JP3586931B2

JP3586931B2 - 静電チャック

Info

Publication number: JP3586931B2
Application number: JP14373995A
Authority: JP
Inventors: 康司岩澤
Original assignee: Nissin Electric Co Ltd
Current assignee: Nissin Electric Co Ltd
Priority date: 1995-06-09
Filing date: 1995-06-09
Publication date: 2004-11-10
Anticipated expiration: 2019-11-10
Also published as: JPH08340683A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、被保持物を静電気力により吸着固定する静電チャックに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、吸着対象物を静電気力により吸着固定する静電チャックが、様々な分野で利用されるようになっている。例えば、静電チャックは、プロッタにおける用紙の固定に用いられたり、エッチング装置等の半導体製造装置におけるシリコンウエハ等の固定に用いられている。
【０００３】
従来の静電チャックの一例として、イオン注入装置で用いられている静電チャックについて、図４に基づいて説明すると以下の通りである。
【０００４】
基本的に静電チャックは、静電チャック本体５１と該静電チャック本体５１に電力を供給する直流電源５２とを備えており、該直流電源５２が、静電チャック本体５１の有する誘電体５２内部に埋設された２枚の金属電極５４ａ・５４ｂ間へ、直流電圧を印加するような構成となっている。
【０００５】
上記構成の静電チャックでは、上記電極５４ａ・５４ｂを披包する誘電体５３において誘電分極現象が起こり、これにより被保持物であるウェハ５５との間で静電気力が生じ、ウェハ５５が静電チャック本体５１の表面である載置面５１ａに吸着される。静電チャック本体５１の吸着力Ｆ（Ｎ）は、このような誘電分極現象により現れる分極電荷の量によって定まり、基本的には、次式（１）によって表される。
【０００６】
Ｆ＝（Ｓ／２）・ε・（Ｖ／ｄ）^２・・・（１）
但し、上式（１）中のεは、
ε＝ε_０・ε_ｒ
である。ここで、Ｓは各電極５４ａ・５４ｂの面積（ｍ^２）、ε_０は真空の誘電率（８．８５×１０^−１２Ｃ^２Ｎ^−１ｍ^−２）、ε_ｒは誘電体５３の比誘電率、Ｖは電源５２の印加電圧（Ｖ）、ｄは、金属電極５４ａ・５４ｂとウェハ５５の表面との距離であり、静電チャック本体５１がウェハ５５を正常に吸着している場合には、誘電体５３における表面の厚さ、即ち、電極５４ａ・５４ｂから載置面５１ａまでの距離（ｍ）となる。
【０００７】
また、静電チャック本体５１は、誘電体５３と該誘電体５３に接触するウェハ５５との間に電流が流れることによって生じるジョンソン・ラーベック力によってもウェハ５５を保持する。
【０００８】
この静電チャック本体５１は、イオン注入処理中、高真空の処理室内で、載置面５１ａが略垂直になるように保持されることが多い。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の静電チャックにおいては、静電チャック本体５１の載置面５１ａあるいはウェハ５５の裏面にゴミが付着していた場合や、ウェハ５５を上記載置面５１ａ上の正しい位置に載置できなかった場合に、上記載置面５１ａとウェハ５５との間に隙間を生じる。この結果、金属電極５４ａ・５４ｂとウェハ５５との距離であるｄが増加して、静電チャックの吸着力が低下する。さらに、誘電体５３とウェハ５５との接触面積が減少するので、ジョンソン・ラーベック力による静電チャックの吸着力も低下する。上記のように、吸着力が低下すると、ウェハ５５が脱落する虞れがある。また、脱落したウェハ５５を処理室から取り除くためには、処理室をベントして処理室内の気圧を大気圧に戻す必要があり非常に手間がかかる。
【００１０】
