KR20200085273A - 기판 수납 용기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 개구 프레임(2a)으로 형성된 개구부를 전방면에 가짐과 함께, 복수매의 기판(W)을 수납 가능한 용기 본체(2)와, 개구부를 폐쇄하는 덮개를 구비하는 기판 수납 용기에 있어서, 용기 본체(2)는 개구 프레임(2a), 배면벽(2b), 우측벽(2c), 좌측벽(2d), 천장면벽(2e) 및 저면벽(2f)을 포함하는 상자 형상이며, 각 벽(2b 내지 2f)은 배면벽(2b)측의 두께보다도 전방면의 개구 프레임(2a)측의 두께가 얇은 것이다(t1>t2>t3>t4). 이에 의해, 용기 본체의 치수 안정성을 향상시킬 수 있는 형상의 기판 수납 용기를 제공한다.

Description

기판 수납 용기
본 발명은, 복수매의 기판을 수납하는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
기판 수납 용기는, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 내부 공간에 수납하여, 창고에서의 보관, 반도체 가공 장치간에서의 반송, 공장간에서의 수송 등에 사용되고 있다. 이 기판 수납 용기는, 개구부를 갖는 용기 본체와, 개구부를 폐쇄하는 덮개로 구성되고, 이 중 용기 본체는, 사출 성형에 의해 성형되어 있다.
이 용기 본체를 사출 성형하는 경우, 수지를 주입하기 위해서, 개구부와는 반대측의 배면벽측에, 1개 또는 복수의 게이트가 마련되어 있다(특허문헌 1 및 2 참조). 또한, 사출 성형에 의한 성형품에서는, 냉각 시의 수축을 균등하게 하기 위해서, 또한 휨이나 수축 변형을 억제하기 위해서, 용기 본체를 구성하는 각 벽은, 일정한 두께로 되어 있다.
일본 특허 공개 평11-208766호 공보 일본 특허 공개 제2007-332271호 공보
그러나, 용기 본체를 구성하는 각 벽이, 일정한 두께로 형성되어 있으면, 게이트 부근(배면벽 부근)과, 게이트로부터 먼 말단 부근(개구 프레임 부근)에서는, 수지의 도달 시간이 상이하기 때문에, 시간 경과와 함께 발생하는 스킨층의 두께가 상이하고, 결과적으로 냉각 완료 후에 잔류 응력의 분포에 차가 발생하기 쉬워, 휨이나 변형이 발생할 우려가 있었다.
그래서, 본 발명은 이상의 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 용기 본체의 치수 안정성을 향상시킬 수 있는 형상의 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(1) 본 발명에 관한 하나의 양태는, 개구 프레임으로 형성된 개구부를 전방면에 가짐과 함께, 복수매의 기판을 수납 가능한 용기 본체와, 상기 개구부를 폐쇄하는 덮개를 구비하는 기판 수납 용기에 있어서, 상기 용기 본체는, 상기 개구 프레임, 배면벽, 우측벽, 좌측벽, 천장면벽 및 저면벽을 포함하는 상자 형상이며, 상기 각 벽은, 상기 배면벽측의 두께보다도 전방면의 상기 개구 프레임측의 두께가 얇은 것이다.
(2) 상기 (1)의 양태에 있어서, 상기 각 벽은, 상기 배면벽측으로부터 상기 개구 프레임측까지, 단계적으로 박육화된 두께를 가져도 된다.
(3) 상기 (2)의 양태에 있어서, 상기 각 벽은, 상기 배면벽측으로부터 상기 개구 프레임측까지, 0.5mm 이상 1.5mm 이하의 차의 범위 내에서 단계적으로 박육화된 두께를 가져도 된다.
(4) 상기 (1)의 양태에 있어서, 상기 각 벽은, 상기 배면벽측으로부터 상기 개구 프레임측까지, 단차가 없는 편육상으로 박육화된 두께를 가져도 된다.
(5) 상기 (1) 내지 (4) 중 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 개구 프레임 및 상기 각 벽은, 최후육부가 3mm 이상 7mm 이하여도 된다.
(6) 상기 (1) 내지 (5) 중 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 개구 프레임 및 상기 각 벽은, 최박육부는, 0.5mm 이상 2mm 이하여도 된다.
