KR20190143361A - 가공 설비 - Google Patents

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Abstract

(과제) 소정의 작업 에어리어에 복수의 가공 장치를 배치한 경우에, 가공 장치의 보수 점검용의 스페이스를 확보한다.
(해결 수단) 피가공물을 유지하는 유지 수단과, 유지 수단에 의해 유지된 피가공물에 가공을 실시하는 가공 수단과, 유지 수단과 가공 수단을 수용하는 하우징을 구비한 가공 장치를 포함하는 가공 설비로서, 가공 수단에 의해 피가공물을 가공할 때에 가공 장치가 위치하게 되는 가공 위치와, 가공 위치로부터 떨어져 있고 가공 장치를 보수 점검할 때에 가공 장치가 위치하게 되는 보수 점검 위치 사이에서 가공 장치를 슬라이드시켜 이동시키기 위해, 플로어에 형성된 가이드부와, 가공 장치에 형성되고, 가공 장치가 슬라이드하여 이동하는 경우에 일부가 가이드부에 접촉하는 이동 기구와, 가공 장치를 플로어에 대해 고정시키기 위한 고정 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 가공 설비를 제공한다.

Description

가공 설비{PROCESSING EQUIPMENT}
본 발명은 가공 장치가 형성되는 가공 설비에 관한 것이다.
가공 장치의 일례로서, 반도체 웨이퍼, 세라믹스 기판, 수지 패키지 기판 등의 판상의 피가공물을 환상의 절삭 블레이드로 절삭 가공하는 절삭 장치가 알려져 있다. 고속으로 회전시킨 절삭 블레이드를 피가공물에 대해 절입시키면서, 절삭 블레이드와 피가공물을 상대적으로 이동시킴으로써, 이 이동의 경로를 따라 피가공물은 절삭된다.
통상적으로, 1 개의 가공 장치를 사용하여 1 개의 피가공물을 가공하지만, 작업 효율을 향상시키기 위해, 복수의 가공 장치를 사용하여 복수의 피가공물을 시간적으로 병렬로 가공하는 경우가 있다. 이 경우, 공장 등의 클린룸에 있어서의 소정의 작업 에어리어에는, 예를 들어, 복수의 가공 장치가 일렬로 나열되어 설치된다.
보다 많은 가공 장치를 소정의 작업 에어리어에 설치할 수 있도록, 가공 장치의 설치 면적 (풋프린트) 을 축소하는 개발이 진행되고 있다. 그러나, 가공 장치를 정기적으로 메인터넌스할 필요가 있기 때문에 (예를 들어, 특허문헌 1), 가공 장치의 설치 면적을 축소해도, 작업자가 가공 장치를 보수 점검하기 위한 스페이스가, 가공 장치의 주위에는 필요시된다.
일본 공개특허공보 2015-98063호
클린룸 내의 소정의 작업 에어리어에 복수의 가공 장치를 설치하는 경우에 보수 점검용의 스페이스를 확보하기 위해서는, 가공 장치끼리를 떼어놓고 설치할 필요가 있다. 예를 들어, 2 대의 가공 장치 사이에, 작업원이 작업하는 데에 필요한 스페이스로서 700 ㎜ 정도의 간격을 형성한다.
그러나, 클린룸의 유지 비용은 매우 높기 때문에, 2 대의 가공 장치 사이에 약 700 ㎜ 의 간격을 형성하면, 예를 들어 장치의 반출입에 필요한 200 ㎜ 정도의 간격을 형성하는 경우에 비해, 클린룸 내에 설치되는 가공 장치의 수가 적어진다. 그 결과, 1 대의 가공 장치당 클린룸의 유지 비용이 높아진다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 소정의 작업 에어리어에 복수의 가공 장치를 배치한 경우에, 가공 장치의 보수 점검용의 스페이스를 확보하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태에 의하면, 피가공물을 유지하는 유지 수단과, 그 유지 수단에 의해 유지된 그 피가공물에 가공을 실시하는 가공 수단과, 그 유지 수단과 그 가공 수단을 수용하는 하우징을 구비한 가공 장치를 포함하는 가공 설비로서, 그 가공 수단에 의해 그 피가공물을 가공할 때에 그 가공 장치가 위치하게 되는 가공 위치와, 그 가공 위치로부터 떨어져 있고 그 가공 장치를 보수 점검할 때에 그 가공 장치가 위치하게 되는 보수 점검 위치 사이에서 그 가공 장치를 슬라이드시켜 이동시키기 위해, 플로어에 형성된 가이드부와, 그 가공 장치에 형성되고, 그 가공 장치가 슬라이드하여 이동하는 경우에 일부가 그 가이드부에 접촉하는 이동 기구와, 그 가공 장치를 그 플로어에 대해 고정시키기 위한 고정 기구를 구비하는 가공 설비가 제공된다.
바람직하게는, 그 가이드부는, 그 가공 위치에서 그 보수 점검 위치로 향하는 방향을 따라, 그 플로어의 표면에서부터, 그 플로어의 그 표면보다 아래의 소정의 깊이 위치까지 형성되어 있고, 그 이동 기구는 차륜을 갖는다.
또, 바람직하게는, 그 가공 장치는, 그 하우징의 정면에 그 가공 장치를 조작하는 조작 패널을 추가로 구비하고, 그 가이드부는, 그 정면과는 반대측인 그 가공 장치의 배면에서 그 정면으로 향하는 방향을 따라 배치되어 있다.
본 발명에 관련된 가공 설비는, 가이드부 및 이동 기구를 갖기 때문에, 가공 위치에서 보수 점검 위치로 가공 장치를 슬라이드시켜 이동시킬 수 있다. 이동시킨 가공 장치의 측면 및 배면에는, 작업자가 보수 점검하기 위한 스페이스가 생긴다.