加えて、イオン注入処理中にウェハ５５が脱落すると、本来、ウェハ５５に照射されるべきイオンビームが静電チャックの載置面１ａへ照射される。これにより、該載置面５１ａの電気的特性が大きく変化して、その機能が著しく損なわれる虞れもある。
【００１１】
本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、その目的は、なんらかの理由により静電チャックの吸着力が不所望に低下し、被保持物を保持できなくなった場合に、被保持物の脱落を防止できる静電チャックを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明に係る静電チャックは、上記課題を解決するために、静電気力によって、シリコンウェハなどの被保持物を載置面上に吸着保持する静電チャックであって、上記載置面の外周近傍に配され、載置面上に吸着保持された被保持物の端縁部の一部を当該被保持物とは非接触状態で覆う脱落防止位置と、被保持物の載置面への着脱が可能となるように載置面を開放する退避位置との間を変位自在に設けられた、複数の脱落防止用支持部材と、上記複数の脱落防止用支持部材を、上記脱落防止位置と退避位置との間で切り替えて移動させる駆動手段とを有する脱落防止機構を備えたことを特徴としている。
【００１３】
【作用】
請求項１の発明の構成によれば、シリコンウェハなどの被保持物を静電チャックの載置面に載置すると、静電チャックは、静電気力により該ウェハを載置面に吸着する。静電チャックは、イオン注入など、所定の処理を行う間、該ウェハを吸着したまま保持する。駆動手段は、上記載置面の外周近傍に設けられた各脱落防止用支持部材を、載置面上に吸着保持された被保持物の端縁部の一部を当該被保持物とは非接触状態で覆う脱落防止位置に駐止する。ウェハが載置面に正常に吸着保持されている状態では、ウェハと脱落防止用支持部材とは接触しない。
【００１４】
上記所定の処理が終了すると、載置したウェハは載置面より取り外される。ウェハを取り外す際、上記駆動手段は、上記各脱落防止用支持部材を、被保持物の載置面への着脱が可能となるように載置面を開放する退避位置まで退避させる。これにより、なんら支障なくウェハを着脱できる。
【００１５】
ところで、付着したゴミにより静電チャックの載置面とウェハとの間に隙間ができた場合などには、静電チャックの吸着力が不所望に低下する。静電チャックがウェハを吸着力によって保持できなくなると、自重やその他の該ウェハに加えられる力によりウェハは載置面の上方あるいは側方へ遊動する。遊動したウェハは、載置面の上方あるいは側方に僅かに遊動した後、該ウェハの端縁部の一部を非接触状態で覆っている上記脱落防止用支持部材と当接して係止される。
【００１６】
このようにして、ウェハなどの被保持物が静電チャックに載置されている間に、不所望に静電チャックの吸着力が低下しても、脱落防止機構は、上記被保持物を載置面上に保持することができる。それゆえ、例えば、イオンビームを被保持物に照射して、イオン注入やエッチング処理を行う場合に、被保持物の代わりに誤って載置面を加工することがない。この結果、載置面の汚損あるいは破損を防止することができる。
【００１７】
また、正常に吸着しているときと略同じ位置に被保持物を保持することができるので、正常時と略同じ動作で被保持物を取り外すことができる。さらに、被保持物が脱落しないので、従来生じていた処理室ベントの手間や脱落した被保持物を探す手間が削減できる。加えて、被保持物に脱落によるダメージを与えることがない。
【００１８】
また、被保持物が載置面の正常な位置に載置されている場合、脱落防止機構は該被保持物と接触することがない。それゆえ、被保持物をクリーンに保つことができるという静電チャックの利点を損なうことがない。
【００１９】
【実施例】
本発明の一実施例に係る静電チャックについて図１ないし図３に基づいて説明すると以下の通りである。
【００２０】
本実施例に係る静電チャックは、イオン注入装置に適用されるものであり、図３に示すように、静電チャック本体１と該静電チャック本体１に電力を供給する直流電源２とを備えている。静電チャック本体１は、誘電体３、および誘電体３内部に埋設された２枚の金属電極４ａ・４ｂを有している。上記直流電源２は、両金属電極４ａ・４ｂ間に、所定の直流電圧を印加することができる。
【００２１】
