KR20200062044A - 보유 지지 지그 - Google Patents

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KR20200062044A
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plate
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shaped
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다이스케 마츠야마
다이스케 하시모토
가즈요시 니시모토
도모지 오쿠다
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우에무라 고교 가부시키가이샤
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Abstract

판형 피처리물에 액욕 처리를 실시할 때 사용하는 보유 지지 지그이며, 세정성이 양호하고, 게다가 판형 피처리물이 보유 지지 지그의 배면 부재에 밀착되는 것을 방지하고, 세정 후에 판형 피처리물을 용이하게 분리할 수 있는 보유 지지 지그를 제공한다.
배면 부재와, 해당 배면 부재에 대향하고 또한 개구부를 갖는 정면 부재 사이에 배치되는 판형 피처리물에 액욕 처리를 실시하기 위한 판형 피처리물용 보유 지지 지그이며, 상기 배면 부재는, 상기 정면 부재와의 대향면에, 복수의 볼록부를 갖는 보유 지지 지그.

Description

보유 지지 지그{HOLDING JIG}
본 발명은 배면 부재와, 해당 배면 부재에 대향하고 또한 개구부를 갖는 정면 부재 사이에 배치되는 판형 피처리물에 액욕 처리를 실시하기 위한 보유 지지 지그에 관한 것이다.
판형의 피처리물에, 표면 처리 등의 액욕 처리를 실시할 때는, 예를 들어 판형 피처리물을 고정하는 보유 지지 지그를 사용하여, 해당 보유 지지 지그에 고정한 판형 피처리물을 액욕에 침지하여 액욕 처리가 행하여진다. 판형 피처리물을 고정하는 보유 지지 지그로서는, 예를 들어 배면 부재와, 해당 배면 부재에 대향하고 또한 개구부를 갖는 정면 부재를 갖는 보유 지지 지그가 사용되고, 상기 판형 피처리물은, 배면 부재와 정면 부재 사이에 배치된다.
이러한 판형 피처리물을 고정하는 보유 지지 지그는, 특허문헌 1에 개시되어 있다. 특허문헌 1에 개시되어 있는 반도체 웨이퍼의 도금 지그는, 반도체 웨이퍼의 장착을 용이하게 하기 위해서, 제1 보유 지지 부재와, 시일 패킹이 마련된 제2 보유 지지 부재를 구비하고, 해당 제1 보유 지지 부재와 해당 제2 보유 지지 부재의 시일 패킹 사이에 반도체 웨이퍼를 끼움 보유 지지함과 함께, 해당 시일 패킹의 내주부에 해당 보유 지지된 반도체 웨이퍼 표면이 노출되도록 구성되어 있다.
일본 특허 공개 평11-172492호 공보
그런데, 상기 판형 피처리물을 상기 보유 지지 지그에 고정하여 액욕 처리를 실시한 후는, 예를 들어 해당 보유 지지 지그별로 세정액에 침지하여, 세정하고 나서, 해당 보유 지지 지그로부터 판형 피처리물을 분리한다. 그러나, 세정해도 보유 지지 지그에 부착된 처리액을 제거할 수 없는 경우가 있었다. 또한, 판형 피처리물이 보유 지지 지그의 배면 부재에 밀착되어, 판형 피처리물을 분리하기 어려워지는 경우가 있었다.
본 발명은 상기와 같은 사정에 착안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 판형 피처리물에 액욕 처리를 실시할 때 사용하는 보유 지지 지그이며, 세정성이 양호하고, 게다가 판형 피처리물이 보유 지지 지그의 배면 부재에 밀착되는 것을 방지하고, 세정 후에 판형 피처리물을 용이하게 분리할 수 있는 보유 지지 지그를 제공하는 데 있다.
본 발명은, 이하의 발명을 포함한다.
[1] 배면 부재와, 해당 배면 부재에 대향하고 또한 개구부를 갖는 정면 부재 사이에 배치되는 판형 피처리물에 액욕 처리를 실시하기 위한 판형 피처리물용 보유 지지 지그이며, 상기 배면 부재는, 상기 정면 부재와의 대향면에, 복수의 볼록부를 갖는 것을 특징으로 하는 보유 지지 지그.
