KR20200012745A

KR20200012745A - 유체 이송용 커넥터 및 그 제어 방법

Info

Publication number: KR20200012745A
Application number: KR1020190088233A
Authority: KR
Inventors: 이마이 히로시; 히라이 카주키; 코바야시 마사미치
Original assignee: 사파스고교 가부시키가이샤
Priority date: 2018-07-27
Filing date: 2019-07-22
Publication date: 2020-02-05
Also published as: CN110778830A; CN110778830B; US20200032915A1; US11047515B2; TWI807063B; JP7150310B2; TW202020356A; JP2020016317A

Abstract

플러그를 소켓에 대하여 접속할 때에 작업자에게 부담을 주지 않고 용이하게 접속할 수 있는 유체 이송용 커넥터를 제공한다. 유체 유로가 형성된 플러그 본체(3A)를 갖는 플러그(3); 플러그(3)가 접속되었을 때에 유체 유로에 연통하는 유체 유로가 형성된 소켓 본체(13)를 갖는 소켓(5); 플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13) 사이의 거리를 조정하는 구동 기구;를 구비하고 있다. 구동 기구에 의해, 플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13)가 떨어져 마주보는 초기 위치와, 플러그 본체(3A)의 유체 유로와 소켓 본체(13)의 유체 유로를 연통시키는 접속 위치와, 초기 위치와 접속 위치 사이의 중간 위치에 정지 가능하게 한다.

Description

유체 이송용 커넥터 및 그 제어 방법 {Connector For Fluid Transferring and Method Thereof}

본 발명은, 예를 들어 반도체 제조 장치에 이용하는 약액(藥液)이나 가스를 이송하기 위한 유체 이송용 커넥터 및 그 제어 방법에 관한 것이다.

예를 들어 특허문헌 1에 나타나 있는 것처럼, 반도체 제조 장치에 이용하는 유체(약액이나 가스)를 이송하기 위해 유체 이송용 커넥터가 이용된다. 유체 이송용 커넥터는, 예를 들어 유체를 일시적으로 저장하는 버퍼 탱크가 설치된 건물측에 고정 설치된 소켓; 및, 탱크 로리에서 유도된 호스의 선단에 고정된 플러그;를 구비하고 있다. 소켓에 대하여 플러그를 접속함으로써, 탱크 로리에서 버퍼 탱크로 유체가 이송된다.

상기 문헌에 기재되어 있는 것처럼, 플러그를 소켓측의 삽입구에 삽입하여 고정한 후에, 플러그의 선단 및 소켓 본체의 선단의 세정을 수행한다. 그 후, 소켓 본체가 플러그측으로 진출하는 것에 의해 플러그 선단의 밸브체와 소켓 본체 선단의 밸브체를 맞닿게 하는 동시에 각각의 밸브체를 서로 피하게 하는 것에 의해 유로를 형성하여, 유체의 이송을 수행한다.

특허문헌 1: 일본 특허공보 제 5046958호

상기 문헌에서는, 플러그를 소켓측의 삽입구에 고정한 후에, 소켓 본체가 플러그측으로 진출하는 것에 의해 유로를 형성하도록 되어 있다. 그러나, 어떠한 고장 등에 의해, 플러그를 소켓측의 삽입구에 고정할 때에, 소켓측이 플러그측으로 이미 진출한 경우에는, 상술한 세정 공정을 거치지 않고 밸브가 열려 유체의 이송이 시작될 우려가 있다. 이것을 회피하기 위해, 플러그를 삽입할 때에 소켓 본체의 위치를 확인하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 이러한 확인 작업을 작업자에게 시키는 것은, 작업자의 부담을 증가시킨다.

본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 플러그를 소켓에 대하여 접속할 때에 작업자에게 부담을 주지 않고 용이하게 접속할 수 있는 유체 이송용 커넥터 및 그 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 양태에 따른 액체 이송용 커넥터는, 유체 유로가 형성된 플러그 본체를 갖는 플러그; 상기 플러그가 접속되었을 때에 상기 유체 유로에 연통하는 유체 유로가 형성된 소켓 본체를 갖는 소켓; 상기 플러그 본체가 상기 소켓 본체에 대하여 접속 및 이탈할 때에 상기 플러그 본체와 상기 소켓 본체 사이의 거리를 조정하는 구동 기구; 상기 구동 기구를 제어하는 제어부;를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 구동 기구에 의해, 상기 플러그 본체와 상기 소켓 본체가 떨어져 마주보는 초기 위치와, 상기 플러그 본체의 상기 유체 유로와 상기 소켓 본체의 상기 유체 유로를 연통시키는 접속 위치와, 상기 초기 위치와 상기 접속 위치 사이의 중간 위치에 정지시킨다.

유체 이송용 커넥터는, 플러그 본체를 소켓 본체에 대하여 접속하는 것에 의해 유체 유로를 연통시켜 유체를 이송한다. 플러그 본체와 소켓 본체의 상대 위치는, 구동 기구에 의해 조정된다. 제어부는, 구동 기구를 제어함으로써, 초기 위치와, 플러그 본체와 소켓 본체의 유체 유로를 연통하는 접속 위치와, 초기 위치와 접속 위치 사이의 중간 위치에 위치시킬 수 있다. 이와 같이, 초기 위치와 접속 위치 사이의 중간 위치에서 플러그 본체와 소켓 본체를 정지시키도록 했으므로, 플러그를 소켓에 대하여 장착할 때에, 중간 위치를 거치지 않고 플러그 본체와 소켓 본체가 접속되는 것을 가급적 회피할 수 있다. 이것에 의해, 플러그 본체를 소켓 본체에 대하여 접속할 때에, 작업자에게 플러그 본체와 소켓 본체의 위치 관계를 확인시키는 부담을 주지 않고 용이하게 접속할 수 있다.

본 발명의 일 양태에 따른 액체 이송용 커넥터에 의하면, 상기 제어부는, 상기 플러그 본체와 상기 소켓 본체의 접속 동작 시에는, 상기 초기 위치, 상기 중간 위치 및 상기 접속 위치의 순서로 시퀀스 제어를 수행하는 한편/또는, 상기 플러그 본체와 상기 소켓 본체의 접속 해제 동작 시에는, 상기 접속 위치, 상기 중간 위치 및 상기 초기 위치의 순서로 시퀀스 제어를 수행한다.

플러그 본체와 소켓 본체의 접속 동작 시나 접속 해제 동작 시에, 초기 위치와, 중간 위치와, 접속 위치 사이에서 시퀀스 제어를 수행하도록 했다. 이것에 의해, 커넥터 접속의 자동화가 수행되어, 작업자의 부담을 경감시킬 수 있다.

본 발명의 일 양태에 따른 액체 이송용 커넥터에 의하면, 상기 소켓은, 상기 플러그 본체를 탈부착 가능하게 유지하는 플러그 본체 유지부; 상기 플러그 본체 유지부에 대하여 상기 플러그 본체를 로킹하는 로킹 기구;를 구비하고, 상기 로킹 기구는, 상기 플러그 본체를 상기 플러그 본체 유지부에 삽입하는 동작에 따라 로킹 동작을 수행한다.

