KR20210032081A - 반도체 패키지 - Google Patents
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Abstract
반도체 패키지는 패키지 기판, 로직 칩, 히트 싱크 및 메모리 칩을 포함할 수 있다. 상기 로직 칩은 상기 패키지 기판의 상부면에 배치되어, 상기 패키지 기판에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 히트 싱크는 상기 로직 칩의 상부면과 접촉되어, 상기 로직 칩에서 발생된 열을 방출시킬 수 있다. 상기 메모리 칩은 상기 히트 싱크의 상부면에 배치되어, 상기 패키지 기판에 전기적으로 연결될 수 있다. 따라서, 메모리 칩이 실장되는 기존의 패키지 기판이 히트 싱크로 대체되면서 메모리 칩은 패키지 기판에 직접 연결됨으로써, 로직 칩으로부터 발생된 열이 히트 싱크를 통해서 신속하게 방출될 수 있다.
Description
본 발명은 반도체 패키지에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 메모리 칩과 로직 칩을 포함하는 시스템-인 패키지에 관한 것이다.
시스템-인 패키지는 복수개의 메모리 칩들과 로직 칩을 포함할 수 있다. 로직 칩은 제 1 패키지 기판 상에 실장될 수 있다. 메모리 칩들은 제 2 패키지 기판 상에 실장될 수 있다. 메모리 칩들이 실장된 제 2 패키지 기판은 로직 칩 상에 배치될 수 있다. 메모리 칩들과 로직 칩은 패키지 기판에 전기적으로 연결될 수 있다.
관련 기술들에 따르면, 로직 칩으로부터 발생된 열은 제 2 패키지 기판을 통해서 신속하게 방출되지 않을 수 있다. 이로 인하여, 로직 칩으로부터 발생된 열이 시스템-인 패키지 내에 계속적으로 잔류하게 되어, 시스템-인 패키지의 성능을 열화시킬 수 있다.
본 발명은 로직 칩에서 발생된 열을 신속하게 방출시킬 수 있는 반도체 패키지를 제공한다.
본 발명의 일 견지에 따른 반도체 패키지는 패키지 기판, 로직 칩, 히트 싱크 및 메모리 칩을 포함할 수 있다. 상기 로직 칩은 상기 패키지 기판의 상부면에 배치되어, 상기 패키지 기판에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 히트 싱크는 상기 로직 칩의 상부면과 접촉되어, 상기 로직 칩에서 발생된 열을 방출시킬 수 있다. 상기 메모리 칩은 상기 히트 싱크의 상부면에 배치되어, 상기 패키지 기판에 전기적으로 연결될 수 있다.
본 발명의 다른 견지에 따른 반도체 패키지는 패키지 기판, 로직 칩, 히트 싱크 및 메모리 칩을 포함할 수 있다. 상기 패키지 기판은 제 1 더미 패드, 제 2 더미 패드 및 상기 제 1 더미 패드와 상기 제 2 더미 패드를 연결하는 열 전달 라인을 포함할 수 있다. 상기 로직 칩은 상기 패키지 기판의 상부면에 배치되어 상기 패키지 기판에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 로직 칩은 상기 제 1 더미 패드에 접촉될 수 있다. 상기 히트 싱크는 상기 로직 칩의 상부면과 상기 제 2 더미 패드에 접촉되어 상기 로직 칩에서 발생된 열을 방출시킬 수 있다. 상기 히트 싱크는 상기 패키지 기판과 전기적으로 절연될 수 있다. 상기 메모리 칩은 상기 히트 싱크의 상부면에 배치되어, 상기 패키지 기판에 전기적으로 연결될 수 있다.
