 W3, 다이오드 D2 및 배선 패턴 W4가 직렬 접속된 전류 경로 A2가 형성되어 있다. 전류 경로 A1, A2는, 다이오드 특성을 갖는 전류 경로의 일례에 상당하고 있다. 전류 경로 A1, A2는, 배선 패턴 W5, W6에 의해 병렬 접속되어 있다.

패드 Pa5로부터 패드 Pa6에 이르는 회로 부분이 검사 대상부 A로 되어 있다. 본 실시 형태에서는, 검사 장치(1)의 검사 대상인 검사 대상부 A를, 패드 Pa5와 패드 Pa6 간에 마련한 회로로 한다. 즉, 검사 대상부 A의 일단이 패드 Pa5, 타단이 패드 Pa6으로 되어 있다. 또한, 다이오드 D1, D2가 반도체 집적 회로에 내장되어 있는 경우, 다이오드 D1, D2는, 반도체 집적 회로 내에서 병렬 접속되어 있어도 된다.

프로브 Pr1, Pr2는, 도시 생략의 이동 기구에 의해 이동되고, 미리 검사점으로서 설정된 패드 Pa5, Pa6에 접촉된다. 또한, 검사 장치(1)는, 예를 들어 다침상으로 보유 지지된 몇백 내지 몇천 정도의 프로브를 구비하는 구성이어도 된다. 그리고, 그 다침상의 프로브 중에서 도시 생략의 전환 회로에 의해 프로브 Pr1, Pr2가 선택되고, 그 프로브 Pr1, Pr2가 전류 공급부(2), 전압 측정부(3) 및 전류 측정부(4)와 접속되는 구성이어도 된다. 또한, 프로브 Pr1, Pr2는, 각각 임의로 위치 이동 가능한 소위 플라잉 프로브여도 된다.

도 2는, 반도체 집적 회로(103)에 내장된 2개의 다이오드가 반도체 집적 회로(103) 내에서 병렬 접속되어 있는 경우의 일례를 도시하고 있다. 도 2에서는, 입출력 포트의 일례로서, 입력 포트 주변의 회로를 반도체 집적 회로(103)로서 도시하고 있다. 반도체 집적 회로(103)는, 입력 버퍼(104), 보호 다이오드 D3 내지 D6, 신호 입력 단자 T5, 전원 단자 V+ 및 전원 단자 V-를 구비하고 있다.

입력 버퍼(104)의 입력 단자는, 신호 입력 단자 T5, 보호 다이오드 D3, D4의 애노드 및 보호 다이오드 D5, D6의 캐소드에 접속되어 있다. 보호 다이오드 D3, D4의 캐소드는 전원 단자 V+에 접속되고, 보호 다이오드 D5, D6의 애노드는 전원 단자 V-에 접속되어 있다. 신호 입력 단자 T5, 전원 단자 V+, 전원 단자 V-는, 예를 들어 IC 소켓 또는 기판 등에 마련된 패드 Pa7, Pa8, Pa9와 각각 접속되어 있다.

패드 Pa7로부터 패드 Pa8에 이르는 회로부를 검사 대상부 B로 한 경우, 패드 Pa7에 프로브 Pr1을 맞닿게 하고, 패드 Pa8에 프로브 Pr2를 맞닿게 해서 검사 장치(1)를 동작시키면 된다. 패드 Pa9로부터 패드 Pa7에 이르는 회로부를 검사 대상부 C로 한 경우, 도 2에 괄호 쓰기로 나타낸 바와 같이, 패드 Pa9에 프로브 Pr1을 맞닿게 하고, 패드 Pa7에 프로브 Pr2를 맞닿게 해서 검사 장치(1)를 동작시키면 된다. 또한, 프로브 Pr1, Pr2는, 신호 입력 단자 T5, 전원 단자 V+, V-에 직접 맞닿게 해도 된다. 프로브 Pr1, Pr2는, 물리적으로 이동시킬 필요는 없고, 후술하는 바와 같이, 전환 회로 등을 사용하여 그 접속 관계를 변경하면 된다.

전류 공급부(2)는, 예를 들어 정전류 회로를 사용하여 구성되어 있다. 전류 공급부(2)의 정극은 프로브 Pr1에 접속되고, 전류 공급부(2)의 부극은 프로브 Pr2에 접속되어 있다. 이에 의해, 전류 공급부(2)는, 다이오드 D1, D2에 대하여 제어부(5)로부터의 제어 신호에 따른 순방향 전류를 공급한다.

전압 측정부(3)는, 소위 전압계이고, 예를 들어 아날로그/디지털 컨버터와 분압 회로 등을 사용하여 구성되어 있다. 전압 측정부(3)는, 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압, 즉 프로브 Pr1, Pr2가 접촉하는 검사 대상부 A의 양단 간의 전압을 측정하고, 그 측정 전압을 나타내는 신호를 제어부(5)에 출력한다.

전류 측정부(4)는, 소위 전류계이고, 예를 들어 아날로그/디지털 컨버터, 션트 저항, 홀 소자 등을 사용하여 구성되어 있다. 전류 측정부(4)는, 프로브 Pr1, Pr2 간에 흐르는 전류, 즉 프로브 Pr1, Pr2가 접촉하는 검사 대상부 A에 흐르는 전류를 측정하고, 그 측정 전류를 나타내는 신호를 제어부(5)로 출력한다.

제어부(5)는, 소위 마이크로컴퓨터이고, 예를 들어 소정의 연산 처리를 실행하는 CPU(Central Processing Unit), 일시적으로 데이터를 기억하는 RAM(Random Access Memory) 및 불휘발성의 플래시 메모리나 HDD(Hard Disk Drive) 등을 포함하는 기억부(54), 및 이들의 주변 회로 등을 구비한다. 기억부(54)에는, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 검사 장치용 프로그램이 미리 기억되어 있다. 그리고, 제어부(5)는, 기억부(54)에 기억된 검사 장치용 프로그램을 실행함으로써, 측정 처리부(51), 판정부(52) 및 온 전압 탐색부(53)로서 기능한다.

측정 처리부(51)는, 미리 설정된 제1 전류값 Ia의 전류를, 전류 공급부(2)에 의해 프로브 Pr1, Pr2 간에 흐르게 하면서, 전압 측정부(3)에 의해, 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압을 제1 전압값 Va로 하여 측정시킨다. 제1 전류값 Ia는, 정상인 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이, 실질적으로 온 전압이 되는 전류값인 기준 전류값 IS 이하로 미리 설정되어 있다. 측정 처리부(51)는, 전류 측정부(4)에 의해 측정되는 전류값이 제1 전류값 Ia와 동등해지도록 전류 공급부(2)를 제어함으로써, 전류 공급부(2)로부터 제1 전류값 Ia의 전류를 출력시켜도 된다.

또한, 실질적으로 온 전압이 되는 전류값이란, 측정 오차나 변동 정도의 차이를 허용하는 취지이다. 제1 전류값 Ia는, 정확하게 온 전압이 되는 전류값에 대하여, 예를 들어 -10％ 내지 +10％ 정도의 범위 내의 값이어도 된다.

판정부(52)는, 전압 측정부(3)에 의해 측정된 제1 전압값 Va에 기초하여, 검사 대상부 A의 양부를 판정한다.

온 전압 탐색부(53)는, 검사 대상의 회로 기판(100)과는 다른, 회로 기판(100)의 기준 샘플로부터 검사 대상부 A의 온 전압 Von을 탐색한다. 기준 샘플의 온 전압 Von은, 판정부(52)의 판정 기준 및 제1 전류값 Ia를 결정하기 위하여 사용된다.

온 전압 탐색부(53)는, 전류 공급부(2)에 의해, 전류값을 다르게 하면서 복수회, 프로브 Pr1, Pr2 간에 전류를 흐르게 한다. 그리고 온 전압 탐색부(53)는, 각 전류가 흐르는 각 기간 중에, 전압 측정부(3)에 의해 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압을 측정시켜, 당해 측정된 복수의 전압의 변화에 기초하여 검사 대상부 A의 온 전압 Von을 탐색한다.

이어서, 상술한 바와 같이 구성된 검사 장치(1)의 동작에 대해서, 도 3 내지 도 5를 참조하면서, 설명한다. 도 3에 도시하는 그래프 G1은, 검사 대상부 A가 정상인 경우, 그래프 G2는, 전류 경로 A1, A2 중 어느 한쪽이 단선되어 있는 경우의 그래프를 나타내고 있다. 이하, 다이오드 D1과 다이오드 D2의 특성은 대략 동등한 것으로 한다. 또한, 도 3 및 후술하는 검사 대상부 A의 전류-전압 특성은, 어디까지나 일례이며, 이들에 한정되는 것은 아니다.

또한, 이하의 흐름도에 있어서, 동일한 동작에는 동일한 스텝 번호를 붙이고 그 설명을 생략한다.

먼저, 예를 들어 유저가, 도시 생략의 적재대에 기준 샘플로서 정상인 회로 기판을 적재한다. 그리고, 온 전압 탐색부(53)는, 프로브 Pr1을 패드 Pa5에 접촉시키고, 프로브 Pr2를 패드 Pa6에 접촉시킨다(스텝 S1).

이어서, 온 전압 탐색부(53)는, 변수 k에 1을 대입하고, 전류값 I(k)를 초깃값으로 하여, 예를 들어 0.1mA로 한다(스텝 S2). 변수 k는, 전류값 I와 전압값 V를 대응짓기 위한 정리 번호이고, 전류값 I(k)는 k번째의 전류값 I, 전압값 V(k)는 k 번째의 전압값 V를 나타내고, 동일한 번호의 전류값 I와 전압값 V가 대응한다. 또한, 전류값 I 및 전압값 V에 대해서는, 단위를 생략하는 경우가 있지만, 전류값 I의 단위는 밀리암페어(mA), 전압값 V의 단위는 볼트(V)이다.

이어서, 온 전압 탐색부(53)는, 전류 공급부(2)에 의해 프로브 Pr1, Pr2 간에, 전류값 I(k)의 전류를 흐르게 하고, 그 전류가 흐르고 있는 기간 중에, 전압 측정부(3)에 의해 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압을 전압값 V(k)로 하여 측정시킨다(스텝 S3).

