KR20190067853A - 시험 장치 및 발광 장치의 제조 방법 - Google Patents

시험 장치 및 발광 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

시험 장치(10)는, 시험 대상이 되는 발광 장치(60)를 유지하는 유지부(20); 유지부(20)에 유지되는 발광 장치(60)로부터 출력되는 광을 도광하는 광도파로(34); 광도파로(34)로부터 출력되는 광을 확산시키는 광확산판(38); 및 광확산판(38)에 의해 확산된 광을 수광하는 수광 장치(40)를 구비한다. 시험 장치(10)는, 유지부(20) 및 유지부(20)에 유지되는 발광 장치(60)를 내부에 수용하고, 발광 장치(60)의 온도를 제어하도록 구성되는 항온 장치(12)를 더 구비해도 좋다. 수광 장치(40)는, 항온 장치(12)의 외부에 마련되고, 광도파로(34)는, 항온 장치(12)의 내부로부터 외부로 광을 도광해도 좋다.

Description

시험 장치 및 발광 장치의 제조 방법
본 발명은, 발광 장치의 시험 장치에 관한 것이다.
LED 등의 발광 장치는, 장시간의 통전 시험에 의해 신뢰성이 평가된다. 이와 같은 통전 시험을 하기 위한 시험 장치로서, 예를 들면, 반도체 발광 소자를 탑재한 발광 부품을 기판 등에 실장하지 않고, 상온보다 고온 또는 저온의 환경하에서 시험할 수 있는 시험 장치를 들 수 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
일본국 특허공개공보 2011-237350호 공보
심자외광 등의 파장이 짧고 높은 에너지의 광을 출력하는 발광 장치를 시험하는 경우, 시험 장치가 구비하는 수광 장치가 높은 에너지의 광에 의해 열화되어, 장시간의 통전 시험을 적절히 실행할 수 없는 경우가 있다. 그렇게 되면, 시험 공정의 신뢰성이 손상되어버린다.
본 발명은 이와 같은 과제를 해결하기 위한 것으로서, 그 예시적인 일 목적은, 신뢰성이 높은 연속 통전 시험이 가능한 시험 장치를 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 시험 장치는, 시험 대상이 되는 발광 장치를 유지하는 유지부; 유지부에 유지되는 발광 장치로부터 출력되는 광을 도광하는 광도파로; 광도파로로부터 출력되는 광을 확산시키는 광확산판; 및 광확산판에 의해 확산된 광을 수광하는 수광 장치를 구비한다.
이 실시예에 의하면, 광도파로를 통과하는 것에 의해 중심 부근의 피크 강도가 향상된 광을 광확산판에 의해 확산시키고, 확산되어 피크 강도가 낮아진 광을 수광 장치에 입사시킬 수 있다. 이에 의해, 고강도의 광이 수광면의 일부에 집중되는 것에 의해 다른 부분보다 빨리 열화되는 영향을 저감하고, 수광 장치가 사용할 수 없어질 때까지의 수명을 길게 할 수 있다. 수광 장치를 장기간 사용할 수 있도록 하는 것에 의해, 장시간의 통전 시험을 적절히 실행할 수 있도록 하고, 시험의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
시험 장치는, 유지부 및 유지부에 유지되는 발광 장치를 내부에 수용하고, 발광 장치의 동작 온도를 제어하도록 구성되는 항온 장치를 더 구비해도 좋다. 수광 장치는, 항온 장치의 외부에 마련되고, 광도파로는, 항온 장치의 내부로부터 외부로 광을 도광해도 좋다.
시험 장치는, 수광 장치의 수광면의 외주 영역을 향하는 광을 차폐하도록 배치되는 차폐판을 더 구비해도 좋다.
발광 장치는, 360nm 이하인 파장의 심자외광을 출력해도 좋다.
광도파로는, 석영(SiO2) 유리 로드로 구성되어도 좋다.