본 발명의 또 다른 견지에 따른 반도체 패키지는 패키지 기판, 로직 칩, 도전성 범프, 제 1 더미 범프, 제 2 더미 범프, 히트 싱크, 메모리 칩 및 도전성 와이어를 포함할 수 있다. 상기 패키지 기판은 절연 기판, 상기 절연 기판 내에 형성된 도전층, 상기 절연 기판의 상부면에 배치되어 상기 도전층에 연결된 제 1 신호 패드, 상기 절연 기판의 상부면에 배치되어 상기 도전층에 연결된 제 2 신호 패드, 상기 절연 기판의 상부면에 배치된 제 1 더미 패드, 상기 절연 기판의 상부면에 배치된 제 2 더미 패드, 및 상기 제 1 더미 패드와 상기 제 2 더미 패드를 연결하는 열 전달 라인을 포함할 수 있다. 상기 로직 칩은 상기 패키지 기판의 상부면에 배치되어, 상기 제 1 더미 패드에 접촉될 수 있다. 상기 도전성 범프는 상기 로직 칩과 상기 제 1 신호 패드 사이에 개재될 수 있다. 상기 제 1 더미 범프는 상기 제 1 더미 패드와 상기 로직 칩 사이에 개재될 수 있다. 상기 제 2 더미 범프는 상기 제 2 더미 패드 상에 형성될 수 있다. 상기 히트 싱크는 상기 로직 칩의 상부면에 접촉될 수 있다. 상기 히트 싱크는 상기 제 2 더미 범프에 연결된 열 전달부를 가질 수 있다. 상기 히트 싱크는 상기 패키지 기판과 전기적으로 절연될 수 있다. 상기 히트 싱크는 금속을 포함할 수 있다. 상기 메모리 칩은 상기 히트 싱크의 상부면에 배치될 수 있다. 상기 도전성 와이어는 상기 메모리 칩으로부터 연장되어 상기 제 2 신호 패드에 연결될 수 있다.
상기된 본 발명에 따르면, 메모리 칩이 실장되는 기존의 패키지 기판이 히트 싱크로 대체되면서 메모리 칩은 패키지 기판에 직접 연결됨으로써, 로직 칩으로부터 발생된 열이 히트 싱크를 통해서 신속하게 방출될 수 있다. 따라서, 반도체 패키지의 성능이 로직 칩으로부터 발생된 열에 의해 열화되는 것이 억제될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타낸 단면도이다.
도 2 내지 도 6은 도 1에 도시된 반도체 패키지를 제조하는 방법을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타낸 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타낸 단면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타낸 단면도이다.
도 2 내지 도 6은 도 1에 도시된 반도체 패키지를 제조하는 방법을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타낸 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타낸 단면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타낸 단면도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타낸 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 패키지(100)는 패키지 기판(110), 적어도 하나의 로직 칩(140), 히트 싱크(170) 및 적어도 하나의 메모리 칩(190)을 포함할 수 있다. 이와 같이, 본 실시예의 반도체 패키지(100)는 로직 칩(140)과 메모리 칩(190)을 포함하는 시스템-인 패키지에 해당될 수 있다.
패키지 기판(110)은 절연 기판(112), 도전층(114), 상부 패드들 및 하부 패드(130)들을 포함할 수 있다. 도전층(114)은 절연 기판(112)의 내부에 형성될 수 있다. 도전층(114)은 절연 기판(112)의 상부면과 하부면을 통해서 부분적으로 노출될 수 있다. 상부 패드들은 절연 기판(112)의 상부면을 통해 노출된 도전층(114) 부분들 상에 배치될 수 있다. 하부 패드(130)들은 절연 기판(112)의 하부면을 통해 노출된 도전층(114) 부분들 상에 배치될 수 있다. 외부접속단자(210)들이 하부 패드(130)들에 실장될 수 있다.
상부 패드들은 제 1 신호 패드(120)들 및 제 2 신호 패드들(122)을 포함할 수 있다. 제 1 신호 패드(120)들은 절연 기판(112)의 상부면 중앙부에 배열될 수 있다. 제 1 신호 패드(120)들은 로직 칩(140)의 하부에 위치할 수 있다. 제 2 신호 패드(122)들은 절연 기판(112)의 상부면 가장자리에 배열될 수 있다. 제 2 신호 패드(122)들은 로직 칩(140)의 측면으로부터 노출될 수 있다.