이하, 측정 처리부(51), 판정부(52), 또는 온 전압 탐색부(53) 등이 전류 공급부(2)에 의해 전류를 공급시키는 것을, 단순히 측정 처리부(51), 판정부(52), 또는 온 전압 탐색부(53) 등이 전류를 공급한다고 기재하고, 측정 처리부(51), 판정부(52), 또는 온 전압 탐색부(53) 등이 전압 측정부(3)에 의해 전압을 측정시키는 것을, 단순히 측정 처리부(51), 판정부(52), 또는 온 전압 탐색부(53) 등이 전압을 측정한다고 기재하고, 측정 처리부(51), 판정부(52), 또는 온 전압 탐색부(53) 등이 전류 측정부(4)에 의해 전류를 측정시키는 것을, 단순히 측정 처리부(51), 판정부(52), 또는 온 전압 탐색부(53) 등이 전류를 측정한다고 기재한다.

이에 의해, 온 전압 탐색부(53)는, 검사 대상부 A의 패드 Pa5, Pa6 간에 전류값 I(k)의 전류가 흐르고 있는 기간 중에, 패드 Pa5, Pa6 간의 전압을 전압값 V(k)로 하여 측정한다. 온 전압 탐색부(53)는, 이와 같이 하여 측정된 전압값 V(k)를, 번호 k 및 전류값 I(k)와 대응짓고, 측정 정보로서 기억부(54)에 기억시킨다.

도 6은, 스텝 S3과 후술하는 스텝 S5에서 측정되는 측정 정보를 나타내고 있다. 전류 경로 A1, A2가 모두 단선되어 있지 않은 정상인 검사 대상부 A가, 그래프 G1에서 나타내는 특성을 갖고 있으면, 0.1mA의 전류에 대하여 0.033V가 측정된다.

이어서, 온 전압 탐색부(53)는, 변수 k에 1을 가산한다. 또한, 온 전압 탐색부(53)는, 전류값 I(k-1) 즉 전회 설정된 전류값에 0.1을 가산하고, 새로운 전류값 I(k)로 한다(스텝 S4). 이에 의해, 0.1mA씩 전류값을 증가시키면서, 전압값을 측정할 수 있다. 전류값의 증가량은, 작을수록 온 전압의 취득 정밀도가 증대하지만, 처리 시간은 증대한다. 따라서, 전류값의 증가량은, 0.1mA에 한정되지 않고, 정밀도와 처리 시간의 밸런스에 의해 적절히 설정하면 된다.

이어서, 온 전압 탐색부(53)는, 스텝 S3과 마찬가지로 하여, 프로브 Pr1, Pr2 간에 전류값 I(k)의 전류를 흘리고, 그 전류가 흐르고 있는 기간 중에 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압을 전압값 V(k)로 하여 측정한다(스텝 S5). 온 전압 탐색부(53)는, 이와 같이 하여 측정된 전압값 V(k)를, 번호 k 및 전류값 I(k)과 대응짓고, 측정 정보로서 기억부(54)에 기억시킨다.

지금, 전류값 I(k)는 0.2mA이기 때문에, 그래프 G1에 의하면, 0.2mA의 전류에 대하여 0.065V가 측정된다.

이어서, 온 전압 탐색부(53)는, 하기의 식 (1)에 기초하여, 기울기 r(k-1)을 산출한다(스텝 S6).

기울기 r(k-1)={I(k)-I(k-1)}/{V(k)-V(k-1)} …(1)

지금, k=2, I(2)=0.2, I(1)=0.1, V(2)=0.065, V(1)=0.033이기 때문에, 기울기 r(1)={I(2)-I(1)}/{V(2)-V(1)}=(0.2-0.1)/(0.065-0.033)=3.13이 된다.

온 전압 탐색부(53)는, 이와 같이 하여 얻어진 기울기 r(k-1)을, 기울기 정보로서 기억부(54)에 기억시킨다.

이어서, 온 전압 탐색부(53)는, 전류값 I(k)를 1.0mA와 비교한다(스텝 S7). 전류값 I(k)가 1.0mA에 못 미치면(스텝 S7에서 "아니오"), 다시 스텝 S4 내지 S7을 반복한다.

한편, 전류값 I(k)가 1.0mA 이상이면(스텝 S7에서 "예"), 온 전압 탐색부(53)는, k-1을 기울기 r의 수인 데이터수 n으로 하고(스텝 S8), 스텝 S11로 이행한다. 전류값 I(k)과 비교되는 전류값은, 온 전압이 얻어진다고 상정되는 전류값보다도 큰 값이 설정되어 있으면 되고, 1.0mA에 한정되지 않는다.

이상, 스텝 S1 내지 S7의 처리에 의해, 전류값을 다르게 하면서 복수회, 검사 대상부 A의 양단 간에 전류가 흐르고, 각 전류가 흐르는 각 기간 중에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 측정되게 된다.

도 7은, 도 1에 도시하는 온 전압 탐색부(53)에 의해 산출되는 기울기 r과, 후술하는 비 R의 설명도이다. 지금, 데이터수 n은 9이기 때문에, k=1 내지 9에 대응하는 기울기 r(1) 내지 r(9)이 기억부(54)에 기억된다.

이상, 스텝 S2 내지 S7의 처리에 의해, 온 전압 탐색부(53)는, 전류값을 다르게 하면서 복수회, 프로브 Pr1, Pr2 간에 전류를 흘리고, 각 전류가 흐르는 각 기간 중에 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압을 측정한다.

이어서, 스텝 S11에 있어서, 온 전압 탐색부(53)는, 변수 k에 2를 대입한다(스텝 S11).

이어서, 온 전압 탐색부(53)는, 하기의 식 (2)에 기초하여 비 R(k)을 산출하고(스텝 S12), k가 n에 못 미치면(스텝 S13에서 "아니오") 변수 k에 1을 가산하여(스텝 S14) 스텝 S12, S13을 반복하고, k가 n이 되면(스텝 S13에서 "예") 스텝 S15로 처리를 이행한다. 이에 의해, 번호 2 내지 n에 대응하는 비 R(2) 내지 R(n)이 산출된다.

비 R(k)=r (k)/r(k-1) …(2)

스텝 S15에 있어서, 온 전압 탐색부(53)는, 비 R(2) 내지 R(n) 중, 최대의 R(m)을, 온 전압 Von에 대응하는 비 R로서 탐색한다(스텝 S15). 온 전압 탐색부(53)는, 탐색된 최대의 비 R(m)로부터 번호 m을 취득한다. 번호 m은, 온 전압 Von에 대응하는 전압값 V(m)의 번호이기 때문에, 최대의 비 R(m)을 탐색하는 것은, 온 전압 Von을 탐색하는 것과 다름없다.

도 7의 예에서는, 최대가 되는 것은 R(8)=4.2이다. 따라서, 번호 m=8이 된다.

이어서, 온 전압 탐색부(53)는, 스텝 S5에서 기억부(54)에 기억된 측정 정보를 참조하고, V(m)를 온 전압 Von으로 하여 기억부(54)에 기억시킨다(스텝 S16). 도 6에 도시하는 예에서는, 번호가 m과 동등한 8의 전압값 V(8)는 0.30V이기 때문에, 온 전압 Von은 0.30V가 된다. 온 전압 Von은, 검사 대상부 A에 순방향으로 인가된 전압을 점차 상승시켰을 경우에, 흐르는 전류가 급격하게 증가하는 전압이다.

또한 온 전압 탐색부(53)는, 하기의 식 (3)에 기초하여 제1 전류값 Ia를 산출하고, 기억부(54)에 기억시킨다(스텝 S17). 제1 전류값 Ia는, 복수의 전류 경로 A1, A2 중, 어느 하나가 단선된 검사 대상부 A가 온하는 온 전류이다.

제1 전류값 Ia=I(m)×(Q-1)/Q …(3)

단, Q는, 다이오드 특성을 갖는 전류 경로의 병렬수이다.

지금, 검사 대상부 A의 병렬수는 2, 도 6에 도시하는 예에서는, 번호가 m과 동등한 8의 전류값 I(8)는 0.8mA가 되기 때문에, 식 (3)으로부터, 제1 전류값 Ia=0.8/2=0.4mA가 된다.

여기서, I(m)는 기준 전류값 IS와 거의 동등하다. 그래서, 온 전압 탐색부(53)는, 스텝 S17에 있어서, I(m)를, 기준 전류값 IS로서 기억부(54)에 기억시키는 것이 바람직하다.

또한, 제1 전류값 Ia는, 복수의 전류 경로 A1, A2 중 어느 한쪽이 단선된 검사 대상부 A가 온하는 온 전류와, 실질적으로 동등하면 된다. 제1 전류값 Ia가 실질적으로 온 전류와 동등하다는 것은, 제1 전류값 Ia와 온 전류 간에, 예를 들어 스텝 S1 내지 S17에 의해 취득되는 I(m)의 오차, 전압 측정부(3) 또는 전류 측정부(4)의 측정 오차, 전류 공급부(2)의 출력 오차 등에 의해 발생하는 정도의 차이를 허용하는 취지이다. 제1 전류값 Ia는, 예를 들어 온 전류에 대하여, 예를 들어 -10％ 내지 +10％ 정도의 범위 내의 값이어도 된다.

온 전압 Von은, 다이오드 D1과 다이오드 D2의 특성이 대략 동등하면, 도 3에 도시한 바와 같이, 그래프 G1에 나타내는 정상인 검사 대상부 A의 온 전압 Von과, 그래프 G2에 나타내는 불량인 검사 대상부 A의 온 전압 Von은 대략 동등하다. 제1 전류값 Ia는, 불량인 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 온 전압 Von이 되는 전류값(그래프 G2에 있어서의 0.4mA)이다. 한편, 정상인 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 온 전압 Von이 되는 전류값(그래프 G1에 있어서의 0.8mA)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 불량인 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 온 전압 Von이 되는 전류값보다도 커진다. 따라서, 스텝 S1 내지 S17의 처리에 의해 구해진 제1 전류값 Ia는, 기준 전류값 IS 이하가 된다.

또한, 스텝 S1 내지 S17에서는, 기준 샘플로서 정상인 회로 기판을 사용하여, 스텝 S17에 의해, 계산에 의해 전류 경로 A1, A2 중 하나가 단선된 검사 대상부 A의 제1 전류값 Ia를 구하는 예를 나타냈다. 그러나, 스텝 S1에 있어서, 실제로 전류 경로 A1, A2 중 하나가 단선된 불량의 회로 기판을 사용하여, 스텝 S17에 있어서, I(m)를 그대로 제1 전류값 Ia로 해도 된다.