광확산판은, 광을 확산시키기 위한 요철면을 구비하는 석영 유리판이어도 좋다.
본 발명의 다른 실시예는, 발광 장치의 제조 방법이다. 이 방법은, 발광 장치로부터 출력되는 광을 광도파로 및 광확산판을 통해 수광 장치로 수광하고, 발광 장치의 광출력을 시험하는 공정을 포함한다.
이 실시예에 의하면, 광도파로를 통과하는 것에 의해 중심 부근의 피크 강도가 향상된 광을 광확산판에 의해 확산시키고, 확산되어 피크 강도가 낮아진 광을 수광 장치에 입사시킬 수 있다. 이에 의해, 고강도의 광이 수광면의 일부에 집중되는 것에 의해 다른 부분보다 빨리 열화되는 영향을 저감하고, 수광 장치가 사용할 수 없어질 때까지의 수명을 길게 할 수 있다. 이에 의해, 수광 장치가 조기에 열화되는 것에 의한 시험의 신뢰성의 저하를 방지하고, 적절한 시험이 실행된 신뢰성이 높은 발광 장치를 제공할 수 있다.
본 발명에 의하면, 신뢰성이 높은 통전 시험을 제공할 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 시험 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도광부로부터 출력되는 광의 강도 분포를 모식적으로 나타내는 그래프이다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명을 실시하기 위한 실시예에 대해 상세하게 설명한다. 한편, 설명에 있어서 동일한 요소에는 동일한 부호를 첨부하고, 중복되는 설명을 적절히 생략한다.
도 1은, 실시예에 따른 시험 장치(10)의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 시험 장치(10)는, 항온 장치(12)와, 복수의 유지부(20(20a, 20b, 20c))와, 복수의 도광부(30(30a, 30b, 30c))와, 복수의 수광 장치(40(40a, 40b, 40c))와, 차폐판(50)을 구비한다. 시험 장치(10)는, 복수의 발광 장치(60(60a, 60b, 60c))의 통전 시험을 일괄로 실행하기 위한 장치이다.
시험 대상이 되는 발광 장치(60)는, 심자외광을 출력하는 UV-LED(Ultra Violet-Light Emitting Diode)이다. 발광 장치(60)는, 피크 파장 또는 중심 파장이 200nm~360nm의 범위가 되는 심자외광을 출력하도록 구성된다. 이와 같은 자외광 LED로서, 예를 들면, 질화 알루미늄 갈륨(AlGaN)을 사용한 것이 알려져 있다.
항온 장치(12)는, 복수의 유지부(20) 및 복수의 유지부(20)의 각각에 유지되는 발광 장치(60)를 내부에 수용하는 용기(14)를 구비한다. 항온 장치(12)는, 예를 들면 항온조이고, 용기(14)에 둘러싸이는 내부 공간(16)의 온도가 일정해지도록 가열 또는 냉각하는 장치이다. 항온 장치(12)는, 발광 장치(60)의 통전 시험에 사용하는 온도 조건(예를 들면 -20℃~85℃)이 소정의 시험 시간에 걸쳐 유지되도록 한다. 항온 장치(12)는, 일정 주기로 온도를 상하시키는 사이클 시험을 실시할 수 있도록 구성되어도 좋다. 용기(14)에는, 복수의 도광부(30)를 삽통시키기 위한 복수의 장착 구멍(18(18a, 18b, 18c))이 마련된다.
유지부(20)는, 시험 대상이 되는 발광 장치(60)를 유지한다. 유지부(20)는, 발광 장치 탑재 기판(22)과, 히트싱크(24)를 구비한다. 발광 장치 탑재 기판(22)은, 발광 장치(60)의 전극과 접속되는 단자를 구비하고, 단자를 통해 발광 장치(60)를 구동하기 위한 구동 전류를 공급한다. 발광 장치 탑재 기판(22)은, 도시하지 않는 외부 전원에 접속된다. 히트싱크(24)는, 발광 장치 탑재 기판(22)에 장착된다. 히트싱크(24)는, 발광 장치 탑재 기판(22) 및 발광 장치(60)의 온도와, 항온 장치(12)의 내부 공간(16)의 온도가 동일해지는 것을 돕는다.
