KR20190070833A - 박막과 웨이퍼의 분리 장치 및 분리 방법 - Google Patents

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진청 조우
민 웨이
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동타이 하이-테크 이큅먼트 테크놀로지 씨오., 엘티디
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Abstract

본 발명은 태양 전지 기술분야에 관한 것으로, 특히 베이스; 베이스에 수평 장착되고 웨이퍼의 하면과 접착하여 흡착하는 제1 흡착판; 제2 흡착판; 구동 수단; 일단이 구동 수단과 연결되고 타단이 클램프 수단과 연결되는 진동바; 클램프 수단을 포함하며, 구동 수단은 진동바와 클램프 수단이 제1 흡착판에 접근하거나 이격되도록 수직 평면 내에서 진동하도록 하고, 클램프 수단은 박막의 테두리에서 박막을 클램핑하는 박막과 웨이퍼의 분리 장치 및 분리 방법에 관한 것이다. 사용 시, 제1 흡착판은 진공에 의해 웨이퍼를 흡착하고, 구동 수단은 진동바를 진동시켜 진동바와 클램프 수단이 박막 상부로 회전하도록 한 후 클램프 수단이 박막의 테두리에서 박막을 클램핑하여 고정하도록 하며, 구동 수단이 반대방향으로 진동바를 진동시켜 진동바와 클램프 수단의 작용하에 박막과 웨이퍼를 분리시킨다.

Description

박막과 웨이퍼의 분리 장치 및 분리 방법 {Separation Device and Separation Method For Film and Wafer}
본 발명은 태양 전지 기술분야에 관한 것으로, 특히 박막과 웨이퍼의 분리 장치 및 분리 방법에 관한 것이다.
신에너지는 21세기 세계 경제 발전에서 가장 결정력이 있는 5대 기술분야 중의 하나이다. 태양 에너지는 깨끗하고, 고효율적이며 소진되지 않는 신에너지이다. 신세기에서, 각 나라 정부는 모두 태양 에너지 자원을 국가 지속가능 발전 전략의 중요한 부분으로 여기고 있다. 태양광 발전은 안전하고 신뢰적이며, 소음, 오염이 없고 제약이 적으며, 고장율이 낮고 유지보수가 간단하는 등 장점이 있다.
태양 전지의 웨이퍼와 박막은 표면 장력에 의해 서로 접착되고, 웨이퍼와 박막을 분리할 필요가 있을 경우 기존의 분리 장치는 항상 웨이퍼와 박막의 결합면에 물을 뿌려 웨이퍼와 박막을 분리해야 하는데, 이 과정에서 물이 박막의 흡착 수단에 튀어 박막을 흡착하는 흡착 수단의 진공을 파괴할 수 있어 분리가 실패하게 된다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술 문제는 기존의 분리 장치가 웨이퍼와 박막을 분리할 때 물을 뿌려 흡착 수단을 훼손할 수 있는 문제를 해결하는 것이다.
상기 기술 문제를 해결하기 위해, 본 발명은 베이스; 상기 베이스에 수평 장착되고 분리할 박막과 웨이퍼를 방치하며 상기 웨이퍼의 하면과 접착하여 흡착하는 제1 흡착판; 제2 흡착판; 구동 수단; 일단이 상기 구동 수단과 연결되고 타단이 상기 클램프 수단과 연결되는 진동바; 클램프 수단을 포함하며, 상기 구동 수단은 상기 진동바와 상기 클램프 수단이 상기 제1 흡착판에 접근하거나 이격되도록 수직 평면 내에서 진동하도록 하고, 상기 클램프 수단은 상기 박막의 테두리에서 상기 박막을 클램핑하는 박막과 웨이퍼의 분리 장치를 제공한다.
그 중, 상기 클램프 수단은 상기 진동바와 연결되고 신축바가 상기 진동바로부터 이격되는 방향으로 설치되는 제1 실린더; 상기 제1 실린더의 신축바와 연결되고 신축바가 상기 제1 실린더의 신축바에 수직되며 신축바의 단부가 상기 박막의 하면에 압착되는 압착판에 연결되는 제2 실린더를 포함한다.
그 중, 상기 압착판의 상면에 상기 압착판을 상기 박막의 하면에 탄성 접촉시키기 위한 탄성 스트립이 설치되어 있다.
