KR20220076340A - 성막 장치 및 발판 유닛 - Google Patents
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Abstract
[과제] 유지 보수 시의 작업 효율을 향상하는 것이다
[해결 수단] 기판을 반송하면서 기판에 대해 성막을 행하는 인라인 방식의 성막 장치는, 기판을 반송하는 반송 유닛과, 성막원을 포함하고, 반송 유닛의 하방의 제1 위치와, 제1 위치에 대해 횡방향에 변위한 제2 위치로 이동 가능한 성막원 유닛을 구비한다. 성막 장치는, 성막원 유닛이 제1 위치부터 제2 위치로 이동하는 것에 연동하여, 반송 유닛의 하방으로 발판을 전개하는 발판 유닛을 구비한다.
[해결 수단] 기판을 반송하면서 기판에 대해 성막을 행하는 인라인 방식의 성막 장치는, 기판을 반송하는 반송 유닛과, 성막원을 포함하고, 반송 유닛의 하방의 제1 위치와, 제1 위치에 대해 횡방향에 변위한 제2 위치로 이동 가능한 성막원 유닛을 구비한다. 성막 장치는, 성막원 유닛이 제1 위치부터 제2 위치로 이동하는 것에 연동하여, 반송 유닛의 하방으로 발판을 전개하는 발판 유닛을 구비한다.
Description
본 발명은, 성막 장치 및 발판 유닛에 관한 것이다.
종래, 기판을 반송하면서 기판에 대해 처리를 행하는 인라인 방식의 장치가 알려져 있다. 특허문헌 1에는, 인라인 방식의 기판처리 장치에 있어서, 복수의 처리 유닛이 상하 방향으로 나란히 배치되는 것이 개시되어 있다.
상기 종래 기술에서는, 최하단의 처리 유닛 이외의 처리 유닛의 유지 보수는, 발디딤대 등을 준비하여 행할 필요가 있다. 이 때문에, 발디딤대의 준비 및 철거에 시간을 필요로 하여, 유지 보수 시의 작업 효율이 저하하는 일이 있다.
본 발명은, 유지 보수 시의 작업 효율을 향상시키는 기술을 제공한다.
본 발명의 일 측면에 의하면,
기판을 반송하는 반송 유닛과,
성막원을 포함하고, 상기 반송 유닛의 하방의 제1 위치와, 상기 제1 위치에 대하여 횡방향으로 변위된 제2 위치로 이동 가능한 성막원 유닛을 구비하고,
기판을 반송하면서 기판에 대해 성막을 행하는 인라인 방식의 성막 장치로서,
상기 성막원 유닛이 상기 제1 위치부터 상기 제2 위치로 이동하는 것에 연동하여, 상기 반송 유닛의 하방으로 발판을 전개하는 발판 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 성막 장치가 제공된다.
본 발명에 의하면, 유지 보수 시의 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
[도 1] 일 실시형태에 관한 성막 장치를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
[도 2] 도 1의 성막 장치의 측면도이다.
[도 3] 도 1의 성막 장치의 내부 구조를 모식적으로 나타내는 도면이다.
[도 4] 발판 유닛의 구성을 나타내는 사시도이다.
[도 5] 발판 유닛을 성막 장치의 정면에서 본 도면이다.
[도 6] 증착원 유닛의 이동 및 발판 유닛의 전개 동작을 설명하는 도면이다.
[도 7] (A)은, 전개 동작 전의 발판 유닛을 성막 장치의 정면에서 본 도면이다. (B)은, 전개 동작 중의 발판 유닛을 성막 장치의 정면에서 본 도면이다.
[도 8] 반송 유닛 및 발판 유닛의 위치 관계를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
[도 9] 발판 유닛을 성막 장치의 정면에서 본 도면이다.
[도 10] 일 실시형태에 관한 성막 장치의 측면도이다.
[도 11] 일 실시형태에 관한 성막 장치를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
[도 12] 도 11의 성막 장치의 평면도이다.
[도 13] 일 실시형태에 관한 성막 장치를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
[도 14] 발판 유닛의 개략을 나타내는 사시도이다.
[도 15] 발판 유닛의 구성을 나타내는 도면으로, 복수의 재치부, 승강부 및 이들의 주변 구성을 나타내는 도면이다.
[도 16] 마루판 부재의 구성을 나타내는 도면으로, 마루판 부재(81)을 이면측으로부터 본 사시도이다.
[도 17] 레일 부재의 구성을 나타내는 사시도이다.
[도 18] 재치부로부터 레일 부재로의 마루판 부재의 전달 동작을 설명하는 동작 설명도이다.
[도 2] 도 1의 성막 장치의 측면도이다.
[도 3] 도 1의 성막 장치의 내부 구조를 모식적으로 나타내는 도면이다.
[도 4] 발판 유닛의 구성을 나타내는 사시도이다.
[도 5] 발판 유닛을 성막 장치의 정면에서 본 도면이다.
[도 6] 증착원 유닛의 이동 및 발판 유닛의 전개 동작을 설명하는 도면이다.
[도 7] (A)은, 전개 동작 전의 발판 유닛을 성막 장치의 정면에서 본 도면이다. (B)은, 전개 동작 중의 발판 유닛을 성막 장치의 정면에서 본 도면이다.
[도 8] 반송 유닛 및 발판 유닛의 위치 관계를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
[도 9] 발판 유닛을 성막 장치의 정면에서 본 도면이다.
[도 10] 일 실시형태에 관한 성막 장치의 측면도이다.
[도 11] 일 실시형태에 관한 성막 장치를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
[도 12] 도 11의 성막 장치의 평면도이다.
[도 13] 일 실시형태에 관한 성막 장치를 모식적으로 나타내는 정면도이다.
[도 14] 발판 유닛의 개략을 나타내는 사시도이다.
[도 15] 발판 유닛의 구성을 나타내는 도면으로, 복수의 재치부, 승강부 및 이들의 주변 구성을 나타내는 도면이다.
[도 16] 마루판 부재의 구성을 나타내는 도면으로, 마루판 부재(81)을 이면측으로부터 본 사시도이다.
[도 17] 레일 부재의 구성을 나타내는 사시도이다.
[도 18] 재치부로부터 레일 부재로의 마루판 부재의 전달 동작을 설명하는 동작 설명도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 실시 형태를 상세하게 설명한다. 한편, 이하의 실시 형태는 특허청구의 범위에 관한 발명을 한정하는 것은 아니며, 또한 실시 형태에서 설명되고 있는 특징의 조합 모두가 반드시 발명에 필수적인 것은 아니다. 실시 형태에서 설명되고 있는 복수의 특징 중 둘 이상의 특징이 임의로 조합되어도 된다. 또한, 동일 또는 유사한 구성에는 동일한 참조 번호를 붙여, 중복된 설명은 생략한다.
또한, 각 도면에 있어서, X방향은 기판의 반송 방향, Y방향은 기판의 반송 방향에 교차하는 폭 방향, Z방향은 상하 방향을 나타낸다.
<제1 실시 형태>
<성막 장치의 개요>
도 1은, 일 실시형태에 관한 성막 장치(1)을 모식적으로 나타내는 정면도이다. 도 2은, 도 1의 성막 장치(1)의 측면도이다. 도 3은, 도 1의 성막 장치(1)의 내부 구조를 모식적으로 나타내는 도면이다.
