KR20190064464A - 벨트 컨베이어 장치 - Google Patents

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카츠요시 나카타
히라미치 타니가이토
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 기판을 벨트로 반송 가능하고 그리고 벨트 상에서 기판을 가공장치에 의해서 가공 가능한 벨트 컨베이어 장치에 있어서, 벨트의 위쪽 반송부를 복수의 지지부재에 의해서 적절하게 아래쪽에서부터 지지한다.
[해결 수단] 벨트 컨베이어 장치(43)는, 기판을 벨트로 반송 가능하고 그리고 벨트 상에서 가공장치에 의해서 기판이 가공되는 장치로서, 무단 형상의 제2 벨트(43a)와, 제1 분단장치(7)와, 복수의 지지부재(201)를 포함하고 있다. 제1 분단장치(7)는 제2 벨트(43a)의 위쪽 반송부의 일부를 유지시켜 반송 방향으로 이동 가능하다. 복수의 지지부재(201)는 제2 벨트(43a)의 위쪽 반송부(43a1)를 아래쪽에서부터 지지하기 위한 부재로서, 위쪽 반송부(43a1)의 이동에 따라서 반송 방향으로 이동 가능하다.

Description

벨트 컨베이어 장치{BELT CONVEYER APPARATUS}
본 발명은 벨트 컨베이어 장치에 관한 것이다.
벨트 컨베이어 장치는, 일반적으로, 무단 형상의 벨트와, 벨트가 걸려 돌려진 복수의 풀리(pully)와, 풀리를 구동해서 벨트에 의해서 물품을 반송시키는 구동부(예를 들면, 모터)를 구비하고 있다.
벨트 컨베이어 장치에서는, 벨트 컨베이어의 위쪽 반송부의 길이를 변경할 수 있는 신축 가능한 것이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
특허문헌 1에 기재된 벨트 컨베이어 장치는, 벨트 길이 신축장치(13)를 구비하고 있다. 벨트 길이 신축장치(13)는, 이동 자유로운 왕복 벨트 지지 롤러(8, 9)를 구비하고 있다.
JP 2000-16555 A
최근, 기판을 벨트로 반송해서 벨트 상에서 기판을 가공하는 장치가 알려져 있다. 이 장치의 경우, 벨트 컨베이어의 위쪽 반송부를 신축은 시키지 않지만 반송 방향으로 이동시키는(시프트시키는) 것이 고려된다. 그러나, 종래 기술에서는, 그러한 구조에 아래쪽에서부터의 지지부재를 적용할 때의 구체적인 문제점 및 해결 수단을 제공하지 않고 있다.
본 발명의 목적은, 기판을 벨트로 반송 가능하고 그리고 벨트 상에서 기판을 가공장치에 의해 가공 가능한 벨트 컨베이어 장치에 있어서, 벨트의 위쪽 반송부를 복수의 지지부재에 의해서 적절하게 아래쪽에서부터 지지하는 것에 있다.
이하에, 과제를 해결하기 위한 수단으로서 복수의 양상을 설명한다. 이것들 양상은, 필요에 따라서 임의로 조합시킬 수 있다.
본 발명의 하나의 견지에 따른 벨트 컨베이어 장치는, 기판을 벨트로 반송 가능하고 그리고 벨트 상에서 가공장치에 의해서 기판이 가공되는 장치로서, 무단 형상의 벨트와, 구동부와, 이동부와, 복수의 지지부재를 포함하고 있다.
구동부는 벨트를 구동한다.
이동부는, 벨트의 위쪽 반송부의 일부를 유지시켜 반송 방향으로 이동 가능하다.
복수의 지지부재는, 위쪽 반송부를 아래쪽에서부터 지지하기 위한 부재로서, 위쪽 반송부의 이동에 따라서 반송 방향으로 이동 가능하다.
이 장치에서는, 이동부가 벨트의 위쪽 반송부의 일부를 유지시켜 반송 방향으로 이동하면, 벨트의 위쪽 반송부가 반송 방향으로 이동한다. 이때, 복수의 지지부재는 위쪽 반송부의 이동에 따라서 반송 방향으로 이동한다. 따라서, 벨트의 위쪽 반송부는, 복수의 지지부재에 의해서 적절하게 아래쪽에서부터 지지된다. 즉, 벨트의 사행이 생기기 어렵다.
이동부는 벨트의 위쪽 반송부 위에 놓인 기판을 분단하는 분단장치이어도 된다.