[2] 상기 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상은, 중력 방향에 직교하는 방향에 비평행인 직선부를 갖는 [1]에 기재된 보유 지지 지그.
[3] 상기 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상은, 다각형인 [2]에 기재된 보유 지지 지그.
[4] 상기 다각형은, 마름모형인 [3]에 기재된 보유 지지 지그.
[5] 상기 볼록부는, 상기 대향면에 있어서 격자형으로 배치되어 있는 [1] 내지 [4] 중 어느 한 항에 기재된 보유 지지 지그.
[6] 상기 격자형은, 사방(斜方) 격자, 삼각 격자, 또는 평행체 격자인 [5]에 기재된 보유 지지 지그.
[7] 상기 볼록부는, 상기 배면 부재의 두께 방향 단면에 있어서, 평균 높이가 1 내지 3mm인 [1] 내지 [6] 중 어느 한 항에 기재된 보유 지지 지그.
[8] 상기 배면 부재는, 두께 방향으로 연통하는 관통 구멍을 갖는 [1] 내지 [7] 중 어느 한 항에 기재된 보유 지지 지그.
[9] 상기 관통 구멍은, 중력 방향의 가장 상방에 배치되는 볼록부보다 상측, 및/또는, 중력 방향의 가장 하방에 배치되는 볼록부보다 하측에 형성되어 있는 [8]에 기재된 보유 지지 지그.
[10] 상기 볼록부의 상면의 합계 면적은, 상기 개구부의 면적에 대하여, 80면적％ 이하인 [1] 내지 [9] 중 어느 한 항에 기재된 보유 지지 지그.
본 발명에 따르면, 보유 지지 지그를 구성하는 배면 부재로서, 설치된 판형 피처리물과 접촉하는 면측에 복수의 볼록부를 형성하고 있기 때문에, 보유 지지 지그의 배면 부재와 판형 피처리물의 접촉 면적이 작아진다. 그 결과, 판형 피처리물이 보유 지지 지그의 배면 부재에 밀착되는 것을 방지할 수 있기 때문에, 보유 지지 지그의 배면 부재와 판형 피처리물 사이에 처리액이 체류되기 어려워져, 세정성이 향상된다. 또한, 판형 피처리물과 배면 부재의 밀착을 방지할 수 있기 때문에, 세정 후에 판형 피처리물을 용이하게 분리할 수 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 보유 지지 지그의 실시 형태 일례를 나타내는 사시도이고, 배면 부재와 정면 부재를 닫은 상태를 나타내고 있다.
도 2는, 본 발명에 따른 보유 지지 지그의 실시 형태 일례를 나타내는 사시도이고, 배면 부재와 정면 부재를 연 상태를 나타내고 있다.
도 3은, 본 발명에 따른 보유 지지 지그의 실시 형태의 일례에 대해서, 배면 부재와 정면 부재의 접속 부분을 나타낸 확대도이다.
도 4는, 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상의 일례를 나타낸 모식도이다.
본 발명에 따른 보유 지지 지그는, 배면 부재와, 해당 배면 부재에 대향하고 또한 개구부를 갖는 정면 부재 사이에 배치되는 판형 피처리물에 액욕 처리를 실시하기 위한 판형 피처리물용 보유 지지 지그이며, 상기 배면 부재는, 상기 정면 부재와의 대향면에, 복수의 볼록부를 갖는 점에 특징을 갖는다. 이하, 본 발명에 따른 보유 지지 지그에 관해서, 도면을 참조하면서 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 도시한 예에 한정되는 것은 아니고, 상기 및 후술하는 취지에 적합할 수 있는 범위에서 변경을 가하여 실시하는 것도 가능하고, 그것들은 모두 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.