유지부(20)는, 항온 장치(12)의 내부에 복수 마련된다. 도시하는 예에서는, 3개의 유지부(20)가 마련되어 있지만, 유지부(20)의 수는 2개 이하여도 좋고, 4개 이상이어도 좋다. 복수의 유지부(20)는, 항온 장치(12)의 내부에서 일렬(1차원 어레이 형태)로 배열되어 있어도 좋고, 매트릭스 형태(2차원 어레이 형태)로 배치되어 있어도 좋다. 일 실시예에 있어서, 복수의 유지부(20)는 5×15의 매트릭스 형태로 배치되어 있어도 좋다. 도시하는 예에 있어서, 유지부(20)는, 하나의 발광 장치(60)를 유지하도록 구성되어 있다. 변형예에서는, 하나의 유지부가 복수의 발광 장치(60)를 유지할 수 있도록 구성되어도 좋다. 예를 들면, 복수의 유지부(20a, 20b, 20c)를 일체화시키고, 하나의 유지부에 3개의 발광 장치(60)를 탑재할 수 있도록 해도 좋다.
유지부(20)는, 탑재되는 발광 장치(60)로부터의 출력광이 대응하는 도광부(30)에 입사하도록 배치된다. 유지부(20)는, 탑재되는 발광 장치(60)의 광출사면(62)과, 도광부(30)의 광입사단(31)이 대향하도록 배치되고, 바람직하게는, 발광 장치(60)의 광출사면(62)과 도광부(30)의 광입사단(31)이 근접하도록 배치된다. 유지부(20)는, 시험 장치(10)의 사용시에 항온 장치(12)의 내부에 수용되지만, 시험 장치(10)의 비사용시에는 항온 장치(12)의 외부로 용이하게 취출할 수 있도록 구성되어도 좋다. 유지부(20)는, 예를 들면, 항온 장치(12)의 내부에 마련되는 랙에 수납할 수 있도록 구성되어도 좋다.
도광부(30)는, 대응하는 발광 장치(60)와 수광 장치(40) 사이에 마련되고, 발광 장치(60)로부터의 출력광을 수광 장치(40)로 가이드하도록 구성된다. 도광부(30)는, 항온 장치(12)의 내부로부터 외부로 발광 장치(60)의 출력광을 취출하기 위해 마련된다. 도광부(30)의 광입사단(31)은, 항온 장치(12)의 내부에 마련되고, 유지부(20)에 탑재되는 발광 장치(60)의 근방에 위치한다. 한편, 도광부(30)의 광출사단(32)은, 항온 장치(12)의 외부에 마련되고, 수광 장치(40)의 수광면(48)의 근방에 위치한다.
도광부(30)는, 광도파로(34)와, 광량 필터(36)와, 광확산판(38)을 구비한다. 광도파로(34)는, 대응하는 발광 장치(60)로부터 수광 장치(40)를 향해 길이 방향으로 연장되어 있는 부재이다. 광도파로(34)는, 발광 장치(60)가 출력하는 심자외광에 의해 쉽게 열화되지 않는 재료로 구성되는 것이 바람직하고, 예를 들면, 석영(SiO2) 유리로 구성된다. 광도파로(34)는, 예를 들면, 기중 모양의 석영 유리 로드로 구성된다. 광도파로(34)는, 예를 들면, 발광 장치(60)의 광출사면(62)보다 큰 단면적을 가지고, 예를 들면, 단면의 치수(지름)가 5mm 이상이다. 일 실시예에 있어서, 광도파로(34)의 지름은 6mm 정도이다.