이 장치에서는, 분단장치는 반송 방향으로 이동하면서 기판을 분단시켜 간다. 이때에, 벨트의 위쪽 반송부는 반송 방향으로 이동하지만, 그 동안에도 복수의 지지부재에 의해서 아래쪽에서부터 적절하게 지지된다. 즉, 벨트의 사행이 생기기 어렵다.
복수의 지지부재는, 벨트의 폭방향으로 뻗는 측면을 위쪽에 갖는 복수의 판 형상 부재이어도 된다.
이 장치에서는, 복수의 판 형상 부재는 반송 방향으로 짧으므로, 소정 구간 내에서 벨트의 위쪽 반송부가 축소되었을 경우에 위쪽 반송부의 길이를 충분히 짧게 할 수 있다.
벨트 컨베이어 장치는, 복수의 판 형상 부재 중 1쌍씩을 연결하는 복수의 연결부재를 더 포함하고 있어도 된다.
이 장치에서는, 1쌍의 판 형상 부재가 연결부재에 의해서 서로 연결되어 있으므로, 각 판 형상 부재가 반송 방향으로 쓰러지기 어렵다.
연결부재는, 1쌍의 판 형상 부재를 소정 범위 내에서만 접근·분리 가능하게 연결해도 된다.
이 장치에서는, 1쌍의 판 형상 부재가 소정 범위 내에서만 접근·분리 가능하게 되어 있으므로, 각 판 형상 부재가 적절한 범위에서 서로에 대해서 이동한다.
연결부재는, 한쪽의 판 형상 부재에 고정된 제1 부재와, 다른 쪽의 판 형상 부재에 고정되어 제1 부재에 대하여 상하 방향으로 뻗는 축을 중심으로 회동 가능하게 연결된 제2 부재를 구비해도 된다.
이 장치에서는, 제1 부재와 제2 부재가 상하 방향으로 뻗는 축을 중심으로 회동 가능하게 되어 있으므로, 간단한 구조로 원활한 동작이 실현된다.
벨트 컨베이어 장치는, 1쌍의 판 형상 부재가 서로 접근하면 서로 떨어지는 방향으로의 부세력을 발생하는 부세부재를 더 포함하고 있어도 된다.
이 장치에서는, 소정 구간 내에서 벨트의 위쪽 반송부가 벌어져갈 때에, 부세부재에 의해서 1쌍의 판 형상 부재가 서로 떨어져 가고, 그 때문에 모든 쌍에 있어서 판 형상 부재가 일제히 서로로부터 떨어져 간다. 따라서, 벨트의 위쪽 반송부는, 복수의 지지부재에 의해 전체에 걸쳐서 균등하게 아래쪽에서부터 지지된다.
본 발명에 따른 벨트 컨베이어 장치에서는, 벨트의 위쪽 반송부는 복수의 지지부재에 의해서 적절하게 아래쪽에서부터 지지된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판가공장치의 모식적 평면도.
도 2는 기판분단장치의 모식적 사시도.
도 3은 기판분단장치의 모식적 측면도.
도 4는 기판가공장치의 제어 구성을 나타내는 블록도.
도 5는 기판분단 동작의 하나의 상태를 나타내는, 기판분단장치의 모식적 측면도.
도 6은 벨트 지지 기구의 평면도.
도 7은 벨트 지지 기구의 측면도.
도 8은 벨트 지지 기구의 동작의 하나의 상태를 나타내는 모식도.
도 9는 벨트 지지 기구의 동작의 하나의 상태를 나타내는 모식도.
도 10은 벨트 지지 기구의 동작의 하나의 상태를 나타내는 모식도.
1. 제1 실시형태
(1) 기판가공장치의 개략 설명
도 1 내지 도 3을 이용해서, 기판가공장치(1)를 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판가공장치의 모식적 평면도이다. 도 2는 기판분단장치의 모식적 사시도이다. 도 3은 기판분단장치의 측면도이다. 도 1에 있어서, 도면의 상하 방향이 제1 방향(화살표 X)이며, 도면의 좌우 방향이 제2 방향(화살표 Y)이다.
기판가공장치(1)는 접합 기판(100)으로부터 복수의 단위 기판(113)을 형성하는 장치이다. 도 1에 있어서, 이제부터 기술하는 복수의 장치는, 제2 방향에 있어서 좌측에서 우측을 향해서 나란히 놓여 있다. 즉, 피가공 대상인 기판의 반송 방향은 제2 방향이며, 기판은 제2 방향에 있어서 좌측에서 우측을 향해서 반송되면서 가공된다. 그 때문에, 도 1의 제2 방향 좌측이 반송 방향 상류측이며, 도 1의 제2 방향 우측이 반송 방향 하류측이다.