(7) 상기 (1) 내지 (6) 중 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 개구 프레임은 상기 용기 본체와는 별도의 부품이며, 상기 용기 본체에 일체화되어도 된다.
(8) 상기 (1) 내지 (7) 중 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 개구 프레임은 상기 각 벽의 두께보다도 얇은 두께를 가져도 된다.
본 발명에 따르면, 용기 본체의 치수 안정성을 향상시킬 수 있는 형상의 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 실시 형태의 기판 수납 용기를 나타내는 분해 사시도이다.
도 2는 실시 형태의 용기 본체를 나타내는 정면도이다.
도 3은 실시 형태의 용기 본체를 나타내는 저면도이다.
도 4는 사출 성형용 금형을 나타내는 개략도이다.
도 5는 실시 형태에 있어서의 각 벽 및 개구 프레임이 두께가 두꺼운 상태를 나타내는 개략 수평 단면도이다.
도 6은 종래 기술에 있어서의 각 벽 및 개구 프레임이 두께가 두꺼운 상태를 나타내는 개략 수평 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 본 명세서의 실시 형태에 있어서는, 전체를 통해서 동일한 부재에는 동일한 부호를 부여하고 있다. 또한, 도면 중에, 정면 F(개구 프레임(2a))의 방향 및 후방 B(배면벽(2b))의 방향을, 실선 화살표로 나타내고 있다. 또한, 좌우는 정면 F로부터 본 상태를 가리키는 것으로 한다.
먼저, 기판 수납 용기(1)의 개략에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명에 따른 실시 형태의 기판 수납 용기(1)를 나타내는 분해 사시도이다. 도 2는 실시 형태의 용기 본체(2)를 나타내는 정면도이다. 도 3은 실시 형태의 용기 본체(2)를 나타내는 저면도이다.
도 1에 도시되는 기판 수납 용기(1)는, 복수매의 기판(W)을 수납하는 용기 본체(2)와, 이 용기 본체(2)의 개구부에 착탈 가능하게 장착되는 덮개(4)를 구비하고 있다. 이 기판 수납 용기(1)에 수납되는 기판(W)은, 직경 300mm 또는 직경 450mm의 반도체 웨이퍼나 마스크 유리 등이다.
용기 본체(2)는, 정면 F의 개구부를 형성하는 개구 프레임(2a)과, 배면벽(2b)과, 우측벽(2c)과, 좌측벽(2d)과, 천장면벽(2e)과, 저면벽(2f)을 포함하는 상자 형상의 것이고, 소위 프론트 오픈 박스 타입의 것이다.
덮개(4)는 개구 프레임(2a)의 개구부에 장착됨으로써, 도시하지 않은 시일 가스킷이 용기 본체(2)의 개구 프레임(2a)에 대향하도록 설치되어 있다. 이 덮개(4)를 용기 본체(2)에 장착하였을 때, 시일 가스킷은 용기 본체(2)와 덮개(4) 사이의 주연부에 밀착되어, 기판 수납 용기(1)의 내부 공간의 기밀성을 유지하도록 구성되어 있다.
또한, 덮개(4)는 하우징과 커버 플레이트와 중첩하여 형성되어 있고, 이들의 내측에는, 출몰 가능한 래치(시정) 기구(도시하지 않음)가 마련되어 있다. 래치 기구는 덮개 개폐 장치에 의한 자동 개폐를 행하기 위해 마련되어 있고, 돌출부가 돌출됨으로써 덮개(4)를 용기 본체(2)에 계지(係止)한다. 이 래치 기구는 덮개(4)의 상하 2변에 각각 2군데 마련되어 있다.
용기 본체(2)의 개구 프레임(2a)에는, 래치 기구에 대응하는 위치에, 돌출부를 계지하기 위한 개구 등의 피계지부가 형성되어 있다.
배면벽(2b)에는, 또한 후방 B로 돌출되는 돌출부(2P)가 좌우 양측에 형성되어 있다(도 3 참조). 이 돌출부(2P)는, 용기 본체(2)의 정면 F의 개구부를 상향으로 하여 적재될 때, 다리부로서 기능한다.
또한, 용기 본체(2)의 배면벽(2b)의 중앙 외측에는, 수납된 기판(W)의 매수의 보조가 되는 눈금 등이 표시된다(도 1 참조).
