KR20190108608A - 스토커 및 작업용 발판의 형성 방법 - Google Patents

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KR20190108608A
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Abstract

작업용 발판의 형성을 용이하게 행할 수 있어, 작업자의 부담을 경감한다. 스토커(S)는 스토커 내의 주행 스페이스(SP)를 주행하여, 물품을 반송하는 반송 장치(1)와, 주행 스페이스(SP)를 사이에 두고 수평 방향으로 평행하게 연장되는 한 쌍의 레일(4)과, 한 쌍의 레일(4)을 따라 이동 가능한 복수의 발판 부재(5)와, 스토커 내와 스토커 외를 구획하는 도어(3)에 대하여 스토커 외측에 마련되고, 복수의 발판 부재를 수용하는 수용부(6)를 구비하고, 한 쌍의 레일(4)은 스토커 내로부터 도어(3)의 직하에 마련되는 개구부(26)를 지나 수용부(6)까지 연장되어 배치되고, 복수의 발판 부재(5) 중 적어도 하나에 상단이 개구부(26)의 상단보다 높은 울타리부(28)가 기립하여 구비되고, 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)는 개구부(26)를 개재하여 스토커 내와 스토커 외에 걸쳐 배치되고 또한 울타리부(28)가 스토커 내측에 배치된다.

Description

스토커 및 작업용 발판의 형성 방법
본 발명은 스토커 및 작업용 발판의 형성 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 공장 등에서는, 반도체 웨이퍼 또는 레티클 등을 수용한 FOUP, 레티클 포드 등의 용기(물품)를 보관하기 위하여, 스토커가 설치되어 있다. 이 스토커는, 내부에 있어서 물품을 재치(載置)하는 선반부와, 스토커 내부를 주행하여 물품의 이동 재치를 행하는 반송 장치를 구비하고 있다. 선반부는 반송 장치의 주행 스페이스를 따라, 상하 방향에 다단으로 배치되어 있다. 이러한 스토커에 있어서, 물품의 수납 시의 트러블 혹은 메인터넌스 시에는 작업자가 상방의 선반부에 액세스할 수 있도록, 반송 장치의 주행 스페이스에 복수의 발판 부재를 배치하여 작업용 발판을 형성하는 것이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
일본특허공개공보 2008-019031호
특허 문헌 1의 스토커는, 스토커 내외를 구획하는 도어의 외측에 마련된 수용부로부터, 주행 스페이스를 사이에 두고 수평 방향으로 평행하게 연장되는 한 쌍의 레일을 따라 복수의 발판 부재를 순차적으로 넣음으로써 작업용 발판을 형성하고 있다. 이 작업용 발판의 형성은, 작업자가 수용부로부터 발판 부재를 레일에 넣음으로써 행하고 있지만, 선두의 발판 부재를 레일에 넣는 작업이 번거롭고, 또한 높은 곳에서의 작업이 되므로, 작업자의 부담이 크다고 하는 과제가 있다. 또한, 작업용 발판이 형성되어 있지 않은 상태에서, 작업자가 스토커 내외를 구획하는 도어를 열었을 때, 스토커 내로의 진입이 규제되어 있지 않으므로, 도어의 개폐에 주의가 필요하여, 작업자에게 부담을 주게 된다.
본 발명은 이상과 같은 사정을 감안하여, 작업용 발판의 형성을 용이하게 행할 수 있어, 작업자의 부담을 경감하는 것이 가능한 스토커 및 작업용 발판의 형성 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 스토커는, 스토커 내의 주행 스페이스를 주행하여 물품을 반송하는 반송 장치와, 주행 스페이스를 사이에 두고 수평 방향으로 평행하게 연장되는 한 쌍의 레일과, 한 쌍의 레일을 따라 이동 가능한 복수의 발판 부재와, 스토커 내와 스토커 외를 구획하는 도어에 대하여 스토커 외측에 마련되고, 복수의 발판 부재를 수용하는 수용부를 구비하고, 한 쌍의 레일은 스토커 내로부터 도어의 직하(直下)에 마련되는 개구부를 지나 수용부까지 연장되어 배치되고, 복수의 발판 부재 중 적어도 하나에 상단이 개구부의 상단보다 높은 울타리부가 기립하여 마련되고, 울타리부를 구비하는 발판 부재는 개구부를 개재하여 스토커 내와 스토커 외에 걸쳐 배치되고 또한 울타리부가 스토커 내측에 배치된다.
또한 울타리부는 한 쌍의 레일에 선두로 넣어지는 발판 부재에 마련되어도 된다. 또한, 울타리부는 발판 부재로부터 상방으로 연장되는 복수의 지지 기둥과, 복수의 지지 기둥 사이에 배치되는 복수의 수평부를 구비하고, 최상부의 수평부는 발판 부재에 올라선 작업자의 허리의 위치보다 높게 설정되어도 된다. 또한, 복수의 발판 부재 중 울타리부를 구비하는 발판 부재 이외의 발판 부재는, 반송 장치의 주행 시에, 수용부에 적층된 상태로 수용되어도 된다.
또한, 반송 장치는 주행 스페이스를 주행하는 주행부와, 주행부로부터 상하 방향으로 마련되고 또한 평면에서 봤을 때 외주 일부가 원호 형상인 마스트와, 마스트를 따라 승강하는 이동 재치부를 구비해도 된다. 또한, 복수의 발판 부재 중 마스트에 근접하는 발판 부재는 마스트의 일부가 들어가는 노치부가 마련되어도 된다.
본 발명에 따른 작업용 발판의 형성 방법은, 스토커 내의 주행 스페이스를 주행하여, 물품을 반송하는 반송 장치를 구비하는 스토커에 있어서 작업용 발판을 형성하는 방법으로서, 스토커는 주행 스페이스를 사이에 두고 수평 방향으로 평행하게 연장되는 한 쌍의 레일과, 한 쌍의 레일을 따라 이동 가능한 복수의 발판 부재와, 스토커 내와 스토커 외를 구획하는 도어에 대하여 스토커 외측에 마련되고 복수의 발판 부재를 수용하는 수용부를 구비하고, 한 쌍의 레일은 스토커 내로부터 도어의 직하에 마련되는 개구부를 지나 수용부까지 연장되어 배치되고, 복수의 발판 부재 중 적어도 하나에 상단이 개구부의 상단보다 높은 울타리부가 기립하여 구비되고, 반송 장치의 주행 시에, 복수의 발판 부재 중 울타리부를 구비하는 발판 부재 이외의 발판 부재를 수용부에 수용하고, 울타리부를 구비하는 발판 부재를 개구부를 개재하여 스토커 내와 스토커 외에 걸쳐 배치하고 또한 울타리부를 스토커 내측에 배치하는 것과, 반송 장치의 정지 시에, 울타리부를 구비하는 발판 부재 다음에, 수용부로부터 순차적으로 스토커 내의 한 쌍의 레일에 개구부를 지나 발판 부재를 넣는 것을 포함한다.
