JP2007273683A - 基板移送装置、これを用いた表示パネルの製造装置、及び、基板移送方法、これを用いた表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 簡素な構成により、基板を加工装置のステージに対する正規位置に高精度で移送可能にすること。
【解決手段】 マガジン２１に収容してある基板１を搬送装置に受取支持し、この基板１を搬送装置により加工装置のステージ上に移送する基板移送方法において、マガジン２１内の基板１の位置を認識し、認識した基板１の位置に基づいて搬送装置による基板１の受取位置を制御し、搬送装置に対する基準受取位置にて該基板１を受取支持するもの。
【選択図】 図６

Description

本発明は、基板搬送装置、これを用いた表示パネルの製造装置、及び、基板搬送方法、これを用いた表示パネルの製造方法に関する。

液晶表示パネル等の製造ラインで、基板にペーストを塗布する等においては、特許文献１に記載の如く、基板供給位置に供給された基板を搬送ロボットの基板保持部にて受取支持し、この基板を搬送ロボットによりペースト塗布装置のステージ上の正規位置（基板に付してあるアライメントマークをペースト塗布装置に設けられているカメラの視野内に納め得る位置等の所望する位置）に移送し、基板に付してあるアライメントマークをペースト塗布装置に設けられているカメラにより認識して基板を位置決めしつつ、ペースト塗布装置が吐出するペーストをステージ上の基板に対する所定位置に塗布する。
特開2003-31642

従来の液晶表示パネル製造装置で用いられる基板移送装置は、基板を収容するマガジンを用いるとともに、基板をペースト塗布装置のステージに対する正規位置に高精度で移送可能にするため、搬送ロボットを上流側ロボットと下流側ロボットの上下２台とし、それら上流側ロボットと下流側ロボットの間に基板ゲージング装置を設置している。即ち、従来の基板移送装置による基板の移送動作は以下の如くなされる。

(1)マガジンを基板供給位置に位置付ける。
(2)上流側ロボットの基板保持部によりマガジン内の基板を受取り、この基板を基板ゲージング装置に搬入してゲージングする。これは、上流側ロボットに受取った基板の位置が、マガジンに個有の基板収容隙間（遊び）等に起因してばらつく現象を矯正するものである。

(3)下流側ロボットの基板保持部により基板ゲージング装置でゲージングされた基板を受取り、この基板をペースト塗布装置のステージに対する正規位置に移送する。

しかしながら、従来技術では、上流側ロボットと下流側ロボットの上下２台の搬送ロボットと、上流側ロボットと下流側ロボットの間に基板ゲージング装置が必要になり、複雑かつ大型になる。

本発明の課題は、簡素な構成により、基板を加工装置のステージに対する正規位置に高精度で移送可能にすることにある。

請求項１の発明は、マガジンに収容してある基板を搬送装置にて受取り支持し、この基板を搬送装置により加工装置のステージ上に移送する基板移送装置において、マガジン内の基板の位置を認識し、認識した基板の位置に基づいて搬送装置による基板の受取位置を制御し、搬送装置に対する基準受取位置にて該基板を受取支持する制御装置を有してなるようにしたものである。

請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、基板供給位置に設置されたマガジンの上方に基板検知センサを配置し、基板検知センサはマガジンに設けた切欠部を通して基板を検知し、前記制御装置は基板検知センサの検知結果に基づいて基板の位置を認識するようにしたものである。

請求項３の発明は、請求項２の発明において更に、前記基板検知センサが、基板の相交差する２辺のうちの一方の一辺上の２点の位置と、他方の一辺上の１点の位置を検知し、前記制御装置は基板検知センサの検知結果に基づいて基板の位置を認識するようにしたものである。

請求項４の発明は、請求項２の発明において更に、前記基板検知センサが基板の特定の２点に設けてあるマークの位置を検知し、前記制御装置は基板検知センサの検知結果に基づいて基板の位置を認識するようにしたものである。

請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の基板移送装置を用いる表示パネルの製造装置であって、前記加工装置が基板にペーストを塗布する塗布装置であるものである。

請求項６の発明は、マガジンに収容してある基板を搬送装置にて受取り支持し、この基板を搬送装置により加工装置のステージ上に移送する基板移送方法において、マガジン内の基板の位置を認識し、認識した基板の位置に基づいて搬送装置による基板の受取位置を制御し、搬送装置に対する基準受取位置にて該基板を受取支持するようにしたものである。