도 1 및 도 2는, 본 발명에 따른 보유 지지 지그(1)의 실시 형태 일례를 나타내는 사시도이고, 도 1은, 배면 부재(11)와, 해당 배면 부재(11)에 대향하고 또한 개구부(12)를 갖는 정면 부재(13)를 닫은 상태를 나타내고 있고, 도 2는, 상기 배면 부재(11)와, 상기 정면 부재(13)를 연 상태를 나타내고 있다. 또한, 도 1 및 도 2에서는, 판형 피처리물은 도시하고 있지 않다.
상기 도 1 및 도 2에 있어서 나타낸 상기 배면 부재(11)와 상기 정면 부재(13)의 접속 부분을 나타낸 확대도를 도 3에 도시한다. 상기 도면과 동일한 개소에는 동일한 부호를 붙여서 중복 설명을 피한다.
도 3에서는, 상기 정면 부재(13)를 제거하여, 배면 부재(11)와 정면 부재(13)의 접속 부분에 마련된 접점(31)과, 차폐 부재(32)를 나타내고 있다. 접점(31)은, 전극과 판형 피처리물의 접속 위치를 나타내고 있다. 차폐 부재(32)는, 판형 피처리물의 주변 모서리부에 전기 및 처리액을 돌아들기 어렵게 차폐하는 부재이다.
보유 지지 지그(1)를 사용하여 판형 처리물에 액욕 처리를 실시하는 수순에 대하여 설명한다. 먼저, 도 2에 도시한 바와 같이, 배면 부재(11)와 정면 부재(13)를 열어, 배면 부재(11)의 정면 부재(13)와의 대향면 상에, 판형 피처리물(도시하지 않음)을 배치한 후, 도 1에 도시한 바와 같이, 배면 부재(11)와 정면 부재(13)를 닫고, 개폐 로크(14a와 14b)를 사용하여 배면 부재(11)와 정면 부재(13)가 열리지 않도록 한다. 이어서, 판형 피처리물을 보유 지지한 보유 지지 지그(1)를, 예를 들어 액욕 처리를 행하는 처리 조의 처리액 내에 침지하여, 액욕 처리를 행한다. 액욕 처리 후는, 보유 지지 지그(1)마다 세정한 후, 개폐 로크(14a와 14b)를 해제하고, 배면 부재(11)와 정면 부재(13)를 열어, 판형 피처리물을 보유 지지 지그(1)로부터 분리한다.
상기 보유 지지 지그(1)는, 배면 부재(11)의 정면 부재(13)와의 대향면에, 복수의 볼록부(15)를 갖고 있다. 복수의 볼록부(15)를 가짐으로써, 배면 부재(11)에 있어서의 정면 부재(13)와의 대향면과 판형 피처리물이 밀착되지 않아, 해당 대향면과 판형 피처리물 사이에 간극이 발생하기 때문에, 보유 지지 지그(1)로부터 처리액이 배출되기 쉬워져, 세정성이 향상된다. 상기 복수의 볼록부(15)에 의해 상기 대향면과 판형 피처리물의 접촉 면적이 작아지기 때문에, 상기 보유 지지 지그(1)의 배면 부재(11)로부터 판형 피처리물을 분리하기 쉬워진다. 또한, 본 발명의 보유 지지 지그(1)는, 처리액의 액 빠짐도 양호해지기 때문에, 처리 조로부터 드래그 아웃되는 처리액의 양을 저감할 수 있다.
상기 볼록부(15)란, 상기 배면 부재(11)의 두께 방향으로 돌출되어 있는 것을 의미하고, 해당 볼록부(15)의 상면은, 동일 평면 상에 위치하고 있는 것이 바람직하다.
상기 볼록부(15)의 상면이란, 상기 판형 피처리물과 접촉하는 면을 의미한다.
상기 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 원형, 타원형, 반원형, 빗자루 형상(보트의 노 형상), 다각형 등을 들 수 있다. 상기 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상이란, 상기 배면 부재(11)에 있어서의 판형 피처리물과의 대향면에 대하여 수직인 방향으로부터 보았을 때의 형상을 의미한다.