로직 칩(140)은 패키지 기판(110)의 중앙부 상부에 배치될 수 있다. 도전성 범프(150)들이 로직 칩(140)과 패키지 기판(110) 사이에 개재되어, 로직 칩(140)을 패키지 기판(110)에 전기적으로 연결시킬 수 있다. 구체적으로, 도전성 범프(150)들은 제 1 신호 패드(120)들 상에 배치될 수 있다. 로직 칩(140)의 하부면에 배열된 패드(142)들이 도전성 범프(150)들에 전기적으로 접촉될 수 있다. 따라서, 로직 칩(140)의 패드(142)들은 도전성 범프(150)들을 매개로 제 1 신호 패드(120)들에 전기적으로 연결될 수 있다.
제 1 몰딩 부재(160)가 패키지 기판(110)의 상부면 중앙부에 형성되어 로직 칩(140)을 부분적으로 덮을 수 있다. 그러나, 로직 칩(140)의 상부면은 제 1 몰딩 부재(160)로 덮이지 않을 수 있다. 따라서, 로직 칩(140)의 상부면은 위를 향해 노출될 수 있다. 또한, 제 1 몰딩 부재(160)는 제 2 신호 패드(122)를 덮지 않을 수 있다. 따라서, 제 2 신호 패드(122)는 위를 향해 노출될 수 있다. 제 1 몰딩 부재(160)는 제 1 열전도율을 갖는 제 1 몰딩 물질을 포함할 수 있다.
히트 싱크(170)는 로직 칩(140)과 제 1 몰딩 부재(160)의 상부면들에 배치될 수 있다. 특히, 히트 싱크(170)는 전열성 접착제(180)를 매개로 로직 칩(140)의 상부면에 부착될 수 있다. 전열성 접착제(180)는 로직 칩(140)의 상부면을 통해 방출된 열을 히트 싱크(170)로 전달할 수 있는 특성을 가질 수 있다. 예를 들어서, 전열성 접착제(180)는 서멀 인터페이스 물질(Thermal Interface Material : TIM)을 포함할 수 있다. 그러나, 히트 싱크(170)는 전열성 접착제(180)가 아닌 일반적인 접착제를 매개로 로직 칩(140)에 부착될 수도 있다.
본 실시예에서, 히트 싱크(170)는 패키지 기판(110)과 전기적으로 절연될 수 있다. 즉, 히트 싱크(170)는 패키지 기판(110)에 연결되지 않을 수 있다. 히트 싱크(170)는 반도체 패키지(100)의 내부에 배치되어, 로직 칩(140)에서 발생된 열을 반도체 패키지(100)의 외부로 방출하는 기능만을 가질 수 있다. 히트 싱크(170)는 열을 외부로 신속하게 방출할 수 있는 금속 물질을 포함할 수 있다. 금속 물질의 종류는 특정 물질로 국한되지 않을 수 있다.
메모리 칩(190)은 히트 싱크(170)의 상부면에 배치될 수 있다. 본 실시예에서, 메모리 칩(190)은 히트 싱크(170)의 상부면 양측 가장자리들에 배치된 한 쌍으로 이루어질 수 있다. 패드(192)는 메모리 칩(190)들의 상부면에 배치될 수 있다.
메모리 칩(190)의 패드(192)는 도전성 와이어(200)를 매개로 제 2 신호 패드(122)에 전기적으로 연결될 수 있다. 히트 싱크(170)는 패키지 기판(110)에 전기적으로 연결되어 있지 않으므로, 메모리 칩(190)은 히트 싱크(170)를 경유하지 않고 도전성 와이어(200)를 통해서 패키지 기판(110)에 직접 전기적으로 연결될 수 있다.
