JP6101502B2

JP6101502B2 - 加工装置

Info

Publication number: JP6101502B2
Application number: JP2013024216A
Authority: JP
Inventors: 進野宮
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2013-02-12
Filing date: 2013-02-12
Publication date: 2017-03-22
Anticipated expiration: 2033-02-12
Also published as: JP2014151406A

Description

本発明は、加工装置を動作させるために操作される操作パネルを備えた加工装置に関する。

被加工物を加工する加工装置には、被加工物を保持する保持面を有する加工テーブルと、加工テーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段を少なくとも備えている。また、前面側に加工手段を動作させるためのフロント操作パネルが配設されている加工装置の通常使用時には、フロント操作パネルにおける加工開始ボタンを押すことにより、加工手段が作動して被加工物が加工される。

加工手段に装着された加工具の交換時には、加工手段を操作する必要があるが、この加工手段は、加工装置において上記フロント操作パネルが配設されている部分（装置の前面側）から離れた部分に配設されていることが多い。そのため、上記フロント操作パネルのほかに加工手段の加工具などを交換するためのメンテナンス用の操作パネルを装置に設置する必要がある。この操作パネルは、例えば、装置の修理、点検、加工具の交換などを実施する際に使用される。

また、下記の特許文献１に示す加工装置には、加工装置の操作領域にフロント操作パネルの操作手順やエラーに関する情報等を表示する表示モニタが配設され、加工装置の作業領域の任意の位置に装置コネクタが配設されている。加工装置のメンテナンス時には、操作パネルを有する持ち運び可能なモニタを装置コネクタに接続することによってフロント操作パネルを使用不能にするとともに、上記表示モニタに表示されていた情報を持ち運び可能なモニタに表示した後、オペレータが操作パネルを操作して加工装置の動作を制御している。

特開平１１−４８０５９号公報

しかしながら、上記したような加工装置においては、加工手段を操作するフロント操作パネルと、メンテナンス用の操作パネルといった２つの操作パネルを配置しているため、オペレータがそれぞれの操作パネルを必要に応じて使い分けなければならず、オペレータの操作負担が大きいという問題がある。

本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、加工装置において操作パネルをの操作負担を軽減することに発明の解決すべき課題を有している。

本発明は、被加工物を保持する加工テーブルと、該加工テーブルに保持される被加工物を加工する加工手段と、該加工手段による加工状態を表示する表示モニタに含まれ該加工手段の動作条件を入力する操作画面と、により少なくとも構成される加工装置において、該加工装置は、該操作画面を操作する操作エリアと被加工物を加工する加工エリアとに区分され、該加工エリアは装置ハウジングによって覆われており、該操作エリアで該操作画面の操作を可能とする第１の操作位置と該加工エリアで該操作画面の操作を可能とする第２の操作位置との間で該表示モニタを移動させる移動手段を備え、該移動手段は、表示モニタの一端に連結され水平方向に回転可能なヒンジであり、該表示モニタは、該第１の操作位置においては該装置ハウジングの前面に現れ、該第２の操作位置においては該装置ハウジングの側面に背を向けた状態となり、該表示モニタを該操作エリアと該加工エリアとのどちらにおいても操作可能としている。

本発明にかかる加工装置は、移動手段によって、加工装置の通常使用時には、表示モニタを操作エリアで操作画面の操作を可能とする第１の操作位置に移動させることができ、加工装置のメンテナンス時には、表示モニタを加工エリアで操作画面の操作を可能とする第２の操作位置に移動させることができる。
したがって、操作エリアと加工エリアとの両エリアにおいて表示モニタに含まれる操作画面を操作することができるため、加工装置に２つの表示モニタを別々に配置する必要がなく、操作画面の切り替えもする必要がなくなる。これにより、オペレータによる加工装置の操作負担を軽減することができる。

第１の操作位置に操作パネルが移動された加工装置の構成を示す正面側から見た斜視図である。第２の操作位置に操作パネルが移動された加工装置の構成を示す背面側から見た斜視図である。