상기 보유 지지 지그(1)를 중력 방향으로 세웠을 때, 상기 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상은, 중력 방향에 직교하는 방향에 비평행인 직선부를 갖는 것이 바람직하다. 중력 방향에 직교하는 방향에 비평행인 직선부를 가짐으로써, 상기 보유 지지 지그(1)를 중력 방향으로 세웠을 때, 처리액이 상기 비평행인 직선 부를 따라 하측 방향으로 흐르기 쉬워지기 때문에, 보유 지지 지그(1)로부터 처리액이 배출되기 쉬워져, 세정성이 향상된다. 또한, 처리액의 액 빠짐을 촉진할 수 있기 때문에, 처리액의 드래그 아웃양을 저감할 수 있다.
상기 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상은, 예를 들어 다각형이 바람직하다. 상기 다각형으로서는, 예를 들어 직사각형 또는 마름모형이 바람직하고, 보다 바람직하게는 마름모형이다. 마름모형으로서는, 예를 들어 정사각형, 다이아몬드형 등을 들 수 있다.
상기 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상의 일례를 도 4에 도시한다. 도 4에 있어서, 사선으로 나타낸 부분이, 볼록부의 상면을 나타내고 있다.
도 4의 (a)는 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상이 원형, (b)는 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상이 직사각형, (c)는 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상이 빗자루 형상, (d)는 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상이 정사각형의 볼록부를 갖는 배면 부재의 평면도를 나타내고 있다. (a) 및 (d)에 나타낸 배면 부재에서는, 원형의 볼록부 또는 정사각형의 볼록부가 사방 격자형으로 배치되어 있다.
상기 볼록부(15)의 상면의 합계 면적은, 상기 개구부(12)의 면적에 대하여, 80면적％ 이하가 바람직하다. 상기 합계 면적이 너무 커지면, 볼록부(15)의 상면과 상기 판형 피처리물의 접촉 면적이 너무 커지기 때문에, 볼록부(15)를 형성하는 효과를 얻기 어려워진다. 상기 합계 면적은, 상기 개구부(12)의 면적에 대하여, 70면적％ 이하가 보다 바람직하고, 더욱 바람직하게는 60면적％ 이하이다.
상기 합계 면적의 하한은 특별히 한정되지 않지만, 상기 합계 면적이 너무 작아지면, 볼록부(15)의 상면과 상기 판형 피처리물의 접촉 면적이 너무 작아지기 때문에, 상기 판형 피처리물이, 면이 아니라 점으로 지지되게 된다. 그 결과, 판형 피처리물은, 볼록부(15)의 상면으로 지지되지 않은 부분이 국소적으로 변형(만곡 등)되는 경우가 있다. 따라서 상기 합계 면적은, 10면적％ 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 20면적％ 이상, 더욱 바람직하게는 30면적％ 이상이다.
상기 볼록부(15)는, 상기 정면 부재와의 대향면에, 랜덤하게 배치되어 있어도 되고, 격자형으로 배치되고 있어도 되며, 격자형으로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 상기 볼록부(15)를 격자형으로 배치함으로써, 상기 볼록부(15)가 균일하게 분산 배치되기 때문에, 상기 보유 지지 지그(1)를 중력 방향으로 세웠을 때, 처리액이 하측 방향으로 균일하게 흐르기 쉬워져, 처리액이 배출되기 쉬워, 세정성이 향상된다. 또한, 처리액의 액 빠짐을 촉진할 수 있기 때문에, 처리액의 드래그 아웃양을 저감할 수 있다. 또한, 상기 볼록부(15)가 균일하게 분산 배치되기 때문에, 상기 배면 부재(11)로부터 상기 판형 피처리물을 분리하기 쉬워진다.
상기 격자형은, 예를 들어 직사각형 격자, 사방 격자, 삼각 격자 또는 평행체 격자 등이 바람직하다. 처리액을 배출하기 쉽게 하고, 세정성을 향상시키는 관점에서, 상기 격자형은, 예를 들어 사방 격자, 삼각 격자 또는 평행체 격자 등이 보다 바람직하다.