請求項７の発明は、請求項６の発明において更に、基板供給位置に設置されたマガジンの上方に基板検知センサを配置し、基板検知センサはマガジンに設けた切欠部を通して基板を検知し、基板検知センサの検知結果に基づいて基板の位置を認識するようにしたものである。

請求項８の発明は、請求項７の発明において更に、前記基板検知センサが、基板の相交差する２辺のうちの一方の一辺上の２点の位置と、他方の一辺上の１点の位置を検知し、基板検知センサの検知結果に基づいて基板の位置を認識するようにしたものである。

請求項９の発明は、請求項７の発明において更に、前記基板検知センサが基板の特定の２点に設けてあるマークの位置を検知し、基板検知センサの検知結果に基づいて基板の位置を認識するようにしたものである。

請求項１０の発明は、請求項６〜９のいずれかに記載の基板移送方法を用いる表示パネルの製造方法であって、前記加工装置が基板にペーストを塗布する塗布装置であるものである。

本発明によれば、簡素な構成により、基板を加工装置のステージに対する正規位置に高精度で移送可能となる。

図１は基板移送装置を示す模式図、図２は搬送ロボットを示す斜視図、図３はマガジンを示す斜視図、図４はペースト塗布装置を示す斜視図、図５はマガジンと基板検知センサを示す斜視図、図６は基板検知センサの基板検知状態を示す正面図、図７は図６の平面図、図８は基板検知原理を示す模式図、図９は基板検知センサの変形例を示す正面図、図１０は図９の平面図、図１１はマガジンと基板検知センサの変形例を示す斜視図である。

図１は、表示パネル製造装置を構成する基板移送装置１０を示すものであり、基板移送装置１０は移送路１１を有し、移送路１１上のガイドレール１２上に搬送装置たる搬送ロボット１３が設けられる。基板移送装置１０は、移送路１１の一端の基板供給位置に供給台２０を設け、移送路１１の他端の基板搬出位置に搬出台３０を設け、移送路１１の中間部に加工装置たるペースト塗布装置４０を設置してある。

搬送ロボット１３は、図２に示す如く、図示しないリニアモータからなる駆動手段にてガイドレール１２上を移動可能な箱型の本体部１３Ａと、図示しない駆動手段により本体部１３Ａに対して昇降可能に、かつ、図２中、Ｘ−Ｙ面内（水平面内）にて３６０度自転可能に設けられた円柱状の昇降台１３Ｂと、昇降台１３Ｂの上面に、昇降台１３Ｂの一直径方向（中心軸線）に対して対称に配置された２つのアーム１３Ｒ、１３Ｌを有する。

２つのアーム１３Ｒ、１３Ｌは、それぞれ昇降台１３Ｂの上面に回転可能に支持された基端側の第１のアーム１３Ｒ1、１３Ｌ1と、第１のアーム１３Ｒ1、１３Ｌ1の先端部に回転可能に支持された先端側の第２のアーム１３Ｒ2、１３Ｌ2からなる。２つのアーム１３Ｒ、１３Ｌは、水平面内を前後方向に伸縮可能に設けられ、しかも２つのアーム１３Ｒ、１３Ｌは独立して動作可能とされる。

第２のアーム１３Ｒ2、１３Ｌ2の先端部には、中心軸線に沿ってそれぞれ延びる二又フォーク状の保持部１４Ｒ、１４Ｌを備える。保持部１４Ｒ、１４Ｌは、それぞれ第２のアーム１３Ｒ2、１３Ｌ2の先端部に回転自在に支持される。

そしてこの構成において、不図示のモータ、ベルトなどの公知駆動手段により、２つのアーム１３Ｒ、１３Ｌは独立して水平面内を前後方向に伸縮動し、この伸縮動に伴い、保持部１４Ｒ、１４Ｌが個別に中心軸線に沿って移動（前後動）することができるようになっている。

また、２つの保持部１４Ｒ、１４Ｌの上面には、それぞれ４つの吸着盤１５が設けられる。各吸着盤１５は、不図示のエア吸着源に適宜接続され、その吸着力により、ガラス基板１を保持できるようになっている。尚、２つの保持部１４Ｒ、１４Ｌはそれらの保持面高さを互いにＨだけ離隔させている。