기판가공장치(1)는, 스크라이브 라인 형성장치(3)를 구비하고 있다. 스크라이브 라인 형성장치(3)는, 접합 기판(100)의 표면에 복수의 제1 스크라이브 라인(S1)과 복수의 제2 스크라이브 라인(S2)을 형성한다. 제1 스크라이브 라인(S1)과 제2 스크라이브 라인(S2)은 서로 직교하고 있다. 또, 스크라이브 가공 후의 기판을 접합 기판(100A)이라 한다.
스크라이브 라인 형성장치(3)는, 구체적으로는, 스크라이브 유닛(51)과, 접합 기판(100)을 반송 방향 하류측에 반송하는 컨베이어 장치(53)와, 접합 기판(100)을 유지시켜 반송 방향 양쪽으로 이동시키는 척 기구(55)를 구비하고 있다. 스크라이브 유닛(51)은, 제1 방향으로 연장되어 설치된 스크라이브 빔(51a)과, 이것을 따라서 제1 방향으로 이동 가능한 스크라이브 헤드(51b)(도 4)와, 스크라이브 헤드 이동장치(51c)(도 4)를 구비하고 있다. 컨베이어 장치(53)는 벨트 컨베이어이다. 척 기구(55)는, 컨베이어 장치(53) 위에 있어서, 제2 방향을 따라서 앞뒤로 이동 가능하게 설치된 척빔(55a)과, 척빔 이동장치(55b)(도 4)과, 척빔(55a)의 한쪽에 형성되어, 접합 기판(100)을 파지하는 척(55c)을 구비하고 있다. 척빔(55a)이 스크라이브 유닛(51)을 향해서 제1 방향 양쪽으로 이동함으로써, 척(55c)에 파지되어 있는 접합 기판(100)은 스크라이브 헤드(51b)(도 4)의 아래쪽을 통과하면서 스크라이빙된다.
기판가공장치(1)는 기판분단장치(5)를 구비하고 있다. 기판분단장치(5)는, 접합 기판(100A)을 복수의 제1 스크라이브 라인(S1)과 복수의 제2 스크라이브 라인(S2)을 따라서 분단시킴으로써, 단위 기판(113)을 형성한다. 기판분단장치(5)는 스크라이브 라인 형성장치(3)의 반송 방향 하류측에 배치되어 있다.
기판분단장치(5)는 제1 분단장치(7)(이동부의 일례)를 구비하고 있다.
제1 분단장치(7)는, 접합 기판(100A)을 복수의 제1 스크라이브 라인(S1)을 따라서 분단시킴으로써, 복수의 스트립(strip) 형상 기판(111)을 형성한다. 제1 분단장치(7)는, 제1 방향으로 평행하게 뻗어있고, 접합 기판(100A)의 복수의 제1 스크라이브 라인(S1)에 맞춰서 반송 방향으로 이동·분단을 반복한다. 제1 분단장치(7)는, 제2 벨트(43a)의 위쪽 반송부(43a1)의 일부를 유지시켜 반송 방향으로 이동 가능하다.
기판분단장치(5)는 제2 분단장치(9)를 구비하고 있다.
제2 분단장치(9)는, 제1 분단장치(7)의 반송 방향 하류측에 배치되어, 복수의 스트립 형상 기판(111)을 제2 스크라이브 라인(S2)을 따라서 분단시킴으로써, 복수의 단위 기판(113)을 형성한다. 제2 분단장치(9)는, 제1 방향으로 평행하게 뻗어있고, 복수의 스트립 형상 기판(111)의 복수의 제2 스크라이브 라인(S2)에 맞춰서 반송 방향으로 이동·분단을 반복한다. 제2 분단장치(9)는 제3 벨트(45a)의 위쪽 반송부(45a1)의 일부를 유지시켜 반송 방향으로 이동 가능하다.
기판가공장치(1)는 픽업장치(11)를 구비하고 있다. 픽업장치(11)는 복수의 단위 기판(113)을 픽업해서 다른 장치(13)에 반송한다.
또, 제1 분단장치(7) 및 제2 분단장치(9)에 있어서 브레이크 바 등을 지지하면서 반송 방향으로 빔을 이동시키는 기구는 공지이므로, 설명을 생략한다.
다음에, 기판을 반송하기 위한 반송장치(29)를 설명한다. 반송장치(29)는 스크라이브 라인 형성장치(3), 제1 분단장치(7), 제2 분단장치(9), 픽업장치(11)의 순번으로 기판을 반송한다.
