WO2014020713A1

WO2014020713A1 - 光量測定装置及び光量測定方法

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Publication number: WO2014020713A1
Application number: PCT/JP2012/069515
Authority: WO
Inventors: 望月　学; 昭一藤森
Original assignee: パイオニア株式会社; 株式会社パイオニアＦａ
Priority date: 2012-07-31
Filing date: 2012-07-31
Publication date: 2014-02-06
Also published as: TWI460405B; TW201405106A; WO2014020978A1

Abstract

　簡単な構成で高精度な測定を実現できる発光ダイオードの光量測定装置を提供する。　光量測定装置３は、放射状に光を発光するＬＥＤ１０１に対向配置され、ＬＥＤ１０１から発光された光を受光し、その光量を測定する受光モジュール１と、ＬＥＤ１０１に電力を供給してＬＥＤ１０１を発光させるためのプローブ針１０９と、ＬＥＤ１０１から発光された光のうち受光モジュール１に受光させる光の範囲である受光範囲を、ＬＥＤ１０１の発光中心軸ＬＣＡに対する角度θに基づいて設定する受光範囲設定手段と、を備える。ＬＥＤ１０１は、ダイシングシート１０３ｂ上に複数配列されている。受光範囲設定手段は、複数配列されたＬＥＤ１０１から発光された光を受光モジュール１が受光する際に、ＬＥＤ１０１の配列態様にかかわらず受光した光の光量の測定誤差が所定率以下となるように、受光範囲を設定する。

Description

光量測定装置及び光量測定方法

　本発明は、発光ダイオード用の光量測定装置及び光量測定方法に関する。

　発光ダイオードの製造工程には、不良品の選別や製造ラインの工程能力を管理するために、製造した発光ダイオードから所望の光量が得られているかを検査する工程がある。検査工程で発光ダイオードの光量を測定する装置には、簡単な構成で高精度な測定を実現できる装置であることが要求される。

　特許文献１には、ウェハ上の光半導体素子の光量測定を行う受光装置の受光面を、ウェハの基板面に対して光出射方向で５度から３５度までの角度範囲内の光束が入射する位置に固定させた半導体検査装置が開示されている。

特開平１１－３４０５１２号公報

　しかしながら、特許文献１では、受光面が光半導体素子に対し傾斜して固定されているため、特定の角度成分の光束を測定することはできるものの、全角度成分の光束を高い精度で測定するには改善の余地が有る。加えて、特許文献１では、光半導体素子のウェハ上での配列関係によって光束の測定に生じる影響が考慮されておらず、高い精度で測定するには改善の余地が有る。更に、特許文献１では、高い精度で測定するために、ウェハ自体にわざわざ反射装置を設けなければならず、複雑な構成となっている。よって、特許文献１の半導体検査装置を、検査工程に用いることは困難である。

　本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、上述のような問題点を解決することを課題の一例とするものである。すなわち、本発明は、簡単な構成で高精度な測定を実現できる発光ダイオードの光量測定装置を提供すること等が目的である。

　本発明の請求項１に係る光量測定装置は、放射状に光を発光する発光ダイオードに対向配置され、該発光ダイオードから発光された光を受光し、その光量を測定する受光部と、前記発光ダイオードに電力を供給して該発光ダイオードを発光させるためのプローブと、前記発光ダイオードから発光された光のうち前記受光部に受光させる光の範囲である受光範囲を、前記発光ダイオードの発光中心軸に対する角度に基づいて設定する受光範囲設定手段と、を備え、前記発光ダイオードは、ダイシングシート上に複数配列され、前記受光範囲設定手段は、前記複数配列された前記発光ダイオードから発光された光を前記受光部が受光する際に、前記複数配列された前記発光ダイオードの配列態様にかかわらず該受光した光の光量の測定誤差が所定率以下となるように、前記受光範囲を設定する発光ダイオードの光量測定装置である。

　本発明の請求項８に係る光量測定方法は、ダイシングシート上に複数配列された発光ダイオードに対向配置され、該発光ダイオードから放射状に発光された光を受光する受光手段を用いた発光ダイオードの光量測定方法であって、前記発光ダイオードに電力を供給して該発光ダイオードを発光させる発光工程と、前記発光ダイオードから発光された光のうち前記受光手段に受光させる光の範囲である受光範囲を、前記発光ダイオードの発光中心軸に対する角度に基づいて設定する受光範囲設定工程と、前記受光手段によって受光された光の光量を測定する測定工程と、を備え、前記受光範囲設定工程は、前記複数配列された前記発光ダイオードから発光された光を前記受光手段が受光する際に、前記複数配列された前記発光ダイオードの配列態様にかかわらず該受光した光の光量の測定誤差が所定率以下となるように、前記受光範囲を設定する光量測定方法である。

本発明の一実施形態に係る光量測定装置で測定する発光ダイオードの発光状況の説明図である。本発明の一実施形態に係る光量測定装置で測定する発光ダイオードの配光強度分布ついての説明図である。本発明の一実施形態に係る光量測定装置の受光モジュールについての説明図である。本発明の一実施形態に係る光量測定装置についての説明図である。本発明の一実施形態に係る光量測定装置で測定する発光ダイオードの配列態様に関する説明図である。本発明の一実施形態に係る光量測定装置で測定した発光ダイオードの配列態様毎の光量測定結果を示す図である。本発明の一実施形態に係る光量測定装置で測定する発光ダイオードの配列態様による光量への影響を説明するための図である。本発明の一実施形態に係る光量測定装置で測定した発光ダイオードの品種毎の光量測定結果を示す図である。本発明の一実施形態に係る光量測定装置の光量推計誤差を示す図である。本発明の一実施形態に係る光量測定装置の受光範囲設定手段の実施例１についての説明図である。本発明の一実施形態に係る光量測定装置の受光範囲設定手段の実施例２についての説明図である。本発明の一実施形態に係る光量測定装置の受光範囲設定手段の実施例３についての説明図である。本発明の一実施形態に係る光量測定装置の受光範囲設定手段の実施例４についての説明図である。本発明の一実施形態に係る光量測定装置の受光範囲設定手段の実施例５についての説明図である。

＜発光ダイオードの発光状況について＞
　以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。
　図１は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３で測定する発光ダイオード１０１の発光状況の説明図である。

　図１（ａ）に示すように、発光ダイオード（以下、「ＬＥＤ（Light Emitting Diode）」という）１０１は、発光面１０１ａから光を放射状に出射する。
　図１（ａ）の発光面１０１ａは、ＬＥＤ１０１の上面に位置する。ＬＥＤ１０１の発光面１０１ａの法線を発光中心軸ＬＣＡという。
　発光面１０１ａを含む平面上の一方向を基準軸（Ｘ軸）とした場合に、当該平面上のＸ軸からの反時計回りの角度をφと定義する。また、φを固定した場合における、発光中心軸ＬＣＡとなす角度をθと定義する。
　ＬＥＤ１０１が発光して、発光面１０１ａから出射される光の強度は、発光中心軸ＬＣＡからの角度θ等によって異なる。

　光量は、φの値が０°から３６０°について、θの値が０°から９０°までの範囲内にある光の強度を全て積算し、ＬＥＤ１０１の裏側についても算出し、両者を加算した値である。
　この光量を知ることによって、そのＬＥＤ１０１が各種の使用に適切であるか否かを検査することが可能となる。

　ＬＥＤ１０１から出射される光の強度は、θ及びφ毎に異なる値となる。光の強度を視覚的に表わすために、図１（ｂ）のような図が用いられる。
　図１（ｂ）において、Ｘ軸とＹ軸との交点部分がθ＝０°を表わしている。円上の各点がθ＝９０°の各φの位置をそれぞれ表わしている。
　図１の（ｃ）は、φの値が一定の位置における断面図である。

　ここで、ＬＥＤ１０１からの同一の距離、かつ、発光中心軸ＬＣＡからの角度θの位置における、光の強度を配光強度Ｅ（θ）と定義する。この配光強度Ｅ（θ）を各θに応じて図示したものが配光強度分布である。