성막 장치(1)는, 기판을 반송하면서 기판에 대해 성막을 행하는 인라인 방식의 성막 장치이다. 성막 장치(1)는, 예를 들면 스마트폰용의 유기 EL 표시 장치의 표시 패널의 제조에 사용되고, 복수 대 나란히 배치되어 그 제조 라인을 구성할 수 있다.
본 실시형태에서는, 성막 장치(1)에는 기판 보유지지 트레이(100)에 보유지지된 기판이 순차 반송되고, 성막 장치(1)는 반송되어 온 기판에 대해 유기 EL의 증착을 행한다. 기판은, 예를 들면 성막 장치(1)로 반송되기보다 상류 공정에서 마스크와 겹쳐진 상태로 기판 보유지지 트레이(100)에 보유지지되어 성막 장치(1)로 반송된다. 따라서, 성막 장치(1)에서는 마스크에 의해 소정 패턴의 증착 물질의 박막이 기판 상에 형성된다. 성막 장치(1)에서 증착이 행해지는 기판의 재질로서는, 글래스, 수지, 금속 등을 적절히 선택 가능하고, 글래스 상에 폴리이미드 등의 수지층이 형성된 것이 바람직하게 사용된다. 증착 물질로서는, 유기 재료, 무기 재료(금속, 금속산화물 등) 등의 물질이다. 성막 장치(1)는, 예를 들면, 표시 장치(플랫 패널 디스플레이 등)나 박막 태양 전지, 유기 광전 변환 소자(유기 박막 촬상 소자) 등의 전자 디바이스나, 광학 부재 등을 제조하는 제조 장치에 적용 가능하고, 특히, 유기 EL 패널을 제조하는 제조 장치에 적용 가능하다. 이하의 설명에서는 성막 장치(1)이 진공 증착에 의해 기판에 성막을 행하는 예에 대하여 설명하지만, 성막 방법의 양태는 이에 한정되지 않고, 스퍼터나 CVD 등의 각종 성막 방법을 적용 가능하다.
성막 장치(1)는, 반송 유닛(2)과, 증착원 유닛(3)과, 방착판(6)과, 이동 유닛(7)과, 프레임부(101)를 포함한다.
프레임부(101)은, 성막 장치(1)의 반송 유닛(2) 등의 구성요소를 지지가능하게 설치된다. 도 1의 예에서는, 프레임부(101)은, 기둥 및 보를 포함하고, 반송 유닛(2) 및 진공 펌프(102)를 지지하고 있다. 또한, 프레임부(101)에는, 작업용의 크레인이나 작업자가 유지 보수를 행하기 위한 통로 등이 설치되어도 된다.
반송 유닛(2)은, 기판을 반송한다. 본 실시형태에서는, 반송 유닛(2)은, 기판을 보유지지한 상태의 기판 보유지지 트레이(100)를 반송함으로써, 기판의 반송을 행한다. 반송 유닛(2)은, 반송 챔버(21)와, 반송 롤러(22)를 포함한다.
반송 챔버(21)은, 내부를 진공으로 유지 가능한 상자형의 챔버이다. 반송 챔버(21)의 내부 공간(210)은, 진공 분위기 또는 질소 가스 등의 불활성 가스 분위기로 유지되고 있다. 본 실시형태에서는, 반송 챔버(21)은 진공 펌프(102)에 접속되어 있다. 한편, 본명세서에 있어서 「진공」이란, 대기압보다 낮은 압력의 기체로 채워진 상태, 바꾸어 말하면 감압 상태를 말한다.
반송 챔버(21)에는, 기판 보유지지 트레이(100)가 반입되는 반입 개구(211) 및 기판 보유지지 트레이(100)가 반출되는 반출 개구(212)가 형성되어 있다. 또한, 반송 챔버(21)의 하부에는, 내부 공간(210)과 증착원 챔버(31)의 내부 공간(310)을 연통하기 위한 연통 개구(213)가 형성되어 있다. 한편, 반입 개구(211) 및 반출 개구(212)에는, 내부 공간(210)을 진공으로 유지하기 위해 도시하지 않은 게이트 밸브 등이 설치되어도 된다.
반송 롤러(22)은, 기판을 보유지지한 기판 보유지지 트레이(100)를 반송한다. 반송 롤러(22)은, 반송 챔버(21)의 내부 공간(210)에 설치된다. 반송 롤러(22)은, 예를 들면 금속 재료로 형성된, 회전 가능하게 지지되는 원통 형상의 부재이다. 반송 롤러(22)은, 예를 들면 반송 챔버(21)의 외부에 설치된 도시하지 않은 전동 모터에 의해 구동한다.
또한, 본 실시형태에서는, 반송 유닛(2)의 하부에는, 보강용의 리브(23)가 설치되고 있다.
증착원 유닛(3)은, 기판에 대해 증착 물질을 방출하는 증착원(32)(성막원)을 가지는 유닛(성막원 유닛)이다. 본 실시형태에서는, 하나의 반송 유닛(2)에 대하여 3개의 증착원 유닛(3)이 기판의 반송 방향(X방향)으로 나란히 배치되고 있다. 그러나, 증착원 유닛(3)의 수는 적절히 설정 가능하고, 2개 이하 또는 4개이상이어도 된다. 또한, 증착원 유닛(3)은, 증착 처리의 실행 시에는 반송 유닛(2)의 아래쪽에 위치하여 반송 유닛(2)의 하부에 접속된다. 증착원 유닛(3)은, 증착원 챔버(31)와, 증착원(32)을 포함한다.
증착원 챔버(31)은, 내부를 진공으로 유지 가능한 상자형의 챔버이다. 증착원 챔버(31)의 내부 공간(310)은, 반송 챔버(21)의 상부에 설치된 연통 개구(311)를 통해 반송 챔버(21)의 내부 공간(210)과 연통 가능하다. 내부 공간(310)은, 가동시에는 내부 공간(210)과 마찬가지로, 진공분위기, 또는 질소 가스 등의 불활성 가스 분위기로 유지되고 있다.
증착원(32)은, 반송 유닛(2)에 의해 반송되는 기판에 대한 성막을 위해 증착 물질을 방출한다. 예를 들면, 증착원(32)은 Y 방향으로 나란히 배치된 복수의 노즐(미도시)을 포함하고, 각각의 노즐로부터 증착 물질이 방출된다. 또한, 예를 들면, 증착원(32)은 증착 물질을 저류하는 저류부 및 저류부에 저류된 증착 물질을 가열하는 히터(모두 미도시)를 포함한다. 저류부에 저류된 증착 물질이 히터에 의해 가열되어 기화함으로써, 증착원(32)으로부터 증착 물질이 방출된다.
또한, 증착원 유닛(3)은, 증착원(32)의 불사용시에 증착원(32)을 차폐하는 셔터 또는 증착원(32)에 의한 증착 물질의 증발량을 감시하는 증발 레이트 모니터 등(모두 미도시)을 포함하여도 된다.
방착판(6)은, 증착원(32)로부터 방출된 증착 물질이 증착원 챔버(31) 또는 반송 챔버(21)의 내벽 등에 부착되는 것을 방지한다. 예를 들면, 방착판(6)은 증착원 챔버(31)에 지지된다. 본 실시형태에서는, 방착판(6)은, 증착원(32)을 덮도록 내부 공간(310)으로부터 내부 공간(210)에 걸쳐 위치하고, 상부에는 개구가 형성되고 있다. 이러한 구성에 의해, 증착 물질의 일부는 개구를 통해 기판에 부착되는 한편, 나머지 증착 물질은 방착판(6)에 부착된다. 이와 같이, 방착판(6)은, 증착 물질이 기판에 부착되는 것을 허용하면서, 증착 물질이 증착원 챔버(31) 또는 반송 챔버(21)의 내벽 등에 부착되는 것을 방지한다.