그러므로, 클린룸 내에 복수의 가공 장치를 설치해도, 가공 장치끼리가 접촉하지 않을 정도로 가공 장치끼리의 간격을 작게 하면서, 또한, 가공 장치의 보수 점검용의 스페이스를 확보할 수 있다.
도 1 은 제 1 실시형태에 관련된 가공 설비의 사시도이다.
도 2 는 가공 장치의 도어부의 내부를 나타내는 사시도이다.
도 3 은 도 1 의 영역 (C) 의 확대도이다.
도 4 는 제 1 실시형태에 관련된 클린룸의 상면도이다.
도 5 는 제 2 실시형태에 관련된 클린룸의 상면도이다.
도 6 은 비교예에 관련된 클린룸의 상면도이다.
첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 일 양태에 관련된 실시형태에 대해서 설명한다. 도 1 은, 제 1 실시형태에 관련된 가공 설비 (2) 의 사시도이다. 도 1 에 나타내는 가공 설비 (2) 는, 클린룸 내의 소정의 작업 에어리어의 플로어 (6) 에 배치된 가공 장치 (4a) (4a1 및 4a2) 와 가공 장치 (4b) (4b1) 를 포함한다. 도 2 는, 가공 장치 (4a) 의 도어부 (16a) 의 내부를 나타내는 사시도이다. 도 3 은, 도 1 의 영역 (C) 의 확대도이다.
도 1 에 나타내는 가공 설비 (2) 는, 클린룸 내의 소정의 작업 에어리어의 플로어 (6) 에 형성된 1 쌍의 가이드부 (8) 를 갖는다. 1 쌍의 가이드부 (8) 는, 소정의 방향 (도 1 의 가이드 폭 방향 (D)) 으로 간격을 두고 형성되어 있으며, 당해 가이드부 (8) 상에는 가공 장치 (4b) 가 슬라이드 가능하게 형성되어 있다.
본 실시형태의 가이드부 (8) 는, 플로어 (6) 의 표면에서부터, 당해 표면보다 아래의 소정의 깊이 위치까지 형성된 홈부를 갖는다. 또, 가이드부 (8) 는, 홈부의 가이드 폭 방향 (D) 의 양측면과 홈부의 바닥부에 접하는 금속의 판상의 레일을 추가로 갖는다. 홈부의 양측면에 형성된 판상의 레일도, 플로어 (6) 의 표면보다 아래에 형성된다.
이와 같이, 가이드부 (8) 를 플로어 (6) 보다 돌출되지 않도록 형성함으로써, 작업자가 클린룸 내에서 가이드부 (8) 에 걸리는 것을 방지할 수 있다. 게다가, 가이드부 (8) 상에 물체를 임시로 두어도, 물체 및 가이드부 (8) 를 손상시키는 경우가 없다.
가공 장치 (4b) 가 1 쌍의 가이드부 (8) 의 길이 방향 (도 1 의 가이드 길이 방향 (E)) 의 일단에 상당하는 위치에 배치되어 있는 경우에, 당해 길이 방향에 직교하는 소정의 방향에서, 가공 장치 (4b) 의 양 옆에는 가공 장치 (4a) 가 설치되어 있다. 또한, 가공 장치 (4a) 의 아래에는 가이드부 (8) 는 형성되어 있지 않아, 가공 장치 (4a) 는 플로어 (6) 에 대해 고정되어 있다.
도 1 에서는, 가이드 길이 방향 (E) 의 일단에 위치하는 가공 장치 (4b) 를 쇄선으로 나타낸다. 본 실시형태에서는, 복수의 가공 장치 (4a 및 4b) 에 의해 복수의 피가공물 (31) 을 시간적으로 병렬로 가공할 때, 가공 장치 (4b) 를 가이드 길이 방향 (E) 의 일단에 위치시켜, 복수의 가공 장치 (4a 및 4b) 를 가이드 폭 방향 (D) 을 따라 일렬로 나열하여 배치한다.
본 실시형태에서는, 가공 장치 (4b) 가 가이드 길이 방향 (E) 의 일단에 위치하게 되고, 가공 장치 (4b) 와 가공 장치 (4a) 가, 가이드 폭 방향 (D) 을 따라 일렬로 배치되어 있을 때, 당해 가공 장치 (4b) 는 가공 위치 (PA) 에 위치하게 된다고 한다.
이에 대해, 가공 장치 (4a 및 4b) 를 보수 점검할 때, 가공 장치 (4b) 를 가이드 길이 방향 (E) 의 일단과는 반대측인 타단으로 슬라이드시킨다. 도 1 에서는, 보수 점검 위치 (PB) 에 설치된 가공 장치 (4b) 를 실선으로 나타내고 있다. 본 실시형태에서는, 가공 장치 (4b) 가 가이드 길이 방향 (E) 의 타단에 배치되어 있을 때, 가공 장치 (4b) 는 보수 점검 위치 (PB) 에 위치하게 된다고 한다.
가공 설비 (2) 는, 클린룸 내의 소정의 작업 에어리어의 플로어 (6) 에 배치된 복수의 가공 장치 (4a 및 4b) 를 포함한다. 도 1 에서는, 2 대의 가공 장치 (4a) (4a1 및 4a2) 와, 1 대의 가공 장치 (4b) (4b1) 를 나타내고 있지만, 제 1 실시형태의 가공 설비 (2) 는, 합계 9 대의 가공 장치 (4a (4a1, 4a2, 4a3, 4a4, 4a5) 및 4b (4b1, 4b2, 4b3, 4b4)) 를 포함한다 (도 4 를 참조).