또한, 용기 본체(2)의 우측벽(2c) 및 좌측벽(2d)의 외측의 중앙 부근에는, 악지 조작용으로 기능하는 그립(23)이 각각 설치되어 있다.
또한, 용기 본체(2)의 우측벽(2c) 및 좌측벽(2d)의 내측에는, 수납되는 기판(W)을 수평으로 지지하는 좌우 한 쌍의 지지편(21)이 각각 복수 마련되고, 우측벽(2c) 및 좌측벽(2d)의 내측의 후방 B측에는, 기판(W)을 후방 B를 향하여 삽입하였을 때, 기판(W)의 삽입 위치를 규제하는 위치 규제부(22)가 각각 마련되어 있다.
이 좌우 한 쌍의 지지편(21)은, 상하 방향으로 소정의 피치로 배열되고, 각 지지편(21)이 기판(W)의 주연을 지지하는 가늘고 긴 판상으로 형성되어 있다. 실시 형태에서는, 25매의 기판(W)을 지지할 수 있도록 지지편(21)이 마련되어 있지만, 기판(W)의 최대 수납 매수는 25매에 제한되지 않는다.
이들 지지편(21)은 우측벽(2c) 또는 좌측벽(2d)의 성형 시에 동시에 형성된다. 단, 지지편(21)을 우측벽(2c) 및 좌측벽(2d)에 대하여 별도의 부품으로서 형성하고, 감합 등에 의해 우측벽(2c) 또는 좌측벽(2d)에 설치해도 되고, 인서트 성형에 의해 일체 성형해도 된다.
용기 본체(2)의 천장면벽(2e)의 외측에는, 로보틱 플랜지 등의 톱 플랜지(25)가 설치되어 있다. 이 톱 플랜지(25)는, 예를 들어 반도체 제조 공장의 천장 반송차에 파지되어, 공정간에 반송되거나, 반도체 가공 장치 등의 덮개 개폐 장치의 위치 결정에 이용되거나 한다.
용기 본체(2)의 저면벽(2f)에는, 도 3에 도시한 바와 같이, 3개의 급기 부재(50)와 1개의 배기 부재(60)가 마련되어 있다. 이들 급기 부재(50) 및 배기 부재(60)는, 기판 수납 용기(1)의 외부로부터 내부 공간으로 또는 내부 공간으로부터 외부로 기체를 유통시킴으로써, 수납한 기판(W)의 표면의 변질을 억제하거나, 기판 수납 용기(1)의 내부 공간과 외부의 압력차를 해소하거나 하도록 기능한다.
이 중, 2개의 급기 부재(50)가, 저면벽(2f)의 후방 B의 좌우 양측에 마련되어 있고, 또한 1개의 급기 부재(50)와, 1개의 배기 부재(60)가, 저면벽(2f)의 정면 F 부근의 좌측 또는 우측에 마련되어 있다. 그리고, 이들 급기 부재(50)에, 기판 수납 용기(1)의 내부 공간의 환경을 변화시키는 각종 기능 유닛, 예를 들어 기체 치환 유닛(3R, 3L), 밸브 유닛, 폐색 유닛, 소경 필터 유닛, 대경 필터 유닛 등이 접속되어 있다. 또한, 급기 부재(50) 및 배기 부재(60)의 배치나 수량은, 도시한 것에 한정되지 않고, 예를 들어 정면 F 부근의 급기 부재(50)는, 배기 부재(60)로서 사용되는 경우도 있다. 또한, 급기 부재(50) 및 배기 부재(60)는, 덮개(4)가 설치되는 것도 있다.
기체 치환 유닛(3R, 3L)은, 용기 본체(2)의 내부 공간을 기체로 치환함으로써, 기판(W)이 삽입된 상태에서도 기판(W)과 간섭하지 않도록, 용기 본체(2)의 후방 B(배면벽(2b) 또는 돌출부 부근)의 좌우 양측에, 길이 방향을 상하 방향으로 하여 마련되어 있다(도 1 및 2 참조).)