한편, 본 실시형태에서는, 방착판(6)은, 증착원 챔버(31)에 대하여 상하로 상대 이동 가능하도록 설치된다. 보다 구체적으로는, 방착판(6)은, 상측 부분(61)과 하측 부분(62)을 포함하고, 상측 부분(61)이 증착원 챔버(31)에 대해 상하로 상대 이동 가능하게 설치된다. 이에 의해, 증착원 유닛(3)이 이동 유닛(7)에 의해 횡방향으로 이동할 때에 반송 유닛(2)과 방착판(6)의 간섭을 회피하기 위해 필요한 증착원 유닛(3)의 하강량을 저감할 수 있다.
한편, 반송 챔버(21) 또는 증착원 챔버(31)에는, 방착판(6) 이외에도 방착판이 설치되어도 된다. 예를 들면, 반송 챔버(21)의 내부 천장면 또는 측면 등에 방착판이 설치되어도 된다.
이동 유닛(7)은, 증착원 유닛(3)을 이동시키는 유닛이다. 본 실시형태에서는, 이동 유닛(7)은 증착원 유닛(3)의 하방에 설치되고, 증착원 유닛(3)을 지지하면서 증착원 유닛(3)을 상하 방향(Z방향) 또는 횡방향(Y방향)으로 이동시킨다. 이동 유닛(7)은, 횡방향 이동부(71)과 승강부(72)를 포함한다.
횡방향 이동부(71)은, 증착원 유닛(3)을 횡방향(Y방향)으로 이동시킨다. 본 실시형태에서는, 횡방향 이동부(71)은 증착원 유닛(3)을 기판의 반송 방향(X방향)에 교차하는 기판의 폭 방향(Y방향)으로 이동시킨다. 횡방향 이동부(71)은, 바닥면에 설치된 가이드부(711)과, 가이드부(711)를 따라 증착원 유닛(3)을 이동시키기 위한 구동부(712)를 포함한다. 구동부(712)로서는 주지의 기술을 적절히 채용 가능한데, 예를 들면, 가이드부(711)로서의 레일 위를 주행 가능한 구동 바퀴를 모터 등에 의해 회전시켜도 된다.
승강부(72)는, 증착원 유닛(3)을 승강시킨다. 본 실시형태에서는, 승강부(72)는, 증착원 유닛(3)을 상하 방향(Z방향)으로 승강시킨다. 승강부(72)는, 증착원 유닛(3)을 지지하는 증착원 유닛 지지부(721)와, 증착원 유닛 지지부(721)를 승강시키는 구동부(722)을 포함한다. 구동부(722)로서는 주지의 기술을 채용 가능한데, 예를 들면 전동 실린더 등에 의해 증착원 유닛 지지부(721)를 승강시켜도 된다.
본 실시형태에서는, 반송 유닛(2)의 유지 보수를 행하는 경우, 이동 유닛(7)이 증착원 유닛(3)을 반송 유닛(2)의 하방 위치부터 횡방향으로 이동시킴으로써, 작업자가 반송 챔버(21)의 하부로부터 반송 챔버(21)의 내부에 액세스하는 것이 가능하게 된다. 이 때, 이동 유닛(7)은, 승강부(72)에 의해 증착원 유닛(3)을 하방으로 이동시키고 나서 횡방향 이동부(71)에 의해 증착원 유닛(3)을 횡방향으로 이동시킨다. 이 동작에 대해서는 후술하는 발판 유닛(4)의 동작 설명과 함께 후술한다(도 6).
한편, 본 실시형태에서는, 이동 유닛(7)은, 복수의 증착원 유닛(3)에 대해 각각 설치된다. 따라서, 본 실시형태의 성막 장치(1)는, 복수의 증착원 유닛(3)을 각각 독립적으로 이동시킬 수 있다. 한편, 복수의 이동 유닛(7)을 동기시켜, 복수의 증착원 유닛(3)을 함께 이동시켜도 된다. 또한, 증착원 유닛(3)보다 적은 수의 이동 유닛(7)이 설치되어, 하나의 이동 유닛(7)으로 복수의 증착원 유닛(3)을 이동시켜도 된다.
한편, 설명은 생략하였으나, 성막 장치(1)는, 반송 유닛(2), 증착원 유닛(3) 또는 이동 유닛(7) 등의 동작을 제어하는 제어 장치 등을 포함할 수 있다.
<발판 유닛의 구성>
도 4는, 발판 유닛(4)의 구성을 나타내는 사시도이며, 발판(41)이 전개된 상태를 나타내고 있다. 또한, 도 5는, 발판 유닛(4)을 성막 장치(1)의 정면에서 본 도면이며, 발판(41)이 전개된 상태를 나타내고 있다. 발판 유닛(4)은, 발판(41)과, 승강부(42)와, 난간부(43)와, 접속부(44)와, 고정부(45)를 포함한다. 한편, 도 5에서는, 승강부(42) 및 난간부(43)는 생략되어 있다.
발판(41)은, 반송 유닛(2)의 유지 보수 등에 사용되고, 발디딤대 또는 스텝 등으로 부르기도 한다. 발판(41)은, 기둥부(411)와, 보부(412)와, 마루판부(413)를 포함한다.
기둥부(411)는, 보부(412)를 지지한다. 하나의 기둥부(411)는, 2개의 기둥 부재(4111)와, 2개의 기둥 부재(4111)를 회동 가능하게 연결하는 동시에 바닥면에 접하는 연결부(4112)를 포함한다. 본 실시형태에서는, 합계 4개의 기둥부(411)가 설치되고 있다. 또한, 기둥 부재(4111)는, 연결부(4112)와 접속하는 단부와 반대측의 단부에서, 보부(412)의 보 부재(4121) 또는 보 부재(4122)와 회동 가능하게 접속한다.
보부(412)는 마루판부(413)를 지지한다. 보부(412)는, 길이가 다른 보 부재(4121) 및 보 부재(4122)와, 보 부재끼리를 접속하는 접속 부재(4123)를 포함한다. 보부(412)는, X 방향으로 이격된 2개의 부분으로 구성되고, 각 부분은, 2개의 보 부재(4121), 2개의 보 부재(4122), 3개의 접속 부재(4123)에 의해 서로 접속되어 Y 방향으로 연장하도록 설치되고 있다. 또한, 접속 부재(4123)는, 보 부재(4121, 4122)를 회동 가능하게 지지하고 있다. 이와 같이게 보부(412)는 복수의 보 부재가 회동 가능하게 설치되므로, 접는 것이 가능하다.
마루판부(413)는, 반송 유닛(2)의 유지 보수 시 등에, 작업자가 이동 가능한 영역을 형성한다. 마루판부(413)는, 작업자의 반송 유닛(2)에의 액세스를 용이하게 하기 위해, 성막 장치(1)가 설치되는 평면으로부터 소정의 높이에 배치된다. 마루판부(413)는, Y 방향으로 나란히 설치되는 복수의 판 형상 부재(4131~4135)를 포함한다. 판 형상 부재(4131~4135)는, X방향의 양단에서, 보 부재(4121), 보 부재(4122), 또는 접속 부재(4123)에 각각 지지된다. 따라서, 마루판부(413)는, 보부(412)가 접혀지는 것에 동반하여 접혀진다.