또한, 가공 설비 (2) 가 갖는 가공 장치 (4a 및 4b) 의 합계 대수는, 9 대에 한정되지 않는다. 가공 설비 (2) 는, 합계 2 대 내지 8 대의 가공 장치 (4a 및 4b) 를 포함하면 되고, 합계 10 대 이상의 가공 장치 (4a 및 4b) 를 포함해도 된다.
가공 장치 (4a 및 4b) 는, 동일한 형식의 가공 장치이다. 본 실시형태의 가공 장치 (4a 및 4b) 는, 피가공물 (31) 을 절삭 가공하는 절삭 장치이다. 가공 장치 (4a 및 4b) 는 동일한 가공 장치이므로, 가공 장치 (4a) 의 형상, 구조 등에 대해서 설명한다.
가공 장치 (4a) 는, 폭 방향 (가이드 폭 방향 (D)) 의 길이가 대략 500 ㎜ 이고, 깊이 방향 (가이드 길이 방향 (E)) 의 길이가 대략 900 ㎜ 이고, 높이 방향 (가이드 폭 방향 (D) 및 가이드 길이 방향 (E) 에 직교하는 높이 방향 (F)) 의 길이가 대략 1600 ㎜ 이다.
가공 장치 (4a) 의 대략 하측 절반분에는, 하부 하우징 (10a) 이 형성되어 있다. 하부 하우징 (10a) 은, 금속제의 케이싱이고, 피가공물 (31) 을 가공할 때에 각각 이용되는 진공 발생원, 배관, 배선 등 (모두 도시 생략) 을 수용하고 있다.
하부 하우징 (10a) 의 상부에는, 상부 하우징 (12a) 이 형성되어 있다. 본 명세서에서는, 하부 하우징 (10a) 과 상부 하우징 (12a) 을 합쳐 하우징 (12) 이라고 칭한다.
상부 하우징 (12a) 의 정면 (24a) 에는, 조작 패널 (14a) 이 형성되어 있다. 작업자는, 조작 패널 (14a) 을 통해 가공 장치 (4a) 를 조작할 수 있다. 예를 들어, 작업자는, 조작 패널 (14a) 을 통해 피가공물 (31) 의 가공 조건 등을 설정할 수 있다. 또, 예를 들어 작업자는, 조작 패널 (14a) 을 통해 보수 점검 항목 등을 선택할 수 있다.
상부 하우징 (12a) 의 조작 패널 (14a) 의 반대측은, 가공 장치 (4a) 의 배면 (26a) 이다. 가공 장치 (4a) 의 배면 (26a) 에서 정면 (24a) 으로 향하는 방향은, 가이드 길이 방향 (E) 에 평행하다.
가공 장치 (4a) 에 있어서의 하우징 (12) 의 정면 (24a) 과 배면 (26a) 사이에는, 가이드 폭 방향 (D) 을 따라 1 쌍의 측면 (28a) 이 형성된다. 정면 (24a) 과 배면 (26a) 과 1 쌍의 측면 (28a) 에 둘러싸인 가공 장치 (4a) 의 상면에는, 가공 장치 (4a) 의 이상 등을 작업자에게 알리는 경고등 (48a) 이 설치되어 있다.
상부 하우징 (12a) 중 조작 패널 (14a) 의 하방에는, 도어부 (16a) 가 형성되어 있다. 작업자는, 도어부 (16a) 를 열어 상부 하우징 (12a) 의 내부에 액세스할 수 있다. 또, 도어부 (16a) 의 일부는 투명하여, 도어부 (16a) 를 닫은 상태에서도 상부 하우징 (12a) 의 내부를 시인할 수 있다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 상부 하우징 (12a) 내의 도어부 (16a) 의 근방에는, 피가공물 (31) 에 가공을 실시하는 가공 수단 (40) 등이 수용되어 있다. 본 실시형태의 가공 수단 (40) 은 절삭 유닛이고, Y 축 방향 (산출 이송 방향) 에 대해 평행한 회전축이 되는 스핀들 (도시 생략) 을 구비한다.
절삭 유닛의 스핀들은, 통상 (筒狀) 의 스핀들 하우징 (42) 에 부분적으로 수납되어 있다. 스핀들 하우징 (42) 은, 이른바 에어 베어링에 의해 스핀들을 회전 가능하게 지지할 수 있다.
스핀들 하우징 (42) 의 외부에 노출되는 스핀들의 일단측에는, 절삭 블레이드 (44) 가 장착된다. 또, Y 축 방향을 따라 절삭 블레이드 (44) 를 사이에 두도록, 1 쌍의 절삭수 공급 노즐 (46) 이 형성되어 있다.
절삭수 공급 노즐 (46) 은, X 축 방향 (가공 이송 방향) 을 따라 형성된 파이프 부분과, 절삭 블레이드 (44) 에 대향하도록 배치된 복수의 분사구를 갖는다. 피가공물 (31) 의 절삭시에는, 복수의 분사구로부터 절삭 블레이드 (44) 로 절삭수가 공급된다.
절삭 블레이드 (44) 와는 반대측에 위치하는 스핀들의 타단측에는, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 이 형성되어 있다. 당해 모터는, 스핀들에 연결되어 있으며, 스핀들을 고속으로 회전시킬 수 있다.
절삭 유닛에 의해 가공되는 피가공물 (31) 은, 예를 들어, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어지는 원반상의 웨이퍼이다. 이 피가공물 (31) 의 표면측은, 서로 교차하는 복수의 분할 예정 라인 (스트리트) 에 의해 복수의 영역으로 구획되어 있으며, 각 영역에는, IC (Integrated Circuit) 등의 디바이스가 형성되어 있다.
또한, 피가공물 (31) 의 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예를 들어, 다른 반도체, 세라믹스, 수지, 금속 등의 재료로 이루어지는 기판 등을 피가공물 (31) 로서 사용할 수도 있다. 마찬가지로, 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등에도 제한은 없다. 피가공물 (31) 에는, 디바이스가 형성되어 있지 않아도 된다.