제 2 몰딩 부재(162)가 패키지 기판(110)의 상부면에 형성되어, 히트 싱크(170), 메모리 칩(190) 및 도전성 와이어(200)를 덮을 수 있다. 제 2 몰딩 부재(162)는 제 2 열전도율을 갖는 제 2 몰딩 물질을 포함할 수 있다. 제 2 열전도율은 제 1 열전도율과 실질적으로 동일하거나 또는 상이할 수도 있다. 예를 들어서, 제 2 전도율은 제 1 전도율보다 높을 수 있다.
본 실시예에 따르면, 메모리 칩(190)이 실장되는 기존의 패키지 기판이 히트 싱크(170)로 대체될 수 있다. 한편, 히트 싱크(170) 상에 배치된 메모리 칩(190)은 히트 싱크(170)를 경유하지 않고 도전성 와이어(200)를 통해서 패키지 기판(110)에 직접 전기적으로 연결될 수 있다. 이와 같이, 로직 칩(140)에 직접 접촉된 히트 싱크(170)가 반도체 패키지(100)의 내부에 배치됨으로써, 로직 칩(140)으로부터 발생된 열이 히트 싱크(170)와 제 2 몰딩 부재(162)를 통해서 신속하게 방출될 수 있다.
도 2 내지 도 6은 도 1에 도시된 반도체 패키지를 제조하는 방법을 순차적으로 나타낸 단면도들이다.
도 2를 참조하면, 도전성 범프(150)들을 패키지 기판(110)의 제 1 신호 패드(120)들 상에 배치할 수 있다. 로직 칩(140)을 도전성 범프(150)들 상에 배치할 수 있다. 따라서, 로직 칩(140)의 패드(142)들은 도전성 범프(150)들을 매개로 제 1 신호 패드(120)들에 전기적으로 연결될 수 있다. 제 1 몰딩 부재(160)를 패키지 기판(110)의 상부면에 형성하여, 로직 칩(140)의 측면들을 제 1 몰딩 부재(160)로 둘러쌀 수 있다. 제 1 몰딩 부재(160)는 로직 칩(140)의 상부면에 형성되지 않을 수 있다. 따라서, 로직 칩(140)의 상부면은 위를 향해 노출될 수 있다.
도 3을 참조하면, 히트 싱크(170)를 전열성 접착제(180), 즉 TIM을 이용해서 노출된 로직 칩(140)의 상부면에 부착할 수 있다. 따라서, 히트 싱크(170)는 전열성 접착제(180)를 매개로 로직 칩(140)의 상부면에 접촉될 수 있다. 그러므로, 로직 칩(140)의 상부면을 통해 방출된 열은 전열성 접착제(180)를 통해서 히트 싱크(170)로 전달될 수 있다.
도 4를 참조하면, 메모리 칩(190)들을 히트 싱크(170)의 상부면에 배치할 수 있다. 메모리 칩(190)의 패드(192)들은 메모리 칩(190)의 상부면에 위치할 수 있다.
도 5를 참조하면, 메모리 칩(190)들의 패드(192)들을 도전성 와이어(200)들을 이용해서 제 2 신호 패드(122)에 전기적으로 연결시킬 수 있다. 즉, 도전성 와이어(200)의 상단은 메모리 칩(190)의 패드(192)에 연결되고, 도전성 와이어(200)의 하단은 제 2 신호 패드(122)에 연결될 수 있다.
도 6을 참조하면, 제 2 몰딩 부재(162)를 패키지 기판(110)의 상부면에 형성하여, 메모리 칩(190)과 히트 싱크(170) 및 도전성 와이어(200)들을 제 2 몰딩 부재(162)로 덮을 수 있다.
외부접속단자(210)들을 하부 패드(130)들 상에 실장하여, 도 1에 도시된 반도체 패키지(100)를 완성할 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타낸 단면도이다.