승강부(42)는, 전개된 발판(41)의 마루판부(413)로 작업자가 승강하기 위한 것이다. 본 실시형태에서는, 승강부(42)는 사다리이다. 그러나, 승강부(42)는 계단, 스텝 등 이어도 된다. 또한, 승강부(42)는, 예를 들면 보부(412)에 회동 가능하게 지지된다.
난간부(43)는, 전개된 발판(41)의 마루판부(413)에 대해 기립하는 복수의 난간(431~433)을 포함한다. 난간(431)은 판 형상 부재(4131)에, 난간(432)은 판 형상 부재(4133)에, 난간(433)은 판 형상 부재(4135)에, 각각 회동 가능하게 설치된다. 발판(41)이 접혀질 때에는, 난간(431~433)은 마루판부(413)에 쓰러뜨려진 상태에서 마루판부(413)와 함께 접혀진다.
본 실시형태에서는, 접속부(44)는, 보부(412)와 이동 유닛(7)을 접속함으로써, 이동 유닛(7)을 통해 발판(41)과 증착원 유닛(3)이 접속된다. 한편, 접속부(44)는, 발판(41)과 증착원 유닛(3)을 직접적으로 접속해도 된다.
고정부(45)는, 발판(41)을 소정의 위치에서 고정적으로 지지한다. 본 실시형태에서는, 고정부(45)는, Y방향에서 증착원 유닛(3)에 가장 떨어져 설치되는 보 부재(4121)의 증착원 유닛(3)으로부터 먼 측의 단부를 지지한다. 고정부(45)는, 프레임부(101) 또는 반송 유닛(2) 등과 같이, 증착원 유닛(3)의 이동에 추종하지 않는 구성 요소에 지지될 수 있다. 한편, 여기서는, 고정부(45) 자체는 고정적으로 설치되고 있지만, 고정부(45)는, 보 부재(4121)를 회동, 또는 슬라이드 가능하게 지지해도 된다.
본 실시형태에서는, 발판 유닛(4)이, 3개의 증착원 유닛(3)에 대하여 각각 설치된다. 즉, 성막 장치(1)는 3개의 발판 유닛(4)을 포함한다.
그런데, 본 실시형태에서는, 반송 유닛(2)의 반송 챔버(21) 내의 유지 보수를 행할 경우에는, 작업자는, 증착원 유닛(3)을 횡방향으로 이동시키고, 노출된 연통 개구(213)를 통해 내부 공간(210)에 액세스할 수 있다. 한편, 반송 유닛(2)은 증착원 유닛(3)의 상방에 설치되어 있기 때문에, 작업자는 바닥면에 선 상태로 반송 유닛(2)의 유지 보수를 행할 수 없는 경우가 있다. 이러한 경우 작업자가 발디딤대 등의 준비 및 철거에 시간을 요하게 되면, 유지 보수 시의 작업 효율이 저하된다. 이에, 본 실시형태에서는, 이하에서 설명하는 바와 같이, 증착원 유닛(3)이 횡방향으로 이동하는 것에 연동하여 반송 유닛(2)의 하방으로 발판이 전개된다.
<발판 유닛의 동작 설명>
도 6은, 증착원 유닛(3) 및 발판 유닛(4)의 동작을 설명하는 도면이다. 또한, 도 7(A)은, 전개 동작 전의 발판 유닛(4)을 성막 장치(1)의 정면에서 본 도면이며, 도 6의 상태(ST1) 및 상태(ST2)에 있어서의 발판 유닛(4)을 나타내고 있다. 또한, 도 7(B)은, 전개 동작 중의 발판 유닛(4)을 성막 장치(1)의 정면에서 본 도면이며, 도 6의 상태(ST3)에서의 발판 유닛(4)을 나타내고 있다. 한편, 도 7 (A) 및 도 7(B)에서는, 승강부(42) 및 난간부(43)는 생략되어 있다.
상태(ST1)은, 증착원 유닛(3)이 반송 유닛(2)과 접속하는 접속 위치(POS1)에 위치하고 있는 상태이다. 상태(ST1)은 성막 장치(1)가 기판에 대한 증착을 행할 때의 상태이다. 상태(ST1)에서는, 증착원 유닛(3)이 반송 유닛(2)의 하방에 위치하고, 반송 유닛(2)의 하부와 증착원 유닛(3)의 상부가 접속하고 있다.
상태(ST2)은, 증착원 유닛(3)이 접속 위치(POS1)로부터 그 하방의 접속 해제 위치(POS2)로 이동한 상태이다. 증착원 유닛(3)은, 이동 유닛(7)의 승강부(72)에 의해 접속 위치(POS1)로부터 접속 해제 위치(POS2)로 ―Z 방향으로 이동한다.
한편, 상태(ST1) 또는 상태(ST2)에서는, 발판 유닛(4)은 접혀진 상태이다. 이들 상태에서는, 기둥 부재(4111), 보 부재(4121) 및 보 부재(4122)가 Z 방향으로 연장하고, 접속 부재(4123)가 Y 방향으로 연장하도록 배치된다. 또한, 마루판부(413)는, 보부(412)를 따라 접혀져 있다. 이에 의해, 발판 유닛(4)은, 전체적으로 Y 방향으로 컴팩트하게 구성된다.
상태(ST3)은, 증착원 유닛(3)의 유지 보수 위치로의 이동 도중의 상태이다. 발판 유닛(4)의 발판(41)은, 일방의 단부가 고정부(45)에 소정 위치에서 지지된 상태이고, 접속부(44)에 접속하는 타방의 단부가 증착원 유닛(3)의 이동에 연동하여 횡방향(도면 우측 방향, -Y방향)으로 이동함으로써, 접혀진 상태로부터 전개되어 나간다.
상태(ST4)은, 증착원 유닛(3)의 횡방향으로의 이동이 완료된 상태이다. 상태(ST4)에 있어서, 증착원 유닛(3)은, 반송 유닛(2) 또는 증착원 유닛(3)의 유지 보수가 실행되는 유지 보수 위치(POS3)에 위치하고 있다. 증착원 유닛(3)이 유지 보수 위치(POS3)에 위치한 상태에서는, 발판(41)은 반송 유닛(2)의 하방으로 전개된 상태가 된다.
도 8은, 반송 유닛(2) 및 발판 유닛(4)의 위치 관계를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 본 실시형태에서는, 증착원 유닛(3)이 유지 보수 위치(POS3)에 위치하는 경우(도 8의 중앙의 증착원 유닛(3) 참조), 전개된 발판(41)이, 반송 유닛(2)의 연통 개구(213)의 하방에 위치하도록 전개된다. 바꾸어 말하면, 전개된 발판(41)은, 반송 유닛(2)의 하방에 있어서, 연통 개구(213)에 대향하도록 배치된다. 다시 말하면, 증착원 유닛(3)이 유지 보수 위치(POS3)에 있을 경우, 발판(41)은, 평면에서 보았을 때 반송 유닛(2)의 연통 개구(213)와 상하 방향(Z방향)으로 겹치도록 배치되고 있다. 발판(41)이 연통 개구(213)의 하방에 배치됨으로써, 작업자는, 발판에 오른 상태로 내부 공간(210)에 보다 용이하게 액세스할 수 있다. 또한, 증착원 유닛(3)이 유지 보수 위치(POS3)에 위치하는 경우, 연통 개구(213)의 Y방향의 전체 영역에 걸쳐, 평면에서 보았을 때 발판(41)이 연통 개구(213)와 겹치도록 배치되어도 된다. 이에 의해, 작업자는, 내부 공간(210)의 대략 전체에 대해 보다 용이하게 액세스할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 의하면, 발판 유닛(4)은, 증착원 유닛(3)이 접속 해제 위치(POS2)로부터 유지 보수 위치(POS3)로 이동하는 것에 연동하여, 반송 유닛(2)의 하방으로 발판(41)을 전개한다. 이에 의해, 반송 유닛(2)의 유지 보수를 행하는 경우에 반송 유닛(2)에의 액세스가 용이해지는 동시에, 발디딤대 등의 준비 및 철거가 필요 없게 되므로, 유지 보수 시의 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
<제2 실시 형태>
도 9는, 제2 실시 형태에 관한 발판 유닛(9)을 성막 장치(1)의 정면에서 본 도면이며, 발판(91)이 전개된 상태를 나타내고 있다. 제2 실시 형태에서는, 보부 및 마루판부의 양태가 제1 실시 형태와 다르다. 이하, 제1 실시 형태와 마찬가지 구성에 대해서는 같은 부호를 붙여 설명을 생략하는 경우가 있다.