본 발명의 스토커 및 작업용 발판의 형성 방법에 따르면, 울타리부를 구비하는 발판 부재가 개구부를 개재하여 스토커 내와 스토커 외에 걸쳐 배치되고 또한 울타리부가 스토커 내측에 배치되므로, 작업자는, 이 울타리부를 구비하는 발판 부재에 이어, 다른 발판 부재를 수용부로부터 순차적으로 레일에 넣음으로써, 용이하고 간단하게 작업용 발판을 형성할 수 있어 작업자의 부담을 경감할 수 있다. 또한, 작업용 발판이 형성되어 있지 않은 상태에서 작업자가 스토커의 도어를 열었을 경우에, 도어에 대하여 스토커 내측의 근방에 울타리부가 기립하고 있으므로, 도어로부터 작업자가 스토커 내에 진입하는 것을 규제할 수 있다.
또한 울타리부가 한 쌍의 레일에 선두로 넣어지는 발판 부재에 마련되는 경우, 울타리부를 선두에 구비하는 작업용 발판을 용이하게 형성할 수 있고, 또한 발판 부재를 사용하지 않을 때에, 도어의 내측의 근처에 울타리부를 배치할 수 있다. 또한, 울타리부가 발판 부재로부터 상방으로 연장되는 복수의 지지 기둥과, 복수의 지지 기둥 사이에 배치되는 복수의 수평부를 구비하고, 최상부의 수평부는 발판 부재에 올라선 작업자의 허리의 위치보다 높게 설정되는 경우, 복수의 지지 기둥 및 복수의 수평부에 의해 울타리부의 강성을 향상시킬 수 있고, 또한 최상부의 수평부가 작업자의 허리의 위치보다 높으므로, 작업자에 대하여 유효한 울타리부로서 기능시킬 수 있다. 또한, 복수의 발판 부재 중 울타리부가 마련된 발판 부재 이외의 발판 부재가, 반송 장치의 주행 시에, 수용부에 적층된 상태로 수용되는 경우, 수용부에 의해 복수의 발판 부재를 효율적으로 보관할 수 있다.
또한 반송 장치가, 주행 스페이스를 주행하는 주행부와, 주행부로부터 상하 방향으로 마련되고 또한 평면에서 봤을 때 외주의 일부가 원호 형상인 마스트와, 마스트를 따라 승강하는 이동 재치부를 구비하는 경우, 반송 장치에 의해 물품을 효율적으로 이동 재치할 수 있다. 또한, 복수의 발판 부재 중 마스트에 근접하는 발판 부재에 마스트의 일부가 들어가는 노치부가 마련되는 경우, 노치부에 마스트의 일부를 들어가게 함으로써, 외주의 일부가 원호 형상의 마스트에 대하여 발판 부재를 근접하여 배치할 수 있어, 마스트와 발판 부재와의 간극이 작아지므로, 이 간극으로부터의 낙하물을 감소시킬 수 있다.
도 1은 실시 형태에 따른 스토커의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 스토커의 정면도이다.
도 3은 수용부 및 도어를 나타내는 사시도이다.
도 4는 도어를 연 상태에서, 스토커의 외측으로부터 스토커의 내측을 본 도이다.
도 5의 (A)는 발판 부재를 나타내는 측면도이다. (B)에서 (D)는 연결 부재의 동작을 나타내는 도이다.
도 6은 실시 형태에 따른 작업용 발판의 형성 방법을 나타내는 순서도이다.
도 7의 (A) 및 (B)는 작업용 발판의 형성 방법의 설명도이다.
도 8은 도 7에 이어, (A) 및 (B)는 작업용 발판의 형성 방법의 설명도이다.
도 9는 도 8에 이어, 작업용 발판의 형성 방법의 설명도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 단, 본 발명은 이 형태에 한정되지 않는다. 또한, 도면에 있어서는 실시 형태를 설명하기 위하여, 일부분을 크게 또는 강조하여 기재하는 등 적절히 축척을 변경하여 표현하고 있다. 이하의 각 도면에 있어서, XYZ 좌표계를 이용하여 도면 중의 방향을 설명한다. 이 XYZ 좌표계에 있어서는, 수평면에 평행한 평면을 XY 평면이라 한다. 이 XY 평면에 있어서 반송 장치(1)의 주행 방향을 X 방향이라 표기하고, 수평 방향 중 X 방향에 직교하는 방향을 Y 방향이라 표기한다. 또한, XY 평면에 수직인 방향은 Z 방향이라 표기한다. X 방향, Y 방향 및 Z 방향의 각각은, 도면 중의 화살표의 방향이 +방향이며, 화살표의 방향과는 반대의 방향이 -방향인 것으로 하여 설명한다.
<실시 형태>
도 1 및 도 2는 실시 형태에 따른 스토커의 일례를 개념적으로 나타내는 도이다. 도 1은 +Z측에서 본 상면도이다. 도 2는 -Y측에서 본 정면도이다.
본 실시 형태의 스토커(S)는, 예를 들면 반도체 공장 등에 마련되고, 반도체 웨이퍼를 수용한 FOUP, 혹은 레티클 등의 가공용 부재를 수용한 레티클 포드 등의 물품(F)을 보관한다. 본 실시 형태의 반송 장치(1)는 스태커 크레인이다. 스토커(S)는 외부에 대하여 격리 가능한 내부 공간을 가진다. 스토커(S)는 스토커(S)의 외부와 내부 공간에서 물품(F)이 전달되는 입출고 포트(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 스토커(S)는 반송 장치(1), 보관 선반(2), 도어(3), 한 쌍의 레일(4), 발판 부재(5) 및 수용부(6)를 구비한다.