피가공물 (31) 의 이면측에는, 피가공물 (31) 보다 면적이 큰 다이싱 테이프 (점착 테이프) (33) 가 첩부되어 있다. 다이싱 테이프 (33) 는, 예를 들어, 기재층과, 당해 기재층 상의 전체면에 형성된 점착층을 갖는다. 점착층은, 자외선 경화형의 수지층이며, 피가공물 (31) 및 프레임 (35) 에 대해 강력한 점착력을 발휘한다.
다이싱 테이프 (33) 의 외주 부분의 점착층은, 환상의 프레임 (35) 에 고정되어 있다. 프레임 (35) 의 개구에서 판상의 피가공물 (31) 이 다이싱 테이프 (33) 에 지지됨으로써, 피가공물 유닛 (37) 이 형성된다.
피가공물 (31) 은, 피가공물 유닛 (37) 의 상태에서 가공 수단 (40) 에 의해 가공된다. 가공 수단 (40) 의 하방에는, X 축 방향으로 긴 개구 (38) 가 형성되어 있다. 개구 (38) 내에는, 테이블 커버 (30) 및 벨로우즈상 커버 (32) 가 배치되어 있다.
테이블 커버 (30) 및 벨로우즈상 커버 (32) 의 하방에는, 볼 나사식의 X 축 이동 기구 (가공 이송 유닛) (도시 생략) 가 배치되어 있다. 테이블 커버 (30) 및 벨로우즈상 커버 (32) 에 의해, 테이블 커버 (30) 상의 영역과 X 축 이동 기구가 배치되는 영역이 공간적으로 분리된다.
X 축 이동 기구는, X 축 방향을 따라 형성된 1 쌍의 X 축 가이드 레일 (도시 생략) 을 갖고, 1 쌍의 X 축 가이드 레일 상에는, X 축 이동 테이블 (도시 생략) 이 슬라이드 가능하게 형성된다.
X 축 이동 테이블의 하면측에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있으며, 이 너트부에는, X 축 가이드 레일에 평행한 X 축 볼 나사가 나사 결합되어 있다. X 축 볼 나사의 일단부에는, X 축 펄스 모터 (도시 생략) 가 연결되어 있다. X 축 펄스 모터로 X 축 볼 나사를 회전시킴으로써, X 축 이동 테이블은, X 축 가이드 레일을 따라 X 축 방향으로 이동한다.
X 축 이동 테이블 상에는, 척 테이블 (34) (유지 수단) 이 접속되어 있다. 척 테이블 (34) 은, 테이블 커버 (30) 의 상방에 노출되는 양태로 형성되어 있다. 척 테이블 (34) 의 주위에는, 환상의 프레임 (35) 을 사방으로부터 고정시키기 위한 4 개의 클램프 (36) 가 형성되어 있다. 척 테이블 (34) 은, X 축 이동 테이블과 함께 X 축 방향을 따라 이동 가능하다.
척 테이블 (34) 은, 스테인리스강 등의 도전성의 금속으로 형성된 원형의 프레임체 (34b) 를 갖는다. 프레임체 (34b) 는 상면측에 오목부를 갖고, 프레임체 (34b) 의 오목부에는, 세공을 갖는 포러스 세라믹스 등으로 형성된 원반상의 포러스판이 배치된다.
포러스판의 세공은, 척 테이블 (34) 아래에 형성된 유로 (도시 생략) 를 통해 진공 펌프 등의 흡인 수단 (도시 생략) 에 접속되어 있다. 이 흡인 수단의 부압에 의해, 척 테이블 (34) 상에 배치된 피가공물 (31) 은, 다이싱 테이프 (33) 를 개재하여 포러스판의 유지면 (34a) 에 흡인 유지된다.
척 테이블 (34) 의 유지면 (34a) 에 유지된 피가공물 (31) 에 대해 고속으로 회전시킨 절삭 블레이드 (44) 를 절입시키면서, 절삭 블레이드 (44) 와 척 테이블 (34) 을 상대적으로 이동시킴으로써, 이 이동의 경로를 따라 피가공물 (31) 은 절삭된다.
또한, 본 실시형태에서는, X 축 방향, Y 축 방향 및 Z 축 방향은, 가이드 폭 방향 (D), 가이드 길이 방향 (E) 및 높이 방향 (F) 에 일치한다. 즉, X 축 방향과 가이드 폭 방향 (D) 이 평행하고, Y 축 방향과 가이드 길이 방향 (E) 이 평행하고, Z 축 방향과 높이 방향 (F) 이 평행하다.
도 1 으로 되돌아와, 가공 장치 (4a) 와 마찬가지로, 가공 장치 (4b) 는 하부 하우징 (10b) 을 갖고, 하부 하우징 (10b) 의 상부에는 상부 하우징 (12b) 이 형성되어 있다. 가공 장치 (4b) 는, 정면 (24b) 에 조작 패널 (14b) 및 도어부 (16b) 를 구비하고, 정면 (24b) 과 배면 (26b) 사이에 위치한 상면에 경고등 (48b) 을 구비하고 있다. 또, 가공 장치 (4b) 는, 상부 하우징 (12b) 내에 가공 수단 (40), 척 테이블 (34) 등을 구비하고 있다.
가공 장치 (4b) 의 하부 하우징 (10b) 의 바닥부의 네 모퉁이에는, 이동 기구 (18b) 및 고정 기구 (22b) 가 형성되어 있다. 다음으로, 도 3 을 사용하여, 이동 기구 (18b) 및 고정 기구 (22b) 가 고정되는 지지 프레임 (50) 등을 추가로 설명한다.