供給台２０は、マガジン２１を着脱される。マガジン２１は、図３に示す如く、四角箱状をなし、左右の相対する側壁間に前面開口２１Ａを設け、各側壁のそれぞれにおける上下多数位置に多段状をなして前面開口２１Ａに臨む溝２１Ｂを設け、基板１の両側部を同一レベルにて相対応する左右の溝２１Ｂに前面開口２１Ａから差し入れ、引き出し可能にする。搬送ロボット１３のアーム１３Ｌの保持部１４Ｌは、マガジン２１内のその時点で最上層にある基板１と、その下の基板１との間に挿入され、最上層にある基板１をその基板１が納められている溝２１Ｂ内にて持ち上げる状態で吸着盤１５にて吸着保持し、当該基板１を当該溝２１から引き出し可能にする。

ペースト塗布装置４０は、図４に示す如く、基板１にその表示領域を囲むようにペーストを枠状に塗布する。具体的には、ペースト塗布装置４０は、ベース４１上にＸ−Ｙ−θ移動機構４２を介してステージ４３を備える。Ｘ−Ｙ−θ移動機構４２は、ベース４１上に設けられたＸ軸移動機構４２Ａにより、Ｙ軸移動機構４２ＢをＹ軸方向に移動させ、Ｙ軸移動機構４２Ｂにより、図示しないθ回転装置をＸ軸方向へ移動させるように構成され、このθ回転装置にステージ４３が支持される。ステージ４３には、その上面に図示しない複数個の吸着盤を備える。

ペースト塗布装置４０は、ベース４１上に門型の支持体４４を固定し、その横桁４４Ａに２つのヘッド機構４５を、不図示のモータ等によりＸ軸方向に移動可能に設ける。各ヘッド機構４５は、ペーストを収納したシリンジ４６を有し、シリンジ４６内が加圧されることでシリンジ４６の先端ノズルからペーストを吐出する。

ペースト塗布装置４０は、各ヘッド機構４５にカメラ４７を備える。基板１に付してあるアライメントマークの現在位置をカメラ４７により認識し、この位置が予め設定した位置となるようにＸ−Ｙ−θ移動機構４２を制御し、ステージ４３上の基板１をペースト塗布位置に移動制御する。

従って、基板移送装置１０は以下の如くに移動する。
(1)搬送ロボット１３を移送路１１上にて移動させ、供給台２０に対する基板供給位置に位置付ける。一方のアーム１３Ｌの保持部１４Ｌを供給台２０上のマガジン２１の最上層にある基板１に対する基板受取りレベルに合せ、保持部１４Ｌをマガジン１の最上層に納められている基板１の下方に位置付けて該基板１を該基板１が納められている溝２１Ｂ内で持ち上げ、該基板１を保持部１４Ｌの吸着盤１５に対する基板受取位置に吸着保持し、該基板１を該溝２１Ｂに沿って前面開口２１Ａから引き出し、基板受取り動作を完了する。

(2)搬送ロボット１３を移送路１１上にて移動させ、ペースト塗布装置４０の前に位置付ける。他方のアーム１３Ｒの保持部１４Ｒをペースト塗布装置４０のステージ４３上の基板取出レベルに合せ、保持部１４Ｒをステージ４３上のペースト塗布済みの基板１の下方に位置付けて該基板１を持ち上げ、該基板１を保持部１４Ｒの吸着板１５に吸着保持し、基板取出動作を完了する。尚、基板取出しにあたっては、ステージ上面より不図示の持ち上げピンが上昇して基板を持ち上げ、基板下方にアーム１３Ｒが挿入し得るスペースが形成される。

(3)搬送ロボット１３は前述(1)の一方のアーム１３Ｌの保持部１４Ｌが受取支持している基板１をペースト塗布装置４０のステージ４３に対する正規位置（基板１に付してあるアライメントマークをペースト塗布装置４０のカメラ４７の視野内に納め得る位置等の所望する位置）に吸着保持させて移載し、基板投入動作を完了する。

