KR20200089221A - 척 톱, 검사 장치, 및 척 톱의 회수 방법 - Google Patents

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Abstract

공간 절약화에 대응하면서, 낙하를 방지할 수 있는 척 톱, 검사 장치, 및 척 톱의 회수 방법을 제공한다.
웨이퍼에 형성된 복수의 피검사 디바이스의 검사를 행하는 검사 장치에서 이용되고, 웨이퍼를 보유 지지함과 함께, 검사 시에 프레임에 보유 지지되고, 또한 얼라이너에 대해 분리 접촉 가능하게 마련된 척 톱은, 본체와, 본체에 마련되고, 척 톱이 프레임으로부터 탈리했을 때에, 척 톱의 낙하를 방지하는 가동식 낙하 방지 훅을 갖는 낙하 방지 기구를 구비한다.

Description

척 톱, 검사 장치, 및 척 톱의 회수 방법{CHUCK TOP, INSPECTION APPARATUS, AND CHUCK TOP RECOVERY METHOD}
본 개시는, 척 톱, 검사 장치, 및 척 톱의 회수 방법에 관한 것이다.
반도체 디바이스의 제조 프로세스에 있어서는, 반도체 웨이퍼(이하 간단히 웨이퍼라 기재함)에 있어서의 모든 프로세스가 종료된 단계에서, 웨이퍼에 형성되어 있는 복수의 디바이스(IC 칩)의 전기적 검사가 행해진다. 이와 같은 전기적 검사를 행하는 검사 장치는, 일반적으로, 프로버와 테스터를 갖고 있다. 프로버는, 웨이퍼 스테이지, 웨이퍼의 위치 정렬 기구, 및 웨이퍼 반송계를 가짐과 함께, 웨이퍼에 형성된 디바이스에 접촉되는 프로브를 갖는 프로브 카드가 장착된다. 테스터는, 프로브 카드를 통하여 디바이스에 전기적 신호를 부여하여, 디바이스의 다양한 전기 특성을 검사한다.
이와 같은 검사 장치로서, 특허문헌 1에는, 웨이퍼 트레이(척 톱)에 웨이퍼를 흡착시킨 상태에서 보유 지지하고, 또한 웨이퍼 트레이를 진공화에 의해 프로브 카드에 흡착시켜 검사를 행하는 것이 제안되어 있다. 특허문헌 1에는, 웨이퍼 트레이의 낙하를 방지하기 위해서, 서포트 장치가 마련되어 있다. 서포트 장치는, 웨이퍼 트레이를 하방으로부터 지지하는 네 보유 지지부를 가지고 있고, 보유 지지부는, 모터 및 볼 나사 기구 등에 의해 개폐되도록 되어 있다.
일본 특허 공개 제2010-186998호 공보
본 개시는, 공간 절약화에 대응하면서, 낙하를 방지할 수 있는 척 톱, 검사 장치, 및 척 톱의 회수 방법을 제공한다.
본 개시의 일 형태에 관한 척 톱은, 웨이퍼에 형성된 복수의 피검사 디바이스의 검사를 행하는 검사 장치에서 이용되고, 상기 웨이퍼를 보유 지지함과 함께, 검사 시에 프레임에 보유 지지되고, 또한 얼라이너에 대해 분리 접촉 가능하게 마련된 척 톱이며, 본체와, 상기 본체에 마련되고, 상기 척 톱이 상기 프레임으로부터 탈리되었을 때에, 상기 척 톱의 낙하를 방지하는 가동식 낙하 방지 훅을 갖는 낙하 방지 기구를 구비한다.
본 개시에 의하면, 공간 절약화에 대응하면서, 낙하를 방지할 수 있는 웨이퍼 보유 지지용 척 톱, 검사 장치 및 척 톱의 회수 방법이 제공된다.
도 1은 일 실시 형태에 관한 척 톱을 갖는 검사 장치를 복수 탑재한 검사 시스템의 일례를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 검사 시스템의 평면도이다.
도 3은 도 2의 III-III'선에 따른 단면도이다.
도 4는 검사 장치를 나타내는 개략 구성도이다.
도 5는 일 실시 형태에 관한 척 톱을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 6은 검사 장치의 주요부를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 7은 척 톱이 포고 프레임으로부터 탈리하여 낙하 방지 훅이 포고 프레임의 걸림 결합부에 걸림 결합된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 8은 낙하 방지 훅이 낙하 방지 해제 위치로 회전한 상태를 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부의 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다.