본 실시형태에서는, 발판(91)은, 기둥부(411)와 보부(912)과 마루판부(913)를 포함한다. 마루판부(913)를 지지하는 보부(912)는, 보 부재(9121), 보 부재(9122) 및 접속 부재(9123)를 포함한다. 여기에서, 보 부재(9121) 및 보 부재(9122)는, 발판(91)이 전개된 상태에서, 증착원 유닛(3)의 이동 방향인 Y방향에 대해 경사지게 설치되고 있다. 보다 구체적으로는, X방향에서 볼때, 보 부재(9121) 및 보 부재(9122)가 연장하는 방향은, Y방향 성분 및 Z방향 성분을 포함한다.
이러한 구성에 의해, 유지 보수 위치(POS3)에 있어서, 증착원 유닛(3)의 이동 방향에 대해 보 부재(9121) 및 보 부재(9122)의 축방향이 비스듬하게 되기 때문에, 증착원 유닛(3)이 횡방향으로 이동했을 때 보 부재(9121) 및 보 부재(9122)가 회동하기 쉬워진다. 따라서, 본 실시형태에 의하면, 전개된 발판(91)을 용이하게 접을 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 판 형상 부재(9131~9135)는, 마루판부(913)의 바닥면이 대략 수평하게 되도록 하는 형상을 가지고 있다. 다시 말하면, Y방향에 대해 경사지게 연장하는 보 부재(9121) 또는 보 부재(9122)에 지지되는 판 형상 부재(9131), 판 형상 부재(9133) 및 판 형상 부재(9135)는, 마루판부(913)의 바닥면을 구성하는 면이 수평면이 되도록 형성된다. 그와 함께, 판 형상 부재(9131), 판 형상 부재(9133) 및 판 형상 부재(9135)는, 보 부재(9121) 또는 보 부재(9122)에 지지되는 면이, 보 부재(9121) 또는 보 부재(9122)가 연장하는 방향에 대응한 경사면이 되도록 형성된다. 이에 의해, 발판(91)의 바닥면을 수평으로 유지하면서, 발판(91)을 용이하게 접을 수 있다.
<다른 실시 형태>
제1 실시 형태에서는 난간부(43)가 발판 유닛(4)에 설치되고 있지만, 반송 유닛(2)의 하부에 난간이 설치되어도 된다. 도 10은, 일 실시형태에 관한 성막 장치(1)의 측면도이다. 이 예에서는, 난간(931)이 반송 유닛(2)의 리브(23)로부터 하방으로 연장하도록 설치되고 있다. 이러한 난간(931)이, 반송 유닛(2)의 하부로 Y 방향에 걸쳐 설치되어도 된다.
또한, 난간이 설치되는 위치나 개수 등은 적절히 변경 가능하다. 예를 들면, 도 4의 예에서는, 난간부(43)는, 마루판부(413)에 대해 X방향의 일방 측에만 설치되고 있지만, 마루판부(413)에 대해 X방향의 양측에 설치되어도 된다. 또는, 발판(41)이 X 방향으로 복수개 나란히 설치되는 경우, X방향의 양쪽 외측의 발판(41)의 양쪽 외측의 단부에만 난간부(43)가 설치되어도 된다.
또한, 접속부(44)는, 발판(41)과 증착원 유닛(3)의 접속을 해제 가능하도록 설치되어도 된다. 이에 의해, 발판(41)이 필요할 경우에만 발판(41)을 전개할 수 있다.
또한, 발판(41)의 구성은 적절히 변경 가능하다. 상기 실시 형태에서는 2개의 기둥 부재(4111)가 연결부(4112)에 의해 연결되고 있었지만, 기둥 부재(4111)가 각각 독립적으로 바닥면에 접지하여 보부(412)를 지지해도 된다.
또한, 성막 장치(1)는, 증착원 유닛(3)의 기울기에 관한 값을 검출하는 센서를 구비하고 있어도 된다. 그리고, 성막 장치(1)는, 이 센서에 의해 검출된 증착원 유닛(3)의 기울기에 관한 값이 소정 조건을 만족하지 않을 경우에 증착원 유닛(3)의 승강 동작, 즉, 접속 위치(POS1)―접속 해제 위치(POS2) 간의 이동 동작을 정지해도 된다.
예를 들면, 센서는, 진자식 또는 플로트식의 경사 센서와 같이 증착원 유닛(3)의 기울기를 직접적으로 검출하는 것이어도 되고, 가속도 센서와 같이 기울기를 간접적으로 검출하는 것이어도 된다. 또한, 예를 들면, 센서는, 양측의 구동부(722)의 구동 부하에 관한 값(예를 들면, 구동 전류값) 또는 양측의 증착원 유닛 지지부(721)에 걸리는 증착원 유닛(3)의 하중 등, 증착원 유닛(3)에 기울기가 발생하여 있는 것을 파악할 수 있는 값을 검출하는 것이어도 된다.
또한, 예를 들면, 성막 장치(1)는, 센서에 의해 검출한 증착원 유닛(3)의 기울기가 임계값 이상일 경우에, 증착원 유닛(3)의 승강 동작을 정지해도 된다. 혹은, 성막 장치(1)는, 양측의 구동부(722)의 구동 전류값이나, 증착원 유닛 지지부(721)에 걸리는 증착원 유닛(3)의 하중의 차가 임계값 이상일 경우에 증착원 유닛(3)의 승강 동작을 정지해도 된다.
<제3 실시 형태>
도 11은, 제3 실시 형태에 관한 성막 장치(13)을 모식적으로 나타내는 정면도이다. 또한, 도 12은, 도 11의 성막 장치(13)의 평면도이며, 중앙의 증착원 유닛(3)이 유지 보수 위치(POS3)에 위치한 상태를 나타내고 있다. 본 실시형태는, 성막 장치(13)이 취출 유닛(5)을 포함하고 있는 점에서 제1 실시 형태와 다르다. 이하, 제1 실시 형태와 마찬가지 구성에 대해서는 같은 부호를 붙이고 설명을 생략하는 경우가 있다.
취출 유닛(5)은, 유지 보수 위치(POS3)에 위치하는 증착원 유닛(3)의 상방으로부터 소정의 부품을 꺼낸다. 소정의 부품으로서는, 예를 들면, 증착원 유닛(3)의 증착원 챔버(31)에 수용되어 있는 증착원 챔버(31) 및 방착판(6) 등을 들 수 있다. 취출 유닛(5)은, 증착원 유닛(3)의 상방을 이동 가능하도록 프레임부(101)에 지지된다. 취출 유닛(5)은, 보유지지부(51)와, 연직 이동부(52)와, 수평 이동부(53)를 포함한다.