이상, 스텝 S6 내지 S17의 처리에 의해, 온 전압 탐색부(53)는, 복수의 전압값 V(1) 내지 V(10)의 변화에 기초하여, 기준 샘플의 검사 대상부 A의 온 전압 Von을 취득할 수 있다.

이어서, 온 전압 탐색부(53)는, 프로브 Pr1, Pr2 간에 제1 전류값 Ia의 전류를 흘리면서, 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압을 전압값 Vg로 하여 측정한다(스텝 S18). 이에 의해, 온 전압 탐색부(53)는, 검사 대상부 A의 패드 Pa5, Pa6 간에 제1 전류값 Ia의 전류가 흐르고 있는 기간 중에, 패드 Pa5, Pa6 간의 전압을 전압값 Vg로 하여 측정한다.

지금, 제1 전류값 Ia는 0.4mA이기 때문에, 도 3의 그래프 G1의 예에 의하면, 전압값 Vg로서 0.14V가 얻어진다.

이어서, 온 전압 탐색부(53)는, 전압값 Vg에 기초하여, 검사 대상부 A의 양부를 판정하기 위한 판정 전압 Vref를 산출하고, 이것을 기억부(54)에 기억시킨다(스텝 S19). 구체적으로는, 예를 들어 전압값 Vg의 변동이나 측정 오차가 최대 10％ 상정되는 경우, 전압값 Vg에 1.1을 곱함으로써, 판정 전압 Vref를 산출한다. 지금, 전압값 Vg는 0.14V이기 때문에, 판정 전압 Vref로서 0.15V가 얻어진다.

이에 의해, 전압값 Vg에 대하여, 제조 변동이나 측정 오차에 의한 오차가 발생한 경우에도, 정확하게 판정하는 것이 가능한 판정 전압 Vref가 얻어진다.

이상, 스텝 S1 내지 S19의 처리에 의해, 제1 전류값 Ia와 판정 전압 Vref가 기억부(54)에 기억되어, 즉 미리 설정된다.

또한, 검사 장치(1)는, 반드시 온 전압 탐색부(53)를 구비하고 있지 않아도 된다. 예를 들어 유저가 실험적으로, 스텝 S1 내지 S19와 마찬가지의 방법에 의해, 제1 전류값 Ia와 판정 전압 Vref를 취득하고, 기억부(54)에 기억시켜, 미리 설정하도록 해도 된다. 혹은 유저가, 도 3에 도시하는 그래프 G1, G2를 작도하여, 그래프 G1, G2로부터 판독한 제1 전류값 Ia와 판정 전압 Vref를 기억부(54)에 기억시켜, 미리 설정하도록 해도 된다.

이어서, 도 1에 도시하는 측정 처리부(51) 및 판정부(52)의 동작에 대해서, 도 8에 기초하여 설명한다. 먼저, 예를 들어 유저가, 도시 생략의 적재대에, 검사하려고 하는 회로 기판(100)을 적재한다. 그리고, 측정 처리부(51)는, 프로브 Pr1을 패드 Pa5에 접촉시키고, 프로브 Pr2를 패드 Pa6에 접촉시킨다(스텝 S21).

이어서, 측정 처리부(51)는, 기억부(54)로부터 제1 전류값 Ia를 판독한다. 그리고, 측정 처리부(51)는, 프로브 Pr1, Pr2 간에 제1 전류값 Ia의 전류를 흘리면서, 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압을 제1 전압값 Va로 하여 측정한다(스텝 S22). 이에 의해, 측정 처리부(51)는, 검사 대상부 A의 패드 Pa5, Pa6 간에 제1 전류값 Ia의 전류가 흐르고 있는 기간 중에, 패드 Pa5, Pa6 간의 전압을 제1 전압값 Va로 하여 측정한다.

지금, 제1 전류값 Ia는 0.4mA이기 때문에, 도 3에 도시하는 예에 의하면, 검사 대상부 A가 정상이면 그래프 G1에 나타내는 대로 제1 전압값 Va로서 0.14V가 측정되고, 검사 대상부 A가 불량하면 그래프 G2에 나타내는 대로 제1 전압값 Va로서 0.30V가 측정되게 된다.

이어서, 판정부(52)는, 기억부(54)로부터 판정 전압 Vref를 판독한다. 그리고, 판정부(52)는, 제1 전압값 Va와 판정 전압 Vref를 비교한다(스텝 S23). 그리고, 제1 전압값 Va가 판정 전압 Vref 이하라면(스텝 S23에서 "예"), 판정부(52)는, 검사 대상부 A는 정상이라고 판정한다(스텝 S24). 판정부(52)는, 그 판정 결과를 예를 들어 도시 생략의 표시 장치에 표시하거나, 외부에 송신하거나 하여 보고하고, 혹은 기억부(54)에 기억하고(스텝 S26), 처리를 종료한다.

도 3에 도시하는 예에서는, 검사 대상부 A가 정상이면 그래프 G1로부터 제1 전압값 Va는 0.14V가 되고, 판정 전압 Vref(=0.15V) 이하이기 때문에(스텝 S23에서 "예"), 정확하게 검사 대상부 A는 정상이라고 판정된다.

한편, 제1 전압값 Va가 판정 전압 Vref를 초과하고 있으면(스텝 S23에서 "아니오"), 판정부(52)는, 검사 대상부 A는 불량이라고 판정한다(스텝 S25). 판정부(52)는, 그 판정 결과를 예를 들어 도시 생략의 표시 장치에 표시하거나, 외부에 송신하거나 하여 보고하고, 혹은 기억부(54)에 기억하고(스텝 S26), 처리를 종료한다.

도 3에 도시하는 예에서는, 검사 대상부 A가 불량이면 그래프 G2로부터 제1 전압값 Va는 0.30V가 되고, 판정 전압 Vref(=0.15V)를 초과하기 때문에(스텝 S23에서 "아니오"), 정확하게 검사 대상부 A는 불량이라고 판정된다.

여기서, 제1 전류값 Ia는, 스텝 S1 내지 S17의 처리에 의해, 복수의 전류 경로 중 하나가 단선된 검사 대상부 A, 즉 불량인 검사 대상부 A에 제1 전류값 Ia의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값으로 설정되어 있다.

그 결과, 도 3에 도시한 바와 같이, 검사 대상부 A에 제1 전류값 Ia의 전류를 흘렸을 경우의 검사 대상부 A의 양단 간의 전압은, 정상인 검사 대상부 A(그래프 G1)에서 0.14V, 불량인 검사 대상부 A(그래프 G2)에서 0.30V가 되기 때문에, 그 전압 차 Vd1은 0.16V가 된다.

한편, 만약 가령, 제1 전류값 Ia가, 정상적인 검사 대상부 A에 제1 전류값 Ia의 전류를 흘렸을 때에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값으로 설정되어 있었던 경우에는, 예를 들어 도 3의 경우, 제1 전류값 Ia는 0.8mA, 검사 대상부 A의 양단 간의 전압은, 정상인 검사 대상부 A(그래프 G1)에서 0.30V, 불량인 검사 대상부 A(그래프 G2)에서 0.32V가 되기 때문에, 그 전압 차 Vd2는 0.02V가 된다.

즉, 도 3에 도시하는 예에서는, 제1 전류값 Ia를, 불량인 검사 대상부 A에 제1 전류값 Ia의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값으로 설정함으로써, 정상인 검사 대상부 A에 제1 전류값 Ia의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값으로 설정하는 경우보다도, 정상 시와 불량 시의 제1 전압값 Va의 차가, Vd1/Vd2=0.16/0.02=8배 커진다.

정상 시와 불량 시의 제1 전압값 Va의 차가 클수록, 정상인지의 여부의 판정이 용이하다. 따라서, 제1 전류값 Ia를, 불량인 검사 대상부 A에 제1 전류값 Ia의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값으로 설정함으로써, 정상인 검사 대상부 A에 제1 전류값 Ia의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값으로 설정하는 경우보다도, 정상인지의 여부의 판정을 용이하게 할 수 있다.

또한, 제1 전류값 Ia는, 반드시 불량인 검사 대상부 A에 제1 전류값 Ia의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값이 아니어도 된다. 예를 들어, 제1 전류값 Ia를, 기준 전류값 IS(도 3의 0.8mA)보다 작은 전류값으로 한다. 또한, 제1 전류값 Ia를, 불량인 검사 대상부 A에 제1 전류값 Ia의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값(도 3에 0.4mA) 이상의 전류값으로 한다. 이와 같이 하면, 도 3으로부터, 정상 시의 그래프 G1과 불량 시의 그래프 G2의 전압 차가, 제1 전류값 Ia가 0.8mA를 초과하는 경우보다도 커지고, 따라서 판정이 용이해지는 것을 알 수 있다.

또한, 도 3으로부터, 제1 전류값 Ia를, 0.4mA보다 작고, 0.1mA 이상의 전류값으로 한 경우에도, 제1 전류값 Ia가 0.8mA를 초과하는 경우보다도 정상 시와 불량 시의 제1 전압값 Va의 차가 커지고, 따라서 판정이 용이해지는 것을 알 수 있다.

또한, 검사 장치(1)는, 반드시 판정부(52)를 구비하고 있지 않아도 되고, 스텝 S23 내지 S25를 실행하지 않아도 된다. 제1 전압값 Va에는, 검사 대상부 A가 정상인지의 여부를 나타내는 정보가 반영되어 있으므로, 측정 처리부(51)에 의해 제1 전압값 Va가 얻어짐으로써, 검사 대상부 A의 검사가 용이해진다.

또한, 검사 대상부 A는, 2개의 전류 경로 A1, A2가 병렬 접속된 예를 나타냈지만, 병렬 접속되는 전류 경로의 수는, 3개 이상이어도 된다. 예를 들어, 전류 경로 A1, A2에 더하여 도시 생략의 전류 경로 A3이 병렬 접속되어 있는 경우, 전류 경로 A3의 특성이 전류 경로 A1, A2와 대략 동일하면, 그 전류-전압 특성은, 도 9에서 도시된다.