플러그 본체를 플러그 본체 유지부에 대하여 로킹(locking)하는 로킹 기구를 구비하고 있다. 로킹 기구는, 플러그 본체를 플러그 본체 유지부에 삽입하는 동작에 따라 로킹 동작을 수행한다. 이것에 의해, 커넥터 접속 시의 작업자의 부담을 경감시킬 수 있다.

본 발명의 일 양태에 따른 액체 이송용 커넥터에 의하면, 상기 플러그 본체 유지부는, 상기 플러그 본체가 삽입되는 삽입구를 구비하고, 상기 삽입구를 닫는 뚜껑부가 설치되어 있다.

뚜껑부에 의해 삽입구를 닫을 수 있으므로, 플러그가 삽입되어 있지 않은 경우에는 삽입구를 뚜껑부에 의해 닫음으로써 오염을 방지할 수 있다.

그리고, 제어부에 의해, 뚜껑부의 닫기 동작과 열기 동작을 자동적으로 수행하도록 할 수도 있다.

본 발명의 일 양태에 따른 액체 이송용 커넥터에 의하면, 상기 플러그 본체의 선단과 상기 소켓 본체의 선단 사이에 세정 유체를 공급하는 세정 유체 공급 수단을 구비하고, 상기 제어부는, 상기 중간 위치에서, 상기 세정 유체 공급 수단에 의해 세정을 수행한다.

초기 위치와 접속 위치의 사이인 중간 위치에서 세정을 수행하도록 했다. 이것에 의해, 유체 유로가 연통하는 접속 위치에서 잘못 세정이 수행되어, 이송하는 유체를 세정 액체로 오염시키는 것을 회피할 수 있다.

본 발명의 일 양태에 따른 액체 이송용 커넥터의 제어 방법은, 유체 유로가 형성된 플러그 본체를 갖는 플러그; 상기 플러그가 접속되었을 때에 상기 유체 유로에 연통하는 유체 유로가 형성된 소켓 본체를 갖는 소켓; 상기 플러그 본체가 상기 소켓 본체에 대하여 접속 및 이탈할 때에 상기 플러그 본체와 상기 소켓 본체 사이의 거리를 조정하는 구동 기구;를 구비한 유체 이송용 커넥터의 제어 방법으로서, 상기 구동 기구에 의해, 상기 플러그 본체와 상기 소켓 본체가 떨어져 마주보는 초기 위치와, 상기 플러그 본체의 상기 유체 유로와 상기 소켓 본체의 상기 유체 유로를 연통시키는 접속 위치와, 상기 초기 위치와 상기 접속 위치 사이의 중간 위치에 정지 가능하게 한다.

초기 위치와 접속 위치 사이에 중간 위치를 설치하고, 플러그 본체와 소켓 본체가 중간 위치를 거치지 않고 접속되는 것을 가급적 회피함으로써, 플러그를 소켓에 대하여 접속할 때에 작업자에게 부담을 주지 않고 용이하게 접속할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 유체 이송용 커넥터를 나타낸 사시도이다.
도 2는 소켓을 나타낸 종단면도이다.
도 3a는 실린더의 초기 위치를 나타낸 종단면도이다.
도 3b는 실린더의 제 1 전진 위치를 나타낸 종단면도이다.
도 3c는 실린더의 제 2 전진 위치를 나타낸 종단면도이다.
도 4는 뚜껑부를 닫은 상태의 소켓을 나타낸 사시도이다.
도 5a는 슬리브가 로킹 볼(locking Ball)의 이동을 규제한 상태를 나타낸 종단면도이다.
도 5b는 슬리브가 로킹 볼의 이동을 해제한 상태를 나타낸 종단면도이다.
도 6은 플러그의 키 플레이트를 회동시킨 상태를 나타낸 사시도이다.
도 7은 플러그를 나타낸 종단면도이다.
도 8은 도 6의 플러그에 설치한 키의 위치를 나타낸 정면도이다.
도 9는 플러그의 선단을 소켓의 삽입구(차입구)에 삽입한 상태를 나타낸 사시도이다.
도 10은 플러그의 키와 소켓의 키 홈을 맞춘 상태를 나타낸 사시도이다.
도 11은 플러그를 제 1 전진 위치까지 변위시켜, 전(前)세정 공정을 수행하고 있는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 12는 도 11의 제 1 전진 위치의 상태를 나타낸 종단면도이다.
도 13은 플러그를 제 2 전진 위치까지 변위시켜, 유체 이송 공정을 수행하고 있는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 14는 도 13의 제 2 전진 위치의 상태를 나타낸 종단면도이다.
도 15는 플러그를 제 1 전진 위치까지 변위시켜, 후(後)세정 공정을 수행하고 있는 상태를 나타낸 사시도이다.

아래에, 본 발명에 따른 실시 형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.

도 1에는, 본 실시 형태에 따른 플러그(3)와 소켓(5)이 나타나 있다. 플러그(3) 및 소켓(5)은, 유체 이송용 커넥터(1)로 이용된다. 이용되는 유체로는, 예를 들어 반도체 제조 장치에 이용되는 약액이나 가스이다.

소켓(5)은, 건물의 벽부에 고정되어 있고 후단에 배관(6)의 일단이 접속되어 있다. 배관(6)의 타단은, 건물 내에 설치된 버퍼 탱크(미도시)에 접속되어 있다. 소켓(5)은, 전단(도 1에 있어서 왼쪽 끝)에 플러그(3)를 받아들이는 삽입구(8)를 구비하고 있다. 삽입구(8)는, 원통형의 삽입통체(플러그 본체 유지부)(10) 내부에 형성되어 있다. 삽입통체(10)의 선단에는, 일부가 잘라내져 형성된 복수의 키 홈(11)이 설치되어 있다. 키 홈(11)은, 삽입통체(10)의 원주 방향으로 소정 간격을 두고 복수 설치되어 있다. 연직 윗쪽에 위치하는 키 홈(11)은, 메인 키 홈(11a)으로 되어 있고, 다른 키 홈(11)보다 원주 방향의 폭이 큰 홈으로 되어 있다.

삽입통체(10)는, 원주 방향으로 떨어져 배치된 복수의 로킹 볼(9)(도 5a 등 참조)을 유지하고 있다. 각 로킹 볼(9)은, 플러그(3)와 소켓(5)을 고정할 때에 이용된다.