보유지지부(51)는, 소정의 부품을 보유지지한다. 예를 들면, 보유지지부(51)는, 그 선단 부분이 수평 방향 등의 소정의 방향으로 이동함으로써 소정의 부품을 파지해도 된다. 또는, 보유지지부(51)에는, 옥괘(玉掛; sling)용의 와이어를 걸기 위한 후크가 설치되어 있고, 소정의 부품을 와이어로 매다는 것에 의해 보유지지해도 된다. 한편, 보유지지부(51)에 대해서는, 크기가 다른 것에 대응 가능하도록, 접이 가능하게 구성되어도 된다.
연직 이동부(52)는, 보유지지부(51)를 연직 방향으로 이동시킨다. 연직 이동부(52)로서는 공지의 기술을 적절히 채용 가능하지만, 예를 들면, 볼나사 기구를 가지는 전동 실린더나 공압식의 밸런스 실린더 등이 사용되어도 된다.
수평 이동부(53)는, 보유지지부(51)를 수평 방향으로 이동시킨다. 상세하게는, 수평 이동부(53)는, 연직 이동부(52)를 수평 방향으로 이동시킴으로써, 보유지지부(51)를 수평 방향으로 이동시킨다. 예를 들면, 수평 이동부(53)는, 연직 이동부(52)를 X 방향으로 이동시키는 X방향 이동부(531)와, 연직 이동부(52)를 Y 방향으로 이동시키는 Y방향 이동부(532)를 포함한다. 본 실시형태에서는, Y방향 이동부(532)가 연직 이동부(52)를 Y 방향으로 이동시키고, X방향 이동부(531)가 Y방향 이동부(532)를 X 방향으로 이동시킨다. X방향 이동부(531) 및 Y방향 이동부(532)로서는 공지의 기술을 적절히 채용 가능하지만, 예를 들면 랙 피니언 기구 및 이 피니언을 회전시키는 전동 모터를 포함하여 구성되어도 된다. 또한, 활차식의 기구를 사용하여, 구동원은 가지지 않고 X방향 및 Y방향 중 적어도 일방의 이동은 작업자에 의한 인력에 의해 행해도 된다.
예를 들면, 취출 유닛(5)은, 유지 보수 위치(POS3)에 위치하는 증착원 유닛(3)으로부터 소정의 부품을 꺼내면, 꺼낸 부품을 도시하지 않은 유지 보수용의 대 등에 재치한다. 이에 의해, 유지 보수 대상의 부품이 증착원 챔버(31) 내에 있을 경우보다 작업자에 의한 유지 보수가 행하기 쉬워진다.
한편, 취출 유닛(5)이 복수 설치되는 구성도 채용 가능하다. 이 경우, 양쪽 외측의 증착원 유닛(3)이 유지 보수 위치(POS3)로 인출되어 있을 경우, 각 증착원 유닛(3)으로부터의 부품의 취출을 병행하여 행할 수 있다. 또한, 취출 유닛(5)이 복수 설치될 경우, 예를 들면 X방향 이동부(531)의 레일 부분 등이 공용으로 되어도 된다.
<제4 실시 형태>
도 13은, 제4 실시 형태에 관한 성막 장치(14)를 모식적으로 나타내는 정면도이다. 본 실시형태에서는, 발판 유닛의 구성이 제1 실시 형태와 다르다. 이하, 제1 실시 형태와 마찬가지 구성에 대해서는 같은 부호를 붙여 설명을 생략하는 경우가 있다. 또한, 같은 구성요소가 복수 설치되는 경우, 도면을 보기 쉽게 하기 위해 일부 구성요소의 부호를 생략하는 경우가 있다.
도 14은, 발판 유닛(8)의 개략을 나타내는 사시도이다. 또한, 도 15은, 발판 유닛(8)의 구성을 나타내는 도면으로, 복수의 재치부(82), 승강부(84) 및 이들의 주변 구성을 나타내는 도면이다. 발판 유닛(8)은, 발판으로서의 복수의 마루판 부재(81)와, 복수의 재치부(82)와, 한 쌍의 레일 부재(83)와, 승강부(84)와, 접속부(85)를 포함한다.
복수의 마루판 부재(81a~81h)(이하, 마루판 부재(81)라 총칭함)는, 증착원 유닛(3)이 접속 위치(POS1) 또는 접속 해제 위치(POS2)에 있는 상태에서는 상하 방향으로 나란히 배치된다(도 13, 도 15 참조). 또한, 복수의 마루판 부재(81)는, 증착원 유닛(3)이 유지 보수 위치(POS3)에 있는 상태에서는 횡방향으로 나란히 배치된다(도 14 참조).
도 16은, 마루판 부재(81)의 구성을 나타내는 도면이며, 마루판 부재(81)를 이면측으로부터 본 사시도이다. 복수의 마루판 부재(81)의 각각은, 천장벽(811)과, 측벽(812)과, 위치결정부(813)와, 위치결정부(814)와, 연장부(815)를 포함한다. 천장벽(811)은, 작업자의 발판을 형성하는 부분이다. 측벽(812)은, 마루판 부재(81)의 X방향의 측면을 형성한다. 측벽(812)은, 다른 부분에 대해 X방향 내측에 설치되는 벽부(812a)를 포함한다. 위치결정부(813)는, 복수의 재치부(82)에 대한 위치 결정을 행한다. 위치결정부(814)는, 한 쌍의 레일 부재(83)에 대한 위치 결정을 행한다. 본 실시형태에서는, 위치결정부(813)는 벽부(812a)로부터 X방향 내측으로 돌출하는 돌출부이며, 위치결정부(814)는 벽부(812a)로부터 X방향 외측으로 돌출하는 돌출부이다.
복수의 재치부(82a~82h)(이하, 재치부(82)라 총칭함)는, 복수의 마루판 부재(81a~81h)를 각각 재치 가능하도록 구성된다. 복수의 재치부(82)는, 마루판 부재(81)가 재치되는 판 부재(821)와, 마루판 부재(81)의 위치결정부(813)에 대응한 위치에 설치되는 위치결정부(822)(도 18 참조)를 포함한다. 본 실시형태에서는, 위치결정부(822)는, 판 부재(821)에 설치된 블록에, 위치결정부(813)를 수용하는 오목부가 형성됨으로써 구성된다. 본 실시형태에서는, 위치결정부(822)는, 마루판 부재(81)가 재치되었을 때의 위치결정부(813)의 위치에 대응하도록, 각 재치부(82)에 X 방향으로 이격하여 2개씩 설치된다. 한편, 각 재치부(82)에 대해, 판 부재(821)는, X 방향으로 이격하여 복수 매 설치되어도 되고, 1매로 구성되어도 된다.