誘電体３としては、例えば、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、およびチタン酸カルシウム（ＣａＴｉＯ_３）等のセラミック材料を使用することができる。なお、本実施例では、炭化ケイ素からなる誘電体３を使用している。
【００２２】
また、図２に示すように、静電チャック本体１は、その一表面である載置面１ａが略円形状をなすように形成されている。載置面１ａ上に、被保持物であるウェハ５を載置した後、直流電源２により金属電極４ａ・４ｂへ直流電圧を印加することによって、ウェハ５を静電チャック本体１の載置面１ａに吸着することができる。
【００２３】
静電チャック本体１は、ウェハ５を着脱する際には、その載置面１ａが略水平になるように保持され、イオン注入処理中は、その載置面１ａが地面に対して略垂直になるように保持される。以下では、説明の便宜上、載置面１ａが略水平になるように保持されている状態を基準として、載置面１ａ面に垂直かつ載置面１ａより離れる方向を上方、それとは逆の方向を下方と呼ぶ。
【００２４】
上記静電チャック本体１の載置面１ａには、図２に示すように、例えば４つの角穴１ｂ…が形成されている。それぞれの角穴１ｂは、静電チャック本体１を貫通して設けられていて、該角穴１ｂ内には、ウェハ５を着脱するための持ち上げ機構の作用片であるロッド６が進退可能に収納されている。各ロッド６は、図示しないエアーシリンダにより、略同時に上下に直動させることができる。この結果、図１に示すように、略Ｌ字状に曲折されたロッド６の上端（以下では頭部と称する）が載置面１ａより没入あるいは突出する。なお、図１は、脱落防止機構７近傍を示す、図２のＸ−Ｘ線矢視断面図である。
【００２５】
各ロッド６の頭部が載置面１ａより突出することにより、載置面１ａ上に載置されたウェハ５を持ち上げることができる。また、載置面１ａより突出した各ロッド６の頭部にウェハ５を載置し、その後、各ロッド６の頭部を載置面１ａより没入させることにより、ウェハ５を載置面１ａへ案内することができる。
【００２６】
さらに、図２に示すように、静電チャック本体１は、ウェハ５の脱落を防止するために、その載置面１ａの外周近傍に、例えば４つの脱落防止機構７…を備えている。各脱落防止機構７は、図１に示すように、ウェハ５の脱落時に該ウェハ５を支持する脱落防止用支持部材である爪部８と、爪部８に付勢する駆動手段であるバネ９と、ウェハ５の持ち上げ時に爪部８を邪魔にならない位置まで移動させるための駆動手段である動力伝達軸１０とを有している。
【００２７】
上記爪部８は、図１に示すように、略コの字形状をなしており、載置面１ａにウェハ５が載置されている状態では、上方突端部８ａと下方突端部８ｂとの間に、ウェハ５の端縁付近と、脱落防止機構７の配設部上端である静電チャック本体１の一部１ｃとが入るように配置されている。このように、爪部８が脱落防止位置にあるときには、前記上方突端部８ａの下面８ｃは、ウェハ５の表面と対向かつ近接している。また、前記上方突端部８ａの中央部は、先端にくらべて上下方向の厚みを増して形成されており、上記下面８ｃと略垂直に形成された段差を有している。爪部８が脱落防止位置にあるときには、該段差の先端方向の端面８ｄは、ウェハ５の外縁側端面と対向かつ近接している。
【００２８】
一方、爪部８の下方の角部は、載置面１ａの周方向に横架された軸により、回動可能なように軸支されている。図１に示すように、爪部８の上方突端部８ａが載置面１ａの径方向内側へ移動する方向をＡ方向と呼ぶ。
【００２９】
爪部８がＡ方向に回動すると、爪部８の上方突端部８ａは、載置面１ａの径方向内側かつ下方に回動する。爪部８が最もＡ方向に回動した時点である脱落防止位置に配されている場合、上記上方突端部８ａは、載置面１ａに載置されたウェハ５の上面に数ｍｍ張り出している。
【００３０】
例えば、ウェハ５が直径２００ｍｍの円盤状であるとき、ウェハ５の側端面と上方突端部８ａの端面８ｄとの距離は１．０ｍｍ、上方突端部８ａの下面８ｃとウェハ５の表面との距離は０．４８ｍｍ、かつ上方突端部８のウェハ５の上方に張り出している部分の長さは２ｍｍなどに設定される。
【００３１】
また、爪部８が逆Ａ方向に回動したとき、上方突端部８ａは、前記ウェハ５の上方より外側に移動する。この結果、上方突端部８ａは、ウェハ５を載置面１ａの上方向に取り外す際に支障とならない退避位置へ退避できる。