도 1은, 일 실시 형태에 관한 척 톱을 갖는 검사 장치를 복수 탑재한 검사 시스템의 일례를 개략적으로 나타내는 사시도, 도 2는 검사 시스템의 평면도, 도 3은 도 2의 III-III'선에 따른 단면도이다. 본 실시 형태의 검사 시스템(10)은, 피검사체인 반도체 웨이퍼(이하 간단히 웨이퍼라고 칭함) W에 형성된 복수의 피검사 디바이스(Device Under Test(이하 「DUT」라고 기재함)의 전기적 특성을 검사하는 것이다.
검사 시스템(10)은, 하우징(11)을 갖고, 전체 형상이 직육면체를 이루고 있고, 하우징(11) 내에는, 복수의 검사실(셀)(15)을 갖는 검사부(12)와, 각 검사실(15)에 대해 웨이퍼 W의 반출입을 행하는 로더부(13)와, 검사부(12)와 로더부(13) 사이에 마련된 반송부(14)를 갖고 있다.
검사부(12)는, 검사실(15)이 수평 방향으로 4개 배열되어 셀 열을 이루고, 셀 열이 상하 방향으로 3단 배치되어 있다. 각 검사실(15)에는, DUT의 검사를 행하는 테스터(30)를 갖는 검사 장치(20)가 배치되어 있다.
그리고, 셀 열의 단마다, 도 2의 X 방향으로 이동 가능하도록 1대의 얼라이너(스테이지)(22)가 검사 장치(20)의 하방에 마련되어 있다. 또한, 검사부(12)의 각 단에, 검사 장치(20)보다도 반송부(14)측의 부분을 X 방향을 따라서 이동 가능하게1대의 얼라인먼트용 상부 카메라(24)가 마련되어 있다.
로더부(13)는 복수의 포트로 구획되어, 복수의 웨이퍼 W를 수용하는 용기인 FOUP(17)을 수용하는 복수의 웨이퍼 반출입 포트(16a), 반송되는 웨이퍼의 위치 정렬을 행하는 프리얼라인먼트부(16b), 프로브 카드가 반입되고 또한 반출되는 프로브 카드 로더(16c), 검사 시스템(10)의 동작을 제어하는 시스템 제어부(18)가 수납된 제어 포트(16d)를 갖는다.
반송부(14)에는 복수의 반송 암을 갖는 반송 기구(19)가 배치된다. 반송 기구(19)의 본체는 X 방향, Z 방향 및 θ 방향으로 이동 가능하고, 반송 암은 전후 방향(Y 방향)으로 이동 가능하다는 점에서, 반송 기구(19)는, 웨이퍼 W를 X 방향, Y 방향, Z 방향, θ 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 반송 기구(19)는, 모든 단의 검사실(15)에 액세스 가능하게 되어 있고, 로더부(13)의 웨이퍼 반출입 포트(16a)로부터 웨이퍼 W를 수취하고, 검사 장치(20)의 후술하는 척 톱(스테이지)(60)으로 반송한다(후술하는 도 4 내지 도 6 참조). 그리고, 디바이스의 전기적 특성의 검사가 종료된 웨이퍼 W를, 대응하는 검사 장치(20)의 척 톱(60)으로부터 수취하여 웨이퍼 반출입 포트(16a)로 반송된다. 이 때의 척 톱(60)에 대한 웨이퍼 W의 전달은, 얼라이너(22)를 사용하여 행해진다.
또한, 반송 기구(19)는 각 검사실(15)로부터 메인터넌스를 필요로 하는 프로브 카드를 프로브 카드 로더(16c)에 반송하고, 또한, 신규나 메인터넌스 완료의 프로브 카드를 각 검사실(15)로 반송한다.
다음에, 검사 장치(20)에 대해 상세하게 설명한다.
도 4는, 검사실(15) 내에 마련된 검사 장치(20)의 개략 구성을 나타내는 단면도이다. 또한, 도 5는 척 톱(60)을 개략적으로 나타내는 평면도이며, 도 6은 검사 장치(20)의 주요부를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
검사 장치(20)는, 테스터(30)와, 중간 접속 부재(40)와, 프로브 카드(50)와, 척 톱(60)을 갖고 있다. 또한, 상술한 얼라이너(22)는 각 단의 네 검사 장치(20)에 공통되는 것이며, 검사 장치(20)에 포함된다. 검사 장치(20)에 있어서는, 웨이퍼 W에 형성되어 있는 DUT의 전기 특성의 검사를, 프로브 카드(50)를 통하여 테스터(30)에 의해 행한다.