구체적으로는, 반송장치(29)는 제1 컨베이어 장치(41)와, 제2 컨베이어 장치(43)와, 제3 컨베이어 장치(45)를 구비하고 있다. 제1 컨베이어 장치(41)는, 스크라이브 라인 형성장치(3)와 제1 분단장치(7) 사이로 뻗고 있다. 제2 컨베이어 장치(43)는 제1 분단장치(7)와 제2 분단장치(9)의 사이로 뻗고 있다. 제3 컨베이어 장치(45)는 제2 분단장치(9)와 픽업장치(11) 사이로 뻗고 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 제1 컨베이어 장치(41)는 제1 벨트(41a)와, 복수의 롤러(41b)와, 제1 모터(41c)(도 4)를 구비하고 있다. 복수의 롤러(41b) 중 반송 방향 상류측의 것 및 반송 방향 하류측의 것은, 소정 범위 내에서 반송 방향 앞뒤로 이동 가능하게 되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 제2 컨베이어 장치(43)는 제2 벨트(43a)와, 복수의 롤러(43b)와, 제2 모터(43c)(구동부의 일례)(도 4)를 구비하고 있다. 복수의 롤러(43b) 중 반송 방향 상류측의 것 및 반송 방향 하류측의 것은, 소정 범위 내에서 반송 방향 앞뒤로 이동 가능하게 되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 제3 컨베이어 장치(45)는 제3 벨트(45a)와, 복수의 롤러(45b)와, 제3모터(45c)(도 4)를 구비하고 있다. 복수의 롤러(45b) 중 반송 방향 상류측의 것과 반송 방향 하류측의 것은, 소정 범위 내에서 반송 방향 앞뒤로 이동 가능하게 되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 제1 벨트(41a)의 상면부의 반송 방향 하류측 단부와, 제2 벨트(43a)의 상면부의 반송 방향 상류측 단부는 약간의 간극을 개재해서 근접하고 있다. 제2 벨트(43a)의 상면부의 반송 방향 하류측 단부와, 제3 벨트(45a)의 상면부의 반송 방향 상류측 단부는 약간의 간극을 개재해서 근접하고 있다.
상기 구성에 의해서, 기판가공장치(1)에서는, 제1 분단장치(7)가 접합 기판(100A)을 분할시켜 복수의 스트립 형상 기판(111)을 형성하고 있을 때에, 그것과 동시에 제2 분단장치(9)가 복수의 스트립 형상 기판(111)을 분할시켜 복수의 단위 기판(113)을 형성할 수 있다. 따라서, 기판가공장치(1)의 단위 기판(113)을 형성하는 능력이 종래보다 높게 되어 있다.
도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1 벨트(41a)에는 제1 댄서유닛(dancer unit)(35)이 배치되어 있다. 제2 벨트(43a)에는 제2 댄서유닛(37)이 배치되어 있다. 제3 벨트(45a)에는 제3 댄서유닛(39)이 배치되어 있다. 제1 댄서유닛(35), 제2 댄서유닛(37) 및 제3 댄서유닛(39)은, 제1 벨트(41a), 제2 벨트(43a) 및 제3 벨트(45a)를 각각 눌러내림으로써 벨트의 길이를 조정한다. 이들 장치의 구성 및 기능은 공지이므로, 설명을 생략한다.
(2) 기판가공장치의 제어 구성
도 4를 이용해서, 기판가공장치(1)의 제어 구성을 설명한다. 도 4는 기판가공장치의 제어 구성을 나타내는 블록도이다.
기판가공장치(1)는 제어기(50)를 구비하고 있다. 제어기(50)는, 프로세서(예를 들면, CPU)와, 기억장치(예를 들면, ROM, RAM, HDD, SSD 등)와, 각종 인터페이스(예를 들면, A/D 컨버터, D/A 컨버터, 통신 인터페이스 등)를 구비하는 컴퓨터 시스템이다. 제어기(50)는, 기억부(기억장치의 기억 영역의 일부 또는 전부에 대응)에 보존된 프로그램을 실행함으로써, 각종 제어 동작을 행한다.
제어기(50)는, 단일 프로세서로 구성되어 있어도 되지만, 각 제어를 위하여 독립적인 복수의 프로세서로 구성되어 있어도 된다.
제어기(50)의 각 요소의 기능은, 일부 또는 모두가, 제어기(50)를 구성하는 컴퓨터 시스템에서 실행 가능한 프로그램으로서 실현되어도 된다. 그 외, 제어기(50)의 각 요소의 기능의 일부는, 커스텀 IC에 의해 구성되어 있어도 된다.