광도파로(34)는, 광섬유와 같은 코어와 클래드를 구비해도 좋고, 코어만으로 구성되어도 좋다. 광도파로(34)는, 중공관이어도 좋고, 석영관, 폴리테트라 플루오로에틸렌(PTFE) 등의 불소계 수지제의 관, 내면이 알루미늄(Al)으로 구성되는 수지관 또는 금속관이어도 좋다. 광도파로(34)의 길이방향과 직교하는 단면의 형상은 특히 한정되지 않고, 원형, 타원형, 삼각형, 사각형, 오각형, 육각형 등이어도 좋다. 광도파로(34)는, 복수 가닥의 광섬유를 묶어서 구성되어도 좋다.
광량 필터(36)는, 이른바 ND(Neutral Density) 필터이고, 도광부(30)를 통과하는 광의 강도를 일정 비율로 쇠퇴시킨다. 광량 필터(36)의 투과율은, 특히 한정되지 않지만, 예를 들면, 1%, 5%, 10%, 20% 등의 값을 사용할 수 있다. 광량 필터(36)는, 심자외광에 의해 쉽게 열화되지 않는 재료로 구성되는 것이 바람직하고, 예를 들면, 석영 유리가 베이스 재료로서 사용된다. 심자외광에 대한 내구성이 높은 재료를 사용하는 것에 의해, 심자외광에 의한 열화에 의해 필터의 투과율이 시간 경과와 함께 변화되어버리는 영향을 억제할 수 있다.
광량 필터(36)는, 도광부(30)의 광입사단(31)에 마련되고, 발광 장치(60)와 광도파로(34) 사이의 위치에 마련된다. 광량 필터(36)를 광도파로(34)보다 앞측에 배치하는 것에 의해, 광도파로(34)에 고강도의 심자외광이 입사하여 광도파로(34)가 열화되는 영향을 억제할 수 있다. 변형예에 있어서는, 광도파로(34)와 수광 장치(40) 사이에 광량 필터(36)가 배치되어도 좋다. 구체적으로, 광량 필터(36)는, 광도파로(34)와 광확산판(38) 사이에 배치되어도 좋고, 광확산판(38)과 수광 장치(40) 사이에 배치되어도 좋다.
광확산판(38)은, 도광부(30)의 광출사단(32)에 마련된다. 광확산판(38)은, 광도파로(34)로부터 출력되는 광을 확산시키고, 수광 장치(40)에 입사하는 광의 강도 분포를 조정한다. 광확산판(38)은, 광도파로(34)로부터의 출력광의 강도 분포를 균일화시킨다. 즉, 출력광의 피크 강도값이 낮아지고, 강도 분포의 FWHM(full width at half maximum)이 커지도록 한다. 광확산판(38)은, 심자외광에 의해 쉽게 열화되지 않는 재료로 구성되는 것이 바람직하고, 예를 들면, 석영 유리가 베이스 재료로서 사용된다. 광확산판(38)은, 이른바 "불투명 유리"여도 좋고, 석영 유리판의 일 메인면 또는 양면에 광을 확산시키기 위한 미세한 요철면을 형성한 것이어도 좋다. 광확산을 위한 요철면은, 균일하면서 치밀한 모랫발을 구비하도록 형성되는 것이 바람직하다.
도 2는, 도광부(30)로부터 출력되는 광의 강도 분포를 모식적으로 나타내는 도면이고, 수광면(48)을 따른 방향(x방향)의 광강도(I)의 분포를 나타낸다. 파선(64)은, 광확산판(38)이 없는 경우에 광도파로(34)로부터 출력되는 광의 강도 분포의 일례를 나타낸다. 광도파로(34)로부터의 출력광은, 중심 부근에 강한 피크를 갖는 강도 분포가 되기 때문에, 도시되는 바와 같은 끝이 뾰족하고 확산 폭의 작은 강도 분포가 된다. 실선(66)은, 광확산판(38)이 있는 도광부(30)로부터 출력되는 광의 강도 분포의 일례를 나타낸다. 광확산판(38)을 통과시키는 것에 의해, 파선(64)보다 피크 강도가 낮고, 확산 폭이 큰 강도 분포를 가지는 확산광이 출력된다.