이 기체 치환 유닛(3R, 3L)은, 용기 본체(2)의 내부 공간에 기체를 분출하는 복수의 분출 구멍이 상하 방향으로 마련되어 있고, 3 방향으로 분출하게 되어 있다. 단, 기체 치환 유닛(3R, 3L)이 분출하는 방향은, 이에 한정되지 않고, 덮개(4)측으로의 1 방향이나 상하 방향(천장면벽(2e) 및 저면벽(2f))을 제외한 전체 방향이어도 된다. 또한, 좌우 2군데에 마련하지 않고, 예를 들어 2개의 기체 치환 유닛(3R, 3L)이, 용기 본체(2)의 후방 B(배면벽(2b) 또는 돌출부(2P) 부근)의 대략 전체면에 걸쳐 면상으로 연결된 기능 유닛이어도 된다. 분출하는 기체로서는, 불활성 가스나 드라이 에어를 들 수 있다. 또한, 불활성 가스로서는, 질소 가스, 아르곤 가스 등을 들 수 있지만, 비용면에서 질소 가스가 바람직하다.
또한, 용기 본체(2)의 저면벽(2f)의 외측에는, 용기 본체(2)를 위치 결정, 적재하기 위한 보텀 플레이트(26)가 설치되어 있다.
상술한 것 이외에도, 용기 본체(2)의 개구 프레임(2a), 배면벽(2b), 우측벽(2c), 좌측벽(2d), 천장면벽(2e) 및 저면벽(2f)에는, 도시되거나(도 1의 좌측벽(2d)의 외면 참조) 또는 도시되지 않은 보강 리브(2r)가 적당한 개소에 마련되어 있다.
용기 본체(2)나 덮개(4), 또한 그립(23), 톱 플랜지(25), 보텀 플레이트(26) 등의 부속품은, 필요한 수지를 함유하는 성형 재료에 의해 사출 성형되거나, 사출 성형된 복수의 부품의 조합에 의해 구성되거나 한다. 성형 재료에 포함되는 수지로서는, 예를 들어 폴리카르보네이트, 시클로올레핀 폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리에테르에테르케톤, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리아세탈, 액정 폴리머와 같은 열가소성 수지나 이들의 알로이 등을 들 수 있다.
또한, 이들 수지에는, 카본 섬유, 카본 파우더, 카본 나노튜브, 도전성 폴리머 등을 포함하는 도전성 물질이나 음이온, 양이온, 비이온계 등의 각종 대전 방지제가 필요에 따라서 첨가된다. 또한, 자외선 흡수제나, 강성을 향상시키는 강화 섬유 등도 필요에 따라서 첨가된다.
또한, 용기 본체(2), 덮개(4), 그립(23), 톱 플랜지(25) 및 보텀 플레이트(26) 등은, 투명, 불투명, 반투명 중 어느 것이어도 되지만, 용기 본체(2) 또는 덮개(4)의 적어도 한쪽은, 일부가 투명한 것이 바람직하다. 예를 들어, 배면벽(2b)은, 비도전성 재료에 의해 형성된 투명한 창부를 갖고 있어도 된다. 이 투명한 창부는, 용기 본체(2)의 성형 시에, 인서트 성형에 의해 일체 성형되면 된다.
여기서, 오목형(210) 및 볼록형(220)의 금형(200)을 사용한 사출 성형에 의한 용기 본체(2)의 제조 방법에 대하여 간단하게 설명한다. 도 4는 사출 성형용 금형(200)을 나타내는 개략도이다.
용기 본체(2)는, 오목형(210) 및 볼록형(220)의 금형(200)을 사용한 사출 성형에 의해 성형된다. 이 사출 성형용 금형(200)에서는, 도 4에 도시된 바와 같이, 오목형(210)에 연결된 사출 노즐(도시되지 않음)로부터 스풀(S), 러너(R) 및 게이트(수지 주입 부분)(G)를 통해, 오목형(210) 및 볼록형(220) 사이에 형성되는, 용기 본체(2)의 성형용 캐비티에 플라스틱 수지가 통과된다.
게이트(G)는, 배면벽(2b)에 형성되는 좌우의 돌출부(2P)에 있어서의, 천장면벽(2e) 및 저면벽(2f) 부근에 각각 마련된다. 단, 게이트(G)의 개수는 4개에 한정되지 않고, 예를 들어 좌우의 돌출부(2P)에 있어서의, 천장면벽(2e) 및 저면벽(2f)을 연결하는 상하 방향의 중간 위치 등에 마련하여, 좌우의 2개로 해도 되고, 배면벽(2b)의 좌우 방향 및 상하 방향의 중앙부에 1개만 마련해도 된다.