테스터(30)는, 웨이퍼 W에 형성된 DUT에 대해 전기적 신호를 부여하여 검사를 행하는 것이며, 복수의 검사 회로 보드(도시되지 않음)를 수용한 테스트 헤드(31)와, 테스터 마더보드(32)를 갖고 있다. 테스터 마더보드(32)는, 저부에 복수의 단자(도시되지 않음)가 마련되어 있고, 중간 접속 부재(40)를 통하여 프로브 카드(50)에 접속된다. 검사 회로 보드는, 테스터 마더보드(32)에 접속되고, 여러가지의 테스트 항목에 따라 웨이퍼 W의 DUT에 전기적 신호를 부여하여 검사하는 것이다.
프로브 카드(50)는, 상면에 복수의 단자(도시되지 않음)를 갖는 판형의 기부(51)와, 기부(51)의 하면에 마련된 복수의 프로브(52)를 갖고 있다. 복수의 프로브(52)는, 웨이퍼 W에 형성되어 있는 모든 DUT의 모든 전극에 일괄하여 접촉되도록 되어 있다. 웨이퍼 W는 척 톱(60)에 흡착된 상태에서 얼라이너(22)에 의해 위치 결정되어, 복수의 DUT의 각각에, 대응하는 프로브가 접촉한다.
중간 접속 부재(40)는, 테스터(30)와 프로브 카드(50)를 전기적으로 접속하기 위한 것이고, 포고 프레임(41)과, 포고 프레임(41)에 마련된 관통 구멍(41a)에 삽입 끼움되는 포고 블록(42)을 갖는다. 포고 블록(42)은, 다수의 포고 핀이 배열되어 형성되어 있고, 테스터 마더보드(32)의 단자와, 프로브 카드(50)의 기부(51)의 단자를 접속한다.
도 5, 도 6에 나타내는 바와 같이, 척 톱(60)은, 본체(61)와, 1쌍의 낙하 방지 기구(62)를 갖고 있다. 1쌍의 낙하 방지 기구(62)는, 본체(61)의 주연부(단부)의 서로 대향하는 위치에 마련되어 있다. 또한, 도 4는, 낙하 방지 기구(62)가 존재하지 않는 부분의 단면도이다. 낙하 방지 기구(62)는, 척 톱(60)의 낙하를 방지한다.
척 톱(60)의 본체(61)의 상면에는 진공 흡착구가 형성되어 있고, 웨이퍼 W가 적재된다. 웨이퍼 W는 진공 흡착구를 통하여 배큠 기구에 의해 진공화됨으로써, 본체(61)에 진공 흡착된다. 웨이퍼 W의 반송시는, 척 톱(60)이 얼라이너(22)에 접속되고, 진공 흡착된다. 본체(61)의 상면의 주연부에는 단차(61a)가 형성되고, 해당 단차(61a)에는 시일 부재(74)가 배치된다.
낙하 방지 기구(62)는, 수직면 내에서 회전 가능하게 마련된 낙하 방지 훅(63)과, 낙하 방지 훅(63)의 회전축(64)과, 본체(61)에 장착되어, 회전축(64)을 지지하는 지지 부재(65)와, 스프링(66)을 갖는다(도 5, 도 6 참조). 낙하 방지 훅(63)은, 도 6에 나타내는, 낙하 방지 위치와, 낙하 방지 기능이 해제된 후술하는 낙하 방지 해제 위치 사이에서 회전 가능하게 되었다. 낙하 방지 훅(63)은, 선단부(63a)를 갖는다. 낙하 방지 훅(63)이 낙하 방지 위치에 있을 때, 선단부(63a)가 포고 프레임(41)에 형성된 구멍(45) 내에 삽입된다. 또한, 구멍(45) 내에는 낙하 방지 훅(63)의 선단부(63a)를 걸림 결합하기 위한 걸림 결합부(46)가 마련되어 있다.