【００３２】
下方突端部８ｂの上部と上記静電チャック本体１の一部１ｃとの間にはバネ９が縮装されており、爪部８は、図１に示すＡ方向に常に付勢されている。
【００３３】
一方、下方突端部８ｂの下方には、動力伝達軸１０が配置されている。動力伝達軸１０には、ロッド６の図示しない駆動源であるエアーシリンダの動力が、図示しない動力伝達部を介して伝えられる。これにより、動力伝達軸１０は、ロッド６の上下と略同時に上下方向に直動する。動力伝達軸１０が上方に直動すると、動力伝達軸１０の上端は上記下方突端部８ｂの下部と当接し、これを上方に押圧する。この結果、爪部８は、逆Ａ方向に回動して、退避位置に移動する。
【００３４】
また、動力伝達軸１０は、下方に直動して、上記下方突端部８ｂの下方の待機位置まで移動することができる。動力伝達軸１０が待機位置にあるときには、該動力伝達軸１０の上端は上記下方突端部８ｂの下部と当接しない。この結果、爪部８は、バネ９の付勢によって図１に示すＡ方向に回動して脱落防止位置に移動する。
【００３５】
このような構成の静電チャック本体１は、高真空となる処理室内に設置されている。ウェハ５を着脱する際、静電チャック本体１は、その載置面１ａが略水平になるように保持される。また、ウェハ５が載置されて静電チャック本体１に吸着保持された後は、その載置面１ａが地面に対して略垂直になるように保持される。この状態で、吸着保持されたウェハ５に対してイオンビームが照射される。
【００３６】
上記の構成において、静電チャック本体１がウェハ５を正しく吸着保持した場合の動作を図１ないし図３に基づいて説明すると、以下の通りである。
【００３７】
すなわち、図１に示すように、静電チャック本体１の載置面１ａにはウェハ５が載置されている。この状態では、ロッド６は載置面１ａより没入している。ロッド６と略同時に駆動される動力伝達軸１０も下方に直動しているため、動力伝達軸１０の頭部が爪部８とは当接しておらず、爪部８は、バネ９の付勢によりＡ方向に回動して脱落防止位置にある。この結果、爪部８の上方突端部８ａは、載置面１ａに載置されたウェハ５の外縁部の上方に近接している。上記上方突端部８ａとウェハ５とは接触していないため、メカニカルクランプのようにウェハ５を挟持するものとくらべて、ウェハ５をクリーンに保つことができるという静電チャックの利点を損なわない。
【００３８】
この状態で、図３に示す直流電源２により金属電極４ａ・４ｂ間に所定の電圧が印加されると、これらの電極４ａ・４ｂを披包する誘電体３において誘電分極現象が起こり、ウェハ５が、静電気力によって載置面１ａに吸着保持される。
【００３９】
ウェハ５が吸着されると、静電チャック本体１は、載置面１ａが地面に対して略垂直になるように移動される。その後、上記略垂直に保持されたウェハ５に、図示しないイオン源より引き出されて質量分析されたイオンビームが照射される。爪部８の上方突端部８ａが張り出して、ウェハ５の上方にかかっている部分は数ｍｍ角と小さいので、ウェハ５の上面の略全体にイオンビームが照射される。
【００４０】
イオンビームの照射が終了すると、静電チャック本体１は、載置面１ａが水平になるように移動される。その後、ウェハ５が取り外される。
【００４１】
すなわち、ロッド６および動力伝達軸１０の図示しない駆動源であるエアーシリンダの動力は、図示しない動力伝達部を介して、各ロッド６、および各動力伝達軸１０へ伝えられる。この結果、図１に示す各動力伝達軸１０、および各ロッド６は、略同時に上方へ直動する。
【００４２】
動力伝達軸１０の直動により、該動力伝達軸１０の上端部は、爪部８の下方突端部８ｂと当接し、該端部８ｂを上方へ押圧する。これにより、爪部８は、図１に示すＡ方向に加えられているバネ９の付勢力に逆らって、逆Ａ方向へ回動する。これに伴い、爪部８の上方突端部８ａは、載置面１ａに載置されているウェハ５の外側へ回動して退避位置に移動する（図１中、２点鎖線で示した状態）。この結果、前記上方突端部８ａは、ウェハ５の上面にはかからない位置まで移動されるので、ウェハ５を取り外すためウェハ５を上昇させるにあたって何ら問題を生じない。
【００４３】