상기 볼록부(15)의 상기 배면 부재(11)의 두께 방향 단면에 있어서의 높이는 특별히 한정되지 않지만, 평균 높이는 1 내지 3mm가 바람직하다. 상기 볼록부의 평균 높이를 이 범위로 함으로써, 중력 방향으로 처리액이 흐르기 쉬워지기 때문에, 처리액이 배출되기 쉬워져, 세정성이 향상된다. 또한, 처리액의 액 빠짐을 촉진할 수 있기 때문에, 처리액의 드래그 아웃양을 저감할 수 있다.
상기 배면 부재(11)는, 해당 배면 부재(11)의 두께 방향으로 연통하는 관통 구멍을 갖는 것이 바람직하다. 상기 관통 구멍을 가짐으로써, 상기 배면 부재(11)와 상기 판형 피처리물 사이에 개재하는 처리액이, 해당 관통 구멍을 통하여 상기 배면 부재(11)의 배면측으로 배출되기 쉬워진다. 그 결과, 세정성이 향상된다. 또한, 처리액의 액 빠짐도 촉진되기 때문에, 처리액의 드래그 아웃양을 저감할 수 있다.
상기 배면 부재(11)에 관통 구멍을 형성하는 위치는, 볼록부 이외의 영역이라면 특별히 한정되지 않고, 배면 부재를 평면으로 보았을 때, 배면 부재의 중앙 부분이어도 되고, 배면 부재의 주위 부분이어도 된다.
상기 관통 구멍은, 도 2에 도시한 바와 같이, 중력 방향의 가장 상방에 배치되는 볼록부(15a)보다 상측(16a), 및/또는, 중력 방향의 가장 하방에 배치되는 볼록부(15b)보다 하측(16b)에 형성되어 있는 것이 바람직하다. 상측(16a) 및/또는 하측(16b)의 영역에 관통 구멍을 마련함으로써, 처리액이 배출되기 쉬워져, 세정성이 향상된다. 또한, 처리액의 액 빠짐도 촉진되기 때문에, 처리액의 드래그 아웃양을 저감할 수 있다. 상기 관통 구멍은, 중력 방향의 가장 하방에 배치되는 볼록부(15b)보다 하측(16b)에 적어도 형성되어 있는 것이 보다 바람직하다.
<기타>
상기 개폐 로크(14a와 14b)는, 배면 부재(11)와 정면 부재(13)가 액욕 처리 중에 열리지 않도록 구성하면 그 종류는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 끼워 맞춰지는 볼록부와 오목부를 형성하는 구성이나, 자력을 사용하는 구성 등을 들 수 있다.
상기 보유 지지 지그(1)의 하방에는, 가이드(21)를 마련하는 것이 바람직하고, 해당 가이드(21)를, 액욕 처리를 행하는 처리 조 내에 마련된 가이드 서포트에 장입함으로써, 보유 지지 지그(1)를 처리 조에 고정할 수 있다.
상기 액욕 처리의 종류는 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 전기 도금, 무전해 도금, 침지에 의한 표면 처리 등을 들 수 있다.
본원은, 2018년 11월 26일에 출원된 일본 특허 출원 제2018-220245호에 기초하는 우선권의 이익을 주장하는 것이다. 상기 일본 특허 출원 제2018-220245호의 명세서의 전체 내용이, 본원에 참고를 위해 원용된다.
[실시예]
이하, 실시예를 들어서 본 발명을 보다 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 하기 실시예에 의해 제한을 받는 것은 아니고, 상기 및 후술하는 취지에 적합할 수 있는 범위에서 변경을 가하여 실시하는 것도 물론 가능하고, 그것들은 모두 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.
배면 부재와, 해당 배면 부재에 대향하고 또한 개구부를 갖는 정면 부재 사이에 판형 피처리물을 배치한 보유 지지 지그를 사용하여, 액욕 처리를 행한 후, 세정하고, 세정성을 평가하였다. 또한, 처리 조로부터 드래그 아웃된 처리액의 양(드래그 아웃양)을 측정하였다. 또한, 세정 후에 판형 피처리물을 분리할 때의 분리 용이성을 평가하였다.