보관 선반(2)은 스토커(S)의 내부에 배치되고, 물품(F)을 수용한다. 보관 선반(2)은 복수 마련된다. 각 보관 선반(2)은 반송 장치(1)의 이동 방향(X 방향)에 대한 교차 방향(Y 방향)의 양측(+Y측 및 -Y측)에 배치되어 있다. 각 보관 선반(2)은 복수의 선반 판 및 세로 판을 구비하여, 복수의 물품(F)을 수용 가능하다.
반송 장치(1)는 스토커(S) 내의 주행 스페이스(SP)를 주행하여 물품(F)을 반송한다. 주행 스페이스(SP)는 +Y측 및 -Y측의 보관 선반(2)의 사이에 마련되어 있다. 반송 장치(1)는 주행부(8)(도 2 참조), 마스트(9) 및 이동 재치부(10)를 구비한다.
도 2의 주행부(8)는 궤도(11)(도시하지 않음)를 따라 주행한다. 궤도(11)는 스토커(S) 내의 상부(도시하지 않음) 및 하부에 마련되어 있다. 상부 및 하부의 궤도(11)는 각각, +Y측 및 -Y측의 보관 선반(2)의 사이에 마련된다. 상부 및 하부의 궤도(11)는 각각, X 방향과 평행한 방향으로 배치된다. 상부 및 하부의 궤도(11)의 -X측에는, 주행부(8)의 주행을 규제하는 스토퍼(12)가 마련된다. 스토퍼(12)는 주행부(8)의 주행 범위를 규제한다. 주행부(8)는 예를 들면 전동 모터 등의 주행 구동부, 감속기, 구동륜, 엔코더 등을 가진다. 구동륜은 궤도(11)에 접하도록 배치되고, 감속기를 개재하여 전동 모터(주행 구동부)의 출력축에 접속된다. 전동 모터의 출력축의 회전이 감속기를 개재하여 구동륜에 전해져, 구동륜의 회전에 의해 주행부(8)가 주행한다. 주행 구동부(전동 모터)는 회전형의 모터여도 되고, 리니어 모터여도 된다.
상부의 및 하부의 주행부(8)의 사이에는 상하 방향(연직 방향)으로 연장되는 마스트(9)가 마련되어 있다. 마스트(9)는 상부의 주행부(8) 및 하부의 주행부(8)와 일체가 되어 이동한다(도 2 참조). 마스트(9)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 상방에서 봤을 때(평면에서 봤을 때) 원형의 일부의 형상이며, 외주의 일부가 원호 형상이다. 마스트(9)는 상방에서 봤을 때, 대략 반원 형상의 일부가 노치된 형상의 노치부(9a)를 구비하고, C자 형상의 형상이다. 마스트(9)는 회전 지지부(도시하지 않음)를 개재하여, 주행부(8)에 대하여 연직 방향과 평행인 정해진 회전축을 중심으로 회전 가능하게 지지되어, 전동 모터 등의 회전 구동부(도시하지 않음)의 구동에 의해 회전한다(도 1 참조). 마스트(9)는 회전할 시, 마스트(9)의 원호 형상의 외주(9b)의 궤도가, 상방에서 봤을 때 대략 원 형상의 궤도가 된다. 마스트(9)는 물품(F)을 이동 재치할 시, 물품(F)이 이동 재치처의 방향을 향하도록 회전한다. 마스트(9)는 +Y측의 보관 선반(2)에 물품(F)을 반송하는 경우, 도 1의 실선에 나타내는 바와 같이, 물품(F)이 +Y측을 향하도록 회전한다. 또한, 마스트(9)는 -Y측의 보관 선반(2)에 물품(F)을 반송하는 경우, 도 1의 일점 쇄선에 나타내는 바와 같이, 물품(F)이 -Y측을 향하도록 회전한다.
이동 재치부(10)는 물품(F)을 정해진 위치에 이동 재치한다. 이동 재치부(10)는 승강대(14) 및 이동 재치 장치(15)를 구비한다. 승강대(14)는 마스트(9)의 노치부(9a)에 배치된다(도 1 참조). 승강대(14)를 마스트(9)의 노치부(9a)에 배치하는 경우, 장치의 사이즈를 컴팩트하게 할 수 있다. 승강대(14)는 마스트(9)를 따라 승강한다(도 2 참조). 승강대(14)는 마스트(9)에 마련되는 연직 방향으로 연장되는 가이드(16)로 안내된다. 승강대(14)는 와이어 등의 현수 부재에 의해 상방으로부터 매달려 있다. 반송 장치(1)는 현수 부재를 구동하는 승강 구동부(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 이 승강 구동부는 현수 부재의 풀기 혹은 감기를 행한다. 승강대(14)는 승강 구동부가 현수 부재를 감으면, 마스트(9)로 안내되어 상승한다. 또한, 승강대(14)는 승강 구동부가 현수 부재를 풀어내면, 마스트(9)로 안내되어 하강한다.
이동 재치 장치(15)는 물품(F)을 이동 재치한다. 이동 재치 장치(15)는 승강대(14)에 마련되어 있다. 이동 재치 장치(15)는 승강대(14)의 승강과 함께 승강한다(도 2 참조). 이동 재치 장치(15)는 암부(18)와, 보지부(保持部)(19)와, 회전 구동부(20)를 구비한다(도 1 참조). 암부(18)는 신축 암이다. 암부(18)는 2 개의 암이 관절을 개재하여 접속된 구조이다. 암부(18)는 2 개의 암이 관절로 꺾임으로써, 수평 방향으로 신축 가능하다. 암부(18)는 그 기단측이 회전 구동부(20)에 접속되어 있다. 암부(18)의 선단 측에는, 물품(F)을 위치 결정하여 보지하는 보지부(19)가 회전 가능하게 접속되어 있다. 이동 재치 장치(15)는, 도 1의 실선에 나타내는 바와 같이, 이동 재치처에 물품(F)을 전달할 시, 이동 재치처에 대하여 암부(18)가 신장하여, 보지부(19) 상의 물품(F)을 이동 재치처의 상방에 배치한다. 그리고, 승강대(14)가 하강함으로써, 보지부(19)로부터 이동 재치처에 물품(F)을 전달한다. 또한, 이동 재치 장치(15)가 보관 선반(2) 등의 이동 재치원으로부터 물품(F)을 수취할 시, 보지부(19)는 이동 재치원에 배치된 물품(F)에 대하여 암부(18)가 연장되어, 물품(F)의 저면 하에 배치된다. 그리고, 이동 재치 장치(15)는 승강대(14)가 상승함으로써, 보지부(19)가 물품(F)을 들어 올린다. 그리고 이동 재치 장치(15)는, 도 1의 점선에 나타내는 바와 같이 보지부(19) 상에 물품(F)이 보지된 상태로 암부(18)가 수축되어, 물품(F)을 승강대(14) 상에서 보지한다.