또한, 게이트(G)는, 스풀(S) 및 러너(R)를 통해 사출 노즐에 연결된 것이 아니라, 사출 노즐에 직접 연결되는 스풀 게이트(다이렉트 게이트), 혹은 사출 노즐에 직접 연결되는 게이트를 밸브 로드로 개폐 제어(개구량의 조정을)하는 밸브 게이트여도 된다.
다음에, 용기 본체(2)를 구성하는 각 벽(2b 내지 2f) 및 개구 프레임(2a)의 두께에 대하여 설명한다. 도 5는, 실시 형태에 있어서의 각 벽(2b 내지 2f) 및 개구 프레임(2a)의 두께가 두꺼운 상태를 나타내는 개략 수평 단면도이다. 도 6은, 종래 기술에 있어서의 각 벽(2b' 내지 2f') 및 개구 프레임(2a')의 두께가 두꺼운 상태를 나타내는 개략 수평 단면도이다.
배면벽(2b)에서는, 게이트(G) 부근의 돌출부(2P)의 영역이, 제1 후육부(t1)로 되어 있으며, 돌출부(2P)끼리의 사이가 제2 후육부(t2)로 되어 있다. 또한, 배면벽(2b)의, 천장면벽(2e) 및 저면벽(2f)을 연결하는 상하 방향에 대해서도, 각각 동일한 두께를 갖고 있다.
단, 배면벽(2b)에 투명한 창부를 인서트 성형하는 경우에는, 이 투명한 창부만 두께를 t2에 대하여 상이하게 해도 되고(예를 들어, 투명한 창부의 두께를 제1 후육부(t1)와 동일한 두께로 해도 된다.), 주위의 제2 후육부(t2)와 동일한 두께인 그대로 해도 된다.
우측벽(2c), 좌측벽(2d), 천장면벽(2e) 및 저면벽(2f)에서는, 배면벽(2b)으로부터 도시되지 않은 지지편(21)의 후방 B측의 단부 부근까지의 영역이, 제1 후육부(t1)로 되어 있다.
또한, 우측벽(2c), 좌측벽(2d), 천장면벽(2e) 및 저면벽(2f)에 있어서의, 지지편(21)의 후방 B측의 단부 부근으로부터 정면 F측의 단부 부근까지의 영역은, 제2 후육부(t2)로 되어 있다. 단, 도 5에 도시되지 않은 천장면벽(2e) 및 저면벽(2f)에는, 지지편(21)이 형성되어 있지 않기 때문에, 이 경우의 천장면벽(2e) 및 저면벽(2f)의 영역은, 지지편(21)을 상하 방향으로 투영하였을 때의 것이다.
또한, 우측벽(2c), 좌측벽(2d), 천장면벽(2e) 및 저면벽(2f)에 있어서의, 지지편(21)의 정면 F측의 단부 부근으로부터 개구 프레임(2a)까지의 영역이, 제3 후육부(t3)로 되어 있다.
그리고, 개구 프레임(2a)은 제4 후육부(t4)로 되어 있다.
여기서, 제1 후육부(t1)의 두께는 제2 후육부(t2)의 두께보다 두껍고, 제2 후육부(t2)의 두께는 제3 후육부(t3)의 두께보다 두껍고, 제3 후육부(t3)의 두께는 제4 후육부(t4)의 두께보다 두껍게 되어 있다. 또한, 제1 후육부(t1)와 제2 후육부(t2) 사이 등의 각 단차부는 직선상으로 되어 있다(즉, 각 후육부(t1 내지 t4)에 있어서, 도 5에 있어서의 지면의 표리면 방향의 두께는 각각 일정하다.).
바꾸어 말하면, 각 벽(2b 내지 2f)은 배면벽(2b)측의 두께보다도 전방면의 개구 프레임(2a)측의 두께가 얇아져 있다. 또한, 개구 프레임(2a)은 각 벽(2b 내지 2f)의 두께보다도 얇은 두께를 갖고 있다. 단, 용기 본체(2)에 마련된 보강 리브(2r)도, 원칙적으로는 개구 프레임(2a) 및 각 벽(2b 내지 2f)의 각 후육부(t1 내지 t4)의 두께와 동일한 두께이지만, 보강 리브(2r)의 일부를, 수축 변형 방지를 위해서, 개구 프레임(2a) 및 각 벽(2b 내지 2f)의 각 후육부(t1 내지 t4)의 두께보다도 박육으로 해도 된다.