(4)搬送ロボット１３を移送路１１上にて移動させ、搬出台３０に対する基板搬出位置に位置付ける。搬送ロボット１３は前述(2)の他方のアーム１３Ｒの保持部１４Ｒが受取ってあるペースト塗布済の基板１を搬出台３０に移載し、基板搬出動作を完了する。
以下、上述(1)〜(4)を繰り返す。

しかるに、基板移送装置１０にあっては、マガジン２１に収容されて搬送ロボット１３に受渡される基板１の、マガジン２１の溝２１Ｂ内における収容位置が、マガジン２１自体の位置ずれや、マガジン２１に個有の基板収容隙間（遊び）に起因し、基準収容位置から位置ずれすることに関係なく、搬送ロボット１３のアーム１３Ｌの保持部１４Ｌにマガジン２１から受取った基板１をペースト塗布装置４０のステージ４３に対する正規位置に移送可能にするため、以下の制御装置（不図示）を有する。

即ち、制御装置は、マガジン２１内に収容してある基板１の位置（図８のＰ1）（マガジン２１による所定の基準収容位置（図８のＰa）に対するＸ方向、Ｙ方向、回転方向の位置ずれΔｘ、Δｙ、Δθ）を認識し、認識した基板１の位置に基づいて搬送ロボット１３による基板１の受取位置を制御し、搬送ロボット１３に対する基準受取位置（基板１を受取る時点での、搬送ロボット１３のアーム１３Ｌが有する保持部１４Ｌと基板１との予め設定された相対関係位置）にて基板１を受取り支持し、基板１をペースト塗布装置４０のステージ４３に対する正規位置（基板１に付してあるアライメントンマークをペースト塗布装置４０に設けられているカメラ４７の視野内に納め得る位置等の所望する位置）に移送可能にする。

このとき、供給台２０は、基板供給位置に設置されたマガジン２１の側傍に、図５に示す基板検知装置５０を有する。基板検知装置５０は、マガジン２１の相交差する２辺のうちの一方の一辺の側傍に立設される昇降台５１に２個のレーザセンサ（ラインセンサ）からなる基板検知センサ５１Ａ、５１Ｂを備え、他方の一辺の側傍に立設される昇降台５２に１個のレーザセンサ（ラインセンサ）からなる基板検知センサ５２Ａを備える。他方、マガジン２１の上述した一方の一辺には基板検知センサ５１Ａ、５１Ｂに対応する２個のそれぞれ上下に延在する切欠部２２Ａ、２２Ｂが設けられ、他方の一辺には基板検知センサ５２Ａに対応する１個の上下に延在する切欠部２３Ａが設けられる（図３参照）。各基板センサ５１Ａ、５１Ｂ、５２Ａは、昇降台５１、５２によりマガジン２１の上方から切欠部２２Ａ、２２Ｂ、２３Ａの中に入るように順に下降され、マガジン２１内のその時点で最上層にある基板１に対する所定高さ位置に位置決め設定され、図８に示す該基板１の一方の一辺上の２点Ａ、Ｂの位置を各切欠部２２Ａ、２２Ｂを通して基板検知センサ５１Ａ、５１Ｂにより検知し、該基板１の他方の一辺上の１点Ｃの位置を切欠部２３Ａを通して基板検知センサ５２Ａにより検知する。制御装置は、図８に示す如く、基板検知センサ５１Ａ、５１Ｂ、５２Ａがマガジン２１内の最上層にある基板１について検知した、基板１の一方の一辺上の２点Ａ、Ｂの位置と、他方の一辺上の１点Ｃの位置に基づき、基板１の前述の位置（マガジン２１による所定の基準収容位置に対するＸ方向、Ｙ方向、回転方向の位置ずれΔｘ、Δｙ、Δθ）を認識する。

基板移送装置１０において、基板検知装置５０と制御装置は以下の如くに動作する。
(1)基板検知センサ５１Ａ、５１Ｂ、５２Ａが昇降台５１、５２によりマガジン２１の着脱に干渉しないエリアに退避させた状態で、供給台２０にマガジン２１がセットされる。昇降台５１、５２が作動して、基板検知センサ５１Ａ、５１Ｂ、５２Ａがマガジン２１内の１段目（最上段）の溝２１Ｂに納められている基板１に対する所定高さ位置に位置決め設定される。基板検知センサ５１Ａ、５１Ｂ、５２Ａにより基板１の一方の一辺上の２点Ａ、Ｂと他方の一辺上の１点Ｃの位置を検知する。制御装置は、基板１のサイズを既知としており、基板１の３点Ａ〜Ｃの位置に基づいて、マガジン２１内の基板１の位置（基板１の基準収容位置に対する位置ずれΔｘ、Δｙ、Δθ）を演算して認識する。