상기와 같이, 반송 장치(1)는 주행 스페이스(SP)를 주행하는 주행부(8)와, 주행부(8)로부터 상하 방향으로 마련되고 또한 평면에서 봤을 때 외주의 일부가 원호 형상인 마스트(9)와, 마스트(9)를 따라 승강하는 이동 재치부(10)를 구비하므로, 물품(F)을 효율적으로 이동 재치할 수 있다.
그런데, 스토커(S)는 작업자(U)에 의한 메인터넌스 작업이 행해지는 경우가 있다. 작업자(U)는 메인터넌스 작업을 행할 시, 스토커(S) 내와 스토커(S)의 외를 구획하는 도어(3)로부터 스토커(S) 내에 액세스한다. 작업자(U)에 의한 메인터넌스 작업은, 스토커(S) 내의 높은 곳에서 행해지는 경우가 있다. 스토커(S) 내의 높은 곳에서의 메인터넌스 작업은 높은 곳 작업용의 발판을 설치하여 행해진다.
본 실시 형태의 스토커(S)는, 도 2에 나타내는 바와 같이 정해진 높이마다, 스토커(S)의 최상부의 근방까지, 도어(3), 작업용 발판(SC)을 설치하는 발판 설치 기구(22) 및 바닥면(24)을 구비한다. 발판 설치 기구(22)는 한 쌍의 레일(4), 발판 부재(5)(팔레트) 및 수용부(6)를 구비한다. 각 높이에 마련되는 바닥면(24)에는, 사다리(도시하지 않음)가 마련되어 있고, 작업자(U)는 사다리를 사용하여, 각 높이의 바닥면(24)으로 이동할 수 있다. 이와 같이, 본 실시 형태의 스토커(S)는 정해진 높이마다 발판을 설치할 수 있으므로, 높은 곳의 각 장소에 있어서의 메인터넌스 작업을 용이하게 실시할 수 있다.
한 쌍의 레일(4)은, 도 2에 나타내는 바와 같이 발판 부재(5)를 지지하여 가이드한다. 한 쌍의 레일(4)은, 도 1에 나타내는 바와 같이 주행 스페이스(SP)를 사이에 두고 수평 방향(X 방향)으로 평행하게 연장된다. 한 쌍의 레일(4)은, 이후에 설명하는 수용부(6)의 내로부터 스토커(S)의 +X측의 단부까지 연장되어 있다. 이 구성에 의해, 수용부(6) 내로부터 스토커(S)의 +X측의 단부와의 사이에 있어서, 발판 부재(5)의 이동 및 설치를 할 수 있다.
도 3은 수용부 및 도어의 부분을 나타내는 사시도이다. 한 쌍의 레일(4)은, 도 3에 나타내는 바와 같이 스토커(S) 내로부터 도어(3)의 직하를 지나 수용부(6)까지 연장되어 배치된다. 도어(3)의 직하에는 개구부(26)가 마련되어 있다. 개구부(26)는 한 쌍의 레일(4) 및 발판 부재(5)를, 스토커(S)의 외부와 내부를 통과하기 위하여 이용된다. 개구부(26)의 Y 방향의 폭 및 Z 방향의 높이는 발판 부재(5)가 개구부(26)를 통과 가능한 간격으로 설정된다. 도어(3)의 직하에 한 쌍의 레일(4) 및 발판 부재(5)가 통과 가능한 개구부(26)가 마련되는 경우, 도어(3)를 닫은 상태로 발판 부재(5)를 스토커(S) 내에 설치할 수 있다. 이 경우, 발판 부재(5)를 스토커(S) 내에 설치하는 작업 중에, 도어(3)로부터 작업자(U)가 스토커(S) 내에 진입하는 것을 규제할 수 있다. 또한 개구부(26)에는, 개구부(26)를 개폐 가능한 커버(도시하지 않음)가 마련되어 있다. 개구부(26)는 발판 부재(5)를 설치하지 않을 때에는 커버로 닫힌다. 또한, 개구부(26)는 발판 부재(5)를 설치할 때에는 커버가 열려 개구된다.
도 4는 도어를 연 상태에서, 스토커의 외측으로부터 스토커의 내부를 본 도이다. 한 쌍의 레일(4)은 스토커(S) 내에 있어서, 보관 선반(2)의 내부에 있어서의 일부분에 배치된다. 한 쌍의 레일(4)은 +Y측 및 -Y측의 보관 선반(2)의 내부에 배치된다. 또한, 발판 부재(5)도 그 Y측의 양단이, +Y측 및 -Y측의 보관 선반(2)의 내부에 배치된다. 이와 같이, 한 쌍의 레일(4) 및 발판 부재(5) 중 적어도 일부가 +Y측 및 -Y측의 보관 선반(2)의 내부에 배치되는 경우, +Y측의 보관 선반(2)과 -Y측의 보관 선반(2)과의 사이를, 발판 부재(5)로 간극 없이 덮을 수 있다. 이 경우, 이 간극으로부터의 낙하물을 확실하게 방지할 수 있다.
또한 한 쌍의 레일(4)은 각각, 발판 부재(5)의 상하 방향의 이동 및 수평 방향(Y 방향)의 이동을 규제한다. 이 경우, 발판 부재(5)를 확실하게 지지 및 가이드할 수 있다. 한 쌍의 레일(4)은 각각, 레일(4)의 길이 방향(-X 방향)과 직교하는 면(YZ 평면)의 단면이 C자 형상이다. 한 쌍의 레일(4)은 C자 형상의 단면에 발판 부재(5)의 차륜(5b)이 삽입됨으로써, 발판 부재(5)의 상하 방향의 이동, 및 수평 방향(Y 방향)의 이동을 규제한다.