한 쌍의 레일 부재(83)는, 횡방향으로 나란히 배치된 복수의 마루판 부재(81)를 지지한다. 본 실시형태에서는, 한 쌍의 레일 부재(83)는, 성막 장치(14)의 리브(23)이나 프레임부(101) 등에 접속부(831)을 통해 지지된다. 다른 양태로서, 한 쌍의 레일 부재(83)는, 리브(23)나 프레임부(101)에 직접 지지되어도 되고, 바닥면에 배치된 지지부 등에 지지되어도 좋다. 도 17은, 레일 부재(83)의 구성을 나타내는 사시도이다. 한 쌍의 레일 부재(83)에는, 마루판 부재(81)의 위치 결정을 행하는 위치결정부(833)가 설치된다. 위치결정부(833)는, 한 쌍의 레일 부재(83)의 각각에 소정의 간격으로 설치된다. 위치결정부(833)는, 레일 부재(83)에 설치된 블록에, 마루판 부재(81)의 위치결정부(814)를 수용하는 오목부가 형성됨으로써 구성된다. 또한, 한 쌍의 레일 부재(83)의 아래쪽에는, 후술하는 레일측 랙(845)이 설치된다.
다시 도 15을 참조한다. 승강부(84)는, 복수의 재치부(82)를 승강시킨다. 승강부(84)는, 지지부(841)와, 기어(842)와, 기어(843)와, 기어(844)와, 레일측 랙(845)과, 지지부측 랙(846)을 포함한다. 지지부(841)는, 승강 방향(본 실시형태에서는 연직 방향)으로 연장하고, 복수의 재치부(82)를 지지한다.
기어(842)는, 증착원 유닛(3)이 접속 해제 위치(POS2)와 유지 보수 위치(POS3)의 사이를 이동할 때에, 그 이빨부(842a)가 레일측 랙(845)의 이빨부(845a)(도 18 참조)와 맞물림으로써 회전한다. 즉, 증착원 유닛(3)이 횡방향으로 이동하면, 레일측 랙(845)에 대하여 기어(842)가 횡방향으로 이동하므로, 기어(842)가 회전한다.
기어(843)는, 기어(842)의 회전을 기어(844)에 전달한다. 본 실시형태에서는, 기어(842) 및 기어(843)에 의해 제네바 기구가 구성된다. 즉, 기어(842)에 설치되는 볼록부(842b)가 기어(843)의 홈부(843a)에 들어가 있을 때에는 기어(842)의 회전이 기어(843)에 전달되고, 그렇지 않을 때에는 전달되지 않는다. 이에 의해, 기어(842)의 회전이 간헐적으로 기어(843)에 전달된다. 또한, 기어(843)의 회전은, 그 이빨부(843b)가 기어(844)의 이빨부(844a)와 맞물림으로써 기어(844)에 전달된다. 환언하면, 기어(842)의 회전은, 기어(843)를 통해 기어(844)에 전달된다.
또한, 기어(844)는, 그 이빨부(844a)가 지지부측 랙(846)의 이빨부(846a)와 맞물림으로써 지지부측 랙(846)에 회전 구동력을 전달한다. 지지부측 랙(846)은, 기어(844)의 회전을 직선 운동으로 변환한다. 지지부측 랙(846)이 기어(844)의 회전에 의해 승강 방향(연직 방향)으로 이동함으로써, 지지부측 랙(846)이 설치되는 지지부(841)이 승강한다. 그리고, 지지부(841)에 지지되는 복수의 재치부(82)가 승강한다.
접속부(85)는, 발판 유닛(8)의 이동 유닛(7)과의 접속 부분이다. 발판 유닛(8)이 접속부(85)에 의해 이동 유닛(7)과 접속함으로써, 증착원 유닛(3)의 횡방향으로의 이동에 수반하여 발판 유닛(8)의 복수 재치부(82) 등이 횡방향으로 이동한다.
도 18은, 재치부(82)로부터 레일 부재(83)로의 마루판 부재(81)의 전달 동작을 설명하는 동작 설명도이다. 한편, 도면을 보기 쉽게 하기 위해, X방향에서 도면 의 전방측에 배치되는 레일 부재(83) 및 레일측 랙(845)을 파선으로 나타내고 있다.
본 실시형태에서는, 복수의 마루판 부재(81)는, 증착원 유닛(3)이 접속 위치(POS1) 또는 접속 해제 위치(POS2)에 위치하는 상태에서 상하 방향으로 나란히 배치되고 있다. 그리고, 복수의 마루판 부재(81)는, 증착원 유닛(3)이 접속 해제 위치(POS2)로부터 유지 보수 위치(POS3)로 이동하는 것에 연동하여 횡방향으로 배열되도록 전개된다. 상세하게는, 증착원 유닛(3)이 접속 해제 위치(POS2)로부터 유지 보수 위치(POS3)로 이동하는 것에 연동하여, 복수의 재치부(82)로부터 한 쌍의 레일 부재(83)로 복수의 마루판 부재(81)가 순차 전달됨으로써, 복수의 마루판 부재(81)가 횡방향으로 배열된다. 도 18은 복수의 재치부(82) 중 가장 위의 재치부(82a)에 재치된 마루판 부재(81a)가, 한 쌍의 레일 부재(83)로 전달될 때의 동작을 설명하는 것이다. 그러나, 다른 재치부(82b~82h)가 마루판 부재(8lb~81h)를 한 쌍의 레일 부재(83)로 전달할 때의 동작도 마찬가지이다.
상태(ST101)은, 위에서부터 두 번째 재치부(82b)로부터 한 쌍의 레일 부재(83)에 마루판 부재(8lb)가 전달된 후, 증착원 유닛(3)이 소정 거리 횡방향으로 이동한 상태이다. 상태(ST101)에서는, 복수의 재치부(82)는, 기어(842)의 이빨부(842a)와 레일측 랙(845)의 이빨부(845a)와의 결합에 의해, 증착원 유닛(3)의 이동에 수반하여 횡방향으로 이동하고 있다. 한편, 상태(ST101)에서는, 볼록부(842b)가 홈부(843a)에 들어가 있지 않기 때문에, 승강부(84)에 의한 승강 동작은 행해지지 않고 있다. 즉, 재치부(82)는, 수평 방향으로 이동하고 있다.
상태(ST102)은, 상태(ST101)로부터 증착원 유닛(3)이 소정 거리만큼 레일 부재(83)에 대하여 횡방향으로 이동한 상태이다. 상태(ST102)에서는, 복수의 재치부(82)는, 증착원 유닛(3)의 이동에 수반하여 횡방향으로 이동하면서 승강부(84)에 의해 하방으로 이동하고 있다. 즉, 볼록부(842b)가 홈부(843a)에 들어감으로써, 기어(842)의 회전이 기어(843), 기어(844)을 통해 지지부측 랙(846)에 전달되어 재치부(82)가 하방으로 이동하고 있다. 예를 들면, 마루판 부재(8lb)와 마루판 부재(81a)의 접촉을 피할 수 있는 정도로 재치부(82)의 수평 방향으로의 이동이 행해졌을 때 재치부(82)를 하방으로 이동시키기 시작하도록, 기어(842) 회전의 간헐적인 전달이 행해진다.
상태(ST103)은, 마루판 부재(81a)가 재치부(82a)로부터 한 쌍의 레일 부재(83)에 전달된 후의 상태이다. 상태(ST103)에서는, 복수의 재치부(82)는, 증착원 유닛(3)의 이동에 수반하여 횡방향으로 이동하고 있다. 상태(ST102)로부터 상태(ST103)로 천이할 때까지의 동안, 재치부(82a)는, 횡방향 그리고 하방으로 이동하고 있다. 그리고, 재치부(82a)의 마루판 부재(81a)를 재치하는 재치면이, 한 쌍의 레일 부재(83)의 마루판 부재(81a)의 지지면의 상측으로부터 하측으로 이동하였을 때, 마루판 부재(81a)가 레일 부재(83)로 전달된다. 즉, 재치부(82a)는, 한 쌍의 레일 부재(83)의 상측으로부터 하측으로 이동할 때에 재치하고 있는 마루판 부재(81a)를 레일 부재(83)에 전달한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 증착원 유닛(3)이 접속 해제 위치(POS2)로부터 유지 보수 위치(POS3)로 이동하는 것에 연동하여, 반송 유닛(2)의 하방으로 발판이 전개된다.