　なお、図１の説明では、ＬＥＤ１０１から十分に遠い位置で測定することによって、ＬＥＤ１０１がほぼ点として考えることができると仮定している。ＬＥＤ１０１は、通常フォトディテクタ１０５等（図３参照）と比較すると極めて小さいことから、このように仮定することが可能である。図２以降の説明においても、特に記載のない限り、同様とする。

　図２は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３で測定する発光ダイオード１０１の配光強度分布ついての説明図である。

　図２（ａ）は、図１（ｃ）と同じ図である。
　図２（ａ）に示すように、配光強度Ｅは、ＬＥＤ１０１からの距離ｒが一定の位置において、一定のφの角度での、各θにおける光の強度のことである。
　ＬＥＤ１０１は、通常、その品種や製造誤差等によってＬＥＤ１０１毎に異なる配光強度分布を有する。この異なるＬＥＤ１０１は、図２（ｂ）のｃｏｓ（コサイン）型のＬＥＤ１０１、及び、図２（ｃ）のドーナツ型のＬＥＤ１０１が存在し得る。

　ｃｏｓ型及びドーナツ型のＬＥＤ１０１は、あくまで例であり、この２つの特性を有するＬＥＤ１０１を測定の対象に限定する趣旨ではない。もっとも、通常のＬＥＤ１０１では、θ＝０°にピーク強度を有するｃｏｓ型と、θ＝３０°にピーク強度を有するドーナツ型との間の特性を有することが多い。すなわち、検査対象の通常のＬＥＤ１０１は、θが０°から３０°の範囲にピーク強度を有する場合が殆どである。

　配光強度分布が分かると、次のようにしてＬＥＤ１０１の光量を求めることができる。
　すなわち、配光強度Ｅ（θ）を、発光中心軸ＬＣＡ周りの円周で積分して（φ＝０°から３６０°まで積分）、周配光強度Ｌ（θ）を求める。周配光強度Ｌ（θ）は、Ｌ（θ）＝Ｅ（θ）・２πｒ・sinθで表される。この周配光強度Ｌ（θ）を、θ＝０°からθ°積分して、発光面１０１ａ側の光量Ｓ（θ）を求めることができる。
　また、ＬＥＤ１０１の裏面側（発光面１０１ａとは反対側）の光量は、Ｓ（θ）に一定の係数αを乗算することで求めることができる。
　すると、ＬＥＤ１０１の光量は、発光面１０１ａ側の光量Ｓ（θ）と裏面側の光量（Ｓ（θ）・α）とを加算することで求めることができる。
　なお、発光面１０１ａ側の光量と裏面側の光量との差は、同一工程で製造されたＬＥＤ１０１では略一定となることが分かっている。このため、係数αは、１つのＬＥＤ１０１について光量を実測して求めておけば、他のＬＥＤ１０１についても同じ値を適用することができる。

＜光量測定装置について＞
　これより、図３及び図４を用いて、光量測定装置３の構成について説明する。
　図３は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３の受光モジュール１についての説明図である。
　図４は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３についての説明図である。

　光量測定装置３は、ＬＥＤ１０１の発光光量及び波長を同時に測定可能な装置である。
　光量測定装置３は、テーブル１０３と、プローブ針１０９と、受光モジュール１と、電気特性計側部１２５と、演算部１５１と、出力部１６３と、を少なくとも有する。

　テーブル１０３は、検査対象のＬＥＤ１０１を載置する測定試料台である。
　テーブル１０３は、略一様な平板形状を有し、略水平に設置されている。
　テーブル１０３と、これに載置されたＬＥＤ１０１とは、互いに略平行となる。

　テーブル１０３は、ガラステーブル１０３ａと、ダイシングシート１０３ｂとを少なくとも有する。
　ガラステーブル１０３ａは、サファイアやガラス等の光透過材料を用いて、略一様な平板形状に形成されている。
　ダイシングシート１０３ｂは、表面に粘着性を有し、ガラステーブル１０３ａ上に積層されている。ＬＥＤ１０１は、このダイシングシート１０３ｂ上に載置される。
　ダイシングシート１０３ｂを有するテーブル１０３は、測定時にＬＥＤ１０１をテーブル１０３に移載し易く、位置ズレを抑制することができる。
　なお、図５を用いて後述するように、ＬＥＤ１０１がダイシングシート１１上に複数配列されている場合には、ダイシングシート１０３ｂの代わりに、ダイシングシート１１ごと一括してガラステーブル１０３ａ上に載置させてもよい。

　プローブ針１０９は、ＬＥＤ１０１に電力を供給してＬＥＤ１０１を発光させる。プローブ針１０９は、ＬＥＤ１０１の発光面１０１ａと略平行に、ＬＥＤ１０１の法線と直角方向に放射状に延在している。
　図３のプローブ針１０９は、ＬＥＤ１０１の光学特性（光量、波長）測定時、ＬＥＤ１０１の電極に接触して電圧を印加する。また、プローブ針１０９は、図４を用いて後述する光量測定装置３の電気特性計側部１２５と接続されており、ＬＥＤ１０１の電気特性も同時に測定することができる。

　プローブ針１０９をＬＥＤ１０１に接触させる際、テーブル１０３及びＬＥＤ１０１が固定されている状態で、プローブ針１０９を移動させてもよい。逆に、プローブ針１０９が固定されている状態で、テーブル１０３及びＬＥＤ１０１を移動させてもよい。

　受光モジュール１は、ＬＥＤ１０１の発光によって出射された光を受光し、受光した光を電気信号に変換する機能を有する。
　受光モジュール１は、発光面１０１ａと略平行となる様に、ＬＥＤ１０１に対向配置されている。
　図３に示すように、受光モジュール１は、フォトディテクタ１０５と、ホルダ１０７と、信号線１１１と、アンプ１１３と、通信線１１５と、を少なくとも有する。

　ホルダ１０７は、内部にフォトディテクタ１０５等を保持する筐体である。ホルダ１０７は、テーブル１０３と対向する位置に、空間を隔てて配置されている。
　ホルダ１０７は、テーブル１０３、これに載置されたＬＥＤ１０１、及びフォトディテクタ１０５と、略平行となる様に配置されている。

　ホルダ１０７は、この略平行な配置関係を維持した状態で、上下方向に移動可能である。このホルダ１０７の移動によって、フォトディテクタ１０５とＬＥＤ１０１とが近接・離間し、θの大きさが変更可能となっている。ホルダ１０７が移動するのではなく、テーブル１０３が移動してもよい。

　なお、図３に示すように、本実施形態では、ＬＥＤ１０１から放射状に出射された光のうち、受光モジュール１に受光させる光の範囲（以下、「受光範囲」ともいう）を、ＬＥＤ１０１から出射された光の発光中心軸ＬＣＡに対する角度θを用いて表している。受光範囲に係るφについては、０°≦φ≦３６０°であることを前提としている。
　例えば、図３のθがθ＝５０°であれば、光量測定装置３は、受光モジュール１に対して、ＬＥＤ１０１から出射された光のうち、θ＝５０°までの光を受光させることを表す。すなわち、受光モジュール１の受光範囲は、０°≦θ≦５０°の範囲である。なお、θの値は、受光範囲の境界を規定する角度であり、本実施形態では「受光角度」ともいう。

　ホルダ１０７は、遮蔽部１０７ａと、側面部１０７ｂと、円形開口部１０７ｃと、を少なくとも有する。
　側面部１０７ｂは、θ＝０°の方向に延在した略円筒形状を有している。
　遮蔽部１０７ａ及び側面部１０７ｂの中心はθ＝０°の方向を有しており、ＬＥＤ１０１の発光面１０１ａの発光中心軸ＬＣＡと略同一である。
　側面部１０７ｂの内周面が形成する中空空間に、フォトディテクタ１０５が配置されている。
　遮蔽部１０７ａの中心部には、円柱形の中空部を形成する円形開口部１０７ｃが形成されている。
　この円形開口部１０７ｃがあることによって、ＬＥＤ１０１から出射された光をフォトディテクタ１０５が受光可能となっている。