낙하 방지 훅(63)은, 회전축(64)을 사이에 두고 선단부(63a)와는 반대측이, 레버(63b)로 되어 있다. 후술하는 해제 기구(90)에 의해 레버(63b)가 상승됨으로써 낙하 방지 훅(63)이 낙하 방지 해제 위치로 회전된다. 스프링(66)은, 척 톱(60)의 본체(61)에 마련된 장착부(67)와 레버(63b)에 장착되고, 낙하 방지 훅(63)을 낙하 방지 해제 위치로부터 낙하 방지 위치로 가압하도록 되어 있다.
척 톱(60) 및 프로브 카드(50)는, 후술하는 바와 같이, 공장 용력(用力)을 사용한 진공 흡착에 의해 포고 프레임(41)에 흡착하고 있기 때문에, 공장 용력이 정지하면 낙하해 버려, 파손될 우려가 있다. 낙하 방지 기구(62)는, 이와 같은 척 톱(60)의 낙하를 방지한다. 즉, 웨이퍼 W의 검사 중에 공장 용력이 정지하여 척 톱(60)의 진공 흡착이 해제되어 척 톱(60)이 탈리된 경우에, 도 7에 나타내는 바와 같이, 낙하 방지 훅(63)이 걸림 결합부(46)에 걸려, 척 톱(60)의 낙하가 방지된다. 낙하 방지 기구(62)에 의한 낙하 방지 기능은, 후술하는 해제 기구(90)에 의해 낙하 방지 훅(63)이 회전함으로써 해제 가능하게 되어 있다.
포고 프레임(41)과 척 톱(60) 사이에는, 프로브 카드(50)를 둘러싸도록 원통형을 이루는 벨로우즈(71)가 마련되어 있다. 벨로우즈(71)는 금속제의 주름 상자 구조체이며, 상하 방향으로 신축 가능하게 구성된다. 벨로우즈(71)의 상하 단부에는 각각 링형의 맞닿음부(71a, 71b)가 마련되고, 맞닿음부(71a)는 시일 부재(75)를 통하여 포고 프레임(41)에 맞닿고, 맞닿음부(71b)는 시일 부재(74)에 맞닿는다. 웨이퍼 W가 프로브 카드(50)에 맞닿을 때에 형성되는, 척 톱(60)의 본체(61), 포고 프레임(41) 및 벨로우즈(71)에 의해 둘러싸이는 공간 S는 시일 부재(74, 75)에 의해 밀봉된다. 공간 S 및 시일 부재(74) 내가 배큠 기구에 의해 진공화됨으로써, 척 톱(60)이 포고 프레임(41)에 흡착 보유 지지된다. 이 때, 척 톱(60)에 적재되는 웨이퍼 W에 형성된 각 디바이스의 전극이 프로브 카드(50)의 프로브(52)에 맞닿는다.
테스터 마더보드(32)와 포고 프레임(41) 사이에는 시일 부재(72)가 마련되어, 이들 사이의 공간(44)이 밀봉된다. 그리고, 공간(44)이 진공화됨으로써, 포고 프레임(41)이 테스터 마더보드(32)에 장착된다. 포고 프레임(41) 및 프로브 카드(50) 사이에는 시일 부재(73)가 마련되어, 이들 사이의 공간(47)이 밀봉되어 있다. 그리고, 공간(47)이 진공화됨으로써, 프로브 카드(50)가 포고 프레임(41)에 흡착 보유 지지된다.
얼라이너(22)는, 척 톱(60)에 대해 분리 접촉 가능하게 마련되고, 척 톱(60)을 흡착 보유 지지하고, 척 톱(60) 상의 웨이퍼 W의 프로브 카드(50)에 대한 위치 정렬을 하는 것이다. 얼라이너(22)는, 도 4에 도시된 바와 같이, X 방향으로 이동 가능한 X 방향 이동부와, Y 방향으로 이동 가능한 Y 방향 이동부를 갖는 XY 이동부(81)와, Y 방향 이동부와 함께 Y 방향으로 이동하고, 승강 가능한 Z블록(82)과, Z블록(82)에 장착된 척 베이스(83)를 갖는다. Z블록(82)은 척 톱 흡착면을 갖는다. Z블록(82)에 척 톱(60)이 흡착됨으로써, 얼라이너(22)는, 척 톱(60)(웨이퍼 W)의 XYZθ 위치의 위치 정렬이 가능해진다.
척 베이스(83)의 상면의 주연부에는 복수의 하이트 센서(84)가 마련되어 있다. 척 베이스(83) 및 척 톱(60)의 본체(61)에는, 각각 복수의 위치 결정 핀 및 위치 결정 블록(모두 도시되지 않음)이 마련되어 있다. 또한, 척 베이스(83)의 외측 단부에는, 프로브 카드(50)나 포고 프레임(41)을 촬영하기 위한 하부 카메라(85)가 마련되어 있다.