도 9에 도시하는 그래프 G3은 정상 시의 특성을 나타내고, 그래프 G4는 3개의 전류 경로 중 하나가 단선된 경우의 특성을 나타내고, 그래프 G5는 3개의 전류 경로 중 2개가 단선된 경우의 특성을 나타내고 있다. 그래프 G5는, 2개의 전류 경로 A1, A2가 병렬 접속된 도 3에 있어서, 하나의 전류 경로가 단선된 경우의 그래프 G2와 동일해진다.

이와 같이, 3개의 전류 경로가 병렬 접속된 경우에도, 온 전압 탐색부(53)는, 스텝 S1 내지 S19와 동일한 처리에 의해, 온 전압 Von, 판정 전압 Vref 및 제1 전류값 Ia를 취득할 수 있다.

이 경우, 온 전압 Von=0.30V, 제1 전류값 Ia=0.80mA, 전압값 Vg=0.195V, 판정 전압 Vref=0.215V가 된다. 그리고, 이와 같이 하여 얻어진 판정 전압 Vref(=0.215V) 및 제1 전류값 Ia(=0.8mA)에 기초하여, 스텝 S21 내지 S25와 마찬가지의 처리에 의해, 제1 전압값 Va를 측정하고, 검사 대상부를 검사할 수 있다.

이 경우, 제1 전류값 Ia를, 복수의 전류 경로 중 하나만이 단선된 검사 대상부 A에 당해 제1 전류값 Ia의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값으로 함으로써, 불량인 그래프 G4에 있어서의 판정 전압 Vref와 제1 전압값 Va의 전압 차 Vd3이 0.30-0.215=0.085V가 된다.

한편, 복수의 전류 경로 중 하나를 제외한 잔여의 전류 경로가 단선된 검사 대상부 A의 제1 전류값 Ia는, 스텝 S17을, 제1 전류값 Ia=I(m)/Q로 함으로써 구해진다. I(m)/Q에 의해 얻어지는 제1 전류값 Ia는, 복수의 전류 경로 중 하나를 제외한 잔여의 전류 경로가 단선된 검사 대상부 A에 당해 제1 전류값 Ia의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값이 된다. 이 경우, 도 9에 괄호 쓰기로 나타낸 바와 같이, 제1 전류값 Ia는 0.40mA, 전압값 Vg는 0.09V, 판정 전압 Vref=0.10V가 되고, 불량인 그래프 G4에 있어서의 판정 전압 Vref와 제1 전압값 Va의 전압 차 Vd4가 0.14-0.10=0.04V가 된다.

즉, 전압 차 Vd4보다도 전압 차 Vd3쪽이 커진다. 따라서, 복수의 전류 경로 중 하나를 제외한 잔여의 전류 경로가 단선된 검사 대상부 A에 기초하여 제1 전류값 Ia를 얻는 것보다도, 복수의 전류 경로 중 하나만이 단선된 검사 대상부 A에 기초하여 제1 전류값 Ia를 얻는 쪽이, 정상 시와 불량 시의 제1 전압값 Va의 차가 커지고, 정상인지의 여부의 판정이 용이하다.

따라서, 제1 전류값 Ia를, 복수의 전류 경로 중 하나만이 단선된 검사 대상부 A에 당해 제1 전류값 Ia의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값으로 하는 것이, 보다 바람직하다.

한편, 도 9에 도시한 바와 같이, 전압 차 Vd4는, 제1 전류값 Ia를 기준 전류값 IS 이상으로 한 경우에 있어서의, 정상인 그래프 G3과 불량인 그래프 G4의 전압 차 Vd5보다도 크다. 따라서, 복수의 전류 경로 중 하나를 제외한 잔여의 전류 경로가 단선된 검사 대상부 A에 당해 제1 전류값 Ia의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값으로 한 경우에도, 정상인지의 여부의 판정을 용이하게 하는 효과는 얻어진다.

또한, 복수의 전류 경로 중 하나를 제외한 잔여의 전류 경로가 단선된 검사 대상부 A에 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부 A의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압 Von이 되는 전류값을, 불량 전류값 IE로 한다. 그리고, 제1 전류값 Ia를, 기준 전류값 IS(=1.2mA)보다 작고, 또한, 불량 전류값 IE(=0.4mA) 이상의 전류 범위로 한 경우의 정상인 그래프 G3과 불량인 그래프 G4의 전압 차는, 도 9에 도시한 바와 같이, 전압 차 Vd5보다 크고, 따라서, 정상인지의 여부의 판정이 용이하다.

따라서, 기준 전류값 IS보다 작고, 또한, 불량 전류값 IE 이상의 전류 범위를, 제1 전류값 Ia로서 적합하게 사용할 수 있다.

또한, 검사 대상부 A에 대하여 제1 전류값 Ia의 전류를 흘림으로써, 검사 대상부 A에 발생하는 제1 전압값 Va를 측정하는 예를 나타냈지만, 이하와 같이 해도 된다. 즉, 도 10에 도시한 바와 같이, 검사 장치(1c)는, 예를 들어 전류 공급부(2) 대신에 정전압 전원 회로 등의 전압 공급부(2c)를 구비해도 된다. 그리고, 측정 처리부(51c)는, 전압 공급부(2c)에 의해 검사 대상부 A에 대하여 실질적으로 온 전압 Von 이하의 제1 전압값 Va를 인가시키면서, 검사 대상부 A에 발생하는 제1 전류값 Ia를 전류 측정부(4)에 의해 측정시켜도 된다. 그리고, 판정부(52c)는, 전류 측정부(4)에 의해 측정된 제1 전류값 Ia에 기초하여 검사 대상부 A의 양부를 판정해도 된다.

이와 같이 하여 얻어진 제1 전류값 Ia에도, 검사 대상부 A가 정상인지의 여부를 나타내는 정보가 반영되어 있으므로, 측정 처리부(51)에 의해 제1 전압값 Va가 얻어짐으로써, 검사 대상부 A의 검사가 용이해진다.

(제2 실시 형태)

이어서, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 검사 장치(1a)에 대해서, 도 11에 기초하여 설명한다. 도 11에 도시하는 검사 장치(1a)는, 도 1에 도시하는 검사 장치(1)와는, 제어부(5a)의 구성이 다르다. 제어부(5a)는, 기준 기울기 취득부(55)를 더 구비한다. 측정 처리부(51a), 판정부(52a) 및 온 전압 탐색부(53a)는, 측정 처리부(51), 판정부(52) 및 온 전압 탐색부(53)와는, 동작이 다르다.

또한, 검사 장치(1a)는, 검사 장치(1)와 마찬가지로, 온 전압 탐색부(53a)를 구비하지 않아도 된다. 그 밖의 구성은 제1 실시 형태에 따른 검사 장치(1)와 마찬가지이므로 그 설명을 생략하고, 이하 본 실시 형태의 특징적인 점에 대하여 설명한다.

온 전압 탐색부(53a)는, 도 5에 도시하는 스텝 S17에 있어서, 제1 전류값 Ia=I(m)로 함으로써, 제1 전류값 Ia를 기억부(54)에 기억시킨다. 또한, 온 전압 탐색부(53a)는, 스텝 S18, S19는 실행 불필요하다. 그 밖의 점에서는, 온 전압 탐색부(53)와 마찬가지이다.

온 전압 탐색부(53a)에 의하면, 온 전압 탐색부(53)와 마찬가지로, 검사 대상부 A의 온 전압 Von이 탐색되고, 탐색된 온 전압 Von과 제1 전류값 Ia가 기억부(54)에 기억됨으로써 미리 설정된다.

기준 기울기 취득부(55)는, 정상인 기준 샘플의 검사 대상부 A에 있어서, 그 양단 간의 전압이 온 전압 Von 이하의 영역에 있어서의 전류-전압 특성의 기울기를 기준 기울기 rs로서 취득한다.

측정 처리부(51a)는, 제1 전류값 Ia의 전류를 패드 Pa5, Pa6 간에 흘리면서 패드 Pa5, Pa6 간의 전압을 제1 전압값 Va로 하여 측정하고, 제1 전류값 Ia보다도 작은 제2 전류값 Ib의 전류를 패드 Pa5, Pa6 간에 흘리면서 패드 Pa5, Pa6 간의 전압을 제2 전압값 Vb로 하여 측정한다.

판정부(52a)는, 제1 전류값 Ia와 제2 전류값 Ib의 차 및 제1 전압값 Va와 제2 전압값 Vb의 차의 비에 기초하여, 즉, 검사 대상부 A의 전류-전압 특성의 기울기 rt에 기초하여, 검사 대상부 A의 양부를 판정한다. 구체적으로는, 판정부(52a)는, 기울기 rt를 기준 기울기 rs와 비교함으로써, 검사 대상부 A의 양부를 판정한다.

이어서, 상술한 바와 같이 구성된 기준 기울기 취득부(55), 측정 처리부(51a) 및 판정부(52a)의 동작에 대해서, 도 12, 도 13에 기초하여 설명한다.

먼저, 예를 들어 유저가, 도시 생략의 적재대에, 기준 샘플로서, 정상인 회로 기판(100)을 적재한다. 그리고, 기준 기울기 취득부(55)는, 프로브 Pr1을 패드 Pa5에 접촉시키고, 프로브 Pr2를 패드 Pa6에 접촉시킨다(스텝 S31).

이어서, 기준 기울기 취득부(55)는, 기억부(54)로부터 정상인 검사 대상부 A의 온 전압 Von을 판독하여, 제1 전압값 Va를, 온 전압 Von과 동등한 값으로 설정한다(스텝 S32).

이어서, 기준 기울기 취득부(55)는, 기억부(54)로부터 정상인 검사 대상부 A의 제1 전류값 Ia를 판독하여, 제1 전류값 Ia보다도 작은 값을 제2 전류값 Ib로서 설정한다(스텝 S33). 예를 들어 도 13에 도시하는 예에서는, 제1 전압값 Va=온 전압 Von=0.30V, 제1 전류값 Ia=0.8mA이다. 정상인 검사 대상부 A의 그래프 G1에 있어서, 좌표(Va, Ia)=(0.30, 0.8)의 점을, 포인트 P1로서 나타내고 있다.

기준 기울기 취득부(55)는, 예를 들어 제1 전류값 Ia인 0.8로부터, 미리 설정된 수, 예를 들어 0.5를 감산함으로써, 제2 전류값 Ib를 0.3으로 설정할 수 있다. 혹은, 기준 기울기 취득부(55)는, 제1 전류값 Ia에 1/2를 곱하거나, 1/3을 곱하거나 하는 등, 0보다 크고 1보다 작은 계수를 제1 전류값 Ia에 승산함으로써 제2 전류값 Ib를 구해도 된다.