수광 장치(40)는, 항온 장치(12)의 외부에 마련되고, 도광부(30)를 통과한 광을 수광한다. 수광 장치(40)는, 각각이 대응하는 발광 장치(60)로부터 출력된 광을 수광한다. 예를 들면, 제1수광 장치(40)a는, 제1발광 장치(60a)로부터 출력되어, 제1도광부(30a)를 통과한 광을 수광한다. 마찬가지로, 제2수광 장치(40b)는, 제2발광 장치(60b)로부터 출력되어, 제2도광부(30b)를 통과한 광을 수광하고, 제3수광 장치(40c)는, 제3발광 장치(60c)로부터 출력되어, 제3도광부(30c)를 통과한 광을 수광한다. 복수의 수광 장치(40)는, 수광 장치 탑재 기판(54)에 장착되어 있다.
수광 장치(40)는, 수광 소자(42)와, 패키지(44)와, 수광창(46)을 구비한다. 수광 소자(42)는, 포토다이오드 등의 광전변환 소자이고, 입사광의 강도를 계측한다. 수광 소자(42)는, 입사광의 강도 분포를 계측할 수 있도록 구성되어도 좋다. 수광 소자(42)는, 패키지(44)의 내부에 수용되어 있다. 수광창(46)은, 수광 소자(42)를 향하는 광을 투과시킨다. 수광창(46)은, 패키지(44)에 장착되고, 패키지(44)와 함께 수광 소자(42)를 패키지(44)의 내부에 밀봉한다. 수광창(46)은, 예를 들면, 수광창(46)의 외주에 마련되는 접착제에 의해 패키지(44)에 장착된다. 수광창(46)은, 수광 장치(40)가 검출해야 할 광이 입사하는 수광면(48)을 형성한다.
차폐판(50)은, 도광부(30)와 수광 장치(40) 사이에 배치된다. 차폐판(50)은, 복수의 수광 장치(40(40a, 40b, 40c))의 수광면(48)의 중앙 영역을 향하는 광을 통과시키는 복수의 개구(52(52a, 52b, 52c))를 구비한다. 개구(52)는, 수광 장치(40)의 수광면(48)의 형상에 대응한 형상을 구비하고, 예를 들면, 원형 또는 직사각형이다. 차폐판(50)은, 수광 장치(40)의 수광면(48)의 중앙 영역을 향하는 광을 투과시키는 한편, 수광면(48)의 외주 영역을 향하는 광을 차폐한다. 이에 의해, 패키지(44)와 수광창(46) 사이를 접합하는 접착제에 심자외광이 조사되어 접착제가 열화되고, 패키지(44)의 밀봉성이 손상되는 것을 방지한다.
이어서, 시험 장치(10)의 사용 방법에 대해 설명한다. 우선, 복수의 유지부(20)의 각각에 발광 장치(60)가 탑재된다. 항온 장치(12)의 내부가 소정의 온도로 설정되고, 발광 장치(60)가 점등된다. 발광 장치(60)가 발광하는 심자외광은, 광량 필터(36)에 의해 강도가 쇠퇴되어, 광도파로(34)를 투과하고, 광확산판(38)에 의해 강도 분포가 균일화된다. 수광 장치(40)는, 도광부(30)를 통과한 광을 수광한다. 발광 장치(60)는, 시험에 필요한 시간(예를 들면, 100시간, 1000시간, 5000시간, 10000시간, 50000시간)에 걸쳐 연속하여 통전된다. 수광 장치(40)는, 연속 통전 시험이 실행되는 시간에 걸쳐 입사되는 광의 강도 또는 강도 분포를 계측한다.