제어기(50)에는, 스크라이브 유닛(51)(스크라이브 헤드(51b), 스크라이브 헤드 이동장치(51c)), 척 기구(55)(척빔 이동장치(55b), 척(55c)), 제1 컨베이어 장치(41)의 제1 모터(41c), 제2 컨베이어 장치(43)의 제2 모터(43c), 제3 컨베이어 장치(45)의 제3모터(45c), 제1 댄서유닛(35), 제2 댄서유닛(37), 제3 댄서유닛(39)이 접속되어 있다. 제어기(50)에는, 또한, 제1 분단장치(7), 제2 분단장치(9)가 접속되어 있다.
제어기(50)에는, 도시하고 있지 않지만, 기판의 크기, 형상 및 위치를 검출하는 센서, 각 장치의 상태를 검출하기 위한 센서 및 스위치, 및 정보입력장치가 접속되어 있다.
(3) 벨트 지지 기구
(3-1) 벨트 지지 기구의 구성
도 3 및 도 5 내지 도 7을 이용해서, 반송장치(29)(벨트 컨베이어 장치의 일례)에 이용되는 벨트 지지 기구(200)를 설명한다.
도 5는 기판분단 동작의 하나의 상태를 나타내는, 기판분단장치의 모식적 측면도이다.
도 6은 벨트 지지 기구의 평면도이다.
도 7은 벨트 지지 기구의 측면도이다.
전술한 바와 같이 제1 분단장치(7)와 제2 분단장치(9)가 반송 방향으로 이동하면, 이것을 따라서, 제1 벨트(41a), 제2 벨트(43a) 및 제3 벨트(45a)가 반송 방향으로 이동한다.
벨트가 반송 방향 상류측으로 이동하면, 제1 댄서유닛(35)과 제2 댄서유닛(37) 사이의 구간에서는, 제1 벨트(41a)의 위쪽 반송부(41a1)가 짧아지고, 제2 벨트(43a)의 위쪽 반송부(43a1)가 길어진다. 또한, 제2 댄서유닛(37)과 제3 댄서유닛(39) 사이의 구간에서는, 제2 벨트(43a)의 위쪽 반송부(43a1)가 짧아지고, 제3 벨트(45a)의 위쪽 반송부(45a1)가 길어진다.
벨트 지지 기구(200)는, 전술의 벨트의 이동 시에 각 이동에 따라서 적절하게 벨트를 지지하기 위한 기구이다.
벨트 지지 기구(200)는 복수의 지지부재(201)를 구비하고 있다.
복수의 지지부재(201)는 제1 벨트(41a)의 위쪽 반송부(41a1), 제2 벨트(43a)의 위쪽 반송부(43a1), 및 제3 벨트(45a)의 위쪽 반송부(45a1)의 아래쪽에 각각 배치되어 있다. 보다 구체적으로는, 복수의 지지부재(201)는 하기 6개소에 배치되어 있다.
(a) 제1 댄서유닛(35)보다 반송 방향 상류측
(b) 제1 댄서유닛(35)과 제1 분단장치(7) 사이
(c) 제1 분단장치(7)와 제2 댄서유닛(37) 사이
(d) 제2 댄서유닛(37)과 제2 분단장치(9) 사이
(e) 제2 분단장치(9)와 제3 댄서유닛(39) 사이
(f) 제3 댄서유닛(39)보다 반송 방향 하류측
다음에, 일례로서, 상기 (c)에 있어서의 복수의 지지부재(201)를 설명한다. 또, 하기의 설명은 다른 개소에 있어서의 복수의 지지부재(201)에도 적용된다.
복수의 지지부재(201)는, 제2 벨트(43a)의 위쪽 반송부(43a1)를 아래쪽에서부터 지지하기 위한 부재로서, 위쪽 반송부(43a1)의 이동에 따라서 반송 방향으로 이동 가능하다. 구체적으로는, 복수의 지지부재(201)는, 제1 분단장치(7)와 제2 댄서유닛(37) 사이에서 반송 방향으로 간격을 두고 나열되어 있다. 구체적으로는, 제1 분단장치(7)와 제2 댄서유닛(37) 사이에는, 7개의 지지부재(201)가 배치되어 있다.
또, 복수의 지지부재(201)는 레일(202)에 의해 안내되고 있다. 레일(202)은 반송 방향으로 뻗고 있다.
복수의 지지부재(201)는, 제2 벨트(43a)의 폭방향(제1 방향)으로 뻗는 측면을 위쪽에 갖는 복수의 판 형상 부재이다. 레일(202)은, 복수의 지지부재(201)의 폭방향 양쪽에 배치된 2개의 레일부재를 구비하고 있다. 이것에 의해, 복수의 지지부재(201)는 서로 평행한 상태를 유지할 수 있다.