　フォトディテクタ１０５は、ＬＥＤ１０１から出射された光を受光する。フォトディテクタ１０５は、受光した光の全ての強度を積算した量に応じて、アナログ信号を生成する。フォトディテクタ１０５は、生成したアナログ信号を、信号線１１１を介してアンプ１１３に出力する。この、アナログ信号は、受光した光の光量情報に相当する。フォトディテクタ１０５は、受光した光のθ毎の強度から、配光強度分布を測定することもできる。

　アンプ１１３は、フォトディテクタ１０５から出力されたアナログ信号に対して増幅及びＡＤ変換を行い、演算部１５１が検出可能な電圧値に変換する。アンプ１１３は、変換した電圧値で示されるデジタル信号を、通信線１１５を介して演算部１５１に出力する。

　また、図４に示すように、受光モジュール１は、波長測定部１２０を有している。
　この波長測定部１２０は、導光部１１７と、光ファイバ１１９と、分光器１２１と、を少なくとも有する。

　導光部１１７は、ＬＥＤ１０１から出射された光を受けて、導光部１１７の内部に光が入射する入射面１１７ａを有している。入射面１１７ａから入射した光は、導光部１１７の長手方向と略平行に導光される。
　導光部１１７は、フォトディテクタ１０５が受光する光の最外周ラインＫ上に配置されている。導光部１１７は、測定対象のＬＥＤ１０１から等距離に保持されている。また、導光部１１７は、θ及びφの角度方向に回動可能に保持されている。いずれにしても、導光部１１７は、フォトディテクタ１０５での受光に影響の無い位置に保持されている。
　導光部１１７は、入射面１１７ａから入射した光を、光ファイバ１１９を介して分光器１２１へ導光する。

　分光器１２１は、導光部１１７によって導光された光の波長及び強度（配光強度を含む）を測定し、演算部１５１へ出力する。

　受光モジュール１は、フォトディテクタ１０５に加えて、波長測定部１２０を有する。受光モジュール１を有する光量測定装置３は、所定角度までの光量と所定角度における波長を同時に測定することができる。このため、光量測定装置３は、連続してかつ高速にＬＥＤ１０１の各測定を行うことが可能となる。

　電気特性計側部１２５は、位置決めユニット１５９と、ＨＶユニット１５３と、ＥＳＤユニット１５５と、切替えユニット１５７と、を少なくとも有する。

　位置決めユニット１５９は、プローブ針１０９を位置決め固定する。具体的には、位置決めユニット１５９は、テーブル１０３が移動する形式のものであれば、プローブ針１０９の先端位置を一定の位置に保持する機能を有する。逆に、位置決めユニット１５９は、プローブ針１０９が移動する形式のものであれば、プローブ針１０９の先端位置をＬＥＤ１０１が載置されるテーブル１０３上の所定の位置に移動させ、その後その位置に保持する機能を有する。

　ＨＶユニット１５３は、定格電圧を印加して、定格電圧に対するＬＥＤ１０１での各種電気特性を検出する役割を有している。
　通常、このＨＶユニット１５３からの電圧の印加状態で、ＬＥＤ１０１が発光する光をフォトディテクタ１０５が測定を行う。
　ＨＶユニット１５３が検出した各種特性情報は演算部１５１に出力される。

　ＥＳＤユニット１５５は、ＬＥＤ１０１に一瞬の間大きな電圧をかけて静電気放電させ静電気破壊されないか等の検査を行うユニットである。
　ＥＳＤユニット１５５が検出した静電破壊情報は演算部１５１に出力される。

　切替えユニット１５７は、ＨＶユニット１５３とＥＳＤユニット１５５との切替えを行う。
　切替えユニット１５７によって、プローブ針１０９を介してＬＥＤ１０１に印加される電圧が変更される。そして、この変更によって、ＬＥＤ１０１の検査項目が、定格電圧での各種特性を検出、又は、静電破壊の有無を検出にそれぞれ変更される。

　演算部１５１は、アンプ１１３によって出力された受光光量及び配光強度の情報、分光器１２１からの光の波長及び配光強度の情報、ＨＶユニット１５３が検出した各種電気特性情報、ＥＳＤユニット１５５が検出した静電破壊情報、の入力を受ける。
　演算部１５１は、これらの入力からＬＥＤ１０１の各種特性を分別・分析を行う。各種特性の分析後、演算部１５１は、その分析結果を必要に応じて、出力部１６３から画像出力、情報出力等する。

＜発光ダイオードの配列態様について＞
　これより、図５を用いて、光量測定装置３で測定するＬＥＤ１０１の配列態様について説明する。
　図５は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３で測定するＬＥＤ１０１の配列態様に関する説明図である。

　ＬＥＤの製造工程では、図５（ａ）に示すような半導体ウェハ１０を個片に分割してＬＥＤチップ化するダイシング工程がある。
　半導体ウェハ１０は、粘着性を有するダイシングシート１１上に貼着されている。ダイシングシート１１は、ウェハリング１２によって、その形状を保持されている。
　ＬＥＤ１０１は、このダイシング工程を経てチップ化されたものである。ダイシング後のウェハ状のＬＥＤ１０１は、ダイシングシート１１上に複数配列されている。

　ダイシング工程後、ウェハ拡張装置を用いてウェハ状のＬＥＤ１０１を区画するストリートの幅を拡張し、光量測定を伴う検査工程を行う。なお、光量測定を伴う検査工程は、ダイシング工程後、ＬＥＤ１０１をダイシングシート１１から、ガラステーブル１０３ａ上のダイシングシート１０３ｂに、ストリート幅が拡張されるように移載した上で行ってもよい。
　図５（ｂ）は、ストリートの幅が拡張されたウェハ状のＬＥＤ１０１の一部を模式的に示した図である。
　図５（ｂ）の行方向（左右方向）のストリート幅をｄ１とし、列方向（上下方向）のストリート幅をｄ２とする。ストリート幅ｄ１及びｄ２の大きさによって、ＬＥＤ１０１同士の間隔が変わる。
　図５（ｂ）に示すように、ウェハ状のＬＥＤ１０１のうち、隣接するＬＥＤにより四方全ての周囲を取り囲まれているＬＥＤ１０１をＬＥＤ１０１ｂとする。また、ウェハ状のＬＥＤ１０１のうち、隣接するＬＥＤにより四方全ての周囲を取り囲まれておらず、隅に位置するＬＥＤ１０１をＬＥＤ１０１ｃとする。

　ウェハ状のＬＥＤ１０１のように、ＬＥＤ１０１が複数配列された状態で光量測定を行う際、θが９０°の近傍では、測定対象のＬＥＤ１０１に隣接しているＬＥＤによって、ＬＥＤ１０１から出射された光が遮られてしまう。隣接するＬＥＤで光が遮られたＬＥＤ１０１では、θが９０°の近傍では、配光強度が低下してしまう。
　一方、ＬＥＤ１０１を個片の状態で光量測定を行うことは、隣接するＬＥＤからの配光強度分布への影響が無いため、理想的である。しかし、ＬＥＤの検査工程では、全てのＬＥＤ１０１を個片として抽出してから測定することは、煩雑な作業を伴い工数増加を招くため、現実的ではない。
　このため、光量測定装置３には、ＬＥＤ１０１が複数配列された状態で、隣接するＬＥＤが存在することによる配光強度分布への影響を可能な限り排除して、光量の測定が可能であることが求められる。

＜光量測定結果について＞
　これより、図６乃至図９を用いて、上記構成の光量測定装置３による光量測定結果について説明する。
　まず、ＬＥＤ１０１が複数配列された状態で測定することによる影響について、図６及び図７を用いて説明する。
　図６は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３で測定したＬＥＤ１０１の配列態様毎の光量測定結果を示す図である。
　図７は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３で測定するＬＥＤ１０１の配列態様による光量への影響を説明するための図である。