그 중, 상기 구동 수단은 상기 베이스에 장착되고 구동 모터와 회전축을 포함하며, 상기 구동 모터는 모터 고정대에 의해 상기 베이스에 장착되고 출력축이 수평 설치되며, 출력축이 축이음에 의해 상기 회전축과 연결되고, 상기 진동바가 상기 회전축에 수직되며 상기 회전축과 고정 연결되고, 상기 회전축의 양단에는 각각 베어링 고정대가 설치되어 있으며, 상기 베어링 고정대는 상기 베이스에 고정되고 베어링이 내설되어 있으며, 상기 회전축이 상기 베어링을 관통하여 상기 베어링의 이너 레이스와 결합된다.
그 중, 박막과 웨이퍼의 분리 장치는 상기 베이스에 설치되고 상기 제1 흡착판과 함께 상기 회전축의 동일 측에 설치되며 제1 진공 발생기가 내설되어 있는 제1 연결블록을 더 포함하고, 상기 제1 흡착판에는 제1 진공 통로가 내설되어 있으며, 상기 제1 진공 발생기는 상기 제1 진공 통로와 연통된다.
그 중, 박막과 웨이퍼의 분리 장치는 상기 제2 연결블록을 통해 상기 진동바와 연결되고 상기 클램프 수단이 설치되며 제2 진공 통로가 내설되어 있는 제2 흡착판; 상기 제2 진공 통로와 연통되는 제2 진공 발생기가 내설되어 있는 제2 연결블록을 더 포함하며, 상기 제2 흡착판은 상기 제1 흡착판에 접근할 때 상기 박막과 접착하여 흡착한다.
그 중, 상기 진동바에는 쿠션 플런저가 설치되어 있고, 상기 제2 흡착판이 상기 제1 흡착판에 접근하여 상기 박막과 접착하여 흡착할 때 상기 쿠션 플런저의 하단이 상기 제1 연결블록과 접촉된다.
본 발명은 또한 상기 분리 장치를 이용하여 박막과 웨이퍼를 분리하는 박막과 웨이퍼의 분리 방법에 있어서,
분리할 웨이퍼와 박막을 제1 흡착판에 방치하고, 제1 흡착판에 의해 웨이퍼를 접착하여 흡착하는 단계(S1);
구동 모터를 회전시켜 진동바가 박막으로 진동하도록 하고, 클램프 수단에 의해 박막의 테두리에서 박막을 클램핑하는 단계(S2);
구동 모터를 반대방향으로 회전시켜 진동바가 웨이퍼로부터 이격되는 방향으로 진동하도록 하여 박막을 웨이퍼로부터 분리하는 단계(S3);를 포함하는 박막과 웨이퍼의 분리 방법을 제공한다.
그 중, 상기 단계(S2)는,
구동 모터를 회전시켜 진동바와 제2 흡착판이 박막 상부로 회전하도록 하고, 제2 흡착판이 박막의 상면을 흡착하도록 하는 단계(S21);
제1 실린더의 신축바를 단축시켜 압착판이 제2 흡착판 아래에 위치하도록 하고, 제2 실린더의 신축바를 단축시켜 압착판이 박막의 하면에 압착되도록 하는 단계(S22);를 더 포함한다.
그 중, 단계(S1) 전에 구동 모터를 회전시켜 진동바를 진동시킴으로써 제2 흡착판과 제1 흡착판이 각각 회전축의 양측에 위치하도록 하고, 제1 실린더의 신축바와 제2 실린더의 신축바를 연장시켜 상기 압착판이 상기 제2 흡착판으로부터 이격되도록 하는 단계(S0)를 더 포함한다.