또한, 척 베이스(83)의 외측 단부에는, 해제 기구(90)가 마련되어 있다. 해제 기구(90)는, 낙하 방지 기구(62)의 낙하 방지 기능을 해제하는 것이며, 실린더(91)와, 실린더(91)로부터 돌출·퇴피 가능하게 마련된 해제 부재(92)를 갖는다. 척 톱(60)이 얼라이너(22)에 장착된 상태에서, 해제 기구(90)를 낙하 방지 기구(62)에 대응하는 위치에 위치시키고, 해제 기구(90)의 해제 부재(92)를 돌출시킴으로써, 낙하 방지 훅(63)의 레버(63b)가 상승되어, 낙하 방지 훅(63)이 도 8에 나타내는 낙하 방지 해제 위치로 회전한다. 도 8의 상태로부터 해제 기구(90)의 해제 부재(92)를 하강시킴으로써, 스프링(66)의 가압력에 의해 낙하 방지 훅(63)이 낙하 방지 위치로 복귀된다.
해제 기구(90)에 의한 낙하 방지 기구(62)의 낙하 방지 기능의 해제는, 도 7과 같이, 척 톱(60)이 포고 프레임(41)로부터 탈리했을 때에, 척 톱(60)을 회수하기 위해서 행해진다. 또한, 얼라이너(22)에 의한 척 톱(60)의 얼라인먼트 시에도, 해제 기구(90)에 의해 낙하 방지 기구(62)의 낙하 방지 기능이 해제된다.
다음에, 검사 시스템(10)의 동작에 대해 설명한다.
웨이퍼 반출입 포트(16a)의 FOUP(17)로부터 반송 기구(19)에 의해, 웨이퍼 W를 취출하고, 웨이퍼 W가 반입 예정의 검사 장치(20)에 있어서, 척 톱(60)을 얼라이너(22)에 장착시킨 상태로 하고, 척 톱(60) 상에 웨이퍼 W를 적재한다. 이 때 척 톱(60)에 적재된 웨이퍼 W가 상부 카메라(24)에 의해 촬영되고 위치 정렬(얼라인먼트)된다. 다음에, 얼라이너(22)에 의해 척 톱(60)을 프로브 카드(50)의 하방 콘택트 영역으로 이동시키고, 그 과정에서, 하부 카메라(85)에 의해 프로브 카드(50)를 촬영하고, 웨이퍼 W의 수평 방향의 위치 정렬을 행한다. 그리고, 얼라이너(22)의 Z블록(82)에 의해 척 톱(60)을 상승시켜, 웨이퍼 W를 프로브 카드(50)의 프로브(51)에 접촉시키고, 벨로우즈(71)를 통하여 척 톱(60)을 포고 프레임(41)에 흡착시킨 상태로 한다. 그리고, 척 톱(60)과 얼라이너(22)의 진공 흡착을 해제하고, 얼라이너(22)의 Z블록(82)을 하강시킨다. 이 상태에서 테스터(30)에 의한 웨이퍼 W의 전기적 검사를 행한다.
웨이퍼 W의 전기적 검사가 종료된 후, 얼라이너(22)를 척 톱(60)의 하방에 위치 정렬하고, Z블록(82)을 상승시키고 척 톱(60)을 흡착 보유 지지한다. 그리고, 공간 S 및 시일 부재(74) 내의 진공을 해제하고, 얼라이너(22)의 Z블록(82)을 하강시키고, 척 톱(60) 상의 검사 후의 웨이퍼 W를 반송 기구(19)에 의해 FOUP(17)에 반송한다.
상기 일련의 동작에 있어서, 척 톱(60)을 포고 프레임(41)에 흡착시키기 전의 얼라인먼트 시에는, 얼라인먼트 동작 등의 방해가 되지 않도록, 해제 기구(90)에 의해 낙하 방지 기구(62)의 낙하 방지 기능은 해제된다. 구체적으로는, 척 톱(60)을 포고 프레임(41)에 흡착시키기 전에는, 해제 기구(90)의 해제 부재(92)를 실린더(91)로부터 돌출시켜 낙하 방지 훅(63)을 낙하 방지 해제 위치로 회전시켜 둔다. 그리고, 척 톱(60)이 포고 프레임(41)에 흡착된 후, 낙하 방지 기능이 설정된다. 구체적으로는, 척 톱(60)이 포고 프레임(41)에 흡착된 후, Z블록(82)의 하강에 의해 해제 부재(92)를 퇴피시켜, 낙하 방지 훅(63)을 스프링(66)의 가압력에 의해, 낙하 방지 위치로 복귀시킨다.