(2)制御装置は上述(1)の如くに認識した基板１の位置に基づいて搬送ロボット１３を駆動制御することにより、搬送ロボット１３による基板１の受取位置を補正動作し、搬送ロボット１３のアーム１３Ｌの保持部１４Ｌに対する基準受取位置にて基板１を受取り、この基板１をペースト塗布装置４０のステージ４３に対する正規位置に移載する。

この搬送ロボット１３による基板１の受取位置の補正動作の一実施態様としては、次のとおりである。即ち、基板を受取るときに、予めプログラムされている受取り位置に対して保持部１４Ｌを基板１の位置ずれ量（Δｘ、Δｙ、Δθ）分だけ、そのずれ方向と同方向にずらす。これにより、保持部１４Ｌは、位置ずれ状態の基板１に対し、基準受取位置に位置付けられたことになる。尚、保持部１４ＬのＸ方向の移動は、本体部１３Ａをガイドレール１２に沿って移動させ、Ｙ方向の移動は、アーム１３Ｌを伸縮させ、θ方向の移動は、昇降台１３Ｂを回転させることで行なう。そして、この状態で保持部１４Ｌが基板１を受取り、その基板１をマガジン２１より引き出した後に、保持部１４Ｌを先の補正量分だけ逆方向（−Δｘ、−Δｙ、−Δθ）に戻し、その後予めプログラムされている経路（軌跡）に沿って搬送ロボット１３を移動させ、ペースト塗布装置４０のステージ４３に対する正規位置に移載する。

また別の態様として、基板を受取るときに、予めプログラムされている受取り位置に対して保持部１４Ｌを基板１の位置ずれ量（Δｘ、Δｙ、Δθ）分だけ、そのずれ方向と同方向にずらした状態で基板１を受取るまでは上記態様と同じであるが、受取った後、まだ基板１がマガジン２１内に位置している段階、つまり基板１をマガジン２１から引き出す前にて、保持部１４Ｌを先の補正量分だけ逆方向（−Δｘ、−Δｙ、−Δθ）に戻し、その後、予めプログラムされている経路に沿って搬送ロボット１３を移動させて、ペースト塗布装置４０のステージ４３に対する正規位置に移載するようにしても良い。

(3)基板検知センサ５１Ａ、５１Ｂ、５２Ａをマガジン２１内で新たに最上層となる、２段目以下の各溝２１Ｂに納められている各基板１に対し、上述(1)、(2)を順に繰り返す。

本実施例によれば以下の作用効果を奏する。
(a)マガジン２１に保有の基板収容隙間（遊び）等に起因し、マガジン２１の内の基板１が基準収容位置からずれていても、このずれを補正するように搬送ロボット１３による基板１の受取位置を制御し、搬送ロボット１３に対する基準受取位置にて基板１を支持し、結果として搬送ロボット１３は基板１をペースト塗布装置４０のステージ４３に対する正規位置に高精度で移載する。基板１の移送経路に基板ゲージング装置を介装する必要がなく、搬送ロボット１３を上流側ロボットと下流側ロボットに上下２分する必要もなく、構成が簡素になる。

(b)マガジン２１の上方に基板検知センサ５１Ａ、５１Ｂ、５２Ａを配置し、基板検知センサ５１Ａ、５１Ｂ、５２Ａはマガジン２１に設けた切欠部２２Ａ、２２Ｂ、２３Ａを通して基板１を検知し、基板検知センサ５１Ａ、５１Ｂ、５２Ａの検知結果に基づいて基板１の位置を認識する。基板１をマガジン２１内で検知し、搬送ロボット１３に受取支持される基板１の位置を認識できる。

(c)基板１のサイズは既知であるから、基板検知センサ５１Ａ、５１Ｂ、５２Ａが基板１の相交差する２辺のうちの一方の一辺上の２点Ａ、Ｂの位置と、他方の一辺上の１点Ｃの位置を検知することにより、これら３点Ａ〜Ｃの検知位置座標から基板１の位置を認識できる。