본 발명의 전술한 기술 방안의 장점은 다음과 같다. 본 발명에서 제공한 박막과 웨이퍼의 분리 장치 및 방법은 베이스; 베이스에 수평 장착되고 분리할 박막과 웨이퍼를 방치하며 웨이퍼의 하면과 접착하여 흡착하는 제1 흡착판; 제2 흡착판; 구동 수단; 일단이 구동 수단과 연결되고 타단이 클램프 수단과 연결되는 진동바; 클램프 수단을 포함하며, 구동 수단은 진동바와 클램프 수단이 제1 흡착판에 접근하거나 이격되도록 수직 평면 내에서 진동하도록 하고, 클램프 수단은 박막의 테두리에서 박막을 클램핑한다. 사용 시, 먼저 구동 수단을 제어하여 진동바와 클램프 수단을 제1 흡착판과 다른 측으로 회전시키고, 웨이퍼와 박막을 제1 흡착판에 방치하며, 제1 흡착판이 진공에 의해 웨이퍼를 흡착하고, 구동 수단이 진동바를 진동시켜 진동바와 클램프 수단이 박막 상부로 회전하도록 한 후 클램프 수단이 박막의 테두리에서 박막을 클램핑하도록 고정하고, 그 후 구동 수단이 진동바를 웨이퍼로부터 이격되는 방향으로 진동시키며, 클램프 수단이 박막을 클램핑하므로 제1 흡착판이 웨이퍼를 흡착하여 고정하고, 진동바가 웨이퍼로부터 이격되는 방향으로 진동할 때 박막과 웨이퍼가 분리하게 된다. 상기 분리 장치는 구조가 간단하며, 분리 과정에서 박막과 웨이퍼를 손상하지 않고 분리 효율이 높다.
전술한 본 발명이 해결하고자 하는 기술 문제, 구성한 기술 방안의 기술 특징 및 이러한 기술 방안의 기술 특징에 의한 장점 이외에, 첨부한 도면에 결부하여 본 발명의 다른 기술 특징 및 이러한 기술 특징에 의한 장점을 더 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 박막과 웨이퍼의 분리 장치의 구조 모식도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 박막과 웨이퍼의 분리 장치의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에서 제2 흡착판과 제1 흡착판이 회전축 양측에 위치할 때의 상태도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에서 제2 흡착판이 클램프 수단에서 박막을 압착할 때의 상태도이다.
도 5는 도 4의 부분 확대도이다.
이하, 본 발명의 실시예의 목적, 기술 방안 및 장점이 더욱 명확해지도록 본 발명의 실시예의 도면에 결부하여 본 발명의 실시예의 기술 방안을 명확하고 완전하게 설명하는데, 기술한 실시예는 본 발명의 일부 실시예에 불과하고 전부 실시예가 아님을 이해해야 한다. 본 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 창의적 노력을 하지 않고 본 발명의 실시예에 의해 얻은 다른 실시예는 모두 본 발명의 보호 범위에 속한다.
본 발명에 대한 설명에서, 별도의 규정 또는 한정이 없는 한 용어 "장착", "접속", "연결"은 광의적으로 이해해야 하며, 예를 들어 고정 연결, 분해 가능한 연결, 일체적인 연결, 기계적 연결, 전기적 연결, 직접 접속, 중간 매체에 의한 간접 접속일 수 있고, 또는 2개의 소자 내부의 연통일 수도 있음을 유의해야 한다. 본 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 구체적인 상황에 따라 상기 용어가 본 발명에서 나타내는 구체적 의미를 이해할 수 있을 것이다.
또한, 본 발명에 대한 설명에서, 별도의 설명이 없는 한 "복수개", "다수개", "여러개"는 2개 또는 2개 이상을 말하고, "몇개", "몇몇", "일부"는 하나 또는 하나 이상을 말한다.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에서 제공한 박막과 웨이퍼의 분리 장치는 베이스(1), 제1 흡착판(9), 구동 수단, 진동바(7) 및 클램프 수단을 포함하며, 제1 흡착판(9)은 베이스(1)에 수평 장착되고 분리할 박막(21)과 웨이퍼(22)가 방치되며, 웨이퍼(22)와 박막(21)이 제1 흡착판(9)에 돌출되고, 제1 흡착판(9)은 웨이퍼(22)의 하면과 접착하여 흡착하며, 진동바(7)는 일단이 구동 수단과 연결되고 타단이 클램프 수단과 연결되며, 구동 수단은 진동바(7) 및 클램프 수단이 제1 흡착판(9)에 접근하거나 이격되도록 수직 평면 내에서 진동하도록 하고, 클램프 수단은 박막(21)의 테두리에서 박막(21)을 클램핑한다. 사용 시, 먼저 구동 수단을 제어하여 진동바(7)와 클램프 수단을 제1 흡착판(9)과 다른 측으로 회전시키고, 웨이퍼(22)와 박막(21)을 제1 흡착판(9)에 방치하며, 제1 흡착판(9)이 진공에 의해 웨이퍼(22)를 흡착하고, 구동 수단이 진동바(7)를 진동시켜 진동바와 클램프 수단이 박막(21)의 상부로 회전하도록 한 후 클램프 수단을 압착시켜 박막(21)의 테두리에서 박막(21)을 클램핑하여 고정하도록 하며, 그 후 구동 수단이 진동바(7)를 웨이퍼(22)로부터 이격되는 방향으로 진동시키고, 클램프 수단이 박막(21)을 클램핑하므로 제1 흡착판(9)이 웨이퍼(22)를 흡착하여 고정하며 진동바(7)가 웨이퍼(22)로부터 이격되는 방향으로 진동할 때, 박막(21)과 웨이퍼(22)가 분리하게 된다. 상기 분리 장치는 구조가 간단하며, 분리 과정에서 박막(21)과 웨이퍼(22)를 손상하지 않고 분리 효율이 높다.