삽입통체(10)의 뒤쪽(도 1에 있어서 오른쪽)에는, 소켓 본체(13)가 설치되어 있다. 소켓 본체(13)는, 수평 방향으로 중심축선을 갖는 원통 형상으로 되어 있고, 내부에 유로의 개폐를 수행하는 밸브체(13a)(도 5a 등 참조)를 구비하고 있다. 소켓 본체(13) 앞뒤에는, 전측 고정판(15)과 후측 고정판(16)이 고정되어 있다. 양고정판(15, 16)은, 연직 방향으로 세워 설치된 직사각형 판상체로 되어 있다. 양고정판(15, 16)의 아래쪽에는, 설치면에 대하여 고정하기 위한 다리부(17)가 설치되어 있다. 양고정판(15, 16)의 네 귀퉁이를 관통하도록 4개의 지지축체(18)가 수평 방향으로 연재(延在)하여 설치되어 있다.

각 지지축체(18)의 전단 및 후단은, 전측 지지판(20)과 후측 지지판(21)에 고정되어 있다. 양지지판(20, 21)은, 연직 방향으로 세워 설치된 직사각형의 판상체로 되어 있다. 전측 지지판(20)은, 상술한 삽입통체(10)를 지지하고 있다.

각 지지축체(18)에는, 실린더(구동 기구)(23)가 장착되어 있다. 각 실린더(23)는, 전측 고정판(15)과 후측 고정판(16) 사이에 고정되어 있다. 각 실린더(23)에는, 에어 공급 배관(24)이 접속되어 있고, 에어 공급 배관(24)으로부터 공급된 공기압에 의해 지지축체(18)가 실린더(23)에 대하여 축선 방향으로 왕복 운동하도록 되어 있다. 이것에 의해, 소켓 본체(13)에 대하여, 전측 지지판(20)에 지지된 삽입통체(10)가 접근 이간(離間)하도록 되어 있다.

윗쪽의 한쪽의 제 1 지지축체(18a)에는, 뚜껑부(27)가 장착되어 있다. 구체적으로는, 도 2에 나타내는 것처럼, 제 1 지지축체(18a)의 중심축선 상을 따라 관통하도록 내부에 뚜껑부 구동용 축체(18a1)가 설치되어 있다. 도 2는, 소켓 본체(13)를 떼어낸 상태의 소켓(5)을 나타내고 있고, 제 1 지지축체(18a)를 연직면에서 절단한 종단면도로 되어 있다.

실린더(23)는, 전측 고정판(15)에서 후측 고정판(16)을 향해, 제 1 통부(23a), 제 2 통부(23b), 제 3 통부(23c) 및 제 4 통부(23d)를 구비하고 있다. 각 통부(23a, 23b, 23c, 23d)는, 서로 공통의 축선을 갖고 직렬로, 또한 O링을 통해 액체가 새지 않도록 접속되어 있다.

제 2 통부(23b)와 제 3 통부(23c)의 내주측에는 밀폐 공간(S)이 형성되어 있다. 이 밀폐 공간(S) 내에 대하여, 에어 공급 배관(24)을 통해 공기가 공급 및 배출되도록 되어 있다. 밀폐 공간(S) 내에는, 피스톤(구동 기구)(25)이 배치되어 있다. 피스톤(25)은, 제 3 통부(23c)의 내주 및 뚜껑부 구동용 축체(18a1)의 외주에 대하여 기체가 새지 않도록 감합되어 있고, 밀폐 공간(S) 내를 축선 방향으로 왕복 운동한다.

피스톤(25)의 앞쪽(도 2에 있어서 왼쪽)에는, 밀폐 공간(S)을 구분하는 구분 링(구동 기구)(26)이 설치되어 있다. 구분 링(26)은, 제 1 지지축체(18a)에 대하여 고정되어 있고, 제 2 통부(23b)의 내주에 대하여 기체가 새지 않도록 감합되어 있다. 이것에 의해, 구분 링(26)은, 밀폐 공간(S)을, 구분 링(26)보다 앞쪽(왼쪽)의 제 1 공간(S1)과, 구분 링(26)보다 뒤쪽(오른쪽)의 제 2 공간(S2)으로 구분하도록 되어 있다. 그리고, 도 2의 상태에 있어서는, 구분 링(26)이 가장 앞쪽(왼쪽)에 위치하고 있어, 제 1 공간(S1)의 체적이 대략 제로로 되어 있다. 피스톤(25)의 뒤쪽(오른쪽)에는, 제 3 공간(S3)이 형성되어 있다. 이와 같이, 밀폐 공간(S)은, 구분 링(26) 및 피스톤(25)에 의해, 제 1 공간(S1), 제 2 공간(S2) 및 제 3 공간(S3)으로 구분되어 있다.

피스톤(25)은, 앞쪽의 작은 지름부(25a)와 뒤쪽의 큰 지름부(25b)를 구비하고 있다. 이것에 의해, 피스톤(25)의 앞쪽 끝면의 면적은, 뒤쪽 끝면의 단면적보다 작게 되어 있다. 따라서, 제 2 공간(S2)과 제 3 공간(S3)에 동등한 압력의 공기가 공급되면, 뒤쪽 끝면에 가해지는 힘이 앞쪽 끝면에 가해지는 힘보다 커지므로, 피스톤(25)은 밀폐 공간(S) 내를 앞쪽(왼쪽)으로 변위하게 된다.

에어 공급 배관(24)은, 앞쪽에서 뒤쪽을 향해, 제 1 배관(24a), 제 2 배관(24b), 제 3 배관(24c) 및 제 4 배관(24d)을 구비하고 있다. 제 1 배관(24a)은, 제 1 공간(S1)에 대하여 에어를 공급하면서 배기한다. 제 2 배관(24b)은, 제 2 공간(S2) 중, 피스톤(25)의 작은 지름부(25a)가 왕복 운동하는 작은 지름으로 된 공간에 대하여 에어를 공급하면서 배기한다. 제 3 배관(24c)은, 제 2 공간(S2) 중, 피스톤(25)의 큰 지름부(25b)가 왕복 운동하는 큰 지름으로 된 공간에 대하여 에어를 공급하면서 배기한다. 제 4 배관(24d)은, 제 3 공간(S3)에 대하여 에어를 공급하면서 배기한다. 각 배관(24a, 24b, 24c, 24d)에 급배기하는 타이밍은, 제어부에 의해 제어된다.

상술한 실린더(23), 피스톤(25), 구분 링(26) 등에 의해, 플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13) 사이의 거리를 조정하는 구동 기구가 구성된다.

다른 지지축체인 제 2 지지축체(18b), 제 3 지지축체(18c) 및 제 4 지지축체(18d)에도, 제 1 지지축체(18a)와 동일한 실린더(23)나 피스톤(25), 구분 링(26) 등이 설치되어 있다. 또한, 4개의 각 실린더(23)에 접속되는 에어 공급 배관(24)의 길이는, 각각이 동등한 길이 및 지름으로 되어 있다. 이것에 의해, 4개의 각 실린더(23)에 설치한 피스톤(25)을 정확하게 동기(同期)하여 구동할 수 있게 되어 있다.