이와 같이, 웨이퍼 W의 전기적 검사 시에는, 낙하 방지 훅(63)이 도 6과 같이 낙하 방지 위치에 있고, 낙하 방지 기능이 설정되기 때문에, 척 톱(60)이 포고 프레임(41)로부터 탈리해도 낙하가 방지된다. 즉, 공장 용력이 정지하여 포고 프레임(41)에 대한 척 톱(60)의 진공 흡착이 해제되어 척 톱(60)이 탈리한 경우에, 낙하 방지 훅(63)이 걸림 결합부(46)에 걸립 결합하여, 척 톱(60)의 낙하가 방지된다.
상기 특허문헌 1에서는, 낙하 방지 기구는, 척 톱과 별도의 부재이며, 척 톱을 하방으로부터 지지하는 네 보유 지지부를 갖는 구조이기 때문에, 본 실시 형태와 같은 척 톱(60) 자체가 낙하 방지 기구(62)를 갖고 있는 경우와 비교하여 큰 스페이스가 필요로 된다. 이에 반하여, 본 실시 형태에서는, 척 톱(60) 자체가 낙하 방지 기구(62)를 갖고 있기 때문에, 낙하 방지 기구를 별도 마련할 필요가 없어, 공간 절약 효과가 높다. 특히, 본 실시 형태와 같은 복수의 검사 장치(20)를 갖는 검사 시스템에 있어서는, 본질적으로 공간 절약화가 요구되기 때문에, 낙하 방지 기구(62)를 갖는 척 톱(60)은 매우 유효하다.
또한, 특허문헌 1에서는, 얼라인먼트용 하부 카메라로서, 낙하 방지 기구의 클램프를 피하면서 프로브 카드를 촬영할 수 있는 초점 거리가 긴 것이 필요로 된다. 그러나, 하부 카메라의 초점 거리를 길게 하면, 얼라이너의 Z 스트로크도 길게 할 필요가 있어, 그만큼 스페이스가 필요해진다. 이에 반하여, 본 실시 형태에서는, 하부 카메라(85)는 낙하 방지 기구(62)가 방해가 되지 않고 프로브 카드를 촬영할 수 있어, 하부 카메라(85)로서 초점 거리가 짧은 것을 사용할 수 있다. 이 때문에, 얼라이너(22)의 Z 스트로크를 짧게 할 수 있고, 그 점에서도 공간 절약 효과가 크다.
다음에, 탈리한 척 톱(60)을 회수하는 방법에 대해 설명한다.
웨이퍼 W의 검사 중에 척 톱(60)이 포고 프레임(41)로부터 탈리했을 때에는, 낙하 방지 훅(63)이 포고 프레임(41)의 걸림 결합부(46)에 걸림 결합된 도 7의 상태가 된다. 이 상태에서 얼라이너(22)를 척 톱(60)의 하방에 위치시킨다. 이 때, 해제 기구(90)의 해제 부재(92)를 퇴피시킨 채(줄인 상태)로 한다.
그리고, 하부 카메라(85)로 척 톱의 위치를 검출하여, 시스템 제어부(18)에서 척 톱(60)을 회수 가능한지 여부를 판단한다. 회수 가능하면, 얼라이너(22)의 Z블록(82)을 상승시키고, Z블록(82)에 의해 척 톱(60)을 흡착 보유 지지한다.
이 상태에서, 얼라이너(22)에 의해 척 톱(60)을 들어 올려, 걸림 결합부(46)에 의한 낙하 방지 훅(63)의 걸림 결합을 해제한다. 다음에, 해제 부재(92)를 돌출시킨다. 이에 의해, 낙하 방지 훅(63)의 레버(63b)가 상승하고, 낙하 방지 훅(63)이 도 8에 나타내는 낙하 방지 해제 위치로 회전하여, 낙하 방지 기구(62)가 해제된다.
그 후, 척 톱(60)을 보유 지지한 얼라이너(22)의 Z블록(82)을 하강시킴으로써, 척 톱(60)이 얼라이너(22)에 의해 회수된다. 척 톱(60)에 보유 지지된 웨이퍼 W는 반송 기구(19)에 의해 반출된다.