나아가, 클램프 수단은 진동바(7)와 연결되고 신축바가 진동바(7)로부터 이격되는 방향으로 설치되는 제1 실린더(12); 연결판(13)에 의해 제1 실린더(12)의 신축바와 연결되고 신축바가 제1 실린더(12)에 수직되는 방향으로 설치되며 신축바의 단부가 박막(21)에 압착되는 압착판(15)에 연결되는 제2 실린더(14)를 포함한다.
나아가, 압착판(15)의 상면에는 압착판(15)을 박막(21)의 하면에 탄성 접촉시키기 위한 탄성 스트립(16)이 설치되어 있다. 본 실시예에서, 탄성 스트립(16)의 재료는 고무이다.
나아가, 구동 수단은 베이스(1)에 장착된다. 구동 수단은 구동 모터(2)와 회전축(6)을 포함하며, 구동 모터(2)의 출력축은 수평 설치되고 축이음(4)에 의해 회전축(6)과 연결되며, 진동바(7)는 회전축(6)에 수직되고 회전축(6)과 고정 연결된다. 구체적으로, 진동바(7)의 일단에는 삽입홀이 설치되어 있고, 회전축(6)이 삽입홀에 끼워지며, 회전축(6)이 회전할 때 진동바(7)가 수직 평면 내에서 진동하게 된다.
나아가, 회전축(6) 양단에는 각각 베어링 고정대(5)가 설치되어 있고, 베어링 고정대(5)는 베이스(1)에 고정되며 베어링이 내설되어 있고, 베어링의 아우터 레이스가 베어링 고정대(5)의 홀에 고정되며, 회전축(6)은 베어링을 관통하여 베어링의 이너 레이스와 결합된다. 베어링 고정대(5)는 회전축(6)을 지지하는 역할을 한다.
나아가, 베이스(1)에는 구동 모터(2)를 장착하는 모터 고정대(3)가 더 설치되어 있다. 모터 고정대(3)의 형상은 L형이고, 모터 고정대(3)의 바닥판은 베이스(1)에 고정되며, 모터 고정대(3)의 수직판에는 모터가 장착된다.
나아가, 상기 분리 장치는 베이스(1)에 설치되고 제1 흡착판(9)과 함께 회전축(6)의 동일 측에 설치되며 제1 진공 발생기가 내설되어 있는 제1 연결블록(8)을 더 포함하고, 제1 흡착판(9)에는 제1 진공 통로가 내설되어 있으며, 제1 진공 발생기는 제1 진공 통로와 연통된다. 제1 진공 발생기에 의해 제1 흡착판(9) 내에 진공을 발생시켜 웨이퍼(22)에 대한 제1 흡착판(9)의 흡착 효과를 구현한다.