　図６（ａ）は、受光モジュール１の受光範囲と光量との関係を示したグラフである。
　図６（ａ）の横軸は、受光モジュール１の受光範囲を受光角度θで示している。図６（ａ）の縦軸は、受光モジュール１の受光光量がＬＥＤ１０１の全光量に占める割合を示している。
　測定条件１～５は、ＬＥＤ１０１の配列態様によって異なる。測定条件１～５の内訳を、表１に示す。これ以外の測定条件は、全て同一である。

　条件１は、比較例であり、隣接するＬＥＤが無く個片のＬＥＤ１０１である。条件１は、隣接するＬＥＤからの配光強度分布への影響が無く、理想的な測定条件である。
　条件２は、図５（ｂ）に示すように、ウェハ状のＬＥＤ１０１のうち、隅に位置するＬＥＤ１０１ｃである。ストリートの幅は、ｄ１＝３０μｍ、ｄ２＝３０μｍである。
　条件３は、図５（ｂ）に示すように、ウェハ状のＬＥＤ１０１のうち、中央に位置するＬＥＤ１０１ｂである。ストリートの幅は、ｄ１＝１５０μｍ、ｄ２＝１５０μｍである。
　条件４は、図５（ｂ）に示すように、ウェハ状のＬＥＤ１０１のうち、中央に位置するＬＥＤ１０１ｂである。ストリートの幅は、ｄ１＝１００μｍ、ｄ２＝５０μｍである。
　条件５は、図５（ｂ）に示すように、ウェハ状のＬＥＤ１０１のうち、中央に位置するＬＥＤ１０１ｂである。ストリートの幅は、ｄ１＝３０μｍ、ｄ２＝３０μｍである。
　この測定条件１～５では、条件１から条件５に向かうに従って、隣接するＬＥＤとの間隔が狭くなっている。

　図６（ａ）のグラフは、ＬＥＤ１０１の配列態様毎で異なる推移を示している。
　受光角度θがθ＝７５°までの領域では、条件１の光量が最も低い推移を示す。次いで、条件２、条件３、条件４の順に低い推移を示す。条件５の光量が最も高い推移を示す。
　すなわち、受光角度θがθ＝７５°までの領域では、隣接するＬＥＤとの間隔が狭くなるに従って、光量が高い推移を示すことが分かる。
　これは、図７（ａ）に示すように、フォトディテクタ１０５に直接到達しない角度成分の光のうち、隣接するＬＥＤとの間隔が狭くなると、隣接するＬＥＤにて反射されてフォトディテクタ１０５に到達する角度成分θａの光が多くなるためである。

　受光角度θがθ＝７５°より大きい領域では、逆に、条件１の光量が最も高い推移を示す。次いで、条件２、条件３、条件４の順に高い推移を示す。条件５の光量が最も低い推移を示す。
　すなわち、受光角度θがθ＝７５°より大きい領域では、隣接するＬＥＤとの間隔が狭くなるに従って、光量が低い推移を示すことが分かる。
　これは、図７（ｂ）に示すように、フォトディテクタ１０５に到達していた角度成分の光のうち、隣接するＬＥＤとの間隔が狭くなると、隣接するＬＥＤにて遮られてしまう角度成分θｂの光が多くなるためである。

　そして、受光角度θがθ＝７５°付近では、条件１～条件５の推移が全て１点付近で交差していることが分かる（図６（ａ）の点Ｐ）。
　すなわち、受光角度θがθ＝７５°付近では、ウェハ状に複数配列されたＬＥＤ１０１は、何れの位置にあるＬＥＤ１０１であっても、全て略同一の光量になることが分かる。更に、受光角度θがθ＝７５°付近では、ウェハ状に複数配列されたＬＥＤ１０１は、隣接するＬＥＤとの間隔に依らず、全て略同一の光量になることが分かる。
　これは、受光角度θがθ＝７５°付近では、隣接するＬＥＤにて反射されてフォトディテクタ１０５に到達する角度成分θａの光と、隣接するＬＥＤにて遮られてしまう角度成分θｂの光とが均衡するためである。この角度成分θａの光と角度成分θｂの光とが均衡することによって、受光角度θがθ＝７５°付近では、隣接するＬＥＤが無い個片状態での光量と略同一となるためである。

　図６（ｂ）は、図６（ａ）の光量測定結果を基にして、受光モジュール１の受光範囲と光量偏差との関係を示したグラフである。図６（ｂ）の測定条件は、図６（ａ）と同じである。
　図６（ｂ）の横軸は、受光モジュール１の受光範囲を受光角度θで示している。図６（ａ）の縦軸は、個片状態での測定である条件１と、複数配列状態での測定である条件２～５との光量偏差δを示している。

　受光角度θがθ＝２０°～３０°付近では、光量偏差δはピークを示している。
　すなわち、受光角度θがθ＝２０°～３０°付近では、複数配列状態での測定と個片状態での測定とが最も乖離することが分かる。
　特に、隣接するＬＥＤとの間隔が狭くなるほど、光量偏差δが大きく、個片状態での測定から大きく乖離している。これは、図６（ａ）での説明と同様に、受光した光に角度成分θａの光が多くなるためである。

　受光角度θがθ＝２０°～３０°以降、θ＝７５°までは、受光角度θの増加に伴って光量偏差δは減少している。
　すなわち、受光角度θがθ＝２０°～３０°以降、θ＝７５°までは、受光角度θを増加させることで、複数配列状態での測定を個片状態に近付けることが可能であることが分かる。
　特に、隣接するＬＥＤとの間隔が狭くなるほど、受光角度θの増加に伴って光量偏差δの減少が急峻となっている。よって、隣接するＬＥＤとの間隔が狭いほど、受光角度θを増加させることのメリットが大きいことが分かる。

　受光角度θがθ＝６５°～８５°では、条件２～５の何れも、光量偏差δが±６％以下になる。特に、受光角度θがθ＝７５°付近では、条件２～５の何れも、光量偏差δが殆ど０である。
　すなわち、受光角度θがθ＝７５°±１０°の場合、ウェハ状に複数配列されたＬＥＤ１０１は、隣接するＬＥＤとの間隔や配列位置にかかわらず、個片状態での測定との乖離が小さくなる。つまり、受光角度θをθ＝７５°±１０°に設定して測定することで、複数配列状態での測定であっても、個片状態と同様の測定を再現可能であることが分かる。

　受光角度θがθ＝８５°を超えると、逆に、条件５は、光量偏差δが±６％より大きくなってしまう。
　すなわち、受光角度θをθ＝８５°を超えて設定すると、隣接ＬＥＤとの間隔が狭いＬＥＤ１０１では、光量偏差が±６％より大きくなる。

　続いて、ＬＥＤ１０１の品種の違いによる光量測定結果への影響について、図８を用いて説明する。
　図８は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３で測定したＬＥＤ１０１の品種毎の光量測定結果を示す図である。

　図８（ａ）は、受光モジュール１の受光範囲と光量との関係を示したグラフである。
　図８（ｂ）は、図８（ａ）の光量測定結果を基にして、受光モジュール１の受光範囲と光量偏差との関係を示したグラフである。
　図８では、互いに異なる１０種類の実製品を対象として、光量測定装置３でＬＥＤ１０１を個片の状態で測定した。

　表２に、図８の測定に用いた互いに異なる１０種類の実製品の内訳を示す。
　図８の測定に用いたＬＥＤ１０１は、略直方体又は略立方体の形状を有している。表２のＷ、Ｄ、及びＨは、それぞれ、ＬＥＤ１０１の幅方向、奥行き方向、及び高さ方向の外形寸法を表している。

　図８（ａ）は、互いに異なる１０種類の実製品で受光角度θ＝９０°の光量を１００％としたとき、受光範囲での光量偏差が最大になる組合せの２品種を選定し、Ｍａｘ品種とＭｉｎ品種としてプロットしている。Ｍａｘ品種は、表２の品種９であり、Ｍｉｎ品種は、表２の品種２である。
　図８（ｂ）は、Ｍａｘ品種とＭｉｎ品種との光量偏差δをプロットしている。