이어서, 기준 기울기 취득부(55)는, 프로브 Pr1, Pr2 간에, 제2 전류값 Ib의 전류를 흘리고, 그 전류가 흐르고 있는 기간 중에 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압을 제2 전압값 Vb로 하여 측정한다(스텝 S34). 제2 전류값 Ib가, 예를 들어 0.3mA였었던 경우, 도 13에 도시하는 정상인 검사 대상부 A의 그래프 G1에 있어서, 0.10V가 제2 전압값 Vb로서 얻어진다. 정상적인 검사 대상부 A의 그래프 G1에 있어서, 좌표(Vb, Ib)=(0.10, 0.3)의 점을, 포인트 P2로서 나타내고 있다.

이어서, 기준 기울기 취득부(55)는, 하기의 식 (4)에 기초하여, 기준 기울기 rs를 산출한다(스텝 S35).

기준 기울기 rs=(Ia-Ib)/(Va-Vb) …(4)

도 13에 있어서의 그래프 G1의 경우라면, 기준 기울기 rs=(0.8-0.3)/(0.30-0.10)=2.5가 된다.

기준 기울기 rs는, 정상인 검사 대상부 A의 그래프 G1에 있어서의, 포인트 P1과 포인트 P2를 연결하는 직선의 기울기에 상당하고 있다. 기준 기울기 취득부(55)는, 스텝 S31 내지 S35에 의해 얻어진 제2 전류값 Ib와 기준 기울기 rs를 기억부(54)에 기억시킴으로써 미리 설정하고, 처리를 종료한다.

또한, 검사 장치(1a)는, 반드시 기준 기울기 취득부(55)를 구비하고 있지 않아도 된다. 예를 들어 유저가 실험적으로, 스텝 S31 내지 S35와 마찬가지의 방법에 의해 기준 기울기 rs를 취득하고, 기억부(54)에 기억시켜, 미리 설정하도록 해도 된다. 혹은 유저가, 도 13에 도시하는 그래프 G1을 작도하여 직선 L1의 기울기를 기준 기울기 rs로서 판독하고, 그 판독한 기준 기울기 rs와 제2 전류값 Ib를 기억부(54)에 기억시켜, 미리 설정하도록 해도 된다.

도 14를 참조하여, 먼저, 예를 들어 유저가, 도시 생략의 적재대에, 검사하려고 하는 회로 기판(100)을 적재한다. 그리고, 측정 처리부(51a)는, 프로브 Pr1을 패드 Pa5에 접촉시키고, 프로브 Pr2를 패드 Pa6에 접촉시킨다(스텝 S41).

이어서, 측정 처리부(51a)는, 기억부(54)로부터 제1 전류값 Ia를 판독한다. 그리고, 측정 처리부(51a)는, 프로브 Pr1, Pr2 간에, 제1 전류값 Ia의 전류를 흘리고, 그 전류가 흐르고 있는 기간 중에 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압을 제1 전압값 Va로 하여 측정한다(스텝 S42). 예를 들어 도 13의 경우, 검사 대상부 A가 정상이면, 그래프 G1에 있어서의 포인트 P1에 있어서, 제1 전압값 Va=0.30V가 측정된다. 한편, 전류 경로 A1, A2 중 어느 하나가 단선되고, 검사 대상부 A가 불량이면, 그래프 G2에 있어서의 포인트 P3에 있어서, 제1 전압값 Va=0.32V가 측정된다.

이어서, 측정 처리부(51a)는, 기억부(54)로부터 제2 전류값 Ib를 판독한다. 그리고, 측정 처리부(51a)는, 프로브 Pr1, Pr2 간에, 제2 전류값 Ib의 전류를 흘리고, 그 전류가 흐르고 있는 기간 중에 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압을 제2 전압값 Vb로 하여 측정한다(스텝 S43). 예를 들어 도 13의 경우, 검사 대상부 A가 정상이면, 그래프 G1에 있어서의 포인트 P2에 있어서, 제2 전압값 Vb=0.10V가 측정된다. 한편, 전류 경로 A1, A2 중 어느 하나가 단선되고, 검사 대상부 A가 불량이면, 그래프 G2에 있어서의 포인트 P4에 있어서, 제2 전압값 Vb=0.22V가 측정된다.

이어서, 판정부(52a)는, 하기의 식 (5)에 기초하여, 기울기 rt를 산출한다(스텝 S44).

기울기 rt=(Ia-Ib)/(Va-Vb) …(5)

기울기 rt는, 검사 대상부 A가 정상이면 그래프 G1에 있어서의 포인트 P1과 포인트 P2를 연결하는 직선 L1의 기울기를 나타내게 된다. 한편, 검사 대상부 A가 불량이면 기울기 rt는, 그래프 G2에 있어서의 포인트 P3과 포인트 P4를 연결하는 직선 L2의 기울기를 나타내게 된다. 도 13의 직선 L1, L2로부터 명백해진 바와 같이, 검사 대상부 A가 불량인 경우, 정상인 경우와 비교하여 기울기 rt가 커진다.

도 13에 도시하는 예에 의하면, 검사 대상부 A가 정상적인 경우, 기울기 rt=(0.8-0.3)/(0.30-0.10)=2.5가 된다. 한편, 검사 대상부 A가 불량인 경우, 기울기 rt=(0.8-0.3)/(0.32-0.22)=5가 된다.

이어서, 판정부(52a)는, 기준 기울기 rs에 기초하여, 검사 대상부 A의 양부를 판정하기 위한 판정값 rth를 산출한다(스텝 S45). 구체적으로는, 예를 들어 기준 기울기 rs의 변동이나 측정 오차가 최대 10％ 상정되는 경우, 기준 기울기 rs에 1.1을 곱함으로써, 판정값 rth를 산출한다. 예를 들어 기준 기울기 rs=2.5라면, 판정값 rth=2.5×1.1=2.75가 된다.

이에 의해, 기준 기울기 rs에 대하여, 제조 변동이나 측정 오차에 의한 오차가 발생한 경우에도, 정확하게 판정하는 것이 가능한 판정값 rth가 얻어진다.

이어서, 판정부(52a)는, 기울기 rt와 판정값 rth를 비교한다(스텝 S46). 그리고, 기울기 rt가 판정값 rth 이하라면(스텝 S46에서 "아니오"), 판정부(52a)는, 검사 대상부 A는 정상이라고 판정한다(스텝 S47). 판정부(52a)는, 그 판정 결과를 예를 들어 도시 생략의 표시 장치에 표시하거나, 외부에 송신하거나 하여 보고하고, 혹은 기억부(54)에 기억하고 처리를 종료한다.

한편, 기울기 rt가 판정값 rth를 초과하고 있으면(스텝 S46에서 "예"), 판정부(52a)는, 검사 대상부 A는 불량이라고 판정한다(스텝 S48). 판정부(52a)는, 그 판정 결과를 예를 들어 도시 생략의 표시 장치에 표시하거나, 외부에 송신하거나 하여 보고하고, 혹은 기억부(54)에 기억하고 처리를 종료한다(스텝 S26).

도 13에 도시하는 예에서는, 검사 대상부 A가 정상이면, 상술한 바와 같이 기울기 rt는 2.5가 되고, 판정값 rth=2.75 이하이기 때문에(스텝 S46에서 "아니오"), 정확하게 검사 대상부 A는 정상적이라고 판정된다. 한편, 검사 대상부 A가 불량이면, 상술한 바와 같이 기울기 rt는 5가 되고, 판정값 rth=2.75를 초과하기 때문에(스텝 S46에서 "예"), 정확하게 검사 대상부 A는 불량이라고 판정된다.

식 5에 있어서, (Ia-Ib)는 제1 전류값 Ia와 제2 전류값 Ib의 차이고, (Va-Vb)는 제1 전압값 Va와 제2 전압값 Vb의 차이기 때문에, 기울기 rt는, 제1 전류값 Ia와 제2 전류값 Ib의 차 및 제1 전압값 Va와 제2 전압값 Vb의 차의 비이다. 따라서, 판정부(52a)는, 제1 전류값 Ia와 제2 전류값 Ib의 차 및 제1 전압값 Va와 제2 전압값 Vb의 차의 비인 기울기 rt에 기초하여, 검사 대상부 A의 양부를 판정한다.

이상, 스텝 S41 내지 S48에 의하면, 제1 전류값 Ia가, 정상인 검사 대상부 A에 있어서 실질적으로 온 전압 Von이 얻어지는 전류값으로 설정되고, 제2 전류값 Ib가, 제1 전류값 Ia보다 작은 전류값으로 설정되어 있다. 그 결과, 정상인 검사 대상부 A에 있어서의 온 전압 Von에 대응하는 포인트 P1이 직선 L1에 있어서의 고전압, 고전류측의 단부가 되고, 포인트 P2가 직선 L1에 있어서의 저전압, 저전류측의 단부가 된다.

그리고, 이러한 제1 전류값 Ia 및 제2 전류값 Ib에 기초하여 제1 전압값 Va 및 제2 전압값 Vb가 취득되므로, 검사 대상부 A가 불량이었던 경우에는, 도 13의 그래프 G2에 도시하는 바와 같이, 제1 전류값 Ia에 대응하는 포인트 P3은 그래프 G2의 온 전압보다 고전압측, 즉 급준하게 그래프 G2가 상승하고, 기울기가 큰 영역에 위치하게 된다.

그 결과, 검사 대상부 A가 불량인 경우의 직선 L2는, 검사 대상부 A가 정상인 경우의 직선 L1보다도 기울기 rt가 커진다. 따라서, 스텝 S41 내지 S48에 의하면, 직선 L1, L2의 기울기 rt에 기초하여, 검사 대상부 A를 검사하는 것이 용이하다.

또한, 검사 대상부 A는, 병렬 접속된 2개의 전류 경로 A1, A2가 병렬 접속된 예를 나타냈지만, 병렬 접속되는 전류 경로의 수는, 3개 이상이어도 된다. 예를 들어, 전류 경로 A1, A2에 더하여 도시 생략의 전류 경로 A3이 병렬 접속되어 있는 경우, 전류 경로 A3의 특성이 전류 경로 A1, A2와 대략 동일하면, 그 전류-전압 특성은, 도 15에서 도시된다.