또한, 본 실시 형태에서는, 각 벽(2b 내지 2f)은, 제1 후육부(t1)로부터 제4 후육부(t4)까지 단계적으로 박육화한 4단계의 두께를 갖는 것이었지만, 2단계 또는 3단계여도 되고, 5단계 이상이어도 된다. 또한, 최후육부가 되는 제1 후육부(t1)의 두께는, 3mm 이상 7mm 이하의 범위이면 되고, 최박육부가 되는 제4 후육부(t4)의 두께는, 0.5mm 이상 2.5mm 이하의 범위이면 된다. 예를 들어, 제1 후육부(t1)의 두께를 5mm, 제2 후육부(t2)의 두께를 4mm, 제3 후육부(t3)의 두께를 3mm, 제4 후육부(t4)의 두께를 2.5mm로 하면 된다. 이와 같이, 인접하는 단계마다의 두께차는, 모두 1mm로 박육화할 필요가 없고, 0.5mm 이상 1.5mm 이하의 범위 내에서, 단계마다 상이한 두께차로 박육화되어도 된다.
또한, 우측벽(2c), 좌측벽(2d), 천장면벽(2e) 및 저면벽(2f)에 있어서, 각 후육부(t1 내지 t4)의 위치 및 그의 두께는, 각각 동일한 것이 바람직하지만, 상술한 바와 같이 용기 본체(2)의 내부나 외부에는, 지지편(21), 그립(23), 톱 플랜지(25) 및 보텀 플레이트(26) 등이 마련됨으로써, 우측벽(2c) 및 좌측벽(2d)은 좌우 대칭이지만, 각 벽(2c 내지 2f)간에서 상이하기 때문에, 각 후육부(t1 내지 t4)의 위치 및 그의 두께는 각각 상이해도 된다. 또한, 지지편(21), 그립(23), 톱 플랜지(25) 및 보텀 플레이트(26) 등을 마련하기 위해서, 배면벽(2b), 우측벽(2c), 좌측벽(2d), 천장면벽(2e) 및 저면벽(2f)에 있어서 후육화한 부분은, 박육화하지 않고, 설정한 두께를 유지하도록 하면 된다.
특히, 용기 본체(2)의 성형 재료로서 액정 폴리머를 채용하면, 두께가 얇을수록, 고분자쇄의 배향성이 강한 스킨층의 비율이 많아지고, 단위 단면적당 강도가 높아지기 때문에, 개구 프레임(2a) 및 각 벽(2b 내지 2f)을, 3mm 내지 0.5mm의 두께로 형성하였다고 해도, 용기 본체(2)로서 충분한 강도를 얻을 수 있다.
또한, 종래 기술에 있어서의 용기 본체(2')를 구성하는 각 벽(2b' 내지 2f') 및 개구 프레임(2a')의 두께는 모두, 도 6에 나타내는 바와 같이, t0으로 일정하다.
이상, 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 실시 형태의 기판 수납 용기(1)는, 개구 프레임(2a)으로 형성된 개구부를 전방면에 가짐과 함께, 복수매의 기판(W)을 수납 가능한 용기 본체(2)와, 개구부를 폐쇄하는 덮개(4)를 구비하는 기판 수납 용기(1)에 있어서, 용기 본체(2)는 개구 프레임(2a), 배면벽(2b), 우측벽(2c), 좌측벽(2d), 천장면벽(2e) 및 저면벽(2f)을 포함하는 상자 형상이며, 각 벽(2b 내지 2f)은, 배면벽(2b)측의 두께보다도 전방면의 개구 프레임(2a)측의 두께가 얇은 것이다. 이에 의해, 지지편(21)을 우측벽(2c) 및 좌측벽(2d)에 일체로 성형한 경우에도, 수지의 유동성이 향상되어 있는 점에서, 개구 프레임(2a)측으로부터 수지가 들어오지 않고, 지지편(21)의 위치에 대응하는 우측벽(2c) 및 좌측벽(2d)의 외측면에 웰드가 발생하는 일이 없다. 웰드가 발생하지 않기 때문에, 고온의 가스가 고일 일도 없고, 금형(200)이 부식되는 일도 없어진다.