도 3a 내지 도 3c에는, 에어 공급 배관(24)으로부터의 급배기에 의해 실린더(23)를 동작시킨 각 상태가 나타나 있다. 도 3a는, 실린더(23)가 가장 후측 지지판(21)에 접근한 상태 즉 플러그 본체(3A)에 대하여 소켓 본체(13)가 가장 떨어진 상태인 초기 위치(P0)를 나타내고, 도 3b는, 초기 위치(P0)보다 전측 지지판(20)으로 전진한 중간 위치가 되는 제 1 전진 위치(P1)를 나타내고, 도 3c는, 가장 전측 지지판(20)에 접근한 상태 즉 플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13)가 접속되는 상태인 제 2 전진 위치(P2)를 나타낸다.

도 3a 내지 도 3c에 나타나 있는 것처럼, 실린더(23)에는, 앞쪽(도면에 있어서 왼쪽)에서 뒤쪽(도면에 있어서 오른쪽)을 향해, 제 1 위치 센서(28a), 제 2 위치 센서(28b) 및 제 3 위치 센서(28c)가 순서대로 고정되어 있다. 각 위치 센서(28a, 28b, 28c)는, 투광 소자(예를 들어 LED)와 수광 소자가 쌍으로 되어 있다. 각 위치 센서(28a, 28b, 28c)의 출력은, 제어부로 송신된다.

각 위치 센서(28a, 28b, 28c)는, コ자형상의 단면을 갖고 있고, 이 コ자형상으로 끼워진 틈을 센서용 플레이트(31)가 통과하도록 되어 있다. 센서용 플레이트(31)는, 후측 지지판(21)에 고정된 로드(36)에 대하여 고정되어 있다. コ자형상으로 끼워진 틈을 센서용 플레이트(31)가 통과할 때에, 위치 센서(28a, 28b, 28c)가 센서용 플레이트(31)에 형성된 노치(切欠; notch)(31a)를 광학적으로 검출함으로써, 센서용 플레이트(31)가 고정된 후측 지지판(21)에 대한 실린더(23)의 상대 위치가 검출되도록 되어 있다. 즉, 위치 센서(28a, 28b, 28c)에 의해, 플러그(3)에 대한 소켓 본체(13)의 상대 위치가 검출되도록 되어 있다.

도 3a에 나타낸 초기 위치(P0)에서는, 제 3 공간(S3)에 대하여 에어 공급 배관(24)의 제 4 배관(24d)(도 2 참조)으로부터 공기가 공급되어 가압되고 있고, 피스톤(25)이 상기 도면에 있어서 왼쪽으로 힘을 받고 있다. 또한, 제 2 공간(S2)에도 제 2 배관(24b)(도 2 참조)으로부터 공기가 공급되어 가압되고 있고, 구분 링(26)이 상기 도면에 있어서 왼쪽으로 힘을 받고 있다. 피스톤(25)의 큰 지름부(25b)와 작은 지름부(25a)의 면적비에 의해, 제 2 공간(S2)과 제 3 공간(S3)에 동일한 압력의 공기가 공급되고 있어도, 피스톤(25)은 왼쪽으로 힘을 받고 있는 상태이다.

이 때, 센서용 플레이트(31)의 노치(31a)가, 제 1 위치 센서(28a)에 위치하고 있다. 이것에 의해, 제어부는, 초기 위치(P0)라고 판단한다.

도 3b에 나타낸 제 1 전진 위치(P1)에서는, 제 2 공간(S2)으로부터 제 2 배관(24b)(도 2 참조)을 통해 공기를 배기하는 동시에 제 1 공간(S1)에 제 1 배관(24a)(도 2 참조)으로부터 공기가 공급되어 가압되고 있고, 구분 링(26)이 오른쪽으로 힘을 받는다. 또한, 제 3 공간(S3)은, 제 4 배관(24d)(도 2 참조)으로부터 공기가 공급되어 가압되고 있다. 이것에 의해, 구분 링(26)과 함께 지지축체(18)가 실린더(23)에 대하여 오른쪽으로 변위한다.

이 때, 센서용 플레이트(31)의 노치(31a)가, 제 2 위치 센서(28b)에 위치하고 있다. 이것에 의해, 제어부는, 제 1 전진 위치(P1)라고 판단한다.

도 3c에 나타낸 제 2 전진 위치(P2)에서는, 제 3 공간(S3)으로부터 제 4 배관(24d)(도 2 참조)을 통해 공기를 배기하는 동시에 제 1 공간(S1)에 제 1 배관(24a)(도 2 참조)을 통해 공기가 공급되어 가압되고, 또한 제 3 배관(24c)(도 2 참조)으로부터 공기가 공급되는 것에 의해, 피스톤(25) 및 구분 링(26)이 오른쪽으로 힘을 받는다. 이것에 의해, 구분 링(26)과 함께 지지축체(18)가 실린더(23)에 대하여 더 오른쪽으로 변위한다.

이 때, 센서용 플레이트(31)의 노치(31a)가, 제 3 위치 센서(28c)에 위치하고 있다. 이것에 의해, 제어부는, 제 2 전진 위치(P2)라고 판단한다.

도 2에 나타낸 것처럼, 뚜껑부 구동용 축체(18a1)의 선단에 뚜껑부(27)가 고정되어 있다. 뚜껑부 구동용 축체(18a1)는, 제 1 지지축체(18a)의 후단에 설치된 제 1 액추에이터(29a)에 의해, 앞뒤방향(축선 방향)에서의 왕복 동작과, 축선 둘레의 회동 동작이 수행되도록 되어 있다. 제 1 액추에이터(29a)의 동작은, 미도시의 제어부에 의해 수행된다.

뚜껑부(27)는, 유체 이송용 커넥터(1)가 미사용 상태로, 플러그(3)가 소켓(5)에서 떼어내져 있을 때 삽입구(8)를 막기 위해 이용된다. 도 4에는, 뚜껑부(27)를 닫은 상태가 나타나 있다. 뚜껑부(27)가 삽입구(8)를 막음으로써 유체의 오염이 방지될 뿐 아니라, 비사용 시에 뚜껑부(27)로 삽입구(8)를 막음으로써, 뚜껑부(27)로부터 소켓 본체(13) 내의 밸브체까지의 유로의 오염을 방지할 수 있다.

도 1에 나타내는 것처럼, 윗쪽의 다른쪽의 제 2 지지축체(18b)와, 제 2 지지축체(18b)에 대하여 삽입통체(10)를 사이에 두고 대각선 상에 위치하는 제 3 지지축체(18c)에는, 슬리브 구동판(19)이 장착되어 있다. 구체적으로는, 제 2 지지축체(18b)의 중심축선 상을 따라 관통하도록 설치된 슬리브 구동판용 축체(18b1)의 선단과, 제 3 지지축체(18c)의 중심축선 상을 따라 관통하도록 설치된 슬리브 구동판용 축체(18c1)의 선단에, 슬리브 구동판(19)이 고정되어 있다. 각 슬리브 구동판용 축체(18b1, 18c1)는, 각 지지축체(18b, 18c)의 후단에 설치된 제 2 액추에이터(29b) 및 제 3 액추에이터(29c)에 의해, 앞뒤방향(축선 방향)으로 왕복 운동되도록 되어 있다. 액추에이터(29b, 29c)의 동작은, 미도시의 제어부에 의해 수행된다.