본 실시예에 의하면, 심자외광에 의한 도광부(30)나 수광 장치(40)의 열화를 바람직하게 방지하면서, 심자외광을 출력하는 발광 장치(60)의 통전 시험을 실행할 수 있다. 파장이 360nm 이하인 심자외광은 광에너지가 높기(3.4eV 이상) 때문에, 종래의 시험 장치의 구성대로는, 도광부(30) 및 수광 장치(40)에 사용하는 재료에 대미지를 주고, 도광부(30)나 수광 장치(40)를 열화시켜버린다. 예를 들면, 도광부(30)의 재료로서 통상의 광학 유리나 수지 재료를 사용한 경우, 심자외광에 의한 열화의 영향을 받아, 광학 재료가 황변되거나, 약해진다. 또한, 수광 소자(42)에 사용하는 실리콘(Si) 등의 반도체 재료도 고강도의 심자외광을 받아 열화되어, 장시간의 연속 사용에 견딜 수 없는 경우가 있다. 예를 들면, 본 발명자들의 실험에 의하면, 파장 300nm, 광출력 30mW의 발광 장치(60)로부터의 출력광을 광량 필터(36) 및 광확산판(38)이 포함되지 않는 구성으로 계측한 경우, 1000시간 정도에서 수광 소자(42)의 중앙 부근이 흑변하고, 정확하게 광강도를 계측할 수 없는 상태가 되었다. 한편, 투과율 10%의 광량 필터(36)와, #220번의 모랫발의 광확산판(38)을 조합하여 사용한 경우, 50000시간 정도까지 수광 장치(40)의 수명이 연장되는 것을 알았다. 따라서, 본 실시예에 따른 시험 장치(10)에 의하면, 장시간의 연속 통전 시험을 적절히 실행할 수 있게 하고, 발광 장치(60)의 수명 시험의 신뢰성을 높일 수 있다.
본 실시예에 의하면, 수광 장치(40)가 항온 장치(12)의 외부에 마련되기 때문에, 실온하에서 동작하는 사양의 수광 장치(40)를 사용할 수 있다. 이에 의해, 저온 및 고온하에서 동작 가능한 특별한 수광 장치를 준비할 필요가 없어, 수광 장치(40)의 비용을 억제할 수 있다. 또한, 차폐판(50)에 의해 수광 장치(40)의 패키지(44)와 수광창(46)의 접합부를 보호하는 구성으로 하고 있기 때문에, 내광성이 높은 특별 사양의 수광 장치를 사용할 필요가 없어, 수광 장치(40)의 비용을 억제할 수 있다.
본 실시예에 의하면, 광확산판(38)을 사용하여, 광도파로(34)로부터 출력되는 피크 강도가 높은 광을 확산시킨 후 수광하기 때문에, 수광 장치(40)가 수광 가능한 유효 면적을 넓게 사용하여 감도가 높은 계측을 할 수 있다. 이에 의해, 시험 장치(10)를 사용한 발광 시험의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
이어서, 시험 장치(10)를 사용한 시험 공정을 포함하는 발광 장치(60)의 제조 방법에 대해 설명한다. 우선, 질화 알루미늄 갈륨(AlGaN)계의 반도체 재료로 구성되는 반도체 발광 소자를 작성하고, 작성한 발광 소자를 LED 패키지 내에 봉입하는 것에 의해 발광 장치(60)를 제조한다. 이어서, 시험 장치(10)를 사용하여 발광 장치(60)의 점등 시험을 실행한다. 점등 시험에서는, 발광 장치(60)로부터 출력되는 광이 광량 필터(36), 광도파로(34) 및 광확산판(38)을 통해 수광 장치(40)에서 수광되어, 발광 장치(60)의 광출력이 시험된다. 이 시험 공정은, 특성을 안정화시키고, 규격 외의 제품 또는 불량품 등을 배제하기 위해 고온 환경하에서 일정 시간 통전되는 번인(burn-in) 시험이어도 좋다. 발광 장치(60)는, 번인(burn-in) 시험을 거치는 것에 의해 완성되어도 좋다. 이 제조 방법에 의하면, 심자외광에 의한 악영향을 받기 어려운 시험 장치(10)를 사용하여 시험이 실행되기 때문에, 시험 공정의 신뢰성을 높일 수 있고, 출하되는 발광 장치(60)의 신뢰성을 높일 수 있다.