　図８（ｂ）に示すように、互いに異なる１０種類の実製品の光量偏差δは、受光角度θの増加に伴って減少していく。
　受光角度θがθ＝６５°～８５°では、光量偏差δは、５％未満を示している。
　このため、図６のグラフにより導出されたθ＝６５°～８５°という受光角度θは、ＬＥＤ１０１の品種の違いによって生じる光量偏差も許容できる受光角度θであることが分かる。

　なお、図示していないが、図６と同様に、品種１～１０を複数配列状態で光量を測定し、その結果を受光角度θごとで表した場合にも、θ＝７５°付近では、品種１～１０のそれぞれの推移が全て１点付近（図６（ａ）の点Ｐ参照））で交差する。

　続いて、ＬＥＤ１０１の配列態様に係る光量偏差及び品種に係る光量偏差を基にして、光量測定装置３の光量測定に係る誤差を推計した結果について、図９を用いて説明する。
　図９は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３の光量推計誤差を示す図である。

　図９の横軸は、受光モジュール１の受光範囲を受光角度θで示している。図９の縦軸は、光量推計誤差を示している。
　図９の配列誤差は、図６で示した配列態様に係る光量偏差δから推計した誤差を示す。具体的には、図９の配列誤差は、配列態様に係る光量偏差δの半値（｜δ｜／２）を±で振り分けて推計している。
　図９の品種誤差は、図８で示した配列態様に係る光量偏差δから推計した誤差を示す。具体的には、図９の品種誤差は、品種に係る光量偏差δの半値（｜δ｜／２）を±で振り分けて推計している。
　図９の配列＋品種誤差は、配列誤差及び品種誤差を基にして推計した光量測定装置３の光量測定に係る誤差である。具体的には、図９の配列＋品種誤差は、配列誤差の２乗と品種誤差の２乗とを加算し、その平方根を算出して推計している。

　受光角度θがθ＝２０°～３０°付近では、配列＋品種誤差は、ピークを示している。
　これは、θ＝２０°～３０°付近で配列誤差がピークを有することの影響が誤差に大きな影響を及ぼしていることを示す。
　受光角度θがθ＝２０°～３０°以降、θ＝７０°までは、配列＋品種誤差は、受光角度θの増加に伴って減少している。
　すなわち、受光角度θがθ＝２０°～３０°以降、θ＝７０°までは、受光角度θを増加させることで、誤差を減少させることができることが分かる。

　受光角度θがθ＝６５°～８５°付近では、配列＋品種誤差は、±４％未満の値を示している。
　すなわち、受光角度θをθ＝７５°±１０°に設定することによって、光量測定装置３では、光量測定に係る誤差を±４％未満に抑えることができ、高精度の測定が可能であることが分かる。
　一般的に、光量測定装置の測定精度に対する市場からの要求は、誤差を±５％以下に抑えることである。本実施形態の光量測定装置３は、受光角度θをθ＝７５°±１０°に設定することによって、市場要求を満たす±４％未満の測定精度を得ることできる。このため、受光角度θをθ＝７５°±１０°に設定することには臨界的意義がある。

　特に、受光角度θがθ＝７０°～８０°付近では、配列＋品種誤差は、±２％未満の値を示している。更に、受光角度θがθ＝７０°～８０°付近では、配列＋品種誤差は平坦な推移を示している。
　よって、受光角度θ＝７５°±５°に設定することによって、光量測定装置３では、光量測定に係る誤差を±２％未満に抑え、且つ、誤差を一定にすることができる。
　実際の測定では、受光角度θを調整するに際し、受光モジュール１若しくはテーブル１０３の位置又はＬＥＤ１０１の配列等が位置ズレする可能性があり、受光角度θを毎回θ＝７５°に完全に一致させることは難しい。しかしながら、本実施形態の光量測定装置３では、受光角度θをθ＝７５°±５°に設定することによって、上記位置ズレ等で受光角度θが±５°変動しても、誤差を±２％未満で一定の値とすることができる。なぜなら、受光角度θがθ＝７５°±５°の範囲では誤差が±２％未満で平坦な推移を示すからである。つまり、光量測定装置３は、受光角度θ＝７５°±５°に設定することによって、市場要求よりも遥かに高い測定精度を得ることができ、且つ、安定した測定を行うことができる。このため、受光角度θをθ＝７５°±５°に設定することには、より一層の臨界的意義がある。

　受光角度θがθ＝８０°を超えると、配列＋品種誤差は、受光角度θの増加に伴って増加している。
　すなわち、受光角度θがθ＝８０°を超えると、受光角度θは増加させない方が、誤差を抑制させることができることが分かる。
　特に、受光角度θがθ＝８５°を超えると、配列＋品種誤差は、±４％より大きくなるため、受光角度θは、θ＝８５°以下に設定する方が好ましい。

　このように、光量測定装置３では、受光角度θをθ＝７５°±１０°に設定することによって、ＬＥＤ１０１の配列態様にかかわらず測定誤差を４％未満（市場要求の±５％以下）に抑制可能であり、簡単な構成で高精度の測定を行うことができる。

　従来の光量測定装置では、誤差が±１０％以上あった。このため、測定精度の向上を図ろうと、受光角度θはθ＝９０°に近ければ近いほど良いとされていた。
　しかしながら、受光角度θをθ＝９０°付近に設定することは、受光モジュールとＬＥＤとの距離を小さくするだけでは難しい。
　このため、従来の光量測定装置では、受光角度θをθ＝９０°付近の光を測定するために、積分球を用いたり、少なくともθ＝９０°以上の範囲にわたってＬＥＤを取り囲むようなリフレクタを用いたりしてＬＥＤの光量を測定していた。

　積分球や上記リフレクタを用いた測定では、測定のたびに積分球内へＬＥＤを搬入する必要があったり、リフレクタの位置合わせが必要であったりなど、検査工程の工数増加を招くことが問題であった。ましてや、ウェハ状に複数配列された状態のままで測定することはなおさら困難であった。また、上記のようなリフレクタがＬＥＤと接触して、ＬＥＤを傷つけたり、配列を乱したりという問題もあった。しかも、誤差が±１０％以上と、測定精度も低かった。

　これに対し、本実施形態の光量測定装置３は、受光角度θをθ＝７５°±１０°（より好適にはθ＝７５°±５°）に設定することによって、積分球やリフレクタ等を用いずに、ＬＥＤ１０１が複数配列されたままの測定で、個片状態での測定を再現することができる。しかも、光量測定装置３は、ウェハ状に複数配列されたＬＥＤ１０１の配列位置や隣接ＬＥＤとの間隔にかかわらず、光量測定に係る誤差を市場要求の５％以下に抑制することができる。具体的には、品種誤差を加味しても、θ＝７５°±１０°で誤差４％未満、θ＝７５°±５°で誤差２％未満である。

　このため、光量測定装置３は、受光角度θをθ＝７５°±１０°（より好適にはθ＝７５°±５°）に設定することによって、ウェハ状に複数配列されたＬＥＤ１０１の光量を、簡単な構成で高精度の測定を安定的に行うことができる。加えて、光量測定装置３は、ウェハ状のＬＥＤ１０１から個片として抽出してから測定する必要がなく、検査工程を劇的に迅速化することができる。

＜受光範囲設定手段について＞
　これより、図１０乃至図１４を用いて、光量測定装置３を構成する受光範囲設定手段について説明する。
　図１０は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３の受光範囲設定手段の実施例１についての説明図である。
　図１１は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３の受光範囲設定手段の実施例２についての説明図である。
　図１２は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３の受光範囲設定手段の実施例３についての説明図である。
　図１３は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３の受光範囲設定手段の実施例４についての説明図である。
　図１４は、本発明の一実施形態に係る光量測定装置３の受光範囲設定手段の実施例５についての説明図である。