一方、上記動力伝達軸１０の直動と略同時に、図示しない駆動源によって駆動される各ロッド６も上方へ直動する。この結果、ロッド６の頭部は、載置面１ａより突出し、載置面１ａに載置されているウェハ５を上方へ持ち上げる。上記のように、爪部８の上方突端部８ａは、ウェハ５の上面にはかからない位置まで移動しているので、ロッド６は、支障なくウェハ５を持ち上げることができる。
【００４４】
ウェハ５が持ち上げられた後、ウェハ５は、図示しない搬送ロボットによりウェハ５は静電チャック本体１より取り外される。ウェハ５が取り外された後は、ロッド６が下降し、その頭部が載置面１ａより没入する。一方ロッド６の下降と略同時に動力伝達軸１０も下降し、動力伝達軸１０の上端は、爪部８の下方突端部８ｂとは接触しなくなる。この結果、爪部８は、圧縮されていたバネ９の復元力により、図１に示すＡ方向へ回動して脱落防止位置へ戻る。
【００４５】
ウェハ５を静電チャック本体１の載置面１ａに載置する際には、ウェハ５を取り外す動作とは逆の順序で各動作が行われる。
【００４６】
続いて、静電チャック本体１がウェハ５を正しく吸着固定できなかったときの動作を図１および図２にしたがって説明すると以下の通りである。
【００４７】
例えば、ウェハ５の裏面、あるいは静電チャック本体１の載置面１ａにゴミが付着している場合や、ウェハ５を上記載置面１ａの所定の位置へ載置することができなかった場合などにより、載置面１ａとウェハ５の裏面との間に隙間が生じると、静電チャック本体１の吸着力は低下し、ウェハ５を保持することができないことがある。
【００４８】
上記のように、静電チャック本体１にウェハ５が吸着固定されていない場合、イオンビームを照射するために、静電チャック本体１を載置面１ａが地面と略垂直になるように移動すると、ウェハ５は、自重により載置面１ａから離れようとする。ところが、図２に示すように、載置面１ａの外周近傍には例えば４つの脱落防止機構７…が設けられており、前記各脱落防止機構７の有する爪部８の端面８ｄはウェハ５の側端面に、前記爪部８の上方突端部８ａの下面８ｃは、ウェハ５の表面に、それぞれ近接している。これにより、その中の２つの脱落防止機構７の爪部８の端面８ｄにウェハ５の外縁が当接して、ウェハ５の載置面１ａに沿った動きは抑止される。また、ウェハ５が載置面１ａより離れる方向に動いた場合は、ウェハ５の表面と、該ウェハ５の表面に近接する上記爪部８の下面８ｃとが当接する。これにより、ウェハ５の裏面と載置面１ａとの距離は、所定の値以下に抑えられる。
【００４９】
この結果、ウェハ５は載置面１ａ上に保持される。これにより、イオンビームは、ウェハ５に照射され、載置面１ａへは照射されない。イオンビームが載置面１ａへ照射された場合は、載置面１ａの電気的特性が大きく変化し、静電チャック本体１の吸着力が著しく損なわれる虞れがあるが、イオンビームが載置面１ａに照射されないため、この問題を生じることはない。また、イオンビームが載置面１ａに照射されると、載置面１ａの電気的特性が変化するため、静電チャック本体１の寿命が短くなり、メンテナンスの機会が増えるが、本実施例に係る静電チャックにおいては、この問題も生じることがない。
【００５０】
イオンビームの照射後は、ウェハ５は静電チャック本体１より取り外される。ウェハ５が正常動作時と略同じ位置にあるため、静電チャック本体１は、正常動作時と同じようにして、ウェハ５を取り外すことができる。ウェハ５が完全に脱落した場合は、一度、チャンバをベントした後、処理室内に残されたウェハ５を取り出す必要があるが、本実施例に係る静電チャックでは、この手間を削減できる。
【００５１】
ウェハ５を取り出すためにチャンバをベントする必要がないため、搬送ロボットの一時的不具合などにより、上記搬送ロボットがウェハ５を載置面１ａ上へ載置するときの位置合わせに失敗した場合など、吸着力低下の原因が以降の処理に影響をおよぼさない場合は、次のウェハ５を載置して処理を続行できる。
【００５２】
なお、本実施例に係る静電チャックは、図２に示すように、４つの脱落防止機構７を備えているが、これに限るものではない。吸着されなくなったウェハ５が任意の方向に遊動する場合、これを係止するために、少なくとも３つの脱落防止機構７を備える必要がある。ウェハ５の遊動する方向が決まっている場合、例えば、載置面１ａの傾きが小さいため、ウェハ５の自重により該ウェハ５が載置面１ａに押圧されて載置面１ａより離反しない場合は、脱落防止機構７は２つでもよい。
【００５３】