벨트 지지 기구(200)에서는, 제1 분단장치(7)가 제2 벨트(43a)의 위쪽 반송부(43a1)의 일부를 유지시켜 반송 방향으로 이동하면, 그것을 따라서 제2 벨트(43a)의 위쪽 반송부(43a1)가 이동한다. 또한, 제1 벨트(41a)의 위쪽 반송부도 동일 방향으로 이동한다. 이때, 복수의 지지부재(201)는, 각 벨트의 위쪽 반송부의 이동을 따라서 반송 방향으로 이동한다. 따라서, 제1 벨트(41a)의 위쪽 반송부(41a1) 및 제2 벨트(43a)의 위쪽 반송부(43a1)는, 복수의 지지부재(201)에 의해서 아래쪽에서부터 적절하게 지지된다. 즉, 제1 벨트(41a)와 제2 벨트(43a)의 사행이 생기기 어렵다.
도 3 및 도 5 내지 도 7에 나타낸 바와 같이, 벨트 지지 기구(200)는, 복수의 지지부재(201) 중 1쌍씩을 연결하는 복수의 연결부재(203)를 더 구비하고 있다. 연결부재(203)에 의해, 각 지지부재(201)가 반송 방향으로 쓰러지기 어려워진다.
도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 연결부재(203)는, 한쪽 지지부재(201)에 고정된 제1 부재(205)와, 다른 쪽 지지부재(201)에 고정되어 제1 부재(205)에 대하여 상하 방향으로 뻗는 축(209)을 중심으로 회동 가능하게 연결된 제2 부재(207)를 구비하고 있다. 이와 같이 해서, 연결부재(203)는, 1쌍의 지지부재(201)를 소정 범위 내에서만 접근·분리 가능하게 연결하고 있고, 그 때문에 각 지지부재(201)가 적절한 범위에서 서로에 대하여 이동한다. 또한, 간단한 구조로 원활한 동작이 실현된다.
또, 제1 부재(205)와 제2 부재(207)가 닫혀서 서로 근접한 상태를 폐쇄 상태고 하고, 제1 부재(205)와 제2 부재(207)가 열려서 서로 떨어진 상태를 개방 상태라 한다.
구체적으로는, 제1 댄서유닛(35)과 제1 분단장치(7) 사이에는, 4개의 연결부재(203)가 설치되어 있다. 가장 제1 분단장치(7)에 가까운 연결부재(203)는 제1 분단장치(7)에 직접 고정되어 있다. 또한, 제1 분단장치(7)와 제2 댄서유닛(37) 사이에는, 4개의 연결부재(203)가 설치되어 있다. 가장 제1 분단장치(7)에 가까운 연결부재(203)는, 제1 분단장치(7)에 직접 고정되어 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 벨트 지지 기구(200)는 복수의 부세부재(211)를 더 구비하고 있다. 부세부재(211)는 1쌍의 지지부재(201)가 서로 접근하면 서로 떨어지는 방향으로의 부세력을 발생한다.
부세부재(211)는, 예를 들면, 인장 코일 스프링이다. 단, 부세부재의 종류는 한정되지 않는다. 또한, 부세부재는 없어도 된다.
(3-2) 기판 분단 동작 시의 벨트 지지 기구의 동작
도 3 및 도 5를 이용해서, 기판분단 동작을 설명한다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 제1단계에서는, 제1 분단장치(7)는, 제1 댄서유닛(35)과 제2 댄서유닛(37)의 사이에 있어서, 제2 댄서유닛(37)에 근접한 위치에 있다. 따라서, 제1 댄서유닛(35)과 제1 분단장치(7) 사이는 넓게 되어 있고, 그 때문에 제1 컨베이어 장치(41)의 제1 벨트(41a)의 아래쪽에서는 복수의 지지부재(201)가 개방 상태로 배치되어 있다(상기 (b)의 설명). 또, 제1 분단장치(7)와 제2 댄서유닛(37) 사이는 좁게 되어 있고, 그 때문에 제2 컨베이어 장치(43)의 제2 벨트(43a)의 아래쪽에서는 복수의 지지부재(201)가 폐쇄 상태로 배치되어 있다(상기 (c)의 설명). 또한, 복수의 지지부재(201)는 반송 방향으로 짧으므로, 이와 같이 제2 벨트(43a)의 위쪽 반송부(43a1)가 소정 구간 내에서 짧게 되어 있을 경우에 해당 구역 내에서의 위쪽 반송부(43a1)의 길이를 충분히 짧게 할 수 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 제2단계에서는, 제1 분단장치(7)는 접합 기판(100A)을 분단시키면서 반송 방향 상류 측으로 이동한다. 이때, 제1 분단장치(7)는, 제1 벨트(41a)의 반송 방향 하류측 단부 및 제2 벨트(43a)의 반송 방향 상류측 단부를 유지하고 있다. 따라서, 제1 댄서유닛(35)과 제1 분단장치(7) 사이는 좁게 되고, 그 때문에 제1 컨베이어 장치(41)의 제1 벨트(41a)의 아래쪽에서는 복수의 지지부재(201)가 폐쇄 상태가 된다(상기 (b)의 설명). 또, 제1 분단장치(7)와 제2 댄서유닛(37) 사이는 넓게 되고, 그 때문에 제2 컨베이어 장치(43)의 제2 벨트(43a)의 아래쪽에서는 복수의 지지부재(201)가 개방 상태가 된다(상기 (c)의 설명). 또한, 형성된 복수의 스트립 형상 기판(111)은 제2 벨트(43a)의 위쪽 반송부에 놓인다.