(d)表示パネル製造装置において、基板ゲージング装置等を特に必要としない簡素な構成により、基板１をペースト塗布装置４０のステージ４３に対する正規位置に移送でき、表示パネルの製造ラインを小型、省スペース化できる。

図９、図１０は、前述の基板検知装置５０に代わる基板検知装置６０である。基板検知装置６０は、マガジン２１の対向する２辺のうちの一方の一辺の側傍に立設される昇降台６１に１個のカメラ６１Ａを備え、他方の一辺の側傍に立設される昇降台６２に１個のカメラ６２Ａを備える。他方、マガジン２１の上述した一方の一辺にはカメラ６１Ａに対応する１個の上下に延在する切欠部２２Ａが設けられ、他方の一辺にはカメラ６２Ａに対応する１個の上下に延在する切欠部２３Ａが設けられる。各カメラ６１Ａ、６２Ａは昇降台６１、６２によりマガジン２１の上方から切欠部２２Ａ、２３Ａの中に入るように順に下降され、マガジン２１内のその時点で最上層にある基板１に対する所定高さ位置に位置決め設定され、該基板１の一方の一辺上に設けてあるマークＭ1を切欠部２２Ａを通してカメラ６１Ａにより検知（撮像）し、該基板１の他方の一辺近くに設けてあるマークＭ2を切欠部２３Ａを通してカメラ６２Ａを通して検知（撮像）する。制御装置は、カメラ６１Ａ、６２Ａがマガジン２１内の最上層にある基板１について検知した、基板１の一方のマークＭ1の位置と他方のマークＭ2の位置に基づいて、基板１の位置（マガジン２１による所定の基準収容位置に対するＸ方向、Ｙ方向、回転方向の位置ずれΔｘ、Δｙ、Δθ）を認識する。

また、マガジン２１に切欠部（２２Ａ、２２Ｂ、２３Ａ）設けた例を説明したが、図１１に示すようにしても良い。この変形例は、マガジン２１の側壁に、各溝２１Ｂにそれぞれ対応したピッチで穴２４を２列設け、この各列に沿って上下動可能な２個の反射型レーザセンサからなる基板検知センサ２５を配置する。また、マガジン２１における基板引き出し方向とは反対側に、１個の反射型レーザセンサからなる基板検知センサ２５を上下動自在に配置する。この場合、まずマガジン２１内の１段目（最上段）の溝２１Ｂに位置する基板１に対向するように各基板検知センサ２５を位置決め設定した後、各基板検知センサ２５より基板側面に向けて検出光を照射し、各基板検知センサ２５から基板側面までの距離を測定する。各基板検知センサ２５の設定位置は設計上既知であるから、結果的に、図８で示した３点Ａ、Ｂ、Ｃの位置が求められ、基板１の位置（図８のＰ１）が同様にして求めることができる。２段目以降の基板に対しても同様である。

尚、この変形例の場合には、マガジン２１内の最上段からの基板取出しだけでなく、最下段、或いは任意の段位置からの基板取り出しも行なえる利点がある。

また、実施例では、予めプログラムされている受取り位置に対して搬送ロボット１３の保持部１４Ｌにてマガジン２１内の基板１を受取る段階で保持部１４Ｌを基板１の位置ずれ量（Δｘ、Δｙ、Δθ）分だけ、そのずれ方向と同方向にずらした状態で基板１を受取るようにした。しかしながら、基板１を受取るときには予めプログラムされている受取り位置にて受取り、その後、ペースト塗布装置４０に移載するまでの間に保持部１４Ｌを逆方向（−Δｘ、−Δｙ、−Δθ）に補正移動させるようにしても良い。

更には、搬送ロボット１３側では特に補正移動させることなく、予めプログラムされている軌跡に沿って移動させ、搬送ロボット１３が保持している基板１をペースト塗布装置４０のステージ４３に移載する段階でステージ４３側を補正移動させるようにしても良い。これは、基板１の移際段階で、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４２を作動させることで、ステージ４３を基板１の位置ずれ量（Δｘ、Δｙ、Δθ）分だけ、正規の移載位置よりそのずれ方向と同方向にずらした状態とし、この状態で移載動作を実行する。移載後は、ステージ４３を先の補正量分だけ逆方向（−Δｘ、−Δｙ、−Δθ）に戻し、その後予めプログラムされている経路に沿ってステージ４３を移動させ、ペースト塗布動作を行なう。このようにしても、基板１の、マガジン２１の溝２１Ｂ内における収容位置が、基準収容位置から位置ずれすることに関係なく、搬送ロボット１３のアーム１３Ｌの保持部１４Ｌにマガジン２１から受取った基板１をペースト塗布装置４０のステージ４３に対する正規位置に移送可能とする。