본 실시예에 따른 반도체 패키지(100a)는 패키지 기판과 히트 싱크를 제외하고는 도 1에 도시된 반도체 패키지(100)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 7을 참조하면, 패키지 기판(110a)은 제 1 더미 패드(124)와 제 2 더미 패드(126) 및 열 전달 라인(116)을 더 포함할 수 있다.
제 1 더미 패드(124)는 절연 기판(112)의 상부면 중앙부에 배치될 수 있다. 제 1 더미 패드(124)는 도전층(114)에 연결되지 않을 수 있다. 즉, 제 1 더미 패드(124)는 도전층(114)과 전기적으로 절연될 수 있다. 특히, 제 1 더미 패드(124)는 로직 칩(140) 내의 회로에 전기적으로 연결되지 않을 수 있다. 따라서, 로직 칩(140) 내의 회로에서 발생된 신호는 제 1 더미 패드(124)로 전송되지 않을 수 있다.
제 2 더미 패드(126)는 제 1 신호 패드(120)와 제 2 신호 패드(122) 사이인 절연 기판(112)의 상부면 부위에 배치될 수 있다. 제 2 더미 패드(126)는 도전층(114)에 연결되지 않을 수 있다. 즉, 제 2 더미 패드(126)는 도전층(114)과 전기적으로 절연될 수 있다.
제 1 더미 패드(124)와 제 2 더미 패드(126)는 열 전달 라인(116)을 매개로 서로 연결될 수 있다. 열 전달 라인(116)은 절연 기판(112) 내에 형성될 수 있다. 열 전달 라인(116)은 도전층(114)에 연결되지 않을 수 있다. 열 전달 라인(116)은 로직 칩(140)의 하부면을 통해 방출되어 제 1 더미 패드(124)로 전달된 열을 제 2 더미 패드(126)로 전달할 수 있다. 본 실시예에서, 열 전달 라인(116)은 열을 제 1 더미 패드(124)로부터 제 2 더미 패드(126)로 신속하게 전달할 수 있는 금속 물질을 포함할 수 있다. 그러나, 열 전달 라인(116)은 금속 물질 이외에도 열 전달이 가능한 다른 물질들을 포함할 수도 있다.
제 1 더미 범프(154)가 제 1 더미 패드(124) 상에 배치될 수 있다. 제 1 더미 범프(154)는 로직 칩(140)의 하부면에 접촉될 수 있다. 그러나, 제 1 더미 범프(154)는 로직 칩(140) 내의 회로에는 전기적으로 연결되지 않을 수 있다. 제 1 더미 범프(154)는 로직 칩(140)의 하부면을 통해 방출된 열을 제 1 더미 패드(124)와 열 전달 라인(116)을 통해서 제 2 더미 패드(126)로 전달할 수 있다.
제 2 더미 범프(156)는 제 2 더미 패드(126) 상에 배치될 수 있다. 따라서, 로직 칩(140)의 하부면을 통해 방출된 열은 제 1 더미 범프(154), 제 1 더미 패드(124), 열 전달 라인(116) 및 제 2 더미 패드(126)를 통해서 제 2 더미 범프(156)로 전달될 수 있다. 제 1 및 제 2 더미 범프(154, 156)들은 도전성 범프(150)들과 함께 형성될 수 있다.
히트 싱크(170a)는 열 전달부(172)를 포함할 수 있다. 열 전달부(172)는 히트 싱크(170a)의 측면으로부터 연장될 수 있다. 열 전달부(172)는 제 2 더미 범프(156)에 연결될 수 있다. 다른 실시예로서, 열 전달부(172)는 제 2 더미 패드(126)에 직접 연결될 수도 있다. 본 실시예에서, 열 전달부(172)는 패키지 기판(110a)의 중앙부를 향해 구부러진 형상을 가질 수 있다. 다른 실시예로서, 열 전달부(172)는 직선 형상을 가질 수도 있다.