도 2의 설명으로 돌아와, 발판 부재(5)를 설명한다. 발판 부재(5)는 복수 마련된다. 각 발판 부재(5)는 직사각형 판 형상이며, 복수의 발판 부재(5)를 배열함으로써, 일체적인 작업용 발판(SC)이 형성된다. 각 발판 부재(5)는 복수의 차륜(5b)을 구비하고(도 5 참조), 한 쌍의 레일(4)을 따라 주행(이동) 가능하다. 복수의 차륜(5b)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 발판 부재(5)의 +Y측 및 -Y측의 측부(측면)에 4 개 마련되어 있다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 복수의 발판 부재(5) 중 적어도 하나는, 울타리부(28)를 구비한다. 울타리부(28)는 작업자(U)의 이동을 규제한다. 이하의 설명에 있어서, 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)를 울타리 부착 발판 부재(5A)라고 한다. 울타리 부착 발판 부재(5A)는, 반송 장치(1)에 의한 물품(F)의 반송 시를 포함하는 반송 장치(1)의 주행 시에, 도어(3)에 대하여 스토커(S) 내측이며 또한 주행 스페이스(SP)(X 방향)에 대하여 도어(3)측의 위치에 배치된다(도 1 참조). 울타리 부착 발판 부재(5A)는 개구부(26)(도 3 참조)를 개재하여 스토커(S) 내와 스토커(S) 외에 걸쳐 배치되고, 또한 울타리부(28)가 스토커(S) 내측에 배치된다(도 2에 실선으로 나타내는 울타리 부착 발판 부재(5A) 참조). 이 구성에 의해, 울타리 부착 발판 부재(5A)는, 반송 장치(1)의 주행 범위로부터 벗어난 데드 스페이스(DS)에 배치된다. 울타리 부착 발판 부재(5A)를 상기한 위치에 배치하는 경우, 도 4에 나타내는 바와 같이, 도어(3)를 열었을 때에, 도어(3)의 근방에 울타리부(28)가 기립하고 있는 상태가 된다. 이와 같이, 울타리 부착 발판 부재(5A)가 도어(3)에 대하여 스토커(S) 내측이며 또한 주행 스페이스(SP)에 대하여 도어(3)측의 위치에 배치되는 경우, 혹은 울타리 부착 발판 부재(5A)가, 개구부(26)를 개재하여 스토커(S) 내와 스토커(S) 외에 걸쳐 배치되고, 또한 울타리부(28)가 스토커(S) 내측에 배치되는 경우, 작업용 발판(SC)이 형성되어 있지 않은 상태에서 작업자(U)가 스토커(S)의 도어(3)를 열었을 때에, 도어(3)에 대하여 스토커(S) 내측에 울타리부(28)가 기립하고 있으므로, 도어(3)로부터 작업자(U)가 스토커(S) 내에 진입하는 것을 규제할 수 있다. 또한, 울타리 부착 발판 부재(5A)는 개구부(26)를 개재하여 스토커(S) 내와 스토커(S) 외에 걸쳐 배치되고, 또한 울타리부(28)가 스토커(S) 내측에 배치되고, 또한 데드 스페이스(DS)에 배치되므로, 반송 장치(1)의 주행을 방해하지 않고 울타리 부착 발판 부재(5A)를 배치할 수 있다. 또한, 울타리 부착 발판 부재(5A)는, 도 2에 점선으로 나타내는 바와 같이, 작업용 발판(SC)을 형성할 시, 한 쌍의 레일(4)에 선두에서 넣어진다. 작업용 발판(SC)의 형성에 대해서는, 이후에 동작의 부분에 있어서 설명한다.
울타리부(28)에 대하여 설명한다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 울타리부(28)는 발판 부재(5)에 기립하여 마련된다. 울타리부(28)는 상단이 개구부(26)(도 3 참조)의 상단보다 높게 형성된다. 울타리부(28)는 복수의 지지 기둥(28a) 및 복수의 수평부(28b)를 구비한다. 각 지지 기둥(28a)은 발판 부재(5)로부터 상방으로 연장되어 있고, 각각, Y 방향과 평행한 방향으로 배열되어 배치된다. 각 수평부(28b)는 Y 방향과 평행한 방향으로 연장되어 있다. 각 수평부(28b)는 복수의 지지 기둥(28a) 사이에 배치되어 복수의 지지 기둥(28a)을 연결한다. 복수의 수평부(28b) 중 최상부의 수평부(28b)는 발판 부재(5)에 올라선 작업자(U)의 허리의 위치보다 높게 설정된다(도 2 참조). 울타리부(28)가, 발판 부재(5)로부터 상방으로 연장되는 복수의 지지 기둥(28a)과, 복수의 지지 기둥(28a) 사이에 배치되는 복수의 수평부(28b)를 구비하고, 최상부의 수평부(28b)는, 발판 부재(5)에 올라선 작업자(U)의 허리의 위치보다 높게 설정되는 경우, 복수의 지지 기둥(28a) 및 복수의 수평부(28b)에 의해 울타리부(28)의 강성을 향상시킬 수 있고, 또한 최상부의 수평부(28b)가 작업자(U)의 허리의 위치보다 높으므로, 작업자(U)에 대하여 유효한 울타리부(28)로서 기능시킬 수 있다. 또한 울타리부(28)는, JIS, OSHA(Occupational Safety and Health Administration) 등의 규격을 충족하도록 구성되어 있다. 또한 본 실시 형태에서는, 울타리 부착 발판 부재(5A)는, 울타리부(28)를 안정적으로 지지하기 위하여, 전방(+X측)의 차륜(5b)이 발판 부재(5)보다 전방으로 돌출되어 마련되며, 차륜(5b)과 차륜(5b)과의 사이의 간격(축간 거리)이, 발판 부재(5)보다 길게 설정된다(도 1 참조).
또한, 울타리 부착 발판 부재(5A)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 노치부(29)를 구비한다. 노치부(29)는 반송 장치(1)측(+X측)에 마련된다. 노치부(29)는 마스트(9)의 형상에 대응한 형상이다. 노치부(29)에는 마스트(9)의 일부가 들어간다. 노치부(29)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 반송 장치(1)가 가장 도어(3)에 근접하는 위치(-X측의 위치)로 이동하여 회전 동작을 행하는 경우에 있어서도, 마스트(9)의 가동 영역이 노치부(29)에 배치되어, 마스트(9)에 간섭하지 않도록 구성되어 있다. 상기와 같이, 복수의 발판 부재(5) 중 마스트(9)에 근접하는 발판 부재(5)에 노치부(29)가 마련되는 경우, 노치부(29)에 마스트(9)의 일부를 들어가게 함으로써, 외주의 일부가 원호 형상의 마스트(9)에 대하여 발판 부재(5)를 근접하여 배치할 수 있다. 이 구성에 의해, 마스트(9)와 발판 부재(5)와의 간극이 작아지므로, 이 간극으로부터의 낙하물을 감소시킬 수 있다.