　なお、図１０乃至図１４では、プローブ針１０９の図示は省略している。また、図１０乃至図１４では、ホルダ１０７、テーブル１０３、ＬＥＤ１０１、及びフォトディテクタ１０５は、互いに略平行となる様に配置されている。また、図１０乃至図１３では、受光範囲設定前の受光モジュール１の受光角度をθ１、受光範囲設定後の受光モジュール１の受光角度をθ２として模式的に表している。

　光量測定装置３は、受光モジュール１の受光範囲を、受光角度θに基づいて設定する。受光範囲は、上記のように、ＬＥＤ１０１から出射された光のうち受光モジュール１に受光させる光の範囲のことである。受光角度θは、上記のように、受光範囲の境界を規定する角度である。

　実施例１の光量測定装置３は、図１０に示すように、ＬＥＤ１０１から出射された光を受光モジュール１が直接受光する。
　実施例１の光量測定装置３は、受光モジュール１を上下方向に移動させる移動手段を有する。
　移動手段は、ホルダ１０７に取り付けられた図示しないアクチュエータによって構成することができる。移動手段は、受光モジュール１を発光中心軸ＬＣＡに沿って移動させる。よって、移動手段によって受光モジュール１が移動されても、ホルダ１０７、テーブル１０３、ＬＥＤ１０１、及びフォトディテクタ１０５は、互いに略平行な配置関係が維持される。
　移動手段によって受光モジュール１を移動させると、フォトディテクタ１０５とＬＥＤ１０１とが近接・離間し、受光角度θの大きさが変更される。

　実施例１の光量測定装置３は、移動手段を用いてフォトディテクタ１０５とＬＥＤ１０１との距離を変更し、θ＝７５°±１０°となるよう受光角度θを調整する。すなわち、実施例１の光量測定装置３では、移動手段を用いて受光角度θをθ＝７５°±１０°に調整することによって、受光モジュール１の受光範囲を設定する。
　言い換えると、実施例１の光量測定装置３は、移動手段を用いて、受光範囲を０°≦θ≦７５°±１０°（０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦８５°）に設定する。この設定により、受光モジュール１は、ＬＥＤ１０１から出射された光のうち、θ＝７５°±１０°までの範囲（０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦８５°の範囲）にある光を受光することができる。
　実施例１の光量測定装置３では、上記移動手段が受光範囲設定手段として機能する。なお、移動手段は、受光モジュール１を移動させるのではなく、ＬＥＤ１０１が載置されたテーブル１０３を移動させてもよいし、当該テーブル１０３及び受光モジュール１の両者を移動させてもよい。

　実施例２の光量測定装置３は、図１１に示すように、ＬＥＤ１０１から出射された光を受光モジュール１が直接受光する。
　実施例２の光量測定装置３は、ＬＥＤ１０１から出射された光の一部を遮蔽する絞り１２４を有する。
　絞り１２４は、ホルダ１０７の円形開口部１０７ｃの開口大きさを変更する。絞り１２４は、発光中心軸ＬＣＡを中心軸とする略円板形状に形成されている。
　絞り１２４は、受光モジュール１とＬＥＤ１０１との間に配置されている。絞り１２４は、ホルダ１０７、テーブル１０３、ＬＥＤ１０１、及びフォトディテクタ１０５と、略平行に配置されている。なお、絞り１２４は、遮蔽部１０７ａと一体であってもよい。

　絞り１２４は、円形開口部１０７ｃの開口大きさを変更するために、開口縁の径方向での位置を変更する。絞り１２４の開口縁での径方向の位置を変更すると、当該開口縁とＬＥＤ１０１とを結ぶ直線の発光中心軸ＬＣＡに対する傾斜角度が変更される。絞り１２４の当該傾斜角度は、フォトディテクタ１０５に到達可能な光の範囲を規定する。絞り１２４は、開口縁の径方向での位置を変更することによって、受光角度θを変更することができる。

　実施例２の光量測定装置３は、絞り１２４を用いてθ＝７５°±１０°となるよう受光角度θを調整する。すなわち、実施例２の光量測定装置３では、絞り１２４を用いて受光角度θをθ＝７５°±１０°に調整することによって、受光モジュール１の受光範囲を設定する。
　言い換えると、実施例２の光量測定装置３は、絞り１２４を用いて、受光範囲を０°≦θ≦７５°±１０°（０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦８５°）に設定する。この設定により、受光モジュール１は、ＬＥＤ１０１から出射された光のうち、θ＝７５°±１０°までの範囲（０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦８５°の範囲）にある光を受光することができる。
　実施例２の光量測定装置３では、この絞り１２４が受光範囲設定手段として機能する。

　実施例３の光量測定装置３は、図１２に示すように、ＬＥＤ１０１から出射された光の一部を受光モジュール１が直接受光しない。
　実施例３の光量測定装置３は、ＬＥＤ１０１から出射された光を受光モジュール１に向かって反射させる反射体１２３を有する。
　反射体１２３は、ホルダ１０７を構成する遮蔽部１０７ａの内周面を形成する傾斜面１０７ｄと外接している。
　反射体１２３は、傾斜面１０７ｄを基端として、先端が発光中心軸ＬＣＡに沿ってＬＥＤ１０１側（下方側）に向かって延出している。ＬＥＤ１０１側に向かって延出する反射体１２３の内周面は、反射面１２３ａを形成している。

　反射体１２３の反射面１２３ａは、Ａｇ、Ａｌ等の高反射率特性を有する反射材料で形成されている。反射面１２３ａは、発光中心軸ＬＣＡを中心軸とする上下逆の略円錐台形形状を有する中空空間を形成している。上下逆の略円錐台形形状の中空空間を形成する反射面１２３ａは、ＬＥＤ１０１側に向かうに従って軸方向断面の直径が小さくなっている。よって、反射面１２３ａは、ＬＥＤ１０１から出射された光をフォトディテクタ１０５に向かって反射することができる。

　反射体１２３は、傾斜面１０７ｄからＬＥＤ１０１側に延出する延出長さを変更することによって、延出された先端部の反射面１２３ａの位置を変更させる。先端部の反射面１２３ａの位置が変更されると、当該反射面１２３ａとＬＥＤ１０１とを結ぶ直線の発光中心軸ＬＣＡに対する傾斜角度が変更される。反射体１２３の当該傾斜角度は、フォトディテクタ１０５に到達可能な光の範囲を規定する。反射体１２３は、傾斜面１０７ｄからＬＥＤ１０１側に延出する延出長さを変更することによって、受光角度θを変更することができる。

　実施例３の光量測定装置３は、反射体１２３を用いてθ＝７５°±１０°となるよう受光角度θを調整する。すなわち、実施例３の光量測定装置３では、反射体１２３を用いて受光角度θをθ＝７５°±１０°に調整することによって、受光モジュール１の受光範囲を設定する。
　言い換えると、実施例３の光量測定装置３は、反射体１２３を用いて、受光範囲を０°≦θ≦７５°±１０°（０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦８５°）に設定する。この設定により、受光モジュール１は、ＬＥＤ１０１から出射された光のうち、θ＝７５°±１０°までの範囲（０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦８５°の範囲）にある光を受光することができる。
　実施例３の光量測定装置３では、この反射体１２３が受光範囲設定手段として機能する。

　実施例４の光量測定装置３は、図１３に示すように、ＬＥＤ１０１から出射された光を受光モジュール１が直接受光しない。
　実施例４の光量測定装置３は、ＬＥＤ１０１から出射された光を受光モジュール１に向かって屈折させるフレネルレンズ１２６を有する。
　フレネルレンズ１２６は、発光中心軸ＬＣＡを中心軸とする略円板形状に形成されている。
　フレネルレンズ１２６は、受光モジュール１とＬＥＤ１０１との間に配置されている。フレネルレンズ１２６は、ホルダ１０７、テーブル１０３、ＬＥＤ１０１、及びフォトディテクタ１０５と、略平行に配置されている。なお、フレネルレンズ１２６は、複数枚設けてもよい。