본 실시예에 따르면, 로직 칩(140)의 상부면을 통해 방출된 열은 히트 싱크(170a)로 전달될 수 있다. 또한, 로직 칩(140)의 하부면을 통해 방출된 열은 제 1 더미 범프(154), 제 1 더미 패드(124), 열 전달 라인(116), 제 2 더미 패드(126), 제 2 더미 범프(156) 및 열 전달부(172)를 통해서 히트 싱크(170a)로 전달될 수 있다. 이와 같이, 히트 싱크(170a)는 로직 칩(140)의 상부면을 통해 방출된 열뿐만 아니라 로직 칩(140)의 하부면을 통해 방출된 열도 신속하게 외부로 방출시킬 수 있다.
본 실시예의 반도체 패키지(100a)를 제조하는 방법은 히트 싱크(170a)를 로직 칩(140)의 상부면에 부착하는 공정이 열 전달부(172)를 제 2 더미 범프(156)에 연결시키는 공정을 더 포함한다는 점을 제외하고는 도 2 내지 도 6을 참조로 설명한 공정들과 실질적으로 동일한 공정들을 포함할 수 있다. 따라서, 본 실시예의 반도체 패키지(100a)를 제조하는 방법에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타낸 단면도이다.
본 실시예에 따른 반도체 패키지(100b)는 열 전달부의 형상을 제외하고는 도 7에 도시된 반도체 패키지(100a)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 8을 참조하면, 히트 싱크(170b)는 열 전달부(174)를 포함할 수 있다. 열 전달부(174)는 패키지 기판(110a)의 가장자리를 향해 구부러진 형상을 가질 수 있다. 열 전달부(174)는 제 2 더미 범프(156)에 연결될 수 있다. 다른 실시예로서, 열 전달부(174)는 제 2 더미 패드(126)에 직접 연결될 수도 있다. 또한, 열 전달부(174)는 직선 형상을 가질 수도 있다.
본 실시예의 반도체 패키지(100b)를 제조하는 방법은 히트 싱크(170a)를 로직 칩(140)의 상부면에 부착하는 공정이 열 전달부(174)를 제 2 더미 범프(156)에 연결시키는 공정을 더 포함한다는 점을 제외하고는 도 2 내지 도 6을 참조로 설명한 공정들과 실질적으로 동일한 공정들을 포함할 수 있다. 따라서, 본 실시예의 반도체 패키지(100b)를 제조하는 방법에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 패키지를 나타낸 단면도이다.
본 실시예에 따른 반도체 패키지(100c)는 외부 히트 싱크를 더 포함한다는 점을 제외하고는 도 1에 도시된 반도체 패키지(100)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 9를 참조하면, 제 2 몰딩 부재(162)는 히트 싱크(170)의 상부면을 노출시키는 개구부(164)를 가질 수 있다.
외부 히트 싱크(220)는 제 2 몰딩 부재(162)의 외측면에 배치될 수 있다. 본 실시예에서, 외부 히트 싱크(220)는 제 2 몰딩 부재(162)의 상부면에 배치될 수 있다. 외부 히트 싱크(220)는 개구부(164) 내에 배치된 연결부(222)를 가질 수 있다. 연결부(222)는 개구부(164)를 완전히 매립할 수 있다. 다른 실시예로서, 연결부(222)는 개구부(164)를 부분적으로 매립할 수도 있다. 따라서, 외부 히트 싱크(220)는 연결부(222)를 매개로 히트 싱크(170)에 연결될 수 있다. 그러므로, 히트 싱크(170) 내의 열이 외부 히트 싱크(220)를 통해서 반도체 패키지(100c)의 외부로 신속하게 방출될 수 있다. 외부 히트 싱크(220)는 히트 싱크(170)의 재질과 동일한 재질을 포함할 수 있다. 그러나, 외부 히트 싱크(220)의 재질은 히트 싱크(170)의 재질과 상이할 수도 있다.