발판 부재(5)의 연결에 대하여 설명한다. 도 5의 (A)는 발판 부재(5)를 나타내는 -Y 방향에서 본 측면도이다. 도 5의 (B) 및 (C)는 연결 부재의 동작을 나타내는 도이다. 도 5의 (D)는 복수의 발판 부재가 연결된 상태를 나타내는 도이다. 각 발판 부재(5)는 각각, 발판 부재(5)와 발판 부재(5)를 연결하는 연결 부재(30)를 구비한다. 연결 부재(30)는 발판 부재(5)의 주행 방향측(+X측)으로 돌출하는 한 쌍의 돌출 훅(31), 및 한 쌍의 계합 핀(32)을 구비한다. 한 쌍의 돌출 훅(31)은 발판 부재(5)의 -Y측 및 +Y측의 측면에 마련된다. 각 돌출 훅(31)의 하방에는, 하방에서 상방을 향해 연장되는 노치부(31a)가 형성된다. 각 돌출 훅(31)은 선단으로부터 노치부(31a)의 개구 가장자리까지는 경사져 있으며, 이 경사가 경사부(31b)로 되어 있다. 한 쌍의 계합 핀(32)은 발판 부재(5)의 주행 방향과 반대측(-X측)의 부분의 -Y측 및 +Y측의 측면에 마련된다.
발판 부재(5)의 연결 동작에 대하여 설명한다. 2 대의 발판 부재(5)를 연결하는 경우, 도 5의 (B)에 나타내는 바와 같이, 전방(+X측)에 배치되는 발판 부재(5)에 대하여, 후방으로부터 다른 발판 부재(5)를 누름으로써, 후방의 발판 부재(5)의 돌출 훅(31)이 전방의 발판 부재(5)의 계합 핀(32)에 접촉하고, 또한 경사부(31b)를 개재하여 돌출 훅(31)이 계합 핀(32)에 올라가, 그리고 도 5의 (C)에 나타내는 바와 같이, 계합 핀(32)이 노치부(31a)에 계합된다. 이 구성에 의해, 2 대의 발판 부재(5)가 연결된다. 그리고, 상기한 연결 동작을 반복함으로써, 도 5의 (D)에 나타내는 바와 같이, 복수의 발판 부재(5)가 연결된다.
도 2의 설명으로 돌아와, 수용부(6)는 복수의 발판 부재(5)를 수용한다. 수용부(6)는 도어(3)에 대하여 스토커(S) 외측의 근방에 마련된다. 복수의 발판 부재(5) 중 울타리 부착 발판 부재(5A) 이외의 발판 부재(5)는, 반송 장치(1)의 주행 시에, 수용부(6)에 적층된 상태로 수용된다. 이 경우, 복수의 발판 부재(5)를 효율적으로 보관할 수 있다. 한 쌍의 레일(4)은 수용부(6)의 내부까지 연장되어 배치되고, 수용부(6)와 접속되어 있다. 수용부(6)에 수용된 복수의 발판 부재(5)는, 사용 시에, 수용부(6)로부터 레일(4)에 직접 넣을 수 있다. 또한, 작업용 발판(SC)의 형성에 이용된 복수의 발판 부재(5)는, 수용 시에, 한 쌍의 레일(4)로부터 직접 수용부(6)에 수용할 수 있다. 이와 같이, 한 쌍의 레일(4)이 수용부(6)와 접속되므로, 용이하고 간단하게 작업용 발판(SC)을 형성할 수 있고, 또한 용이하게 복수의 발판 부재(5)를 수용할 수 있으므로, 작업자(U)의 부담을 경감할 수 있다.
이어서, 스토커(S)의 동작에 기초하여, 실시 형태에 따른 작업용 발판의 형성 방법에 대하여 설명한다. 도 6은 작업용 발판의 형성 방법의 일례를 나타내는 순서도이다. 도 7에서 도 9는 스토커(S)의 동작을 나타내는 도이다. 작업용 발판의 형성 방법은 스토커(S)에 있어서 작업용 발판을 형성하는 방법이다.
스토커(S)에서는, 도 6의 단계(S1)에 있어서, 반송 장치(1)의 주행 시에, 복수의 발판 부재(5) 중 울타리 부착 발판 부재(5A) 이외의 발판 부재(5)를 수용부(6)에 수용하고, 울타리 부착 발판 부재(5A)를, 개구부(26)(도 3 참조)를 개재하여 스토커(S) 내와 스토커(S) 외에 걸쳐 배치하고, 또한 울타리부(28)를 스토커(S) 내측에 배치한다. 복수의 발판 부재(5) 중 울타리 부착 발판 부재(5A) 이외의 발판 부재(5)는, 예를 들면 도 2에 나타내는 바와 같이 수용부(6)에 적층된 상태로 수용된다. 이 구성에 의해, 복수의 발판 부재(5)를 효율적으로 보관할 수 있다. 도 7의 (A)에 나타내는 바와 같이, 울타리 부착 발판 부재(5A)는, 한 쌍의 레일(4)에 있어서의, 도어(3)에 대하여 스토커(S) 내측이며 또한 주행 스페이스(SP)에 대하여 도어(3)측의 위치에 배치된다. 이 구성에 의해, 울타리 부착 발판 부재(5A)는, 작업용 발판(SC)에 있어서 선두의 발판 부재(5)가 된다. 또한, 울타리 부착 발판 부재(5A)를 상기한 위치에 배치하는 경우, 작업용 발판(SC)이 형성되어 있지 않은 상태에서 작업자(U)가 스토커(S)의 도어(3)를 열었을 경우에, 도어(3)에 대하여 스토커(S) 내측에 울타리부(28)가 기립하고 있으므로, 도어(3)로부터 작업자(U)가 스토커(S) 내에 진입하는 것을 규제할 수 있다. 또한, 울타리 부착 발판 부재(5A)는, 반송 장치(1)의 주행 시에, 상기한 위치에 배치되므로, 반송 장치(1)의 주행 시에, 도어(3)로부터 작업자(U)가 스토커(S) 내에 진입하는 것을 확실하게 규제할 수 있다.