한편, 발판 유닛(8)은, 전개된 상태의 발판으로서의 마루판 부재(81)에 승강 가능한 사다리, 계단, 스텝 등의 승강부를 가지고 있어도 된다.
발명은 상기의 실시 형태에 제한되는 것은 아니며, 발명의 요지 범위 내에서 다양한 변형·변경이 가능하다.
1: 성막 장치
2: 반송 유닛
3: 증착원 유닛
4: 발판 유닛
41: 발판
2: 반송 유닛
3: 증착원 유닛
4: 발판 유닛
41: 발판
Claims (19)
- 기판을 반송하는 반송 유닛과,
성막원을 포함하고, 상기 반송 유닛의 하방의 제1 위치와, 상기 제1 위치에 대해 횡방향으로 변위된 제2 위치로 이동 가능한 성막원 유닛을 구비하고,
기판을 반송하면서 기판에 대해 성막을 행하는 인라인 방식의 성막 장치로서,
상기 성막원 유닛이 상기 제1 위치부터 상기 제2 위치로 이동하는 것에 연동하여, 상기 반송 유닛의 하방으로 발판을 전개하는 발판 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제1항에 있어서,
상기 발판 유닛은, 상기 발판으로서, 접이 가능한 마루판부를 포함하고,
상기 성막원 유닛이 상기 제1 위치부터 상기 제2 위치로 이동하는 것에 연동하여, 접혀진 상기 마루판부가 전개되는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제2항에 있어서,
상기 발판 유닛은,
상기 마루판부를 지지하는 상기 발판으로서의 보와,
상기 보와 상기 성막원 유닛을 접속하는 접속부를 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제3항에 있어서,
상기 발판이 전개된 상태에서, 상기 보가 상기 성막원 유닛의 이동 방향에 대해 경사지게 설치되는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 발판 유닛은, 작업자가 전개된 상기 발판에 승강하기 위한 승강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 발판 유닛은, 전개된 상기 발판에 대해 기립하는 난간을 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 반송 유닛의 하부로부터 하방으로 연장하는 난간을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
복수의 상기 성막원 유닛이, 각각 독립적으로 이동 가능하게 기판의 반송 방향으로 나란히 설치되고,
상기 발판 유닛은, 상기 복수의 상기 성막원 유닛에 대해 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 반송 유닛은, 상기 반송 유닛의 내부 공간과 상기 성막원 유닛의 내부 공간을 연통하기 위한 연통 개구를 포함하고,
전개된 상기 발판은, 상기 반송 유닛의 하방에서, 상기 연통 개구와 대향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제1항에 있어서,
상기 발판 유닛은, 복수의 마루판 부재를 포함하고,
상기 성막원 유닛이 상기 제1 위치부터 상기 제2 위치로 이동하는 것에 연동하여, 상기 제1 위치에서 상하 방향으로 배열된 상기 복수의 마루판 부재가 횡방향으로 배열되어 배치되고,
상기 제2 위치에 위치하는 상기 성막원 유닛의 상방으로부터 소정의 부품을 꺼내는 취출 유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제10항에 있어서,
상기 취출 유닛은,
상기 소정의 부품을 보유지지하는 보유지지부와,
상기 보유지지부를 연직 방향으로 이동시키는 연직 이동부와,
상기 보유지지부를 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제1항에 있어서,
상기 발판 유닛은, 상기 발판으로서 복수의 마루판 부재를 포함하고,
상기 복수의 마루판 부재는,
상기 성막원 유닛이 상기 제1 위치에 위치하는 상태에서 상하 방향으로 배열되어 배치되고,
상기 성막원 유닛이 상기 제1 위치부터 상기 제2 위치로 이동하는 것에 연동하여 횡방향으로 배열되도록 전개되는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제12항에 있어서,
상기 발판 유닛은,
상하 방향으로 배열되어 설치되고, 상기 복수의 마루판 부재를 각각 재치 가능한 복수의 재치부와,
횡방향으로 배열되어 배치된 상기 복수의 마루판 부재를 지지하는 한 쌍의 레일 부재를 포함하고,
상기 성막원 유닛이 상기 제1 위치부터 상기 제2 위치로 이동하는 것에 연동하여, 상기 복수의 재치부로부터 상기 한 쌍의 레일 부재로 상기 복수의 마루판 부재가 순차로 전달됨으로써, 상기 복수의 마루판 부재가 횡방향으로 배열되는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제12항에 있어서,
상기 발판 유닛은,
상하 방향으로 배열되어 설치되고, 상기 복수의 마루판 부재를 각각 재치가능한 복수의 재치부와,
횡방향으로 배열되어 배치된 상기 복수의 마루판 부재를 지지하는 한 쌍의 레일 부재와,
상기 복수의 재치부를 승강시키는 승강부를 포함하고,
상기 복수의 재치부는, 상기 성막원 유닛이 상기 제1 위치부터 상기 제2 위치로 이동할 때에, 상기 성막원 유닛과 함께 횡방향으로 이동하면서 상기 승강부에 의해 하방으로도 이동하고,
상기 복수의 재치부의 각각은, 상기 한 쌍의 레일 부재의 상측으로부터 하측으로 이동할 때에 재치하고 있는 상기 복수의 마루판 부재의 각각을 상기 레일 부재에 전달하는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제14항에 있어서,
상기 승강부는, 상기 성막원 유닛이 상기 제1 위치부터 상기 제2 위치로 이동할 때에, 단속적으로 상기 복수의 마루판 부재를 하강시키는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제14항 또는 제15항에 있어서,
상기 승강부는,
상기 한 쌍의 레일 부재에 설치된 제1 랙과,
상기 성막원 유닛이 상기 제1 위치부터 상기 제2 위치로 이동할 때에, 상기 제1랙과 맞물려 회전하는 제1 기어와,
상기 제1 기어의 회전이 전달되는 제2 기어와,
승강 방향으로 연장되고, 상기 복수의 재치부를 지지하는 지지부와,
상기 지지부에 설치되고, 상기 제2 기어와 맞물림으로써 상기 지지부를 승강 방향으로 이동시키는 제2 랙을 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제16항에 있어서,
상기 승강부는, 제네바 기구에 의해 상기 제1 기어의 회전을 상기 제2 기어에 간헐적으로 전달하는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 제13항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 마루판 부재의 각각은, 상기 복수의 재치부에 대한 위치 결정을 행하기 위한 제1 위치결정부와, 상기 한 쌍의 레일 부재에 대한 위치 결정을 행하기 위한 제2 위치결정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 장치. - 기판을 반송하는 반송 유닛과,
성막 물질을 방출하는 성막원을 포함하고, 상기 반송 유닛의 하방의 제1 위치와, 상기 제1 위치에 대해 횡방향으로 변위된 제2 위치의 사이를 이동 가능한 성막원 유닛을 구비하고,
기판을 반송하면서 기판에 대해 성막을 행하는 인라인 방식의 성막 장치에 사용되는 발판 유닛으로서,
상기 성막원 유닛이 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동하는 것에 연동하여, 상기 반송 유닛의 하방으로 발판을 전개하는 것을 특징으로 하는 발판 유닛.
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