슬리브 구동판(19)은, 중앙에 개구가 형성된 대략 마름모 형상의 판상체로 되어 있다. 슬리브 구동판(19)의 개구에는, 원통 형상으로 된 슬리브(22)의 선단(22a)이 삽입되어 있다. 슬리브(22)는, 도 7의 하반부에 부분적으로 나타내는 것처럼, 삽입통체(10)의 외주를 덮도록 배치되어 있고, 삽입통체(10)에 대하여 축선 방향으로 왕복 운동한다. 슬리브 구동판(19)은, 소켓(5)에 대하여 고정된 플러그(3)를 떼어 낼 때, 슬리브(22)를 변위시키도록 동작하게 된다. 구체적으로는, 도 5a에 나타내는 것처럼, 슬리브(22)로 로킹 볼(9)의 반경 방향 외측의 이동을 규제한 상태에서, 도 5b에 나타내는 것처럼, 슬리브 구동판(19)을 전측 지지판(20)측(상기 도면에 있어서 오른쪽)으로 끌어당겨 슬리브(22)를 변위시킴으로써 로킹 볼(9)의 반경 방향 외측으로의 이동을 허용하여, 로킹 해제를 수행한다. 소켓(5)에 대하여 플러그(3)를 고정할 때는, 플러그(3)를 삽입통체(10)에 삽입하는 동작에 따라, 로킹 볼(9)을 전동시켜 제 1 고정 링(39)의 오목한 곳(39a)에 대하여 계합시키는 것에 의해 수행된다. 이 때, 슬리브 구동판(19)은 동작하지 않는다. 이와 같이, 로킹 볼(9)이나 슬리브(22) 등에 의해, 플러그(3)를 삽입통체(10) 즉 소켓(5)에 대하여 로킹하는 로킹 기구가 구성된다.

도 1에 나타내는 것처럼, 제 2 지지축체(18b)의 아래쪽 및 제 3 지지축체(18c)의 옆쪽에는, 제 4 지지축체(18d)가 설치되어 있다. 제 4 지지축체(18d)의 내부에서 슬리브(22)의 안쪽에 걸쳐, 센서선(18d1)이 설치되어 있다. 센서선(18d1)의 선단에는 투광 소자(예를 들어 LED)와 수광 소자가 쌍으로 된 센서(미도시)가 설치되어 있다. 이 센서에 의해 삽입통체(10) 내에 플러그(3)가 적정 위치까지 삽입되었는지 아닌지가 검출된다. 센서의 출력은, 센서선(18d1)을 통해 미도시의 제어부로 전송된다.

제어부는, 예를 들어 CPU(Central Processing Unit), RAM(Random Access Memory), ROM(Read Only Memory), 및 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체 등으로 구성되어 있다. 그리고, 각종 기능을 실현하기 위한 일련의 처리는, 일례로, 프로그램의 형식으로 기억 매체 등에 기억되어 있고, 이 프로그램을 CPU가 RAM 등에 읽어내어, 정보의 가공·연산 처리를 실행함으로써, 각종 기능이 실현된다. 그리고, 프로그램은, ROM이나 기타 기억 매체에 미리 설치해 두는 형태나, 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체에 기억된 상태로 제공되는 형태, 유선 또는 무선에 의한 통신 수단을 통해 전송되는 형태 등이 적용될 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체란, 자기 디스크, 광학 자기 디스크, CD-ROM, DVD-ROM, 반도체 메모리 등이다.

도 1에 나타내는 것처럼, 플러그(3)는, 대략 원통 형상으로 되어 있고, 내부에 유체가 유통되는 유로를 구비하고 있다. 플러그(3)의 기단부(基端部)(도 1에 있어서 왼쪽)에는, 호스(4)의 일단이 고정되어 있다. 호스(4)의 타단은, 탱크 로리(미도시)에 고정되어 있다. 호스(4)의 내경은, 25 mm 이상, 바람직하게는 50 mm 이상으로 되어 있다.

플러그(3)의 뒤쪽 위치에는, 키 플레이트(링체)(30)가 장착되어 있다. 키 플레이트(30)는, 무단(無端)형의 링 형상으로 되어있다. 키 플레이트(30)의 원주 방향에서의 복수 부분에는, 선단측(도 1에 있어서 오른쪽)으로 돌출되는 키(32)가 설치되어 있다. 복수 존재하는 키(32) 중 하나는, 다른 키(32)보다 원주 방향에서의 폭이 큰 메인 키(32a)로 되어 있다. 키 플레이트(30)는, 플러그 본체(3A)에 대하여 축선 둘레에 상대적으로 회전 가능하게 되어 있다. 이것에 의해, 도 6에 나타내는 것처럼, 작업자는 수동으로 키 플레이트(30)를 회동시켜 메인 키(32a)를 원하는 위치인 연직 윗쪽 위치로 이동시킬 수 있다.

도 7에는, 플러그(3)의 종단면도가 나타나 있다. 그리고, 도 7의 하반부에는, 소켓(5)측의 로킹 볼(9), 삽입통체(10), 슬리브(22) 및 슬리브 구동판(19)이 나타나 있다.

플러그 본체(3A)는, 선단측(도 7에 있어서 오른쪽)으로부터, 선단통부(33), 중간통부(34) 및 기단통부(35)를 구비하고 있다. 이들 통부(33, 34, 35)는, 공통의 플러그 중심축선(L1)을 갖고 접속되고, 내부에 유체가 흐르는 유로가 형성된다.

선단통부(33) 내에는, 밸브체(33a)가 수납되어 있다. 밸브체(33a)는, 선단통부(33)의 선단측을 향해 스프링(33b)에 의해 힘을 받고 있다. 이것에 의해, 밸브체(33a)는, 선단통부(33)의 선단 개구를 닫고 있다. 밸브체(33a)의 선단측의 중앙에는, 플러그 중심축선(L1) 상을 따라 선단측으로 돌출되는 돌출부(33c)가 설치되어 있다. 돌출부(33c)는, 플러그(3)와 소켓(5)이 접속되었을 때에, 마주보는 소켓(5)측의 밸브체의 돌출부(미도시)에 부딪히도록 되어 있다. 소켓(5)측의 밸브체의 돌출부와 플러그(3)의 돌출부(33c)가 부딪혀, 스프링(33b)에 의한 힘을 가하는 힘을 이김으로써, 밸브체(33a)가 기단부측으로 피해, 플러그(3) 내의 유로가 열림이 된다.

선단통부(33)의 기단측(왼쪽)과 중간통부(34)의 선단측이 합쳐진 상태로 스피곳 이음(spigot joint)으로 접속되어 있다. 선단통부(33)와 중간통부(34) 사이에는, O링(37)이 설치되어 있고, 액체가 새지 않도록 또는 기체가 새지 않도록 접속되어 있다.