스토커(S)에서는, 작업자(U)에 의한 메인터넌스 등의 작업이 필요해지는 경우가 있다. 이 때, 작업이 필요한 장소에 작업용 발판(SC)을 형성한다. 작업용 발판(SC)의 형성은, 반송 장치(1)의 정지 시에 행해진다. 작업용 발판(SC)의 형성에 앞서, 도 6의 단계(S2)에 있어서, 반송 장치(1)를 퇴피시켜, 정지시킨다. 예를 들면, 도 7의 (B)에 나타내는 바와 같이, 반송 장치(1)를, 스토커(S)의 +X측의 단부로 이동(퇴피)시켜, 정지시킨다. 또한, 반송 장치(1)는 +X측의 단부로 이동시키지 않아도 된다. 예를 들면, 반송 장치(1)를 이동시키는 위치는, 메인터넌스의 장소에 따라 설정되어도 된다.
이어서 도 6의 단계(S3)에 있어서, 반송 장치(1)의 정지 시에, 울타리 부착 발판 부재(5A) 다음에, 수용부(6)로부터 순차적으로 스토커(S) 내의 한 쌍의 레일(4)에 개구부(26)를 지나 발판 부재(5)를 넣는다. 예를 들면, 도 8의 (A)에 나타내는 바와 같이, 수용부(6)로부터 하나의 발판 부재(5)를 레일(4)에 넣어, 도 5의 (A)에서 (C)에 나타내는 바와 같이 전방(+X측)의 울타리 부착 발판 부재(5A)에 누름으로써, 도 5의 (D)에 나타내는 바와 같이 전방의 울타리 부착 발판 부재(5A)와 연결시킨다. 전방의 울타리 부착 발판 부재(5A)와의 연결이 완료된 후, 순차적으로, 한 쌍의 레일(4)에 발판 부재(5)를 넣어, 상기한 전방의 발판 부재(5)와의 연결을 반복한다. 이 구성에 의해, 도 8의 (B)에 나타내는 바와 같이, 작업용 발판(SC)이 형성된다. 또한 상기와 같이, 작업용 발판(SC)은 반송 장치(1)의 정지 시에 형성되므로, 작업용 발판(SC)을 형성할 시에 있어서의, 발판 부재(5)와 반송 장치(1)와의 접촉을 억제할 수 있다.
상기와 같이 형성된 작업용 발판(SC)은, 도 9에 나타내는 바와 같이, 울타리 부착 발판 부재(5A)의 노치부(29)에 마스트(9)의 일부를 들어가게 함으로써, 외주의 일부가 원호 형상의 마스트(9)에 대하여 발판 부재(5)를 근접하여 배치할 수 있다. 이 구성에 의해, 마스트(9)와 발판 부재(5)와의 간극이 작아지므로, 이 간극으로부터의 낙하물을 감소시킬 수 있다. 또한 본 실시 형태에서는, 울타리부(28)는, 한 쌍의 레일(4)에 선두로 넣어지는 울타리 부착 발판 부재(5A)에 마련되므로, 울타리부(28)를 선두에 구비하는 작업용 발판(SC)을 용이하게 형성할 수 있고, 또한 작업용 발판(SC)을 형성하지 않을 때에, 도어(3)에 대하여 스토커(S) 내측의 근방에 울타리부(28)를 배치할 수 있다. 또한 본 실시 형태에서는, 울타리 부착 발판 부재(5A)가 도어(3)에 대하여 스토커(S) 내측에 배치되므로, 울타리 부착 발판 부재(5A)가 도어(3)의 직하의 개구부(26)를 통과할 때에 발생하는 간섭을 회피할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 스토커(S) 및 작업용 발판의 형성 방법에 따르면, 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)(울타리 부착 발판 부재(5A))가, 개구부(26)를 개재하여 스토커(S) 내와 스토커(S) 외에 걸쳐 배치되고, 또한 울타리부(28)가 스토커(S) 내측에 배치되므로, 작업자(U)는 이 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)에 이어, 다른 발판 부재(5)를 수용부(6)로부터 순차적으로 레일(4)에 넣음으로써 용이하고 간단하게 작업용 발판(SC)을 형성할 수 있어, 작업자(U)의 부담을 경감할 수 있다. 또한, 작업용 발판(SC)이 형성되어 있지 않은 상태에서 작업자(U)가 스토커(S)의 도어(3)를 열었을 경우에, 도어(3)에 대하여 스토커(S) 내측에 울타리부(28)가 기립하고 있으므로, 도어(3)로부터 작업자(U)가 스토커(S) 내에 진입하는 것을 규제할 수 있다.
이상, 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 각종 변경이 가능하다. 예를 들면, 상기한 실시 형태에서는, 반송 장치(1)가 스태커 크레인인 것으로 설명했지만, 반송 장치(1)는 스태커 크레인이 아니어도 되며, 임의의 반송 장치를 이용할 수 있다. 또한 상기한 실시 형태에서는, 물품(F)이 FOUP인 것으로 설명했지만, 물품(F)은 FOUP 이외여도 된다. 또한 스토커(S)는, 반도체 분야 이외의 설비에도 적용 가능하다.
또한 상기한 실시 형태에서는, 반송 장치(1)의 마스트(9)가, 평면에서 봤을 때 외주의 일부가 원호 형상인 예를 설명했지만, 마스트(9)의 형상은 임의이다. 예를 들면, 마스트(9)의 형상은, 상방에서 봤을 때, 대략 직사각형 형상(정방형을 포함함)이어도 되며, 부정형이어도 된다.
또한 상기한 실시 형태에서는, 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)(울타리 부착 발판 부재(5A))가, 도어(3)의 내측이며 또한 주행 스페이스(SP)(X 방향)에 대하여 도어(3)측의 가장 가까운 위치에 배치되는 예를 설명했지만, 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)의 위치는, 이 위치에 한정되지 않는다. 예를 들면, 반송 장치(1)의 주행 시에, 스토커(S) 내측에 있어서, 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)와 도어(3)와의 사이에 복수의 발판 부재(5)가 마련되어도 된다.