나아가, 상기 분리 장치는 제2 흡착판(11), 및 진동바(7)와 제2 흡착판(11) 사이에 장착되는 제2 연결블록(10)을 더 포함하며, 클램프 수단은 제2 흡착판(11)에 설치되고, 제2 흡착판(11)은 제1 흡착판(9)에 접근할 때 박막(21)과 접착하여 흡착하며, 제2 연결블록(10)에는 제2 진공 발생기가 내설되어 있고, 제2 흡착판(11)에는 제2 진공 통로가 내설되어 있으며, 제2 진공 발생기는 제2 진공 통로와 연통된다. 본 실시예에서, 제2 연결블록(10)의 일측은 진동바(7)의 단부와 연결되고, 제2 연결블록(10)의 타측은 제2 흡착판(11)의 회전축(6)에 접근하는 일단과 연결되며, 제2 진공 발생기에 의해 제2 흡착판(11) 내에 진공을 발생시켜 박막(21)에 대한 제2 흡착판(11)의 흡착 효과를 구현한다. 구체적으로, 제1 실린더(12)는 제2 흡착판(11)에 설치되고 제2 흡착판(11)의 회전축(6)으로부터 이격되는 일단에 위치하며, 제1 실린더의 신축바는 회전축으로부터 이격되는 방향으로 설치되고, 제2 실린더(14)의 신축바는 제2 흡착판(11)에 수직되며, 제1 흡착판(9)이 박막(21)에 흡착된 후 제1 실린더(12)와 제2 실린더(14)의 신축바를 조정하여 가압판이 박막(21)의 하면에 압착하도록 함으로써 아래로부터 박막(21)에 작용력을 부여하고, 박막(21)의 크기가 웨이퍼(22)보다 크므로 압착판(15)은 박막(21)의 테두리에서 박막(21)의 하면에 압착하여 박막(21)이 제2 흡착판(11)에 밀착되도록 하고, 나아가 박막(21)이 제2 흡착판(11)과 함께 움직이도록 한다.
나아가, 진동바(7)에는 쿠션 플런저(17)가 설치되어 있으며, 제2 흡착판(11)이 제1 흡착판(9)에 접근하고 박막(21)과 접착하여 흡착할 때 쿠션 플런저(17)의 하단이 제1 연결블록(8)과 접촉된다. 본 실시예에서, 쿠션 플런저(17)는 스프링 플런저이고, 진동바(7)가 제2 흡착판(11)을 움직여 제1 흡착판(9)에 접근시킬 때 쿠션 작용을 하며, 제2 흡착판(11)이 박막(21)에 압착할 때 위치 한정 작용을 한다.
상기 박막(21)과 웨이퍼(22)의 분리 장치는 사용 시 주로 다음과 같은 단계를 포함한다.
구동 수단을 제어하여 진동바(7)를 진동시키는데, 즉 구동 모터(2)가 회전함으로써 회전축(6)을 회전시키는 동시에 진동바(7)를 진동시켜 제2 흡착판(11)과 제1 흡착판(9)이 각각 회전축(6)의 양측에 위치하도록 하고, 제1 실린더(12)의 신축바와 제2 실린더(14)의 신축바를 연장시켜 압착판(15)이 제2 흡착판(11)으로부터 이격하도록 하며, 이때 제2 흡착판(11)은 초기 위치에 위치한다(단계(S0)).
박막(21)과 웨이퍼(22)를 제1 흡착판(9)에 방치하고, 제1 흡착판(9)이 웨이퍼(22)의 하면을 흡착하도록 하며, 박막(21)과 웨이퍼(22)가 제1 흡착판(9)에 방치될 때 박막(21)의 크기가 웨이퍼(22)보다 크므로 압착판(15)의 압착을 위한 공간이 형성되고, 제1 진공 발생기에 의해 제1 진공 통로 내에 진공을 발생시켜 제1 흡착판(9)의 흡착판이 웨이퍼(22)를 흡착하도록 한다(단계(S1)).
구동 모터(2)를 회전시켜 진동바(7)와 제2 흡착판(11)이 박막(21) 상부로 회전하도록 하고, 클램프 수단에 의해 박막(21)의 테두리에서 박막(21)을 클램핑한다(단계(S2)).
구체적으로, 단계(S2)는 구동 모터(2)를 회전시켜 진동바(7)와 제2 흡착판(11)이 박막(21) 상부로 회전하도록 하고, 제2 흡착판(11)이 박막(21)의 상면을 흡착하도록 하는 단계(S21)를 더 포함하며, 상기 과정에서 제2 흡착판(11)이 박막(21)에 곧 접촉할 때 구동 모터(2)가 천천히 회전하여 제2 흡착판(11)이 박막(21)에 천천히 접촉하도록 하고, 박막(21)을 압착한 후 진공 흡착을 함으로써 제2 흡착판(11)이 박막(21)에 신속히 접촉하여 파손이 발생되는 것을 방지한다.
제1 실린더(12)의 신축바를 단축시켜 압착판(15)이 제2 흡착판(11)에 접근하고 제2 흡착판(11) 하부에 위치하도록 하며, 제2 실린더(14)의 신축바가 단축되면 가압판이 위로 향하는 변위가 발생하게 되어 압착판(15)이 박막(21)의 하면에 압착하게 되고, 압착판(15)이 박막(21)의 하면에 접근하여 접촉할 때 압착판(15)에 위치하는 탄성 스트립(16)이 먼저 박막(21)과 접촉한다(단계(S22)).