도 15에 도시하는 그래프 G3, G4, G5는, 도 9에 도시하는 그래프 G3, G4, G5와 동일하게 된다.

이와 같이, 3개의 전류 경로가 병렬 접속된 경우에도, 온 전압 탐색부(53a)는, 스텝 S7에 있어서 전류값의 상한을 1.0으로부터 1.4 정도로 변경함으로써, 정상 시의 그래프 G3에 있어서의 온 전압 Von(=0.30V) 및 제1 전류값 Ia(=1.2mA)를 취득할 수 있다.

그리고, 이와 같이 하여 얻어진 제1 전류값 Ia(=1.2mA)에 기초하여, 기준 기울기 취득부(55)는, 도 12에 도시하는 스텝 S31 내지 S35와 마찬가지의 처리에 의해 기준 기울기 rs를 산출할 수 있다. 도 15에 도시하는 그래프 G3에서는, 스텝 S33에 있어서 제1 전류값 Ia의 1/3을 제2 전류값 Ib(=0.4mA)로 한 예를 나타내고 있다. 그래프 G3의 경우, 제1 전류값 Ia(=1.2mA), 제1 전압값 Va(=0.30V)의 점이 포인트 P5, 제2 전류값 Ib(=0.4mA), 제2 전압값 Vb(=0.09V)의 점이 포인트 P6이 된다. 포인트 P5와 포인트 P6을 연결하는 직선 L3의 기울기, 즉 기준 기울기 rs=(1.2-0.4)/(0.30-0.09)=3.8이 된다.

또한, 측정 처리부(51a) 및 판정부(52a)는, 도 14에 도시하는 스텝 S41 내지 S48과 마찬가지의 처리에 의해, 그래프 G4, G5의 불량을 정확하게 판정할 수 있다. 예를 들어, 그래프 G4의 경우, 제1 전류값 Ia(=1.2mA), 제1 전압값 Va(=0.31V)의 점이 포인트 P7, 제2 전류값 Ib(=0.4mA), 제2 전압값 Vb(=0.14V)의 점이 포인트 P8이 된다. 포인트 P7과 포인트 P8을 연결하는 직선 L4의 기울기 rt=(1.2-0.4)/(0.31-0.14)=4.7이 된다.

따라서, 직선 L4의 기울기 rt(=4.7)는, 판정값 rth(=3.8×1.1=4.2)보다 커지기 때문에(스텝 S46에서 "예"), 판정부(52a)는, 그래프 G4의 검사 대상부 A를 정확하게 불량이라고 판정할 수 있다.

예를 들어, 그래프 G5의 경우, 제1 전류값 Ia(=1.2mA), 제1 전압값 Va(=0.33V)의 점이 포인트 P9, 제2 전류값 Ib(=0.4mA), 제2 전압값 Vb(=0.30V)의 점이 포인트 P10이 된다. 포인트 P9와 포인트 P10을 연결하는 직선 L5의 기울기 rt=(1.2-0.4)/(0.33-0.30)=26.7이 된다.

따라서, 직선 L5의 기울기 rt(=26.7)는, 판정값 rth(=4.2)보다 커지기 때문에(스텝 S46에서 "예"), 판정부(52a)는, 그래프 G5의 검사 대상부 A를 정확하게 불량이라고 판정할 수 있다.

(제3 실시 형태)

이어서, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 검사 장치(1b)에 대하여 설명한다. 검사 장치(1b)의 구성은, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 도 1에서 도시된다. 도 1에 있어서, 검사 장치(1)와는 다른 구성에 대해서는 괄호 쓰기로 부호를 붙이고 있다. 제3 실시 형태에 따른 검사 장치(1b)는, 제1 실시 형태에 따른 검사 장치(1)와는, 제어부(5b)의 구성이 다르다. 제어부(5b)는, 측정 처리부(51b) 및 판정부(52b)의 동작이, 측정 처리부(51) 및 판정부(52)와는 다르다. 또한, 제어부(5b)는, 온 전압 탐색부(53) 대신에 제어부(5a)와 마찬가지의 온 전압 탐색부(53a)를 구비한다.

그 밖의 구성은 제1 실시 형태에 따른 검사 장치(1)와 마찬가지이므로 그 설명을 생략하고, 이하 본 실시 형태의 특징적인 점에 대하여 설명한다.

측정 처리부(51b)는, 전류값을 다르게 하면서 복수회, 프로브 Pr1, Pr2 간에 전류를 흘리고, 각 전류가 흐르는 각 기간 중에 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압을 측정하고, 당해 측정된 복수의 전압의 변화에 기초하여 검사 대상부 A가 온했을 때의 온 전류 Ion을 취득한다.

판정부(52b)는, 온 전류 Ion에 기초하여 검사 대상부 A의 양부를 판정한다.

이어서, 상술한 바와 같이 구성된 검사 장치(1b)의 동작에 대하여 설명한다. 먼저, 온 전압 탐색부(53a)에 의해, 상술한 바와 같이, 검사 대상부 A의 온 전압 Von이 탐색되고, 탐색된 온 전압 Von에 대응하는 제1 전류값 Ia가 기억부(54)에 기억됨으로써 미리 설정된다. 또한, 제3 실시 형태에 있어서는, 온 전압 탐색부(53a)는, 스텝 S16을 실행하지 않아도 된다.

도 16 내지 도 18을 참조하여, 예를 들어 유저가, 도시 생략의 적재대에, 검사하려고 하는 회로 기판(100)을 적재한다. 그리고, 측정 처리부(51b)는, 프로브 Pr1을 패드 Pa5에 접촉시키고, 프로브 Pr2를 패드 Pa6에 접촉시킨다(스텝 S51). 이하, 측정 처리부(51b)에 의해, 도 4, 도 5와 마찬가지의 스텝 S2 내지 S8, S11 내지 S15가 실행된다.

측정 처리부(51b)는, 스텝 S2 내지 S7의 처리에 의해, 전류값을 다르게 하면서 복수회, 프로브 Pr1, Pr2 간에 전류를 흘리고, 각 전류가 흐르는 각 기간 중에 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압을 측정한다.

이어서, 측정 처리부(51b)는, 스텝 S15에서 얻어진 최대의 비 R(m)로부터, 온 전압 Von에 대응하는 번호 m을 취득한다. 그리고, 측정 처리부(51b)는, 스텝 S5에서 기억부(54)에 기억된 측정 정보를 참조하고, 번호 m의 전류값 I(m)를 온 전류 Ion으로 한다(스텝 S61). 도 18에 도시하는 예에서는, 정상인 검사 대상부 A를 측정한 경우에는 온 전류 Ion으로서 0.8mA가 얻어지고, 불량인 검사 대상부 A를 측정한 경우에는 온 전류 Ion으로서 0.4mA가 얻어지게 된다.

이상, 스텝 S6 내지 S61의 처리에 의해, 측정 처리부(51b)는, n개의 전압값 V(1) 내지 V(n)의 변화에 기초하여, 검사 대상부 A의 온 전류 Ion을 취득할 수 있다.

이어서, 판정부(52b)는, 온 전압 탐색부(53a)에 의해, 도 5에 도시하는 스텝 S17에 있어서 기억부(54)에 기억된 정상인 검사 대상부 A의 온 전류인 I(m)를 제1 전류값 Ia로서 판독하고, 이 제1 전류값 Ia에 기초하여, 검사 대상부 A의 양부를 판정하기 위한 판정값 Iref를 산출한다(스텝 S62). 구체적으로는, 예를 들어 제1 전류값 Ia의 변동이나 측정 오차가 최대 10％ 상정되는 경우, 제1 전류값 Ia에 0.9를 곱함으로써, 판정값 Iref를 산출한다. 도 18에 도시하는 그래프 G1의 예에서는, 제1 전류값 Ia=0.8이 되기 때문에, 판정값 Iref=0.8×0.9=0.72가 된다.

이에 의해, 온 전류 Ion에 대하여, 제조 변동이나 측정 오차에 의한 오차가 발생한 경우에도, 정확하게 판정하는 것이 가능한 판정값 Iref가 얻어진다.

이어서, 판정부(52b)는, 온 전류 Ion과 판정값 Iref를 비교한다(스텝 S63). 그리고, 온 전류 Ion이 판정값 Iref를 초과하고 있으면(스텝 S63에서 "예"), 판정부(52b)는, 검사 대상부 A는 정상이라고 판정한다(스텝 S64). 판정부(52b)는, 그 판정 결과를 예를 들어 도시 생략의 표시 장치에 표시하거나, 외부에 송신하거나 하여 보고하고, 혹은 기억부(54)에 기억하고 처리를 종료한다(스텝 S26).

한편, 온 전류 Ion이 판정값 Iref 이하라면(스텝 S63에서 "아니오"), 판정부(52b)는, 검사 대상부 A는 불량이라고 판정한다(스텝 S65). 판정부(52b)는, 그 판정 결과를 예를 들어 도시 생략의 표시 장치에 표시하거나, 외부에 송신하거나 하여 보고하고, 혹은 기억부(54)에 기억하고 처리를 종료한다.

도 18에 도시하는 예에서는, 검사 대상부 A가 정상이면, 그래프 G1에 나타내는 바와 같이 온 전류 Ion은 0.8이 되고, 판정값 Iref=0.72를 초과하고 있기 때문에(스텝 S63에서 "예"), 정확하게 검사 대상부 A는 정상이라고 판정된다. 한편, 검사 대상부 A가 불량이면, 그래프 G2에 나타내는 바와 같이 온 전류 Ion은 0.4가 되고, 판정값 Iref=0.72 이하이기 때문에(스텝 S63에서 "아니오"), 정확하게 검사 대상부 A는 불량이라고 판정된다.

이상, 스텝 S51 내지 S65의 처리에 의하면, 검사 대상부 A의 양부를 정확하게 판정할 수 있고, 따라서, 검사 대상부 A를 검사하는 것이 용이하다.