상기 보유 지지 지그로서, 도 1 및 도 2에 도시한 보유 지지 지그를 사용하였다. 하기 표 1에 나타내는 No.2 내지 5에서는, 배면 부재(11)로서, 정면 부재(13)와의 대향면에, 복수의 볼록부(15)를 갖는 것을 사용하였다. 구체적으로는, No.2에서는, 도 4의 (a)에 도시하는 바와 같이 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상이 원형, No.3에서는, 도 4의 (d)에 도시하는 바와 같이 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상이 정사각형, No.4에서는, 도 4의 (c)에 도시하는 바와 같이 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상이 빗자루형, No.5에서는, 도 4의 (b)에 도시하는 바와 같이 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상이 직사각형인 볼록부를 각각 마련하였다. 상기 배면 부재의 두께 방향 단면에 있어서의 볼록부의 평균 높이는, No.2의 원형은 3mm, No.3의 정사각형은 1mm, No.4의 빗자루형은 3mm, No.5의 직사각형은 1mm였다.
No.2에 있어서의 볼록부의 상면의 합계 면적은, 개구부의 면적에 대하여 10면적％, No.3에 있어서의 볼록부의 상면의 합계 면적은, 개구부의 면적에 대하여 40면적％, No.4에 있어서의 볼록부의 상면의 합계 면적은, 개구부의 면적에 대하여 20면적％, No.5에 있어서의 볼록부의 상면의 합계 면적은, 개구부의 면적에 대하여 15면적％였다. 한편, No.1은 비교예이고, 상기 볼록부(15)를 갖지 않는 배면 부재(11)를 구비한 상기 보유 지지 지그를 사용하였다. 즉, No.1에 있어서의 볼록부의 상면 합계 면적은, 개구부의 면적에 대하여 0면적％였다.
상기 보유 지지 지그에는, 중력 방향의 가장 상방에 배치되는 볼록부보다 상측 및 중력 방향의 가장 하방에 배치되는 볼록부보다 하측에, 관통 구멍을 형성하였다. 관통 구멍의 개구부의 합계 면적은, 75㎠였다.
상기 보유 지지 지그에, 판형 피처리물을 배치하고, 내용량 200L의 용기에 넣은 도금액에 5분간 침지시켜서, 액욕 처리를 행하였다. 도금액으로서는, Sn을 함유하는 액을 사용하였다. 액욕 처리 후, 상기 보유 지지 지그를, 용기의 상방에서 10초간 보유 지지하고, 보유 지지 지그에 부착된 도금액을 자연 낙하시켰다. 10초간 보유 지지 후, 약 18L의 10％ GTC-1A 용액(산 용액)에 1분간 침지하여, 세정하였다. 보유 지지 지그를 도금액에 5분간 침지, 내용량 200L의 용기의 상방에서 10초간 보유 지지 및 10％ GTC-1A 용액 중에 1분간 침지를 1사이클로 하여, 이것을 15사이클 반복한 후, 약 18L의 10％ GTC-1A 용액을, 물을 사용해서 20L에 희석하고, 15분간 교반 후, 수용액 중의 Sn 농도를 분석하여, 10％ GTC-1A 용액에 혼입된 도금액의 양을 산출하였다. 산출 결과를 하기 표 1에 나타내었다. 10％ GTC-1A 용액에 혼입된 도금액의 양에 기초하여, 세정성을 평가하였다. 즉, 10％ GTC-1A 용액에 혼입된 도금액의 양이 많을수록, 보유 지지 지그에 부착된 도금액이, 10％ GTC-1A 용액 중으로 배출되었음을 나타내기 때문에, 세정성이 양호한 것을 의미한다.
또한, 판형 피처리물에 액욕 처리를 실시하는 데에 있어서, 보유 지지 지그에 부착되고, 처리 조로부터 드래그 아웃된 도금액의 양(드래그 아웃양)을 다음의 수순으로 측정하였다.