또한, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제2단계에서는, 제2 분단장치(9)는 스트립 형상 기판(111)을 분단시키면서 반송 방향 상류 측으로 이동한다. 이때, 제2 분단장치(9)는, 제2 벨트(43a)의 반송 방향 하류측 단부 및 제3 벨트(45a)의 반송 방향 상류측 단부를 유지하고 있다. 따라서, 제2 댄서유닛(37)과 제2 분단장치(9) 사이는 좁게 되고, 그 때문에 제3 컨베이어 장치(45)의 제3 벨트(45a)의 아래쪽에서는 복수의 지지부재(201)가 폐쇄 상태가 된다(상기 (d)의 설명).
또, 도 5에서는 도시하고 있지 않지만, 제2 분단장치(9)와 제3 댄서유닛(39) 사이는 넓게 되고, 그 때문에 제3 컨베이어 장치(45)의 제3 벨트(45a)의 아래쪽에서는 복수의 지지부재(201)가 개방 상태가 된다(상기 (e)의 설명). 또한, 도 5에서는 도시하고 있고 않지만, 복수의 단위 기판(113)은 제3 벨트(45a)의 위쪽 반송부(45a1)에 놓인다.
도 8 내지 도 10을 이용해서, 벨트의 위쪽 반송부가 소정 구간 내에서 축소 상태로부터 확장 상태로 이행하는 동작을 설명한다. 도 8 내지 도 10은 벨트 지지 기구의 동작의 하나의 상태를 나타내는 모식도이다.
도 8에서는, 제1 분단장치(7)는 제1 댄서유닛(35)에 근접해서 배치되어 있고, 그 사이에 복수의 지지부재(201)는 폐쇄 상태로 배치되어 있다.
도 9에서는, 제1 분단장치(7)는 제1 댄서유닛(35)로부터 반송 방향 하류측으로 이동하고, 그 때문에 복수의 지지부재(201)는 개방 상태로 이행한다. 즉, 제1 벨트(41a)의 위쪽 반송부(41a1)가 제1 댄서유닛(35)과 제2 댄서유닛(37) 사이의 구간에서 확장되어 갈 때에, 부세부재(211)에 의해서 1쌍의 지지부재(201)가 서로 떨어져 가므로, 모든 쌍에 있어서 지지부재(201)가 일제히 서로로부터 떨어져 간다. 따라서, 제1 벨트(41a)의 위쪽 반송부(41a1)는, 복수의 지지부재(201)에 의해서 전체에 걸쳐서 아래쪽에서부터 지지된다.
도 10에서는, 제1 분단장치(7)는 제1 댄서유닛(35)으로부터 반송 방향 하류측에 가장 떨어진 위치로 이동하고 있고, 그 때문에 복수의 지지부재(201)는 개방 상태로 되고 있다.
2. 기타의 실시형태
이상, 본 발명의 일 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다. 특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시형태 및 변형예는 필요에 따라서 임의로 조합 가능하다.
(1) 기판의 변형예
2매의 취성 재료 기판을 맞붙인 접합 취성 재료 기판에는, 유리 기판을 맞붙인 액정 패널, 플라즈마 디스플레이 패널, 유기 EL 디스플레이 패널 등의 플랫 디스플레이 패널과, 실리콘 기판, 사파이어 기판 등을 유리 기판에 맞붙인 반도체 기판이 포함된다.