또한, 도 16에 도시하는 스텝 S4에 있어서 전류값을 다르게 하면서 복수회, 스텝 S5에 있어서 프로브 Pr1, Pr2 간에 전류를 흘리고, 각 전류가 흐르는 각 기간 중에 프로브 Pr1, Pr2 간의 전압을 측정하는 예를 나타냈지만, 예를 들어 도 19에 도시한 바와 같이 스텝 S2 내지 S5, S7 대신에 스텝 S2a 내지 S5a, S7a를 실행함으로써, 측정 처리부(51b)는, 전압값을 다르게 하면서 복수회, 프로브 Pr1, Pr2 간에 전압을 인가하고, 각 전압이 인가되어 있는 각 기간 중에 프로브 Pr1, Pr2 간을 흐르는 전류를 측정해도 된다. 이 경우에도, 스텝 S6 내지 S61의 처리에 의해, 측정 처리부(51b)는, n개의 전류값 I(1) 내지 I(n)의 변화에 기초하여, 검사 대상부 A의 온 전류 Ion을 취득할 수 있다.

또한, 검사 대상부 A는, 2개의 전류 경로 A1, A2가 병렬 접속된 예를 나타냈지만, 병렬 접속되는 전류 경로의 수는, 3개 이상이어도 된다. 예를 들어, 전류 경로 A1, A2에 더하여 도시 생략의 전류 경로 A3이 병렬 접속되어 있는 경우, 전류 경로 A3의 특성이 전류 경로 A1, A2와 대략 동일하면, 그 전류-전압 특성은, 도 20에서 도시된다.

도 20에 도시하는 그래프 G3, G4, G5는, 도 9에 도시하는 그래프 G3, G4, G5와 동일하게 된다.

이와 같이, 3개의 전류 경로가 병렬 접속된 경우에도, 온 전압 탐색부(53a)는, 스텝 S7에 있어서 전류값의 상한을 1.0으로부터 1.4 정도로 변경함으로써, 정상 시의 그래프 G3에 있어서의 제1 전류값 Ia(=1.2mA)를 취득할 수 있다.

그리고, 측정 처리부(51b)는, 도 16, 도 17, 도 19에 도시하는 스텝 S51 내지 S61의 처리에 의해 온 전류 Ion을 취득할 수 있다. 판정부(52b)는, 온 전류 Ion과, 제1 전류값 Ia에 기초하여, 도 17에 도시하는 스텝 S61 내지 S65의 처리에 의해, 검사 대상부 A의 양부를 판정할 수 있다. 제1 전류값 Ia=1.2mA의 경우, 판정값 Iref=1.2×0.9=1.08이 된다(스텝 S62).

그래프 G3의 경우, 온 전류 Ion(=1.2)이 판정값 Iref(=1.08)을 초과하고 있기 때문에(스텝 S63에서 "예"), 그래프 G3의 검사 대상부 A를 정확하게 정상으로 판정할 수 있다(스텝 S64). 그래프 G4의 경우, 온 전류 Ion(=0.8)이 판정값 Iref(=1.08) 이하이기 때문에(스텝 S63에서 "아니오"), 그래프 G4의 검사 대상부 A를 정확하게 불량으로 판정할 수 있다(스텝 S65). 그래프 G5의 경우, 온 전류 Ion(=0.4)이 판정값 Iref(=1.08) 이하이기 때문에(스텝 S63에서 "아니오"), 그래프 G5의 검사 대상부 A를 정확하게 불량으로 판정할 수 있다(스텝 S65).

즉, 본 발명의 일례에 관한 검사 장치는, 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하기 위한 검사 장치이며, 전류를 공급 가능한 전류 공급부와, 전압을 측정 가능한 전압 측정부와, 미리 설정된 제1 전류값의 전류를 상기 전류 공급부에 의해 상기 양단 간에 흐르게 하면서, 상기 양단 간의 전압을 상기 전압 측정부에 의해 제1 전압값으로 하여 측정시키는 측정 처리부를 구비하고, 상기 제1 전류값은, 정상인 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값 이하이다.

또한, 본 발명의 일례에 관한 검사 방법은, 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하는 검사 방법이며, 미리 설정된 제1 전류값의 전류를 상기 양단 간에 흘리면서, 상기 양단 간의 전압을 제1 전압값으로 하여 측정하는 측정 처리 공정을 포함하고, 상기 제1 전류값은, 정상인 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값 이하이다.

다이오드 특성을 갖는 검사 대상부는, 그 특성상, 양단 간의 전압이 온 전압을 초과하는 영역에서는, 흐르는 전류에 대한 상기 전압의 변화가 근소하다. 이들의 구성에 의하면, 정상인 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압이 되는 전류값 이하의 제1 전류값이 검사 대상부에 흘렀을 때의, 그 검사 대상부의 양단 간의 전압이 제1 전압값으로 하여 측정된다. 그렇게 하면, 정상인 검사 대상부의 양단 간의 전압이 온 전압을 초과하지 않는 영역에 있어서, 검사 대상부에 흐르는 제1 전류값의 전류에 대하여 그 양단 간에 발생하는 전압이 제1 전압값으로 하여 측정되기 때문에, 복수의 전류 경로 중 어느 하나가 단선된 경우의 제1 전압값의 변화가 크게 나타난다. 따라서, 제1 전압값에는, 검사 대상부가 정상인지의 여부를 나타내는 정보가 반영되므로, 제1 전압값이 얻어짐으로써, 검사 대상부의 검사가 용이해진다.

또한, 상기 제1 전압값에 기초하여, 상기 검사 대상부의 양부를 판정하는 판정부를 더 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 전압값에 기초하여, 검사 대상부의 양부를 판정할 수 있다.

또한, 본 발명의 일례에 관한 검사 장치는, 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하기 위한 검사 장치이며, 전압을 출력 가능한 전압 공급부와, 전류를 측정 가능한 전류 측정부와, 실질적으로 상기 온 전압 이하로 미리 설정된 제1 전압값의 전압을 상기 전압 공급부에 의해 상기 검사 대상부의 양단 간에 인가시키면서, 상기 양단 간에 흐르는 전류를 상기 전류 측정부에 의해 제1 전류값으로 하여 측정시키는 측정 처리부를 구비한다.

또한, 본 발명의 일례에 관한 검사 방법은, 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하는 검사 방법이며, 실질적으로 상기 온 전압 이하로 미리 설정된 제1 전압값의 전압을 상기 검사 대상부의 양단 간에 인가하면서, 상기 양단 간에 흐르는 전류를 제1 전류값으로 하여 측정하는 측정 처리 공정을 포함한다.

이들의 구성에 의하면, 제1 전류 대신에 제1 전압이 검사 대상부의 양단 간에 인가되고, 제1 전압 대신에 검사 대상부의 양단 간에 흐르는 전류가 제1 전류로 하여 측정된다. 이 경우에도, 측정되는 제1 전류에는, 검사 대상부가 정상인지의 여부를 나타내는 정보가 반영되므로, 제1 전류가 얻어짐으로써, 검사 대상부의 검사가 용이해진다.

또한, 상기 제1 전류값에 기초하여, 상기 검사 대상부의 양부를 판정하는 판정부를 더 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 전류값에 기초하여, 검사 대상부의 양부를 판정할 수 있다.

또한, 정상인 상기 검사 대상부는, 상기 복수의 전류 경로가 모두 도통하고 있는 것인 것이 바람직하다.

병렬 접속된 복수의 전류 경로가 모두 도통하고 있으면, 검사 대상부는 정상이다.

또한, 상기 제1 전류값은, 상기 복수의 전류 경로 중 하나를 제외한 잔여의 전류 경로가 단선된 상기 검사 대상부에 당해 제1 전류값의 전류를 흘렸을 경우에 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값 이상인 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 전류값은, 정상인 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압이 되는 전류값 이하이며, 또한, 복수의 전류 경로 중 하나를 제외한 잔여의 전류 경로가 단선된 검사 대상부에 당해 제1 전류값의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압이 되는 전류값 이상의 전류 범위로, 미리 설정되어 있다. 이러한 전류 범위는, 제1 전류값으로서 적합하다.

또한, 상기 제1 전류값은, 상기 복수의 전류 경로 중 하나만이 단선된 상기 검사 대상부에 당해 제1 전류값의 전류를 흘렸을 경우에 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값 이상인 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 전류값은, 정상인 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압이 되는 전류값 이하이며, 또한, 복수의 전류 경로 중 하나만이 단선된 상기 검사 대상부에 당해 제1 전류값의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압이 되는 전류값 이상의 전류 범위로, 미리 설정되어 있다. 이러한 전류 범위는, 제1 전류값으로서 적합하다.

또한, 상기 제1 전류값은, 상기 복수의 전류 경로 중 하나만이 단선된 상기 검사 대상부에 당해 제1 전류값의 전류를 흘렸을 경우에 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값인 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 전류값은, 복수의 전류 경로 중 하나만이 단선된 검사 대상부에 당해 제1 전류값의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압이 되는 전류값으로, 미리 설정되어 있다. 이 경우, 제1 전류값이, 정상인 검사 대상부에 당해 제1 전류값의 전류를 흘렸을 경우에 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 온 전압이 되는 전류값인 경우보다도, 정상 시와 불량 시에서 얻어지는 제1 전압값의 차가 크다. 따라서, 제1 전압값에 기초하여 검사 대상부의 양부를 판정하는 것이, 보다 용이해진다.

또한, 상기 제1 전류값은, 정상인 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값이고, 상기 측정 처리부는, 상기 제1 전류값의 전류를 상기 전류 공급부에 의해 상기 양단 간에 흐르게 하면서 상기 양단 간의 전압을 상기 전압 측정부에 의해 제1 전압값으로 하여 측정시키고, 상기 제1 전류값보다도 작은 제2 전류값의 전류를 상기 전류 공급부에 의해 상기 양단 간에 흐르게 하면서 상기 양단 간의 전압을 상기 전압 측정부에 의해 제2 전압값으로 하여 측정시키고, 상기 검사 장치는, 상기 제1 전류값과 상기 제2 전류값의 차 및 상기 제1 전압값과 상기 제2 전압값의 차의 비에 기초하여, 상기 검사 대상부의 양부를 판정하는 판정부를 더 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 전류값과 제2 전류값의 차 및 제1 전압값과 제2 전압값의 차의 비는, 검사 대상부의 전류-전압 특성 그래프에 있어서의, 제1 전류값과 제1 전압값이 교차하는 점과, 제2 전류값과 제2 전압값이 교차하는 점을 연결하는 직선의 기울기를 나타낸다. 그리고, 이 기울기는, 정상인 검사 대상부보다도, 복수의 전류 경로 중 어느 한쪽이 단선된 검사 대상부쪽이 커진다. 따라서, 판정부는, 상기 기울기에 기초하여, 검사 대상부의 양부를 판정할 수 있다.