선단통부(33)의 기단측의 외주를 덮도록 제 1 고정 링(39)이 설치되어 있다. 제 1 고정 링(39)의 외주에는, 오목한 곳(39a)가 원주 방향에 걸쳐 설치되어 있다. 플러그(3)를 소켓(5)측에 대하여 접속했을 때에, 삽입통체(10)에 유지된 로킹 볼(9)이 슬리브(22)에 의해 반경 방향 안쪽으로 이동하여 오목한 곳(39a)에 파고 들어가도록 되어 있다. 로킹 볼(9)이 오목한 곳(39a) 내에 감합됨으로써, 플러그(3)가 소켓(5)에 대하여 고정되도록 되어 있다. 제 1 고정 링(39)의 내주측에는, 계단식으로 된 어깨부(39b)가 형성되어 있고, 이 어깨부(39b)에 대하여 선단통부(33)의 기단부에 설치한 큰 지름부가 계합하도록 되어 있다. 제 1 고정 링(39)의 기단측의 내주에는 암나사부(39c)가 형성되어 있다.

중간통부(34)의 외주의 대략 전체를 덮도록 제 2 고정 링(41)이 설치되어 있다. 제 2 고정 링(41)의 내주측에는, 계단식으로 된 어깨부(41b)가 형성되어 있고, 이 어깨부(41b)에 대하여 중간통부(34)의 선단측에 설치한 큰 지름부가 계합하도록 되어 있다. 제 2 고정 링(41)의 선단측의 외주에는 수나사부(41c)가 형성되어 있다. 제 2 고정 링(41)의 수나사부(41c)와 제 1 고정 링(39)의 암나사부(39c)를 나사 결합함으로써, 선단통부(33)와 중간통부(34)가 서로 고정된다.

제 2 고정 링(41)의 수나사부(41c)에는 기단부측으로부터 잠금 너트(43)가 나사 결합되어 있다. 잠금 너트(43)는, 제 1 고정 링(39)의 기단측의 단부에 부딪친 위치에서 고정되어 있다. 잠금 너트(43)는, 키 플레이트(30)의 내주측에 수납되어 있다. 잠금 너트(43)의 기단부는, 키 플레이트(30)의 기단부보다 선단측에 위치하고 있다. 이것에 의해, 잠금 너트(43)는, 키 플레이트(30)의 내부에 수납되어 있고, 키 플레이트(30)의 기단부측에서 돌출되어 있지 않다.

잠금 너트(43)의 선단측의 외주는, 기단측보다 작은 지름으로 되어 있다. 이것에 의해, 잠금 너트(43)와 제 1 고정 링(39)의 기단측의 단부 사이에 홈이 형성되고, 이 홈 내에 키 플레이트(30)의 선단측의 내주측으로 돌출된 작은 지름부(30a)가 삽입되어 있다. 작은 지름부(30a)의 플러그 중심축선(L1) 방향의 치수는, 삽입되는 홈보다 작게 되어 있다. 이와 같이 키 플레이트(30)의 작은 지름부(30a)를 홈 내에 여유롭게 끼움으로써, 키 플레이트(30)가 회전 방향으로 자유롭게 이동할 수 있는 한편, 플러그 중심축선(L1) 방향의 위치가 규제되어 있다.

각 키(32)는, 각각, 키 플레이트(30)에 대하여 볼트(45)에 의해 고정되어 있다. 볼트(45)는, 기단측에서 선단측을 향해 키 플레이트(30) 및 키(32)에 삽입되어 있다. 그리고, 키(32)의 고정 방법은, 볼트(45)에 의한 고정에 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 키 플레이트(30)와 키(32)를 일체적으로 형성할 수도 있다.

중간통부(34)의 기단측과 기단통부(35)의 선단측이 합쳐진 상태로 스피곳 이음으로 접속되어 있다. 중간통부(34)와 기단통부(35) 사이에는, O링(47)이 설치되어 있고, 액체가 새지 않도록 또는 기체가 새지 않도록 접속되어 있다.

제 2 고정 링(41)의 기단측의 플랜지(41a)가 기단측 플랜지(49)에 대하여 볼트(50)에 의해 고정되어 있다. 기단측 플랜지(49)는, 기단통부(35)의 기단부의 외주에 계합된 상태로 고정되어 있다. 볼트(50)는, 기단측 플랜지(49)에 대하여 나사 결합되어 있다. 이것에 의해, 기단통부(35)는, 중간통부(34) 및 선단통부(33)에 대하여 고정된다.

기단측 플랜지(49)의 기단측의 면에는, 복수의 고정 볼트(52)가 고정되어 있다. 각 고정 볼트(52)는, 호스(4)를 고정하기 위한 호스용 플랜지(53)를 관통하고, 선단에 너트(51)가 나사 결합된다. 이것에 의해, 호스용 플랜지(53)와 기단측 플랜지(49)가 고정됨으로써, 플러그(3)에 대하여 호스(4)가 고정된다.

도 8에는, 복수의 키(32)의 원주 방향에서의 각도 위치가 나타나 있다. 상기 도면에서는, 3개의 키(32)가 나타나 있다. 연직 윗쪽 즉 12시 위치에는 메인 키(32a)가 키 플레이트(30)에 대하여 고정되어 있다. 그리고, 도 5에서는, 회전 가능하게 된 키 플레이트(30)의 원주 방향의 위치를, 메인 키(32a)가 12시 위치가 되도록 위치시켰을 때의 상태이다.

제 1 서브 키(32b)는, 9시와 12시의 중간 위치에 키 플레이트(30)에 대하여 고정되어 있다. 제 2 서브 키(32c)는, 6시의 위치에 키 플레이트(30)에 대하여 고정되어 있다. 메인 키(32a)의 원주 방향의 폭은, 제 1 서브 키(32b)나 제 2 서브 키(32c)보다 크게 되어 있고, 약 2배의 치수로 되어 있다. 제 1 서브 키(32b)와 제 2 서브 키(32c)의 원주 방향의 폭은, 동등하게 되어 있다. 그리고, 제 1 서브 키(32b)와 제 2 서브 키(32c)의 폭 방향의 치수를 상이하게 할 수도 있다.

그 다음, 상술한 플러그(3)를 소켓(5)에 접속·해제하는 동작에 대하여 설명한다.

＜접속 전 준비 공정＞

먼저, 도 1에 나타낸 것처럼, 소켓(5)을 마주본 위치에 플러그(3)가 위치된다. 그리고, 도 6에 나타낸 것처럼, 키 플레이트(30)를 작업자의 수동으로 회동시켜, 작업자가 윗쪽에서 시인하기 쉬운 위치, 즉 메인 키(32a)가 연직 윗쪽에 위치하도록 위치 결정한다.