이상, 본 발명을 실시예를 바탕으로 설명했다. 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 다양한 설계 변경 및 다양한 변형예가 가능하고, 또한 그러한 변형예도 본 발명의 범위에 포함되는 것은, 당업자에게 이해되는 바이다.
상술한 실시예에서는, 하나의 항온 장치(12)를 사용한 시험 장치(10)에 대해 설명했다. 변형예에 있어서는, 시험 장치(10)이 복수의 항온 장치(12)를 구비해도 좋다. 복수의 항온 장치(12)는 일렬로 배열되어도 좋고, (예를 들면 2×2 등의) 매트릭스 형태로 배치되어도 좋다. 복수의 유지부(20)는, 복수의 항온 장치(12)의 각각에 배치되어도 좋다. 복수의 항온 장치(12)를 사용하는 것에 의해, 상이한 온도 조건에 따른 시험을 동시에 실행할 수 있어, 시험 효율을 높일 수 있다.
상술한 실시예에서는, 심자외광을 출력하는 발광 장치(60)를 시험 대상으로 하는 경우에 대해 제시했다. 변형예에 있어서는, 심자외광 이외의 광을 출력하는 발광 장치에 대해 상술한 시험 장치(10)를 사용해도 좋다. 예를 들면, 360nm~400nm의 자외광을 출력하는 발광 장치, 400nm~450nm의 청색광을 출력하는 발광 장치를 시험 대상으로 해도 좋다. 녹색, 황색, 적색 등의 가시광을 출력하는 발광 장치를 시험 대상으로 해도 좋고, 적외광을 출력하는 발광 장치를 대상으로 해도 좋다.
[산업상 이용가능성]
본 발명에 의하면, 신뢰성이 높은 통전 시험을 제공할 수 있다.
10: 시험 장치
12: 항온 장치
20: 유지부
30: 도광부
34: 광도파로
36: 광량 필터
38: 광확산판
40: 수광 장치
48: 수광면
50: 차폐판
60: 발광 장치

Claims (7)

  1. 시험 대상이 되는 발광 장치를 유지하는 유지부;
    상기 유지부에 유지되는 발광 장치로부터 출력되는 광을 도광하는 광도파로;
    상기 광도파로로부터 출력되는 광을 확산시키는 광확산판; 및
    상기 광확산판에 의해 확산된 광을 수광하는 수광 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 시험 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유지부 및 상기 유지부에 유지되는 발광 장치를 내부에 수용하고, 상기 발광 장치의 동작 온도를 제어하도록 구성되는 항온 장치를 더 구비하고,
    상기 수광 장치는, 상기 항온 장치의 외부에 마련되고, 상기 광도파로는, 상기 항온 장치의 내부로부터 외부로 광을 도광하는 것을 특징으로 하는 시험 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 수광 장치의 수광면의 외주 영역을 향하는 광을 차폐하도록 배치되는 차폐판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 시험 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 발광 장치는, 360nm 이하인 파장의 심자외광을 출력하는 것을 특징으로 하는 시험 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광도파로는, 석영(SiO2) 유리 로드로 구성되는 것을 특징으로 하는 시험 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광확산판은, 광을 확산시키기 위한 요철면을 구비하는 석영 유리판인 것을 특징으로 하는 시험 장치.
  7. 발광 장치로부터 출력되는 광을 광도파로 및 광확산판을 통해 수광 장치로 수광하고, 상기 발광 장치의 광출력을 시험하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 장치의 제조 방법.
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