또한, 전류값을 다르게 하면서 복수회, 상기 전류 공급부에 의해 상기 양단 간에 전류를 흐르게 하고, 상기 각 전류가 흐르는 각 기간 중에 상기 전압 측정부에 의해 상기 양단 간의 전압을 측정시켜, 당해 측정된 복수의 전압의 변화에 기초하여 상기 검사 대상부의 온 전압을 탐색하는 온 전압 탐색부를 더 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 특성이 불분명한 검사 대상부의 온 전압을 탐색할 수 있다.

또한, 본 발명의 일례에 관한 검사 장치는, 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하기 위한 검사 장치이며, 전류 또는 전압 중 한쪽을, 값을 다르게 하면서 복수회, 상기 검사 대상부의 양단 간에 공급하고, 상기 한쪽이 공급되는 각 기간 중에 상기 양단 간에 있어서의 상기 전류 또는 전압 중 다른 쪽을 측정하고, 당해 측정된 상기 다른 쪽의 변화에 기초하여 상기 검사 대상부가 온하는 상기 전류를 취득하는 측정 처리부와, 상기 측정 처리부에 의해 취득된 상기 전류에 기초하여 상기 검사 대상부의 양부를 판정하는 판정부를 구비한다.

또한, 본 발명의 일례에 관한 검사 방법은, 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하기 위한 검사 방법이며, 전류 또는 전압 중 한쪽을, 값을 다르게 하면서 복수회, 상기 검사 대상부의 양단 간에 공급하고, 상기 한쪽이 공급되는 각 기간 중에 상기 양단 간에 있어서의 상기 전류 또는 전압 중 다른 쪽을 측정하고, 당해 측정된 상기 다른 쪽의 변화에 기초하여 상기 검사 대상부가 온하는 상기 전류를 취득하는 측정 처리 공정과, 상기 측정 처리부에 의해 취득된 상기 전류에 기초하여 상기 검사 대상부의 양부를 판정하는 판정 공정을 포함한다.

검사 대상부가 온하는 전류는, 복수의 전류 경로 중 어느 한쪽에 단선이 발생한 검사 대상부보다도, 정상인 검사 대상부쪽이 많아진다. 그래서 이들의 구성에 의하면, 검사 대상부가 온하는 전류가 취득되고, 그 전류에 기초하여 검사 대상부의 양부를 판정할 수 있다.

또한, 본 발명의 일례에 관한 검사 장치용 프로그램은, 상술한 검사 장치를 동작시키기 위한 검사 장치용 프로그램이며, 컴퓨터를, 상기 측정 처리부로서 기능시킨다.

이 프로그램에 의하면, 컴퓨터를, 상기 측정 처리부로서 기능시킴으로써 상술한 검사 장치를 동작시킬 수 있다.

이와 같은 구성의 검사 장치, 검사 방법 및 검사 장치용 프로그램은, 복수의 다이오드가 병렬 접속된 검사 대상의 검사가 용이하다.

이 출원은, 2018년 12월 6일에 출원된 일본 특허 출원 제2018-228749를 기초로 하는 것이고, 그 내용은, 본원에 포함되는 것이다. 또한, 발명을 실시하기 위한 형태의 항에 있어서 이루어진 구체적인 실시 양태 또는 실시예는, 어디까지나, 본 발명의 기술 내용을 밝히는 것으로서, 본 발명은 그러한 구체예에만 한정하여 협의로 해석되어야 하는 것은 아니다.

1, 1a, 1b: 검사 장치
2: 전류 공급부
3: 전압 측정부
4: 전류 측정부
5, 5a, 5b: 제어부
51, 51a, 51b: 측정 처리부
52, 52a, 52b: 판정부
53, 53a: 온 전압 탐색부
54: 기억부
55: 기준 기울기 취득부
100: 회로 기판
101: 배선 기판
102: 부품
A, B, C: 검사 대상부
A1, A2, A3: 전류 경로
D1, D2: 다이오드
G1, G2, G3, G4, G5: 그래프
I: 전류값
Ia: 제1 전류값
Ib: 제2 전류값
Ion: 온 전류
Iref: 판정값
IS: 기준 전류값
L1, L2, L3, L4, L5: 직선
P1 내지 P10: 포인트
Pa1 내지 Pa6: 패드
Pr1, Pr2: 프로브
R: 비
T1 내지 T4: 단자
V: 전압값
Va: 제1 전압값
Vb: 제2 전압값
Vd1, Vd2: 전압 차
Vg: 전압값
Von: 온 전압
Vref: 판정 전압
W1 내지 W8: 배선 패턴
rs: 기준 기울기
rt: 기울기
rth: 판정값

Claims (15)

1. 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하기 위한 검사 장치이며,
   전류를 공급 가능한 전류 공급부와,
   전압을 측정 가능한 전압 측정부와,
   미리 설정된 제1 전류값의 전류를 상기 전류 공급부에 의해 상기 양단 간에 흐르게 하면서, 상기 양단 간의 전압을 상기 전압 측정부에 의해 제1 전압값으로 하여 측정시키는 측정 처리부를 구비하고,
   상기 제1 전류값은, 정상인 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값 이하인, 검사 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1 전압값에 기초하여, 상기 검사 대상부의 양부를 판정하는 판정부를 더 구비하는, 검사 장치.
3. 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하기 위한 검사 장치이며,
   전압을 출력 가능한 전압 공급부와,
   전류를 측정 가능한 전류 측정부와,
   실질적으로 상기 온 전압 이하로 미리 설정된 제1 전압값의 전압을 상기 전압 공급부에 의해 상기 검사 대상부의 양단 간에 인가시키면서, 상기 양단 간에 흐르는 전류를 상기 전류 측정부에 의해 제1 전류값으로 하여 측정시키는 측정 처리부를 구비하는, 검사 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 제1 전류값에 기초하여, 상기 검사 대상부의 양부를 판정하는 판정부를 더 구비하는, 검사 장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 전류값은, 상기 복수의 전류 경로 중 하나를 제외한 잔여의 전류 경로가 단선된 상기 검사 대상부에 당해 제1 전류값의 전류를 흘렸을 경우에 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값 이상인, 검사 장치.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 전류값은, 상기 복수의 전류 경로 중 하나만이 단선된 상기 검사 대상부에 당해 제1 전류값의 전류를 흘렸을 경우에 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값 이상인, 검사 장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 제1 전류값은, 상기 복수의 전류 경로 중 하나만이 단선된 상기 검사 대상부에 당해 제1 전류값의 전류를 흘렸을 경우에 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값인, 검사 장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 제1 전류값은, 정상인 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값이고,
   상기 측정 처리부는, 또한, 상기 제1 전류값보다도 작은 제2 전류값의 전류를 상기 전류 공급부에 의해 상기 양단 간에 흐르게 하면서 상기 양단 간의 전압을 상기 전압 측정부에 의해 제2 전압값으로 하여 측정시키고,
   상기 검사 장치는, 상기 제1 전류값과 상기 제2 전류값의 차 및 상기 제1 전압값과 상기 제2 전압값의 차의 비에 기초하여, 상기 검사 대상부의 양부를 판정하는 판정부를 더 구비하는, 검사 장치.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 전류값을 다르게 하면서 복수회, 상기 전류 공급부에 의해 상기 양단 간에 전류를 흐르게 하고, 상기 각 전류가 흐르는 각 기간 중에 상기 전압 측정부에 의해 상기 양단 간의 전압을 측정시켜, 당해 측정된 복수의 전압의 변화에 기초하여 상기 검사 대상부의 온 전압을 탐색하는 온 전압 탐색부를 더 구비하는, 검사 장치.
10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 정상인 상기 검사 대상부는, 상기 복수의 전류 경로가 모두 도통하고 있는, 검사 장치.
11. 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하는 검사 방법이며,
    미리 설정된 제1 전류값의 전류를 상기 양단 간에 흘리면서, 상기 양단 간의 전압을 제1 전압값으로 하여 측정하는 측정 처리 공정을 포함하고,
    상기 제1 전류값은, 정상인 상기 검사 대상부의 양단 간의 전압이 실질적으로 상기 온 전압이 되는 전류값 이하인, 검사 방법.
12. 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하는 검사 방법이며,
    실질적으로 상기 온 전압 이하에 미리 설정된 제1 전압값의 전압을 상기 검사 대상부의 양단 간에 인가하면서, 상기 양단 간에 흐르는 전류를 제1 전류값으로 하여 측정하는 측정 처리 공정을 포함하는, 검사 방법.
13. 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하기 위한 검사 장치이며,
    전류 또는 전압 중 한쪽을, 값을 다르게 하면서 복수회, 상기 검사 대상부의 양단 간에 공급하고, 상기 한쪽이 공급되는 각 기간 중에 상기 양단 간에 있어서의 상기 전류 또는 전압 중 다른 쪽을 측정하고, 당해 측정된 상기 다른 쪽의 변화에 기초하여 상기 검사 대상부가 온하는 상기 전류를 취득하는 측정 처리부와,
    상기 측정 처리부에 의해 취득된 상기 전류에 기초하여 상기 검사 대상부의 양부를 판정하는 판정부를 구비하는, 검사 장치.
14. 순방향의 전압이 온 전압을 초과한 경우의 상기 전압의 변화에 대한 전류의 변화가, 상기 순방향의 전압이 상기 온 전압에 못 미친 경우보다도 큰 다이오드 특성을 갖는 복수의 전류 경로가 병렬 접속된 검사 대상부의 검사를 행하기 위한 검사 방법이며,
    전류 또는 전압 중 한쪽을, 값을 다르게 하면서 복수회, 상기 검사 대상부의 양단 간에 공급하고, 상기 한쪽이 공급되는 각 기간 중에 상기 양단 간에 있어서의 상기 전류 또는 전압 중 다른 쪽을 측정하고, 당해 측정된 상기 다른 쪽의 변화에 기초하여 상기 검사 대상부가 온하는 상기 전류를 취득하는 측정 처리 공정과,
    상기 측정 처리부에 의해 취득된 상기 전류에 기초하여 상기 검사 대상부의 양부를 판정하는 판정 공정을 포함하는, 검사 방법.
15. 제1항 내지 제10항 및 제13항 중 어느 한 항에 기재된 검사 장치를 동작시키기 위한 검사 장치용 프로그램이며,
    컴퓨터를, 상기 측정 처리부로서 기능시키는, 검사 장치용 프로그램.

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