＜삽입 공정＞

키 플레이트(30)를 위치 결정한 후에, 도 9에 나타내는 것처럼, 플러그(3)의 선단을 소켓(5)의 삽입구(8)에 삽입한다. 그대로 플러그(3)를 소켓(5)에 대하여 축선 방향으로 삽입해 가면, 도 10에 나타내는 것처럼, 소켓(5)의 삽입통체(10)에 설치한 키 홈(11)에 키(32)가 맞춰져 감합된다. 키(32)와 키 홈(11)이 맞춰져 감합되면, 소켓(5)에 대응한 플러그(3)인 것이 확인되어 오접속이 방지된다. 만약, 키(32)에 대하여 키 홈(11)이 맞춰지지 않은 경우에는, 플러그(3)를 소켓(5)에 대하여 접속 위치까지 끼워넣을 수 없으므로, 작업자는 플러그(3)와 소켓(5)이 대응하고 있지 않는 것을 알 수 있다.

＜로킹 공정＞

키(32)와 키 홈(11)이 맞춰져 삽입통체(10)에 대하여 플러그(3)가 적정하게 삽입되면, 플러그(3)를 삽입통체(10)에 대하여 축선 방향으로 끼워넣는 동작에 따라, 도 7의 하반부에 나타내는 것처럼, 삽입통체(10)에 유지된 각 로킹 볼(9)이 플러그(3)의 제 1 고정 링(39)에 설치한 오목한 곳(39a) 내에 삽입되어, 플러그(3)와 소켓(5)이 고정된다. 이 때, 도 5a에 나타내는 것처럼, 로킹 볼(9)의 반경 방향 외측으로의 이동은 슬리브(22)에 의해 규제되어 있다.

＜전 세정 공정＞

도 11에 나타내는 것처럼, 도 10 상태에서 플러그(3)를 소켓 본체(13)측으로 끌어당겨 제 1 전진 위치(중간 위치)(P1)까지 변위시킨다. 구체적으로는, 도 3b에 나타낸 것처럼, 제어부의 지시에 의해, 에어 공급 배관(24)으로부터 각 실린더(23)에 공급한 공기를 이용하여 각 지지축체(18)를 축선 방향으로 동작시킴으로써 자동적으로 수행한다. 이 제 1 전진 위치(P1)의 종단면도가 도 12에 나타나 있다.

그리고, 도 11에 화살표 A1 및 A2로 나타내는 것처럼, 플러그(3)의 선단과 소켓(5) 사이의 공간을 순수로 세정하고, 그 후, 질소 등의 불활성 가스로 건조를 수행한다. 이 전 세정 공정에서는, 플러그(3)의 밸브체(33a)(도 7 참조) 및 소켓(5)의 밸브체(13a)는 닫힘 위치로 되어 있어, 각각의 유로를 차단하고 있다.

＜유체 이송 공정＞

그 다음, 도 13에 나타내는 것처럼, 도 11의 제 1 전진 위치(P1)로부터 더욱 플러그(3)를 소켓 본체(13)측으로 끌어당겨 제 2 전진 위치(접속 위치)(P2)까지 변위시킨다. 구체적으로는, 도 3c에 나타낸 것처럼, 제어부의 지시에 의해, 에어 공급 배관(24)으로부터 각 실린더(23)에 공급한 공기를 이용하여 각 지지축체(18)를 축선 방향으로 동작시킴으로써 자동적으로 수행한다. 이 제 2 전진 위치(P2)의 종단면도가 도 14에 나타나 있다.

이와 같이, 플러그(3)는, 도 10에 나타낸 초기 위치(P0)에 대하여, 도 11의 제 1 전진 위치(P1) 및 도 13의 제 2 전진 위치(P2)의 2 단계로 나누어 전진되도록 되어 있다.

제 2 전진 위치(P2)까지 플러그(3)가 위치하면, 플러그(3)의 밸브체(33a)의 돌출부(33c)(도 7 참조)와 소켓(5)의 밸브체(13a)의 돌출부가 부딪혀, 서로를 눌러 열림 위치까지 변위시킴으로써 각각의 유로를 해방한다. 이것에 의해, 화살표 A3 및 A4로 나타내는 것처럼, 유체 이송용 커넥터(1)를 통해 탱크 로리로부터 건물 내의 버퍼 탱크로 유체를 이송한다.

＜후 세정 공정＞

유체의 이송이 종료되면, 도 15에 나타내는 것처럼, 도 11과 동일한 제 1 전진 위치(P1)까지 후퇴시킨다. 그리고, 도 15에 화살표 A1 및 A2로 나타내듯이, 플러그(3)의 선단과 소켓(5) 사이의 공간을 순수로 세정하고, 그 후, 질소 등의 불활성 가스로 건조를 수행한다. 이 후 세정 공정에서는, 플러그(3)의 밸브체(33a)(도 7 참조) 및 소켓(5)의 밸브체(13a)는 닫힘 위치로 되어 있어, 각각의 유로를 차단하고 있다.

＜제거 공정＞

도 15에 나타낸 후 세정 공정이 종료되면, 도 10에 나타낸 초기 위치(P0)까지 플러그(3)를 후퇴시키고, 제어부의 지시에 의해, 슬리브 구동판(19)을 동작시켜 슬리브(22)를 플러그(3)의 선단 방향(도 10에 있어서 오른쪽 방향)으로 이동시켜 로킹 볼(9)에 의한 로킹을 해제한 후에(도 5 B참조), 플러그(3)를 소켓(5)으로부터 제거한다.

본 실시 형태에 의하면, 아래의 작용 효과를 나타낸다.

유체 이송용 커넥터(1)는, 플러그 본체(3A)를 소켓 본체(13)에 대하여 접속하는 것에 의해 유체 유로를 연통시켜 유체를 이송한다. 플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13)의 상대 위치는, 공기압에 의해 동작하는 피스톤(25) 및 구분 링(26)을 실린더(23) 내에 구비한 구동 기구에 의해 조정된다. 제어부는, 실린더(23)에 대하여 흡배기하는 공기를 제어함으로써, 초기 위치(P0)와, 플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13)의 유체 유로를 연통하는 제 2 전진 위치(P2)와, 초기 위치(P0)와 제 2 전진 위치(P2) 사이의 제 1 전진 위치(P1)에 위치시킬 수 있다. 이와 같이, 초기 위치(P0)와 접속 위치가 되는 제 2 전진 위치(P2) 사이의 제 1 전진 위치(P1)에서 플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13)를 정지시키도록 했으므로, 플러그(3)를 소켓(5)에 대하여 장착할 때에, 제 1 전진 위치(P1)를 거치지 않고 플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13)가 접속되는 것을 가급적 회피할 수 있다. 이것에 의해, 플러그 본체(3A)를 소켓 본체(13)에 대하여 접속할 때에, 작업자에게 플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13)의 위치 관계를 확인시키는 부담을 주지 않고 용이하게 접속할 수 있다.

플러그 본체(3A)와 소켓 본체(13)의 접속 동작 시나 접속 해제 동작 시에, 초기 위치(P0)와, 제 1 전진 위치(P1)와, 제 2 전진 위치(P2)의 사이에서 시퀀스 제어를 수행하도록 했다. 이것에 의해, 커넥터 접속의 자동화가 수행되어, 작업자의 부담을 경감시킬 수 있다.