하부 하우징 (10b) 내에는, 가공 장치 (4b) 의 기대를 구성하는 금속제의 지지 프레임 (50) 이 형성되어 있다. 지지 프레임 (50) 은, 예를 들어, 서로 직교하는 방향을 따라 형성된 복수의 레그부를 갖는다. 본 실시형태의 지지 프레임 (50) 은, Z 축 방향을 따라 형성된 각기둥상의 레그부 (56z) 를 갖는다.
레그부 (56z) 는, X 축 방향을 따라 형성된 각기둥상의 레그부 (56x) 의 상면에 접속하고 있다. 또, 레그부 (56x) 의 정면 (24b) 측의 측면에는, Y 축 방향을 따라 형성된 각기둥상의 레그부 (56y) 가 접속하고 있다.
각기둥상의 레그부 (56x) 에는, 이동 기구 (18b) 및 고정 기구 (22b) 가 고정되어 있다. 이동 기구 (18b) 는, 고정 기구 (22b) 보다 X 축 방향의 내측에 위치하고 있다. 하부 하우징 (10b) 의 바닥부에 위치하는 다른 코너부에서도 마찬가지로, 이동 기구 (18b) 는, 고정 기구 (22b) 보다 X 축 방향의 외측에 위치하고 있다.
본 실시형태의 이동 기구 (18b) 는, 가이드부 (8) 상에 위치하는 차륜 (20) 을 갖는다. 가공 장치 (4b) 가 가공 위치 (PA) 에 배치되어 있는 경우에, 이동 기구 (18b) 의 차륜 (20) 의 일부와 가이드부 (8) 가 접촉하고 있고, 가공 장치 (4b) 는, 이동 기구 (18b) 에 의해 지지된다.
가공 장치 (4a 및 4b) 를 보수 점검할 때, 가공 장치 (4b) 를 가이드 길이 방향 (E) 을 따라 꺼낸다. 이 때, 차륜 (20) 이 가이드부 (8) 를 따라 회전한다. 이로써, 가공 장치 (4b) 를 가이드 길이 방향 (E) 을 따라 매끄럽게 슬라이드하여 이동시킬 수 있다.
본 실시형태에서는, 가공 장치 (4a 및 4b) 를 보수 점검할 때, 1 명 또는 복수 명의 작업자가 가공 장치 (4b) 를 가공 위치 (PA) 에서부터 보수 점검 위치 (PB) 까지 꺼낸다. 다만, 1 명 또는 복수 명의 작업자가, 가공 장치 (4b) 를 밀어내도 되고, 꺼냄과 밀어냄을 동시에 실시해도 된다.
고정 기구 (22b) 는, 원기둥 형상의 고무 다리부 (52) 와, 당해 고무 다리부 (52) 의 상방을 덮도록 고무 다리부 (52) 에 접속된 금속제의 커버부 (54) 를 갖는다. 예를 들어, 커버부 (54) 의 상단에는, 각기둥상의 레그부 (56x) 의 바닥면에 접속되고, Z 축 방향으로 이동 가능한 수나사가 형성되어 있다. Z 축 방향을 중심으로 하여 커버부 (54) 를 회전시킴으로써, 고무 다리부 (52) 및 커버부 (54) 는, Z 축 방향으로 이동할 수 있다.
예를 들어, 커버부 (54) 를 시계 방향으로 회전시킴으로써, 고무 다리부 (52) 및 커버부 (54) 를 높이 방향 (F) 을 따라 하강시킬 수 있고, 커버부 (54) 를 반시계 방향으로 회전시킴으로써, 고무 다리부 (52) 및 커버부 (54) 를 높이 방향 (F) 을 따라 상승시킬 수 있다.
고무 다리부 (52) 및 커버부 (54) 를 하강시켜 고무 다리부 (52) 를 플로어 (6) 의 표면에 꽉 갖다 댐으로써, 가공 장치 (4b) 의 무게와, 고정 기구 (22b) 및 플로어 (6) 사이의 마찰력에 의해, 가공 장치 (4b) 는 플로어 (6) 에 대해 고정된다.
이와 같이 하여, 가공 위치 (PA) 에 설치되어 있는 가공 장치 (4b) 는, 고정 기구 (22b) 에 의해 지지되어, 플로어 (6) 에 대해 고정되어 있다. 또한, 가공 장치 (4b) 가 플로어 (6) 에 대해 고정되어 있을 때, 이동 기구 (18b) 는, 가이드부 (8) 의 바닥부의 레일에 접하지만, 이동 기구 (18b) 에 의해 지지되어 있지는 않다.
그러나, 가공 장치 (4b) 를 가공 위치 (PA) 로부터 떨어진 보수 점검 위치 (PB) 로 이동시킬 때에는, 고무 다리부 (52) 및 커버부 (54) 를 반시계 방향으로 회전시키면서 상승시킨다. 이로써, 가공 장치 (4b) 는, 이동 기구 (18b) 에 의해 지지된다.
상기 서술한 바와 같이, 가공 장치 (4b) (도 1 에서는 가공 장치 (4b1)) 의 하부의 플로어 (6) 에는, 가이드 길이 방향 (E) 을 따라 1 쌍의 가이드부 (8) 가 형성되어 있다. 가공 위치 (PA) 에서 보수 점검 위치 (PB) 로 향하는 가이드 길이 방향 (E) 에 가공 장치 (4b) 를 슬라이드하여 이동시키는 경우, 이동 기구 (18b) 를 이용하여 가이드부 (8) 를 따라 가공 장치 (4b) 를 이동시킨다.