또한, 각 벽(2b 내지 2f)에 있어서, 게이트(G) 부근이 되는 후방 B의 배면벽(2b)측의 두께보다도, 게이트로부터 먼 말단 부근이 되는 정면 F의 개구 프레임(2a)측의 두께가 얇기 때문에, 주입 시의 수지 유동성이 향상되기 때문에, 성형 시의 금형(200) 내에 있어서의 게이트(G) 부근과, 개구 프레임(2a)의 선단 부근의 압력차를 작게 할 수 있다. 그 때문에, 용기 본체(2) 전체에 걸친 잔류 응력의 차가 작아져, 용기 본체(2)의 휨이나 변형을 최대한 작게 할 수 있다.
또한, 게이트(G) 부근과 개구 프레임(2a) 부근의 압력차가 작아지면, 성형 시에 금형(200) 내의 수지에 가해지는 압력 유지도 균일하게 작용하기 때문에, 용기 본체(2)의 치수·형상을 고정밀도가 되고, 또한 정밀도도 안정되게 된다. 그 결과, 성형품(용기 본체(2))의 냉각 시간을 각 개소에 있어서 일률(일정)로 근접시킬 수 있다. 그리고, 냉각 시간을 일률적으로 할 수 있으면, 종래의 일정 두께의 용기 본체(2)보다도 냉각 시간을 단축시킬 수 있다. 성형 시의 냉각 시간을 단축시킬 수 있으면, 생산성의 향상으로도 연결된다.
덧붙여, 배면벽(2b)측보다도 개구 프레임(2a)측이 얇은 두께를 갖기 때문에, 개구 프레임(2a)측을 경량화할 수 있고, 용기 본체(2)의 무게 중심을 배면벽(2b)측(중심측)에 가깝게 할 수 있다. 용기 본체(2)의 무게 중심이, 배면벽(2b)측이 되면, 기판 수납 용기(1)의 무게 중심도 배면벽(2b)측에 근접하기 때문에, 무거운 덮개(4)를 용기 본체(2)에 설치해도, 개구 프레임(2a)(덮개(4))측이 하방을 향하기 어려워져, 기판 수납 용기(1)를 반송 장치나 로봇으로 반송할 때, 자세를 안정화시킬 수 있다.
실시 형태에서는, 각 벽(2b 내지 2f)은 배면벽(2b)측으로부터 개구 프레임(2a)측까지, 단계적으로 박육화된 두께를 갖는다. 또한, 실시 형태에서는, 각 벽(2b 내지 2f)은 배면벽(2b)측으로부터 개구 프레임(2a)측까지, 0.5mm 이상 1.5mm 이하의 차의 범위 내(예를 들어, 단계 전후의 차가 1mm 씩이나, 0.5mm 및 1.0mm의 조합)에서 단계적으로 박육화된 두께를 갖는다. 이에 의해, 용기 본체(2)를 성형하기 위한, 오목형(210) 및 볼록형(220)의 금형(200)의 가공 정밀도를 향상시킬 수 있다.
실시 형태에서는, 각 벽(2b 내지 2f)은 배면벽(2b)측으로부터 개구 프레임(2a)측까지, 단차가 없는 편육상으로 박육화된 두께를 갖는다. 이에 의해, 각 벽(2b 내지 2f)에 있어서 응력 집중되는 부분이 적어지고, 용기 본체(2)의 강도를 향상시킬 수 있다.
실시 형태에서는, 개구 프레임(2a) 및 각 벽(2b 내지 2f)은, 최후육부가 3mm 이상 7mm 이하이다. 이에 의해, 용기 본체(2)의 강도를 향상시킬 수 있음과 함께, 중량을 경량화할 수 있다.
실시 형태에서는, 개구 프레임(2a) 및 각 벽(2b 내지 2f)은, 최박육부가 0.5mm 이상 2mm 이하이다. 이에 의해, 용기 본체(2)의 강도를 유지할 수 있음과 함께, 중량을 경량화할 수 있다.
실시 형태에서는, 개구 프레임(2a)은 각 벽(2b 내지 2f)의 두께보다도 얇은 두께를 갖는다. 이에 의해, 개구 프레임(2a)의 중량을 경량화할 수 있기 때문에, 기판 수납 용기(1)의 무게 중심을 중심 방향에 근접시킬 수 있다. 그 때문에, 기판 수납 용기(1)의 반송·이송을 안정화시킬 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 요지 범위 내에 있어서, 다양한 변형, 변경이 가능하다.