이상과 같이, 해제 기구(90)로서 돌출·퇴피 가능한 해제 부재(92)를 갖는 것을 사용하여 낙하 방지 훅(63)의 해제를 행할 수 있도록 함으로써, 탈리한 척 톱(60)을 사람 손에 의하지 않고 얼라이너(22)를 사용하여 자동적으로 회수할 수 있다. 포고 프레임(41)로부터 탈리하여 낙하 방지 훅(63)이 걸림 결합부(46)에 걸림 결합된 척 톱(60)을 사람 손에 의해 회수하는 경우에는, 시간이 걸리고, 기능도 요구된다. 또한, 척 톱(60)이 보유 지지하고 있는 웨이퍼 W의 파손도 염려된다. 이에 반하여, 본 실시 형태에서는 탈리한 척 톱(60)을 얼라이너(22)를 사용하여 자동적으로 회수할 수 있으므로, 작업 시간을 단축할 수 있고, 기능도 불필요해서, 웨이퍼 W 등의 파손도 생기기 어렵다.
또한, 해제 기구(90)는 얼라이너(22)에 마련되어 있고, 얼라이너(22)는 복수의 검사 장치(20)에 액세스 가능하게 되어 있으므로, 검사 장치(20)마다 해제 기구(90)를 마련할 필요는 없다. 이 때문에, 보다 공간 절약 효과가 높다.
이상, 실시 형태에 대해 설명했지만, 금회 개시된 실시 형태는, 모든 점에서 예시이며, 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 상기 실시 형태는, 첨부의 특허 청구 범위 및 그의 주지를 일탈하는 일 없이, 다양한 형태로 생략, 치환, 변경되어도 된다.
예를 들어, 상기 실시 형태에서는, 복수의 검사 장치를 갖는 검사 시스템 내의 검사 장치에 대해 설명했지만, 이에 한정하지 않고, 단체의 검사 장치여도 된다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 낙하 방지 기구로서, 수직면 내에서 회전함으로써 착탈 가능한 낙하 방지 훅을 갖는 것을 나타냈지만, 이에 한정하는 것은 아니고, 예를 들어 원주 방향으로 회전함으로써 착탈 가능한 낙하 방지 훅을 갖는 것이어도 된다. 또한, 낙하 방지 기구의 수는, 둘로 한정되는 것은 아니다. 또한, 검사 시에 척 톱이 보유 지지되는 프레임은 포고 프레임에 한정되지 않고, 검사 장치 내에 존재하는 그 외의 프레임형 구성 부품이어도 된다.

Claims (14)

  1. 웨이퍼에 형성된 복수의 피검사 디바이스의 검사를 행하는 검사 장치에서 이용되는 척 톱에 있어서,
    상기 척 톱은, 상기 웨이퍼를 보유 지지함과 함께, 검사 시에 프레임에 보유 지지되고, 또한 얼라이너에 대해 분리 접촉 가능하게 마련되며,
    본체와,
    상기 본체에 마련되고, 상기 척 톱이 상기 프레임으로부터 탈리했을 때에, 상기 척 톱의 낙하를 방지하는 가동식 낙하 방지 훅을 갖는 낙하 방지 기구
    를 포함하는, 척 톱.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 낙하 방지 훅은, 상기 척 톱의 낙하가 방지되는 낙하 방지 위치와, 낙하 방지 기능이 해제되는 낙하 방지 해제 위치 사이에서 회전 가능한, 척 톱.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 낙하 방지 기구는, 상기 본체의 단부에 복수 마련되어 있는, 척 톱.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 낙하 방지 훅은, 수직면 내에서 회전 가능하게 마련되어 있는, 척 톱.