플러그 본체(3A)를 삽입통체(10)에 대하여 로킹하는 로킹 기구로, 로킹 볼(9) 및 슬리브(22)를 구비하고 있다. 이 로킹 기구는, 플러그 본체(3A)를 삽입통체(10)에 삽입하는 동작에 따라 로킹 동작을 수행한다. 이것에 의해, 커넥터 접속 시의 작업자의 부담을 경감시킬 수 있다.

뚜껑부(27)에 의해 삽입구(8)를 닫을 수 있으므로, 플러그(3)가 삽입되어 있지 않은 경우에는 삽입구(8)를 뚜껑부(27)로 닫음으로써 오염을 방지할 수 있다.

초기 위치(P0)와 제 2 전진 위치(P2) 사이인 제 1 전진 위치(P1)에서 세정을 수행하도록 했다. 이것에 의해, 유체 유로가 연통하는 접속 위치인 제 2 전진 위치(P2)에서 잘못 세정이 수행되어, 이송하는 유체를 세정 액체로 오염시키는 것을 회피할 수 있다.

그리고, 본 실시 형태에서는, 이송하는 유체로 액체를 이용하여 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 가스에도 적용할 수 있다.

1: 유체 이송용 커넥터
3: 플러그
3A: 플러그 본체
4: 호스
5: 소켓
6: 배관
8: 삽입구
9: 로킹 볼
10: 삽입통체(플러그 본체 유지부)
11: 키 홈
11a: 메인 키 홈
13: 소켓 본체
13a: 밸브체
15: 전측 고정판
16: 후측 고정판
17: 다리부
18: 지지축체
18a: 제 1 지지축체
18a1: 뚜껑부 구동용 축체
18b: 제 2 지지축체
18b1: 슬리브 구동판용 축체
18c: 제 3 지지축체
18c1: 슬리브 구동판용 축체
18d: 제 4 지지축체
18d1: 센서선
19: 슬리브 구동판
20: 전측 지지판
21: 후측 지지판
22: 슬리브
22a: 선단
23: 실린더(구동 기구)
23a: 제 1 통부
23b: 제 2 통부
23c: 제 3 통부
23d: 제 4 통부
24: 에어 공급 배관
24a: 제 1 배관
24b: 제 2 배관
24c: 제 3 배관
24d: 제 4 배관
25: 피스톤(구동 기구)
25a: 작은 지름부
25b: 큰 지름부
26: 구분 링(구동 기구)
27: 뚜껑부
29a: 제 1 액추에이터
29b: 제 2 액추에이터
29c: 제 3 액추에이터
30: 키 플레이트(링체)
30a: 작은 지름부
31: 센서용 플레이트
31a: 노치
32: 키
32a: 메인 키
33: 선단통부
33a: 밸브체
33b: 스프링
33c: 돌출부
34: 중간통부
35: 기단통부
37: O링
39: 제 1 고정 링
39a: 오목한 곳
39b: 어깨부
39c: 암나사부
41: 제 2 고정 링
41a: 플랜지
41b: 어깨부
41c: 수나사부
43: 잠금 너트
45: 볼트
47: O링
49: 기단측 플랜지
50: 볼트
51: 너트
52: 고정 볼트
53: 호스용 플랜지
L1: 플러그 중심축선
P0: 초기 위치
P1: 제 1 전진 위치(중간 위치)
P2: 제 2 전진 위치(접속 위치)
S: 밀폐 공간
S1: 제 1 공간
S2: 제 2 공간
S3: 제 3 공간

Claims

유체 유로가 형성된 플러그 본체를 갖는 플러그;
상기 플러그가 접속되었을 때에 상기 유체 유로에 연통하는 유체 유로가 형성된 소켓 본체를 갖는 소켓;
상기 플러그 본체가 상기 소켓 본체에 대하여 접속 및 이탈할 때에 상기 플러그 본체와 상기 소켓 본체 사이의 거리를 조정하는 구동 기구;
상기 구동 기구를 제어하는 제어부;를 구비하고,
상기 제어부는, 상기 구동 기구에 의해, 상기 플러그 본체와 상기 소켓 본체가 떨어져 마주보는 위치가 되는 초기 위치와, 상기 플러그 본체의 상기 유체 유로와 상기 소켓 본체의 상기 유체 유로를 연통시키는 접속 위치와, 상기 초기 위치와 상기 접속 위치 사이의 중간 위치에 정지 가능하게 하는 유체 이송용 커넥터.
제 1항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 플러그 본체와 상기 소켓 본체의 접속 동작 시에는, 상기 초기 위치, 상기 중간 위치 및 상기 접속 위치의 순서로 시퀀스 제어를 수행하고, 동시에/또는, 상기 플러그 본체와 상기 소켓 본체의 접속 해제 동작 시에는, 상기 접속 위치, 상기 중간 위치 및 상기 초기 위치의 순서로 시퀀스 제어를 수행하는 유체 이송용 커넥터.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 소켓은, 상기 플러그 본체를 탈부착 가능하게 유지하는 플러그 본체 유지부; 상기 플러그 본체 유지부에 대하여 상기 플러그 본체를 로킹하는 로킹 기구;를 구비하고,
상기 로킹 기구는, 상기 플러그 본체를 상기 플러그 본체 유지부에 삽입하는 동작에 따라 로킹 동작을 수행하는 유체 이송용 커넥터.
제 3항에 있어서,
상기 플러그 본체 유지부는, 상기 플러그 본체가 삽입되는 삽입구를 구비하고,
상기 삽입구를 닫는 뚜껑부가 설치되어 있는 유체 이송용 커넥터.
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 플러그 본체의 선단과 상기 소켓 본체의 선단 사이에 세정 유체를 공급하는 세정 유체 공급 수단을 구비하고,
상기 제어부는, 상기 중간 위치에서, 상기 세정 유체 공급 수단에 의해 세정을 수행하는 유체 이송용 커넥터.
유체 유로가 형성된 플러그 본체를 갖는 플러그;
상기 플러그가 접속되었을 때에 상기 유체 유로에 연통하는 유체 유로가 형성된 소켓 본체를 갖는 소켓;
상기 플러그 본체가 상기 소켓 본체에 대하여 접속 및 이탈할 때에 상기 플러그 본체와 상기 소켓 본체 사이의 거리를 조정하는 구동 기구;를 구비한 유체 이송용 커넥터의 제어 방법으로서,
상기 구동 기구에 의해, 상기 플러그 본체와 상기 소켓 본체가 떨어져 마주보는 초기 위치와, 상기 플러그 본체의 상기 유체 유로와 상기 소켓 본체의 상기 유체 유로를 연통시키는 접속 위치와, 상기 초기 위치와 상기 접속 위치 사이의 중간 위치에 정지 가능하게 하는 유체 이송용 커넥터의 제어 방법.