(변형예)
상기 실시 형태에서는, 각 벽(2b 내지 2f)에 있어서의 제1 후육부(t1)와 제2 후육부(t2) 사이 등의 각 단차부는, 직선상으로 되어 있었지만, 게이트(G)로부터 이격되는 방향을 향해 볼록한 원호 형상으로 되어 있어도 된다. 이에 의해, 수지의 유동성(유속)을 보다 균일하게 할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 각 벽(2b 내지 2f)은 배면벽(2b)측으로부터 개구 프레임(2a)측까지, 단계적으로 박육화된 두께를 갖는 것이었지만, 단차가 없는 편육상으로 박육화된 두께를 갖는 것이어도 된다. 그리고, 편육상으로 박육화시키는 비율은 직선적이어도, 곡선적이어도 되고, 즉, 각 벽(2b 내지 2f)의 두께가 배면벽(2b)측으로부터 개구 프레임(2a)측을 향해 박육화되어 있으면 된다.
상기 실시 형태에서는, 개구 프레임(2a)은 각 벽(2b 내지 2f)과 함께 사출 성형에 의해 용기 본체(2)에 형성되어 있었지만, 개구 프레임(2a)을 용기 본체(2)와는 별도의 부품으로 형성하고, 배면벽(2b), 우측벽(2c), 좌측벽(2d), 천장면벽(2e), 저면벽(2f)으로 구성되는 용기 본체(2)에, 인서트 성형에 의해 일체화해도 된다. 개구 프레임(2a)을 용기 본체(2)와는 별도의 부품으로 형성함으로써, 개구 프레임(2a)의 두께를 각 벽(2b 내지 2f)의 두께와는 무관계로 설계할 수 있기 때문에, 개구 프레임(2a)을 각 벽(2b 내지 2f)의 두께보다도 두꺼운 두께를 갖는 것으로 할 수도 있다. 그 때문에, 개구 프레임(2a)의 강도를 보다 향상시킬 수도 있다.
1 기판 수납 용기
2 용기 본체
2a 개구 프레임, 2b 배면벽, 2c 우측벽, 2d 좌측벽, 2e 천장면벽, 2f 저면벽, 21 지지편, 22 위치 규제부, 23 그립, 25 톱 플랜지, 26 보텀 플레이트, 2P 돌출부
3R, 3L 기체 치환 유닛
4 덮개
50 급기 부재
60 배기 부재
200 금형, 210 오목형, 220 볼록형
G 게이트, R 러너, S 스풀
t1 제1 후육부, t2 제2 후육부, t3 제3 후육부, t4 제4 후육부
W 기판

Claims (8)

  1. 개구 프레임으로 형성된 개구부를 전방면에 가짐과 함께, 복수매의 기판을 수납 가능한 용기 본체와,
    상기 개구부를 폐쇄하는 덮개를 구비하는 기판 수납 용기에 있어서,
    상기 용기 본체는, 상기 개구 프레임, 배면벽, 우측벽, 좌측벽, 천장면벽 및 저면벽을 포함하는 상자 형상이며,
    상기 각 벽은, 상기 배면벽측의 두께보다도 전방면의 상기 개구 프레임측의 두께가 얇은
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 각 벽은 상기 배면벽측으로부터 상기 개구 프레임측까지, 단계적으로 박육화된 두께를 갖는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  3. 제2항에 있어서, 상기 각 벽은 상기 배면벽측으로부터 상기 개구 프레임측까지, 0.5mm 이상 1.5mm 이하의 차의 범위 내에서 단계적으로 박육화된 두께를 갖는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  4. 제1항에 있어서, 상기 각 벽은 상기 배면벽측으로부터 상기 개구 프레임측까지, 단차가 없는 편육상으로 박육화된 두께를 갖는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 개구 프레임 및 상기 각 벽은, 최후육부가 3mm 이상 7mm 이하인
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 개구 프레임 및 상기 각 벽은, 최박육부는 0.5mm 이상 2mm 이하인
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 개구 프레임은 상기 용기 본체와는 별도의 부품이며, 상기 용기 본체에 일체화되어 있는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 개구 프레임은 상기 각 벽의 두께보다도 얇은 두께를 갖는
    것을 특징으로 하는 기판 수납 용기.
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