상기 보유 지지 지그에, 판형 피처리물을 배치하고, 내용량 200L의 용기에 넣은 도금액에 5분간 침지시켜서, 액욕 처리를 행하였다. 액욕 처리 후, 상기 보유 지지 지그를, 용기의 상방에서 10초간 보유 지지하고, 보유 지지 지그에 부착된 도금액을 자연 낙하시켰다. 10초간 보유 지지 후, 내용량 5L의 용기의 상방에서, 추가로 10분간 보유 지지하고, 보유 지지 지그에 부착된 도금액을 자연 낙하시켰다. 보유 지지 지그를 도금액에 5분간 침지, 내용량 200L의 용기의 상방에서 10초간 보유 지지 및 내용량 5L의 용기의 상방에서 10분간 보유 지지를 1사이클로 하여, 이것을 15사이클 반복한 후, 내용량 5L의 용기에 고인 액량을 측정하였다. 15사이클 후에 있어서의 도금액의 합계 드래그 아웃양을 하기 표 1에 나타내었다. 또한, 판형 피처리물의 표면적 1dm2당의 도금액 드래그 아웃양을 산출하고, 하기 표 1에 함께 나타내었다.
하기 표 1로부터 다음과 같이 고찰할 수 있다. No.2 내지 5는, 배면 부재의 정면 부재와의 대향면에 복수의 볼록부를 갖기 때문에, 보유 지지 지그에 부착된 도금액이 빠르게 배출되어, 세정성이 양호하였다. 한편, No.1은, 배면 부재의 정면 부재와의 대향면에 복수의 볼록부를 갖지 않기 때문에, 보유 지지 지그에 부착된 도금액이 배출되기 어렵고, 세정성이 나빴다. 또한, No.2, 3, 5에 대해서는, 단위당의 드래그 아웃양을, 비교예인 No.1의 단위당의 드래그 아웃양보다도 저감할 수 있었다.
Figure pat00001
이어서, 세정성을 평가한 후, 보유 지지 지그로부터, 판형 피처리물을 분리하였다. 이때, 판형 피처리물의 분리 용이성을 평가하였다. 그 결과, No.2 내지 5는, No.1에 비하여, 보유 지지 지그로부터 판형 피처리물을 분리하기 쉬웠다.
1: 보유 지지 지그
11: 배면 부재
12: 개구부
13: 정면 부재
14a, 14b: 개폐 로크
15: 볼록부
16a, 16b: 관통 구멍
21: 가이드
31: 접점
32: 차폐 부재

Claims (10)

  1. 배면 부재와, 해당 배면 부재에 대향하고 또한 개구부를 갖는 정면 부재 사이에 배치되는 판형 피처리물에 액욕 처리를 실시하기 위한 판형 피처리물용 보유 지지 지그이며,
    상기 배면 부재는, 상기 정면 부재와의 대향면에, 복수의 볼록부를 갖는 것을 특징으로 하는 보유 지지 지그.
  2. 제1항에 있어서, 상기 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상은, 중력 방향에 직교하는 방향에 비평행인 직선부를 갖는 보유 지지 지그.
  3. 제2항에 있어서, 상기 볼록부의 상면의 평면으로 본 형상은, 다각형인 보유 지지 지그.
  4. 제3항에 있어서, 상기 다각형은, 마름모형인 보유 지지 지그.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 볼록부는, 상기 대향면에 있어서 격자형으로 배치되어 있는 보유 지지 지그.
  6. 제5항에 있어서, 상기 격자형은, 사방 격자, 삼각 격자 또는 평행체 격자인 보유 지지 지그.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 볼록부는, 상기 배면 부재의 두께 방향 단면에 있어서, 평균 높이가 1 내지 3mm인 보유 지지 지그.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 배면 부재는, 두께 방향으로 연통하는 관통 구멍을 갖는 보유 지지 지그.
  9. 제8항에 있어서, 상기 관통 구멍은, 중력 방향의 가장 상방에 배치되는 볼록부보다 상측, 및/또는, 중력 방향의 가장 하방에 배치되는 볼록부보다 하측에 형성되어 있는 보유 지지 지그.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 볼록부의 상면의 합계 면적은, 상기 개구부의 면적에 대하여, 80면적％ 이하인 보유 지지 지그.
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