반도체 패키지(100c)가 외부 히트 싱크(220)를 포함하는 경우, 로직 칩(140) 내의 열은 히트 싱크(170)와 외부 히트 싱크(220)를 통해서 신속하게 방출될 수 있다. 따라서, 제 2 몰딩 부재(162)는 높은 열전도율을 가질 필요가 없을 수 있다. 예를 들어서, 제 2 몰딩 부재(162)의 제 2 열전도율은 제 1 몰딩 부재(160)의 제 1 열전도율과 동일하거나 또는 제 1 열전도율보다 낮을 수 있다.
본 실시예의 외부 히트 싱크(220)는 도 7에 도시된 반도체 패키지(100a) 또는 도 8에 도시된 반도체 패키지(100b)에도 적용될 수 있다.
또한, 본 실시예의 반도체 패키지(100c)를 제조하는 방법은 외부 히트 싱크(220)를 제 2 몰딩 부재(162)의 상부면에 배치하는 공정을 더 포함한다는 점을 제외하고는 도 2 내지 도 6을 참조로 설명한 공정들과 실질적으로 동일한 공정들을 포함할 수 있다. 따라서, 본 실시예의 반도체 패키지(100c)를 제조하는 방법에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
상기된 본 실시예들에 따르면, 메모리 칩이 실장되는 기존의 패키지 기판이 히트 싱크로 대체되면서 메모리 칩은 패키지 기판에 직접 연결됨으로써, 로직 칩으로부터 발생된 열이 히트 싱크를 통해서 신속하게 방출될 수 있다. 따라서, 반도체 패키지의 성능이 로직 칩으로부터 발생된 열에 의해 열화되는 것이 억제될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110 ; 패키지 기판
112 ; 절연 기판
114 ; 도전층 116 ; 열 전달 라인
120 ; 제 1 신호 패드 122 ; 제 2 신호 패드
124 ; 제 1 더미 패드 126 ; 제 2 더미 패드
130 ; 하부 패드 140 ; 로직 칩
150 ; 도전성 범프 154 ; 제 1 더미 범프
156 ; 제 2 더미 범프 160 ; 제 1 몰딩 부재
162 ; 제 2 몰딩 부재 170 ; 히트 싱크
172, 174 ; 열 전달부 180 ; 전열성 접착제
190 ; 메모리 칩 200 ; 도전성 와이어
210 ; 외부접속단자 220 ; 외부 히트 싱크
114 ; 도전층 116 ; 열 전달 라인
120 ; 제 1 신호 패드 122 ; 제 2 신호 패드
124 ; 제 1 더미 패드 126 ; 제 2 더미 패드
130 ; 하부 패드 140 ; 로직 칩
150 ; 도전성 범프 154 ; 제 1 더미 범프
156 ; 제 2 더미 범프 160 ; 제 1 몰딩 부재
162 ; 제 2 몰딩 부재 170 ; 히트 싱크
172, 174 ; 열 전달부 180 ; 전열성 접착제
190 ; 메모리 칩 200 ; 도전성 와이어
210 ; 외부접속단자 220 ; 외부 히트 싱크
Claims (10)
- 패키지 기판;
상기 패키지 기판의 상부면에 배치되어, 상기 패키지 기판에 전기적으로 연결된 로직 칩;
상기 로직 칩의 상부면과 접촉되어, 상기 로직 칩에서 발생된 열을 방출시키는 히트 싱크(heat sink); 및
상기 히트 싱크의 상부면에 배치되고, 상기 패키지 기판에 전기적으로 연결된 메모리 칩을 포함하는 반도체 패키지. - 제 1 항에 있어서, 상기 히트 싱크는 상기 패키지 기판과 전기적으로 절연된 반도체 패키지.