구동 모터(2)를 단계(S2)와 반대되는 방향으로 회전시켜 진동바(7), 제2 흡착판(11), 제1 실린더(12), 제2 실린더(14) 및 압착판(15)이 웨이퍼(22)로부터 이격되는 방향으로 함께 진동하도록 함으로써 박막(21)을 웨이퍼(22)로부터 분리시킨다(단계(S3)). 박막(21)과 웨이퍼(22)가 분리된 후, 구동 모터(2)는 제2 흡착판(11)을 초기 위치로 신속히 회복시킨다. 그 후, 제1 실린더(12)와 제2 실린더(14)가 연장되어 박막(21)에 대한 압착판(15)의 구속력이 제거되고, 제2 흡착판(11) 내의 진공이 방출됨으로써 박막(21)에 대한 제2 흡착판(11)의 흡착력이 사라지며, 로봇을 이용하여 박막(21)을 픽업할 수 있고, 제1 흡착판(9) 내의 진공이 방출됨으로써 웨이퍼(22)에 대한 제1 흡착판(9)의 흡착력이 사라지고, 로봇을 이용하여 웨이퍼(22)를 픽업할 수 있다.
사용 시, 상기 동작을 연속적으로 반복함으로써 웨이퍼와 박막의 분리를 여러번 수행할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에서 제공한 박막과 웨이퍼의 분리 장치 및 방법은 수평 설치되는 제1 흡착판을 사용하여 웨이퍼를 흡착하고, 수직 평면 내에서 진동할 수 있는 제2 흡착판을 사용하여 박막을 흡착하며, 이동 가능한 압착판을 이용하여 박막의 일단을 압착함으로써, 구동 모터가 회전할 때 진동바, 제2 흡착판 및 압착판을 함께 회전시켜 박막과 웨이퍼를 분리할 수 있다. 상기 분리 과정에서는 박막과 웨이퍼에 물을 뿌릴 필요가 없고, 분리 장치에 탄성 스트립과 쿠션 플런저 등의 보호 수단이 설치되어 있어 분리 수단, 박막 및 웨이퍼가 분리 과정에서 손상되는 것을 방지하고, 분리의 안전성, 신뢰성과 분리의 성공율을 향상시킨다.
마지막으로, 상술한 실시예는 다만 본 발명의 기술 방안을 설명하기 위한 것이고, 이를 제한하기 위한 것이 아니며, 상기 실시예를 참조하여 본 발명을 상세하게 설명하였으나 본 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기 각 실시예에 기재된 기술방안을 수정하거나 또는 그 중의 일부 기술 특징에 대해 등가 치환을 할 수 있으며, 이러한 수정 또는 치환은 해당 기술 방안의 본질을 본 발명의 각 실시예의 기술방안의 정신과 범위에서 벗어나게 하는 것이 아님을 이해해야 할 것이다.
1 : 베이스; 2 : 구동 모터; 3 : 모터 고정대; 4 : 축이음; 5 : 베어링 고정대; 6 : 회전축; 7 : 진동바; 8 : 제1 연결블록; 9 : 제1 흡착판; 10 : 제2 연결블록; 11 : 제2 흡착판; 12 : 제1 실린더; 13 : 연결판; 14 : 제2 실린더; 15 : 압착판; 16 : 탄성 스트립; 17 : 쿠션 플런저; 21 : 박막; 22 : 웨이퍼.