가공 장치 (4b) 의 무게는 약 400 ㎏ 이지만, 이동 기구 (18b) 및 가이드부 (8) 를 이용함으로써, 1 명 또는 복수 명의 작업자라도 가공 장치 (4b) 를 이동시킬 수 있다. 보수 점검 위치 (PB) 는, 예를 들어, 1 대의 가공 장치 (4b) 의 가이드 길이 방향 (E) 의 길이분 정도, 가공 위치 (PA) 로부터 떨어져 있다.
보수 점검 위치 (PB) 에 위치하게 된 가공 장치 (4b) 는, 가이드부 (8) 를 따라 이동하지 않도록, 다시 고정 기구 (22b) 에 의해 고정하면 된다. 요컨대, 고정 기구 (22b) 를 강하시켜 고정 기구 (22b) 에 의해 가공 장치 (4b) 는 지지되고, 가공 장치 (4b) 는 이동 기구 (18b) 에 의해서는 지지되지 않게 된다.
가공 장치 (4b) 를 보수 점검 위치 (PB) 로 이동시킨 후, 가공 장치 (4a 및 4b) 의 각각을 보수 점검한다. 보수 점검 종료 후, 다시, 고정 기구 (22b) 를 상승시켜, 이동 기구 (18b) 에 의해 가공 장치 (4b) 를 지지한다. 그리고, 1 명 또는 복수 명의 작업자가, 가공 장치 (4b) 를 슬라이드시켜, 가공 장치 (4b) 를 가공 위치 (PA) 로 되돌린다.
본 실시형태에서는, 보수 점검시에, 복수의 가공 장치 (4a 및 4b) 중 가공 장치 (4b) 만을 슬라이드시켜 보수 점검 위치 (PB) 로 꺼낸다. 이로써, 가공 장치 (4a 및 4b) 의 측면 (28a 및 28b) 의 근방에 보수 점검용의 스페이스를 확보할 수 있다.
게다가, 본 실시형태에서는, 가공시에, 인접하는 가공 장치 (4a) 와 가공 장치 (4b) 가 접촉하지 않을 정도로 가공 장치 (4a 및 4b) 끼리의 가이드 폭 방향 (D) 의 간격을 작게 하면서, 복수의 가공 장치 (4a 및 4b) 를 가이드 폭 방향 (D) 을 따라 직선상으로 배치한다.
이로써, 클린룸의 플로어 (6) 의 면적을 가공 장치 (4a 및 4b) 의 합계 대수로 나눈 1 대당 플로어 면적을 억제할 수 있기 때문에, 가공 장치 (4a 및 4b) 의 1 대당의 클린룸의 유지 비용을 억제할 수 있다. 또, 플로어 (6) 에 배치할 수 있는 가공 장치 (4a 및 4b) 의 수를 늘릴 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 2 개의 가공 장치 (4a) 사이에 추가적으로 가공 장치 (4b) 를 형성하기 때문에, 2 개의 가공 장치 (4a) 사이의 간격을 변경하지 않고, 가공 장치 (4b) 를 슬라이드 이동시킴으로써 2 개의 가공 장치 (4a) 사이의 간격 (즉, 보수 점검용의 스페이스) 을 확보할 수 있다.
통상적으로, 보수 점검용의 스페이스로서 가공 장치 (4a) 사이에 일률적으로 소정의 길이 (예를 들어, 약 700 ㎜) 를 형성할 것이 요청되지만, 본 실시형태에서는 이 요청을 충족시킬 수 있다. 게다가, 본 실시형태에서는, 가공 장치 (4a 및 4b) 의 설치 면적 (즉, 풋프린트 : S1) 에 대한 2 개의 가공 장치 (4a) 사이의 간격 (d1) 의 비 (d1/S1) 를, 가공 장치 (4a) 만이 플로어 (6) 에 설치되는 경우의 가공 장치 (4a) 의 설치 면적 (S2) 에 대한 2 개의 가공 장치 (4a) 사이의 간격 (d2) 의 비 (d2/S2) 와 비교하여 작게 할 수 있다.
또한, 1 대당 가공 장치 (4a) 의 설치 면적이 작아질수록 (즉, 가공 장치 (4a) 를 소형화할수록), 가공 장치 (4a) 만이 플로어 (6) 에 설치되는 경우의 가공 장치 (4a) 의 설치 면적 (S2) 에 대한 2 개의 가공 장치 (4a) 사이의 간격 (d2) 의 비 (d2/S2) 는 커진다.
이에 반해 본 실시형태에서는, 가공 장치 (4b) 를 형성함으로써 비 (d1/S1) 를 비교적 작게 할 수 있기 때문에, 1 대당 가공 장치 (4a 및 4b) 의 설치 면적을 작게 하는 경우에도 비 (d1/S1) 의 증가를 비교적 억제할 수 있다.
또한, 가공 위치 (PA) 에 인접하도록 설치된 가공 장치 (4a 및 4b) 의 가이드 폭 방향 (D) 의 간격의 하한은, 작업자가 손이 들어갈 정도이면 되고, 예를 들어, 100 ㎜ 이상 200 ㎜ 이하이다. 당해 간격이 형성되어 있으면, 작업자가 가공 장치 (4b) 를 꺼내거나 또는 밀어낼 때의 작업에 지장이 없다.
또, 가공 위치 (PA) 에 인접하도록 설치된 가공 장치 (4a 및 4b) 의 가이드 폭 방향 (D) 의 간격의 상한은, 예를 들어, 가공 장치 (4a 또는 4b) 의 폭 방향의 길이의 3 분의 1 정도이다. 다만, 상기 서술한 바와 같이, 인접하는 가공 장치 (4a 및 4b) 의 가이드 폭 방향 (D) 의 간격은, 가능한 한 작게 하는 것이 바람직하다.
또한, 가공 장치 (4a) 의 하부 하우징 (10b) 에 있어서의 바닥부의 네 모퉁이에도, 이동 기구 (18a) 및 고정 기구 (22a) 가 형성되어 있어, 가공 장치 (4a) 도, 고정 기구 (22a) 에 의해 플로어 (6) 에 대해 고정되어 있다.