図１に示す加工装置１は、Ｙ軸方向にのびる装置ベース２と、被加工物の加工が行われる領域を内部側に設けた装置ハウジング９とを有している。装置ベース２の上面３には、Ｙ軸方向に移動可能な移動基台４が配設されており、加工テーブル６は、被加工物を保持する保持面５を有し、自転可能となっている。加工テーブル６は、蛇腹７の伸縮をともなって水平方向（Ｙ軸方向）に移動可能となっている。

装置ベース２の上面３の後部側には、鉛直方向にのびるコラム８が立設されており、コラム８の側方において被加工物を研削加工する加工手段１０が加工送り手段２０を介して昇降可能に支持されている。加工手段１０は、鉛直方向の軸心を有するスピンドル１１と、スピンドル１１を保持するホルダ１２と、スピンドル１１に接続されたモータ１３と、スピンドル１１の下端においてマウント１４を介して装着されたホイール１５と、ホイール１５の下部において環状に固着された砥石１６と、により構成されている。加工手段１０は、モータ１３を駆動することによりホイール１５を所定の速度で回転させることができる。

加工送り手段２０は、Ｚ軸方向にのびるボールネジ２１と、ボールネジ２１の一端に接続されたモータ２２と、ボールネジ２１と平行にのびる一対のガイドレール２３と、内部に備えたナットがボールネジ２１に螺合するとともに側部がガイドレール２３に摺接しホルダ１２が固定された昇降板２４と、を備えている。加工送り手段２０は、モータ２２によって駆動されてボールネジ２１が回動し、一対のガイドレール２３に沿って昇降板２４をＺ軸方向に移動させることにより、昇降板２４に連結された加工手段１０を昇降させることができる。

装置ハウジング９の前面には、加工手段１０による加工状態を表示する表示モニタ３０が配設されている。表示モニタ３０には、加工手段１０の動作条件を入力するための操作画面である操作パネル３１が複数含まれている。操作パネル３１は、タッチパネルにより構成されていることが望ましい。なお、操作パネル３１は、加工手段１０の制御のほか、加工装置１のメンテナンスとして、例えば加工テーブル６の交換、砥石１６の交換、砥石１６の交換にともなって加工手段１０の高さ制御のための基準位置の設定を行うセットアップ、砥石１６のドレス（目立て）等を行う際に作業者であるオペレータによって操作される。

加工装置１は、装置ハウジング９の内部側において被加工物に加工を行う加工エリアＰ１と、装置ハウジング９の前面側においてオペレータによって操作パネル３１を操作する操作エリアＰ２とに区分されている。表示モニタ３０の一端には、Ｚ軸方向の軸心を有し回転可能なヒンジ３４が連結されている。そして、ヒンジ３４を回転させることによって、表示モニタ３０を加工エリアＰ１と操作エリアＰ２との間で移動させることができる。

以下では、加工装置１における表示モニタ３０の操作について説明する。なお、研削の対象となる被加工物は、特に限定されるものではなく、例えば円形のウエーハを使用することができる。

加工装置１を通常使用するときは、図１に示すように、表示モニタ３０をあらかじめ第１の操作位置３２に移動させる。第１の操作位置３２とは、操作エリアＰ２においてオペレータが操作パネル３１を操作できる位置であり、ヒンジ３４を右回りに回転することによって表示モニタ３０が装置ハウジング９の前面に現れた状態を指す。

第１の操作位置３２に表示モニタ３０が移動したら、オペレータが操作パネル３１を操作して、加工手段１０の加工動作の条件を入力する。なお、加工動作の条件は、スピンドル１１の回転速度、加工手段１０が研削すべき被加工物の厚みおよび加工送り手段２０による加工手段１０の加工送り速度等である。

オペレータが操作パネル３１を操作した後、加工装置１が作動する。加工テーブル６に被加工物が保持されたら、蛇腹７の伸縮をともなって加工テーブル６が加工手段１０の下方に移動する。