Claims (10)

  1. 베이스;
    상기 베이스에 수평 장착되고, 분리할 박막과 웨이퍼를 방치하며, 상기 웨이퍼의 하면과 접착하여 흡착하는 제1 흡착판;
    구동 수단;
    일단이 상기 구동 수단과 연결되고, 타단이 상기 클램프 수단과 연결되는 진동바; 클램프 수단;을 포함하며,
    상기 구동 수단은 상기 진동바와 상기 클램프 수단이 상기 제1 흡착판에 접근하거나 이격되도록 수직 평면 내에서 진동하도록 하고, 상기 클램프 수단은 상기 박막의 테두리에서 상기 박막을 클램핑하는 것을 특징으로 하는 박막과 웨이퍼의 분리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 클램프 수단은 상기 진동바와 연결되고 신축바가 상기 진동바로부터 이격되는 방향으로 설치되는 제1 실린더; 상기 제1 실린더의 신축바와 연결되고 신축바가 상기 제1 실린더의 신축바에 수직되며 신축바의 단부가 상기 박막의 하면에 압착되는 압착판에 연결되는 제2 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막과 웨이퍼의 분리 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 압착판의 상면에 상기 압착판을 상기 박막의 하면에 탄성 접촉시키기 위한 탄성 스트립이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 박막과 웨이퍼의 분리 장치.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 구동 수단은 상기 베이스에 장착되고 구동 모터와 회전축을 포함하며, 상기 구동 모터는 모터 고정대에 의해 상기 베이스에 장착되고 출력축이 수평 설치되며, 출력축이 축이음에 의해 상기 회전축과 연결되고, 상기 진동바가 상기 회전축에 수직되며 상기 회전축과 고정 연결되고, 상기 회전축의 양단에는 각각 베어링 고정대가 설치되어 있고, 상기 베어링 고정대는 상기 베이스에 고정되며, 상기 베어링 고정대 내에는 베어링이 설치되어 있고, 상기 회전축은 상기 베어링을 관통하여 상기 베어링의 이너 레이스와 결합되는 것을 특징으로 하는 박막과 웨이퍼의 분리 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 베이스에 설치되고 상기 제1 흡착판과 함께 상기 회전축의 동일 측에 설치되며 제1 진공 발생기가 내설되어 있는 제1 연결블록을 더 포함하고, 상기 제1 흡착판에는 제1 진공 통로가 내설되어 있으며, 상기 제1 진공 발생기는 상기 제1 진공 통로와 연통되는 것을 특징으로 하는 박막과 웨이퍼의 분리 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    제2 흡착판과 제2 연결블록을 더 포함하며, 상기 제2 흡착판은 상기 제2 연결블록을 통해 상기 진동바와 연결되고 상기 클램프 수단이 설치되며 제2 진공 통로가 내설되고, 상기 제2 연결블록은 상기 제2 진공 통로와 연통되는 제2 진공 발생기가 내설되며, 상기 제2 흡착판은 상기 제1 흡착판에 접근할 때 상기 박막과 접착하여 흡착하는 것을 특징으로 하는 박막과 웨이퍼의 분리 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 진동바에는 쿠션 플런저가 설치되어 있고, 상기 제2 흡착판이 상기 제1 흡착판에 접근하고 상기 박막과 접착하여 흡착할 때 상기 쿠션 플런저의 하단이 상기 제1 연결블록에 접촉되는 것을 특징으로 하는 박막과 웨이퍼의 분리 장치.
  8. 청구항6에 따른 분리 장치를 이용하여 박막과 웨이퍼를 분리시키는 박막과 웨이퍼의 분리 방법에 있어서,
    분리할 웨이퍼와 박막을 제1 흡착판에 방치하고, 제1 흡착판에 의해 웨이퍼를 접착하여 흡착하는 단계(S1);
    구동 모터를 회전시켜 진동바가 박막으로 진동하도록 하고, 클램프 수단에 의해 박막의 테두리에서 박막을 클램핑하는 단계(S2);
    구동 모터를 반대방향으로 회전시켜 진동바가 웨이퍼로부터 이격되는 방향으로 진동하도록 하여 박막을 웨이퍼로부터 분리하는 단계(S3);를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막과 웨이퍼의 분리 방법.
  9. 청구항 8항에 있어서,
    상기 단계(S2)는,
    구동 모터를 회전시켜 진동바와 제2 흡착판이 박막 상부로 회전하도록 하고, 제2 흡착판이 박막의 상면을 흡착하도록 하는 단계(S21);
    제1 실린더의 신축바를 단축시켜 압착판이 제2 흡착판 하부에 위치하도록 하고, 제2 실린더의 신축바를 단축시켜 압착판이 박막의 하면에 압착하도록 하는 단계(S22);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막과 웨이퍼의 분리 방법.
  10. 청구항 8에 있어서,
    단계(S1) 전에는 구동 모터를 회전시켜 진동바를 진동시킴으로써 제2 흡착판과 제1 흡착판이 각각 회전축의 양측에 위치하도록 하고, 제1 실린더의 신축바와 제2 실린더의 신축바를 연장시켜 상기 압착판이 상기 제2 흡착판으로부터 이격되도록 하는 단계(S0)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막과 웨이퍼의 분리 방법.
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