また本発明は、マガジンに収納してある基板を搬送装置にて加工装置に移送するものであれば適用できるものであり、実施例で例示した液晶表示パネル用の基板や、シール塗布装置に限定されるものではない。

以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。

図１は基板移送装置を示す模式図である。 図２は搬送ロボットを示す斜視図である。 図３はマガジンを示す斜視図である。 図４はペースト塗布装置を示す斜視図である。 図５はマガジンと基板検知センサを示す斜視図である。 図６は基板検知センサの基板検知状態を示す正面図である。 図７は図６の平面図である。 図８は基板検知原理を示す模式図である。 図９は基板検知センサの変形例を示す正面図である。 図１０は図９の平面図である。 図１１はマガジンと基板検知センサの変形例を示す斜視図である。

符号の説明

１ 基板
１０ 基板搬送装置
１３ 搬送ロボット（搬送装置）
２１ マガジン
２２Ａ、２２Ｂ、２３Ａ 切欠部
４０ ペースト塗布装置（加工装置）
４３ ステージ
５１Ａ、５１Ｂ、５２Ａ 基板検知センサ
６１Ａ、６２Ａ カメラ

Claims (10)

1. マガジンに収容してある基板を搬送装置にて受取り支持し、この基板を搬送装置により加工装置のステージ上に移送する基板移送装置において、
   マガジン内の基板の位置を認識し、認識した基板の位置に基づいて搬送装置による基板の受取位置を制御し、搬送装置に対する基準受取位置にて該基板を受取支持する制御装置を有してなることを特徴とする基板移送装置。
2. 基板供給位置に設置されたマガジンの上方に基板検知センサを配置し、基板検知センサはマガジンに設けた切欠部を通して基板を検知し、
   前記制御装置は基板検知センサの検知結果に基づいて基板の位置を認識する請求項１に記載の基板移送装置。
3. 前記基板検知センサが、基板の相交差する２辺のうちの一方の一辺上の２点の位置と、他方の一辺上の１点の位置を検知し、
   前記制御装置は基板検知センサの検知結果に基づいて基板の位置を認識する請求項２に記載の基板移送装置。
4. 前記基板検知センサが基板の特定の２点に設けてあるマークの位置を検知し、
   前記制御装置は基板検知センサの検知結果に基づいて基板の位置を認識する請求項２に記載の基板移送装置。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載の基板移送装置を用いる表示パネルの製造装置であって、
   前記加工装置が基板にペーストを塗布する塗布装置である表示パネルの製造装置。
6. マガジンに収容してある基板を搬送装置にて受取り支持し、この基板を搬送装置により加工装置のステージ上に移送する基板移送方法において、
   マガジン内の基板の位置を認識し、認識した基板の位置に基づいて搬送装置による基板の受取位置を制御し、搬送装置に対する基準受取位置にて該基板を受取支持することを特徴とする基板移送方法。
7. 基板供給位置に設置されたマガジンの上方に基板検知センサを配置し、基板検知センサはマガジンに設けた切欠部を通して基板を検知し、基板検知センサの検知結果に基づいて基板の位置を認識する請求項６に記載の基板移送方法。
8. 前記基板検知センサが、基板の相交差する２辺のうちの一方の一辺上の２点の位置と、他方の一辺上の１点の位置を検知し、基板検知センサの検知結果に基づいて基板の位置を認識する請求項７に記載の基板移送方法。
9. 前記基板検知センサが基板の特定の２点に設けてあるマークの位置を検知し、基板検知センサの検知結果に基づいて基板の位置を認識する請求項７に記載の基板移送方法。
10. 請求項６〜９のいずれかに記載の基板移送方法を用いる表示パネルの製造方法であって、
    前記加工装置が基板にペーストを塗布する塗布装置である表示パネルの製造方法。

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