다음으로, 클린룸 (60) 내에 있어서의 복수의 가공 장치 (4a 및 4b) 의 배치를 설명한다. 도 4 는, 제 1 실시형태에 관련된 클린룸 (60) 의 상면도이다. 제 1 실시형태에서는, 클린룸 (60) 의 전면 (64) 과 후면 (66) 의 중간 위치에, 클린룸 (60) 의 일방의 측면 (62) 에서 타방의 측면 (62) 으로 향하는 방향 (가이드 폭 방향 (D)) 을 따라, 직선상으로 가공 장치 (4a 및 4b) 가 배치되어 있다.
본 실시형태에서는, 5 대의 가공 장치 (4a) (즉, 4a1, 4a2, 4a3, 4a4 및 4a5) 와 4 대의 가공 장치 (4b) (즉, 4b1, 4b2, 4b3 및 4b4) 가, 가이드 폭 방향 (D) 을 따라 직선상으로 배치되어 있으며, 가공 장치 (4a) 와 가공 장치 (4b) 는 교대로 배치되어 있다. 또한, 도 4 에서는, 가공 위치 (PA) 에 배치된 가공 장치 (4b) 를 실선으로 나타내고, 보수 점검 위치 (PB) 에 배치된 가공 장치 (4b) 를 쇄선으로 나타낸다.
이와 같이, 복수의 가공 장치 (4a 및 4b) 를 배치함으로써, 복수의 가공 장치 (4a 및 4b) 를 사용하여 복수의 피가공물 (31) 을 시간적으로 병렬로 가공할 수 있다. 이로써, 피가공물 (31) 을 가공하는 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 가공 장치 (4a 및 4b) 의 가공 위치 (PA) 는, 반드시 클린룸 (60) 의 중앙 부분에 설정하지 않아도 된다. 도 5 는, 제 2 실시형태에 관련된 클린룸 (60) 의 상면도이다. 제 2 실시형태에서는, 전면 (64) 과 후면 (66) 의 중간 위치보다 후면 (66) 측에, 가공 장치 (4a 및 4b) 의 가공 위치 (PA) 가 가이드 폭 방향 (D) 을 따라 직선상으로 배치되어 있다.
클린룸 (60) 의 후면 (66) 에는, 가이드 폭 방향 (D) 을 따라 배관 등이 형성되는 경우가 있다. 또, 가공 장치 (4a) 의 정면 (24a) 및 측면 (28a) 에 작업자가 액세스할 수 있으면, 가공 장치 (4a) 의 배면 (26a) 에 작업자가 액세스할 수 없어도, 보수 점검 작업이 가능한 경우가 있다.
그래서, 제 2 실시형태에서는, 가공 장치 (4a 및 4b) 와 클린룸 (60) 의 후면 (66) 사이의 공간을 굳이 좁게 함으로써, 대신에, 가공 장치 (4a 및 4b) 와 클린룸 (60) 의 전면 (64) 사이의 공간을 넓힌다.
이로써, 가공 장치 (4a 및 4b) 와 클린룸 (60) 의 전면 (64) 사이에, 필요한 기기 또는 화물 등을 놓을 수 있어, 가공 장치 (4a 및 4b) 와 클린룸 (60) 의 전면 (64) 사이에서의 공간에 있어서의 작업이 보다 용이해진다.
다음으로, 제 1 및 제 2 실시형태에 관련된 가공 장치 (4b) 와, 가공 장치 (4b) 의 하방의 가이드부 (8) 가 제거된 비교예를 설명한다. 도 6 은, 비교예에 관련된 클린룸 (60) 의 상면도이다. 도 6 의 비교예에서는, 제 1 실시형태의 복수의 가공 장치 (4a 및 4b) 중, 가공 장치 (4b) 가 제거되어 있다.
당해 비교예에서는, 작업자는 가공 장치 (4a) 의 주위에 액세스하기 쉬워지지만, 클린룸 (60) 에 설치하는 가공 장치 (4a 및 4b) 의 합계 대수가 제 1 및 제 2 실시형태에 비해 줄기 때문에, 1 대의 가공 장치 (4a) 당 클린룸 (60) 의 유지 비용이 높아진다는 문제가 있다.
그러므로, 가공 장치 (4a 및 4b) 의 보수 점검의 용이함과, 1 대의 가공 장치 (4a) 당 클린룸 (60) 의 유지 비용의 양방을 고려하면, 제 1 및 제 2 실시형태와 같이 가공 장치 (4a 및 4b) 를 배치하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 서술한 실시형태의 가공 장치 (4a 및 4b) 는, 가공 수단 (40) 으로서 절삭 유닛을 갖는 절삭 장치 (즉, 다이서 (dicer)) 이지만, 가공 장치 (4a 및 4b) 는, 다른 가공 유닛을 가져도 된다. 가공 장치 (4a 및 4b) 는, 연삭 지석을 갖는 그라인더 (grinder), 레이저 가공 유닛을 갖는 레이저 소 (laser saw), 또는 다이아몬드 바이트를 갖는 서페이스 플래너 (surface planer) 여도 된다.
또, 가공 장치 (4a 및 4b) 는, 피가공물 (31) 을 세정하는 세정 장치여도 되고, 피가공물 (31) 의 표면에 수지의 보호막을 도포하는 도포 장치여도 된다. 또한, 가공 장치 (4a 및 4b) 는, 피가공물 유닛 (37) 의 원형의 다이싱 테이프 (33) 를 둘레 방향으로 확장하는 익스팬더 (expander) 장치여도 된다.