　フレネルレンズ１２６は、発光中心軸ＬＣＡに沿って上下方向に移動可能である。フレネルレンズ１２６の上下方向での位置を変更すると、フレネルレンズ１２６の外周縁とＬＥＤ１０１とを結ぶ直線の発光中心軸ＬＣＡに対する傾斜角度が変更される。フレネルレンズ１２６の当該傾斜角度は、フォトディテクタ１０５に到達可能な光の範囲を規定する。フレネルレンズ１２６は、外周縁の上下方向での位置を変更することによって、受光角度θを変更することができる。

　実施例４の光量測定装置３は、フレネルレンズ１２６を用いてθ＝７５°±１０°となるよう受光角度θを調整する。すなわち、実施例４の光量測定装置３では、フレネルレンズ１２６を用いて受光角度θをθ＝７５°±１０°に調整することによって、受光モジュール１の受光範囲を設定する。
　言い換えると、実施例４の光量測定装置３は、フレネルレンズ１２６を用いて、受光範囲を、０°≦θ≦７５°±１０°（０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦８５°）に設定する。この設定により、受光モジュール１は、ＬＥＤ１０１から出射された光のうち、θ＝７５°±１０°までの範囲（０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦８５°の範囲）にある光を受光することができる。
　実施例４の光量測定装置３では、このフレネルレンズ１２６が受光範囲設定手段として機能する。

　実施例５の光量測定装置３は、図１４に示すように、ＬＥＤ１０１から出射された光の一部を受光モジュール１が直接受光しない。
　実施例５の光量測定装置３は、ＬＥＤ１０１から出射された光の一部を受光モジュール１に向かって反射させる反射体１２７と、受光モジュール１を上下方向に移動させる移動手段と、を有する。

　実施例５の光量測定装置３が有する反射体１２７は、実施例３の反射体１２３と同様の構成を有する。
　すなわち、反射体１２７は、発光中心軸ＬＣＡに沿ってＬＥＤ１０１側に向かって延出し、その内周面は、反射面１２７ａを形成している。そして、反射体１２７は、傾斜面１０７ｄからＬＥＤ１０１側への上記延出長さを変更することによって、先端部の反射面１２７ａとＬＥＤ１０１とを結ぶ直線の上記傾斜角度を変更して、受光角度θを変更することができる。
　但し、反射体１２７は、実施例３の反射体１２３とは異なり、反射面１２７ａにて反射させる光を、ＬＥＤ１０１から出射された光のうち７０°＜θ≦８５°の範囲にある光に限定する。

　また、実施例５の光量測定装置３が有する移動手段は、実施例１の移動手段と同様の構成を有する。
　すなわち、実施例５の光量測定装置３が有する移動手段は、受光モジュール１を発光中心軸ＬＣＡに沿って移動させる。そして、実施例５の光量測定装置３が有する移動手段は、フォトディテクタ１０５とＬＥＤ１０１との距離を変更することによって、受光角度θを変更することができる。
　但し、実施例５の光量測定装置３が有する移動手段は、実施例１の移動手段とは異なり、フォトディテクタ１０５がＬＥＤ１０１から直接受光する光を、ＬＥＤ１０１から出射された光のうちのθ≦７０°の範囲にある光に限定する。

　一般に、フォトディテクタの受光面には、受光面を保護するための保護材が設けられていることが多い。この保護材の屈折率の影響から、フォトディテクタに入射する光のうち、入射角が７０°より大きい光では、保護材表面で反射する成分が増加する。このため、θ＝７０°より大きい光は、フォトディテクタに直接受光させるよりも、反射体等で一度反射させて、フォトディテクタへの入射角を７０°以下に抑えた方が、正確な光量を測定することができ、測定精度を向上させることができる。

　実施例５の光量測定装置３は、移動手段及び反射体１２７を用いてθ＝７５°±１０°となるように受光角度θを調整する。すなわち、実施例５の光量測定装置３では、移動手段及び反射体１２７を用いて受光角度θをθ＝７５°±１０°に調整することによって、受光モジュール１の受光範囲を設定する。
　言い換えると、実施例５の光量測定装置３は、移動手段及び反射体１２７を用いて、受光範囲を０°≦θ≦７５°±１０°（０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦８５°）に設定する。

　但し、光量測定装置３は、０°≦θ≦７０°の範囲にある光は、フォトディテクタ１０５に直接受光させるように調整し、７０°＜θ≦８５°の範囲にある光は、反射面１２７ａを介してフォトディテクタ１０５に受光させるように調整する。
　このように受光範囲が設定されると、受光モジュール１は、ＬＥＤ１０１から出射された光のうち、θ＝７０°までの範囲（０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦７０°の範囲にある光）にある光を直接受光する。そして、受光モジュール１は、ＬＥＤ１０１から出射された光のうち、θ＝７０°より大きくθ＝８５°までの範囲（７０°＜θ≦８５°の範囲）にある光を、反射面１２７ａを介して受光する。
　実施例５の光量測定装置３では、この移動手段及び反射体１２７が受光範囲設定手段として機能する。

　なお、上記の説明では、受光モジュール１が光を直接受光する実施例１及び２の光量測定装置３は、受光範囲を０°≦θ≦７５°±１０°（０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦８５°）に設定すると述べた。しかしながら、実施例１又は２の光量測定装置３は、受光範囲を０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦７０°に限定して設定してもよい。
　また、上記の説明では、受光モジュール１が光を直接受光しない実施例３及び４の光量測定装置３は、受光範囲を０°≦θ≦７５°±１０°（０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦８５°）に設定すると述べた。しかしながら、実施例３又は４の光量測定装置３は、受光範囲を０°≦θ≦７０°乃至０°≦θ≦８５°に限定して設定してもよい。

　すなわち、受光範囲を０°≦θ≦６５°乃至０°≦θ≦７０°に設定する場合には、実施例１又は２の光量測定装置３を使い、受光範囲を０°≦θ≦７０°乃至０°≦θ≦８５°に設定する場合には、実施例３又は４の光量測定装置３を使ってもよい。
　このように使い分けることによって、実施例１～４の光量測定装置３は、実施例５と同様に、フォトディテクタ１０５の保護材表面で増加する反射成分の影響を抑止して、より正確な光量を測定することができ、測定精度を向上させることができる。

　上述の変形例を含む本実施形態は、本発明の好適な実施形態の例であるが、本発明は、これに限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形又は変更が可能であり、実施例及び変形例等で互いの技術を組み合わせることができる。

＜実施形態の構成及び効果＞
　本実施形態に係る発光ダイオードの光量測定装置３は、放射状に光を発光するＬＥＤ１０１に対向配置され、ＬＥＤ１０１から発光された光を受光し、その光量を測定する受光モジュール１と、ＬＥＤ１０１に電力を供給してＬＥＤ１０１を発光させるためのプローブ針１０９と、ＬＥＤ１０１から発光された光のうち受光モジュール１に受光させる光の範囲である受光範囲を、ＬＥＤ１０１の発光中心軸ＬＣＡに対する角度θに基づいて設定する受光範囲設定手段と、を備え、ＬＥＤ１０１は、ダイシングシート１０３ｂ上に複数配列され、受光範囲設定手段は、複数配列されたＬＥＤ１０１から発光された光を受光モジュール１が受光する際に、複数配列されたＬＥＤ１０１の配列態様にかかわらず、受光した光の光量の測定誤差が所定率以下となるように、受光範囲を設定することを特徴とする。
　このような構成により、光量測定装置３は、簡単な構成で高精度な測定を実現することができる。

　更に、受光モジュール１は、ＬＥＤ１０１と略平行に配置され、受光範囲設定手段は、ＬＥＤ１０１から発光された光のうち角度θが０°以上７５°±１０°以下の光の範囲を、受光範囲に設定することを特徴とする。
　このような構成により、光量測定装置３は、ウェハ状に複数配列されたＬＥＤ１０１の光量を、簡単な構成で高精度の測定を安定的且つ迅速に行うことができる。