  5. 웨이퍼 상의 복수의 디바이스에 전기적 신호를 부여하고, 상기 복수의 디바이스를 검사하는 테스터와,
    상기 웨이퍼 상의 복수의 상기 디바이스의 전극에 접촉되어, 상기 테스터에 접속되는 프로브를 갖는 프로브 카드와,
    웨이퍼를 보유 지지하는 척 톱과,
    상기 테스터에 의한 검사 시에 상기 척 톱을 보유 지지하는 프레임과,
    상기 척 톱에 대해 분리 접촉 가능하게 마련되고, 상기 척 톱에 보유 지지된 웨이퍼의 상기 프로브 카드에 대한 위치 정렬을 행하는 얼라이너
    를 포함하고,
    상기 척 톱은,
    본체와,
    상기 본체에 마련되고, 상기 척 톱이 상기 프레임으로부터 탈리했을 때에, 상기 척 톱의 낙하를 방지하는 가동식 낙하 방지 훅을 갖는 낙하 방지 기구
    를 포함하는, 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 낙하 방지 훅은, 상기 척 톱의 낙하가 방지되는 낙하 방지 위치와, 낙하 방지 기능이 해제되는 낙하 방지 해제 위치 사이에서 회전 가능한, 검사 장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 낙하 방지 기구는, 상기 본체의 단부에 복수 마련되어 있는, 검사 장치.
  8. 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 낙하 방지 훅은, 수직면 내에서 회전 가능하게 마련되어 있는, 검사 장치.
  9. 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 얼라이너는, 상기 척 톱과 접속되었을 때에, 상기 낙하 방지 훅을 상기 낙하 방지 위치로부터 상기 낙하 방지 해제 위치로 전환하는 해제 기구를 포함하는, 검사 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 해제 기구는, 실린더와, 상기 실린더로부터 돌출 가능하게 마련된 해제 부재를 포함하고, 상기 해제 부재를 돌출시킴으로써, 상기 낙하 방지 훅을 상기 낙하 방지 위치로부터 상기 낙하 방지 해제 위치로 회전시키는, 검사 장치.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 낙하 방지 기구는, 상기 해제 기구에 의해 상기 낙하 방지 훅이 상기 낙하 방지 해제 위치로 회전된 후에, 상기 해제 기구에 의한 해제 동작이 정지되었을 때에, 상기 낙하 방지 훅을 상기 낙하 방지 위치에 가압하는 스프링을 포함하는, 검사 장치.
  12. 웨이퍼에 형성된 복수의 피검사 디바이스의 검사를 행하는 검사 장치에 있어서, 검사 시에 프레임에 보유 지지되고, 또한 얼라이너에 대해 분리 접촉 가능하게 마련된 척 톱의 회수 방법이며,
    상기 척 톱은, 본체와, 상기 본체에 마련되고, 상기 척 톱이 상기 프레임으로부터 탈리했을 때에, 상기 척 톱의 낙하를 방지하는 가동식 낙하 방지 훅을 갖는 낙하 방지 기구를 포함하고, 상기 낙하 방지 훅은, 상기 척 톱의 낙하가 방지되는 낙하 방지 위치와, 낙하 방지 기능이 해제되는 낙하 방지 해제 위치 사이에서 회전 가능하고,
    상기 척 톱이 상기 프레임으로부터 탈리했을 때에, 상기 낙하 방지 훅이 낙하 방지 위치에 있고, 상기 프레임에 걸림 결합되는 것과,
    상기 얼라이너를 상기 척 톱의 하방에 위치시키는 것과,
    상기 얼라이너를 상승시키고, 상기 얼라이너에 상기 척 톱을 보유 지지시키는 것과, 상기 얼라이너에 마련된 해제 기구에 의해, 상기 낙하 방지 훅을 상기 낙하 방지 위치로부터 상기 낙하 방지 해제 위치로 이동시키는 것과,
    상기 척 톱을 보유 지지한 상기 얼라이너를 하강시키고 상기 척 톱을 회수하는 것
    을 포함하는, 척 톱의 회수 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 해제 기구는, 실린더와, 상기 실린더로부터 돌출 가능하게 마련된 해제 부재를 포함하고, 상기 해제 부재를 돌출시킴으로써, 상기 낙하 방지 훅을 상기 낙하 방지 위치로부터 상기 낙하 방지 해제 위치로 회전시키는, 척 톱의 회수 방법.
  14. 제12항 또는 제13항에 있어서,
    상기 낙하 방지 훅은, 수직면 내에서 회전 가능하게 마련되고,
    상기 얼라이너에 상기 척 톱을 보유 지지시킨 후, 상기 낙하 방지 훅을 상기 낙하 방지 위치로부터 상기 낙하 방지 해제 위치로 이동시키기 전에, 상기 얼라이너에 의해 상기 척 톱을 들어 올려, 상기 낙하 방지 훅의 상기 프레임에 의한 걸림 결합을 해제하는 것을 더 포함하는, 척 톱의 회수 방법.
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