또, 제 1 및 제 2 실시형태의 변형예로서, 가공 장치 (4a 및 4b) 의 고정 기구 (22a 및 22b) 를, 가공 장치 (4a 및 4b) 에 형성하는 것이 아니라, 클린룸 (60) 의 플로어 (6) 에 형성해도 된다. 예를 들어, 고정 기구 (22a) 는, 가공 장치 (4a) 의 하부 하우징 (10a) 을 밀어 올림으로써, 가공 장치 (4a) 에 비치된 이동 기구 (18a) 를 가이드부 (8) 의 바닥부로부터 상승시킨다.
그 밖에, 상기 실시형태에 관련된 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한도 내에서 적절히 변경하여 실시할 수 있다. 예를 들어, 2 대 이상의 가공 장치 (4b) 가 가이드 폭 방향 (D) 에 인접하고 있어도 된다. 또, 클린룸 (60) 의 모든 가공 장치는, 가이드부 (8) 가 형성된 가공 장치 (4b) 여도 된다.
또한, 도 5 에 나타내는 제 2 실시형태의 변형예로서, 보수 점검 위치 (PB) 를 가이드 폭 방향 (D) 으로 연신시킨 가상선을 대상축으로 하여, 전면 (64) 과 후면 (66) 의 중간 위치보다 전면 (64) 측에, 9 대의 가공 장치 (4a 및 4b) 를 가이드 폭 방향 (D) 을 따라 직선상으로 추가적으로 배치해도 된다. 이 경우, 전면 (64) 측의 9 대의 가공 장치 (4a 및 4b) 와, 후면 (66) 측의 9 대의 가공 장치 (4a 및 4b) 가, 상기 서술한 대상축에 대해 대향한다.
또, 추가한 전면 (64) 측의 9 대의 가공 장치 (4a 및 4b) 는, 상기 서술한 대상축에 대해 후면 (66) 측의 가공 장치 (4a1) 에 대향하는 위치에서, 후면 (66) 측의 가공 장치 (4a5) 에 대향하는 위치로 향하는 방향을 따라, 가공 장치 (4a1, 4b1, 4a2, 4b2, 4a3, 4b3, 4a4, 4b4, 4a5) 의 순서로 형성되면 되고, 가공 장치 (4b1, 4a1, 4b2, 4a2, 4b3, 4a3, 4b4, 4a4 및 4b5) 의 순서로 형성되어도 된다.
또한, 가이드 폭 방향 (D) 을 따라 대략 일렬이 되도록 가공 장치 (4b) 와 가공 장치 (4a) 를 배치할 수 있다면, 가공 위치 (PA) 는, 반드시 가이드 길이 방향 (E) 의 일단이 아니어도 된다. 또, 보수 점검 위치 (PB) 는, 가이드 길이 방향 (E) 을 따라 1 대의 가공 장치 (4b) 의 가이드 길이 방향 (E) 의 길이분 정도, 가공 위치 (PA) 로부터 떨어져 있으면, 반드시 가이드 길이 방향 (E) 의 타단이 아니어도 된다.
2 : 가공 설비
4a, 4b : 가공 장치
6 : 플로어
8 : 가이드부
10a, 10b : 하부 하우징
12a, 12b : 상부 하우징
12 : 하우징
14a, 14b : 조작 패널
16a, 16b : 도어부
18a, 18b : 이동 기구
20 : 차륜
22a, 22b : 고정 기구
24a, 24b : 정면
26a, 26b : 배면
28a, 28b : 측면
30 : 테이블 커버
31 : 피가공물
32 : 벨로우즈상 커버
33 : 다이싱 테이프 (점착 테이프)
34 : 척 테이블 (유지 수단)
34a : 유지면
34b : 프레임체
35 : 프레임
36 : 클램프
37 : 피가공물 유닛
38 : 개구
40 : 가공 수단
42 : 스핀들 하우징
44 : 절삭 블레이드
46 : 절삭수 공급 노즐
48a, 48b : 경고등
50 : 지지 프레임
56x, 56y, 56z : 레그부
52 : 고무 다리부
54 : 커버부
60 : 클린룸
62 : 측면
64 : 전면
66 : 후면

Claims (3)

  1. 피가공물을 유지하는 유지 수단과, 그 유지 수단에 의해 유지된 그 피가공물에 가공을 실시하는 가공 수단과, 그 유지 수단과 그 가공 수단을 수용하는 하우징을 구비한 가공 장치를 포함하는 가공 설비로서,
    그 가공 수단에 의해 그 피가공물을 가공할 때에 그 가공 장치가 위치하게 되는 가공 위치와, 그 가공 위치로부터 떨어져 있고 그 가공 장치를 보수 점검할 때에 그 가공 장치가 위치하게 되는 보수 점검 위치 사이에서 그 가공 장치를 슬라이드시켜 이동시키기 위해, 플로어에 형성된 가이드부와,
    그 가공 장치에 형성되고, 그 가공 장치가 슬라이드하여 이동하는 경우에 일부가 그 가이드부에 접촉하는 이동 기구와,
    그 가공 장치를 그 플로어에 대해 고정시키기 위한 고정 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 가공 설비.
  2. 제 1 항에 있어서,
    그 가이드부는, 그 가공 위치에서 그 보수 점검 위치로 향하는 방향을 따라, 그 플로어의 표면에서부터, 그 플로어의 그 표면보다 아래의 소정의 깊이 위치까지 형성되어 있고,
    그 이동 기구는 차륜을 갖는 것을 특징으로 하는 가공 설비.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    그 가공 장치는, 그 하우징의 정면에 그 가공 장치를 조작하는 조작 패널을 추가로 구비하고,
    그 가이드부는, 그 정면과는 반대측인 그 가공 장치의 배면에서 그 정면으로 향하는 방향을 따라 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 가공 설비.
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