　更に、受光範囲設定手段は、ダイシングシート１０３ｂが載置されたテーブル１０３若しくは受光モジュール１の何れか又は両方を移動させる移動手段を有し、移動手段を用いて角度θを調整して、受光範囲を設定することを特徴とする。
　このような構成により、光量測定装置３は、高速、高精度、安定的な測定を、より簡単な構成で実現することができる。

　更に、受光範囲設定手段は、ＬＥＤ１０１と受光モジュール１との間に配置され、ＬＥＤ１０１から発光された光の一部を遮蔽する絞り１２４を有し、絞り１２４を用いて角度θを調整して、受光範囲を設定することを特徴とする。
　このような構成により、光量測定装置３は、高速、高精度、安定的な測定を、より簡単な構成で実現することができる。

　更に、受光範囲設定手段は、ＬＥＤ１０１と受光モジュール１との間に配置され、ＬＥＤ１０１から発光された光を受光モジュール１に向かって反射させる反射体１２３を有し、反射体１２３を用いて角度θを調整して、受光範囲を設定することを特徴とする。
　このような構成により、光量測定装置３は、高速、高精度、安定的な測定を、より簡単な構成で実現することができる。

　更に、受光範囲設定手段は、ＬＥＤ１０１と受光モジュール１との間に配置され、ＬＥＤ１０１から発光された光を受光モジュール１に向かって屈折させるフレネルレンズ１２６を有し、フレネルレンズ１２６を用いて角度θを調整して、受光範囲を設定することを特徴とする。
　このような構成により、光量測定装置３は、高速、高精度、安定的な測定を、より簡単な構成で実現することができる。

　本実施形態に係る発光ダイオードの光量測定装置３は、放射状に光を発光するＬＥＤ１０１に略平行に対向配置され、ＬＥＤ１０１から発光された光を受光し、その光量を測定する受光モジュール１と、ＬＥＤ１０１に電力を供給してＬＥＤ１０１を発光させるためのプローブ針１０９と、ＬＥＤ１０１から発光された光のうち受光モジュール１に受光させる光の範囲である受光範囲を、ＬＥＤ１０１の発光中心軸ＬＣＡに対する角度θに基づいて設定する受光範囲設定手段と、を備え、ＬＥＤ１０１は、ダイシングシート１０３ｂ上に複数配列され、受光範囲設定手段は、ＬＥＤ１０１から発光された光のうち角度θが０°以上７５°±１０°以下の光の範囲を、受光範囲に設定することを特徴とする。
　このような構成により、光量測定装置３は、ウェハ状に複数配列されたＬＥＤ１０１の光量を、簡単な構成で高精度の測定を安定的且つ迅速に行うことができる。

　本実施形態に係る発光ダイオードの光量測定方法は、ダイシングシート１０３ｂ上に複数配列されたＬＥＤ１０１に対向配置され、ＬＥＤ１０１から放射状に発光された光を受光する受光モジュール１を用いた光量測定方法であって、ＬＥＤ１０１に電力を供給してＬＥＤ１０１を発光させる発光工程と、ＬＥＤ１０１から発光された光のうち受光モジュール１に受光させる光の範囲である受光範囲を、ＬＥＤ１０１の発光中心軸ＬＣＡに対する角度θに基づいて設定する受光範囲設定工程と、受光モジュール１によって受光された光の光量を測定する測定工程と、を備え、受光範囲設定工程は、複数配列されたＬＥＤ１０１から発光された光を受光モジュール１が受光する際に、複数配列されたＬＥＤ１０１の配列態様にかかわらず、受光した光の光量の測定誤差が所定率以下となるように、受光範囲を設定することを特徴とする。
　このような構成により、本実施形態に係る光量測定方法は、簡単な構成で高精度な測定を実現することができる。

　　　　１　　　受光モジュール
　　　　３　　　光量測定装置
　　　１１　　　ダイシングシート
　　１０１　　　発光ダイオード
　　１０３ｂ　　ダイシングシート
　　１０９　　　プローブ針
　　１２３　　　反射体
　　１２４　　　絞り
　　１２６　　　フレネルレンズ
　　１２７　　　反射体

Claims

　放射状に光を発光する発光ダイオードに対向配置され、該発光ダイオードから発光された光を受光し、その光量を測定する受光部と、
　前記発光ダイオードに電力を供給して該発光ダイオードを発光させるためのプローブと、
　前記発光ダイオードから発光された光のうち前記受光部に受光させる光の範囲である受光範囲を、前記発光ダイオードの発光中心軸に対する角度に基づいて設定する受光範囲設定手段と、
　を備え、
　前記発光ダイオードは、ダイシングシート上に複数配列され、
　前記受光範囲設定手段は、前記複数配列された前記発光ダイオードから発光された光を前記受光部が受光する際に、前記複数配列された前記発光ダイオードの配列態様にかかわらず該受光した光の光量の測定誤差が所定率以下となるように、前記受光範囲を設定する
　発光ダイオードの光量測定装置。
　前記受光部は、前記発光ダイオードと略平行に配置され、
　前記受光範囲設定手段は、前記発光された光のうち前記角度が０°以上７５°±１０°以下の光の範囲を、前記受光範囲に設定する
　請求項１に記載の光量測定装置。
　前記受光範囲設定手段は、
　前記ダイシングシートが載置されたテーブル若しくは前記受光部の何れか又は両方を移動させる移動手段を有し、
　前記移動手段を用いて前記角度を調整して、前記受光範囲を設定する
　請求項２に記載の光量測定装置。
　前記受光範囲設定手段は、
　前記発光ダイオードと前記受光部との間に配置され、前記発光された光の一部を遮蔽する絞りを有し、
　前記絞りを用いて前記角度を調整して、前記受光範囲を設定する
　請求項２に記載の光量測定装置。
　前記受光範囲設定手段は、
　前記発光ダイオードと前記受光部との間に配置され、前記発光された光を前記受光部に向かって反射させる反射体を有し、
　前記反射体を用いて前記角度を調整して、前記受光範囲を設定する
　請求項２に記載の光量測定装置。
　前記受光範囲設定手段は、
　前記発光ダイオードと前記受光部との間に配置され、前記発光された光を前記受光部に向かって屈折させるフレネルレンズを有し、
　前記フレネルレンズを用いて前記角度を調整して、前記受光範囲を設定する
　請求項２に記載の光量測定装置。
　放射状に光を発光する発光ダイオードに略平行に対向配置され、該発光ダイオードから発光された光を受光し、その光量を測定する受光部と、
　前記発光ダイオードに電力を供給して該発光ダイオードを発光させるためのプローブと、
　前記発光ダイオードから発光された光のうち前記受光部に受光させる光の範囲である受光範囲を、前記発光ダイオードの発光中心軸に対する角度に基づいて設定する受光範囲設定手段と、
　を備え、
　前記発光ダイオードは、ダイシングシート上に複数配列され、
　前記受光範囲設定手段は、前記発光された光のうち前記角度θが０°以上７５°±１０°以下の光の範囲を、前記受光範囲に設定する
　発光ダイオードの光量測定装置。
　ダイシングシート上に複数配列された発光ダイオードに対向配置され、該発光ダイオードから放射状に発光された光を受光する受光手段を用いた発光ダイオードの光量測定方法であって、
　前記発光ダイオードに電力を供給して該発光ダイオードを発光させる発光工程と、
　前記発光ダイオードから発光された光のうち前記受光手段に受光させる光の範囲である受光範囲を、前記発光ダイオードの発光中心軸に対する角度に基づいて設定する受光範囲設定工程と、
　前記受光手段によって受光された光の光量を測定する測定工程と、
　を備え、
　前記受光範囲設定工程は、前記複数配列された前記発光ダイオードから発光された光を前記受光手段が受光する際に、前記複数配列された前記発光ダイオードの配列態様にかかわらず該受光した光の光量の測定誤差が所定率以下となるように、前記受光範囲を設定する
　光量測定方法。