- 제 1 항에 있어서, 상기 로직 칩과 상기 패키지 기판 사이에 개재된 도전성 범프를 더 포함하는 반도체 패키지.
- 제 1 항에 있어서, 상기 메모리 칩으로부터 연장되어 상기 패키지 기판에 연결된 도전성 와이어를 더 포함하는 반도체 패키지.
- 제 1 항에 있어서, 상기 패키지 기판은
절연 기판;
상기 절연 기판 내에 형성된 도전층;
상기 절연 기판의 상부면에 배치되어, 상기 로직 칩을 상기 도전층에 전기적으로 연결시키는 제 1 신호 패드; 및
상기 절연 기판의 상부면에 배치되어, 상기 메모리 칩을 상기 도전층에 전기적으로 연결시키는 제 2 신호 패드를 포함하는 반도체 패키지. - 제 5 항에 있어서, 상기 패키지 기판은
상기 절연 기판의 상부면에 배치되어, 상기 로직 칩에 접촉된 제 1 더미 패드;
상기 절연 기판의 상부면에 배치되어, 상기 히트 싱크에 연결된 제 2 더미 패드; 및
상기 제 1 더미 패드와 상기 제 2 더미 패드를 연결하여, 상기 제 1 더미 패드로부터 상기 제 2 더미 패드로 이어지는 상기 열의 전달 경로를 형성하는 열 전달 라인을 더 포함하는 반도체 패키지. - 제 6 항에 있어서, 상기 제 1 더미 패드와 상기 로직 칩 사이에 개재된 제 1 더미 범프를 더 포함하는 반도체 패키지.
- 제 6 항에 있어서, 상기 히트 싱크는 상기 히트 싱크로부터 연장되어 상기 제 2 더미 패드에 연결된 열 전달부를 포함하는 반도체 패키지.
- 제 8 항에 있어서, 상기 열 전달부와 상기 제 2 더미 패드 사이에 개재된 제 2 더미 범프를 더 포함하는 반도체 패키지.
- 제 1 항에 있어서, 상기 히트 싱크는 서멀 인터페이스 물질(thermal interface material : TIM)을 매개로 상기 로직 칩의 상부면에 부착된 반도체 패키지.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190113334A KR102359904B1 (ko) | 2019-09-16 | 2019-09-16 | 반도체 패키지 |
US16/814,336 US11257784B2 (en) | 2019-09-16 | 2020-03-10 | Semiconductor package |
US17/588,442 US11996387B2 (en) | 2019-09-16 | 2022-01-31 | Semiconductor package |
US18/651,786 US20240290751A1 (en) | 2019-09-16 | 2024-05-01 | Semiconductor package |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190113334A KR102359904B1 (ko) | 2019-09-16 | 2019-09-16 | 반도체 패키지 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20210032081A true KR20210032081A (ko) | 2021-03-24 |
KR102359904B1 KR102359904B1 (ko) | 2022-02-08 |
Family
ID=74868664
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020190113334A KR102359904B1 (ko) | 2019-09-16 | 2019-09-16 | 반도체 패키지 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US11257784B2 (ko) |
KR (1) | KR102359904B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102359904B1 (ko) * | 2019-09-16 | 2022-02-08 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 |
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2019
- 2019-09-16 KR KR1020190113334A patent/KR102359904B1/ko active IP Right Grant
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2020
- 2020-03-10 US US16/814,336 patent/US11257784B2/en active Active
-
2022
- 2022-01-31 US US17/588,442 patent/US11996387B2/en active Active
-
2024
- 2024-05-01 US US18/651,786 patent/US20240290751A1/en active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11257784B2 (en) | 2022-02-22 |
US20220157776A1 (en) | 2022-05-19 |
KR102359904B1 (ko) | 2022-02-08 |
US11996387B2 (en) | 2024-05-28 |
US20210082872A1 (en) | 2021-03-18 |
US20240290751A1 (en) | 2024-08-29 |
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