次いで、スピンドル１１を回転させるとともに、加工送り手段２０によってホイール１５に固着された砥石１６を加工テーブル６に保持された被加工物に接触するまで下降させる。そして、あらかじめ操作パネル３１から入力され加工手段１０に設定された厚みに至るまで砥石１６によって被加工物を研削させる。

被加工物が所定の厚みに研削された後は、加工送り手段２０によって加工手段１０を上昇させ、加工テーブル６に保持された被加工物から砥石１６を離反させる。このようにして、加工装置１による被加工物に対する加工動作が終了する。

次に、加工装置１のメンテナンスをするときは、図１に示す表示モニタ３０を第１の操作位置３２から図２に示す第２の操作位置３３に移動させる。第２の操作位置３３とは、加工エリアＰ１においてオペレータが操作パネル３１を操作できる領域であり、ヒンジ３４を左回りに回転させることによって表示モニタ３０が装置ハウジング９の側面側を背にして移動された状態を指す。

例えば、砥石１６を新たな砥石と交換する際には、第２の操作位置３３に移動された表示モニタ３０においてオペレータが操作パネル３１を操作し、加工手段１０のスピンドル１１を上昇させるとともにスピンドル１１からホイール１５を外す。そして、ホイール１５を新たなものに交換した後、オペレータが操作パネル３１を操作することにより加工手段１０のセットアップを実施する。

以上のように、表示モニタ３０には、回転可能なヒンジ３４が連結されているため、加工装置１の通常使用時には、ヒンジ３４を右回りに回転させることにより表示モニタ３０を操作エリアＰ２で操作パネル３１の操作を可能とする第１の操作位置３２に移動させることができ、加工装置１のメンテナンス時には、ヒンジ３４を左回りに回転させることにより表示モニタ３０を加工エリアＰ１で操作パネル３１の操作を可能とする第２の操作位置３３に移動させることができる。すなわち、ヒンジ３４は、第1の操作位置３２と第２の操作位置３３との間で表示モニタ３０を移動させる移動手段として機能する。
したがって、操作エリアＰ２と加工エリアＰ１との両エリアにおいて表示モニタ３０に含まれる操作パネル３１を操作することができるため、加工装置１に２つの表示モニタを別々に配置する必要がなく、操作パネルの切り替えもする必要がなくなる。これにより、オペレータによる加工装置の操作負担を軽減することができる。

なお、第1の操作位置３２と第２の操作位置３３との間で表示モニタ３０を移動させる移動手段は、ヒンジ３４には限定されない。

１：加工装置２：装置ベース３：上面４：移動基台５：保持面
６：加工テーブル７：蛇腹８：コラム９：装置ハウジング
１０：加工手段１１：スピンドル１２：スピンドルハウジング
１３：モータ１４：マウンタ１５：ホイール１６：砥石
２０：加工送り手段２１：ボールネジ２２：モータ２３：ガイドレール
２４：昇降板
３０：表示モニタ３１：操作パネル３２：第１の操作位置３３：第２の操作位置
３４：ヒンジ（移動手段）

Claims

被加工物を保持する加工テーブルと、該加工テーブルに保持される被加工物を加工する加工手段と、該加工手段による加工状態を表示する表示モニタに含まれ該加工手段の動作条件を入力する操作画面と、により少なくとも構成される加工装置において、
該加工装置は、該操作画面を操作する操作エリアと被加工物を加工する加工エリアとに区分され、該加工エリアは装置ハウジングによって覆われており、
該操作エリアで該操作画面の操作を可能とする第１の操作位置と該加工エリアで該操作画面の操作を可能とする第２の操作位置との間で該表示モニタを移動させる移動手段を備え、
該移動手段は、表示モニタの一端に連結され水平方向に回転可能なヒンジであり、
該表示モニタは、該第１の操作位置においては該装置ハウジングの前面に現れ、該第２の操作位置においては該装置ハウジングの側面に背を向けた状態となり、
該表示モニタを該操作エリアと該加工エリアとのどちらにおいても操作可能とした加工装置。