또한 상기한 실시 형태에서는, 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)(울타리 부착 발판 부재(5A))가, 복수의 발판 부재(5) 중, 반송 장치(1)에 대하여 가장 근접하는 위치에 배치되는 예를 나타냈지만, 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)의 위치는 이 위치에 한정되지 않는다. 예를 들면, 반송 장치(1)의 주행 시에, 스토커(S) 내측에 있어서, 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)와 반송 장치(1)와의 사이에 복수의 발판 부재(5)가 마련되어도 된다.
또한 상기한 실시 형태에서는, 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)(울타리 부착 발판 부재(5A))가, 노치부(29)를 구비하는 예를 설명했지만, 노치부(29)를 구비하는 발판 부재(5)는, 울타리 부착 발판 부재(5A)가 아니어도 된다. 예를 들면, 노치부(29)를 구비하는 발판 부재(5)는, 복수의 발판 부재(5) 중 마스트(9)에 근접하는 발판 부재(5)로, 울타리부(28)를 구비하지 않는 발판 부재(5)여도 된다. 또한, 발판 부재(5)는 노치부(29)를 구비하지 않아도 된다. 예를 들면, 반송 장치(1) 혹은 마스트(9)의 형상이 상방에서 봤을 때, 직사각형 형상인 경우, 노치부(29)를 구비하지 않아도 된다.
또한 상기한 실시 형태에서는, 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)(울타리 부착 발판 부재(5A))가, 한 쌍의 레일(4)에 선두에서 넣어지는 예를 설명했지만, 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)는, 한 쌍의 레일(4)에, 선두 이외의 임의의 위치에서 넣어져도 된다. 예를 들면, 울타리부(28)를 구비하는 발판 부재(5)는, 선두로부터 2 번째에서 5 번째 중 어느 위치에서 넣어져도 된다. 또한 법령으로 허용되는 한에 있어서, 일본특허출원인 특원 2017-032048, 및 본 명세서에서 인용한 모든 문헌의 내용을 원용하여 본문의 기재의 일부로 한다.
1 : 반송 장치
2 : 보관 선반
3 : 도어
4 : 레일
5 : 발판 부재
5A : 울타리 부착 발판 부재(울타리부를 구비하는 발판 부재)
6 : 수용부
8 : 주행부
9 : 마스트
9a : 노치부
28 : 울타리부
28a : 지지 기둥
28b : 수평부
F : 물품
S : 스토커
SP : 주행 스페이스
U : 작업자

Claims (7)

  1. 스토커 내의 주행 스페이스를 주행하여 물품을 반송하는 반송 장치와,
    상기 주행 스페이스를 사이에 두고 수평 방향으로 평행하게 연장되는 한 쌍의 레일과,
    상기 한 쌍의 레일을 따라 이동 가능한 복수의 발판 부재와,
    상기 스토커 내와 스토커 외를 구획하는 도어에 대하여 상기 스토커 외측에 마련되고 상기 복수의 발판 부재를 수용하는 수용부를 구비하고,
    상기 한 쌍의 레일은 상기 스토커 내로부터 상기 도어의 직하에 마련되는 개구부를 지나 상기 수용부까지 연장되어 배치되고,
    상기 복수의 발판 부재 중 적어도 하나에 상단이 상기 개구부의 상단보다 높은 울타리부가 기립하여 마련되고,
    상기 울타리부를 구비하는 상기 발판 부재는 상기 개구부를 개재하여 상기 스토커 내와 상기 스토커 외에 걸쳐 배치되고 또한 상기 울타리부가 상기 스토커 내측에 배치되는, 스토커.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 울타리부는 상기 한 쌍의 레일에 선두로 넣어지는 상기 발판 부재에 마련되는, 스토커.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 울타리부는 상기 발판 부재로부터 상방으로 연장되는 복수의 지지 기둥과, 상기 복수의 지지 기둥 사이에 배치되는 복수의 수평부를 구비하고,
    최상부의 상기 수평부는 상기 발판 부재에 올라선 작업자의 허리의 위치보다 높게 설정되는, 스토커.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 발판 부재 중 상기 울타리부를 구비하는 상기 발판 부재 이외의 상기 발판 부재는, 상기 반송 장치의 주행 시에, 상기 수용부에 적층된 상태로 수용되는, 스토커.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 장치는 상기 주행 스페이스를 주행하는 주행부와, 상기 주행부에서 상하 방향으로 마련되고 또한 평면에서 봤을 때 외주의 일부가 원호 형상인 마스트와, 상기 마스트를 따라 승강하는 이동 재치부를 구비하는, 스토커.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 복수의 발판 부재 중 상기 마스트에 근접하는 상기 발판 부재는 상기 마스트의 일부가 들어가는 노치부가 마련되는, 스토커.
  7. 스토커 내의 주행 스페이스를 주행하여, 물품을 반송하는 반송 장치를 구비하는 스토커에 있어서 작업용 발판을 형성하는 방법으로서,
    상기 스토커는 상기 주행 스페이스를 사이에 두고 수평 방향으로 평행하게 연장되는 한 쌍의 레일과, 상기 한 쌍의 레일을 따라 이동 가능한 복수의 발판 부재와, 상기 스토커 내와 스토커 외를 구획하는 도어에 대하여 상기 스토커 외측에 마련되고 상기 복수의 발판 부재를 수용하는 수용부를 구비하고, 상기 한 쌍의 레일은 상기 스토커 내로부터 상기 도어의 직하에 마련되는 개구부를 지나 상기 수용부까지 연장되어 배치되고, 상기 복수의 발판 부재 중 적어도 하나에 상단이 상기 개구부의 상단보다 높은 울타리부가 기립하여 구비되고,
    상기 반송 장치의 주행 시에, 상기 복수의 발판 부재 중 상기 울타리부를 구비하는 상기 발판 부재 이외의 상기 발판 부재를 상기 수용부에 수용하고, 상기 울타리부를 구비하는 상기 발판 부재를 상기 개구부를 개재하여 상기 스토커 내와 상기 스토커 외에 걸쳐 배치하고 또한 상기 울타리부를 상기 스토커 내측에 배치하는 것과,
    상기 반송 장치의 정지 시에, 상기 울타리부를 구비하는 상기 발판 부재 다음에, 상기 수용부로부터 순차적으로 상기 스토커 내의 상기 한 쌍의 레일에 상기 개구부를 지나 상기 발판 부재를 넣는 것을 포함하는, 작업용 발판의 형성 방법.
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