기판의 종류는 특별히 한정되지 않는다. 기판은 단판의 유리, 반도체 웨이퍼, 세라믹 기판을 포함하고 있다.
(2) 각종 장치의 변형예
지지부재의 형상, 수는 특별히 한정되지 않는다.
본 발명은 벨트 컨베이어 장치에 널리 적용할 수 있다.
1: 기판가공장치 3: 스크라이브 라인 형성장치
5: 기판분단장치 7: 제1 분단장치
9: 제2 분단장치 11: 픽업장치
29: 반송장치 35: 제1 댄서유닛
37: 제2 댄서유닛 41: 제1 컨베이어 장치
51: 스크라이브 유닛 100: 접합 기판
111: 스트립 형상 기판 113: 단위 기판
200: 벨트 지지 기구 201: 지지부재
202: 레일 203: 연결부재
205: 제1 부재 207: 제2 부재
209: 축 211: 부세부재

Claims (7)

  1. 기판을 벨트로 반송 가능하고 그리고 상기 벨트 상에서 가공장치에 의해서 상기 기판이 가공되는 벨트 컨베이어 장치로서,
    무단 형상의 벨트;
    상기 벨트를 구동하는 구동부;
    상기 벨트의 상기 위쪽 반송부의 일부를 유지시켜 반송 방향으로 이동 가능한 이동부; 및
    상기 위쪽 반송부를 아래쪽에서부터 지지하기 위한 부재로서, 상기 위쪽 반송부의 이동에 따라서 반송 방향으로 이동 가능한 복수의 지지부재를 포함하는, 벨트 컨베이어 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이동부는 상기 벨트의 상기 위쪽 반송부 위에 놓인 기판을 분단시키는 분단장치인, 벨트 컨베이어 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 복수의 지지부재는 상기 벨트의 폭방향으로 뻗는 측면을 위쪽에 구비하는 복수의 판 형상 부재인, 벨트 컨베이어 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 복수의 판 형상 부재 중 1쌍씩을 연결하는 복수의 연결부재를 더 포함하는, 벨트 컨베이어 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 연결부재는 상기 1쌍의 판 형상 부재를 소정 범위 내에서만 접근·분리 가능하게 연결하는, 벨트 컨베이어 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 연결부재는, 한쪽의 판 형상 부재에 고정된 제1 부재와, 다른 쪽의 판 형상 부재에 고정되고 상기 제1 부재에 대하여 상하 방향으로 뻗는 축을 중심으로 회동 가능하게 연결된 제2 부재를 구비하는, 벨트 컨베이어 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 1쌍의 판 형상 부재가 서로 접근하면 서로 떨어지는 방향으로의 부세력을 발생하는 부세부재를 더 포함하는, 벨트 컨베이어 장치.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000016555A (ja) 1998-06-26 2000-01-18 Taguchi Kogyo Kk 伸縮可能なベルトコンベヤ装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3903820A1 (de) * 1989-02-09 1990-08-23 Ostma Maschinenbau Gmbh Transfervorrichtung, insbesondere fuer verpackungsanlagen fuer papierstapel in der papierindustrie
JP4141720B2 (ja) * 2002-03-29 2008-08-27 株式会社アマダ 熱切断加工機
EP1741525A1 (de) 2005-07-06 2007-01-10 Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Vorrichtung zur Aufnahme von plattenförmigen Materialien
JP5434014B2 (ja) * 2008-08-22 2014-03-05 坂東機工株式会社 ガラス板の加工方法及びガラス板加工装置
JP5583478B2 (ja) * 2010-05-25 2014-09-03 株式会社シライテック パネルの折割装置
JP5874393B2 (ja) * 2011-12-28 2016-03-02 日本電気硝子株式会社 ガラス板加工装置およびその加工方法
KR101449487B1 (ko) * 2012-06-01 2014-10-14 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법
JP5651667B2 (ja) * 2012-10-05 2015-01-14 ヤマハ発動機株式会社 基板搬送装置、基板作業装置および搬送ベルト
JP6095333B2 (ja) * 2012-11-21 2017-03-15 ヤマハ発動機株式会社 基板処理ライン、基板処理方法
CN105307992B (zh) * 2013-08-28 2018-03-20 日本电气硝子株式会社 玻璃膜带制造方法以及玻璃膜带制造装置
JP2016199376A (ja) * 2015-04-13 2016-12-01 三星ダイヤモンド工業株式会社 基板搬送装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000016555A (ja) 1998-06-26 2000-01-18 Taguchi Kogyo Kk 伸縮可能なベルトコンベヤ装置

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