また、本実施例に係る静電チャックでは、図２に示すように、脱落防止機構７とロッド６とが載置面１ａの同一半径上に配置されているが、これに限るものではなく、互いにずれた位置に配置されていてもよい。なお、脱落防止機構７とロッド６との数は同じである必要はなく、それぞれの目的に応じて個別に設定することができる。
【００５４】
さらに、本実施例においては、静電チャック本体１の吸着力が低下した場合、脱落防止機構７の爪部８によりウェハ５の側端面および上面を保持しているが、これに限らず、側端面のみを保持する脱落防止用支持部材と、上面のみを保持する脱落防止用支持部材とをそれぞれ別に設けてもよい。これにより、例えば、載置面１ａの上方よりウェハ５を載置する場合には、側端面を保持するための脱落防止用支持部材を固定することができる。また、脱落防止機構７および持ち上げ機構の駆動源としてエアーシリンダを用いているが、これに限らず、モータやソレノイドなど他の駆動源を用いても同じ効果が得られる。さらに、脱落防止機構７と持ち上げ機構の駆動源をそれぞれ別に設けてもよい。これにより、脱落防止機構の動作タイミングと持ち上げ機構の動作タイミングとをそれぞれ別に設定できる。
【００５５】
また、本実施例では、静電チャック本体１として、静電チャックの誘電体内に２つの電極を有する双極型の静電チャックを用いているが、これに限らず、静電チャックの誘電体内に１つの電極を有する単極型の静電チャックを用いてもよい。
【００５６】
なお、本発明に係る静電チャックは、上記の実施例で示したようにイオン注入装置のみに適用されるものではなく、静電チャックが用いられている様々な装置に適用でき、特に、イオン注入装置やイオンビームエッチング装置などのビーム応用装置に対して有効である。
【００５７】
【発明の効果】
請求項１の発明に係る静電チャックは、以上のように、載置面の外周近傍に配され、上記載置面上に吸着保持された被保持物の端縁部の一部を当該被保持物とは非接触状態で覆う脱落防止位置と、被保持物の載置面への着脱が可能となるように載置面を開放する退避位置との間を変位自在に設けられた、複数の脱落防止用支持部材と、上記複数の脱落防止用支持部材を、上記脱落防止位置と退避位置との間で切り替えて移動させる駆動手段とを有する脱落防止機構を備えている構成である。
【００５８】
それゆえ、被保持物が静電チャックに載置されている間に、不所望に静電チャックの吸着力が低下しても、脱落防止機構は、上記被保持物を載置面上に保持することができる。被保持物の脱落による汚損および破損を防止すると共に、被保持物が載置面上にあるので、載置面の汚損および破損を防止できるという効果を奏する。
【００５９】
また、正常に吸着しているときと略同じ位置に被保持物を保持することができるので、正常時と略同じ動作で被保持物を取り外すことができ、脱落した被保持物を探す手間を削減できるという効果を併せて奏する。
【００６０】
加えて、静電チャックが正常に被保持物を吸着している場合、脱落防止用支持部材は該被保持物と接触しないので、被保持物をクリーンに保つことができるという効果を併せて奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示すものであり、静電チャックを示す断面図である。
【図２】上記静電チャックを示す平面図である。
【図３】上記静電チャックの要部を示す説明図である。
【図４】従来の静電チャックを示すものであり、静電チャックの要部を示す説明図である。
【符号の説明】
１静電チャック本体（静電チャック）
１ａ載置面
２直流電源
３誘電体
４金属電極
５ウェハ（被保持物）
６ロッド
７脱落防止機構（脱落防止機構）
８爪部（脱落防止用支持部材）
９バネ（駆動手段）
１０動力伝達軸（駆動手段）

Claims

静電気力によって被保持物を載置面上に吸着保持する静電チャックにおいて、
上記載置面の外周近傍に配され、載置面上に吸着保持された被保持物の端縁部の一部を当該被保持物とは非接触状態で覆う脱落防止位置と、被保持物の載置面への着脱が可能となるように載置面を開放する退避位置との間を変位自在に設けられた、複数の脱落防止用支持部材と、
上記複数の脱落防止用支持部材を、上記脱落防止位置と退避位置との間で切り替えて移動させる駆動手段とを有する脱落防止機構を備えたことを特徴とする静電チャック。